KR100859471B1 - Liquid crystal dispensing apparatus - Google Patents

Liquid crystal dispensing apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR100859471B1
KR100859471B1 KR1020020033262A KR20020033262A KR100859471B1 KR 100859471 B1 KR100859471 B1 KR 100859471B1 KR 1020020033262 A KR1020020033262 A KR 1020020033262A KR 20020033262 A KR20020033262 A KR 20020033262A KR 100859471 B1 KR100859471 B1 KR 100859471B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
liquid crystal
substrate
nozzle
container
dropping
Prior art date
Application number
KR1020020033262A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20030095716A (en
Inventor
김완수
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020020033262A priority Critical patent/KR100859471B1/en
Publication of KR20030095716A publication Critical patent/KR20030095716A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100859471B1 publication Critical patent/KR100859471B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/11Vats or other containers for liquids or other fluent materials
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1341Filling or closing of cells

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)

Abstract

본 발명은 액정과 노즐이 낮은 젖음성 관계를 갖도록 하여 액정 적하량을 균일하게 할 수 있는 액정분배장치에 관한 것으로, 액정을 담는 용기와, 상기 용기와 연결된 액정토출의 개폐부와, 상기 개폐부와 연결되어 있고, 액정 배출구를 가지며, 외표면상에 다수의 돌기를 갖는 불소수지막을 구비한 노들을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a liquid crystal dispensing apparatus capable of making the liquid crystal dropping amount uniform by making the liquid crystal and the nozzle have a low wettability relationship, the container containing the liquid crystal, the opening and closing portion of the liquid crystal discharge connected to the container, And a furnace having a liquid crystal discharge port and having a fluorine resin film having a plurality of protrusions on an outer surface thereof.

액정뭉침, 노즐, 테플론, 니들 시트, 액정 적하, 돌기Liquid crystal aggregation, nozzle, Teflon, needle sheet, liquid crystal dropping, protrusion

Description

액정분배장치{LIQUID CRYSTAL DISPENSING APPARATUS}Liquid Crystal Dispenser {LIQUID CRYSTAL DISPENSING APPARATUS}

도 1은 종래의 액정주입방식을 적용한 액정 셀 공정을 설명하기 위한 공정순서도.1 is a process flowchart for explaining a liquid crystal cell process to which a conventional liquid crystal injection method is applied.

도 2a 및 도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 액정적하방식을 적용한 사시도.2a and 2b is a perspective view of the liquid crystal dropping method according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액정분배장치를 설명하기 위한 사시도.Figure 3 is a perspective view for explaining a liquid crystal distribution device according to an embodiment of the present invention.

도 4는 액정뭉침현상을 설명하기 위한 단면도.4 is a cross-sectional view for explaining a liquid crystal aggregation phenomenon.

도 5는 도 4의 액정뭉침현상을 제거한 단면도.5 is a cross-sectional view of removing the liquid crystal aggregation phenomenon of FIG.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : TFT 기판 2 : 액정1: TFT substrate 2: liquid crystal

2a : 액정뭉침현상 2b : 액정방울2a: liquid crystal aggregation 2b: liquid crystal droplets

3 : 씨일재 5 : 컬러필터 기판3: seal material 5: color filter substrate

11 : PE 용기 12 : 제 1 체결부11: PE container 12: first fastening portion

13 : 니들 시트 14 : 제 2 체결부13: needle seat 14: second fastening portion

15 : 노즐 100 : 액정분배장치 15: nozzle 100: liquid crystal distribution device

200 : 테플론 코팅막 200a : 돌기200: Teflon coating film 200a: projection

본 발명은 액정분배장치(Liquid Crystal Dispensing Apparatus)에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 액정분배장치의 노즐(Nozzle)에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal dispensing device, and more particularly to a nozzle of a liquid crystal dispensing device.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Lipuid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms, and in recent years, the LCD (Lipuid Crystal Display Device), PDP (Plasma Display Panel), ELD (Electro Luminescent Display), and VFD (Vacuum Fluorescent) Various flat panel display devices such as displays have been studied, and some of them are already used as display devices in various devices.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징 및 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 브라운관(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 액정표시장치가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 텔레비전 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, liquid crystal displays are the most widely used, replacing the cathode ray tubes for mobile image display devices because of their excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption. In addition to the same mobile type, various developments have been made for television monitors.

LCD는 서로 마주 보도록 결합되어 있는 두 기판과 그 사이에 주입되어 온도의 변화나 농도의 변화에 따라 상 전이를 발생하는 액정 물질로 이루어져 있다. The LCD is composed of two substrates coupled to face each other and a liquid crystal material injected between them to generate a phase transition according to a change in temperature or a change in concentration.

상기 액정은 액체의 유동성과 고체의 장거리 질서(Long Range Order) 성질을 가지는 액체와 고체의 중간 성질을 갖는 물질이다. 즉, 고체인 결정이 녹아서 액체가 되기 전에 고체결정이나 액체가 아닌 중간 상태로 되는 것을 말하며, 빛을 쪼이거나 전계 또는 자계를 부가시키면 광학적인 이방성 결정에 특유한 복굴절성을 나타내고, 어떠한 온도 범위내에서는 액체와 결정의 쌍방의 성질을 나타낸다.The liquid crystal is a material having an intermediate property between a liquid and a solid having a liquidity and a long range order of the solid. That is, it means that the solid crystal melts and becomes an intermediate state, not a solid crystal or a liquid, before it becomes a liquid. When the light is irradiated or an electric field or a magnetic field is added, it exhibits birefringence peculiar to optical anisotropic crystals, and within a certain temperature range. Both properties of liquid and crystal are shown.

