KR100848111B1 - A substrate for liquid crystal display - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판에는 박막 트랜지스터가 형성되지 않을 면 또는 기판의 측면에 제조 공정시에 발생하는 정전기를 기판의 외부로 완전히 방출시키기 위한 정전기 방지용 도전막이 형성되어 있다. 이때, 정전기 방지용 도전막은 박막 트랜지스터가 형성되지 않는 면에 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide)와 같은 투명 도전 물질로 형성되어 있다.In the substrate for a liquid crystal display according to the exemplary embodiment of the present invention, an electrostatic prevention film for completely discharging static electricity generated in the manufacturing process to the outside of the substrate is formed on the side or side of the substrate where the thin film transistor is not formed. In this case, the antistatic conductive film is formed of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO) on a surface where the thin film transistor is not formed.

정전기, 박막트랜지스터, 도전막, 액정Static electricity, thin film transistor, conductive film, liquid crystal

Description

액정 표시 장치용 기판{A SUBSTRATE FOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY}Substrate for liquid crystal display {A SUBSTRATE FOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY}

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판의 구조를 도시한 도면이고,1 is a view showing the structure of a substrate for a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention,

도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판의 구조를 도시한 도면이다.2 is a diagram illustrating a structure of a substrate for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.

본 발명은 액정 표시 장치용 기판에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 제조 공정시 발생하는 정전기를 효과적으로 방출시킬 수 있는 액정 표시 장치용 기판에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate for a liquid crystal display device, and more particularly, to a substrate for a liquid crystal display device capable of effectively releasing static electricity generated during a manufacturing process.

액정 표시 장치는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 전극이 형성되어 있는 두 장의 기판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층과 두 기판의 바깥쪽에 부착되어 있는 편광판으로 이루어져, 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 투과되는 빛의 양을 조절하는 표시 장치이다.The liquid crystal display is one of the most widely used flat panel display devices. It consists of two substrates on which electrodes are formed, a liquid crystal layer interposed therebetween, and a polarizing plate attached to the outside of the two substrates. The display device is applied to rearrange the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer to control the amount of light transmitted.

이러한 액정 표시 장치는 주사 신호 또는 영상 신호를 전달하기 위한 배선, 영상 신호를 제어하기 위한 박막 트랜지스터, 영상 신호가 전달되는 화소 전극 및 적, 녹, 청의 컬러 필터 등이 배치되어 있는 화면 표시부와 외부로부터 전기적인 신호가 전달되는 패드가 형성되어 있는 패드부를 포함한다. 이때, 패드부에는 제조 공정 중에 발생하는 정전기로부터 박막 트랜지스터와 같은 구동 소자가 파괴되는 것을 방지하기 위한 정전기 보호 회로가 형성되어 있다. 이러한 정전기 보호 회로는 박막 트랜지스터를 여러 단자로 연결하거나 기판의 외곽에 금속 배선을 형성하여 화면 표시부로 정전기가 유입되는 것을 방지하는 기능을 가지거나 다수의 배선을 모두 전기적으로 연결하여 정전기를 분산시킴으로써 박막 트랜지스터가 파괴되는 것을 보호하는 기능을 가진다. The liquid crystal display device includes a wiring for transmitting a scan signal or an image signal, a thin film transistor for controlling the image signal, a pixel electrode to which the image signal is transmitted, and a screen display unit including red, green, and blue color filters. And a pad part having a pad through which an electrical signal is transmitted. In this case, an electrostatic protection circuit is formed in the pad part to prevent the driving element such as the thin film transistor from being destroyed from static electricity generated during the manufacturing process. Such an electrostatic protection circuit has a function of preventing the inflow of static electricity to the screen display by connecting the thin film transistors to the various terminals or forming the metal wiring on the outside of the substrate, or distributing the static electricity by electrically connecting all the plurality of wirings. It has a function of protecting the transistor from being destroyed.

그러나, 이러한 정전기 보호 회로는 제조 공정시 발생하는 정전기를 기판의 외부로 정전기를 완전히 방출시키는 기능을 가지고 있지 않기 때문에 작은 양의 정전기가 발생하는 경우에는 효과적이지만, 많은 양의 정전기가 발생하는 경우에는 정전기 보호 회로를 통하여 박막 트랜지스터가 파괴되는 것을 방지하는 것이 불가능하다.However, such an electrostatic protection circuit is effective in generating a small amount of static electricity because the static electricity generated in the manufacturing process does not have a function of completely discharging static electricity to the outside of the substrate. It is impossible to prevent the thin film transistor from being destroyed through the static electricity protection circuit.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 제조 공정시 정전기로부터 박막 트랜지스터가 파괴되는 것을 방지하기 위한 액정 표시 장치용 기판을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a substrate for a liquid crystal display device for preventing the thin film transistor from being destroyed from static electricity during the manufacturing process.

