KR101366987B1 - Method for manufacturing color filter substrate - Google Patents

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Abstract

액정 표시장치에 구비되는 컬러 필터 기판의 제조 방법이 개시된다. 컬러 필터 기판의 제조 방법은 기판을 스테이지 상에 안착시키는 단계, 기판의 상부에 기판과 이격되도록 마스크를 배치하는 단계, 마스크 상부에 배치된 노즐 내부로 안료액을 공급하는 단계, 안료액이 극성을 띠는 안료 액적이 되도록 노즐에 극성의 전압을 인가하는 단계, 및 안료 액적을 기판 상에 분무하는 단계를 포함한다.Disclosed is a method of manufacturing a color filter substrate provided in a liquid crystal display. A method of manufacturing a color filter substrate includes mounting a substrate on a stage, arranging a mask on the substrate so as to be spaced apart from the substrate, supplying a pigment liquid into a nozzle disposed on the mask, and the pigment liquid has a polarity. The strips include applying a polarity voltage to the nozzle to cause the pigment droplets, and spraying the pigment droplets onto the substrate.

정전 분무, 액적, 블랙 매트릭스, 컬러 필터, 오버코트막 Electrostatic spray, droplets, black matrix, color filter, overcoat

Description

컬러 필터 기판의 제조 방법 {METHOD FOR MANUFACTURING COLOR FILTER SUBSTRATE}Manufacturing Method of Color Filter Substrate {METHOD FOR MANUFACTURING COLOR FILTER SUBSTRATE}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 컬러 필터 기판을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for schematically explaining a color filter substrate according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 컬러 필터 기판을 제조하기 위한 정전 분무의 원리를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.2 is a view for schematically explaining the principle of electrostatic spraying for manufacturing the color filter substrate shown in FIG.

도 3은 도 2에 도시된 노즐에 극성의 전압 인가 시 액적의 분무 각도를 설명하기 도면이다.3 is a view for explaining the spray angle of the droplet when the polarity voltage is applied to the nozzle shown in FIG.

도 4는 도 2에 도시된 노즐 및 그와 인접하도록 배치된 가드판에 동일 극성의 전압 인가 시 액적의 분무 각도를 설명하기 도면이다.4 is a view for explaining the spray angle of the droplet when the voltage of the same polarity is applied to the nozzle and the guard plate disposed adjacent to the nozzle shown in FIG.

도 5는 도 2에 도시된 노즐 및 그와 인접하도록 배치된 가드판에 다른 극성의 전압 인가 시 액적의 분무 각도를 설명하기 도면이다.FIG. 5 is a view for explaining spray angles of droplets when voltages of different polarities are applied to the nozzles shown in FIG. 2 and guard plates disposed adjacent thereto.

도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 정전 분무 장치의 구성을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.6 is a view for schematically explaining the configuration of the electrostatic spraying device according to the first embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 컬러 필터 기판의 제조 방법을 개략적으로 설명하기 위한 공정 순서도이다.7 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a color filter substrate according to a first embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 정전 분무 장치의 구성을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.8 is a view for schematically explaining the configuration of an electrostatic spraying device according to a second embodiment of the present invention.

도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 컬러 필터 기판의 제조 방법을 개략적으로 설명하기 위한 순서도이다.9 is a flowchart schematically illustrating a method of manufacturing a color filter substrate according to a second embodiment of the present invention.

{도면의 주요부분에 대한 부호의 설명}DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS OF THE DRAWINGS FIG.

100: 컬러 필터 기판 110: 기판100: color filter substrate 110: substrate

120: 블랙 매트릭스 130: 오버코트막120: black matrix 130: overcoat film

200: 정전 분무 장치 210: 스테이지200: electrostatic spraying device 210: stage

220: 노즐 230: 액체 공급 장치220: nozzle 230: liquid supply device

240: 고전압 공급기 250: 마스크240: high voltage supply 250: mask

R/G/B: 적/녹/청색 컬러 필터R / G / B: Red / Green / Blue Color Filter

본 발명은 액정 표시장치에 구비되는 컬러 필터 기판의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a color filter substrate provided in a liquid crystal display device.

정보화 기술이 발달함에 따라 사용자와 정보간의 연결 매체인 표시장치의 시장이 커지고 있다. 이에 부응하여 액정 표시장치(Liquid Crystal Display: LCD), 유기전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED) 및 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP) 등과 같은 평판 표시장치(Flat Panel Display: FPD)의 사용이 증가하고 있다. 그 중 고해상도를 구현할 수 있고 소형화뿐만 아니 라 대형화가 가능한 액정 표시장치가 널리 사용되고 있다.As the information technology is developed, the market of display devices, which is a connection medium between users and information, is getting larger. In response, flat panel displays (FPDs) such as liquid crystal displays (LCDs), organic light emitting diodes (OLEDs), and plasma display panels (PDPs), etc. Usage is increasing. Among them, a liquid crystal display capable of realizing high resolution and miniaturization as well as a large size is widely used.

액정 표시장치는, 일반적으로, 액정의 전기 광학 특성을 이용하여 화상을 표시할 수 있다.Generally, a liquid crystal display device can display an image using the electro-optical characteristic of a liquid crystal.

이를 위해, 액정 표시장치는 액정을 사이에 두고 서로 대향하는 컬러 필터 기판 및 박막 트랜지스터 기판을 포함할 수 있다.To this end, the liquid crystal display device may include a color filter substrate and a thin film transistor substrate which are opposed to each other with a liquid crystal therebetween.

컬러 필터 기판은 액정 표시장치를 통해 디스플레이되는 화상의 색을 구현할 수 있다.The color filter substrate may implement a color of an image displayed through the liquid crystal display.

이를 위해, 컬러 필터 기판은 제1 기판 상에 형성된 블랙 매트릭스, 컬러 필터 및 오버코트(overcoat)막을 포함할 수 있다.To this end, the color filter substrate may include a black matrix, a color filter, and an overcoat layer formed on the first substrate.

박막 트랜지스터 기판은 액정에 상기 액정을 구동하기 위한 구동 전압을 제공할 수 있다.The thin film transistor substrate may provide a driving voltage to the liquid crystal to drive the liquid crystal.

이를 위해, 박막 트랜지스터 기판은 제2 기판 상에 형성된 박막 트랜지스터 및 화소 전극을 포함할 수 있다. 또한, 박막 트랜지스터 기판은 공통 전극을 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 공통 전극은 컬러 필터 기판에 형성될 수도 있다.To this end, the thin film transistor substrate may include a thin film transistor and a pixel electrode formed on the second substrate. Further, the thin film transistor substrate may further include a common electrode. Here, the common electrode may be formed on the color filter substrate.