이러한 LCD는 크게 어레이(Array) 공정, 컬러 필터(Color Filter) 공정, 액 정 셀(Cell) 공정 및 모듈(Module) 공정을 거쳐 제조된다. Such LCDs are largely manufactured through an array process, a color filter process, a liquid crystal cell process, and a module process.

상기 어레이 공정은 증착(Deposition) 및 사진 석판술(Photolithography), 식각(Etching) 공정을 반복하여 제 1 기판 상에 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; 이하, TFT로 약칭) 어레이를 제작하는 공정이고, 컬러 필터 공정은 화소 영역을 제외한 부분에는 빛이 차광되도록 제 2 기판에 블랙 매트릭스(Black Matrix)을 형성하고, 염료나 안료를 사용하여 적(Red), 녹(Green), 청(Blue)의 컬러 필터를 제작한 후, 공통전극용 ITO(Indium Tin Oxide)막을 형성하는 공정이다.The array process is a process of fabricating a thin film transistor array (hereinafter, abbreviated as TFT) on a first substrate by repeating deposition, photolithography, and etching processes. In the filter process, a black matrix is formed on the second substrate so that light is shielded in portions other than the pixel region, and red, green, and blue color filters are formed using dyes or pigments. After the fabrication, a process of forming an indium tin oxide (ITO) film for a common electrode is performed.

또한, 액정 셀 공정은 박막 트랜지스터 형성 공정이 완료된 제 1 기판과 컬러필터 공정이 완료된 제 2 기판 사이에 일정한 셀갭이 유지되도록 합착하여 상기 제 1, 제 2 기판 사이에 액정을 주입하여 LCD 셀을 형성하는 공정이고, 상기 모듈 공정은 신호 처리를 위한 회로부를 제작하고, 액정패널과 신호처리회로부를 실장 기술을 통해 서로 연결한 후 기구물을 부착하여 모듈을 제작하는 공정이다.In addition, in the liquid crystal cell process, a liquid crystal is injected between the first and second substrates by forming a liquid crystal cell between the first and second substrates by bonding the first and second substrates to which the thin film transistor forming process is completed and the second substrate where the color filter process is completed. The module process is a process of manufacturing a circuit part for signal processing, connecting the liquid crystal panel and the signal processing circuit part to each other through mounting technology, and then attaching a mechanism to produce a module.

여기서, 종래의 액정 셀 공정을 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.Here, the conventional liquid crystal cell process will be described in more detail as follows.

먼저, 복수 개의 제 1 기판이 적재된 카세트(Cassette;도시되지 않음)와 복수 개의 제 2 기판이 적재된 카세트(도시되지 않음)가 각각 로더(Loader;적재기)에 의해 각각의 포트(Port)에 안착된다.First, a cassette (not shown) on which a plurality of first substrates are loaded and a cassette (not shown) on which a plurality of second substrates are loaded are respectively loaded to each port by a loader. It is seated.

여기서, 상기 제 1 기판 및 제 2 기판에는 복수 개의 액정표시패널이 설계되어 있으며, 각 패널에 해당되는 상기 제 1 기판에는 일정간격을 갖고 일 방향으로 배열된 복수 개의 게이트 라인(Gate Line)과 상기 각 게이트 라인에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 배열되는 복수 개의 데이터 라인(Data Line)과 상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 의해 정의된 매트릭스(Matrix) 화소 영역에 각각 형성되는 복수 개의 박막 트랜지스터 및 화소 전극들이 형성되어 있다. 또한, 각 패널에 해당되는 상기 컬러필터 기판에는 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스(Black Matrix)층과 컬러 필터층 및 공통전극 등이 형성되어 있다.Here, a plurality of liquid crystal display panels are designed on the first substrate and the second substrate, and a plurality of gate lines arranged in one direction with a predetermined interval on the first substrate corresponding to each panel and the A plurality of thin film transistors and pixel electrodes respectively formed in a plurality of data lines arranged at regular intervals in a direction perpendicular to each gate line and in a matrix pixel region defined by the gate lines and the data lines. Are formed. In addition, a black matrix layer, a color filter layer, a common electrode, and the like are formed on the color filter substrate corresponding to each panel to block light in portions except the pixel region.

다음, 상기 복수 개의 제 1 기판 및 복수 개의 제 2 기판을 각각 하나씩 선택하도록 프로그램(Program) 된 로봇 암(Robot Arm)을 이용하여 제 1 기판 및 제 2 기판을 선택한다. Next, the first substrate and the second substrate are selected using a robot arm programmed to select one of the plurality of first substrates and the plurality of second substrates, respectively.

이어, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 선택된 제 1 기판과 제 2 기판 상의 각 패널에 배향물질을 도포한 후 액정분자가 균일한 방향성을 갖도록 하는 배향 공정(1S)을 각각 진행한다. 상기 배향 공정(1S)은 배향막 도포 전 세정, 배향막 인쇄, 배향막 소성, 배향막 검사, 러빙 공정 순으로 진행된다.Next, as shown in FIG. 1, after the alignment material is applied to each of the panels on the selected first and second substrates, an alignment process 1S is performed so that the liquid crystal molecules have uniform orientation. The alignment step (1S) proceeds in order of washing before application of the alignment film, alignment film printing, alignment film firing, alignment film inspection, and rubbing process.

