KR100847913B1 - Testing Apparatus, and Testing Method - Google Patents
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Abstract
피시험 메모리가 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태로 복귀하는 시간을 정확하게 계측한다.
피시험 메모리를 시험하는 시험 장치로서, 복수의 시험 패턴을, 피시험 메모리에 순차적으로 기입하는 패턴 발생부와, 피시험 메모리에 대하여 시험 패턴의 기입을 개시하고 나서, 피시험 메모리가, 다음의 시험 패턴의 기입이 가능하게 되는 상태가 될 때까지의 주기를, 소정의 주파수의 기준 클록의 펄스 수를 계수함으로써 측정하는 주기 측정부를 포함하는 시험 장치를 제공한다.
클록, MUT 신호, 논리값, 캡쳐 메모리, 세트 리세트 래치
Accurately time the memory under test to return from the busy state to the ready state.
A test apparatus for testing a memory under test, comprising: a pattern generator that sequentially writes a plurality of test patterns into a memory under test, and writing a test pattern into the memory under test starts, A test apparatus including a period measuring unit for measuring a period until a state in which writing of a test pattern becomes possible is measured by counting the number of pulses of a reference clock at a predetermined frequency.
Clock, MUT Signal, Logic, Capture Memory, Set Reset Latch
Description
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 의한 시험 장치 100의 구성의 개요를 도시하는 도면이다.FIG. 1: is a figure which shows the outline | summary of the structure of the
도 2는, 시험 장치 100의 상세한 구성의 일례를 도시하는 도면이다.2 is a diagram illustrating an example of a detailed configuration of the
도 3은, 평가부 44의 구성의 일례를 도시하는 도면이다.3 is a diagram illustrating an example of the configuration of the
도 4는, 시험 장치 100의 동작을 도시하는 타이밍 차트의 일례를 도시하는 도면이다.4 is a diagram illustrating an example of a timing chart illustrating the operation of the
[부호의 설명][Description of the code]
10…제어부, 12…시험 주기 발생부, 14…패턴 발생부, 16…논리 비교부, 18…입출력 회로, 20…드라이버, 22…비교기, 24…주기 측정부, 26…캡쳐 메모리, 28…트리거 발생부, 29…버스, 30…분주 클록 선택부, 32…카운터 클록 선택부, 34…레지스터, 36…분주기, 38…세트 리세트 래치, 40…펄스 선택부, 42…초기화부, 44…평가부, 46…제1 결과 선택부, 48…제2 결과 선택부, 50…비교 회로, 52…레지스터, 54…에러 검출부, 56…측정 결과 전송부, 100…시험 장치, 200…피시험 메모리10... 12,. Test cycle generator, 14...
본 발명은, 피시험 메모리를 시험하는 시험 장치, 및 시험 방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 피시험 메모리에 소정의 신호를 입력한 경우에, 피시험 메모리가 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태로 복귀하는 시간에 기초하여, 피시험 메모리를 평가하는 시험 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a test apparatus for testing a memory under test and a test method. In particular, the present invention provides a test apparatus for evaluating a memory under test based on a time when a predetermined signal is input to the memory under test, based on a time when the memory under test returns from a busy state to a ready state. It is about.
종래, 플래시 메모리 등의 피시험 메모리를 시험하는 항목으로서, 소정의 데이터를 피시험 메모리에 기입하고, 피시험 메모리로부터 읽어낸 데이터가, 기대값 데이터와 일치하는지 아닌지에 기초하여 피시험 메모리를 평가하는 항목이 알려져 있다. 또한, 플래시 메모리 등의 피시험 메모리에 대하여, 소정의 신호를 입력하고 나서, 피시험 메모리가 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태로 복귀할 때까지의 시간에 기초하여, 피시험 메모리를 평가하는 요구가 있다.Conventionally, an item for testing a memory under test, such as a flash memory, writes predetermined data into the memory under test, and evaluates the memory under test based on whether or not the data read from the memory under test matches the expected value data. The item to be known is known. Further, the memory under test is based on the time from the input of the predetermined signal to the memory under test, such as a flash memory, until the memory under test returns from the busy state to the ready state. There is a need to evaluate.
현재, 관련하는 특허 문헌 등은 인식하고 있지 않으므로, 그 기재를 생략한다.Since the related patent document is not recognized at present, the description is abbreviate | omitted.
