KR100847913B1 - Testing Apparatus, and Testing Method - Google Patents

Testing Apparatus, and Testing Method Download PDF

Info

Publication number
KR100847913B1
KR100847913B1 KR1020060089397A KR20060089397A KR100847913B1 KR 100847913 B1 KR100847913 B1 KR 100847913B1 KR 1020060089397 A KR1020060089397 A KR 1020060089397A KR 20060089397 A KR20060089397 A KR 20060089397A KR 100847913 B1 KR100847913 B1 KR 100847913B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
test
signal
memory under
period
memory
Prior art date
Application number
KR1020060089397A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20070037313A (en
Inventor
나오요시 와타나베
Original Assignee
주식회사 아도반테스토
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 아도반테스토 filed Critical 주식회사 아도반테스토
Publication of KR20070037313A publication Critical patent/KR20070037313A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100847913B1 publication Critical patent/KR100847913B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/3183Generation of test inputs, e.g. test vectors, patterns or sequences
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31917Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31917Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
    • G01R31/31922Timing generation or clock distribution
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/56External testing equipment for static stores, e.g. automatic test equipment [ATE]; Interfaces therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

피시험 메모리가 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태로 복귀하는 시간을 정확하게 계측한다.

피시험 메모리를 시험하는 시험 장치로서, 복수의 시험 패턴을, 피시험 메모리에 순차적으로 기입하는 패턴 발생부와, 피시험 메모리에 대하여 시험 패턴의 기입을 개시하고 나서, 피시험 메모리가, 다음의 시험 패턴의 기입이 가능하게 되는 상태가 될 때까지의 주기를, 소정의 주파수의 기준 클록의 펄스 수를 계수함으로써 측정하는 주기 측정부를 포함하는 시험 장치를 제공한다.

Figure R1020060089397

클록, MUT 신호, 논리값, 캡쳐 메모리, 세트 리세트 래치

Accurately time the memory under test to return from the busy state to the ready state.

A test apparatus for testing a memory under test, comprising: a pattern generator that sequentially writes a plurality of test patterns into a memory under test, and writing a test pattern into the memory under test starts, A test apparatus including a period measuring unit for measuring a period until a state in which writing of a test pattern becomes possible is measured by counting the number of pulses of a reference clock at a predetermined frequency.

Figure R1020060089397

Clock, MUT Signal, Logic, Capture Memory, Set Reset Latch

Description

시험 장치, 및 시험 방법{Testing Apparatus, and Testing Method}Testing Apparatus, and Testing Method

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 의한 시험 장치 100의 구성의 개요를 도시하는 도면이다.FIG. 1: is a figure which shows the outline | summary of the structure of the test apparatus 100 by embodiment of this invention.

도 2는, 시험 장치 100의 상세한 구성의 일례를 도시하는 도면이다.2 is a diagram illustrating an example of a detailed configuration of the test apparatus 100.

도 3은, 평가부 44의 구성의 일례를 도시하는 도면이다.3 is a diagram illustrating an example of the configuration of the evaluation unit 44.

도 4는, 시험 장치 100의 동작을 도시하는 타이밍 차트의 일례를 도시하는 도면이다.4 is a diagram illustrating an example of a timing chart illustrating the operation of the test apparatus 100.

[부호의 설명][Description of the code]

10…제어부, 12…시험 주기 발생부, 14…패턴 발생부, 16…논리 비교부, 18…입출력 회로, 20…드라이버, 22…비교기, 24…주기 측정부, 26…캡쳐 메모리, 28…트리거 발생부, 29…버스, 30…분주 클록 선택부, 32…카운터 클록 선택부, 34…레지스터, 36…분주기, 38…세트 리세트 래치, 40…펄스 선택부, 42…초기화부, 44…평가부, 46…제1 결과 선택부, 48…제2 결과 선택부, 50…비교 회로, 52…레지스터, 54…에러 검출부, 56…측정 결과 전송부, 100…시험 장치, 200…피시험 메모리10... 12,. Test cycle generator, 14... Pattern generator 16. Logical comparison unit, 18... Input / output circuit, 20... Driver, 22.. Comparator, 24... Period measuring unit, 26... Capture memory, 28... Trigger generation section; Bus, 30... Divided clock selector; Counter clock selector; Register, 36... Dispenser, 38... Set reset latch, 40.. Pulse selector, 42... 44,. Evaluation unit, 46. .. First result selection section, 48. Second result selection section, 50... Comparison circuit, 52... Register, 54... Error detection unit, 56. Measurement result transmitting unit, 100... Test device, 200... Test Memory

본 발명은, 피시험 메모리를 시험하는 시험 장치, 및 시험 방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 피시험 메모리에 소정의 신호를 입력한 경우에, 피시험 메모리가 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태로 복귀하는 시간에 기초하여, 피시험 메모리를 평가하는 시험 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a test apparatus for testing a memory under test and a test method. In particular, the present invention provides a test apparatus for evaluating a memory under test based on a time when a predetermined signal is input to the memory under test, based on a time when the memory under test returns from a busy state to a ready state. It is about.

종래, 플래시 메모리 등의 피시험 메모리를 시험하는 항목으로서, 소정의 데이터를 피시험 메모리에 기입하고, 피시험 메모리로부터 읽어낸 데이터가, 기대값 데이터와 일치하는지 아닌지에 기초하여 피시험 메모리를 평가하는 항목이 알려져 있다. 또한, 플래시 메모리 등의 피시험 메모리에 대하여, 소정의 신호를 입력하고 나서, 피시험 메모리가 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태로 복귀할 때까지의 시간에 기초하여, 피시험 메모리를 평가하는 요구가 있다.Conventionally, an item for testing a memory under test, such as a flash memory, writes predetermined data into the memory under test, and evaluates the memory under test based on whether or not the data read from the memory under test matches the expected value data. The item to be known is known. Further, the memory under test is based on the time from the input of the predetermined signal to the memory under test, such as a flash memory, until the memory under test returns from the busy state to the ready state. There is a need to evaluate.

현재, 관련하는 특허 문헌 등은 인식하고 있지 않으므로, 그 기재를 생략한다.Since the related patent document is not recognized at present, the description is abbreviate | omitted.

이것에 대해, 종래의 시험 장치는, 소정의 데이터를 피시험 메모리에 기입하는 패턴 발생부, 및 피시험 메모리로부터 읽어낸 데이터가, 기대값 데이터와 일치하는지 아닌지를 판정하는 논리 비교 회로를 포함하고 있다. 그러나, 피시험 메모 리가 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태로 복귀할 때까지의 시간을 정확하게 측정할 수 있는 수단은 포함하고 있지 않다.In contrast, the conventional test apparatus includes a pattern generator which writes predetermined data into the memory under test, and a logic comparison circuit that determines whether the data read from the memory under test matches the expected value data. have. However, it does not include a means for accurately measuring the time from the busy state to the ready state.

예를 들면, 종래의 시험 장치는, 피시험 메모리가 출력하는 클록 신호의 주기를 측정하는 카운터는 포함하는 경우가 있지만, 당해 카운터를 이용하여, 피시험 메모리가 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태로 복귀할 때까지의 시간을 측정하는 기능은 포함하고 있지 않았다.For example, the conventional test apparatus may include a counter for measuring the period of a clock signal output by the memory under test, but the memory under test is ready from the busy state by using the counter. It does not include a function to measure the time until returning to the) state.

