KR100847815B1 - Substrate safekeeping device for manufacturing of liquid crystal dispaly - Google Patents

Substrate safekeeping device for manufacturing of liquid crystal dispaly Download PDF

Info

Publication number
KR100847815B1
KR100847815B1 KR1020020014543A KR20020014543A KR100847815B1 KR 100847815 B1 KR100847815 B1 KR 100847815B1 KR 1020020014543 A KR1020020014543 A KR 1020020014543A KR 20020014543 A KR20020014543 A KR 20020014543A KR 100847815 B1 KR100847815 B1 KR 100847815B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
liquid crystal
support plate
crystal display
display device
Prior art date
Application number
KR1020020014543A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20030075366A (en
Inventor
이상석
박상호
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020020014543A priority Critical patent/KR100847815B1/en
Publication of KR20030075366A publication Critical patent/KR20030075366A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100847815B1 publication Critical patent/KR100847815B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/062Easels, stands or shelves, e.g. castor-shelves, supporting means on vehicles
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6734Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2201/00Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
    • G02F2201/50Protective arrangements

Abstract

본 발명은 액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 각 기판을 보관하는 과정에서 상기 기판의 안정적인 보관이 이루어질 수 있도록 하여 기판의 국부적인 응력 집중에 의한 손상 발생을 미연에 방지함과 더불어 처짐 등에 따른 불량을 미연에 방지할 수 있도록 한 것이다.

이를 위해 본 발명은 외형을 이루는 프레임부와; 양단이 상기 프레임부의 내측 양면에 일체로 형성되어 상기 프레임부가 다수의 기판 보관층을 가지도록 이루어진 지지판을 포함하여 구성하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치를 제공한다.

Figure R1020020014543

액정표시소자, 기판 보관 장치, 면접촉

The present invention relates to a substrate storage device for a liquid crystal display device manufacturing process, and more specifically to the stable storage of the substrate in the process of storing each substrate to prevent the occurrence of damage due to local stress concentration of the substrate in advance. In addition to preventing and preventing the defects due to sag in advance.

To this end, the present invention is the frame portion forming the appearance; Provided is a substrate storage device for a liquid crystal display device manufacturing process, wherein both ends are integrally formed on both inner surfaces of the frame part, and the support part includes a support plate configured to have a plurality of substrate storage layers.

Figure R1020020014543

LCD, Substrate Storage, Surface Contact

Description

액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치{SUBSTRATE SAFEKEEPING DEVICE FOR MANUFACTURING OF LIQUID CRYSTAL DISPALY}Substrate storage device for liquid crystal display device manufacturing process {SUBSTRATE SAFEKEEPING DEVICE FOR MANUFACTURING OF LIQUID CRYSTAL DISPALY}

도 1 은 종래 액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치를 개략적으로 나타낸 사시도.1 is a perspective view schematically showing a substrate storage device for a conventional liquid crystal display device manufacturing process.

도 2 는 종래 액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치를 개략적으로 나타낸 정면도.Figure 2 is a front view schematically showing a substrate storage device for a conventional liquid crystal display device manufacturing process.

도 3a 는 본 발명에 따른 액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치를 개략적으로 나타낸 사시도.Figure 3a is a perspective view schematically showing a substrate storage device for a liquid crystal display device manufacturing process according to the present invention.

도 3b 는 도 3a의 Ⅰ-Ⅰ선 단면도.3B is a cross-sectional view taken along the line II of FIG. 3A.

도 3c 는 본 발명에 따른 기판 보관 장치를 개략적으로 나타낸 정면도.Figure 3c is a front view schematically showing a substrate storage device according to the present invention.

도 4 는 본 발명 기판 보관 장치의 다른 실시예를 나타낸 사시도.Figure 4 is a perspective view showing another embodiment of the substrate storage device of the present invention.

