KR100850064B1 - Apparatus for suppling power to a semiconductor device manufacturing equipment - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 소자 제조장비의 전원공급장치에 관한 것으로서, 반도체 소자의 제조장비에 전원공급부의 전원을 전원공급라인에 의해 공급하는 전원공급장치에 있어서, 전원공급라인상에 모터드라이버로 전원을 공급하기 위하여 설치되는 모터전용커넥터와, 모터전용커넥터로부터 모터드라이버로 연결되는 모터전용공급라인과, 모터전용공급라인상에 전압을 일정하게 유지시키도록 설치되는 트랜스포머를 포함한다. 따라서, 본 발명은 모터로 전원을 공급시 모터의 토오크나 부하 변화에 따라 초래되는 전압의 불안정이 모터와 함께 동일한 전원공급부로부터 전원을 공급받는 다른 장비에까지 악영향을 미치는 것을 차단시킴으로써 장비의 에러 방지 및 반도체 소자의 수율을 증대시키는 효과를 가지고 있다.The present invention relates to a power supply for a semiconductor device manufacturing equipment, the power supply for supplying the power supply of the power supply unit to the semiconductor device manufacturing equipment by a power supply line, the power supply to the motor driver on the power supply line A motor dedicated connector, which is installed to make a motor, a motor dedicated supply line connected to the motor driver from the motor dedicated connector, and a transformer installed to maintain a constant voltage on the motor dedicated supply line. Accordingly, the present invention is to prevent the error of the equipment by blocking the instability of the voltage caused by the torque or load change of the motor when the power supply to the motor adversely affects other equipment that is powered from the same power supply with the motor and It has the effect of increasing the yield of a semiconductor element.

전원공급장치, 모터드라이버, 트랜스포머, 퓨즈, 과부하스위치 Power Supply, Motor Driver, Transformer, Fuse, Overload Switch

Description

반도체 소자 제조장비의 전원공급장치{APPARATUS FOR SUPPLING POWER TO A SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING EQUIPMENT}Power supply device for semiconductor device manufacturing equipment {APPARATUS FOR SUPPLING POWER TO A SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING EQUIPMENT}

도 1은 종래의 기술에 따른 반도체 소자 제조장비의 전원공급장치를 도시한 구성도이고,1 is a block diagram showing a power supply of a semiconductor device manufacturing equipment according to the prior art,

도 2는 본 발명에 따른 반도체 소자 제조장비의 전원공급장치를 도시한 구성도이다.Figure 2 is a block diagram showing a power supply device of the semiconductor device manufacturing apparatus according to the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

110 : 전원공급부 120 : 전원공급라인110: power supply unit 120: power supply line

121 : 커넥터 130 : 모터전용커넥터121: connector 130: motor connector

140 : 모터전용공급라인 141 : 차단스위치140: exclusive motor supply line 141: disconnect switch

142 : 발광소자 150 : 트랜스포머142 light emitting element 150 transformer

160 : 퓨즈 170 : 과부하스위치160: fuse 170: overload switch

본 발명은 반도체 소자 제조장비의 전원공급장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 모터로 전원을 공급시 모터의 토오크나 부하 변화에 따라 초래되는 전압 의 불안정이 모터와 함께 동일한 전원공급부로부터 전원을 공급받는 다른 장비에까지 악영향을 미치는 것을 차단시키는 반도체 소자 제조장비의 전원공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a power supply of a semiconductor device manufacturing equipment, and more particularly, the voltage instability caused by the torque or load change of the motor when the power is supplied to the motor receives power from the same power supply with the motor. The present invention relates to a power supply device for semiconductor device manufacturing equipment that blocks adverse effects on other equipment.

일반적으로, 반도체 소자는 노광공정, 확산공정, 식각공정, 화학기상증착공정 등 다양한 단위공정을 실시함으로써 제조된다. In general, semiconductor devices are manufactured by performing various unit processes such as an exposure process, a diffusion process, an etching process, and a chemical vapor deposition process.

반도체 소자의 제조 공정에 사용되는 장비는 전원공급라인상에 마련되는 커넥터를 통해서 각각 전원을 공급받으며, 공급되는 전원의 안정성은 반도체 소자의 수율과도 직접적으로 영향을 미치는 중요한 요인이다.Equipment used in the manufacturing process of the semiconductor device is supplied with power through the connector provided on the power supply line, the stability of the power supply is an important factor that directly affects the yield of the semiconductor device.