전술한 구성을 가지는 종래의 액정 표시장치에서 컬러 필터 기판의 블랙 매트릭스, 컬러 필터 및 오버코트막 각각은 제1 기판의 전면에 걸쳐 원하는 두께로 균일하게 형성되어야 각각의 후속되는 공정에서 불균일한 두께에 기인한 불량이 발생하지 않는다. 여기서, 불균일한 두께에 기인한 불량으로는, 예를 들어, 컬러 안료의 응집에 따른 돌기 발생 등이 있다.In the conventional liquid crystal display having the above-described configuration, each of the black matrix, the color filter, and the overcoat layer of the color filter substrate should be uniformly formed to the desired thickness over the entire surface of the first substrate due to the non-uniform thickness in each subsequent process. One failure does not occur. Here, as defects resulting from non-uniform thickness, protrusion generation by aggregation of a color pigment, etc. are mentioned, for example.

제1 기판 상에, 예를 들어, 균일한 두께를 갖는 컬러 필터를 형성하려면, 우 선, 기판 상에 컬러 안료를 포함하는 컬러 안료액이 균일한 두께로 도포될 필요가 있다. 여기서, 상기 컬러 안료액의 경화로 인해 컬러 필터가 형성될 수 있다.In order to form, for example, a color filter having a uniform thickness on the first substrate, first, it is necessary to apply a color pigment liquid containing a color pigment on the substrate to a uniform thickness. Here, the color filter may be formed due to the curing of the color pigment liquid.

이를 위해, 종래에는 기판의 중앙부에 정량의 컬러 안료액을 붓고, 상기 기판을 회전시킴으로써 발생하는 원심력을 이용하는 스핀 코팅(spin coating) 방법이 주로 사용되고 있다.To this end, conventionally, a spin coating method using a centrifugal force generated by pouring a quantitative color pigment liquid into a central portion of a substrate and rotating the substrate is mainly used.

그러나, 상기 스핀 코팅 방법은 컬러 안료액의 소모량이 매우 많다라는 문제점이 있다. 또한, 상기 스핀 코팅 방법은 대면적의 기판에 적용하기가 어렵다라는 문제점이 있다. 그리고, 상기 스핀 코팅 방법을 사용할 시, 컬러 안료액에 포함된 컬러 안료가 위치에 따라 불균일하게 분포될 수 있다라는 문제점이 있다.However, the spin coating method has a problem that the consumption amount of the color pigment liquid is very high. In addition, the spin coating method has a problem that it is difficult to apply to a large area substrate. And, when using the spin coating method, there is a problem that the color pigment contained in the color pigment liquid may be unevenly distributed according to the position.

이로 인해, 컬러 필터 기판의 단가가 상승함과 아울러 컬러 필터 기판의 생산성이 악화될 수 있다.For this reason, while the unit cost of a color filter substrate rises, productivity of a color filter substrate may deteriorate.

전술한 문제점들은 비단 컬러 필터의 형성 시에만 나타나는 것이 아니라, 블랙 매트릭스 및 오버코트막 형성시에도 동일하게 나타날 수 있다.The above-mentioned problems are not only seen when forming the color filter, but may also appear when forming the black matrix and the overcoat film.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 기판의 전면에 걸쳐 블랙 매트릭스, 컬러 필터 및 오버코트막 중 적어도 어느 하나가 균일한 두께를 갖도록 할 수 있는 컬러 필터 기판의 제조 방법을 제공하고자 하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a color filter substrate capable of making at least one of the black matrix, the color filter, and the overcoat film have a uniform thickness over the entire surface of the substrate.

또한, 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 컬러 필터 기판의 단가를 절감함과 아울러 생산성을 향상시킬 수 있는 컬러 필터 기판의 제조 방법을 제공하고자 하는 것이다.In addition, another technical problem to be achieved by the present invention is to provide a manufacturing method of a color filter substrate that can improve the productivity while reducing the cost of the color filter substrate.

본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Further technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the above-mentioned technical problems, and other technical problems not mentioned above are clearly understood by those skilled in the art from the following description. It can be understood.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 컬러 필터 기판의 제조 방법은 기판을 스테이지 상에 안착시키는 단계; 상기 기판의 상부에 상기 기판과 이격되도록 마스크를 배치하는 단계; 상기 마스크 상부에 배치된 노즐 내부로 안료액을 공급하는 단계; 상기 안료액이 극성을 띠는 안료 액적이 되도록 상기 노즐에 극성의 전압을 인가하는 단계; 및 상기 안료 액적을 기판 상에 분무하는 단계를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a color filter substrate, the method comprising: seating a substrate on a stage; Disposing a mask on the substrate to be spaced apart from the substrate; Supplying a pigment liquid into a nozzle disposed on the mask; Applying a voltage of polarity to the nozzle such that the pigment liquid is a polarized pigment droplet; And spraying the pigment droplet onto the substrate.

한편, 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 컬러 필터 기판의 제조 방법은 블랙 매트릭스 및 컬러 필터가 형성된 기판을 스테이지 상에 안착시키는 단계; 상기 기판의 상부에 배치된 노즐 내부로 상기 기판 상에 오버코트막을 형성하기 위한 오버코트액을 공급하는 단계; 상기 오버코트액이 극성을 띠는 오버코트 액적이 되도록 상기 노즐에 극성의 전압을 인가하는 단계; 및 상기 오버코트 액적을 기판 상에 분무하는 단계를 포함한다.On the other hand, the method for manufacturing a color filter substrate according to the present invention for achieving the above technical problem comprises the steps of mounting a substrate on which a black matrix and a color filter is formed; Supplying an overcoat liquid to form an overcoat film on the substrate into a nozzle disposed on the substrate; Applying a polarity voltage to the nozzle such that the overcoat liquid is a polar overcoat droplet; And spraying the overcoat droplet onto the substrate.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.The details of other embodiments are included in the detailed description and drawings. Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 컬러 필터 기판의 제조 방법에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a color filter substrate according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 컬러 필터 기판을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for schematically explaining a color filter substrate according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 컬러 필터 기판(100)은 평판 표시장치의 일종인 액정 표시장치에 구비될 수 있다.Referring to FIG. 1, the color filter substrate 100 according to an exemplary embodiment of the present invention may be provided in a liquid crystal display, which is a type of flat panel display.