이것에 대해, 종래의 시험 장치는, 소정의 데이터를 피시험 메모리에 기입하는 패턴 발생부, 및 피시험 메모리로부터 읽어낸 데이터가, 기대값 데이터와 일치하는지 아닌지를 판정하는 논리 비교 회로를 포함하고 있다. 그러나, 피시험 메모 리가 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태로 복귀할 때까지의 시간을 정확하게 측정할 수 있는 수단은 포함하고 있지 않다.In contrast, the conventional test apparatus includes a pattern generator which writes predetermined data into the memory under test, and a logic comparison circuit that determines whether the data read from the memory under test matches the expected value data. have. However, it does not include a means for accurately measuring the time from the busy state to the ready state.
예를 들면, 종래의 시험 장치는, 피시험 메모리가 출력하는 클록 신호의 주기를 측정하는 카운터는 포함하는 경우가 있지만, 당해 카운터를 이용하여, 피시험 메모리가 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태로 복귀할 때까지의 시간을 측정하는 기능은 포함하고 있지 않았다.For example, the conventional test apparatus may include a counter for measuring the period of a clock signal output by the memory under test, but the memory under test is ready from the busy state by using the counter. It does not include a function to measure the time until returning to the) state.
이 때문에 본 발명은, 상술한 과제를 해결할 수 있는 시험 장치, 및 시험 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 이 목적은, 특허청구범위에 있어서의 독립항에 기재된 특징의 조합에 의해 달성된다. 또한 종속항은 본 발명의 더욱 유리한 구체적인 예를 규정한다.For this reason, an object of this invention is to provide the test apparatus and test method which can solve the above-mentioned subject. This object is achieved by a combination of the features described in the independent claims in the claims. The dependent claims also define more advantageous specific examples of the invention.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 제1의 형태에 있어서는, 피시험 메모리를 시험하는 시험 장치로서, 복수의 시험 패턴을, 피시험 메모리에 순차적으로 기입하는 패턴 발생부와, 피시험 메모리에 대하여 시험 패턴의 기입을 개시하고 나서, 피시험 메모리가, 다음 시험 패턴의 기입이 가능하게 되는 상태가 될 때까지의 주기를, 소정의 주파수의 기준 클록의 펄스 수를 계수함으로써 측정하는 주기 측정부를 포함하는 시험 장치를 제공한다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, in the 1st aspect of this invention, it is a test apparatus which tests a memory under test, The pattern generation part which sequentially writes several test patterns to the memory under test, and a memory under test A period measuring unit for measuring a period from the start of writing the test pattern to the state under which the memory under test becomes the state in which the next test pattern can be written by counting the number of pulses of the reference clock at a predetermined frequency. It provides a test device comprising.
피시험 메모리는, 시험 패턴이 기입되고, 다음 시험 패턴을 기입할 수 없는 상태인 경우에 제1 논리값을 나타내고, 다음 시험 패턴을 기입할 수 있는 상태가 된 경우에 제2 논리값을 나타내는 MUT 신호를 출력하며, 패턴 발생부는, 시험 패턴의 기입의 개시 타이밍을 나타내는 측정 사이클 신호를 출력하고, 주기 측정부는, 측정 사이클 신호를 수취하고 나서, MUT 신호의 논리값이 제1 논리값으로부터 제2 논리값으로 바뀔 때까지의 기간, 기준 클록의 펄스 수를 계수해도 좋다.The memory under test represents a first logical value when the test pattern is written and the next test pattern cannot be written, and a MUT indicating the second logical value when the next test pattern is ready to be written. Outputs a signal, and the pattern generator outputs a measurement cycle signal indicative of the start timing of writing the test pattern, and the cycle measurement unit receives the measurement cycle signal, and then the logic value of the MUT signal is changed from the first logical value to the second. The number of pulses of the reference clock may be counted for a period until the logic value is changed.
시험 장치는, 측정 사이클 신호를 수취하고 나서, MUT 신호의 논리값이 제1 논리값으로부터 제2 논리값으로 바뀔 때까지의 기간에 따른 펄스 폭을 가지는 펄스 신호를 생성하고, 펄스 신호에 기초하여 주기 측정부에 있어서의 펄스 계수 기간을 제어하는 세트(set) 리세트(reset) 래치를 더 포함해도 좋다. 시험 장치는, 주기 측정부에 있어서의 측정 결과를 격납하는 캡쳐 메모리를 더 포함해도 좋다.After receiving the measurement cycle signal, the test apparatus generates a pulse signal having a pulse width according to a period from when the logic value of the MUT signal is changed from the first logic value to the second logic value, and based on the pulse signal A set reset latch for controlling the pulse count period in the period measuring unit may further be included. The test apparatus may further include a capture memory for storing the measurement result in the period measuring unit.