이 때문에 본 발명은, 상술한 과제를 해결할 수 있는 시험 장치, 및 시험 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 이 목적은, 특허청구범위에 있어서의 독립항에 기재된 특징의 조합에 의해 달성된다. 또한 종속항은 본 발명의 더욱 유리한 구체적인 예를 규정한다.For this reason, an object of this invention is to provide the test apparatus and test method which can solve the above-mentioned subject. This object is achieved by a combination of the features described in the independent claims in the claims. The dependent claims also define more advantageous specific examples of the invention.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 제1의 형태에 있어서는, 피시험 메모리를 시험하는 시험 장치로서, 복수의 시험 패턴을, 피시험 메모리에 순차적으로 기입하는 패턴 발생부와, 피시험 메모리에 대하여 시험 패턴의 기입을 개시하고 나서, 피시험 메모리가, 다음 시험 패턴의 기입이 가능하게 되는 상태가 될 때까지의 주기를, 소정의 주파수의 기준 클록의 펄스 수를 계수함으로써 측정하는 주기 측정부를 포함하는 시험 장치를 제공한다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, in the 1st aspect of this invention, it is a test apparatus which tests a memory under test, The pattern generation part which sequentially writes several test patterns to the memory under test, and a memory under test A period measuring unit for measuring a period from the start of writing the test pattern to the state under which the memory under test becomes the state in which the next test pattern can be written by counting the number of pulses of the reference clock at a predetermined frequency. It provides a test device comprising.

피시험 메모리는, 시험 패턴이 기입되고, 다음 시험 패턴을 기입할 수 없는 상태인 경우에 제1 논리값을 나타내고, 다음 시험 패턴을 기입할 수 있는 상태가 된 경우에 제2 논리값을 나타내는 MUT 신호를 출력하며, 패턴 발생부는, 시험 패턴의 기입의 개시 타이밍을 나타내는 측정 사이클 신호를 출력하고, 주기 측정부는, 측정 사이클 신호를 수취하고 나서, MUT 신호의 논리값이 제1 논리값으로부터 제2 논리값으로 바뀔 때까지의 기간, 기준 클록의 펄스 수를 계수해도 좋다.The memory under test represents a first logical value when the test pattern is written and the next test pattern cannot be written, and a MUT indicating the second logical value when the next test pattern is ready to be written. Outputs a signal, and the pattern generator outputs a measurement cycle signal indicative of the start timing of writing the test pattern, and the cycle measurement unit receives the measurement cycle signal, and then the logic value of the MUT signal is changed from the first logical value to the second. The number of pulses of the reference clock may be counted for a period until the logic value is changed.

시험 장치는, 측정 사이클 신호를 수취하고 나서, MUT 신호의 논리값이 제1 논리값으로부터 제2 논리값으로 바뀔 때까지의 기간에 따른 펄스 폭을 가지는 펄스 신호를 생성하고, 펄스 신호에 기초하여 주기 측정부에 있어서의 펄스 계수 기간을 제어하는 세트(set) 리세트(reset) 래치를 더 포함해도 좋다. 시험 장치는, 주기 측정부에 있어서의 측정 결과를 격납하는 캡쳐 메모리를 더 포함해도 좋다.After receiving the measurement cycle signal, the test apparatus generates a pulse signal having a pulse width according to a period from when the logic value of the MUT signal is changed from the first logic value to the second logic value, and based on the pulse signal A set reset latch for controlling the pulse count period in the period measuring unit may further be included. The test apparatus may further include a capture memory for storing the measurement result in the period measuring unit.

시험 장치는, 주기 측정부에 있어서의 측정 결과에 기초하여, 피시험 메모리를 평가하는 평가부와, 주기 측정부에 있어서의 측정 결과, 또는 평가부에 있어서의 평가 결과 중 어느 하나를 선택하고, 캡쳐 메모리에 출력하는 제1 결과 선택부를 더 포함해도 좋다.The test apparatus selects either the evaluation unit for evaluating the memory under test, the measurement result at the period measuring unit, or the evaluation result at the evaluation unit based on the measurement result at the period measuring unit, The apparatus may further include a first result selector that outputs to the capture memory.

시험 장치는, 피시험 메모리로부터 읽어낸 독출(讀出) 데이터에 기초하여, 피시험 메모리의 각 어드레스의 양부를 판정하는 논리 비교부와, 논리 비교부에 있어서의 판정 결과, 또는 제1 결과 선택부가 출력하는 신호 중 어느 하나를 선택하고, 캡쳐 메모리에 격납하는 제2 결과 선택부를 더 포함해도 좋다.The test apparatus selects a logical comparison unit that determines whether or not each address of the memory under test is judged based on the read data read out from the memory under test, the determination result in the logic comparison unit, or the first result selection. The second result selector may further select one of the signals to be additionally output and store it in the capture memory.

평가부는, 각각 다른 기준값을 격납하는 복수의 레지스터와, 각각의 기준값과 측정 결과를 비교하고, 비교 결과에 따른 평가값을 출력하는 비교 회로를 포함해도 좋다.The evaluation unit may include a plurality of registers each storing different reference values, and a comparison circuit for comparing the respective reference values with the measurement results and outputting evaluation values according to the comparison results.

시험 장치는, 피시험 메모리에 시험 패턴의 기입을 개시하고 나서, 소정의 기간이 경과 할 때까지, MUT 신호의 논리값이 제1 논리값으로부터 제2 논리값으로 바뀌지 않는 경우에, 타임 아웃 신호를 출력하는 에러 검출부를 더 포함하고, 평가부는, 타임 아웃 신호에 더욱 기초하여, 피시험 메모리를 평가해도 좋다.The test apparatus, when starting to write the test pattern into the memory under test, when the logic value of the MUT signal does not change from the first logic value to the second logic value until a predetermined period of time has elapsed, the time-out signal The apparatus may further include an error detection unit that outputs a, and the evaluation unit may evaluate the memory under test further based on the time-out signal.

패턴 발생부는, 시험 패턴마다 미리 정해진 시험 주기로, 각각의 시험 패턴을 피시험 메모리에 순차적으로 입력하고, 에러 검출부는, 각각의 시험 패턴의 기입을 개시하고 나서, 당해 시험 패턴에 대응하는 시험 주기의 사이에, MUT 신호의 논리값이 제1 논리값으로부터 제2 논리값으로 바뀌지 않는 경우에, 타임 아웃 신호를 출력해도 좋다.The pattern generation unit sequentially inputs each test pattern into the memory under test at predetermined test cycles for each test pattern, and the error detection unit starts writing of each test pattern and then starts the test cycle corresponding to the test pattern. In the meantime, when the logic value of the MUT signal does not change from the first logic value to the second logic value, the timeout signal may be output.

시험 장치는, 시험 주기마다, 주기 측정부의 계수값을 초기화하는 초기화부를 더 포함해도 좋다. 주기 측정부는, 각각의 시험 패턴에 대한 계수값을 적산(積算)해도 좋다.The test apparatus may further include an initialization unit for initializing the count value of the period measuring unit for each test cycle. The period measuring unit may integrate the count values for each test pattern.

본 발명의 제2의 형태에 있어서는, 피시험 메모리를 시험하는 시험 방법으로서, 복수의 시험 패턴을, 피시험 메모리에 순차적으로 기입하는 패턴 발생 단계와, 피시험 메모리에 대하여 시험 패턴의 기입을 개시하고 나서, 피시험 메모리가, 다음 시험 패턴의 기입이 가능하게 되는 상태가 될 때까지의 주기를, 소정의 주파수의 기준 클록의 펄스 수를 계수함으로써 측정하는 주기 측정 단계를 포함하는 시험 방법을 제공한다.In the second aspect of the present invention, a test method for testing a memory under test includes: a pattern generating step of sequentially writing a plurality of test patterns into the memory under test, and writing of the test pattern into the memory under test; And a period measuring step of measuring the period until the memory under test becomes a state in which the next test pattern can be written by counting the number of pulses of the reference clock at a predetermined frequency. do.