상기 컬러 필터 기판(100)이 액정 표시장치에 구비될 경우, 상기 컬러 필터 기판(100)은 액정 표시장치를 통해 디스플레이되는 화상의 색을 구현할 수 있다.When the color filter substrate 100 is provided in the liquid crystal display, the color filter substrate 100 may implement a color of an image displayed through the liquid crystal display.

이를 위해, 본 발명의 실시예에 따른 컬러 필터 기판(100)은 기판(110) 상에 형성된 블랙 매트릭스(120), 컬러 필터(R/G/B) 및 오버코트막(130)을 포함할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 컬러 필터 기판(100)은 외부로부터 컬러 필터 기판(100)으로 유입되는 정전기를 방지하기 위한 배면 ITO(Induim Tin Oxide)층을 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 기판(110)은 유리나 플라스틱 등과 같은 투명한 재질을 가질 수 있으나, 이에 국한되지 않는다.To this end, the color filter substrate 100 according to the embodiment of the present invention may include a black matrix 120, a color filter (R / G / B) and an overcoat layer 130 formed on the substrate 110. . In addition, the color filter substrate 100 according to the embodiment of the present invention may further include a back ITO (Induim Tin Oxide) layer for preventing static electricity flowing into the color filter substrate 100 from the outside. Here, the substrate 110 may have a transparent material such as glass or plastic, but is not limited thereto.

블랙 매트릭스(120)는 외부로부터 입사되는 광을 차단할 수 있다.The black matrix 120 may block light incident from the outside.

구체적으로, 블랙 매트릭스(120)는 컬러 필터 기판(100)이 액정 표시장치에 구비될 경우, 외부로부터 입사되는 광이 액정 표시장치의 액정을 제어할 수 없는 영역을 투과하지 못하도록 상기 광을 차단함으로써 액정 표시장치의 콘트라스트를 높일 수 있다.Specifically, when the color filter substrate 100 is provided in the liquid crystal display, the black matrix 120 blocks the light so that the light incident from the outside does not pass through the area where the liquid crystal display cannot control the liquid crystal. The contrast of the liquid crystal display device can be increased.

상기 블랙 매트릭스(120)는 스핀 코팅 방법을 통해 기판(110) 상에 형성되는 것이 아니라 블랙 안료를 포함하는 블랙 안료액의 정전 분무를 통해 형성될 수 있다. 이때, 상기 블랙 안료액의 경화로 블랙 매트릭스(120)가 형성될 수 있으며, 블랙 매트릭스(120)를 형성하기 위해 마스크가 사용될 수 있다.The black matrix 120 may not be formed on the substrate 110 through a spin coating method, but may be formed through electrostatic spraying of a black pigment liquid including a black pigment. In this case, the black matrix 120 may be formed by curing the black pigment solution, and a mask may be used to form the black matrix 120.

컬러 필터(R/G/B)는 외부로부터 입사되는 광을 이용하여 색을 표현할 수 있다.The color filters R / G / B may express colors using light incident from the outside.

구체적으로, 컬러 필터(R/G/B)는 외부로부터 입사되는 광 중에서 특정 파장 대역의 광을 투과시킴으로써 색을 표현할 수 있다.In detail, the color filters R / G / B may express colors by transmitting light having a specific wavelength band among light incident from the outside.

이를 위해, 컬러 필터(R/G/B)는 외부로부터 입사되는 광 중에서 적/녹/청색광 각각을 투과시킴으로써 적/녹/청색 각각을 표현하는 적/녹/청색 컬러 필터(R/G/B)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 적/녹/청색 컬러 필터(R/G/B) 각각을 투과한 적/녹/청색광의 가법혼색을 통해 다양한 색을 구현할 수 있다.To this end, the color filters R / G / B transmit red / green / blue light from the light incident from the outside to express the red / green / blue color filters R / G / B. ) May be included. In this case, various colors may be realized through additive mixing of red / green / blue light transmitted through each of the red / green / blue color filters (R / G / B).

상기 컬러 필터(R/G/B)는 스핀 코팅 방법을 통해 기판(110) 상에 형성되는 것이 아니라 컬러 안료를 포함하는 컬러 안료액의 정전 분무를 통해 형성될 수 있다. 이때, 상기 컬러 안료액의 경화로 인해 컬러 필터(R/G/B)가 형성될 수 있으며, 컬러 필터(R/G/B)를 형성하기 위해 마스크가 사용될 수 있다.The color filters R / G / B may not be formed on the substrate 110 through a spin coating method, but may be formed through electrostatic spraying of color pigment liquids including color pigments. In this case, color filters (R / G / B) may be formed due to the curing of the color pigment liquid, and a mask may be used to form the color filters (R / G / B).

오버코트막(130)은 블랙 매트릭스(120) 및 컬러 필터(R/G/B)가 중첩되는 부위에서 발생하는 컬러 필터(R/G/B)의 단차를 제거할 수 있다. 즉, 오버코트막(130)은 기판(110) 전체를 평탄화시킬 수 있다.The overcoat layer 130 may remove a step of the color filter (R / G / B) generated at a portion where the black matrix 120 and the color filter (R / G / B) overlap. That is, the overcoat layer 130 may planarize the entire substrate 110.

이를 위해, 오버코트막(130)은 블랙 매트릭스(120) 및 컬러 필터(R/G/B)를 덮도록 기판(110)의 전면에 형성될 수 있다.To this end, the overcoat layer 130 may be formed on the entire surface of the substrate 110 to cover the black matrix 120 and the color filters R / G / B.

상기 오버코트막(130)은 스핀 코팅 방법을 통해 기판(110) 상에 형성되는 것이 아니라 오버코트액의 정전 분무를 통해 형성될 수 있다. 이때, 오버코트막(130)이 기판(110)의 전면에 형성될 수 있으므로, 오버코트막(130)의 형성을 위해 별도의 마스크는 필요하지 않을 수 있다.The overcoat layer 130 may not be formed on the substrate 110 through a spin coating method, but may be formed through electrostatic spraying of the overcoat liquid. In this case, since the overcoat layer 130 may be formed on the entire surface of the substrate 110, a separate mask may not be necessary for forming the overcoat layer 130.