시험 장치는, 주기 측정부에 있어서의 측정 결과에 기초하여, 피시험 메모리를 평가하는 평가부와, 주기 측정부에 있어서의 측정 결과, 또는 평가부에 있어서의 평가 결과 중 어느 하나를 선택하고, 캡쳐 메모리에 출력하는 제1 결과 선택부를 더 포함해도 좋다.The test apparatus selects either the evaluation unit for evaluating the memory under test, the measurement result at the period measuring unit, or the evaluation result at the evaluation unit based on the measurement result at the period measuring unit, The apparatus may further include a first result selector that outputs to the capture memory.
시험 장치는, 피시험 메모리로부터 읽어낸 독출(讀出) 데이터에 기초하여, 피시험 메모리의 각 어드레스의 양부를 판정하는 논리 비교부와, 논리 비교부에 있어서의 판정 결과, 또는 제1 결과 선택부가 출력하는 신호 중 어느 하나를 선택하고, 캡쳐 메모리에 격납하는 제2 결과 선택부를 더 포함해도 좋다.The test apparatus selects a logical comparison unit that determines whether or not each address of the memory under test is judged based on the read data read out from the memory under test, the determination result in the logic comparison unit, or the first result selection. The second result selector may further select one of the signals to be additionally output and store it in the capture memory.
평가부는, 각각 다른 기준값을 격납하는 복수의 레지스터와, 각각의 기준값과 측정 결과를 비교하고, 비교 결과에 따른 평가값을 출력하는 비교 회로를 포함해도 좋다.The evaluation unit may include a plurality of registers each storing different reference values, and a comparison circuit for comparing the respective reference values with the measurement results and outputting evaluation values according to the comparison results.
시험 장치는, 피시험 메모리에 시험 패턴의 기입을 개시하고 나서, 소정의 기간이 경과 할 때까지, MUT 신호의 논리값이 제1 논리값으로부터 제2 논리값으로 바뀌지 않는 경우에, 타임 아웃 신호를 출력하는 에러 검출부를 더 포함하고, 평가부는, 타임 아웃 신호에 더욱 기초하여, 피시험 메모리를 평가해도 좋다.The test apparatus, when starting to write the test pattern into the memory under test, when the logic value of the MUT signal does not change from the first logic value to the second logic value until a predetermined period of time has elapsed, the time-out signal The apparatus may further include an error detection unit that outputs a, and the evaluation unit may evaluate the memory under test further based on the time-out signal.
패턴 발생부는, 시험 패턴마다 미리 정해진 시험 주기로, 각각의 시험 패턴을 피시험 메모리에 순차적으로 입력하고, 에러 검출부는, 각각의 시험 패턴의 기입을 개시하고 나서, 당해 시험 패턴에 대응하는 시험 주기의 사이에, MUT 신호의 논리값이 제1 논리값으로부터 제2 논리값으로 바뀌지 않는 경우에, 타임 아웃 신호를 출력해도 좋다.The pattern generation unit sequentially inputs each test pattern into the memory under test at predetermined test cycles for each test pattern, and the error detection unit starts writing of each test pattern and then starts the test cycle corresponding to the test pattern. In the meantime, when the logic value of the MUT signal does not change from the first logic value to the second logic value, the timeout signal may be output.
시험 장치는, 시험 주기마다, 주기 측정부의 계수값을 초기화하는 초기화부를 더 포함해도 좋다. 주기 측정부는, 각각의 시험 패턴에 대한 계수값을 적산(積算)해도 좋다.The test apparatus may further include an initialization unit for initializing the count value of the period measuring unit for each test cycle. The period measuring unit may integrate the count values for each test pattern.
본 발명의 제2의 형태에 있어서는, 피시험 메모리를 시험하는 시험 방법으로서, 복수의 시험 패턴을, 피시험 메모리에 순차적으로 기입하는 패턴 발생 단계와, 피시험 메모리에 대하여 시험 패턴의 기입을 개시하고 나서, 피시험 메모리가, 다음 시험 패턴의 기입이 가능하게 되는 상태가 될 때까지의 주기를, 소정의 주파수의 기준 클록의 펄스 수를 계수함으로써 측정하는 주기 측정 단계를 포함하는 시험 방법을 제공한다.In the second aspect of the present invention, a test method for testing a memory under test includes: a pattern generating step of sequentially writing a plurality of test patterns into the memory under test, and writing of the test pattern into the memory under test; And a period measuring step of measuring the period until the memory under test becomes a state in which the next test pattern can be written by counting the number of pulses of the reference clock at a predetermined frequency. do.