도 5 는 도 4의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도.5 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 4.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 ><Explanation of Signs of Major Parts of Drawings>

100 : 프레임부 110 : 지지판100: frame portion 110: support plate

111 : 인입홈 400 : 기판111: recess groove 400: substrate

본 발명은 액정표시소자의 제조 장치에 관한 것으로, 특히, 액정표시소자용 기판의 반송이나 이동 혹은, 임시 보관을 위한 액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly, to a substrate storage device for a liquid crystal display device manufacturing process for transporting, moving, or temporarily storing a substrate for a liquid crystal display device.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms, and in recent years, liquid crystal display devices (LCDs), plasma display panels (PDPs), electro luminescent displays (ELDs), and vacuum fluorescent (VFD) Various flat panel display devices such as displays have been studied, and some of them are already used as display devices in various devices.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이 하는 텔레비전 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, LCD is currently being used most frequently as a substitute for CRT (Cathode Ray Tube) for mobile image display because of its excellent image quality and light weight, thinness, and low power consumption. In addition to the mobile use, various types of monitors, such as televisions and computers that receive and display broadcast signals, have been developed.

이와 같이 액정표시소자는 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 특징 및 장점과 배치되는 면이 많이 있다. 따라서, 액정표시소자가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다. As described above, although various technical advances have been made in the liquid crystal display device to serve as a screen display device in many fields, the operation of improving the image quality as the screen display device has many aspects and features. . Therefore, in order for a liquid crystal display device to be used in various parts as a general screen display device, the key to development is how much high quality images such as high definition, high brightness and large area can be realized while maintaining the characteristics of light weight, thinness and low power consumption. It can be said.                         

이와 같은 액정표시소자는, 통상 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정패널은 일정 공간을 갖고 합착된 제 1, 제 2 유리 기판과, 상기 제 1, 제 2 유리 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다. Such a liquid crystal display device may be generally classified into a liquid crystal panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel, wherein the liquid crystal panel has a predetermined space and is bonded to the first and second glass substrates. And a liquid crystal layer injected between the first and second glass substrates.

여기서, 상기 제 1 유리 기판 (TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인과, 상기 각 게이트 라인과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되어 정의된 각 화소영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과 상기 게이트 라인의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인의 신호를 상기 각 화소 전극에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성되어 이루어진다.The first glass substrate (TFT array substrate) may include a plurality of gate lines arranged in one direction at a predetermined interval, a plurality of data lines arranged at regular intervals in a direction perpendicular to the gate lines, and A plurality of pixel electrodes formed in a matrix form in each pixel region defined by crossing each gate line and data line, and a plurality of thin films that transmit signals of the data line to each pixel electrode by being switched by signals of the gate line The transistor is formed.

그리고 제 2 유리 기판(칼라필터 기판)에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층과, 칼라 색상을 표현하기 위한 R, G, B 칼라 필터층과 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성되어 이루어진다.The second glass substrate (color filter substrate) includes a black matrix layer for blocking light in portions other than the pixel region, an R, G and B color filter layer for expressing color colors, and a common electrode for implementing an image. It is formed.

또한, 전술한 바와 같이 구성되는 액정표시소자는 각 기판간 합착을 위한 공정과, 합착된 기판간 경화를 위한 공정 그리고, 경화 완료된 기판을 개개의 액정표시소자 패널별로 절단하는 공정 등과 같은 각각의 공정을 순차적으로 수행하게 되는데, 이 과정에서 상기 액정표시소자 제조 공정용 기판은 각각의 공정으로 반송이나 이동 혹은, 임시적인 보관을 위해 카세트(Cassette) 등과 같은 보관 장치에 보관된다. In addition, the liquid crystal display device configured as described above may have respective processes such as a process for bonding between substrates, a process for curing the bonded substrates, and a process of cutting the cured substrate for each liquid crystal display panel. In this process, the substrate for the liquid crystal display device manufacturing process is stored in a storage device such as a cassette for conveyance, movement, or temporary storage in each process.                         

도 1은 종래 액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view schematically showing a substrate storage apparatus for a conventional liquid crystal display device manufacturing process.