또한, 상기의 발명의 개요는, 본 발명의 필요한 특징의 전부를 열거한 것은 아니며, 이러한 특징군의 서브 콤비네이션도 또한, 발명이 될 수 있다.Note that the above summary of the invention does not enumerate all of the necessary features of the present invention, and subcombinations of such feature groups can also be inventions.

이하, 발명의 실시 형태를 통하여 본 발명을 설명하지만, 이하의 실시 형태는 특허청구범위에 의한 발명을 한정하는 것은 아니며, 또한 실시 형태 중에서 설명되어 있는 특징의 조합의 전부가 발명의 해결 수단에 필수적인 것으로 한정되지는 않는다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, although this invention is demonstrated through embodiment of invention, the following embodiment does not limit invention by a claim, and all the combination of the features demonstrated in embodiment are essential for the solution of this invention. It is not limited to this.

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 의한 시험 장치 100의 구성의 개요를 도시하는 도면이다. 시험 장치 100은, 플래시 메모리 등의 피시험 메모리 200을 시험하는 장치로서, 제어부 10, 시험 주기 발생부 12, 패턴 발생부 14, 논리 비교부 16, 입출력 회로 18, 주기 측정부 24, 캡쳐 메모리 26, 및 버스 29를 포함한다. 제어부 10은, 버스 29를 거쳐, 시험 주기 발생부 12, 패턴 발생부 14, 논리 비교부 16, 입출력 회로 18, 주기 측정부 24, 및 캡쳐 메모리 26을 제어한다.FIG. 1: is a figure which shows the outline | summary of the structure of the test apparatus 100 by embodiment of this invention. The test apparatus 100 is a device for testing a memory under test 200, such as a flash memory, which includes a controller 10, a test cycle generator 12, a pattern generator 14, a logic comparator 16, an input / output circuit 18, a cycle measurement unit 24, and a capture memory 26. , And bus 29. The control unit 10 controls the test period generation unit 12, the pattern generation unit 14, the logic comparison unit 16, the input / output circuit 18, the period measurement unit 24, and the capture memory 26 via the bus 29.

또한, 시험 장치 100은, 피시험 메모리 200에 소정의 데이터를 기입하고, 피시험 메모리 200으로부터 읽어낸 데이터에 기초하여, 피시험 메모리 200의 양부를 판정하는 기억 셀 시험과, 피시험 메모리 200에 소정의 신호를 입력하고, 피시험 메모리 200이 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태로 복귀할 때까지의 시간에 기초하여, 피시험 메모리 200의 양부를 판정하는 동작 완료 시간 시험을 행하는 기능을 포함한다. 여기서, 작업(busy) 상태란, 예를 들면 피시험 메모리 200에 대하여 다음의 신호를 입력할 수 없는 상태를 나타내고, 대기(ready) 상태란, 예를 들면 피시험 메모리 200에 대하여 신호를 입력할 수 있는 상태를 나타낸다.In addition, the test apparatus 100 writes predetermined data into the memory under test 200 and stores the data in the memory cell test and the memory under test 200 which determine whether the memory 200 under test is determined based on the data read from the memory under test 200. A function of inputting a predetermined signal and performing an operation completion time test for determining whether the memory under test 200 is successful based on the time from the busy state to the ready state returning to the ready state. It includes. Here, the busy state indicates a state in which the next signal cannot be input to, for example, the memory under test 200, and the ready state indicates, for example, a signal input to the memory under test 200. Indicates the state that can be.

우선, 기억 셀 시험을 행하는 경우에 있어서의, 시험 장치 100의 동작을 설명한다. 제어부 10은, 미리 주어지는 시험 프로그램 및 시험 패턴에 기초하여, 시 험 장치 100의 각 구성 요소를 제어한다. 예를 들면, 제어부 10은, 당해 시험 패턴에 기초하여, 패턴 발생부 14에 원하는 시험 패턴을 생성시킨다. 또한, 제어부 10은, 미리 주어지는 시험 프로그램에 기초하여, 시험 주기 발생부 12에 원하는 주기의 시험 주기 신호를 생성시킨다. 패턴 발생부 14는, 시험 주기 발생부 12가 생성하는 시험 주기 신호에 따라, 시험 패턴의 각 데이터를, 입출력 회로 18을 거쳐 피시험 메모리 200에 입력한다.First, the operation of the test apparatus 100 in the case of performing the memory cell test will be described. The control unit 10 controls each component of the test apparatus 100 based on a test program and a test pattern given in advance. For example, the control unit 10 generates a desired test pattern in the pattern generator 14 based on the test pattern. In addition, the control unit 10 generates a test cycle signal having a desired cycle in the test cycle generator 12 based on a test program given in advance. The pattern generator 14 inputs the data of the test pattern to the memory under test 200 via the input / output circuit 18 in accordance with the test cycle signal generated by the test cycle generator 12.

입출력 회로 18은, 드라이버 20 및 비교기 22를 포함한다. 드라이버 20은, 패턴 발생부 14가 출력하는 시험 패턴을 정형하고, 피시험 메모리 200에 입력한다. 또한, 비교기 22는, 피시험 메모리 200이 출력하는 신호를, 미리 정해진 역치 전압과 비교하고, 당해 출력 신호를 디지털 데이터로 변환한다.The input / output circuit 18 includes a driver 20 and a comparator 22. The driver 20 shapes the test pattern output by the pattern generator 14 and inputs it to the memory under test 200. The comparator 22 compares the signal output from the memory under test 200 with a predetermined threshold voltage and converts the output signal into digital data.

논리 비교부 16은, 비교기 22가 출력하는 데이터와, 패터 발생부 14로부터 주어지는 기대값 데이터를 비교하고, 피시험 메모리 200의 양부를 판정한다. 예를 들면, 논리 비교부 16은, 피시험 메모리 200의 각 어드레스로부터 읽어낸 데이터 값과, 당해 어드레스에 대응하는 기대값 데이터를 비교하고, 각각의 어드레스의 양부를 판정해도 좋다. 또한, 패턴 발생부 14는, 피시험 메모리 200에 기입한 시험 패턴과 동일한 데이터를, 기대값 데이터로서 논리 비교부 16에 주어도 좋다.The logic comparator 16 compares the data output by the comparator 22 with the expected value data given from the pattern generator 14 to determine whether the memory 200 under test is successful. For example, the logic comparison unit 16 may compare the data value read from each address of the memory under test 200 with the expected value data corresponding to the address, and determine whether each address is good or bad. In addition, the pattern generator 14 may provide the logical comparator 16 with the same data as the test pattern written in the memory under test 200 as expected value data.

캡쳐 메모리 26은, 논리 비교부 16에 있어서의 판정 결과를 격납한다. 예를 들면, 캡쳐 메모리 26은, 피시험 메모리 200의 각 어드레스 마다의 판정 결과를, 각각의 어드레스에 대응하여 격납한다. 이와 같은 동작에 의해, 피시험 메모리 200의 기억 셀의 양부를 판정할 수 있다. 또한, 판정 결과를 캡쳐 메모리 26에 획 득함으로써, 피시험 메모리 200의 불량 해석을 행할 수 있다.The capture memory 26 stores the determination result in the logic comparison unit 16. For example, the capture memory 26 stores the determination result for each address of the memory under test 200 corresponding to each address. By such an operation, it is possible to determine whether the memory cell of the memory under test 200 is valid. In addition, by acquiring the determination result into the capture memory 26, the failure analysis of the memory under test 200 can be performed.