또한, 상기의 발명의 개요는, 본 발명의 필요한 특징의 전부를 열거한 것은 아니며, 이러한 특징군의 서브 콤비네이션도 또한, 발명이 될 수 있다.Note that the above summary of the invention does not enumerate all of the necessary features of the present invention, and subcombinations of such feature groups can also be inventions.
이하, 발명의 실시 형태를 통하여 본 발명을 설명하지만, 이하의 실시 형태는 특허청구범위에 의한 발명을 한정하는 것은 아니며, 또한 실시 형태 중에서 설명되어 있는 특징의 조합의 전부가 발명의 해결 수단에 필수적인 것으로 한정되지는 않는다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, although this invention is demonstrated through embodiment of invention, the following embodiment does not limit invention by a claim, and all the combination of the features demonstrated in embodiment are essential for the solution of this invention. It is not limited to this.
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 의한 시험 장치 100의 구성의 개요를 도시하는 도면이다. 시험 장치 100은, 플래시 메모리 등의 피시험 메모리 200을 시험하는 장치로서, 제어부 10, 시험 주기 발생부 12, 패턴 발생부 14, 논리 비교부 16, 입출력 회로 18, 주기 측정부 24, 캡쳐 메모리 26, 및 버스 29를 포함한다. 제어부 10은, 버스 29를 거쳐, 시험 주기 발생부 12, 패턴 발생부 14, 논리 비교부 16, 입출력 회로 18, 주기 측정부 24, 및 캡쳐 메모리 26을 제어한다.FIG. 1: is a figure which shows the outline | summary of the structure of the
또한, 시험 장치 100은, 피시험 메모리 200에 소정의 데이터를 기입하고, 피시험 메모리 200으로부터 읽어낸 데이터에 기초하여, 피시험 메모리 200의 양부를 판정하는 기억 셀 시험과, 피시험 메모리 200에 소정의 신호를 입력하고, 피시험 메모리 200이 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태로 복귀할 때까지의 시간에 기초하여, 피시험 메모리 200의 양부를 판정하는 동작 완료 시간 시험을 행하는 기능을 포함한다. 여기서, 작업(busy) 상태란, 예를 들면 피시험 메모리 200에 대하여 다음의 신호를 입력할 수 없는 상태를 나타내고, 대기(ready) 상태란, 예를 들면 피시험 메모리 200에 대하여 신호를 입력할 수 있는 상태를 나타낸다.In addition, the
우선, 기억 셀 시험을 행하는 경우에 있어서의, 시험 장치 100의 동작을 설명한다. 제어부 10은, 미리 주어지는 시험 프로그램 및 시험 패턴에 기초하여, 시 험 장치 100의 각 구성 요소를 제어한다. 예를 들면, 제어부 10은, 당해 시험 패턴에 기초하여, 패턴 발생부 14에 원하는 시험 패턴을 생성시킨다. 또한, 제어부 10은, 미리 주어지는 시험 프로그램에 기초하여, 시험 주기 발생부 12에 원하는 주기의 시험 주기 신호를 생성시킨다. 패턴 발생부 14는, 시험 주기 발생부 12가 생성하는 시험 주기 신호에 따라, 시험 패턴의 각 데이터를, 입출력 회로 18을 거쳐 피시험 메모리 200에 입력한다.First, the operation of the
입출력 회로 18은, 드라이버 20 및 비교기 22를 포함한다. 드라이버 20은, 패턴 발생부 14가 출력하는 시험 패턴을 정형하고, 피시험 메모리 200에 입력한다. 또한, 비교기 22는, 피시험 메모리 200이 출력하는 신호를, 미리 정해진 역치 전압과 비교하고, 당해 출력 신호를 디지털 데이터로 변환한다.The input /
논리 비교부 16은, 비교기 22가 출력하는 데이터와, 패터 발생부 14로부터 주어지는 기대값 데이터를 비교하고, 피시험 메모리 200의 양부를 판정한다. 예를 들면, 논리 비교부 16은, 피시험 메모리 200의 각 어드레스로부터 읽어낸 데이터 값과, 당해 어드레스에 대응하는 기대값 데이터를 비교하고, 각각의 어드레스의 양부를 판정해도 좋다. 또한, 패턴 발생부 14는, 피시험 메모리 200에 기입한 시험 패턴과 동일한 데이터를, 기대값 데이터로서 논리 비교부 16에 주어도 좋다.The