다음, 배향 공정(1S) 후 갭(Gap) 공정이 진행된다. 상기 갭 공정은 제 1 기판 및 제 2 기판을 각각 세정(2S)한 다음, 제 1 기판에 셀 갭(Cell Gap)을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(Spacer)를 산포(3S)하고, 제 2 기판의 각 패널 외곽부에 액정주입구를 갖는 씨일(Seal)재를 도포(4S)한 후 상기 제 1 기판과 제 2 기판에 압력을 가하여 합착(5S)한다.Next, a gap process proceeds after the orientation process 1S. The gap process cleans the first substrate and the second substrate (2S), and then spreads a spacer (S) for maintaining a cell gap constant on the first substrate (3S), and the second substrate. After applying a seal material having a liquid crystal inlet (4S) to the outer periphery of each panel (4S), the pressure is applied to the first substrate and the second substrate and bonded together (5S).

그리고, 상기 합착된 제 1 기판과 제 2 기판을 각 단위 액정패널별로 절단 및 가공한다(6S). Then, the bonded first substrate and the second substrate are cut and processed for each unit liquid crystal panel (6S).

이후, 상기와 같이 가공된 각각의 단위 액정패널에 상기 액정주입구를 통해 액정을 주입한 후, 상기 액정주입구를 봉지한다(7S).Thereafter, liquid crystal is injected into each of the unit liquid crystal panels processed as described above through the liquid crystal inlet, and then the liquid crystal inlet is sealed (7S).

다음, 각 단위액정패널의 절단된 면을 연마하고, 외관 및 전기적 불량 검사(8S)를 진행함으로써 액정표시소자를 제작하게 된다. Next, the cut surface of each unit liquid crystal panel is polished, and the liquid crystal display device is manufactured by performing external appearance and electrical defect inspection 8S.

여기서, 상기 액정주입공정을 살펴보면 다음과 같다.Here, the liquid crystal injection process is as follows.

액정 물질을 주입할 때에는, 먼저 액정 물질을 용기에 담은 다음, 챔버(Chamber) 속에 용기를 집어넣고 상기 챔버 안의 압력을 진공상태로 유지함으로써 액정 물질 속이나 용기 안벽에 붙어 있는 수분을 제거하고 기포를 탈포한다.When injecting the liquid crystal material, the liquid crystal material is first contained in a container, and then the container is placed in a chamber and the pressure in the chamber is kept in a vacuum state to remove moisture from the liquid crystal material or the inner wall of the container and remove bubbles. Defoaming.

이어, 챔버 안의 압력을 진공 상태로 유지한 채로 빈 액정 셀의 액정 주입구를 액정 물질에 담그거나 접촉시킨 다음, 챔버 안의 압력을 진공 상태로부터 대기압 상태까지 높이면, 빈 액정 셀 안의 압력과 챔버의 압력 차이에 의하여 액정주입구를 통하여 액정 물질이 주입된다. Subsequently, the liquid crystal inlet of the empty liquid crystal cell is immersed in or contacted with the liquid crystal material while maintaining the pressure in the chamber in a vacuum state, and then the pressure in the chamber is increased from the vacuum state to the atmospheric pressure state. By the liquid crystal material is injected through the liquid crystal inlet.

그러나, 이러한 종래의 액정 주입 방법에 의한 액정표시장치의 제조 방법에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the conventional method of manufacturing a liquid crystal display device by the liquid crystal injection method has the following problems.

첫째, 단위 패널로 컷팅한 후, 두 기판 사이를 진공 상태로 유지하여 액정 주입구를 액정액에 담가 액정을 주입하므로 액정 주입에 많은 시간이 소요되므로 생산성이 저하된다.First, after cutting into a unit panel, the liquid crystal injection hole is immersed in the liquid crystal liquid by maintaining the vacuum state between the two substrates, so that the liquid crystal injection takes a lot of time, the productivity is reduced.

둘째, 대면적의 액정표시장치를 제조할 경우, 액정 주입식으로 액정을 주입하면 패널내에 액정이 완전히 주입되지 않아 불량의 원인이 된다.Second, in the case of manufacturing a large-area liquid crystal display device, when the liquid crystal is injected by the liquid crystal injection method, the liquid crystal is not completely injected into the panel, which causes a defect.

셋째, 상기와 같이 공정이 복잡하고 시간이 많이 소요되므로 여러개의 액정 주입 장비가 요구되어 많은 공간을 요구하게 된다.Third, since the process is complicated and time-consuming as described above, several liquid crystal injection equipment is required, which requires a lot of space.

따라서, 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은 대면적 유리기판에 액정을 적하하기 위한 액정분배장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.Accordingly, an object of the present invention devised to solve the above problems is to provide a liquid crystal dispensing apparatus for dropping liquid crystal on a large area glass substrate.

상기 목적 달성을 위한 본 발명의 액정분배장치는 액정을 담는 용기와, 상기 용기와 연결된 액정토출의 개폐부와, 상기 개폐부와 연결되어 있고, 액정 배출구를 가지며, 외표면상에 다수의 돌기를 갖는 불소수지막을 구비한 노즐을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The liquid crystal distribution device of the present invention for achieving the above object is a fluorine resin container containing a liquid crystal, the opening and closing portion of the liquid crystal discharge connected to the container, and connected to the opening and closing portion, has a liquid crystal discharge port, a plurality of projections on the outer surface And a nozzle with a membrane.