전술한 구성을 갖는 본 발명의 실시예에 따른 컬러 필터 기판(100)에서 블랙 매트릭스(120), 컬러 필터(R/G/B) 및 오버코트막(130) 각각은, 상술한 바와 같이, 정전 분무를 통해 형성될 수 있다. 정전 분무를 통해 본 발명의 실시예에 따른 컬러 필터 기판(100)의 제조 방법을 설명하기에 앞서, 도 2를 참조하여 정전 분무의 원리에 대해 개략적으로 설명한다.In the color filter substrate 100 according to the embodiment of the present invention having the above-described configuration, each of the black matrix 120, the color filter R / G / B, and the overcoat layer 130 is electrostatically sprayed as described above. It can be formed through. Prior to describing the method of manufacturing the color filter substrate 100 according to the embodiment of the present invention through the electrostatic spraying, the principle of the electrostatic spraying will be described with reference to FIG. 2.

도 2는 도 1에 도시된 컬러 필터 기판을 제조하기 위한 정전 분무의 원리를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.2 is a view for schematically explaining the principle of electrostatic spraying for manufacturing the color filter substrate shown in FIG.

도 2를 참조하면, 정전 분무(electrostatic spray)란 순수하게 전기력만으로 액체(140)를 작은 액적(150)들로 분산시키는 것을 말한다.Referring to FIG. 2, electrostatic spray refers to dispersing the liquid 140 into small droplets 150 with pure electric force alone.

상기 정전 분무를 이용한 정전 분무 장치에서 미세 모세관 형상의 노즐(160)에 인가되는 극성 전압에 따라 상기 액체(140)가 해당 극성 이온을 갖는 액적(150)들로 쪼개진 후, 기판(170) 상에 분무될 수 있다.In the electrostatic spraying apparatus using the electrostatic spraying, the liquid 140 is split into droplets 150 having the corresponding polar ions according to the polarity voltage applied to the fine capillary nozzle 160, and then on the substrate 170. Can be sprayed.

구체적으로, 예를 들어, 상기 노즐(160)이 양극으로 작용하도록 상기 노즐(160)에 양극의 전압을 걸어주면, 노즐(160) 내부로 유입된 액체(140)에 용해되었던 음이온들이 노즐(160)의 벽면으로 착상 또는 이동함과 아울러 남은 양이온들 이 액체곡면(meniscus)으로 밀려날 수 있다.Specifically, for example, when the voltage of the anode is applied to the nozzle 160 so that the nozzle 160 acts as an anode, the anions that have been dissolved in the liquid 140 introduced into the nozzle 160 are discharged to the nozzle 160. In addition to implanting or moving to the walls of the cyan, the remaining cations can be pushed out to the meniscus.

이때, 노즐(160)에 인가되는 양극의 전압이 커짐에 따라, 액체곡면에 작용하는 전기력과 양이온들의 반발력이 액체(140)의 표면장력 보다 커지게 되어 노즐(160)의 단부에서 액체곡면이 콘 모양을 형성하는데, 이를 콘젯-모드(cone-jet mode)라 한다. 여기서 액체곡면이 콘 모양인 것이 액체콘(liquid cone: 142)이고, 액체콘(142)의 단부에서 표면 전단응력(surface tangential stress)을 받아 일자로 형성된 것이 액주(liquid jet: 144)이다.At this time, as the voltage of the anode applied to the nozzle 160 is increased, the repulsive force of the electric force and the cations acting on the liquid curved surface is greater than the surface tension of the liquid 140 so that the liquid curved surface at the end of the nozzle 160 It forms the shape, which is called the cone-jet mode. Herein, the liquid curved surface is a cone of liquid (liquid cone) 142, and the liquid jet 144 is formed by receiving a surface tangential stress (surface tangential stress) at the end of the liquid cone (142).

상기 액주(144)는 액주(144) 끝에서 액주(144) 표면에 작용하는 표면파의 교란에 의해 소정 크기, 예를 들어, 수십 ㎚ 내지 수십 ㎛의 크기를 갖는 액적(150)으로 깨지게 되고, 깨진 액적(150)들은 기판(170) 상에 분무될 수 있다.The liquid column 144 is broken into droplets 150 having a predetermined size, for example, several tens of nanometers to several tens of micrometers due to disturbance of surface waves acting on the surface of the liquid column 144 at the end of the liquid column 144. Droplets 150 may be sprayed onto substrate 170.

이와 같이, 정전 분무를 통해 기판(170) 상에 분무되는 액적(150)들은 단분산(monodisperse) 분포를 가질 뿐만 아니라 액적(150) 표면이 동일한 극성으로 대전되어 있기 때문에 액적(150)끼리 서로 잘 응집되지 않는다라는 장점이 있다.As such, the droplets 150 sprayed onto the substrate 170 through the electrostatic spray not only have a monodisperse distribution but also the droplets 150 are well-connected with each other because the surface of the droplets 150 is charged with the same polarity. The advantage is that it does not aggregate.

한편, 깨진 액적(150)들이 기판(170) 상에 분무될 시, 그 분무 효율 및 정확성을 높이기 위해 액적(150)의 분무 각도를 조절할 수 있다.Meanwhile, when the broken droplets 150 are sprayed onto the substrate 170, the spray angle of the droplets 150 may be adjusted to increase the spraying efficiency and accuracy.

이를 위해, 상기 노즐(160)과 인접하도록 가드판을 배치한 후, 상기 가드판에 극성의 전압을 인가할 수 있다. 이에 대해, 도 3 내지 도 5를 참조하여 설명한다.For this purpose, after the guard plate is disposed adjacent to the nozzle 160, a polarity voltage may be applied to the guard plate. This will be described with reference to FIGS. 3 to 5.

도 3은 도 2에 도시된 노즐에 극성의 전압 인가 시 액적의 분무 각도를 설명하기 도면이다. 도 4는 도 2에 도시된 노즐 및 그와 인접하도록 배치된 가드판에 동일 극성의 전압 인가 시 액적의 분무 각도를 설명하기 도면이다. 도 5는 도 2에 도시된 노즐 및 그와 인접하도록 배치된 가드판에 다른 극성의 전압 인가 시 액적의 분무 각도를 설명하기 도면이다.3 is a view for explaining the spray angle of the droplet when the polarity voltage is applied to the nozzle shown in FIG. 4 is a view for explaining the spray angle of the droplet when the voltage of the same polarity is applied to the nozzle and the guard plate disposed adjacent to the nozzle shown in FIG. FIG. 5 is a view for explaining spray angles of droplets when voltages of different polarities are applied to the nozzles shown in FIG. 2 and guard plates disposed adjacent thereto.

먼저, 도 3에 도시된 바와 같이, 가드판을 배치하지 않고, 노즐(160)에 해당 극성 전압을 인가한 경우에는 액적(150)은 소정의 분무 각도(θ1)로 기판(170) 상에 분무될 수 있다.First, as shown in FIG. 3, when the polarity voltage is applied to the nozzle 160 without arranging the guard plate, the droplet 150 is sprayed onto the substrate 170 at a predetermined spray angle θ1. Can be.

그런데, 도 4에 도시된 바와 같이, 노즐(160)과 인접하도록 가드판(180)을 배치한 후, 상기 가드판(180)에 노즐(160)과 동일한 극성의 전압을 인가하면, 가드판(180)에서 발생되는 동일한 극성의 외부 전기장에 의해, 액적(150)의 분무 각도(θ2)가 가드판(180)이 배치되지 않았을 때의 분무 각도(θ1)보다 작아질 수 있다.However, as shown in FIG. 4, after the guard plate 180 is disposed adjacent to the nozzle 160, a voltage having the same polarity as that of the nozzle 160 is applied to the guard plate 180. By an external electric field of the same polarity generated at 180, the spray angle θ2 of the droplet 150 may be smaller than the spray angle θ1 when the guard plate 180 is not disposed.

이에 반해, 도 5에 도시된 바와 같이, 노즐(160)과 인접하도록 가드판(180)을 배치한 후, 가드판(180)에 노즐(160)과 다른 극성의 전압을 인가하면, 가드판(180)에서 발생되는 상반되는 극성의 외부 전기장에 의해, 액적(150)의 분무 각도(θ3)가 가드판(180)이 배치되지 않았을 때의 분무 각도(θ1)보다 커질 수 있다.In contrast, as shown in FIG. 5, when the guard plate 180 is disposed adjacent to the nozzle 160, and a voltage having a different polarity than that of the nozzle 160 is applied to the guard plate 180, the guard plate ( Due to the opposite polarity of the external electric field generated at 180, the spray angle θ3 of the droplet 150 may be greater than the spray angle θ1 when the guard plate 180 is not disposed.

한편, 도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 정전 분무 장치의 구성을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다. 도 6에 도시된 정전 분무 장치는 도 1에 도시된 컬러 필터 기판을 제조하기 위해 사용될 수 있다. 이에 대해서는 도 7을 참조하여 후술하기로 한다.On the other hand, Figure 6 is a view for schematically explaining the configuration of the electrostatic spraying apparatus according to the first embodiment of the present invention. The electrostatic spraying device shown in FIG. 6 may be used to manufacture the color filter substrate shown in FIG. 1. This will be described later with reference to FIG.

도 6을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 정전 분무 장치(200)는 스테이지(210), 노즐(220), 액체 공급 장치(230) 및 고전압 공급기(240) 등으로 구성될 수 있다.Referring to FIG. 6, the electrostatic spraying device 200 according to the first embodiment of the present invention may include a stage 210, a nozzle 220, a liquid supply device 230, a high voltage supply 240, and the like. .

스테이지(210)는 상에는 피처리체인 기판(110)이 안착될 수 있다. 상기 스테이지(210)의 상면에는 다수의 진공 흡착구가 형성되어 있으며, 이 진공 흡착구에 의해 기판(110)은 정전 분무 시 스테이지(210) 상에 진공 흡착될 수 있다.On the stage 210, a substrate 110, which is an object to be processed, may be seated. A plurality of vacuum adsorption holes are formed on the upper surface of the stage 210. The vacuum adsorption holes allow the substrate 110 to be vacuum adsorbed onto the stage 210 during electrostatic spraying.

노즐(220)은 금속 재질로 노즐(220) 내부가 미세 모세관 형상을 갖도록 형성될 수 있다. 이러한 노즐(220)은 다수개가 사용될 수 있다. 이는 노즐(220)로 적은 유량의 액체가 공급될 수 있으므로, 이를 해결하기 위함이다. 한편, 상기 액체가 쪼개져 형성된 액적의 분무 각도를 조절하기 위해 상기 노즐(220)과 인접하도록 가드판(180)을 배치할 수 있다.The nozzle 220 may be formed of a metal material such that the inside of the nozzle 220 has a fine capillary shape. A plurality of such nozzles 220 may be used. This is to solve this problem, since a small flow rate of liquid may be supplied to the nozzle 220. Meanwhile, the guard plate 180 may be disposed to be adjacent to the nozzle 220 in order to adjust the spray angle of the droplet formed by splitting the liquid.

액체 공급 장치(230)는 그 내부에 마련된 저장 공간에 액체를 저장할 수 있다. 이때, 액체 공급 장치(230)에 저장된 액체는 펌핑 수단에 의해 노즐(220)로 공급될 수 있다.The liquid supply device 230 may store liquid in a storage space provided therein. In this case, the liquid stored in the liquid supply device 230 may be supplied to the nozzle 220 by the pumping means.

고전압 공급기(240)는, 예를 들어, 외부로부터 입력되는 전원을 사용하여 수 ㎸ 내지 수백 ㎸의 전압을 생성할 수 있다.The high voltage supplyer 240 may generate a voltage of several kilowatts to several hundred kilowatts using, for example, a power input from an external source.

상기 고전압 공급기(240)에서 생성된 양극의 전압은, 예를 들어, 노즐(220), 및 기판(110)의 상부에 기판(110)과 이격되도록 배치된 마스크(250)에 제공될 수 있다.The voltage of the anode generated by the high voltage supplyer 240 may be provided to, for example, a nozzle 220 and a mask 250 disposed to be spaced apart from the substrate 110 on the substrate 110.

이와 같이, 노즐(220) 및 마스크(250)에 동일한 극성을 인가하는 이유는 노즐(220)로부터 분무된 액적의 분무 각도를 조절하기 위함이다. 이의 원리는 가드판이 액적의 분무 각도에 미치는 원리와 동일하므로, 그 상세한 설명은 생략한다. 한 편, 노즐(220) 및 마스크(250)에 다른 극성의 전압을 인가하여도 무방하다.As such, the reason for applying the same polarity to the nozzle 220 and the mask 250 is to adjust the spray angle of the droplet sprayed from the nozzle 220. Since the principle thereof is the same as the principle that the guard plate affects the spray angle of the droplet, its detailed description is omitted. On the other hand, voltages of different polarities may be applied to the nozzle 220 and the mask 250.

상기 고전압 공급기(240)에서 생성된 음극의 전압은 기판(110)에 인가될 수 있다. 여기서, 기판(110)에는 상기 음극의 전압이 인가되는 대신에 접지 전압이 인가되어도 무방하다.The voltage of the cathode generated by the high voltage supplyer 240 may be applied to the substrate 110. Here, the ground voltage may be applied to the substrate 110 instead of the voltage of the cathode.

한편, 도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 컬러 필터 기판의 제조 방법을 개략적으로 설명하기 위한 공정 순서도이다. 도 7은 도 6에 도시된 정전 분무 장치를 사용하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 컬러 필터 기판을 제조하기 위한 제조 공정을 나타낸 순서도이다. 도 7에 도시된 제조 공정 순서도를 통해서는 기판 상에 블랙 매트릭스 및 컬러 필터 적어도 어느 하나를 형성할 수 있으나, 이하에서는 설명의 편리성을 위해 기판 상에 블랙 매트릭스를 형성하는 경우를 예로 들어 설명한다.7 is a flowchart illustrating a method of manufacturing the color filter substrate according to the first embodiment of the present invention. FIG. 7 is a flowchart illustrating a manufacturing process for manufacturing the color filter substrate according to the first embodiment of the present invention using the electrostatic spray apparatus shown in FIG. 6. At least one of the black matrix and the color filter may be formed on the substrate through the manufacturing process flow chart illustrated in FIG. 7. Hereinafter, the black matrix is formed on the substrate for convenience of description. .

도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 컬러 필터 기판(100)을 제조하기 위해, 먼저, 상기 기판(110)을 스테이지(210) 상에 안착시킨다(S100). 여기서, 상기 기판(110)은 스테이지(210) 상에 진공 흡착될 수 있다.6 and 7, in order to manufacture the color filter substrate 100 according to the first embodiment of the present invention, the substrate 110 is first mounted on the stage 210 (S100). Here, the substrate 110 may be vacuum adsorbed on the stage 210.

이어, 기판(110)의 상부에 상기 기판(110)과 이격되도록 마스크(250)를 배치한다(S110). 여기서, 상기 마스크(250)에는 블랙 매트릭스(120)가 형성될 영역과 대응되는 영역이 개구되어 있을 수 있다.Subsequently, the mask 250 is disposed on the substrate 110 to be spaced apart from the substrate 110 (S110). Here, an area corresponding to the area where the black matrix 120 is to be formed may be opened in the mask 250.

이어, 마스크(250) 상부에 배치된 노즐(220) 내부로 안료액, 예를 들어, 블랙 안료액을 공급한다(S120). 여기서, 상기 블랙 안료액은 액체 공급 장치(230)에 기저장되어 있을 수 있으며, 펌핑 수단에 의해 액체 공급 장치(230)로부터 노 즐(220)로 공급될 수 있다. 여기서, 상기 블랙 안료액이 쪼개져 형성되는 블랙 안료 액적(260)의 분무 각도를 조절하기 위해 상기 노즐(220)과 인접하도록 가드판을 배치할 수 있다.Subsequently, a pigment liquid, for example, a black pigment liquid is supplied into the nozzle 220 disposed on the mask 250 (S120). Here, the black pigment liquid may be previously stored in the liquid supply device 230, and may be supplied from the liquid supply device 230 to the nozzle 220 by a pumping means. Here, the guard plate may be disposed to be adjacent to the nozzle 220 to adjust the spray angle of the black pigment droplet 260 formed by splitting the black pigment liquid.

이어, 상기 블랙 안료액이 극성을 띠는 블랙 안료 액적(260)이 되도록 상기 노즐(220)에 극성의 전압을 인가한다(S130). 여기서, 고전압 공급기(240)에서 생성된 양극의 전압이 노즐(220) 및 마스크(250)에 제공될 수 있으며, 고전압 공급기(240)에서 생성된 음극의 전압이 기판(110)에 제공될 수 있으나, 이에 국한되지 않는다.Subsequently, a voltage of polarity is applied to the nozzle 220 such that the black pigment liquid becomes a polarized black pigment droplet 260 (S130). Here, the voltage of the anode generated by the high voltage supplyer 240 may be provided to the nozzle 220 and the mask 250, and the voltage of the cathode generated by the high voltage supplyer 240 may be provided to the substrate 110. It is not limited to this.

이어, 노즐(220)을 통해 상기 블랙 안료 액적(260)을 기판(110) 상에 분무한다(S140). 여기서, 상기 기판(110) 상에 분무된 블랙 안료 액적(260)의 건조를 위해 상기 기판(110)을 가열할 수 있다. 이때, 상기 블랙 안료 액적(260)이 경화됨에 따라 기판(110) 상에 블랙 매트릭스(120)가 형성될 수 있다.Subsequently, the black pigment droplet 260 is sprayed onto the substrate 110 through the nozzle 220 (S140). Here, the substrate 110 may be heated to dry the black pigment droplet 260 sprayed on the substrate 110. In this case, as the black pigment droplet 260 is cured, a black matrix 120 may be formed on the substrate 110.

이와 같은 정전 분무를 사용하면, 블랙 안료 액적(260)끼리 정전기적으로 척력을 가질 수 있다. 이 때문에, 상기 블랙 안료 액적(260)은 기판(110) 상에 균일하게 도포될 수 있으며, 이로 인해 기판(110)의 전면에 걸쳐 균일한 두께를 갖는 블랙 매트릭스(120)를 형성할 수 있다. 결과적으로, 본 발명의 제1 실시예에 따른 컬러 필터 기판(100)의 단가가 절감됨과 아울러 그 생산성이 향상될 수 있다.Using such electrostatic spraying, the black pigment droplets 260 may be electrostatically repulsive. For this reason, the black pigment droplet 260 may be uniformly applied on the substrate 110, thereby forming a black matrix 120 having a uniform thickness over the entire surface of the substrate 110. As a result, the unit cost of the color filter substrate 100 according to the first embodiment of the present invention can be reduced and productivity can be improved.

한편, 도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 정전 분무 장치의 구성을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다. 도 8에 도시된 정전 분무 장치는 본 발명의 실시예에 따른 컬러 필터 기판을 제조하기 위해 사용될 수 있다. 이에 대해서는 도 9를 참조하여 후술하기로 한다. 한편, 도 8에 도시된 정전 분무 장치에서는 마스크가 별도로 배치되지 않는다. 이에 따라, 도 8에 도시된 정전 분무 장치의 구성은 도 6에 도시된 본 발명의 제1 실시예에 따른 정전 분무 장치의 구성과 고전압 공급기를 제외한 나머지가 동일하므로, 중복되는 설명은 생략하고, 그 특징에 대해서만 설명한다.8 is a diagram schematically illustrating a configuration of an electrostatic spraying device according to a second embodiment of the present invention. The electrostatic spraying device shown in FIG. 8 can be used to manufacture a color filter substrate according to an embodiment of the invention. This will be described later with reference to FIG. 9. On the other hand, in the electrostatic spraying device shown in Figure 8, the mask is not disposed separately. Accordingly, since the configuration of the electrostatic spraying device shown in FIG. 8 is the same as the configuration of the electrostatic spraying device according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 6 except for the high voltage supply, overlapping descriptions are omitted. Only its features will be described.

도 8을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 정전 분무 장치(200)는 스테이지(210), 노즐(220), 액체 공급 장치(230) 및 고전압 공급기(240) 등으로 구성될 수 있다.Referring to FIG. 8, the electrostatic spraying device 200 according to the second embodiment of the present invention may include a stage 210, a nozzle 220, a liquid supply device 230, a high voltage supply 240, and the like. .

고전압 공급기(240)는, 예를 들어, 외부로부터 입력되는 전원을 사용하여 수 ㎸ 내지 수백 ㎸의 전압을 생성할 수 있다.The high voltage supplyer 240 may generate a voltage of several kilowatts to several hundred kilowatts using, for example, a power input from an external source.

상기 고전압 공급기(240)에서 생성된 양극의 전압은, 예를 들어, 노즐(220)에 인가될 수 있다.The voltage of the positive electrode generated by the high voltage supplyer 240 may be applied to, for example, the nozzle 220.

상기 고전압 공급기(240)에서 생성된 음극의 전압은 기판(110)에 인가될 수 있다. 여기서, 기판(110)에는 상기 음극의 전압이 인가되는 대신에 접지 전압이 인가되어도 무방하다.The voltage of the cathode generated by the high voltage supplyer 240 may be applied to the substrate 110. Here, the ground voltage may be applied to the substrate 110 instead of the voltage of the cathode.

한편, 도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 컬러 필터 기판의 제조 방법을 개략적으로 설명하기 위한 순서도이다. 도 9는 도 8에 도시된 정전 분무 장치를 사용하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 컬러 필터 기판을 제조하기 위한 제조 공정을 나타낸 순서도이다. 도 9에 도시된 제조 공정 순서도를 통해서는 기판 상에 오버코트막을 형성할 수 있다.9 is a flowchart schematically illustrating a method of manufacturing a color filter substrate according to a second embodiment of the present invention. FIG. 9 is a flowchart illustrating a manufacturing process for manufacturing a color filter substrate according to a second embodiment of the present invention using the electrostatic spray apparatus shown in FIG. 8. Through the manufacturing process flowchart shown in FIG. 9, an overcoat film may be formed on a substrate.

도 8 및 도 9를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 컬러 필터 기판(100)을 제조하기 위해, 먼저, 블랙 매트릭스(120) 및 컬러 필터(R/G/B)가 형성된 기판(110)을 스테이지(210) 상에 안착시킨다(S200). 여기서, 상기 기판(110)은 스테이지(210) 상에 진공 흡착될 수 있다.8 and 9, in order to manufacture the color filter substrate 100 according to the second embodiment of the present invention, first, a substrate on which the black matrix 120 and the color filter R / G / B are formed ( 110 is seated on the stage 210 (S200). Here, the substrate 110 may be vacuum adsorbed on the stage 210.

이어, 상기 기판(110)의 상부에 배치된 노즐(220) 내부로 오버코트액을 공급한다(S210). 여기서, 상기 오버코트액은 액체 공급 장치(230)에 기저장되어 있을 수 있으며, 펌핑 수단에 의해 액체 공급 장치(230)로부터 노즐(220)로 공급될 수 있다. 여기서, 상기 오버코트액이 쪼개져 형성되는 오버코트 액적(270)의 분무 각도를 조절하기 위해 상기 노즐(220)과 인접하도록 가드판을 배치할 수 있다.Subsequently, the overcoat liquid is supplied into the nozzle 220 disposed on the substrate 110 (S210). Here, the overcoat liquid may be previously stored in the liquid supply device 230, and may be supplied from the liquid supply device 230 to the nozzle 220 by a pumping means. Here, the guard plate may be disposed to be adjacent to the nozzle 220 to adjust the spray angle of the overcoat droplet 270 formed by splitting the overcoat liquid.

이어, 상기 오버코트액이 극성을 띠는 오버코트 액적(270)이 되도록 상기 노즐(220)에 극성의 전압을 인가한다(S220). 여기서, 고전압 공급기(240)에서 생성된 양극의 전압이 노즐(220)에 제공될 수 있으며, 고전압 공급기(240)에서 생성된 음극의 전압이 기판(110)에 제공될 수 있으나, 이에 국한되지 않는다.Subsequently, a voltage of polarity is applied to the nozzle 220 such that the overcoat liquid becomes polar overcoat droplet 270 (S220). Here, the voltage of the positive electrode generated by the high voltage supplyer 240 may be provided to the nozzle 220, and the voltage of the negative electrode generated by the high voltage supplyer 240 may be provided to the substrate 110, but is not limited thereto. .

이어, 상기 노즐(220)을 통해 상기 오버코트 액적(270)을 기판(110) 상에 분무한다(S230). 여기서, 상기 기판(110) 상에 분무된 오버코트 액적(270)의 건조를 위해 상기 기판(110)을 가열할 수 있다. 이때, 상기 오버코트 액적(270)이 경화됨에 따라 기판(110) 상에 오버코트막(130)이 형성될 수 있다.Subsequently, the overcoat droplet 270 is sprayed onto the substrate 110 through the nozzle 220 (S230). Here, the substrate 110 may be heated to dry the overcoat droplets 270 sprayed on the substrate 110. In this case, as the overcoat droplet 270 is cured, an overcoat layer 130 may be formed on the substrate 110.

이와 같은 정전 분무를 사용하면, 오버코트 액적(270)끼리 정전기적으로 척력을 가질 수 있다. 이 때문에, 상기 오버코트 액적(270)은 기판(110) 상에 균일하게 도포될 수 있으며, 이로 인해 기판(110)의 전면에 걸쳐 균일한 두께를 갖는 오 버코트막(130)을 형성할 수 있다. 결과적으로, 본 발명의 제2 실시예에 따른 컬러 필터 기판(100)의 단가가 절감됨과 아울러 그 생산성이 향상될 수 있다.Using such electrostatic spraying, the overcoat droplets 270 may be electrostatically repulsive. For this reason, the overcoat droplet 270 may be uniformly coated on the substrate 110, thereby forming an overcoat layer 130 having a uniform thickness over the entire surface of the substrate 110. . As a result, the unit cost of the color filter substrate 100 according to the second embodiment of the present invention can be reduced and productivity can be improved.

한편, 전술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 컬러 필터 기판(100)의 제조 방법에서는 정전 분무를 통한 블랙 매트릭스(120), 컬러 필터(R/G/B) 및 오버코트막(130) 각각의 형성에 대해서 설명하였지만, 이에 국한되지 않으며, 컬러 필터 기판(100)의 배면 ITO층 역시 정전 분무를 통해 형성될 수 있다.On the other hand, as described above, in the manufacturing method of the color filter substrate 100 according to the embodiment of the present invention, each of the black matrix 120, the color filter (R / G / B) and the overcoat layer 130 through electrostatic spraying Although the formation of the present invention has been described, the present invention is not limited thereto, and the back ITO layer of the color filter substrate 100 may also be formed through electrostatic spraying.

아울러, 정전 분무를 적용할 수 있는 모든 분야에 이상에서 언급된 실시예가 응용될 수 있다.In addition, the embodiments mentioned above may be applied to all fields to which the electrostatic spray can be applied.

이상 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of limitation, You will understand.

따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are provided so that those skilled in the art can fully understand the scope of the present invention. Therefore, it should be understood that the embodiments are to be considered in all respects as illustrative and not restrictive, The invention is only defined by the scope of the claims.

본 발명에 따라 정전 분무를 사용하여 컬러 필터 기판을 형성할 시, 액적은 동일한 극성으로 대전되기 때문에 액적끼리 서로 잘 응집되지 않을 수 있다. 이 때문에, 액적이 기판의 전면에 걸쳐 균일하게 분무될 수 있다. 이로 인해, 기판의 전 면에 걸쳐 블랙 매트릭스, 컬러 필터 및 오버코트막 각각은 균일한 두께를 갖도록 형성될 수 있다. 이를 통해, 컬러 필터 기판의 단가를 절감함과 아울러 생산성을 향상시킬 수 있다.When the color filter substrate is formed using the electrostatic spray according to the present invention, the droplets may be charged with the same polarity so that the droplets may not aggregate with each other well. Because of this, droplets can be sprayed uniformly over the entire surface of the substrate. For this reason, each of the black matrix, the color filter, and the overcoat film may be formed to have a uniform thickness over the entire surface of the substrate. Through this, the cost of the color filter substrate can be reduced and productivity can be improved.

Claims (14)

기판을 스테이지 상에 안착시키는 단계;Mounting the substrate on the stage; 상기 기판의 상부에 상기 기판과 이격되도록 마스크를 배치하는 단계;Disposing a mask on the substrate to be spaced apart from the substrate; 상기 마스크 상부에 배치된 노즐 내부로 안료액을 공급하는 단계;Supplying a pigment liquid into a nozzle disposed on the mask; 상기 안료액이 극성을 띠는 안료 액적이 되도록 상기 노즐에 극성의 전압을 인가하는 단계;Applying a voltage of polarity to the nozzle such that the pigment liquid is a polarized pigment droplet; 상기 안료 액적을 기판 상에 분무하는 단계;Spraying said pigment droplets onto a substrate; 상기 안료 액적의 분무 각도를 조절하기 위해 상기 노즐과 인접하도록 가드판을 배치하는 단계; 및Placing a guard plate adjacent the nozzle to adjust the spray angle of the pigment droplets; And 상기 기판 상에 분무된 안료 액적을 건조하기 위해 상기 기판을 가열하는 단계를 포함하되,Heating the substrate to dry pigment droplets sprayed onto the substrate, 상기 마스크 및 상기 가드판에는 상기 노즐에 인가되는 극성의 전압과 동일 극성의 전압 또는 반대 극성의 전압이 인가되고,The mask and the guard plate are applied with a voltage of the same polarity or a voltage of opposite polarity to the voltage of the polarity applied to the nozzle, 상기 기판에는 상기 노즐에 인가되는 극성의 전압과 반대 극성의 전압이 인가되거나 접지 전압이 인가되며,The substrate is applied with a voltage opposite to that of the polarity applied to the nozzle or a ground voltage, 상기 안료액은 상기 기판 상에 블랙 매트릭스를 형성하기 위한 블랙 안료액 또는 상기 기판 상에 컬러 필터를 형성하기 위한 컬러 안료액인 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.And said pigment liquid is a black pigment liquid for forming a black matrix on said substrate or a color pigment liquid for forming a color filter on said substrate. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 블랙 매트릭스 및 컬러 필터가 형성된 기판을 스테이지 상에 안착시키는 단계;Mounting the substrate on which the black matrix and the color filter are formed on the stage; 상기 기판의 상부에 배치된 노즐 내부로 상기 기판 상에 오버코트막을 형성하기 위한 오버코트액을 공급하는 단계;Supplying an overcoat liquid to form an overcoat film on the substrate into a nozzle disposed on the substrate; 상기 오버코트액이 극성을 띠는 오버코트 액적이 되도록 상기 노즐에 극성의 전압을 인가하는 단계;Applying a polarity voltage to the nozzle such that the overcoat liquid is a polar overcoat droplet; 상기 오버코트 액적을 기판 상에 분무하는 단계;Spraying the overcoat droplet onto a substrate; 상기 오버코트 액적의 분무 각도를 조절하기 위해 상기 노즐과 인접하도록 가드판을 배치하는 단계; 및Placing a guard plate adjacent to the nozzle to adjust the spray angle of the overcoat droplet; And 상기 기판 상에 분무된 상기 오버코트 액적을 건조하기 위해 상기 기판을 가열하는 단계를 더 포함하되,Further comprising heating the substrate to dry the overcoat droplets sprayed onto the substrate, 상기 가드판에는 상기 노즐에 인가되는 극성의 전압과 동일 극성의 전압 또는 반대 극성의 전압이 인가되고,The guard plate is applied with the voltage of the same polarity or the voltage of the opposite polarity and the voltage of the polarity applied to the nozzle, 상기 기판에는 상기 노즐에 인가되는 극성의 전압과 반대 극성의 전압이 인가되거나 접지 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.And a voltage of a polarity opposite to that of the polarity applied to the nozzle or a ground voltage is applied to the substrate. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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