종래의 반도체 소자 제조장비에 전원을 공급하는 장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Referring to the accompanying drawings, a device for supplying power to a conventional semiconductor device manufacturing equipment is as follows.

도 1은 종래의 기술에 따른 반도체 소자 제조장비의 전원공급장치를 도시한 구성도이다. 도시된 바와 같이, 종래의 기술에 따른 반도체 소자 제조장비의 전원공급장치(10)는 전원공급부(11)와, 전원공급부(11)로부터 전원을 공급하기 위한 경로를 제공하는 전원공급라인(12)과, 전원공급라인(12)상에 설치되어 반도체소자를 제조하는 장비의 드라이버(1)로 공급되는 전원을 인출할 수 있도록 하는 커넥터(13)를 포함한다.1 is a block diagram showing a power supply device of a semiconductor device manufacturing equipment according to the prior art. As shown, the power supply device 10 of the semiconductor device manufacturing apparatus according to the prior art is a power supply line 12 that provides a power supply unit 11, and a path for supplying power from the power supply unit 11 And a connector 13 installed on the power supply line 12 to draw the power supplied to the driver 1 of the equipment for manufacturing the semiconductor device.

이와 같이, 종래의 반도체 소자 제조장비의 전원공급장치(10)는 장비드라이버(1)가 커넥터(13)에 전기적으로 연결됨으로써 전원공급부(11)의 전원이 반도체 소자의 제조장비로 공급된다.As such, in the power supply device 10 of the conventional semiconductor device manufacturing equipment, the equipment driver 1 is electrically connected to the connector 13 so that the power of the power supply unit 11 is supplied to the semiconductor device manufacturing equipment.

그러나, 이러한 종래의 기술에 따른 반도체 소자의 제조장비 전원공급장 치(10)는 커넥터(13)에 접속되는 장비가 모터인 경우 모터드라이버(2)가 연결되는데, 이러한 모터드라이버(2)는 구동시키고자 하는 모터의 토오크나 부하 변화에 따라 전압의 불안정을 초래하게 되며, 이러한 전압 불안정은 전원공급라인(12)을 통해 다른 장비의 드라이버(1)에 전달됨으로써 모터드라이버(2)와 함께 동일한 전원공급부(11)로부터 전원을 공급받는 반도체 소자 제조장비에 악영향을 초래하여 오류를 일으키는 문제점을 가지고 있었다.However, the power supply device 10 for manufacturing a semiconductor device according to the related art is connected to the motor driver 2 when the equipment connected to the connector 13 is a motor, and the motor driver 2 is driven. The instability of the voltage is caused by the torque or load change of the motor to be made, and this voltage instability is transmitted to the driver 1 of other equipment through the power supply line 12, so that the same power supply with the motor driver 2 is achieved. There was a problem that caused an error by causing a bad effect on the semiconductor device manufacturing equipment supplied with power from the supply unit (11).

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 모터로 전원을 공급시 모터의 토오크나 부하 변화에 따라 초래되는 전압의 불안정이 모터와 함께 동일한 전원공급부로부터 전원을 공급받는 다른 장비에까지 악영향을 미치는 것을 차단시킴으로써 장비의 에러 방지 및 반도체 소자의 수율을 증대시키는 반도체 소자 제조장비의 전원공급장치를 제공하는데 있다.The present invention is to solve the above-mentioned problems, the object of the present invention is to supply power from the same power supply with the motor instability of the voltage caused by the torque or load change of the motor when power is supplied to the motor It is to provide a power supply device for semiconductor device manufacturing equipment that prevents the equipment from adversely affecting other equipment and increases the yield of semiconductor devices.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은, 반도체 소자의 제조장비에 전원공급부의 전원을 전원공급라인에 의해 공급하는 전원공급장치에 있어서, 전원공급라인상에 모터드라이버로 전원을 공급하기 위하여 설치되는 모터전용커넥터와, 모터전용커넥터로부터 모터드라이버로 연결되는 모터전용공급라인과, 모터전용공급라인상에 전압을 일정하게 유지시키도록 설치되는 트랜스포머를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention for realizing the above object is a power supply device for supplying the power supply of the power supply unit to the manufacturing equipment of the semiconductor device by the power supply line, which is installed to supply power to the motor driver on the power supply line And a motor-specific connector, a motor-dedicated supply line connected to the motor driver from the motor-dedicated connector, and a transformer installed to maintain a constant voltage on the motor-dedicated supply line.