그리고, 상기 개폐부는 상기 용기와 연결되는 제 1 체결부와, 상기 제 1 체결부와 연결되는 제 2 체결부와, 상기 제 1, 제 2 체결부 사이에 결합되어 액정주입 통로의 역할을 하는 니들시트로 이루어짐을 특징으로 한다.The opening and closing portion includes a first fastening portion connected to the container, a second fastening portion connected to the first fastening portion, and a needle coupled to the first and second fastening portions to serve as a liquid crystal injection passage. It is characterized by consisting of a sheet.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.

도 2a 및 도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 액정적하방식을 적용한 사시도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액정분배장치를 설명하기 위한 사시도이며, 도 4는 액정뭉침현상을 설명하기 위한 단면도이며, 도 5는 도 4의 액정뭉침현상을 제거한 단면도이다.2a and 2b is a perspective view of the liquid crystal dropping method according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a perspective view for explaining a liquid crystal distribution device according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a liquid crystal aggregation phenomenon 5 is a cross-sectional view of removing the liquid crystal aggregation phenomenon of FIG.

액정적하방식은 단위 패널 내부와 외부의 압력차에 의해 액정을 주입하는 것이 아니라 액정을 직접 대면적 유리기판에 적하(Dropping)하고 기판의 합착 압력에 의해 적하된 액정을 패널 전체에 걸쳐 균일하게 분포시킴으로써 액정층을 형성하는 것이다. In the liquid crystal dropping method, the liquid crystal is not directly injected by the pressure difference between the inside and the outside of the unit panel, but the liquid crystal is directly dropped onto the large glass substrate and the liquid crystal dropped by the bonding pressure of the substrate is uniformly distributed throughout the panel. This is to form a liquid crystal layer.

도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, TFT 기판(1)과 컬러필터 기판(5) 상에 배향물질을 도포한 후 액정분자가 균일한 방향성을 갖도록 하는 배향 공정이 수행된다. As shown in FIGS. 2A and 2B, after the alignment material is applied onto the TFT substrate 1 and the color filter substrate 5, an alignment process is performed in which the liquid crystal molecules have uniform orientation.

상기 배향 공정이 수행된 TFT 기판(1)과 컬러필터 기판(5)을 세정한 다음, TFT 기판(1)에 액정주입구가 없는 프레임(Frame) 형상의 자외선 경화형 씨일재(3)를 소정의 두께로 도포하고, 상기 씨일재(3) 안쪽(박막트랜지스터 어레이 부분)에 적당량의 액정(2)을 고르게 적하한다. 이때, 상기 액정(2)은 액정분배장치(100)를 이용하여 일정한 피치(Pitch)와 패턴(Pattern)으로 일정량만큼 균일하게 도팅(Dotting)된다.After cleaning the TFT substrate 1 and the color filter substrate 5 on which the alignment process has been performed, the UV curable seal material 3 having a frame shape without a liquid crystal injection hole in the TFT substrate 1 is formed in a predetermined thickness. Is applied, and an appropriate amount of the liquid crystal 2 is evenly added to the inside of the seal material 3 (a thin film transistor array portion). In this case, the liquid crystal 2 is uniformly doted by a predetermined amount with a constant pitch and pattern using the liquid crystal distribution device 100.

다음, 도 2b에 도시된 바와 같이, 진공 챔버(도시되지 않음) 내에서 컬러필터 기판(5)을 상기 씨일재(3)가 인쇄된 TFT 기판(1)위에 위치시킨 다음, 합착함으로써 액정패널을 형성한다.Next, as shown in FIG. 2B, the color filter substrate 5 is placed on the TFT substrate 1 on which the seal material 3 is printed in a vacuum chamber (not shown), and then bonded to the liquid crystal panel. Form.

그런 다음, 도면에는 도시하지 않았지만, 진공 챔버 내를 대기압으로 복원하면 상기 합착된 TFT 기판(1) 및 컬러필터 기판(5)이 챔버 내와 기판 사이의 압력차로 인하여 기판이 가압되면서 TFT 기판(1)과 컬러필터 기판(5) 사이에 액정(2)이 충진되어 액정층을 이룬다. 그런 다음, 상기 씨일재(3)의 도포 영역에 UV 광원을 이동시키면서 조사하여 씨일재(3)를 경화시킨다.Then, although not shown in the drawing, restoring the inside of the vacuum chamber to atmospheric pressure causes the bonded TFT substrate 1 and the color filter substrate 5 to pressurize the substrate due to the pressure difference between the chamber and the substrate. ) And the color filter substrate 5 are filled with the liquid crystal 2 to form a liquid crystal layer. Then, the sealing material 3 is cured by irradiating the application area of the sealing material 3 while moving the UV light source.

이어서, 액정(2)이 충진된 액정패널을 절단하여 다수의 액정단위패널을 형성하고, 상기 다수의 액정단위패널의 외관 및 전기적 점등검사를 수행하여 불량 여부를 판단함으로써 액정표시장치를 제조한다.Subsequently, the liquid crystal panel in which the liquid crystal 2 is filled is cut to form a plurality of liquid crystal unit panels, and a liquid crystal display device is manufactured by determining whether or not a defect is performed by performing external appearance and electrical lighting tests of the plurality of liquid crystal unit panels.