도 1을 참조하면, 종래의 카세트는 전체적으로 직육면체의 형상을 이루고 있으며, 외형을 이루는 프레임부(10)와, 각 기판(40)이 다층으로 각각 보관될 수 있도록 배열된 상태로써 상기 기판을 받쳐주는 지지대(20)로 크게 구성된다.Referring to FIG. 1, the conventional cassette forms a rectangular parallelepiped shape as a whole, and supports the substrate in a state in which the frame portion 10 and the substrates 40, which form an external shape, are arranged to be stored in multiple layers, respectively. The support 20 is large.

이 때, 상기 각 지지대(20)는 평면에서 봤을 때 기판의 반입/반출 방향과는 직교된 방향인 프레임부(10)의 내측을 향해 길게 형성되며, 상기 프레임부(10)와 연결되는 부위 및 타측 끝단에는 각 기판(40)의 저면과 접촉하면서 상기 기판(40)을 받쳐주는 받침턱(31,32)이 각각 돌출 형성되어 이루어진다.At this time, each of the support 20 is formed long toward the inside of the frame portion 10 in a direction orthogonal to the loading / unloading direction of the substrate in a plan view, and the portion connected to the frame portion 10 and At the other end, the supporting jaws 31 and 32 supporting the substrate 40 while being in contact with the bottom of each substrate 40 are formed to protrude.

상기에서 프레임부(10)와 연결되는 부위에 형성되는 받침턱(이하, “제 1 받침턱”이라 한다)(31)과, 타측 끝단에 형성되는 받침턱(이하, “제 2 받침턱”이라 한다)(32)은 그 높이가 서로 동일하게 이루어진다.A support jaw (hereinafter referred to as "first support jaw") 31 formed at a portion connected to the frame part 10 in the above, and a support jaw (hereinafter referred to as "second support jaw") formed at the other end 32 is made the same in height.

따라서, 기판의 보관이 이루어질 경우 도 2에 도시된 바와 같이, 각 받침턱에 의해 기판이 받혀진 상태로써 그 보관이 이루어지게 된다.Therefore, when the storage of the substrate is made as shown in Figure 2, the storage is made in a state that the substrate is supported by each support jaw.

그러나, 전술한 바와 같은 종래의 액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치는 카세트를 구성하는 각 지지대의 기판 접촉 부위 즉, 제 2 받침턱은 기판의 특정 부위 저면과 점접촉을 이루면서 받쳐주도록 형성되어 있기 때문에 상호간의 접촉 면적이 작아 상기 각 제 2 받침턱에 의해 받쳐지는 각 기판의 해당 접촉 부위는 국부적인 응력 집중에 의해 손상 혹은, 얼룩 등이 발생되었던 문제점이 있다.However, the conventional substrate storage apparatus for manufacturing a liquid crystal display device as described above is formed so as to support the substrate contact portion of each support constituting the cassette, that is, the second support jaw while making point contact with the bottom surface of the specific portion of the substrate. Therefore, there is a problem in that the contact area of each substrate supported by the second supporting jaw is small because the contact area between each other is damaged or uneven due to local stress concentration.

특히, 상기의 문제점은 기판의 크기가 점차 대형화되어 갈수록 상기 기판의 중앙부분 휨 정도가 커짐을 고려할 때 더욱 심화될 수 밖에 없었으며, 이로 인해 대형의 기판 보관을 수행하기에는 부적합하여 이의 개선이 시급히 요구되고 있다.In particular, the above problems have to be intensified when the size of the substrate is gradually increased in size, considering the increase in the degree of warpage of the central portion of the substrate, which is unsuitable for carrying out large substrate storage, and an improvement thereof is urgently required. It is becoming.

뿐만 아니라, 전술한 바와 같은 카세트를 구성하는 각 지지대의 각 제 2 받침턱은 기판의 내측 어느 한 부위를 따라서만 받쳐주도록 형성되어 있음에 따라 대형 기판의 경우 상기 각 지지대의 각 받쳐지는 부위 사이의 간격이 상당히 커지게 되어 상기 각 받쳐지는 부위 사이가 처질 수 있게 된 문제점을 가진다.In addition, each second support jaw of each support constituting the cassette as described above is formed so as to support only along one portion of the inside of the substrate, so that in the case of a large substrate, between each supported portion of the support There is a problem that the spacing becomes considerably large so that sagging between the respective supported parts can be sag.