캡쳐 메모리 26은, 논리 비교부 16에 있어서의 판정 결과를 격납한다. 예를 들면, 캡쳐 메모리 26은, 피시험 메모리 200의 각 어드레스 마다의 판정 결과를, 각각의 어드레스에 대응하여 격납한다. 이와 같은 동작에 의해, 피시험 메모리 200의 기억 셀의 양부를 판정할 수 있다. 또한, 판정 결과를 캡쳐 메모리 26에 획 득함으로써, 피시험 메모리 200의 불량 해석을 행할 수 있다.The
다음으로, 동작 완료 시간 시험을 행하는 경우에 있어서의, 시험 장치 100의 동작을 설명한다. 패턴 발생부 14는, 피시험 메모리 200을 동작시켜야 하는 복수의 시험 패턴을, 피시험 메모리 200에 순차적으로 입력한다. 또한, 패턴 발생부 14는, 당해 시험을 행하는 사이클을 나타내고, 측정 사이클 신호를 출력한다. 예를 들면 측정 사이클 신호는, 당해 시험을 개시해야 하는 타이밍으로부터, 당해 시험을 종료해야 하는 타이밍까지, H 논리를 나타내는 신호이어도 좋다.Next, the operation of the
피시험 메모리 200은, 각각의 시험 패턴을 수취한 경우에, 다음의 시험 패턴을 입력할 수 있는지 아닌지를 나타내는 MUT 신호를 출력한다. 예를 들면 MUT 신호는, 다음의 시험 패턴을 기입할 수 없는 경우에 제 1 논리값을 나타내고, 다음의 시험 패턴을 기입할 수 있는 경우에 제2 논리값을 나타내는 신호이다. 본 예에서는, 제1 논리값이 L 논리이고, 제2 논리값이 H 논리인 경우를 이용하여 설명한다.When each test pattern is received, the memory under
주기 측정부 24는, 피시험 메모리 200에 대하여 시험 패턴의 기입을 개시하고 나서, 피시험 메모리 200이, 다음의 시험 패턴의 기입이 가능하게 되는 상태가 될 때까지의 주기를, 소정의 주파수의 기준 클록의 펄스 수를 계수함으로써 측정한다. 예를 들면 주기 측정부 24는, 측정 사이클 신호의 상승 에지가 입력되고 나서, MUT 신호의 논리값이 L 논리로부터 H 논리로 바뀔 때까지의 기간, 기준 클록의 펄스 수를 계수하는 카운터이어도 좋다.The
주기 측정부 24는, MUT 신호를, 비교기 22를 거쳐 수취해도 좋다. 예를 들면, 시험 장치 100은, 피시험 메모리 200의 복수의 핀에 대응하여, 복수의 입출력 부 18을 포함해도 좋다. 그리고, 주기 측정부 24는, MUT 신호를 출력하는 피시험 메모리 200의 핀에 대응하는 비교기 22를 거쳐, MUT 신호를 수취해도 좋다.The
또한, 주기 측정부 24는, 당해 계수 결과에 기초하여, 피시험 메모리 200의 양부를 판정해도 좋다. 또한, 주기 측정부 24는, 피시험 메모리 200이 출력하는 클록 신호를, 비교기 22를 거쳐 수취하고, 당해 클록 신호의 주기를 측정하는 기능을 더 포함해도 좋다. 주기 측정부 24가 어느 측정을 행하는지는, 제어부 10이 제어해도 좋다. 캡쳐 메모리 26은, 주기 측정부 24에 있어서의, 계수 결과 또는 판정 결과를 격납한다. 이와 같은 동작에 의해, 동작 완료 시간 시험을 행할 수 있다.In addition, the
도 2는, 시험 장치 100의 상세한 구성의 일례를 도시하는 도면이다. 도 2에 있어서는, 동작 완료 시간 시험을 행하는 구성을 도시하고, 제어부 10, 시험 주기 발생부 12, 패턴 발생부 14, 논리 비교부 16, 입출력 회로 18, 및 버스 29를 생략한 시험 장치 100을 도시한다.2 is a diagram illustrating an example of a detailed configuration of the
시험 장치 100은, 도 1에 있어서 설명한 구성에 더하여, 트리거 발생부 28, 분주(分周) 클록 선택부 30, 카운터 클록 선택부 32, 레지스터 34, 분주기 36, 세트 리세트 래치 38, 펄스 선택부 40, 초기화부 42, 에러 검출부 54, 및 측정 결과 전송부 56을 더 포함한다.In addition to the configuration described with reference to FIG. 1, the
트리거 발생부 28은, 패턴 발생부 14가 출력하는 측정 사이클 신호, 및 버스 29를 거쳐 주어지는 시험 주기 신호에 기초하여, 주기 측정부 24를 제어하는 트리거 신호를 생성한다. 예를 들면 트리거 발생부 28은, 측정 사이클 신호가 H 논리 를 나타낸 후에, 최초로 주어지는 시험 주기 신호의 펄스에 따라, 트리거 신호를 출력한다.The
세트 리세트 래치 38은, 트리거 신호와, 피시험 메모리 200이 출력하는 MUT 신호에 기초하여, 펄스 신호를 생성한다. 예를 들면, 세트 리세트 래치 38은, 트리거 신호를 수취하고 나서, MUT 신호의 논리값이 L 논리로부터 H 논리로 바뀔 때까지의 기간에 따른 펄스 폭을 가지는 펄스 신호를 생성한다. 세트 리세트 래치 38은, 당해 펄스 신호를, 펄스 선택부 40을 거쳐 주기 측정부 24에 공급하고, 주기 측정부 24에 있어서의 펄스 계수 기간을 제어한다.The set reset
주기 측정부 24는, 당해 펄스 신호가 H 논리를 나타내는 기간, 카운터 클록 선택부 32를 거쳐 주어지는 기준 클록의 펄스 수를 계수한다. 이와 같은 구성에 의해, 피시험 메모리 200이 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태로 복귀할 때까지의 시간을 계측할 수 있다.The
측정 결과 전송부 56은, 주기 측정부 24에 있어서의 계측 결과를, 캡쳐 메모리 26에 격납한다. 또한, 측정 결과 전송부 56은, 주기 측정부 24에 있어서의 계측 결과에 기초하여 피시험 메모리 200의 양부를 판정하고, 당해 판정 결과를 캡쳐 메모리 26에 격납해도 좋다.The measurement
본 예에 있어서는, 측정 결과 전송부 56은, 평가부 44, 제1 결과 선택부 46, 및 제2 결과 선택부 48을 포함한다. 평가부 44는, 주기 측정부 24에 있어서의 계측 결과에 기초하여, 피시험 메모리 200의 양부를 판정한다. 제1 결과 선택부 46은, 주기 측정부 24에 있어서의 측정 결과, 또는 평가부 44에 있어서의 평가 결과 중 어느 하나를 선택하여 출력한다. 이와 같은 구성에 의해, 주기 측정부 24에 있어서의 측정의 로 데이터(raw data), 또는 평가부 44에 있어서의 평가 결과 중 어느 쪽이든 원하는 데이터를, 캡쳐 메모리 26에 격납할 수 있다.In this example, the measurement
제2 결과 선택부 48은, 논리 비교부 16에 있어서의 비교 결과, 또는 제1 결과 선택부 46이 출력하는 신호 중 어느 하나를 선택하고, 캡쳐 메모리 26에 격납한다. 이와 같은 구성에 의해, 기억 셀 시험, 또는 동작 완료 시간 시험 중 어느 쪽이든 원하는 시험 결과를 캡쳐 메모리 26에 격납할 수 있다.The
또한, 복수의 시험 패턴을 순차적으로 피시험 메모리 200에 입력하고, 각각의 시험 패턴마다, 피시험 메모리 200이 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태가 될 때까지의 시간을 계측하는 경우, 초기화부 42는, 각각의 시험 패턴마다, 주기 측정부 24에 있어서의 계수값을 초기값으로 리세트해도 좋다. 각각의 시험 패턴은, 시험 주기에 따라 피시험 메모리 200에 입력되므로, 초기화부 42는, 시험 주기에 따라 주기 측정부 24에 있어서의 계수값을 초기값으로 리세트해도 좋다.In addition, when a plurality of test patterns are sequentially input to the memory under
또한, 초기화부 42는, 복수의 시험 패턴마다, 주기 측정부 24에 있어서의 계측값을 초기값으로 리세트해도 좋다. 이 경우, 주기 측정부 24는, 각각의 시험 패턴에 대한 계수값을 적산할 수 있다. 즉, 각각의 시험 패턴마다, 주기 측정부 24에 있어서의 계측값을 리세트 하지 않음으로써, 소정의 수의 시험 패턴에 대한 계수값을 적산할 수 있다. 이것에 의해, 예를 들면 피시험 메모리 200이 복수의 어드레스 블록을 포함하고 있는 경우에, 어드레스 블록마다 시험 패턴을 입력하는 경우, 소정의 수의 어드레스 블록에 대한 계수값을 적산할 수 있다.In addition, the
또한, 에러 검출부 54는, 피시험 메모리 200에 시험 패턴의 기입을 개시하고 나서, 소정의 기간이 경과할 때까지, MUT 신호가 L 논리로부터 H 논리로 바뀌지 않는 경우에, 타임 아웃 신호를 출력한다. 본 예에 있어서 에러 검출부 54는, 측정 사이클 신호 및 시험 주기에 기초하여, 시험 패턴의 기입을 개시한 타이밍을 검출한다. 또한, 세트 리세트 래치 38이 출력하는 신호에 기초하여, MUT 신호가 L 논리로부터 H 논리로 바뀌었는지 아닌지를 검출한다. 평가부 44는, 당해 타임 아웃 신호에 기초하여, 피시험 메모리 200의 양부를 판정해도 좋다.In addition, the
또한, 시험 장치 100이 복수의 피시험 메모리 200에 대하여 동일한 시험 패턴을 병렬로 입력하여 시험하는 경우에 있어서, 어느 하나의 피시험 메모리 200에 대하여 타임 아웃 신호를 검출한 경우, 제어부 10은, 당해 시험 패턴을 이용한 시험 사이클을 종료하고, 다음 시험 패턴을 이용한 시험을, 전체의 피시험 메모리 200에 대하여 행해도 좋다. 타임 아웃을 검출하는 소정의 기간은, 당해 시험을 행하여야 하는 시험 주기와 실질적으로 동일한 길이이어도 좋다. 예를 들면 에러 검출부 54는, 패턴 발생부가 시험 주기 신호에 동기하여 시험 패턴의 입력을 개시하고 나서, 시험 주기 신호에 있어서 다음의 시험 사이클을 나타내는 펄스를 검출할 때까지, MUT 신호가 L 논리로부터 H 논리로 바뀌지 않는 경우에, 타임 아웃 신호를 출력해도 좋다.In the case where the
또한, 주기 측정부 24는, 종래의 시험 장치가 포함하는 클록 주기 측정용의 카운터이어도 좋다. 이 경우, 종래의 시험 장치에 있어서는, 당해 카운터의 측정 결과는, 버스 29를 거쳐 제어부 10에 읽어 내어지고 있었다. 이것에 대해, 본 예 에 있어서의 시험 장치 100은, 주기 측정부 24에 있어서의 측정 결과를, 측정 결과 전송부 56을 거쳐 캡쳐 메모리 26에 격납할 수 있다. 이 때문에, 측정 후의 데이터 처리를 고속으로 행할 수 있다.The
주기 측정부 24를 이용하여, 피시험 메모리 200이 출력하는 클록 신호의 주기를 측정하는 경우, 펄스 선택부 40은, MUT 신호로서 피시험 메모리 200이 출력하는 클록 신호를 수취하고, 당해 MUT 신호를 선택하여, 주기 측정부 24에 공급한다. 이 경우, 펄스 선택부 40은, 당해 클록 신호를 출력하는 피시험 메모리 200의 핀에 대응하는 비교기 22(도 1 참조)를 거쳐 클록 신호를 수취해도 좋다.When the period of the clock signal output by the memory under
주기 측정부 24는, 당해 MUT 신호가 H 논리를 나타내는 기간, 기준 클록의 펄스 수를 계수한다. 이와 같은 구성에 의해, 피시험 메모리 200이 출력하는 클록 신호의 주기를 측정할 수 있다.The
또한, 주기 측정부 24는, 소정의 분주비로 분주된 클록 신호를 수취하고, 당해 신호에 따라 기준 클록의 펄스 수를 계수해도 좋다. 이것에 의해, 당해 클록 신호에 있어서, 당해 분주비로 정해지는 소정의 사이클 수 마다의 주기를 측정할 수 있다. 이 경우, 분주기 36은, 분주 클록 선택부 30을 거쳐 당해 클록 신호를 수취하고, 레지스터 34에 설정된 분주비로 당해 클록 신호를 분주한다. 펄스 선택부 40은, 분주기 36이 출력하는 분주 클록을 선택하고, 주기 측정부 24에 공급한다.In addition, the
본 예에 있어서의 시험 장치 100에 의하면, 피시험 메모리 200이 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태로 복귀하는 시간을 정확하게 계측할 수 있다. 또한, 세트 리세트 래치 38 및 펄스 선택부 40을 포함함으로써, 종래의 시험 장치가 포함하는 카운터를 이용하여, 당해 복귀 시간을 계측할 수 있다. 이 때문에, 소규모의 회로에서, 당해 복귀 시간을 계측할 수 있다. 또한, 측정 결과 전송부 56을 포함함으로써, 당해 계측 결과를 캡쳐 메모리 26에 격납할 수 있다. 이 때문에, 데이터 전송 및 데이터 처리를 고속으로 행할 수 있다.According to the
도 3은, 평가부 44의 구성의 일례를 도시하는 도면이다. 평가부 44는, 비교 회로 50 및 복수의 레지스터 52를 포함한다. 복수의 레지스터 52는, 각각 다른 기준값을 격납한다. 비교 회로 50은, 주기 측정부 24에 있어서의 계측 결과와, 각각의 레지스터 52가 격납한 복수의 기준값을 비교하고, 피시험 메모리 200을 복수의 단계로 평가한다. 캡쳐 메모리 26은, 당해 복수의 단계에 의한 평가를 격납해도 좋다.3 is a diagram illustrating an example of the configuration of the
도 4는, 시험 장치 100의 동작을 도시하는 타이밍 차트의 일례를 도시하는 도면이다. 피시험 메모리 200의 기억 셀 시험을 행하는 경우, 시험 주기 발생부 12는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 실질적으로 동일한 주기의 시험 주기 신호를 생성한다. 패턴 발생부 14는, 당해 시험 주기 신호에 동기하여, 피시험 메모리 200에 어드레스 패턴, 데이터 패턴 등의 시험 패턴을 입력한다.4 is a diagram illustrating an example of a timing chart illustrating the operation of the