이러한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에서는 배선 및 박막 트랜지스터 또 는 컬러 필터가 형성되지 않을 면에 정전기가 방출될 수 있는 정전기 방지용 도전막을 형성한다.In order to solve this problem, the present invention forms an antistatic conductive film capable of emitting static electricity on the surface where the wiring and the thin film transistor or the color filter are not formed.

이때, 정전기 방지용 도전막은 기판의 측면까지 연장되어 형성될 수 있으며, 정전기 방지용 도전막은 투명한 도전 물질로 이루어진 것이 바람직하다.At this time, the antistatic conductive film may be formed to extend to the side of the substrate, the antistatic conductive film is preferably made of a transparent conductive material.

그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.Next, a liquid crystal display substrate according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that a person skilled in the art may easily implement the present invention.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판의 구조를 도시한 도면이다.1 is a view showing the structure of a substrate for a liquid crystal display according to a first embodiment of the present invention.

먼저, 도 1에서 보는 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판에는 제1 면(101) 및 제1 면(101)과 마주하는 제 2면(102)을 포함하는 투명한 절연 기판(100)으로 이루어져 있다. 이때 제1 면(101)에는 제조 공정시 발생하는 정전기를 기판(100)의 외부로 방출시키기 위한 정전기 방지용 도전막(110)이 형성되어 있다. First, as shown in FIG. 1, the liquid crystal display substrate according to the first embodiment of the present invention includes a first surface 101 and a transparent surface including a second surface 102 facing the first surface 101. It consists of an insulating substrate 100. At this time, the first surface 101 is formed with an antistatic conductive film 110 for discharging the static electricity generated during the manufacturing process to the outside of the substrate 100.

이때, 정전기 방지용 도전막(110)은 박막 트랜지스터가 형성되지 않는 제1 면(101)의 상부에 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide)와 같은 투명 도전 물질로 형성되어 있으며, 액정 표시 장치용 기판의 제조 공정에서 주사 신호 또는 영상 신호를 전달하기 위한 배선, 영상 신호를 제어하는 박막 트랜지스터 및 영상 신호가 전달되는 화소 전극은 제1 면(101)과 마주하는 제2 면(102)에 형성하기 전에 형성하는 것이 바람직하다. In this case, the antistatic conductive film 110 is formed of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO) on the first surface 101 on which the thin film transistor is not formed, and the liquid crystal display In the process of manufacturing a substrate for an apparatus, wiring for transmitting a scan signal or an image signal, a thin film transistor for controlling the image signal, and a pixel electrode to which the image signal is transmitted are disposed on the second surface 102 facing the first surface 101. It is preferable to form before forming.                     

한편, 정전기 방지용 도전막(110)은 박막 트랜지스터가 형성되는 면을 제외한 나머지 면에 모두 형성될 수도 있으며, 이에 대하여 도면을 참조하여 설명하기로 한다.Meanwhile, the antistatic conductive film 110 may be formed on all the surfaces except the surface on which the thin film transistor is formed, which will be described with reference to the drawings.

도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판의 구조를 도시한 도면이다.2 is a diagram illustrating a structure of a substrate for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 2에서 보는 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판에는 제1 면(101)뿐아니라, 제1 면(101)과 제2 면(102) 사이의 측면(103)에도 정전기 방지용 도전막(120)이 형성되어 있다. 이러한 구조에서는 기판(200)의 측면(103)에도 정전기 방지용 도전막(120)이 형성되어 있어 제조 공정시 발생하는 정전기를 보다 신속하게 방전시킬 수 있다.As shown in FIG. 2, not only the first surface 101 but also the side surface 103 between the first surface 101 and the second surface 102 of the substrate for a liquid crystal display according to the second embodiment of the present invention. An antistatic conductive film 120 is also formed. In this structure, the anti-static conductive film 120 is formed on the side surface 103 of the substrate 200, so that the static electricity generated during the manufacturing process can be discharged more quickly.

이러한 본 발명의 제1 및 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판을 통하여 정전기가 방전되는 경로를 구체적으로 설명하면 다음과 같다,The path of discharge of static electricity through the liquid crystal display substrates according to the first and second embodiments of the present invention will be described in detail as follows.

우선, 본 발명의 제1 및 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판에는 배선 또는 박막 트랜지스터가 형성되지 않을 제1 면(101) 또는 측면(103)에 정전기 방지용 도전막(110, 120)이 형성되어 있어, 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 또는 컬러 필터 기판의 제조 공정 중에 정전기 방지용 도전막(110, 120)은 증착 설비, 식각 설비 등의 액정 표시 장치용 제조 장치의 일부분에 접하게 된다. 그러면, 제조 공정시에 발생하는 정전기가 기판(100)에 유입되었을 때, 정전기는 정전기 방지용 도전막(110, 120)을 통하여 액정 표시 장치용 제조 장치로 빠져나가며, 제조 장치는 외부로 접지되어 있으므로 제조 장치에 유입된 정전기는 완전히 방전 되어, 결과적으로 기판 내에는 정전기가 잔류하지 않게 된다. First, in the liquid crystal display substrates according to the first and second embodiments of the present invention, the antistatic conductive films 110 and 120 are formed on the first surface 101 or the side surface 103 on which no wiring or thin film transistor is to be formed. The conductive films 110 and 120 for preventing static electricity are in contact with a portion of a manufacturing apparatus for a liquid crystal display, such as a deposition apparatus and an etching apparatus, during the manufacturing process of a thin film transistor substrate or a color filter substrate for a liquid crystal display. Then, when static electricity generated during the manufacturing process flows into the substrate 100, the static electricity is discharged to the manufacturing apparatus for the liquid crystal display device through the antistatic conductive films 110 and 120, and the manufacturing apparatus is grounded to the outside. The static electricity introduced into the manufacturing apparatus is completely discharged, resulting in no static electricity remaining in the substrate.

이와 같은 본 발명의 실시예에 따른 정전기 방지용 도전막(110, 120)은 전면에 형성되어 있지만 특정한 모양으로 패터닝될 수도 있으며, 그밖에 다른 반도체 장치용 기판의 제조 과정에서 정전기 방지 회로를 대신하는 수단으로 사용될 수 있다.The antistatic conductive films 110 and 120 according to the embodiment of the present invention are formed on the front surface, but may be patterned in a specific shape, and as a means to replace the antistatic circuit in the manufacturing process of other substrates for semiconductor devices. Can be used.

이와 같이 본 발명에서는 박막 트랜지스터 또는 배선 형성 전에 박막 트랜지스터 또는 배선이 형성되지 않은 면에 정전기 방지용 도전막을 형성하여 제조 공정시 정전기 방지용 도전막을 접지되어 있는 제조 설비에 접촉시킴으로써 제조 공정시에 발생하는 정전기를 액정 표시 장치용 기판으로부터 완전히 방전시킬 수 있다.
As described above, in the present invention, an antistatic conductive film is formed on the surface where the thin film transistor or the wiring is not formed before the thin film transistor or the wiring is formed, and the static electricity generated during the manufacturing process is contacted by contacting the antistatic conductive film with a grounded manufacturing facility. It can discharge completely from the board | substrate for liquid crystal display devices.

Claims (3)

마주하는 제1 면 및 제2 면을 가지는 기판,A substrate having opposite first and second sides, 상기 기판의 제1 면 및 상기 기판의 측면에 형성되어 있는 정전기 방지용 도전막,An antistatic conductive film formed on the first surface of the substrate and the side surface of the substrate, 상기 기판의 제2 면에 형성되어 있으며 영상 신호 또는 주사 신호를 전달하는 신호선, 그리고A signal line formed on the second surface of the substrate and transferring an image signal or a scan signal; and 상기 기판의 제2 면에 형성되어 있으며 상기 신호선과 연결되어 있는 박막 트랜지스터를 포함하는 액정 표시 장치용 기판.And a thin film transistor formed on the second surface of the substrate and connected to the signal line. 삭제delete 제1항에서,In claim 1, 상기 정전기 방지용 도전막은 투명한 도전 물질로 이루어진 액정 표시 장치용 기판.The antistatic conductive film is a liquid crystal display substrate made of a transparent conductive material.
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