이의 경우, 상기한 카세트가 각 기판의 장시간 보관을 수행함을 고려할 때 상기 기판의 변형을 초래할 수 있게 되어 전체적인 수율이 낮은 문제점을 가지게 된다.In this case, when the cassette is considered to perform long-term storage of each substrate, the substrate may be deformed, resulting in low overall yield.

본 발명은 상기와 같은 각종 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 각 기판을 보관하는 과정에서 상기 기판의 안정적인 보관이 이루어질 수 있도록 하여 기판의 국부적인 응력 집중에 의한 손상 발생을 미연에 방지함과 더불어 처짐 등에 따른 불량을 미연에 방지할 수 있도록 한 액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the various problems as described above, to ensure the stable storage of the substrate in the process of storing each substrate in addition to preventing the occurrence of damage due to local stress concentration of the substrate in advance. It is an object of the present invention to provide a substrate storage device for a liquid crystal display device manufacturing process to prevent defects due to sag and the like.

상기 목적 달성을 위한 본 발명의 형태에 따르면 외형을 이루는 프레임부와; 양단이 상기 프레임부의 내측 양면에 일체로 형성되어 상기 프레임부가 다수의 기판 보관층을 가지도록 이루어진 지지판을 포함하여 구성하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object and the frame portion forming an appearance; Provided is a substrate storage device for a liquid crystal display device manufacturing process, wherein both ends are integrally formed on both inner surfaces of the frame part, and the support part includes a support plate configured to have a plurality of substrate storage layers.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도 3a 내지 도 5를 참조하여 보다 상세히 설명하면 하기와 같다.Hereinafter, with reference to Figures 3a to 5 attached to a preferred embodiment of the present invention in more detail as follows.

우선, 도시한 도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치에 따른 구성을 개략적으로 나타내고 있는데, 이를 통해 알 수 있듯이 본 발명의 기판 보관 장치는 크게 외형을 이루는 프레임부(100)와, 다수의 지지판(110)을 포함하여 구성된다.First, Figures 3a to 3c schematically show the configuration according to the substrate storage device for the liquid crystal display device manufacturing process of the present invention, as can be seen through this, the substrate storage device of the present invention has a large frame ( 100 and a plurality of support plates 110 are configured.

이 때, 상기 프레임부(100)는 도시한 바와 같이 대략 직육면체의 형상을 이루도록 형성되나, 정육면체 혹은, 다면체 등으로 형성할 수도 있다.At this time, the frame portion 100 is formed to form a substantially rectangular parallelepiped shape as shown, but may be formed of a cube or a polyhedron.

뿐만 아니라, 상기 프레임부(100)는 그 둘레면이 전체적으로 폐쇄되도록 형성할 수도 있고, 본 발명의 실시예로 제시된 바와 같이 그 둘레면 소정 부위가 개구된 상태를 이루도록 형성할 수도 있다.In addition, the frame portion 100 may be formed such that its circumferential surface is entirely closed, or as shown in the embodiment of the present invention, may be formed so that a predetermined portion of the circumferential surface is opened.

그리고, 지지판(110)은 그 양단이 상기 프레임부(100)의 내측 양면에 일체로 형성되며, 상기 프레임부(100)의 높이 방향을 따라 소정 간격을 가지면서 다수개로 구비하여 상기 프레임부(100)가 다수의 기판 보관층을 가지도록 배치되며, 전체적인 형상은 평판의 형상으로 이루어진다.In addition, both ends of the support plate 110 are integrally formed on both inner surfaces of the frame part 100, and are provided in plural with predetermined intervals along the height direction of the frame part 100 to provide the frame part 100. ) Is arranged to have a plurality of substrate storage layers, the overall shape is in the shape of a flat plate.