이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 반도체 소자 제조장비의 전원공급장치를 도시한 구성도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 소자 제조장비의 전원공급장치(100)는 전원공급부(110)와, 전원공급부(110)로부터 반도체 소자의 제조장비로 전원의 공급 경로를 제공하는 전원공급라인(120)과, 전원공급라인(120)상에 설치되는 모터전용커넥터(130)와, 모터전용커넥터(130)로부터 모터드라이버(2)로 연결되는 모터전용공급라인(140)과, 모터전용공급라인(140)에 설치되는 트랜스포머(150)를 포함한다.Figure 2 is a block diagram showing a power supply device of the semiconductor device manufacturing apparatus according to the present invention. As shown, the power supply device 100 of the semiconductor device manufacturing equipment according to the present invention is a power supply line 110, a power supply line for providing a power supply path from the power supply unit 110 to the semiconductor device manufacturing equipment 120, a motor dedicated connector 130 installed on the power supply line 120, a motor dedicated supply line 140 connected to the motor driver 2 from the motor dedicated connector 130, and a motor dedicated supply. Transformer 150 is installed in the line 140.

전원공급부(110)는 반도체 소자의 제조를 위한 장비의 드라이버(1)나 이러한 장비중 모터의 드라이버(2)에 공급되는 전원을 제공한다.The power supply unit 110 provides power supplied to a driver 1 of a device for manufacturing a semiconductor device or a driver 2 of a motor among these devices.

전원공급라인(120)은 전원공급부(110)로부터 제공되는 전원을 반도체 소자 제조장비로 공급하기 위한 경로를 제공하며, 하나 또는 다수의 지점에 전원을 인출하기 위한 커넥터(121)가 마련될 뿐만 아니라 모터드라이버(2)로 전원을 공급하기 위하여 전원을 인출할 수 있는 모터전용커넥터(130)가 마련된다.The power supply line 120 provides a path for supplying power supplied from the power supply unit 110 to the semiconductor device manufacturing equipment, and is provided with a connector 121 for drawing power to one or more points. In order to supply power to the motor driver 2, a motor connector 130 capable of drawing power is provided.

모터전용커넥터(130)는 전원공급라인(120)으로부터 모터드라이버(2)로 전원을 공급할 수 있도록 모터전용공급라인(140)이 직접 또는 아답터(미도시) 등에 의해 착탈 가능하게 전기적으로 연결된다.The motor dedicated connector 130 is detachably electrically connected to the motor dedicated supply line 140 directly or by an adapter (not shown) so as to supply power from the power supply line 120 to the motor driver 2.

모터전용공급라인(140)은 전원공급라인(120)상의 모터전용커넥터(130)를 통해서 인출되는 전원을 모터드라이버(2)로 공급하며, 전원의 차단을 위한 차단스위 치(141)와 전류의 흐름을 식별할 수 있는 LED 또는 전구 등과 같은 발광소자(142)가 설치되며, 이들과 함께 트랜스포머(150)가 설치된다.The motor dedicated supply line 140 supplies the power drawn out through the motor dedicated connector 130 on the power supply line 120 to the motor driver 2, and cuts off the switch 141 and the current to block the power. A light emitting element 142 such as an LED or a light bulb capable of identifying a flow is installed, and a transformer 150 is installed with them.

트랜스포머(150)는 모터전용공급라인(140)상에 전압을 일정하게 유지시킴으로써 모터드라이버(2)로 공급되는 전원이 안정되도록 하며, 모터드라이버(2)에 의해 구동되는 모터의 토오크나 부하 변동에 따라 전원공급라인(120)으로 전압의 변동을 초래하는 것을 차단시킨다.The transformer 150 stabilizes the power supplied to the motor driver 2 by maintaining a constant voltage on the motor dedicated supply line 140, and changes the torque or load variation of the motor driven by the motor driver 2. Accordingly, the power supply line 120 is blocked from causing a change in voltage.