다음으로, 동작 완료 시간 시험을 행하는 경우에 있어서의, 시험 장치 100의 동작을 설명한다. 패턴 발생부 14는, 피시험 메모리 200을 동작시켜야 하는 복수의 시험 패턴을, 피시험 메모리 200에 순차적으로 입력한다. 또한, 패턴 발생부 14는, 당해 시험을 행하는 사이클을 나타내고, 측정 사이클 신호를 출력한다. 예를 들면 측정 사이클 신호는, 당해 시험을 개시해야 하는 타이밍으로부터, 당해 시험을 종료해야 하는 타이밍까지, H 논리를 나타내는 신호이어도 좋다.Next, the operation of the test apparatus 100 in the case of performing the operation completion time test will be described. The pattern generator 14 sequentially inputs a plurality of test patterns for operating the memory under test 200 to the memory under test 200. In addition, the pattern generator 14 indicates a cycle for performing the test and outputs a measurement cycle signal. For example, the measurement cycle signal may be a signal indicating H logic from the timing at which the test should be started to the timing at which the test should be completed.

피시험 메모리 200은, 각각의 시험 패턴을 수취한 경우에, 다음의 시험 패턴을 입력할 수 있는지 아닌지를 나타내는 MUT 신호를 출력한다. 예를 들면 MUT 신호는, 다음의 시험 패턴을 기입할 수 없는 경우에 제 1 논리값을 나타내고, 다음의 시험 패턴을 기입할 수 있는 경우에 제2 논리값을 나타내는 신호이다. 본 예에서는, 제1 논리값이 L 논리이고, 제2 논리값이 H 논리인 경우를 이용하여 설명한다.When each test pattern is received, the memory under test 200 outputs a MUT signal indicating whether or not the next test pattern can be input. For example, the MUT signal indicates a first logic value when the next test pattern cannot be written and indicates a second logic value when the next test pattern can be written. In this example, the case where the first logic value is L logic and the second logic value is H logic will be described.

주기 측정부 24는, 피시험 메모리 200에 대하여 시험 패턴의 기입을 개시하고 나서, 피시험 메모리 200이, 다음의 시험 패턴의 기입이 가능하게 되는 상태가 될 때까지의 주기를, 소정의 주파수의 기준 클록의 펄스 수를 계수함으로써 측정한다. 예를 들면 주기 측정부 24는, 측정 사이클 신호의 상승 에지가 입력되고 나서, MUT 신호의 논리값이 L 논리로부터 H 논리로 바뀔 때까지의 기간, 기준 클록의 펄스 수를 계수하는 카운터이어도 좋다.The period measuring unit 24 starts writing the test pattern with respect to the memory under test 200, and then starts a cycle from the test memory 200 to a state where writing of the next test pattern becomes possible. The measurement is made by counting the number of pulses of the reference clock. For example, the period measuring unit 24 may be a counter that counts the number of pulses of the reference clock after the rising edge of the measurement cycle signal is input and when the logic value of the MUT signal changes from the L logic to the H logic.

주기 측정부 24는, MUT 신호를, 비교기 22를 거쳐 수취해도 좋다. 예를 들면, 시험 장치 100은, 피시험 메모리 200의 복수의 핀에 대응하여, 복수의 입출력 부 18을 포함해도 좋다. 그리고, 주기 측정부 24는, MUT 신호를 출력하는 피시험 메모리 200의 핀에 대응하는 비교기 22를 거쳐, MUT 신호를 수취해도 좋다.The period measuring unit 24 may receive the MUT signal via the comparator 22. For example, the test apparatus 100 may include a plurality of input / output units 18 corresponding to the plurality of pins of the memory under test 200. The period measuring unit 24 may receive the MUT signal via a comparator 22 corresponding to the pin of the memory under test 200 that outputs the MUT signal.

또한, 주기 측정부 24는, 당해 계수 결과에 기초하여, 피시험 메모리 200의 양부를 판정해도 좋다. 또한, 주기 측정부 24는, 피시험 메모리 200이 출력하는 클록 신호를, 비교기 22를 거쳐 수취하고, 당해 클록 신호의 주기를 측정하는 기능을 더 포함해도 좋다. 주기 측정부 24가 어느 측정을 행하는지는, 제어부 10이 제어해도 좋다. 캡쳐 메모리 26은, 주기 측정부 24에 있어서의, 계수 결과 또는 판정 결과를 격납한다. 이와 같은 동작에 의해, 동작 완료 시간 시험을 행할 수 있다.In addition, the period measuring unit 24 may determine whether the memory under test 200 is good or not, based on the count result. The period measuring unit 24 may further include a function of receiving the clock signal output from the memory under test 200 via the comparator 22 and measuring the period of the clock signal. The control unit 10 may control which measurement the period measurement unit 24 performs. The capture memory 26 stores the counting result or the determination result in the period measuring unit 24. By such an operation, an operation completion time test can be performed.

도 2는, 시험 장치 100의 상세한 구성의 일례를 도시하는 도면이다. 도 2에 있어서는, 동작 완료 시간 시험을 행하는 구성을 도시하고, 제어부 10, 시험 주기 발생부 12, 패턴 발생부 14, 논리 비교부 16, 입출력 회로 18, 및 버스 29를 생략한 시험 장치 100을 도시한다.2 is a diagram illustrating an example of a detailed configuration of the test apparatus 100. In FIG. 2, the structure which performs an operation completion time test is shown, and the test apparatus 100 which omitted the control part 10, the test period generation part 12, the pattern generation part 14, the logic comparison part 16, the input / output circuit 18, and the bus 29 is shown. do.

시험 장치 100은, 도 1에 있어서 설명한 구성에 더하여, 트리거 발생부 28, 분주(分周) 클록 선택부 30, 카운터 클록 선택부 32, 레지스터 34, 분주기 36, 세트 리세트 래치 38, 펄스 선택부 40, 초기화부 42, 에러 검출부 54, 및 측정 결과 전송부 56을 더 포함한다.In addition to the configuration described with reference to FIG. 1, the test apparatus 100 includes a trigger generator 28, a divider clock selector 30, a counter clock selector 32, a register 34, a divider 36, a set reset latch 38, and pulse selection. The unit further includes an initialization unit 42, an error detection unit 54, and a measurement result transmission unit 56.

트리거 발생부 28은, 패턴 발생부 14가 출력하는 측정 사이클 신호, 및 버스 29를 거쳐 주어지는 시험 주기 신호에 기초하여, 주기 측정부 24를 제어하는 트리거 신호를 생성한다. 예를 들면 트리거 발생부 28은, 측정 사이클 신호가 H 논리 를 나타낸 후에, 최초로 주어지는 시험 주기 신호의 펄스에 따라, 트리거 신호를 출력한다.The trigger generation unit 28 generates a trigger signal for controlling the period measurement unit 24 based on the measurement cycle signal output from the pattern generation unit 14 and the test cycle signal given through the bus 29. For example, after the measurement cycle signal shows the H logic, the trigger generator 28 outputs the trigger signal in accordance with the pulse of the test cycle signal first given.