이 때, 상기 각 지지판(110)의 상면에는 각 기판(400)의 반송을 수행하는 반송 장치의 각 핑거부(510)가 인입되는 다수의 인입홈(111)이 형성된다.In this case, a plurality of inlet grooves 111 are formed on the upper surface of each support plate 110 through which each of the finger parts 510 of the conveying device for conveying each substrate 400 is inserted.

상기에서 각 인입홈(111)의 깊이(높이)는 상기 각 핑거부의 두께가 이루는 높이에 비해 높도록 형성하여, 각 기판(400)의 반입 혹은, 반출시 상기 각 핑거부(510)와의 간섭이 방지될 수 있도록 함과 더불어 원활한 기판(400)의 반입/반출이 이루어질 수 있도록 한다.In this case, the depth (height) of each of the recesses 111 is formed to be higher than the height formed by the thickness of each finger part, so that the interference with each finger part 510 when the substrate 400 is brought in or taken out. In addition to being able to be prevented, the smooth loading and unloading of the substrate 400 can be made.

따라서, 상기 각 지지판(110)의 상면 중 인입홈(111)이 형성되지 않은 부위의 면이 각 기판(400)과의 접촉이 이루어지면서 상기 기판(400)을 받쳐주는 면이 된다.Accordingly, the surface of the portion of the upper surface of each support plate 110 where the inlet grooves 111 are not formed is in contact with each substrate 400 while supporting the substrate 400.

특히, 상기 인입홈(111)이 형성되지 않는 부위의 면 즉, 기판(400)과의 접촉이 이루어지는 면은 상기 기판(400)에 형성된 각 더미 영역이 될 수 있도록 함으로써 상기 기판(400)의 패널 영역을 보호할 수 있도록 함이 보다 바람직하나 한정하지는 않는다.In particular, the surface of the portion where the inlet groove 111 is not formed, that is, the surface where the contact with the substrate 400 is made may be each dummy region formed in the substrate 400, thereby providing a panel of the substrate 400. It is more desirable but not limited to be able to protect the area.

또한, 상기 각 지지판(110)의 상면인 기판(400)과의 접촉이 이루어지는 면은 테프론이나 피크와 같은 재질의 코팅재로 코팅함이 바람직하다.In addition, the surface in contact with the substrate 400 which is the upper surface of each support plate 110 is preferably coated with a coating material such as Teflon or peak.

즉, 상기한 코팅재에 의해 기판(400)과의 접촉시 상기 기판(400)의 긁힘 등과 같은 손상을 방지할 수 있게 된다.That is, when the contact with the substrate 400 by the coating material it is possible to prevent damage such as scratching of the substrate 400.

이하, 상기한 바와 같이 구성된 본 발명의 액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치를 이용한 기판 보관 과정을 개략적으로 설명하면 하기와 같다.Hereinafter, the substrate storage process using the substrate storage device for the liquid crystal display device manufacturing process of the present invention configured as described above is as follows.

우선, 액정표시소자를 제조하기 위한 각 공정의 수행 과정 중 혹은, 공정의 완료가 이루어질 경우 액정표시소자 제조 공정용 기판(400)을 본 발명에 따른 기판 보관 장치에 수납하게 된다.First, during the process of performing each process for manufacturing the liquid crystal display device or when the process is completed, the substrate 400 for the liquid crystal display device manufacturing process is accommodated in the substrate storage device according to the present invention.

이 때, 상기 기판 보관 장치로의 각 기판(400) 수납을 위해 동작하는 반송 장치의 각 핑거부(510)는 지지판(110)에 형성된 각 인입홈(111)을 따라 그 반입이 이루어지면서 상기 지지판(110)의 상측에 기판(400)이 위치되도록 한다. At this time, each of the finger portion 510 of the conveying device operating for accommodating each of the substrates 400 into the substrate storage device is carried along the respective inlet grooves 111 formed in the support plate 110, the support plate The substrate 400 is positioned above the 110.                     