상기 외관 검사는 액정단위패널에 전기적 연결이 안된 상태에서의 액정 배향 및 충진된 상태 등을 검사하는 공정이고, 상기 전기적 점등검사는 일정 전압을 인가하는 전압 단자를 구비하는 A/P(Auto/Probe)장비를 이용하는 것으로, 상기 액정단위패널의 TFT 기판에 형성된 게이트 라인(Gate Line)과 데이터 라인(Data Line)에 상기 전압 단자를 전기적으로 연결함으로써 패널의 전기적 불량 검사, 예를 들면 셀 갭 불량이나 액정 주입 불량(미주입, 리크 등)을 검사하는 공정이다.The external inspection is a process of inspecting a liquid crystal alignment and a filled state in a state in which no electrical connection is made to the liquid crystal unit panel, and the electrical lighting test is A / P (Auto / Probe) having a voltage terminal applying a predetermined voltage. By using the equipment, by electrically connecting the voltage terminal to a gate line (Gate Line) and a data line (Data Line) formed on the TFT substrate of the liquid crystal unit panel to check the electrical failure of the panel, for example, cell gap failure or It is a process of inspecting liquid crystal injection defect (non-injection, leak, etc.).

이러한 액정적하방식은 최적의 적하량으로 액정(2)이 적하되는 것이 매우 중요하다. 즉, 상기 액정(2)이 적하되는 양이 부족하면 상기 액정층내에 기포가 생기게 되고, 과다하면 표시 불균일 현상 등이 발생한다.In such a liquid crystal dropping method, it is very important that the liquid crystal 2 is dropped in an optimal dropping amount. In other words, when the amount of the liquid crystal 2 dropping is insufficient, bubbles are generated in the liquid crystal layer, and when the liquid crystal layer is excessive, display unevenness occurs.

따라서, 본 발명의 실시예에서는 다음과 같은 액정분배장치를 이용함으로써 액정을 적하한다.Therefore, in the embodiment of the present invention, the liquid crystal is dropped by using the following liquid crystal distribution device.

도 3에 도시된 바와 같이, 액정분배장치(100)는 액정(2)을 담는 용기로서 내측에 배치된 폴리에틸렌 소재의 PE 용기(11)와 그 외부에 배치되어 상기 PE 용기(11)를 지지하는 외부 케이스(도시되지 않음)를 포함한다. 액정분배장치(100)는 PE 용기(11)의 체결부위(11a)와 연결되는 제 1 체결부(12) 및 제 2 체결부(14)와, 상기 제 1, 제 2 체결부(12, 14) 사이에 액정(2) 주입 통로인 니들 시트(Needle Sheet, 13)와, 니들 시트(13)를 통해 흘러나오는 액정(2)을 기판상에 투여하는 노즐(15)이 도시되어 있다. 여기서, 제 1, 제 2 체결부(12, 14)는 일측부는 숫나사로 되어 있고, 타측부는 암나사로 되어 있다. As shown in FIG. 3, the liquid crystal dispensing apparatus 100 is a container for holding the liquid crystal 2, and a PE container 11 of polyethylene material disposed inside and supporting the PE container 11 disposed outside thereof. An outer case (not shown). The liquid crystal distribution device 100 includes a first fastening part 12 and a second fastening part 14 connected to the fastening part 11a of the PE container 11, and the first and second fastening parts 12 and 14. The needle sheet 13, which is a liquid crystal 2 injection passage, and the nozzle 15 for administering the liquid crystal 2 flowing out through the needle sheet 13 on the substrate are shown. Here, the first and second fastening portions 12 and 14 have male screws on one side and female screws on the other side.                     

상기 체결부위(11a)는 암나사로 되어 있어 제 1 체결부(12)의 일측부(12a)와 체결되고, 제 1 체결부(12)의 타측부(12b)는 제 2 체결부(14)의 일측부(14a)와 접속되어 있다. 이때, 상기 제 1 체결부(12)의 타측부(12b)와 제 2 체결부(14)의 일측부(14a)와의 체결시 니들 시트(13)가 맞물려 체결된다.The fastening portion 11a is a female screw, and is fastened to one side portion 12a of the first fastening portion 12, and the other side portion 12b of the first fastening portion 12 is connected to the second fastening portion 14. It is connected with one side part 14a. At this time, the needle sheet 13 is engaged by engaging with the other side portion 12b of the first fastening portion 12 and one side portion 14a of the second fastening portion 14.

그리고, 노즐(15)은 제 2 체결부(14)의 타측부(14b)와 접속된다.The nozzle 15 is connected to the other side 14b of the second fastening portion 14.

이때, 상기 액정(2)을 적하하는 최종 통로가 되는 노즐(15)은 금속으로 되어 있는데, 이를 통해 액정(2)이 분배될 때 도 4에 도시된 바와 같이, 액정뭉침현상(20)이 발생할 수 있다. 액정뭉침현상(20)이란, 금속인 노즐(15)을 통해 액정(2)이 분배될 때, 금속과 액정과의 높은 젖음성(Wettability), 친수성(Hydrophilic)으로 인해 액정(2)이 노즐(15) 단부의 외표면상으로 타고 올라가는 현상을 말한다.At this time, the nozzle 15 serving as the final passage for dropping the liquid crystal 2 is made of metal, and as shown in FIG. 4 when the liquid crystal 2 is distributed through this, the liquid crystal aggregation phenomenon 20 may occur. Can be. When the liquid crystal 2 is distributed through the nozzle 15 which is a metal, the liquid crystal agglomeration phenomenon 20 is due to the high wettability and hydrophilicity between the metal and the liquid crystal. ) It is the phenomenon of riding on the outer surface of the end.