세트 리세트 래치 38은, 트리거 신호와, 피시험 메모리 200이 출력하는 MUT 신호에 기초하여, 펄스 신호를 생성한다. 예를 들면, 세트 리세트 래치 38은, 트리거 신호를 수취하고 나서, MUT 신호의 논리값이 L 논리로부터 H 논리로 바뀔 때까지의 기간에 따른 펄스 폭을 가지는 펄스 신호를 생성한다. 세트 리세트 래치 38은, 당해 펄스 신호를, 펄스 선택부 40을 거쳐 주기 측정부 24에 공급하고, 주기 측정부 24에 있어서의 펄스 계수 기간을 제어한다.The set reset latch 38 generates a pulse signal based on the trigger signal and the MUT signal output from the memory under test 200. For example, the set reset latch 38 generates a pulse signal having a pulse width according to a period from which the logic signal of the MUT signal is changed from the L logic to the H logic after receiving the trigger signal. The set reset latch 38 supplies the pulse signal to the period measurement unit 24 via the pulse selector 40, and controls the pulse counting period in the period measurement unit 24.

주기 측정부 24는, 당해 펄스 신호가 H 논리를 나타내는 기간, 카운터 클록 선택부 32를 거쳐 주어지는 기준 클록의 펄스 수를 계수한다. 이와 같은 구성에 의해, 피시험 메모리 200이 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태로 복귀할 때까지의 시간을 계측할 수 있다.The period measuring unit 24 counts the number of pulses of the reference clock given through the counter clock selection unit 32 and the period in which the pulse signal indicates the H logic. With such a configuration, it is possible to measure the time until the memory under test 200 returns from the busy state to the ready state.

측정 결과 전송부 56은, 주기 측정부 24에 있어서의 계측 결과를, 캡쳐 메모리 26에 격납한다. 또한, 측정 결과 전송부 56은, 주기 측정부 24에 있어서의 계측 결과에 기초하여 피시험 메모리 200의 양부를 판정하고, 당해 판정 결과를 캡쳐 메모리 26에 격납해도 좋다.The measurement result transmission unit 56 stores the measurement result in the period measurement unit 24 in the capture memory 26. In addition, the measurement result transmission unit 56 may determine whether the memory under test 200 is successful or not, based on the measurement result in the period measurement unit 24, and store the determination result in the capture memory 26.

본 예에 있어서는, 측정 결과 전송부 56은, 평가부 44, 제1 결과 선택부 46, 및 제2 결과 선택부 48을 포함한다. 평가부 44는, 주기 측정부 24에 있어서의 계측 결과에 기초하여, 피시험 메모리 200의 양부를 판정한다. 제1 결과 선택부 46은, 주기 측정부 24에 있어서의 측정 결과, 또는 평가부 44에 있어서의 평가 결과 중 어느 하나를 선택하여 출력한다. 이와 같은 구성에 의해, 주기 측정부 24에 있어서의 측정의 로 데이터(raw data), 또는 평가부 44에 있어서의 평가 결과 중 어느 쪽이든 원하는 데이터를, 캡쳐 메모리 26에 격납할 수 있다.In this example, the measurement result transmission unit 56 includes an evaluation unit 44, a first result selection unit 46, and a second result selection unit 48. The evaluation unit 44 determines whether the memory under test 200 is good or not, based on the measurement result in the period measuring unit 24. The first result selector 46 selects and outputs either the measurement result in the period measurement unit 24 or the evaluation result in the evaluation unit 44. With such a configuration, either the raw data of the measurement in the period measuring unit 24 or the evaluation result in the evaluation unit 44 can store desired data in the capture memory 26.

제2 결과 선택부 48은, 논리 비교부 16에 있어서의 비교 결과, 또는 제1 결과 선택부 46이 출력하는 신호 중 어느 하나를 선택하고, 캡쳐 메모리 26에 격납한다. 이와 같은 구성에 의해, 기억 셀 시험, 또는 동작 완료 시간 시험 중 어느 쪽이든 원하는 시험 결과를 캡쳐 메모리 26에 격납할 수 있다.The second result selector 48 selects either the comparison result in the logic comparator 16 or the signal output from the first result selector 46 and stores it in the capture memory 26. With such a configuration, the desired test result can be stored in the capture memory 26 either in the memory cell test or the operation completion time test.

또한, 복수의 시험 패턴을 순차적으로 피시험 메모리 200에 입력하고, 각각의 시험 패턴마다, 피시험 메모리 200이 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태가 될 때까지의 시간을 계측하는 경우, 초기화부 42는, 각각의 시험 패턴마다, 주기 측정부 24에 있어서의 계수값을 초기값으로 리세트해도 좋다. 각각의 시험 패턴은, 시험 주기에 따라 피시험 메모리 200에 입력되므로, 초기화부 42는, 시험 주기에 따라 주기 측정부 24에 있어서의 계수값을 초기값으로 리세트해도 좋다.In addition, when a plurality of test patterns are sequentially input to the memory under test 200, and for each test pattern, the time from the busy state to the ready state is measured. The initialization unit 42 may reset the count value in the period measurement unit 24 to the initial value for each test pattern. Since each test pattern is input to the memory under test 200 in accordance with the test period, the initialization unit 42 may reset the count value in the period measuring unit 24 to the initial value in accordance with the test period.

또한, 초기화부 42는, 복수의 시험 패턴마다, 주기 측정부 24에 있어서의 계측값을 초기값으로 리세트해도 좋다. 이 경우, 주기 측정부 24는, 각각의 시험 패턴에 대한 계수값을 적산할 수 있다. 즉, 각각의 시험 패턴마다, 주기 측정부 24에 있어서의 계측값을 리세트 하지 않음으로써, 소정의 수의 시험 패턴에 대한 계수값을 적산할 수 있다. 이것에 의해, 예를 들면 피시험 메모리 200이 복수의 어드레스 블록을 포함하고 있는 경우에, 어드레스 블록마다 시험 패턴을 입력하는 경우, 소정의 수의 어드레스 블록에 대한 계수값을 적산할 수 있다.In addition, the initialization part 42 may reset the measured value in the period measurement part 24 to an initial value for every some test pattern. In this case, the period measuring unit 24 can integrate the count values for each test pattern. That is, by not resetting the measured value in the period measurement part 24 for each test pattern, the count value with respect to a predetermined number of test patterns can be integrated. As a result, for example, in the case where the memory under test 200 includes a plurality of address blocks, and a test pattern is input for each address block, coefficient values for a predetermined number of address blocks can be accumulated.

또한, 에러 검출부 54는, 피시험 메모리 200에 시험 패턴의 기입을 개시하고 나서, 소정의 기간이 경과할 때까지, MUT 신호가 L 논리로부터 H 논리로 바뀌지 않는 경우에, 타임 아웃 신호를 출력한다. 본 예에 있어서 에러 검출부 54는, 측정 사이클 신호 및 시험 주기에 기초하여, 시험 패턴의 기입을 개시한 타이밍을 검출한다. 또한, 세트 리세트 래치 38이 출력하는 신호에 기초하여, MUT 신호가 L 논리로부터 H 논리로 바뀌었는지 아닌지를 검출한다. 평가부 44는, 당해 타임 아웃 신호에 기초하여, 피시험 메모리 200의 양부를 판정해도 좋다.In addition, the error detection unit 54 outputs a time-out signal when the MUT signal does not change from L logic to H logic until a predetermined period elapses after starting writing of the test pattern into the memory under test 200. . In this example, the error detection unit 54 detects the timing at which writing of the test pattern is started based on the measurement cycle signal and the test period. On the basis of the signal output from the set reset latch 38, it is detected whether or not the MUT signal is changed from L logic to H logic. The evaluation unit 44 may determine whether or not the memory 200 under test is judged based on the time-out signal.