그리고, 상기한 반입이 완료되면, 상기 반송 장치는 각 핑거부(510)를 하향 이동시키게 되고, 이로 인해 상기 각 핑거부(510)에 얹혀져 있던 기판(400)은 지지판(110)의 상면에 얹히게 됨과 더불어 각 핑거부(510)로부터는 떨어진 상태를 이루게 된다.When the carry-in is completed, the conveying apparatus moves each finger part 510 downward, and thus the substrate 400 placed on each finger part 510 is placed on the upper surface of the support plate 110. In addition to being pulled apart from each finger 510 is achieved.

이 때, 상기 각 핑거부(510)의 하향 이동이 가능함은 상기 지지판(110)의 각 인입홈(111) 깊이가 상기 각 핑거부의 두께에 비해 깊기 때문이다.At this time, the downward movement of each finger 510 is possible because the depth of each recess 111 of the support plate 110 is deeper than the thickness of each finger.

그리고, 상기한 과정에 의해 해당 기판(400)이 지지판(110)의 상면에 얹히게 되면, 상기 기판(400)을 반입하였던 반송 장치의 각 핑거부(510)는 상기 지지판(110)의 각 인입홈(111)을 따라 반출되어 해당 기판(400)의 적재가 완료된다.Then, when the substrate 400 is placed on the upper surface of the support plate 110 by the above process, each finger portion 510 of the conveying device to which the substrate 400 is carried in is drawn in each of the support plates 110. It is carried out along the groove 111 to complete the loading of the substrate 400.

상기에서 지지판(110)이 기판(400)을 받쳐 줌에 있어서, 상기 기판(400)의 더미 영역을 따라 면접촉을 이루면서 받쳐줌에 따라 특정 부위의 응력 집중이 발생되지 않은 상태로써 특정 부위 처짐이 없이 안정적인 기판(400)의 보관이 가능하게 된다.In the support plate 110 to support the substrate 400, while supporting the surface contact along the dummy region of the substrate 400, the specific region sag is not generated as the stress concentration of the specific region does not occur It is possible to store the stable substrate 400 without.

또한, 상기 기판(400)과의 접촉이 이루어지는 지지판(110)의 상면에는 코팅재가 코팅되어 있기 때문에 상기 기판(400)과의 접촉에 따른 기판의 긁힘 등은 방지된다.In addition, since the coating material is coated on the upper surface of the support plate 110 which makes contact with the substrate 400, scratches of the substrate due to contact with the substrate 400 are prevented.

한편, 상기와 같은 각 지지판(110) 중 어느 하나의 기판 보관층을 형성하게 되는 지지판(110)은 전술한 바와 같이 단일의 평판으로만 형성할 수 있는 것은 아니다. On the other hand, the support plate 110 to form any one substrate storage layer of each of the support plate 110 as described above may not be formed of a single flat plate as described above.                     

즉, 도시한 도 4 및 도 5와 같이 기판의 반입/반출 방향을 따라 다수로 분할 형성되어 하나의 기판 보관층을 형성하도록 이루어질 수도 있다.That is, as shown in FIGS. 4 and 5, the substrate may be divided into a plurality of substrates along the loading / exporting direction of the substrate to form one substrate storage layer.

이의 경우 각 기판(400)의 패널 영역과 접촉되는 부위를 최소화 할 수 있기 때문에 상기 패널의 보호에 보다 유리하다.In this case, since the area in contact with the panel region of each substrate 400 can be minimized, it is more advantageous for protecting the panel.

뿐만 아니라, 각 지지판(110)의 상면에 형성되는 각 인입홈(111)은 단순히 반송 장치의 각 핑거부(510)가 인입되는 역할만을 수행하도록 형성하는 것이 아니라, 각 기판(400)에 형성된 패널 영역과의 접촉을 최소화하기 위해 추가로 형성할 수도 있다.In addition, each of the inlet grooves 111 formed on the upper surface of each support plate 110 is not simply formed to perform only a role in which each finger portion 510 of the conveying device is inserted, but a panel formed on each substrate 400. It may be further formed to minimize contact with the area.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명 액정표시소자 제조 공정용 반송 장치에 따른 구성에 의해 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.As described above, the following effects can be obtained by the configuration of the conveying apparatus for the liquid crystal display device manufacturing process of the present invention.