모터전용공급라인(140)상에 규정 값 이상의 과도한 전류가 흐르는 것을 차단하기 위하여 퓨즈(160)가 설치될 수 있다.The fuse 160 may be installed to block an excessive current exceeding a predetermined value on the exclusive motor supply line 140.

퓨즈(160)는 모터전용공급라인(140)상에서 트랜스포머(150)의 전.후단에 각각 설치됨으로써 트랜스포머(150)로 유입되는 과도한 전류를 차단시킴은 물론 과도한 전류로 인한 피해를 2중으로 차단시킨다.The fuse 160 is installed at the front and rear of the transformer 150 on the motor dedicated supply line 140 to block excessive current flowing into the transformer 150 as well as to block damage caused by the excessive current in double.

모터전용공급라인(140)상에 규정 값 이상의 과도한 전류가 흐르는 경우 전류의 흐름을 차단시키는 과부하스위치(170)를 설치할 수 있다. 이러한 과부하스위치(170)는 단독으로 또는 퓨즈(160)와 함께 모터전용공급라인(140)상에 과도한 전류가 흐르는 것을 방지함으로써 모터드라이버(2)를 과도한 전류로부터 보호함은 물론 역으로 모터드라이버(2)의 전원 불안정에 따른 전원공급라인(120)상의 전원 불안정을 방지할 수 있다.An overload switch 170 may be installed to block the flow of current when an excessive current of a predetermined value or more flows on the dedicated motor supply line 140. The overload switch 170 alone or together with the fuse 160 to prevent the excessive current flows on the motor dedicated supply line 140 to protect the motor driver 2 from excessive current, as well as to reverse the motor driver ( Power instability on the power supply line 120 due to the power instability of 2) can be prevented.

이와 같은 구조로 이루어진 반도체 소자 제조장비의 전원공급장치의 동작은 다음과 같이 이루어진다.Operation of the power supply of the semiconductor device manufacturing equipment having such a structure is performed as follows.

전원공급부(110)로부터 공급되는 전원이 전원공급라인(120)을 통해 반도체 소자의 제조장비를 구동시키는 하나 또는 다수의 장비드라이버(1)로 공급된다. 이 때, 전원공급라인(120)상의 모터전용커넥터(130)를 통해서 인출되는 모터전용공급라인(140)을 통해 반도체 소자의 제조장비중의 하나인 모터를 구동시키는 모터드라이버(2)로도 전원을 공급하는데, 트랜스포머(150)에 의해 모터드라이버(2)로 공급되는 전압이 일정하게 유지됨으로써 공급 전원을 안정화시키며, 이로 인해 모터가 정속 운전을 가능하도록 하며, 나아가서, 모터가 구동 전압 변동에 따라 내구성이 저하되는 것을 방지하게 된다. Power supplied from the power supply unit 110 is supplied to the one or more equipment drivers 1 driving the manufacturing equipment of the semiconductor device through the power supply line 120. At this time, the power is also supplied to the motor driver 2 for driving the motor, which is one of the manufacturing equipments of the semiconductor device, through the motor dedicated supply line 140 drawn out through the motor dedicated connector 130 on the power supply line 120. In this case, the voltage supplied to the motor driver 2 by the transformer 150 is kept constant, thereby stabilizing the supply power, thereby allowing the motor to operate at constant speed, and furthermore, the motor is durable in accordance with the change in the driving voltage. This is prevented from falling.

또한, 트랜스포머(150)에 의한 모터드라이버(2)로의 전압이 안정화됨으로써 역으로 모터의 토오크나 부하 변동에 따라 전원공급라인(120)에 전원의 불안정을 초래하는 것을 미연에 방지하며, 이로 인해 모터와 동일한 전원공급부(110)로부터 전원을 공급받는 반도체 소자의 제조장비에 공급되는 전원을 안정화시킨다.In addition, since the voltage to the motor driver 2 by the transformer 150 is stabilized, inversely, it is possible to prevent the power supply line 120 from causing an instability of the power supply line due to the torque or the load change of the motor. Stabilizes the power supplied to the manufacturing equipment of the semiconductor device that receives the power from the same power supply unit 110 as.