또한, 시험 장치 100이 복수의 피시험 메모리 200에 대하여 동일한 시험 패턴을 병렬로 입력하여 시험하는 경우에 있어서, 어느 하나의 피시험 메모리 200에 대하여 타임 아웃 신호를 검출한 경우, 제어부 10은, 당해 시험 패턴을 이용한 시험 사이클을 종료하고, 다음 시험 패턴을 이용한 시험을, 전체의 피시험 메모리 200에 대하여 행해도 좋다. 타임 아웃을 검출하는 소정의 기간은, 당해 시험을 행하여야 하는 시험 주기와 실질적으로 동일한 길이이어도 좋다. 예를 들면 에러 검출부 54는, 패턴 발생부가 시험 주기 신호에 동기하여 시험 패턴의 입력을 개시하고 나서, 시험 주기 신호에 있어서 다음의 시험 사이클을 나타내는 펄스를 검출할 때까지, MUT 신호가 L 논리로부터 H 논리로 바뀌지 않는 경우에, 타임 아웃 신호를 출력해도 좋다.In the case where the test apparatus 100 inputs and tests the same test pattern in parallel with respect to the plurality of memory under test 200, when the test device 100 detects the time-out signal with respect to any one of the memory under test 200, The test cycle using the test pattern may be completed, and the test using the next test pattern may be performed on the entire memory 200 under test. The predetermined period of time for detecting the timeout may be substantially the same length as the test period during which the test is to be performed. For example, the error detection unit 54 starts the input of the test pattern in synchronization with the test cycle signal, and then, until the MUT signal detects a pulse representing the next test cycle in the test cycle signal, the MUT signal is separated from the L logic. If it does not change to H logic, you may output a timeout signal.

또한, 주기 측정부 24는, 종래의 시험 장치가 포함하는 클록 주기 측정용의 카운터이어도 좋다. 이 경우, 종래의 시험 장치에 있어서는, 당해 카운터의 측정 결과는, 버스 29를 거쳐 제어부 10에 읽어 내어지고 있었다. 이것에 대해, 본 예 에 있어서의 시험 장치 100은, 주기 측정부 24에 있어서의 측정 결과를, 측정 결과 전송부 56을 거쳐 캡쳐 메모리 26에 격납할 수 있다. 이 때문에, 측정 후의 데이터 처리를 고속으로 행할 수 있다.The period measuring unit 24 may be a counter for clock period measurement included in a conventional test apparatus. In this case, in the conventional test apparatus, the measurement result of the counter was read out to the control unit 10 via the bus 29. On the other hand, the test apparatus 100 in this example can store the measurement result in the period measurement unit 24 in the capture memory 26 via the measurement result transmission unit 56. For this reason, the data processing after a measurement can be performed at high speed.

주기 측정부 24를 이용하여, 피시험 메모리 200이 출력하는 클록 신호의 주기를 측정하는 경우, 펄스 선택부 40은, MUT 신호로서 피시험 메모리 200이 출력하는 클록 신호를 수취하고, 당해 MUT 신호를 선택하여, 주기 측정부 24에 공급한다. 이 경우, 펄스 선택부 40은, 당해 클록 신호를 출력하는 피시험 메모리 200의 핀에 대응하는 비교기 22(도 1 참조)를 거쳐 클록 신호를 수취해도 좋다.When the period of the clock signal output by the memory under test 200 is measured by using the period measuring unit 24, the pulse selector 40 receives the clock signal output by the memory under test 200 as the MUT signal, and receives the MUT signal. It selects and supplies it to the period measuring part 24. In this case, the pulse selector 40 may receive the clock signal via the comparator 22 (see FIG. 1) corresponding to the pin of the memory under test 200 which outputs the clock signal.

주기 측정부 24는, 당해 MUT 신호가 H 논리를 나타내는 기간, 기준 클록의 펄스 수를 계수한다. 이와 같은 구성에 의해, 피시험 메모리 200이 출력하는 클록 신호의 주기를 측정할 수 있다.The period measuring unit 24 counts the number of pulses of the reference clock while the MUT signal indicates the H logic. With such a configuration, the cycle of the clock signal output from the memory under test 200 can be measured.

또한, 주기 측정부 24는, 소정의 분주비로 분주된 클록 신호를 수취하고, 당해 신호에 따라 기준 클록의 펄스 수를 계수해도 좋다. 이것에 의해, 당해 클록 신호에 있어서, 당해 분주비로 정해지는 소정의 사이클 수 마다의 주기를 측정할 수 있다. 이 경우, 분주기 36은, 분주 클록 선택부 30을 거쳐 당해 클록 신호를 수취하고, 레지스터 34에 설정된 분주비로 당해 클록 신호를 분주한다. 펄스 선택부 40은, 분주기 36이 출력하는 분주 클록을 선택하고, 주기 측정부 24에 공급한다.In addition, the period measuring unit 24 may receive a clock signal divided by a predetermined division ratio and count the pulse number of the reference clock in accordance with the signal. Thereby, in the said clock signal, the period for every predetermined | prescribed number of cycles determined by the said division ratio can be measured. In this case, the frequency divider 36 receives the clock signal through the frequency division clock selector 30 and divides the clock signal at the division ratio set in the register 34. The pulse selector 40 selects the divided clock output by the frequency divider 36 and supplies it to the period measuring unit 24.

본 예에 있어서의 시험 장치 100에 의하면, 피시험 메모리 200이 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태로 복귀하는 시간을 정확하게 계측할 수 있다. 또한, 세트 리세트 래치 38 및 펄스 선택부 40을 포함함으로써, 종래의 시험 장치가 포함하는 카운터를 이용하여, 당해 복귀 시간을 계측할 수 있다. 이 때문에, 소규모의 회로에서, 당해 복귀 시간을 계측할 수 있다. 또한, 측정 결과 전송부 56을 포함함으로써, 당해 계측 결과를 캡쳐 메모리 26에 격납할 수 있다. 이 때문에, 데이터 전송 및 데이터 처리를 고속으로 행할 수 있다.According to the test apparatus 100 in this example, it is possible to accurately measure the time for the memory under test 200 to return to the ready state from the busy state. In addition, by including the set reset latch 38 and the pulse selector 40, the return time can be measured using a counter included in the conventional test apparatus. For this reason, the return time can be measured in a small circuit. In addition, by including the measurement result transmission unit 56, the measurement result can be stored in the capture memory 26. For this reason, data transfer and data processing can be performed at high speed.

도 3은, 평가부 44의 구성의 일례를 도시하는 도면이다. 평가부 44는, 비교 회로 50 및 복수의 레지스터 52를 포함한다. 복수의 레지스터 52는, 각각 다른 기준값을 격납한다. 비교 회로 50은, 주기 측정부 24에 있어서의 계측 결과와, 각각의 레지스터 52가 격납한 복수의 기준값을 비교하고, 피시험 메모리 200을 복수의 단계로 평가한다. 캡쳐 메모리 26은, 당해 복수의 단계에 의한 평가를 격납해도 좋다.3 is a diagram illustrating an example of the configuration of the evaluation unit 44. The evaluation unit 44 includes a comparison circuit 50 and a plurality of registers 52. The plurality of registers 52 store different reference values, respectively. The comparison circuit 50 compares the measurement result in the period measuring unit 24 with a plurality of reference values stored in each register 52, and evaluates the memory under test 200 in a plurality of steps. The capture memory 26 may store the evaluation by the plurality of steps.