첫째, 본 발명에 따른 기판 보관 장치는 기판을 보관하는 과정에서 상기 기판과의 접촉 방식이 점 접촉이 아닌 면 접촉을 이루게 됨으로써 상기 기판의 저면을 받쳐줄 때 발생되는 응력을 상기 기판의 더미 영역을 따라 분산시킬 수 있게 되어 국부적인 응력 집중에 의해 손상 혹은, 얼룩 등의 발생을 미연에 방지할 수 있게 된 효과가 있다.First, the substrate storage device according to the present invention is in contact with the substrate in the process of storing the substrate is in contact with the surface rather than point contact by the stress generated when supporting the bottom surface of the substrate along the dummy region of the substrate Since it can disperse | distribute, there exists an effect which can prevent damage, a stain, etc. in advance by local stress concentration.

둘째, 다열의 지지판에 따른 구성에 의해 기판의 전체적인 부위를 안정적으로 지지할 수 있게 된 효과가 있다.Second, there is an effect that it is possible to stably support the entire portion of the substrate by the configuration of the multi-row support plate.

즉, 상기한 효과로 인해 기판을 장시간 보관한다고 하더라도 기판의 처짐에 따른 변형을 방지할 수 있게 되어 제품의 수율 향상을 얻을 수 있게 된다. In other words, even if the substrate is stored for a long time due to the above effects, it is possible to prevent deformation due to the sag of the substrate to improve the yield of the product.                     

특히, 이의 경우 대형의 액정표시소자 제조를 위해 사용되는 기판의 보관에 적합하다는 장점을 가진다.
In particular, in this case, there is an advantage that it is suitable for the storage of the substrate used for manufacturing a large liquid crystal display device.

Claims (7)

외형을 이루는 프레임부와;A frame portion forming an appearance; 양단이 상기 프레임부의 내측 양면에 일체로 형성되어 상기 프레임부가 다수의 기판 보관층을 가지도록 이루어진 지지판을 포함하며,Both ends are integrally formed on both inner sides of the frame portion to include a support plate formed so that the frame portion has a plurality of substrate storage layers, 상기 지지판의 상면에는 각 기판의 반송을 수행하는 반송 장치의 각 핑거부가 인입되는 다수의 인입홈과;A plurality of inlet grooves into which each finger portion of the conveying apparatus for carrying each substrate is introduced into an upper surface of the support plate; 상기 기판의 더미영역은 상기 지지판의 더미 영역과 접촉하고, 상기 기판의 패널 영역은 상기 인입홈과 대응되어 상기 기판이 보관되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치.And the dummy region of the substrate is in contact with the dummy region of the support plate, and the panel region of the substrate corresponds to the inlet groove to store the substrate. 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 각 인입홈의 높이는 상기 반송 장치의 상기 각 핑거부 두께가 이루는 높이에 비해 높도록 형성함을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치.The height of each of the recess groove is formed so as to be higher than the height formed by the thickness of each finger portion of the conveying device, the substrate storage device for a liquid crystal display device manufacturing process. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지판은 다수개로 분할 형성되어 상기 하나의 기판 보관층을 형성하도록 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치.The support plate is divided into a plurality of substrate storage apparatus for the liquid crystal display device manufacturing process characterized in that it is made to form the one substrate storage layer. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지판은 평판으로 형성되어 상기 하나의 기판 보관층을 형성하도록 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치.And the support plate is formed of a flat plate to form the one substrate storage layer. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지판은 상기 기판과의 접촉시 상기 기판의 긁힘(scratch) 등을 방지하기 위한 테프론 또는 피크 재질로 형성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치.The support plate is a substrate storage device for a liquid crystal display device manufacturing process, characterized in that formed in the Teflon or peak material to prevent the scratch (scratch) of the substrate when in contact with the substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지판의 상면은 상기 기판과의 접촉시 상기 기판의 긁힘(scratch) 등을 방지하기 위한 테프론 또는 피크 코팅재가 코팅되어 형성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 보관 장치.The upper surface of the support plate is a substrate storage device for a liquid crystal display device manufacturing process characterized in that the coating is formed with a Teflon or peak coating material for preventing the scratch (scratch) of the substrate when in contact with the substrate.
KR1020020014543A 2002-03-18 2002-03-18 Substrate safekeeping device for manufacturing of liquid crystal dispaly KR100847815B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020014543A KR100847815B1 (en) 2002-03-18 2002-03-18 Substrate safekeeping device for manufacturing of liquid crystal dispaly

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020014543A KR100847815B1 (en) 2002-03-18 2002-03-18 Substrate safekeeping device for manufacturing of liquid crystal dispaly

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20030075366A KR20030075366A (en) 2003-09-26
KR100847815B1 true KR100847815B1 (en) 2008-07-23

Family

ID=32225202

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020014543A KR100847815B1 (en) 2002-03-18 2002-03-18 Substrate safekeeping device for manufacturing of liquid crystal dispaly

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100847815B1 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000306988A (en) * 1999-04-20 2000-11-02 Shin Etsu Polymer Co Ltd Substrate container
JP2001010694A (en) * 1999-06-29 2001-01-16 Nec Corp Cassette storage
KR20010040595A (en) * 1998-02-04 2001-05-15 가부시키가이샤 자오 니콘 Exposure system and apparatus for positioning substrate storing cassette

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010040595A (en) * 1998-02-04 2001-05-15 가부시키가이샤 자오 니콘 Exposure system and apparatus for positioning substrate storing cassette
JP2000306988A (en) * 1999-04-20 2000-11-02 Shin Etsu Polymer Co Ltd Substrate container
JP2001010694A (en) * 1999-06-29 2001-01-16 Nec Corp Cassette storage

Also Published As

Publication number Publication date
KR20030075366A (en) 2003-09-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7637799B2 (en) Substrate production apparatus for producing a substrate for a display device
US7022199B2 (en) Method for fabricating LCD
US7365822B2 (en) Method for fabricating LCD
US6897931B2 (en) In-plane switching mode liquid crystal display device and method for fabricating the same
US7230671B2 (en) Method for fabricating liquid crystal display
KR100847815B1 (en) Substrate safekeeping device for manufacturing of liquid crystal dispaly
US20080094565A1 (en) Large display device and fabrication method thereof
KR100847814B1 (en) Substrate safekeeping device for manufacturing of liquid crystal display
US7654786B2 (en) Substrate carrying method thereof
US7602460B2 (en) Liquid crystal display device and method for fabricating the same
KR20130047130A (en) Display device and method of fabricating the same
CN109541859B (en) Liquid crystal display panel and method for manufacturing the same
KR100720449B1 (en) manufacturing of liquid crystal display
US7708515B2 (en) Apparatus for loading substrate of liquid crystal display
KR101002326B1 (en) The carrier
WO2019085062A1 (en) Liquid crystal panel and manufacturing method therefor, and liquid crystal display device
KR101801397B1 (en) Apparatus fabrication of liquid crystal display device
US20030067581A1 (en) Method for fabricating LCD
KR20050105598A (en) The tray for transporting liquid crystal display device
KR20080089991A (en) Polarizing plate and method for adhesion polarizing plate on round type lcd panel
KR20070069511A (en) Lift pin module of fpd manufacturing machine
KR20010093018A (en) Wide Electro- luminescence Display Apparatus using Tiling Technique
JP2003280010A (en) Apparatus for curing sealant
WO2020103173A1 (en) Substrate carrier, sputtering device, and sputtering method
KR20080003098A (en) Cassette for loading glasses

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130619

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140630

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150629

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160630

Year of fee payment: 9