피시험 메모리 200의 동작 완료 시간 시험을 행하는 경우, 시험 주기 발생부 12는, 당해 시험을 행하여야 하는 기간에 따른 주기로, 시험 주기 신호를 생성한다. 또한, 패턴 발생부 14는, 당해 시험을 행하여야 하는 기간에 따른 펄스 폭을 가지는 측정 사이클 신호를 출력한다.When the operation completion time test of the memory under
트리거 발생부 28은, 상술한 바와 같이, 시험 주기 신호와, 측정 사이클 신호에 따른 펄스를 가지는 트리거 신호를 생성한다. 또한, 피시험 메모리 200은, 상술한 바와 같이, 소정의 프로그램이 입력되고 나서, 다음의 프로그램이 실행 가능한 상태가 되었는지 아닌지를 나타내는 MUT 신호를 출력한다.As described above, the
세트 리세트 래치 38은, 트리거 신호의 타이밍으로부터, MUT 신호의 상승 에지의 타이밍까지의 펄스 폭을 가지는 펄스 신호를 생성한다. 또한, 주기 측정부 24는, 당해 펄스 신호가 H 논리를 나타내는 사이, 기준 클록의 펄스를 계수한다. 이와 같은 동작에 의해, 피시험 메모리 200의 동작 완료 시간을 측정할 수 있다.The set reset
이상, 실시 형태를 이용하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시 형태에 기재된 범위로 한정되지 않는다. 상기 실시 형태에, 다양한 변경 또는 개량을 가하는 것이 가능하다는 것이 당업자에게 명백하다. 그러한 다양한 변경 또는 개량을 가한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있다는 것이, 특허청구범위의 기재로부터 명백하다.As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various changes or improvements can be made to the above embodiment. It is evident from the description of the claims that various modifications or improvements added thereto may be included in the technical scope of the present invention.
이상으로부터 명백한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 피시험 메모리가 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태로 복귀하는 시간을 정확하게 계측할 수 있다. 또한, 종래의 시험 장치가 포함하는 카운터를 이용하여, 당해 복귀 시간을 계측할 수 있다. 이 때문에, 소규모의 회로에서, 당해 복귀 시간을 계측할 수 있다. 또한, 당해 계측 결과를 종래의 시험 장치가 포함하는 캡쳐 메모리에 격납할 수 있 다. 이 때문에, 데이터 전송 및 데이터 처리를 고속으로 행할 수 있다.As is apparent from the above, according to the present invention, it is possible to accurately measure the time for the memory under test to return from the busy state to the ready state. Moreover, the said return time can be measured using the counter contained in the conventional test apparatus. For this reason, the return time can be measured in a small circuit. In addition, the measurement result can be stored in a capture memory included in a conventional test apparatus. For this reason, data transfer and data processing can be performed at high speed.
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