도 4는, 시험 장치 100의 동작을 도시하는 타이밍 차트의 일례를 도시하는 도면이다. 피시험 메모리 200의 기억 셀 시험을 행하는 경우, 시험 주기 발생부 12는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 실질적으로 동일한 주기의 시험 주기 신호를 생성한다. 패턴 발생부 14는, 당해 시험 주기 신호에 동기하여, 피시험 메모리 200에 어드레스 패턴, 데이터 패턴 등의 시험 패턴을 입력한다.4 is a diagram illustrating an example of a timing chart illustrating the operation of the test apparatus 100. When the memory cell test of the memory under test 200 is performed, the test period generator 12 generates test period signals having substantially the same period as shown in FIG. 4. The pattern generator 14 inputs test patterns, such as an address pattern and a data pattern, to the memory under test 200 in synchronization with the test period signal.

피시험 메모리 200의 동작 완료 시간 시험을 행하는 경우, 시험 주기 발생부 12는, 당해 시험을 행하여야 하는 기간에 따른 주기로, 시험 주기 신호를 생성한다. 또한, 패턴 발생부 14는, 당해 시험을 행하여야 하는 기간에 따른 펄스 폭을 가지는 측정 사이클 신호를 출력한다.When the operation completion time test of the memory under test 200 is performed, the test cycle generator 12 generates a test cycle signal at a cycle corresponding to the period during which the test is to be performed. In addition, the pattern generator 14 outputs a measurement cycle signal having a pulse width corresponding to a period during which the test is to be performed.

트리거 발생부 28은, 상술한 바와 같이, 시험 주기 신호와, 측정 사이클 신호에 따른 펄스를 가지는 트리거 신호를 생성한다. 또한, 피시험 메모리 200은, 상술한 바와 같이, 소정의 프로그램이 입력되고 나서, 다음의 프로그램이 실행 가능한 상태가 되었는지 아닌지를 나타내는 MUT 신호를 출력한다.As described above, the trigger generator 28 generates a trigger signal having a test cycle signal and a pulse corresponding to the measurement cycle signal. In addition, as described above, the memory under test 200 outputs a MUT signal indicating whether the next program is in an executable state after a predetermined program is input.

세트 리세트 래치 38은, 트리거 신호의 타이밍으로부터, MUT 신호의 상승 에지의 타이밍까지의 펄스 폭을 가지는 펄스 신호를 생성한다. 또한, 주기 측정부 24는, 당해 펄스 신호가 H 논리를 나타내는 사이, 기준 클록의 펄스를 계수한다. 이와 같은 동작에 의해, 피시험 메모리 200의 동작 완료 시간을 측정할 수 있다.The set reset latch 38 generates a pulse signal having a pulse width from the timing of the trigger signal to the timing of the rising edge of the MUT signal. The period measuring unit 24 also counts pulses of the reference clock while the pulse signal indicates H logic. By such operation, the operation completion time of the memory under test 200 can be measured.

이상, 실시 형태를 이용하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시 형태에 기재된 범위로 한정되지 않는다. 상기 실시 형태에, 다양한 변경 또는 개량을 가하는 것이 가능하다는 것이 당업자에게 명백하다. 그러한 다양한 변경 또는 개량을 가한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있다는 것이, 특허청구범위의 기재로부터 명백하다.As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various changes or improvements can be made to the above embodiment. It is evident from the description of the claims that various modifications or improvements added thereto may be included in the technical scope of the present invention.

이상으로부터 명백한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 피시험 메모리가 작업(busy) 상태로부터 대기(ready) 상태로 복귀하는 시간을 정확하게 계측할 수 있다. 또한, 종래의 시험 장치가 포함하는 카운터를 이용하여, 당해 복귀 시간을 계측할 수 있다. 이 때문에, 소규모의 회로에서, 당해 복귀 시간을 계측할 수 있다. 또한, 당해 계측 결과를 종래의 시험 장치가 포함하는 캡쳐 메모리에 격납할 수 있 다. 이 때문에, 데이터 전송 및 데이터 처리를 고속으로 행할 수 있다.As is apparent from the above, according to the present invention, it is possible to accurately measure the time for the memory under test to return from the busy state to the ready state. Moreover, the said return time can be measured using the counter contained in the conventional test apparatus. For this reason, the return time can be measured in a small circuit. In addition, the measurement result can be stored in a capture memory included in a conventional test apparatus. For this reason, data transfer and data processing can be performed at high speed.

Claims (12)