이러한 액정뭉침현상(20)으로 인하여 노즐(15)과 액정(2)과의 표면 마찰에 비해 중력의 영향을 받을 만큼의 액정량이 되어야 TFT 기판(1)으로 적하된다. 이것은 직접 액정 적하량의 불일치(2a)를 유발시키는 요인이 된다.Due to the liquid crystal agglomeration phenomenon 20, the amount of the liquid crystal to be influenced by gravity as compared to the surface friction between the nozzle 15 and the liquid crystal 2 is dropped into the TFT substrate (1). This is a factor causing direct mismatch 2a of the liquid crystal dropping amount.

따라서, 이러한 문제점을 방지하기 위해 상기 노즐(15)은 도 3과 같이, 액정 배출구를 가지면서 외표면상에는 다수의 돌기(200a)가 형성된 테플론(Teflon) 코팅(Coating)막(200)이 형성되어 있다.Accordingly, in order to prevent such a problem, the nozzle 15 has a liquid crystal discharge port and a Teflon coating film 200 having a plurality of protrusions 200a formed on an outer surface thereof, as shown in FIG. 3. have.

여기서, 상기 테플론(Teflon)은 미국 듀폰(DUPONT)사의 등록 상표로서 다른 고분자 화합물이 갖지 못한 독특한 물리적, 화학적 특성을 지닌 불소수지의 상품명이다. Here, Teflon is a registered trademark of DuPont, USA, and is a trade name of fluorocarbon resin having unique physical and chemical properties that other polymer compounds do not have.                     

테플론의 기본 형태는 PTFE(Ploy Tetra Fluoro Ethylene), FEP(Flourinated Ethylene Prophylene) 및 PFA(Poly Fluoro Alkoxy)의 3 가지 형태로 기본을 이루며, 그 외 특수 유기화합물을 첨가할 수도 있다.The basic form of Teflon consists of three types: PTFE (Ploy Tetra Fluoro Ethylene), Flourated Ethylene Propylene (FEP), and Poly Fluoro Alkoxy (PFA), and other special organic compounds may be added.

이러한 테플론을 도료화하여 철, 스테인레스, 알루미늄, 동, 유리, 고무, 세라믹, 플라스틱 등 기존 재료에 스프레이(Spray) 및 분말정전도장, 건조, 가열, 소성의 공정으로 거쳐 테플론 코팅막(200)을 형성한다.By coating such Teflon, Teflon coating film 200 is formed through spraying, powder electrostatic coating, drying, heating, and firing on existing materials such as iron, stainless steel, aluminum, copper, glass, rubber, ceramic, and plastic. do.

상기 테플론 코팅막(200)은 비접착성, 내열성, 내약품성, 내마모성, 전기절연성 등 테플론 고유의 특성을 갖는다.The Teflon coating layer 200 has intrinsic properties such as non-adhesiveness, heat resistance, chemical resistance, abrasion resistance, and electrical insulation.

특히, 테플론 코팅막(200)은 거의 모든 물질이 달라붙지 않는 비접착성, 저마찰계수, 물이나 기름에 친하지 않는 비유성의 특성을 가지는데, 이러한 특성으로 인하여 액정(2)과 노즐(15)이 낮은 젖음성 관계를 갖도록 하여 액정 적하량을 균일하게 한다.In particular, the Teflon coating film 200 has characteristics of non-adhesion, low friction coefficient, and non-oil-related properties that are hardly adhered to almost all materials. The liquid crystal dropping amount is uniformed by having a low wettability relationship.

즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 테플론 코팅막(200)으로 인해 노즐(15)의 외표면과 상기 외표면에 접촉한 액정 방울(2b)이 높은 접촉각(θ)을 가지게 된다.That is, as shown in FIG. 5, the outer surface of the nozzle 15 and the liquid crystal droplet 2b in contact with the outer surface have a high contact angle θ due to the Teflon coating film 200.

즉, 테플론 코팅막(200)과 액정(2)은 낮은 젖음성과 낮은 표면 에너지를 가지게 되어 액정(2)과 테플론 코팅막(200) 표면의 마찰력이 작아지기 때문에 액정(2)이 중력에만 영향을 받게되므로, 액정(2)이 분배될 시점에 분배가 이루어져 일정량을 도팅할 수 있게 된다.  That is, since the Teflon coating film 200 and the liquid crystal 2 have low wettability and low surface energy, and the frictional force between the surfaces of the liquid crystal 2 and the Teflon coating film 200 becomes small, the liquid crystal 2 is only affected by gravity. When the liquid crystal 2 is dispensed, distribution is performed so that a certain amount can be doped.

접촉각(θ)이란 액체가 고체 표면 위에서 열역학적으로 평형을 이룰 때 이루는 각을 말하는 것으로, 온도, 시간, 부피, 밀도, 중력, 방울 크기, 표면거칠기에 변수 요인이 있으며, 특히, 표면 거칠기에 많은 영향을 받는다.Contact angle (θ) refers to the angle formed when a liquid is thermodynamically equilibrated on a solid surface, and there are variables such as temperature, time, volume, density, gravity, droplet size, and surface roughness. Receive.

테플론 코팅막(200)의 표면에 돋아난 돌기(200a)의 평균 거칠기 값을 RA라 하면, RA < 0.1㎛일 때에는 접촉각(θ)의 변화가 거의 없으며, RA > 0.1㎛ 일 때 상기 접촉각(θ)은 변이한다.When the average roughness value of the protrusions 200a protruding from the surface of the Teflon coating film 200 is RA, there is almost no change in the contact angle θ when RA <0.1 μm, and the contact angle θ when RA> 0.1 μm. Makes variation.

테플론 코팅막(200)은 표면이 소수성(Hydrophobic)이기 때문에 액정 방울(2b)끼리 응집하려는 효과가 있어 평균 거칠기 값(RA)이 크면 클수록 접촉각이 크다.Since the surface of the Teflon coating film 200 is hydrophobic, the liquid crystal droplets 2b have an effect of agglomeration between the liquid crystal drops 2b, so that the larger the average roughness value RA, the larger the contact angle.

반면, 노즐(15)과 같은 금속은 표면이 친수성이기 때문에 액정 방울(2b)이 노즐(15) 표면에 접착하려는 특성이 강해 접촉각(θ)이 작아지며, 평균 거칠기 값(RA)이 크면 클수록 액정 방울(2b)의 표면적이 늘어나는 효과가 있어 접촉각(θ)이 더 작아진다.On the other hand, since the surface of the metal such as the nozzle 15 is hydrophilic, the liquid crystal droplet 2b is strongly adhered to the surface of the nozzle 15 so that the contact angle θ becomes small, and the larger the average roughness value RA, the larger the liquid crystal. The surface area of the drop 2b is increased, and the contact angle θ becomes smaller.

이러한 특성을 이용하여 노즐(15) 단부의 외표면의 거칠기를 조절하여 저표면에너지/ 저마찰계수/ 고미끄럼성/ 저접착성/ 고접촉각 등의 성질을 강화하여 종래의 액정의 뭉침을 방지할 수 있다.By using these characteristics, by controlling the roughness of the outer surface of the end of the nozzle 15 to enhance the properties such as low surface energy / low friction coefficient / high sliding / low adhesion / high contact angle to prevent the aggregation of the conventional liquid crystal Can be.

따라서, 노즐(15) 외표면에 코팅된 돌기(200a)를 갖는 테플론 코팅막(200)에 의해 액정 방울(2b)과 테플론 코팅막(200) 표면의 마찰력이 최소화 되도록 표면 거칠기를 주어 적하 정밀도를 향상시킬 수 있다.Therefore, the surface roughness is enhanced by the Teflon coating film 200 having the protrusion 200a coated on the outer surface of the nozzle 15 to minimize the frictional force between the surface of the liquid crystal droplet 2b and the Teflon coating film 200, thereby improving dropping accuracy. Can be.

이러한 균일하게 액정(2)을 분배할 수 있는 액정분배장치(100)를 이용하여 상기 액정적하방식을 적용한 액정 셀 공정을 실시하면 적하 정밀도의 향상에 의하여 액정층내의 기포 발생 및 표시 불균일 현상 등을 용이하게 조절할 수 있다.When the liquid crystal cell process using the liquid crystal dropping method is performed using the liquid crystal distributing apparatus 100 capable of uniformly distributing the liquid crystal 2, bubbles in the liquid crystal layer and uneven display of the liquid crystal layer are improved by dropping accuracy. It can be adjusted easily.

본 발명의 실시예에서는 액정분배장치(100)의 노즐(15)에 대해서만 설명하였지만, 다른 용제를 갖는 분배장치에도 적용 가능하다.In the embodiment of the present invention, only the nozzle 15 of the liquid crystal dispensing apparatus 100 has been described, but it is also applicable to a dispensing apparatus having another solvent.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, and it is common in the art that various substitutions, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be evident to those who have knowledge of.

상술한 본 발명의 액정분배장치에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.According to the liquid crystal distribution device of the present invention described above has the following effects.

첫째, 액정적하방식을 이용하여 짧은 시간 동안에 직접 기판상에 액정을 적하하기 때문에 대면적의 액정표시소자의 액정층 형성도 매우 신속하게 진행할 수 있게 될 뿐만 아니라, 필요한 양의 액정만을 직접 기판상에 적하하기 때문에 액정의 소모를 최소화할 수 있게 되므로 액정표시소자의 제조비용을 대폭 절감할 수 있다는 장점을 가진다.First, since the liquid crystal is directly dropped onto the substrate for a short time by using the liquid crystal dropping method, the formation of the liquid crystal layer of the large area liquid crystal display device can be performed very quickly, and only the required amount of liquid crystal is directly deposited on the substrate. Since the dropping can minimize the consumption of the liquid crystal has the advantage that can significantly reduce the manufacturing cost of the liquid crystal display device.

둘째, 액정분배장치의 노즐 단부의 외표면의 거칠기를 조절하여 저표면에너지/ 저마찰계수/ 고미끄럼성/ 저접착성/ 고접촉각 등의 성질을 강화함으로써, 종래의 액정의 뭉침을 방지할 수 있다.Second, by adjusting the roughness of the outer surface of the nozzle end of the liquid crystal distribution device to enhance the properties such as low surface energy / low friction coefficient / high slip / low adhesion / high contact angle, it is possible to prevent the aggregation of the conventional liquid crystal have.

이에 의해, 액정 적하 방식을 적용한 액정 셀 공정을 상기와 같은 액정분배장치를 이용하여 실시하면 적하 정밀도의 향상에 의하여 액정층내의 기포 발생 및 표시 불균일 현상 등을 용이하게 조절할 수 있다.As a result, when the liquid crystal cell process to which the liquid crystal dropping method is applied is performed using the liquid crystal distributing device as described above, bubble generation and uneven display in the liquid crystal layer can be easily controlled by the dropping accuracy.

따라서, 안정된 액정 패널을 제조함으로써 화면 품위 및 수율 향상을 꾀할 수 있다.Therefore, screen quality and yield improvement can be aimed at by manufacturing a stable liquid crystal panel.

Claims (5)

액정을 담는 용기와,A container containing liquid crystal, 상기 용기와 연결된 액정토출의 개폐부와,An opening and closing portion of the liquid crystal discharge connected to the container; 상기 개폐부와 연결되어 있고, 액정 배출구를 가지며, 외표면상에 다수의 돌기를 갖는 불소수지막을 구비한 노즐을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 액정분배장치.And a nozzle connected to the opening and closing portion, the nozzle having a liquid crystal discharge port and having a fluorine resin film having a plurality of protrusions on an outer surface thereof. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 불소수지막은 테플론 코팅막인 것을 특징으로 하는 액정분배장치.The fluorine resin film is a liquid crystal distribution device, characterized in that the Teflon coating film. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 개폐부는 상기 용기와 연결되는 제 1 체결부와,The opening and closing portion and the first fastening portion connected to the container; 상기 제 1 체결부와 연결되는 제 2 체결부와,A second fastening part connected to the first fastening part; 상기 제 1, 제 2 체결부 사이에 결합되어 액정주입 통로의 역할을 하는 니들시트로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정분배장치.And a needle sheet coupled between the first and second fastening portions to serve as a liquid crystal injection passage. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 다수의 돌기의 평균 표면 거칠기는 적어도 0.1㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 액정분배장치.The average surface roughness of the plurality of projections is at least 0.1㎛ characterized in that the liquid crystal distribution device. 삭제delete
KR1020020033262A 2002-06-14 2002-06-14 Liquid crystal dispensing apparatus KR100859471B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020033262A KR100859471B1 (en) 2002-06-14 2002-06-14 Liquid crystal dispensing apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020033262A KR100859471B1 (en) 2002-06-14 2002-06-14 Liquid crystal dispensing apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20030095716A KR20030095716A (en) 2003-12-24
KR100859471B1 true KR100859471B1 (en) 2008-09-23

Family

ID=32387020

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020033262A KR100859471B1 (en) 2002-06-14 2002-06-14 Liquid crystal dispensing apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100859471B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101674601B1 (en) * 2010-08-11 2016-11-23 삼성디스플레이 주식회사 Surface modification method of nozzle for liquid dispenser
KR101309276B1 (en) * 2011-12-26 2013-09-16 주식회사 나래나노텍 Improved Cover Device for Preventing Leak from Sides of Nozzle Device, and Nozzle Device and Coating Apparatus Having the Same

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0679213A (en) * 1992-09-04 1994-03-22 Tosoh Corp Nozzle for dispenser

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0679213A (en) * 1992-09-04 1994-03-22 Tosoh Corp Nozzle for dispenser

Also Published As

Publication number Publication date
KR20030095716A (en) 2003-12-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100207506B1 (en) Lcd device manufacturing method
US7483114B2 (en) Liquid crystal display device, substrate bonding apparatus, and method for fabricating liquid crystal display device using the same
USRE45727E1 (en) Method and apparatus for manufacturing liquid crystal display device using serial production processes
KR100859471B1 (en) Liquid crystal dispensing apparatus
US7372511B2 (en) Device for controlling spreading of liquid crystal and method for fabricating an LCD
US7273077B2 (en) Apparatus and method of dispensing liquid crystal
JP2003295144A (en) Processing line for liquid crystal display device and method of manufacturing liquid crystal display device using the same
US6894759B2 (en) Apparatus for measuring dispensing amount of liquid crystal drops and method for manufacturing liquid crystal display device using the same
JP2008181061A (en) Liquid crystal material discharge device and method for manufacturing nozzle
US6712883B2 (en) Apparatus and method for deaerating liquid crystal
KR20030091541A (en) seal pattern for liquid crystal display device and fabrication method of liquid crystal display device using it
KR100731040B1 (en) Manufacturing method of liquid crystal display device
KR20030095889A (en) Lc dispensing apparatus and method for manufacturing liquid crystal display device using it
US7100778B2 (en) Cleaning jig
KR100698040B1 (en) Portable jig
KR20010046985A (en) liquid crystal injection device and liquid crystal injection method
KR100875184B1 (en) Liquid crystal diffusion control device and manufacturing method of liquid crystal display device using the same
KR100847818B1 (en) Processing line of liquid crystal display device and manufacturing method using it
KR20050073658A (en) Liquid crystal display device and method for manufacturing the same
KR20030095722A (en) Lcd, lcd inspection apparatus and lcd manufacturing method using it
KR20030095655A (en) Method for manufacturing liquid crystal display device
KR101366987B1 (en) Method for manufacturing color filter substrate
JP2010036551A (en) Screen printing device, screen printing method, and manufacturing method of liquid crystal panel
KR20040001178A (en) Screen mask and method for manufacturing liquid crystal display device using it
KR20030095719A (en) Auto/probe inspection equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130619

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140630

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150818

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160816

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170816

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180816

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190814

Year of fee payment: 12