그리고, 트랜스포머(150)의 양단에 설치되는 퓨즈(160)는 물론 과부하스위치(170)에 의해 모터전용공급라인(140)을 통해 과도한 전류가 흐르는 것을 방지함으로써 모터의 정속 운전을 가능하도록 함은 물론 모터가 과도한 전류에 의해 손상되는 것을 방지하며, 이로 인해 전원공급라인(120)을 통해 흐르는 전류의 안정화를 도모하여 모터와 함께 전원을 공급받는 반도체 소자의 제조장비를 전원 불안정으로부터 보호하여 반도체 소자의 수율을 증대시킨다.In addition, the fuse 160 installed at both ends of the transformer 150 as well as the overload switch 170 to prevent excessive current flow through the motor dedicated supply line 140 to enable the constant speed operation of the motor, of course. It prevents the motor from being damaged by excessive current, thereby stabilizing the current flowing through the power supply line 120 to protect the manufacturing equipment of the semiconductor device supplied with the motor from power instability. Increase yield.

이상과 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 모터로 전원을 공급시 모터의 토오크나 부하 변화에 따라 초래되는 전압의 불안정이 모터와 함께 동일한 전원공급부로부터 전원을 공급받는 다른 장비에까지 악영향을 미치는 것을 차단시킴 으로써 장비의 에러 방지 및 반도체 소자의 수율을 증대시킨다. According to the preferred embodiment of the present invention as described above, the voltage instability caused by the torque or load change of the motor when the power is supplied to the motor adversely affects the other equipment that is powered from the same power supply with the motor This prevents equipment error and increases the yield of semiconductor devices.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 소자 제조장비의 전원공급장치는 모터로 전원을 공급시 모터의 토오크나 부하 변화에 따라 초래되는 전압의 불안정이 모터와 함께 동일한 전원공급부로부터 전원을 공급받는 다른 장비에까지 악영향을 미치는 것을 차단시킴으로써 장비의 에러 방지 및 반도체 소자의 수율을 증대시키는 효과를 가지고 있다. As described above, the power supply device of the semiconductor device manufacturing apparatus according to the present invention is a voltage instability caused by the torque or load change of the motor when the power is supplied to the motor is another power supply from the same power supply with the motor By blocking the adverse effects to the equipment has the effect of preventing the error of the equipment and increase the yield of the semiconductor device.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 반도체 소자 제조장비의 전원공급장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.What has been described above is only one embodiment for implementing a power supply device for a semiconductor device manufacturing apparatus according to the present invention, the present invention is not limited to the above embodiment, as claimed in the following claims Without departing from the gist of the present invention, anyone of ordinary skill in the art will have the technical spirit of the present invention to the extent that various modifications can be made.

Claims (3)

반도체 소자의 제조장비에 전원공급부의 전원을 전원공급라인에 의해 공급하는 전원공급장치에 있어서,In the power supply for supplying the power supply of the power supply to the manufacturing equipment of the semiconductor device by the power supply line, 상기 전원공급라인상에 모터드라이버로 전원을 공급하기 위하여 설치되는 모터전용커넥터와,A motor dedicated connector installed on the power supply line to supply power to the motor driver; 상기 모터전용커넥터로부터 상기 모터드라이버로 연결되는 모터전용공급라인과,A motor dedicated supply line connected to the motor driver from the motor dedicated connector; 상기 모터전용공급라인상에 전압을 일정하게 유지시키도록 설치되는 트랜스포머와,A transformer installed to maintain a constant voltage on the motor dedicated supply line; 상기 모터전용공급라인상에서 상기 트랜스포머의 전단과 후단에 각각 설치되며, 규정 값 이상의 과도한 전류가 흐르는 것을 차단하는 퓨즈와,A fuse installed at the front end and the rear end of the transformer on the exclusive motor supply line, and for blocking excessive current from exceeding a specified value; 상기 모터전용공급라인상에 설치되며, 규정 값 이상의 과도한 전류가 흐르는 경우 전류의 흐름을 차단시키는 과부하스위치The overload switch is installed on the exclusive motor supply line and blocks the flow of current when excessive current exceeds a specified value. 를 포함하는 반도체 소자 제조장비의 전원공급장치.Power supply of the semiconductor device manufacturing equipment comprising a. 삭제delete 삭제delete
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