피시험 메모리를 시험하는 시험 장치에 있어서, A test apparatus for testing a memory under test, 복수의 시험 패턴을, 상기 피시험 메모리에 순차적으로 기입하는 패턴 발생부와,A pattern generator which sequentially writes a plurality of test patterns into the memory under test; 상기 피시험 메모리에 대하여 상기 시험 패턴의 기입을 개시하고 나서, 상기 피시험 메모리가, 다음 시험 패턴의 기입이 가능하게 되는 상태가 될 때까지의 주기를, 소정의 주파수의 기준 클록의 펄스 수를 계수함으로써 측정하는 주기 측정부를 포함하는 시험 장치.The period from the start of writing the test pattern to the memory under test to the state under which the memory under test becomes a state in which the writing of the next test pattern becomes possible becomes the number of pulses of the reference clock at a predetermined frequency. A test apparatus including a period measuring unit for measuring by counting. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 피시험 메모리는, 상기 시험 패턴이 기입되고, 다음의 상기 시험 패턴을 기입할 수 없는 상태인 경우에 제1 논리값을 나타내고, 다음의 시험 패턴을 기입할 수 있는 상태가 된 경우에 제2 논리값을 나타내는 MUT 신호를 출력하며,The test memory indicates a first logic value when the test pattern is written and the next test pattern cannot be written, and a second test memory when the test pattern can be written. Outputs the MUT signal representing the logic value, 상기 패턴 발생부는, 상기 시험 패턴의 기입의 개시 타이밍을 나타내는 측정 사이클 신호를 출력하고, The pattern generator outputs a measurement cycle signal indicating a start timing of writing of the test pattern, 상기 주기 측정부는, 상기 측정 사이클 신호를 수취하고 나서, 상기 MUT 신호의 논리값이 상기 제1 논리값으로부터 상기 제2 논리값으로 바뀔 때까지의 기간, 상기 기준 클록의 펄스 수를 계수하는 시험 장치.The period measuring unit is a test device for counting the number of pulses of the reference clock for a period from when the measurement cycle signal is received to when the logic value of the MUT signal is changed from the first logic value to the second logic value. . 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 측정 사이클 신호를 수취하고 나서, 상기 MUT 신호의 논리값이 상기 제1 논리값으로부터 상기 제2 논리값으로 바뀔 때까지의 기간에 따른 펄스 폭을 가지는 펄스 신호를 생성하고, 상기 펄스 신호에 기초하여 상기 주기 측정부에 있어서의 펄스 계수 기간을 제어하는 세트 리세트 래치를 더 포함하는 시험 장치. After receiving the measurement cycle signal, generate a pulse signal having a pulse width according to a period from the logic value of the MUT signal to the second logic value, and based on the pulse signal And a set reset latch for controlling the pulse counting period in the period measuring unit. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 주기 측정부에 있어서의 측정 결과를 격납하는 캡쳐 메모리를 더 포함하는 시험 장치.And a capture memory for storing the measurement result in the period measuring unit. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 주기 측정부에 있어서의 측정 결과에 기초하여, 상기 피시험 메모리를 평가하는 평가부와,An evaluation unit for evaluating the memory under test based on the measurement result in the period measuring unit; 상기 주기 측정부에 있어서의 측정 결과, 또는 상기 평가부에 있어서의 평가 결과 중 어느 하나를 선택하고, 상기 캡쳐 메모리에 출력하는 제1 결과 선택부를 더 포함하는 시험 장치.And a first result selector which selects one of the measurement result in the period measuring part or the evaluation result in the evaluation part and outputs the result to the capture memory. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 피시험 메모리로부터 읽어낸 독출(讀出) 데이터에 기초하여, 상기 피시험 메모리의 각 어드레스의 양부를 판정하는 논리 비교부와,A logic comparator which determines whether or not each address of the memory under test is determined based on read data read out from the memory under test; 상기 논리 비교부에 있어서의 판정 결과, 또는 상기 제1 결과 선택부가 출력하는 신호 중 어느 하나를 선택하고, 상기 캡쳐 메모리에 격납하는 제2 결과 선택부를 더 포함하는 시험 장치.And a second result selector which selects one of a determination result in the logic comparison unit or a signal output by the first result selector and stores the captured result in the capture memory. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 평가부는,The evaluation unit, 각각 다른 기준값을 격납하는 복수의 레지스터와, A plurality of registers storing different reference values, 각각의 상기 기준값과 상기 측정 결과를 비교하고, 비교 결과에 따른 평가값을 출력하는 비교 회로를 포함하는 시험 장치.And a comparison circuit for comparing the respective reference values with the measurement results and outputting evaluation values according to the comparison results. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 피시험 메모리에 상기 시험 패턴의 기입을 개시하고 나서, 소정의 기간이 경과 할 때까지, 상기 MUT 신호의 논리값이 상기 제1 논리값으로부터 상기 제2 논리값으로 바뀌지 않는 경우에, 타임 아웃 신호를 출력하는 에러 검출부를 더 포함하고,When the logic value of the MUT signal does not change from the first logic value to the second logic value until a predetermined period elapses after starting writing of the test pattern into the test memory, Further comprising an error detection unit for outputting a signal, 상기 평가부는, 상기 타임 아웃 신호에 더욱 기초하여, 상기 피시험 메모리를 평가하는 시험 장치.And the evaluation unit further evaluates the memory under test based on the timeout signal. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 패턴 발생부는, 상기 시험 패턴마다 미리 정해진 시험 주기로, 각각의 상기 시험 패턴을 상기 피시험 메모리에 순차적으로 입력하고,The pattern generator is configured to sequentially input each test pattern to the memory under test at predetermined test cycles for each test pattern, 상기 에러 검출부는, 각각의 상기 시험 패턴의 기입을 개시하고 나서, 당해 시험 패턴에 대응하는 상기 시험 주기의 사이에, 상기 MUT 신호의 논리값이 상기 제1 논리값으로부터 상기 제2 논리값으로 바뀌지 않는 경우에, 타임 아웃 신호를 출력하는 시험 장치.After the error detection unit starts writing each of the test patterns, the logic value of the MUT signal is changed from the first logic value to the second logic value between the test periods corresponding to the test pattern. If not, the test device to output a time-out signal. 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 시험 주기마다, 상기 주기 측정부의 계수값을 초기화하는 초기화부를 더 포함하는 시험 장치. And an initialization unit for initializing a coefficient value of the period measurement unit for each test cycle. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 주기 측정부는, 각각의 상기 시험 패턴에 대한 계수값을 적산(積算)하는 시험 장치.The period measuring unit is a test device for integrating the coefficient value for each of the test pattern. 피시험 메모리를 시험하는 시험 방법에 있어서,In the test method for testing the memory under test, 복수의 시험 패턴을, 상기 피시험 메모리에 순차적으로 기입하는 패턴 발생 단계와,A pattern generation step of sequentially writing a plurality of test patterns into the memory under test, 상기 피시험 메모리에 대하여 상기 시험 패턴의 기입을 개시하고 나서, 상기 피시험 메모리가, 다음 시험 패턴의 기입이 가능하게 되는 상태가 될 때까지의 주기를, 소정의 주파수의 기준 클록의 펄스 수를 계수함으로써 측정하는 주기 측정 단계를 포함하는 시험 방법.The period from the start of writing the test pattern to the memory under test to the state under which the memory under test becomes a state in which the writing of the next test pattern becomes possible becomes the number of pulses of the reference clock at a predetermined frequency. A test method comprising a cycle measurement step of measuring by counting.
KR1020060089397A 2005-09-30 2006-09-15 Testing Apparatus, and Testing Method KR100847913B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2005-00287631 2005-09-30
JP2005287631A JP4917292B2 (en) 2005-09-30 2005-09-30 Test apparatus and test method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070037313A KR20070037313A (en) 2007-04-04
KR100847913B1 true KR100847913B1 (en) 2008-07-22

Family

ID=38029634

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060089397A KR100847913B1 (en) 2005-09-30 2006-09-15 Testing Apparatus, and Testing Method

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP4917292B2 (en)
KR (1) KR100847913B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101055356B1 (en) * 2007-03-09 2011-08-09 가부시키가이샤 어드밴티스트 tester
KR100921222B1 (en) * 2007-10-24 2009-10-12 주식회사 아이티엔티 semiconductor test header apparatus

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR970011878A (en) * 1995-08-12 1997-03-27 문정환 Memory device test circuit
JP2000090693A (en) * 1998-07-17 2000-03-31 Advantest Corp Memory test device
KR20010006947A (en) * 1999-04-02 2001-01-26 마찌다 가쯔히꼬 Microcomputer having built-in nonvolatile memory

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5978941A (en) * 1995-03-15 1999-11-02 Hitachi, Ltd. Semiconductor memory device having deterioration determining function
JP2004273044A (en) * 2003-03-10 2004-09-30 Innotech Corp Inspection method of semiconductor device
JP2005222201A (en) * 2004-02-04 2005-08-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Memory access device and semiconductor memory card

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR970011878A (en) * 1995-08-12 1997-03-27 문정환 Memory device test circuit
JP2000090693A (en) * 1998-07-17 2000-03-31 Advantest Corp Memory test device
KR20010006947A (en) * 1999-04-02 2001-01-26 마찌다 가쯔히꼬 Microcomputer having built-in nonvolatile memory

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007102832A (en) 2007-04-19
KR20070037313A (en) 2007-04-04
JP4917292B2 (en) 2012-04-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6377065B1 (en) Glitch detection for semiconductor test system
TW548421B (en) ATE timing measurement unit and method
US7216271B2 (en) Testing apparatus and a testing method
US6668346B1 (en) Digital process monitor
US7650554B2 (en) Method and an integrated circuit for performing a test
US20070300114A1 (en) Test apparatus and test method
US20080052584A1 (en) Test apparatus and test method
JP6509841B2 (en) Automatic test system, method of operating the same system, and apparatus for the same system
JP4153957B2 (en) Test system, additional apparatus, and test method
KR100847913B1 (en) Testing Apparatus, and Testing Method
KR101260942B1 (en) Testing device and testing method
US6578169B1 (en) Data failure memory compaction for semiconductor test system
US20080232538A1 (en) Test apparatus and electronic device
KR100241648B1 (en) Apparatus and method for timing self-timed circuitry
US6768297B2 (en) High speed VLSI digital tester architecture for real-time output timing acquisition, results accumulation, and analysis
US9344075B2 (en) Measuring delay between signal edges of different signals using an undersampling clock
KR101228167B1 (en) Program, test apparatus and testing method
JP2016170064A (en) Semiconductor device
JP3934384B2 (en) Semiconductor device test equipment
CN101052887B (en) Measurable integrate circuit
US11308011B2 (en) Signal collection method and signal collection device
US6198699B1 (en) Semiconductor testing apparatus
US8008935B1 (en) Tester and a method for testing an integrated circuit
US8729921B2 (en) Terminal discriminating apparatus and terminal discriminating method using the same
US7379837B1 (en) Method and system for testing integrated circuits

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130621

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140626

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150624

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee