KR100847768B1 - Refresh controller in semiconductor memory device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 메모리 소자의 워드라인 리프레쉬 테스트를 수행하는 중에 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치에서 발생할 수 있는 오작동을 방지하는 회로에 관한 것이며, 다수의 노멀 워드라인과 리던던시 워드라인을 구비하는 뱅크와, 외부 커맨드에 응답하여 리프레쉬 신호 및 뱅크 액티브 신호를 생성하기 위한 내부 커맨드신호 생성수단과, 상기 리프레쉬 신호에 응답하여 외부 어드레스 또는 내부 카운팅 어드레스를 로우 어드레스 신호로서 출력하며, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 - 상기 다수의 노멀 워드라인과 리던던시 워드라인을 순차적으로 리프레쉬하는 테스트 모드임 - 에서 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호를 출력하기 위한 리프레쉬 제어수단과, 상기 워드라인 리프레쉬 테스트 모드에서 지연조절 테스트 신호에 응답하여 상기 뱅크 액티브 신호를 선택적으로 지연시키기 위한 지연 제어수단, 및 상기 지연 제어수단의 출력신호 및 상기 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호에 응답하여 상기 로우 어드레스 신호에 대응하는 노멀 워드라인 및 리던던시 워드라인을 구동하기 위한 워드라인 구동수단을 구비하는 반도체 메모리 소자를 제공한다.The present invention relates to a circuit for preventing malfunctions that may occur in a refresh control apparatus of a semiconductor memory device during a word line refresh test of a semiconductor memory device, and includes a bank including a plurality of normal word lines and a redundancy word line; An internal command signal generating means for generating a refresh signal and a bank active signal in response to an external command, and outputting an external address or an internal counting address as a row address signal in response to the refresh signal, and a wordline refresh test mode-the plurality of A test mode for sequentially refreshing the normal word lines and the redundancy word lines of the control unit; a refresh control means for outputting a redundancy word line refresh start signal at; and a response to the delay control test signal in the word line refresh test mode. Delay control means for selectively delaying the bank active signal, and driving the normal word line and the redundancy word line corresponding to the row address signal in response to an output signal of the delay control means and the redundancy word line refresh start signal. A semiconductor memory device having a word line driving means therefor is provided.

워드라인 리프레쉬 테스트, 노멀 워드라인, 리던던시 워드라인 Word line refresh test, normal word line, redundancy word line

Description

반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치{REFRESH CONTROLLER IN SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE}Refresh control device for semiconductor memory devices {REFRESH CONTROLLER IN SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE}

도 1은 종래의 기술에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치를 도시한 블록 다이어그램.1 is a block diagram showing a refresh control apparatus of a semiconductor memory device according to the prior art.

도 2는 도 1에 도시된 종래의 기술에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치에서 사용되는 신호의 파형을 도시한 타이밍 다이어그램.FIG. 2 is a timing diagram showing waveforms of signals used in the refresh control apparatus of the semiconductor memory device according to the related art shown in FIG.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치를 도시한 블록 다이어그램.3 is a block diagram illustrating an apparatus for controlling refresh of a semiconductor memory device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 4는 도 3에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치의 구성요소 중 지연 제어부를 상세히 도시한 회로도.4 is a circuit diagram illustrating in detail a delay control unit among components of a refresh control apparatus of a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 3.

도 5는 도 3에 도시된 본 발명의 실시예에 다른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치에서 사용되는 신호의 파형을 도시한 타이밍 다이어그램.FIG. 5 is a timing diagram showing waveforms of signals used in the refresh control apparatus of the semiconductor memory device according to the embodiment of the present invention shown in FIG.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명.* Explanation of symbols for the main parts of the drawings.

100, 300 : 신호 생성부 110, 310 : 리프레쉬 제어부100, 300: signal generator 110, 310: refresh controller

120, 320 : 워드라인 구동부 130, 330 : 뱅크120, 320: word line driver 130, 330: bank

340 : 지연 제어부 340: delay control unit

본 발명은 반도체 설계기술에 관한 것으로, 특히 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치에 관한 것이며, 더 자세히는 반도체 메모리 소자의 워드라인 리프레쉬 테스트를 수행하는 중에 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치에서 발생할 수 있는 오작동을 방지하는 회로에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to semiconductor design technology, and more particularly, to a refresh control device for a semiconductor memory device. More particularly, the present invention relates to a malfunction that may occur in the refresh control device for a semiconductor memory device during a word line refresh test of the semiconductor memory device. It relates to a circuit for preventing.

반도체 메모리 소자에서 일반적으로 다이나믹램(dynamic RAM: 이하 " DRAM" 이라 함)은 데이터를 기록하는 단위 기억소자로서 축전기(capacitor)를 사용하는데, 이를 셀(cell)이라고 한다.In a semiconductor memory device, a dynamic RAM (hereinafter, referred to as "DRAM") generally uses a capacitor as a unit memory device for recording data, which is called a cell.

셀에 '1' (또는 로직'하이'(high))의 데이터(data)를 저장할 때는 셀에 고전위를 인가하여 가두어 두고, '0' (또는 로직'로우'(low))의 데이터를 저장할 경우에는 셀에 저전위를 인가하여 가두어 둠으로써 데이터를 기록한다.When storing '1' (or logic 'high') data in a cell, store the data of '0' (or logic 'low') by applying high potential to the cell In this case, data is recorded by applying a low potential to the cell and confining it.

그런데, 셀을 구성하는 축전기는 이상적인(ideal) 경우라면 축전기의 연결 단자의 전위를 변화시키지 않는 한 축적된 전하가 항상 유지되어야 한다.By the way, in the ideal case of the capacitor constituting the cell, the accumulated charge must always be maintained unless the potential of the connection terminal of the capacitor is changed.

하지만, 실제의 축전기는 시간이 흐르면서 저장하고 있던 전하가 누설전류(leakage current)의 형태로 유실되어 기록된 데이터가 '1' 인지 '0' 인지를 구분할 수 없게 되는 특성을 가진다.However, the actual capacitor has a characteristic that it is impossible to distinguish whether the recorded data is '1' or '0' because the stored charge is lost in the form of leakage current over time.

따라서, 데이터를 계속적으로 유지하기 위해서는 반드시 셀에 저장된 데이터를 주기적으로 감지(sensing)하여 증폭(amplify)하고, 또한 셀에 다시 저장하는 과정(restore)이 필수적으로 이루어져야 하는데, 이러한 일련의 과정들을 리프레쉬(refresh)라고 한다.Therefore, in order to continuously maintain data, a process of periodically sensing, amplifying, and restoring data stored in a cell must be essentially performed. It is called (refresh).

이러한 리프레쉬 동작은 셀에 축적된 신호 전하를 누설 전류에 의해 유실되지 않게 하기 위해서 반드시 필요한 동작이므로 DRAM의 생산과정에서 DRAM에 속한 복수의 셀에서 정상적인 리프레쉬 동작이 발생하는지 테스트하는 과정이 필요하다.Since the refresh operation is necessary to prevent the signal charge accumulated in the cell from being lost by the leakage current, it is necessary to test whether a normal refresh operation occurs in a plurality of cells belonging to the DRAM during DRAM production.

한편, DRAM에 속하는 복수의 셀 중 한 개라도 결함이 있으면, DRAM으로 제 구실을 하지 못하므로 불량품으로 처리된다.On the other hand, if any one of a plurality of cells belonging to the DRAM is defective, the DRAM cannot serve as a defective product.

하지만, DRAM의 집적도가 증가함에 따라 확률적으로 소량의 셀에만 결함이 발생할 확률이 높은데도 이를 불량품으로 폐기한다는 것은 수율을 낮추는 비효율적인 처리 방법이다.However, as the density of DRAM increases, there is a high probability that defects will occur only in a small number of cells, but discarding it as a defective product is an inefficient treatment method that lowers the yield.

따라서, DRAM에 속하는 복수의 셀 중 소량의 셀이 불량이 날 경우를 대비하여 불량이 발생한 셀을 대체할 수 있는 리던던시(Redundancy) 셀을 미리 설치한다.Therefore, a redundancy cell capable of replacing a defective cell is provided in advance in case a small amount of cells among the plurality of cells belonging to the DRAM fail.

즉, DRAM의 생산과정에서 DRAM에 속하는 복수의 셀 중 소량의 셀에서 불량이 발생하면 리던던시 셀을 이용하여 불량이 발생한 셀을 대체시킴으로써 수율을 높이는 방식을 사용한다.That is, when a defect occurs in a small amount of cells among a plurality of cells belonging to the DRAM in the production process of the DRAM, a method of increasing the yield by replacing the defective cell by using a redundancy cell is used.

이렇게 리던던시 셀도 DRAM의 생산과정에서 노멀 셀로 대체되어 사용될 수 있기 때문에 전술한 리프레쉬 동작을 테스트하는 과정에는, 리던던시 셀의 리프레쉬 동작이 정상적으로 발생하는지 테스트하는 과정도 포함된다.Since the redundancy cell may be replaced with a normal cell in the production process of the DRAM, the testing of the above-described refresh operation also includes a process of testing whether the refresh operation of the redundancy cell occurs normally.

하지만, 리던던시 셀은 노멀 셀과 구분이 되어야 하기 때문에 노멀 셀이 속한 워드라인을 구동하는 제어와 리던던시 셀이 속한 워드라인을 구동하는 제어는 구분이 되어야 한다.However, since the redundancy cell should be distinguished from the normal cell, the control for driving the word line to which the normal cell belongs and the control for driving the word line to which the redundancy cell belongs should be distinguished.

따라서, 종래의 기술에서는 다음과 같은 방법으로 DRAM에 속한 셀 들의 리프레쉬 테스트를 수행하였다.Therefore, in the prior art, the refresh test of the cells belonging to the DRAM was performed in the following manner.

도 1은 종래의 기술에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치를 도시한 블록 다이어그램이다.1 is a block diagram illustrating a refresh control apparatus for a semiconductor memory device according to the related art.

도 1을 참조하면, 종래의 기술에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치는 다음과 같은 구성을 갖는다.Referring to FIG. 1, the refresh control apparatus for a semiconductor memory device according to the related art has the following configuration.

다수의 노멀 워드라인과 리던던시 워드라인을 구비하는 뱅크(130)와, 외부 커맨드(Command)에 응답하여 리프레쉬 신호(REF) 및 뱅크 액티브 신호(BACT)를 생성하기 위한 내부 커맨드 신호 생성부(100)와, 리프레쉬 신호(REF)에 응답하여 외부 어드레스(A<0:12>) 또는 내부 카운팅 어드레스를 로우 어드레스 신호(XA<0:12>)로서 출력하며, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 - 다수의 노멀 워드라인과 리던던시 워드라인을 순차적으로 리프레쉬하는 테스트 모드임 - 에서 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)를 출력하기 위한 리프레쉬 제어부(110), 및 뱅크 액티브 신호(BACT) 및 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)에 응답하여 로우 어드레스 신호(XA<0:12>)에 대응하는 노멀 워드라인 및 리던던시 워드라인을 구동하기 위한 워드라인 구동부(120)로 구성된다.A bank 130 including a plurality of normal word lines and a redundancy word line, and an internal command signal generator 100 for generating a refresh signal REF and a bank active signal BACT in response to an external command. And outputs an external address A <0:12> or an internal counting address as a row address signal XA <0:12> in response to the refresh signal REF, and a wordline refresh test mode-a plurality of normal words. In the test mode for sequentially refreshing the line and the redundancy word line, the refresh control unit 110 for outputting the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX, and the bank active signal BACT and the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX. ), A word line driver 120 for driving the normal word line and the redundancy word line corresponding to the row address signals XA <0:12>.

여기서, 뱅크(130)는, DRAM에서 데이터의 억세스 타임(access time;tAC)의 효율을 증가시키기 위해 도입한 개념인데, 주로 타이밍 제어신호들을 공유하는 하나 또는 다수의 셀 블록이다.Here, the bank 130 is a concept introduced to increase the efficiency of an access time (tAC) of data in a DRAM, and is mainly one or more cell blocks that share timing control signals.

즉, 뱅크(130) 내에 있는 셀 들은 데이터 버스를 공유하고 어드레스와 제어신호라인도 공유한다.That is, the cells in the bank 130 share a data bus and share an address and a control signal line.

하지만, DRAM은 복수의 뱅크로 나누어질 수 있으므로 각각의 뱅크는 독립된 로우 디코더(row decoder)와 컬럼 디코더(column decoder) 등을 가지고 있으며 독자적인 DRAM의 동작을 수행할 수 있다.However, since a DRAM may be divided into a plurality of banks, each bank may have an independent row decoder and a column decoder, and may perform an independent DRAM operation.

따라서, DRAM에 속하는 각각의 뱅크(130)들은 독립적이기 때문에 한 쪽 뱅크에서 데이터를 읽어내고 있는 동안에 다른 뱅크에서는 프리차지(precharge) 또는 리프레시(refresh) 동작을 수행하거나 새로운 로우 어드레스에 의한 워드 라인 선택동작이 가능하다.Therefore, each bank 130 belonging to the DRAM is independent, so that while the data is read from one bank, the other bank performs a precharge or refresh operation or selects a word line by a new row address. Operation is possible.

즉, 복수의 뱅크 중 하나의 뱅크에서 감지증폭기(Sense amplifier)를 통해 데이터를 읽어내고 있는 동안 다른 뱅크는 워드라인을 선정하는 동작을 실행시키면 DRAM의 로우 억세스 타임(row access time)을 크게 줄일 수 있다.That is, if one bank of the plurality of banks reads data through a sense amplifier, the other bank performs the operation of selecting a word line, thereby greatly reducing the row access time of the DRAM. have.

이렇게 DRAM에 속하는 각각의 뱅크(130)들이 독립적으로 동작하기 때문에 도면에서 보는 바와 같이 각각의 뱅크(130)는 독립적으로 리프레쉬 테스트를 수행할 수 있고, 독립적으로 다수의 노멀 워드라인과 다수의 리던던시 워드라인을 구비하게 된다.Since the respective banks 130 belonging to the DRAM operate independently, as shown in the drawing, each bank 130 can independently perform a refresh test, and independently a plurality of normal word lines and a plurality of redundancy words. Lines will be provided.

도 1에 도시된 뱅크(130)에서는 리프레쉬 제어부(110)에서 출력되는 로우 어드레스 신호(XA<0:12>)가 0부터 12까지 13개라고 가정하여 8k의 노멀 워드라인을 구비하고, 128개의 리던던시 워드라인을 구비한다고 가정하였다.In the bank 130 shown in FIG. 1, 8k normal word lines are provided on the assumption that 13 row address signals XA <0:12> output from the refresh control unit 110 are 0 to 12, and 128 are provided. Assume that you have a redundancy word line.

그리고, 리프레쉬 제어부(110)는, 리프레쉬 신호(REF)에 응답하여 뱅크(130)에 속하는 다수의 노멀 워드라인 및 리던던시 워드라인 중 리프레쉬 할 워드라인을 선택하여 로우 어드레스 신호(XA<0:12>)로서 출력한다.The refresh control unit 110 selects a word line to be refreshed among the plurality of normal word lines and the redundancy word lines belonging to the bank 130 in response to the refresh signal REF, thereby providing the row address signal XA <0:12>. Output as

또한, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드의 진입을 제어하는 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 신호(TRWLREF)에 응답하여 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)의 레벨을 제어함으로써 뱅크(130)에 속하는 다수의 리던던시 워드라인에서 리프레쉬 동작이 발생하는 것을 제어한다.In addition, by controlling the level of the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX in response to the word line refresh test mode signal TRWLREF controlling the entry of the word line refresh test mode, the plurality of redundancy word lines belonging to the bank 130 may be controlled. Controls what happens to the refresh operation.

전술한 구성을 바탕으로 종래의 기술에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.The operation of the refresh control apparatus for a semiconductor memory device according to the related art based on the above-described configuration is as follows.

먼저, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 신호(TRWLREF)가 활성화되면 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치는 워드라인 리프레쉬 테스트 모드로 동작한다.First, when the word line refresh test mode signal TRWLREF is activated, the refresh control device of the semiconductor memory device operates in the word line refresh test mode.

이때, 내부 커맨드신호 생성부(100)에서, 뱅크 액티브 신호(BACT) 및 리프레쉬 신호(REF)가 활성화되어 출력되면, 리프레쉬 제어부(110)는, 리프레쉬 신호(REF)에 응답하여 뱅크(130)에 속한 다수의 노멀 워드라인 중 어느 하나의 워드라인을 가리키는 로우 어드레스 신호(XA<0:12>)를 출력하고, 워드라인 구동부(120)는, 뱅크 액티브 신호(BACT)에 응답하여 로우 어드레스 신호(XA<0:12>)가 가리키는 뱅크(130)에 속한 다수의 노멀 워드라인 중 어느 하나의 워드라인을 구동한다.At this time, when the bank active signal BACT and the refresh signal REF are activated and output by the internal command signal generation unit 100, the refresh control unit 110 sends a response to the bank signal 130 in response to the refresh signal REF. The row address signal XA <0:12> indicating one of the plurality of normal word lines to which the word line belongs is outputted, and the word line driver 120 responds to the row active signal BACT in response to the bank active signal BACT. One of the plurality of normal word lines belonging to the bank 130 indicated by XA <0:12> is driven.

이후, 전술한 뱅크 액티브 신호(BACT) 및 리프레쉬 신호(REF)는 계속적으로 토글링(toggling)을 하면서 뱅크에 속한 다수의 노멀 워드라인을 구동한다. Thereafter, the above-described bank active signal BACT and refresh signal REF continue toggling to drive a plurality of normal word lines belonging to the bank.

이렇게 뱅크에 속한 다수의 노멀 워드라인이 모두 구동되면, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 신호(TRWLREF)가 활성화되어 있으므로 리프레쉬 제어부(100)는 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)를 활성화시켜서 워드라인 구동부(120)가 뱅크(130)의 리던던시 워드라인을 구동하도록 제어한다.When the plurality of normal word lines belonging to the bank are driven in this way, since the word line refresh test mode signal TRWLREF is activated, the refresh control unit 100 activates the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX so that the word line driver 120 is activated. ) Controls to drive the redundancy word line of the bank 130.

즉, 뱅크(130)에 속한 다수의 노멀 워드라인을 모두 구동된 후에 입력되는 뱅크 액티브 신호(BACT) 및 리프레쉬 신호(REF)의 토글링에 응답하여 뱅크(130)에 속한 다수의 리던던시 워드라인을 구동한다.That is, in response to toggling of the bank active signal BACT and the refresh signal REF input after the plurality of normal word lines belonging to the bank 130 are all driven, the plurality of redundancy word lines belonging to the bank 130 are generated. Drive.

따라서, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 신호(TRWLREF)가 활성화된 워드라인 리프레쉬 테스트 모드에서는, 뱅크(130)에 속한 다수의 노멀 워드라인을 구동한 후에 순차적으로 다수의 리던던시 워드라인을 구동하는 방법을 사용하여 리프레쉬 테스트를 진행한다. Therefore, in the word line refresh test mode in which the word line refresh test mode signal TRWLREF is activated, after driving the plurality of normal word lines belonging to the bank 130, a plurality of redundancy word lines are sequentially driven. Proceed with the refresh test.

반면에, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 신호(TRWLREF)가 비활성화되어 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치가 워드라인 리프레쉬 테스트 모드로 동작하지 않으면, 뱅크(130)에 속한 다수의 노멀 워드라인이 모두 구동된 후에도 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)가 계속 비활성화되어 뱅크(130)에 속한 다수의 리던던시 워드라인은 구동되지 않는다.On the other hand, if the word line refresh test mode signal TRWLREF is inactivated and the refresh control device of the semiconductor memory device does not operate in the word line refresh test mode, redundancy may occur even after all the normal word lines belonging to the bank 130 are all driven. Since the word line refresh start signal TRWLREFX is continuously inactivated, a plurality of redundancy word lines belonging to the bank 130 are not driven.

도 2는 도 1에 도시된 종래의 기술에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치에서 사용되는 신호의 파형을 도시한 타이밍 다이어그램이다.FIG. 2 is a timing diagram illustrating waveforms of signals used in the refresh control apparatus of the semiconductor memory device according to the related art illustrated in FIG. 1.

도 2를 참조하면, 종래의 기술에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치에서 사용되는 신호들은, 외부 커맨드신호 생성부(100) 및 리프레쉬 제어 부(110)에서 출력되어 워드라인 구동부(120)에 입력되는 신호(BACT, TRWLREFX)와, 입력된 신호(BACT, TRWLREFX)에 응답하여 워드라인 구동부(120) 내부에서 사용되는 신호(NXE, MWLEN, RWLEN), 및 워드라인 구동부(120) 외부로 출력되는 신호(MWLB, RMWLB)들이다.Referring to FIG. 2, the signals used in the refresh control apparatus of the semiconductor memory device according to the related art are output from the external command signal generator 100 and the refresh control unit 110 and input to the word line driver 120. In response to the signals BACT and TRWLREFX and the input signals BACT and TRWLREFX, the signals NXE, MWLEN and RWLEN used inside the word line driver 120 and the word line driver 120 are output to the outside. Signals MWLB, RMWLB.

그리고, 도 2에 도시된 봐와 같이 전술한 신호들이 동작하는 타이밍은, 뱅크(130)에 속한 다수의 노멀 워드라인이 모두 구동된 후 다수의 리던던시 워드라인을 구동하기 전의 타이밍을 나타내었다.As shown in FIG. 2, the timing at which the above-described signals operate indicates the timing before driving the plurality of redundancy word lines after the driving of the plurality of normal word lines belonging to the bank 130.

즉, 뱅크(130)에 속한 다수의 리던던시 워드라인을 구동하기 위해 리프레쉬 제어부(110)에서 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)를 활성화시키는 순간의 전후 전술한 신호들의 파형을 도시하였다.That is, the waveforms of the aforementioned signals before and after the moment when the refresh control unit 110 activates the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX to drive a plurality of redundancy word lines belonging to the bank 130 are illustrated.

그런데, 도 2에 도시된 신호의 파형은 종래기술에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치가 다음과 같은 조건에서 동작할 때 사용되는 신호의 파형을 나타낸 타이밍 다이어그램이다.By the way, the waveform of the signal shown in Figure 2 is a timing diagram showing the waveform of the signal used when the refresh control device of the semiconductor memory device according to the prior art operates under the following conditions.

먼저, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 신호(TRWLREF)가 활성화되어 반도체 메모리 장치의 리프레쉬 제어장치가 워드라인 리프레쉬 테스트 모드로 동작한다고 가정한다.First, it is assumed that the word line refresh test mode signal TRWLREF is activated so that the refresh control device of the semiconductor memory device operates in the word line refresh test mode.

즉, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 신호(TRWLREF)가 비활성화되어 반도체 메모리 장치의 리프레쉬 제어장치가 워드라인 리프레쉬 테스트 모드로 동작하지 않는 경우에는 해당되지않는다.That is, this is not applicable when the word line refresh test mode signal TRWLREF is inactivated and the refresh control device of the semiconductor memory device does not operate in the word line refresh test mode.

도 2를 참조하여 워드라인 구동부(120)의 동작을 살펴보면 다음과 같다.Referring to FIG. 2, the operation of the word line driver 120 is as follows.

뱅크 액티브 신호(BACT)가 활성화되어 입력되면, 예정된 시간이 흐른 후에 NXE신호를 활성화시키고, NXE의 활성화에 응답하여 MWLEN신호와 MWLB신호를 활성화시키는 것을 결정한다.When the bank active signal BACT is activated and input, the NXE signal is activated after a predetermined time passes, and the MWLEN signal and the MWLB signal are determined to be activated in response to the activation of the NXE.

즉, NXE신호가 활성화되었을 때 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)가 활성화되어 있으면, MWLEN신호와 MWLB신호를 활성화시키지 않는다.That is, when the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX is activated when the NXE signal is activated, the MWLEN signal and the MWLB signal are not activated.

MWLB신호가 비활성화되어 있으므로 뱅크(130)에 속하는 노멀 워드라인이 구동되지 않는다.Since the MWLB signal is inactive, the normal word line belonging to the bank 130 is not driven.

반대로, NXE신호가 활성화되었을 때 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)가 비활성화되어 있으면, MWLEN신호와 MWLB신호를 활성화시킨다.Conversely, if the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX is deactivated when the NXE signal is activated, the MWLEN signal and the MWLB signal are activated.

MWLB신호가 활성화되어 있으므로 뱅크(130)에 속하는 노멀 워드라인이 구동된다.Since the MWLB signal is activated, the normal word line belonging to the bank 130 is driven.

따라서, 뱅크(130)에 속하는 노멀 워드라인은, 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)의 활성화 여부에 응답하여 구동 여부가 결정되는 것을 알 수 있다.Accordingly, it can be seen that the normal word line belonging to the bank 130 is driven in response to whether the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX is activated.

여기서, NXE신호 및 MWLEN신호는 워드라인 구동부 내부에서 처리되는 신호로서 노멀 워드라인의 구동동작에 관계되는 신호이다.Here, the NXE signal and the MWLEN signal are signals processed inside the word line driver and are signals related to the normal word line driving operation.

그리고, 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)가 활성화되어 입력되면, RWLEN신호와 RMWLB신호를 활성화시킨다.When the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX is activated and input, the RWLEN signal and the RMWLB signal are activated.

RMWLB신호가 활성화되어 있으므로 뱅크(130)에 속하는 리던던시 워드라인이 구동된다.Since the RMWLB signal is activated, the redundancy word line belonging to the bank 130 is driven.

반대로, 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)가 비활성화되어 입력되면, RWLEN신호와 RMWLB신호는 비활성화상태를 유지한다.On the contrary, if the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX is deactivated and input, the RWLEN signal and the RMWLB signal remain inactive.

RMWLB신호가 비활성화되어 있으므로 뱅크(130)에 속하는 리던던시 워드라인이 구동되지 않는다.Since the RMWLB signal is inactive, the redundancy word line belonging to the bank 130 is not driven.

따라서, 뱅크(130)에 속하는 리던던시 워드라인은, 노멀 워드라인의 구동여부와 상관없이 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)에 응답하여 활성화 여부가 결정되는 것을 알 수 있다.Accordingly, it can be seen that the redundancy word line belonging to the bank 130 is activated in response to the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX regardless of whether the normal word line is driven.

여기서, RWLEN신호는 워드라인 구동부 내부에서 처리되는 신호로서 리던던시 워드라인의 구동동작에 관계되는 신호이다.Here, the RWLEN signal is a signal processed inside the word line driver and is a signal related to the driving operation of the redundancy word line.

전술한 신호들이 워드라인 구동부(120)에 입력되는 타이밍을 알아보면 다음과 같다.The timing at which the aforementioned signals are input to the word line driver 120 is as follows.

먼저, 내부 커맨드신호 생성부(100)에서 리프레쉬 신호(REF)와 뱅크 액티브 신호(BACT)가 동시에 활성화된다. First, the refresh command REF and the bank active signal BACT are simultaneously activated by the internal command signal generator 100.

이때, 뱅크 액티브 신호(BACT)는 즉시 워드라인 구동부(120)에 입력되어 예정된 시간이 흐른 후에 NXE신호를 활성화시킨다.At this time, the bank active signal BACT is immediately input to the word line driver 120 to activate the NXE signal after a predetermined time passes.

하지만, 리프레쉬 신호(REF)는, 리프레쉬 제어부(110)로 입력되어 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 신호(TRWLREF)의 활성화상태에 따라 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)가 활성화되는 것을 결정하기 때문에 리프레쉬 신호(REF)가 리프레쉬 제어부(110)로 입력된 이후에 예측할 수 없는 시간만큼 - 랜덤(Random)한 시간을 의미함 - 이 흐른 후 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신 호(TRWLREFX)의 레벨이 결정되어 출력된다.However, the refresh signal REF is input to the refresh control unit 110 and determines that the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX is activated according to the activation state of the word line refresh test mode signal TRWLREF. After the REF is input to the refresh control unit 110, the level of the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX is determined and output after an unpredictable time, which means a random time.

따라서, 리프레쉬 신호(REF)가 리프레쉬 제어부(110)로 입력된 후에 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)가 출력되기까지 걸리는 예측할 수 없는 시간에 따라 워드라인 구동부(120) 내부의 NXE신호의 활성화 타이밍이 리프레쉬 제어부(110)에서 입력되는 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)의 활성화 타이밍보다 빠를 수도 있고, 느릴 수도 있다.Accordingly, the timing of activation of the NXE signal inside the word line driver 120 according to an unpredictable time taken after the refresh signal REF is input to the refresh control unit 110 until the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX is output. The refresh control unit 110 may be faster or slower than an activation timing of the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX.

여기서, 워드라인 구동부(120) 내부의 NXE신호의 활성화 타이밍이 리프레쉬 제어부(110)에서 입력되는 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)의 활성화 타이밍보다 느린 경우는 아무런 문제없이 정상적으로 동작한다.Here, when the activation timing of the NXE signal inside the word line driver 120 is slower than the activation timing of the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX input from the refresh control unit 110, the operation is normally performed.

하지만, 워드라인 구동부(120) 내부의 NXE신호의 활성화 타이밍이 리프레쉬 제어부(110)에서 입력되는 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)의 활성화 타이밍보다 빠른 경우에는 다음과 같은 문제점이 발생한다.However, when the activation timing of the NXE signal inside the word line driver 120 is earlier than the activation timing of the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX input from the refresh control unit 110, the following problem occurs.

먼저, 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)의 활성화타이밍보다 빨리 활성화된 NXE신호의 활성화에 응답하여 MWLEN신호와 MWLB신호가 활성화되어 출력된다.First, the MWLEN and MWLB signals are activated and output in response to the activation of the activated NXE signal earlier than the activation timing of the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX.

이후, 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)가 활성화되어 워드라인 구동부에 입력되면 MWLEN신호가 비활성화되긴 하지만, MWLB신호가 이미 활성화된 상태에서 RWLEN신호와 RMWLB신호가 활성화된다.Thereafter, when the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX is activated and input to the word line driver, the MWLEN signal is deactivated, but the RWLEN signal and the RMWLB signal are activated while the MWLB signal is already activated.

따라서, 뱅크(130)에 속하는 리던던시 워드라인을 구동해야하는 타이밍 - RMWLB신호가 활성화된 타이밍 - 에 뱅크(130)에 속하는 노멀 워드라인이 이미 구동 - MWLB신호가 이미 활성화된 상태 - 되어 있으므로 뱅크(130)에 속하는 리던던시 워드라인을 구동할 수 없는 문제점이 발생한다.Accordingly, since the normal word line belonging to the bank 130 is already driven at the timing at which the redundancy word line belonging to the bank 130-the timing at which the RMWLB signal is activated-the MWLB signal is already activated-the bank 130 A problem arises in that the redundancy word line belonging to C cannot be driven.

또한, 뱅크(130)는 MWLB신호의 활성화에 응답하여 다수의 노멀 워드라인 중 어느 하나의 워드라인이 구동된 상태인데, 다시 RMWLB신호가 활성화되어 다수의 리던던시 워드라인 중 어느 하나의 워드라인을 구동하도록 명령하므로 정상적인 동작을 하지 못하고 불량이 발생하게 된다.In addition, the bank 130 is a state in which any word line of the plurality of normal word lines is driven in response to the activation of the MWLB signal, the RMWLB signal is activated again to drive any one of the plurality of redundancy word lines Since it does not operate normally, a defect occurs.

즉, 워드라인 구동부(130) 내부에서 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)가 활성화되어야 하는 타이밍에 NXE신호가 먼저 활성화되면서 MWLEN신호에 글리치(Glitch)가 발생하고, 이로 인해 MWLB신호와 RMWLB신호가 동시에 활성화되면서 뱅크(130)에 속하는 리던던시 워드라인이 구동되어야 하는 타이밍에 다수의 노멀 워드라인이 구동되는 문제점이 발생한다.That is, when the word line refresh start signal TRWLREFX is to be activated in the word line driver 130, the NXE signal is activated first to generate a glitch in the MWLEN signal, which causes the MWLB signal and the RMWLB signal to be simultaneously generated. When activated, a plurality of normal word lines are driven at a timing when a redundancy word line belonging to the bank 130 needs to be driven.

이렇게 전술한 문제점이 발생하게 되면 워드라인 리프레쉬 테스트를 완료할 수 없으므로 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치 내부의 회로를 수정해야한다. If the above-mentioned problem occurs, the word line refresh test cannot be completed, and the circuit inside the refresh control device of the semiconductor memory device must be modified.

따라서, 테스트 실패 및 회로 수정 등에 따른 개발 비용 증가와 개발 일정 지연 등의 문제가 발생한다.Therefore, problems such as increased development costs and delayed development schedules due to test failures and circuit modifications occur.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 테스트 모드 동작시 뱅크 액티브 신호의 입력 타이밍으로 인해 반도체 메모 리 소자의 리프레쉬 제어장치에서 발생할 수 있는 오작동을 방지하는 회로를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been proposed to solve the above problems of the prior art, and provides a circuit for preventing a malfunction that may occur in the refresh control apparatus of the semiconductor memory device due to the input timing of the bank active signal during the test mode operation. The purpose is.

상기의 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 다수의 노멀 워드라인과 리던던시 워드라인을 구비하는 뱅크; 외부 커맨드에 응답하여 리프레쉬 신호 및 뱅크 액티브 신호를 생성하기 위한 내부 커맨드신호 생성수단; 상기 리프레쉬 신호에 응답하여 외부 어드레스 또는 내부 카운팅 어드레스를 로우 어드레스 신호로서 출력하며, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 - 상기 다수의 노멀 워드라인과 리던던시 워드라인을 순차적으로 리프레쉬하는 테스트 모드임 - 에서 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호를 출력하기 위한 리프레쉬 제어수단; 상기 워드라인 리프레쉬 테스트 모드에서 지연조절 테스트 신호에 응답하여 상기 뱅크 액티브 신호를 선택적으로 지연시키기 위한 지연 제어수단; 및 상기 지연 제어수단의 출력신호 및 상기 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호에 응답하여 상기 로우 어드레스 신호에 대응하는 노멀 워드라인 및 리던던시 워드라인을 구동하기 위한 워드라인 구동수단을 구비하는 반도체 메모리 소자를 제공한다.According to an aspect of the present invention for achieving the above technical problem, a bank having a plurality of normal word lines and redundancy word lines; Internal command signal generating means for generating a refresh signal and a bank active signal in response to an external command; In response to the refresh signal, an external address or an internal counting address is output as a row address signal, and a word line refresh test mode is a test mode for sequentially refreshing the plurality of normal word lines and redundant word lines. Refresh control means for outputting a start signal; Delay control means for selectively delaying the bank active signal in response to a delay adjustment test signal in the word line refresh test mode; And word line driving means for driving the normal word line and the redundancy word line corresponding to the row address signal in response to the output signal of the delay control means and the redundancy word line refresh start signal. .

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하고자 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록하며 통상의 지식을 가진자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various forms, and only the present embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention and to those skilled in the art. It is provided for complete information.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치를 도시한 블록 다이어그램이다.3 is a block diagram illustrating an apparatus for controlling a refresh of a semiconductor memory device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치는 다음과 같은 구성을 갖는다.Referring to FIG. 3, the refresh control apparatus of the semiconductor memory device according to the embodiment of the present invention has the following configuration.

다수의 노멀 워드라인과 리던던시 워드라인을 구비하는 뱅크(330)와, 외부 커맨드(Command)에 응답하여 리프레쉬 신호(REF) 및 뱅크 액티브 신호(BACT)를 생성하기 위한 내부 커맨드신호 생성부(300)와, 리프레쉬 신호(REF)에 응답하여 외부 어드레스(A<0:12>) 또는 내부 카운팅 어드레스를 로우 어드레스 신호(XA<0:12>)로서 출력하며, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 - 다수의 노멀 워드라인과 리던던시 워드라인을 순차적으로 리프레쉬하는 테스트 모드임 - 에서 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)를 출력하기 위한 리프레쉬 제어부(110)와, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드에서 지연조절 테스트 신호(TMREFINC)에 응답하여 뱅크 액티브 신호(BACT)를 선택적으로 지연시키기 위한 지연 제어부(340), 및 지연 제어부(340)의 출력신호 및 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)에 응답하여 로우 어드레스 신호(XA<0:12>)에 대응하는 노멀 워드라인 및 리던던시 워드라인을 구동하기 위한 워드라인 구동부(320)을 구비한다.A bank 330 including a plurality of normal word lines and a redundancy word line, and an internal command signal generator 300 for generating a refresh signal REF and a bank active signal BACT in response to an external command. And outputs an external address A <0:12> or an internal counting address as a row address signal XA <0:12> in response to the refresh signal REF, and a wordline refresh test mode-a plurality of normal words. In the test mode to sequentially refresh the line and the redundancy word line-In response to the refresh control unit 110 for outputting the redundancy word line refresh start signal (TRWLREFX), and in response to the delay control test signal (TMREFINC) in the word line refresh test mode Delay control unit 340 for selectively delaying the bank active signal BACT, and output signal and redundancy word line refresh of the delay control unit 340 A word line driver 320 is provided to drive the normal word line and the redundancy word line corresponding to the row address signals XA <0:12> in response to the time signal TRWLREFX.

전술한 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치가 도 1에 도시된 종래의 기술에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치에 비해 워드라인 리프레쉬 테스트 모드일 때 신호 생성부(300)에서 출력되는 뱅크 액티 브 신호(BACT)를 지연조절 테스트 신호(TMREFINC)에 응답하여 예정된 시간만큼 지연하는 것을 제어하는 지연 제어부(340)가 더 구비된 것을 알 수 있다.In the signal generation unit 300 when the refresh control apparatus of the semiconductor memory device according to the embodiment of the present invention is in the word line refresh test mode as compared to the refresh control apparatus of the semiconductor memory device according to the related art shown in FIG. 1. It can be seen that the delay control unit 340 is further provided to control the delay of the output bank active signal BACT by a predetermined time in response to the delay control test signal TMREFINC.

전술한 구성을 바탕으로 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치는 다음과 같은 동작을 수행한다.Based on the above configuration, the refresh control apparatus of the semiconductor memory device according to the embodiment of the present invention performs the following operations.

먼저, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 신호(TRWLREF)가 활성화되면 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치는 워드라인 리프레쉬 테스트 모드로 동작한다.First, when the word line refresh test mode signal TRWLREF is activated, the refresh control device of the semiconductor memory device operates in the word line refresh test mode.

이때, 내부 커맨드신호 생성부(300)에서 리프레쉬 신호(REF)가 활성화되어 출력되면, 리프레쉬 제어부(310)는, 리프레쉬 신호(REF)에 응답하여 뱅크(330)에 속한 다수의 노멀 워드라인 중 어느 하나의 워드라인을 가리키는 로우 어드레스 신호(XA<0:12>)를 출력한다.At this time, when the refresh signal REF is activated and output from the internal command signal generator 300, the refresh control unit 310 responds to any of the plurality of normal word lines belonging to the bank 330 in response to the refresh signal REF. The row address signals XA <0:12> indicating one word line are output.

또한, 리프레쉬 신호(REF)와 동일한 타이밍에 뱅크 액티브 신호(BACT)가 활성화되어 출력되면, 지연제어부(340)는 지연조절 테스트 신호(TMREFINC)에 응답하여 뱅크 액티브 신호(BACT)를 예정된 시간만큼 지연하여 출력(BACTD)하거나 또는 지연하지 않고 그대로 출력(BACTD)한다.In addition, when the bank active signal BACT is activated and output at the same timing as the refresh signal REF, the delay controller 340 delays the bank active signal BACT by a predetermined time in response to the delay adjustment test signal TMREFINC. Output BACTD or output BACTD without delay.

이때, 워드라인 구동부(320)는, 지연제어부(340)의 출력신호(BACTD)에 응답하여 로우 어드레스 신호(XA<0:12>)가 가리키는 뱅크(330)에 속한 다수의 노멀 워드라인 중 어느 하나의 워드라인을 구동한다.In this case, the word line driver 320 may select any one of a plurality of normal word lines belonging to the bank 330 indicated by the row address signals XA <0:12> in response to the output signal BACTD of the delay controller 340. Drive one word line.

이후, 전술한 뱅크 액티브 신호(BACT) 및 리프레쉬 신호(REF)는 계속적으로 토글링(toggling)을 하면서 뱅크에 속한 다수의 노멀 워드라인을 구동한다. Thereafter, the above-described bank active signal BACT and refresh signal REF continue toggling to drive a plurality of normal word lines belonging to the bank.

이렇게 뱅크에 속한 다수의 노멀 워드라인이 모두 구동되면, 워드라인 리프 레쉬 테스트 모드 신호(TRWLREF)가 활성화되어 있으므로 리프레쉬 제어부(300)는 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)를 활성화시켜서 워드라인 구동부(320)가 뱅크(330)의 리던던시 워드라인을 구동하도록 제어한다.When the plurality of normal word lines belonging to the bank are driven in this way, since the word line leaf refresh test mode signal TRWLREF is activated, the refresh control unit 300 activates the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX to activate the word line driver ( 320 controls to drive the redundancy word line of the bank 330.

즉, 뱅크(330)에 속한 다수의 노멀 워드라인을 모두 구동된 후에 입력되는 뱅크 액티브 신호(BACT) 및 리프레쉬 신호(REF)의 토글링에 응답하여 뱅크(330)에 속한 다수의 리던던시 워드라인을 구동한다.That is, in response to toggling of the bank active signal BACT and the refresh signal REF input after the plurality of normal word lines belonging to the bank 330 are all driven, the plurality of redundancy word lines belonging to the bank 330 may be generated. Drive.

따라서, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 신호(TRWLREF)가 활성화된 워드라인 리프레쉬 테스트 모드에서는, 뱅크(330)에 속한 다수의 노멀 워드라인을 구동한 후에 순차적으로 다수의 리던던시 워드라인을 구동하는 방법을 사용하여 리프레쉬 테스트를 진행한다. Therefore, in the word line refresh test mode in which the word line refresh test mode signal TRWLREF is activated, after driving the plurality of normal word lines belonging to the bank 330, a plurality of redundancy word lines are sequentially driven. Proceed with the refresh test.

반면에, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 신호(TRWLREF)가 비활성화되어 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치가 워드라인 리프레쉬 테스트 모드로 동작하지 않으면, 뱅크(330)에 속한 다수의 노멀 워드라인이 모두 구동된 후에도 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)가 계속 비활성화되어 뱅크(330)에 속한 다수의 리던던시 워드라인은 구동되지 않는다.On the other hand, if the word line refresh test mode signal TRWLREF is inactivated and the refresh control device of the semiconductor memory device does not operate in the word line refresh test mode, redundancy may occur even after all the normal word lines belonging to the bank 330 are all driven. Since the word line refresh start signal TRWLREFX is continuously inactivated, a plurality of redundancy word lines belonging to the bank 330 are not driven.

그런데, 전술한 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레시 제어장치에서, 지연 제어부(340)가 워드라인 리프레쉬 테스트 모드에서 입력받은 뱅크 액티브 신호(BACT)를 항상 지연하지 않는 이유는 다음과 같다.However, in the above-described refresh control apparatus of a semiconductor memory device, the delay controller 340 does not always delay the bank active signal BACT input in the word line refresh test mode as follows. .

전술한 종래기술에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치에서 뱅크 액티브 신호(BACT)에 응답하여 워드라인 구동부(320) 내부에서 발생하는 NXE신호가 리던던시 워드라인 개시신호(TRWLREFX)보다 먼저 활성화되는 문제가 발생하는 원인은, 리프레쉬 신호(REF)가 리프레쉬 제어부(110)로 입력된 후에 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)가 출력되기까지 걸리는 시간을 예측할 수 없기 때문이다.In the above-described refresh control apparatus of a semiconductor memory device, the NXE signal generated in the word line driver 320 is activated before the redundancy word line start signal TRWLREFX in response to the bank active signal BACT. The reason for this is that the time taken for the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX to be output after the refresh signal REF is input to the refresh control unit 110 cannot be predicted.

그런데, 시간을 예측할 수 없기 때문에 경우에 따라 뱅크 액티브 신호(BACT)에 응답하여 워드라인 구동부(320) 내부에서 발생하는 NXE신호가 리던던시 워드라인 개시신호(TRWLREFX)보다 먼저 활성화되는 문제가 발생할 수도 있고 발생 안 할 수도 있다.However, in some cases, the NXE signal generated inside the word line driver 320 may be activated before the redundancy word line start signal TRWLREFX in response to the bank active signal BACT. It may not occur.

즉, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드에서 테스트를 수행할 때 전술한 문제점이 항상 발생하는 것이 아니다.That is, the above-described problem does not always occur when the test is performed in the word line refresh test mode.

그리고, 뱅크 액티브 신호(BACT)는 워드라인 구동부(320) 내부에서 발생하는 NXE신호의 활성화만을 제어하는 것이 아니고, 뱅크(330)의 동작을 온/오프 제어하는 신호이기도 하다.The bank active signal BACT is not only controlling the activation of the NXE signal generated inside the word line driver 320 but is also a signal for controlling the on / off operation of the bank 330.

때문에, 뱅크 액티브 신호(BACT)가 지연되어 워드라인 구동부(320)에 입력되면 지연된 시간만큼 뱅크(330)의 동작이 지연된다.Therefore, when the bank active signal BACT is delayed and input to the word line driver 320, the operation of the bank 330 is delayed by the delayed time.

따라서, 지연 제어부(340)에서 뱅크 액티브 신호(BACT)를 항상 지연시켜 출력하면 전술한 종래의 기술에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치에서 발생하는 문제점은 해결할 수 있어도 테스트 전체의 속도가 약간씩 느려질 수 있다.Therefore, if the delay control unit 340 always delays and outputs the bank active signal BACT, the problem caused by the refresh control apparatus of the semiconductor memory device according to the related art described above may be solved. Can be.

전술한 바와 같은 이유로 인해 워드라인 리프레쉬 테스트 모드에서 워드라인 리프레쉬 테스트 동작시 종래기술에서 전술한 문제점이 발생하면 지연조절 테스트 모드 신호를 활성화하여 뱅크 액티브 신호(BACT)를 예정된 시간만큼 지연하여 출력함으로써 문제점을 해결한다.If the above-mentioned problem occurs in the word line refresh test operation in the word line refresh test mode due to the aforementioned reasons, the delayed test mode signal is activated to delay and output the bank active signal BACT by a predetermined time. Solve it.

반면에, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드에서 워드라인 리프레쉬 테스트 동작시 종래기술에서 전술한 문제점이 발생하지 않으면 지연조절 테스트 모드 신호를 활성화하여 뱅크 액티브 신호(BACT)를 예정된 시간만큼 지연할 필요없이 그대로 테스트를 진행한다.On the other hand, if the above-mentioned problems do not occur in the word line refresh test operation in the word line refresh test mode, the delay control test mode signal may be activated to perform the test without delaying the bank active signal BACT by a predetermined time. Proceed.

도 4는 도 3에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치의 구성요소 중 지연 제어부를 상세히 도시한 회로도이다.FIG. 4 is a circuit diagram illustrating in detail a delay controller among components of a refresh control apparatus of a semiconductor memory device according to an exemplary embodiment of the present invention shown in FIG. 3.

도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치는 뱅크 액티브 신호(BACT)를 입력받아 지연하는 지연부(341)과, 지연조절 테스트 신호(TMREFINC)에 응답하여 지연부(341)의 출력신호와 뱅크 액티브 신호(BACT) 중 어느 하나의 신호를 선택하여 출력(BACTD)하는 선택부(345)를 구비한다.Referring to FIG. 4, the refresh control apparatus for a semiconductor memory device according to an exemplary embodiment of the present invention may include a delay unit 341 receiving and delaying a bank active signal BACT and a delay in response to a delay adjustment test signal TMREFINC. A selector 345 for selecting and outputting one of the output signal of the unit 341 and the bank active signal BACT is provided.

도 5는 도 3에 도시된 본 발명의 실시예에 다른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치에서 사용되는 신호의 파형을 도시한 타이밍 다이어그램이다.FIG. 5 is a timing diagram showing waveforms of signals used in the refresh control apparatus of the semiconductor memory device according to the embodiment of the present invention shown in FIG.

도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치에서 사용되는 신호들은, 외부 커맨드신호 생성부(300)와 지연 제어부(340) 및 리프레쉬 제어부(310)에서 출력되어 워드라인 구동부(320)에 입력되는 신호(BACTD, TRWLREFX)와, 입력된 신호(BACTD, TRWLREFX)에 응답하여 워드라인 구 동부(320) 내부에서 사용되는 신호(NXE, MWLEN, RWLEN), 및 워드라인 구동부(320) 외부로 출력되는 신호(MWLB, RMWLB)들이다.Referring to FIG. 5, signals used in the refresh control apparatus of the semiconductor memory device according to an exemplary embodiment of the present invention are output from the external command signal generator 300, the delay controller 340, and the refresh controller 310 to be worded. Signals BACTD and TRWLREFX input to the line driver 320 and signals NXE, MWLEN and RWLEN used in the word line driver 320 in response to the input signals BACTD and TRWLREFX, and word lines. The signals MWLB and RMWLB are output to the outside of the driver 320.

그리고, 도 5에 도시된 봐와 같이 전술한 신호들이 동작하는 타이밍은, 뱅크(330)에 속한 다수의 노멀 워드라인이 모두 구동된 후 다수의 리던던시 워드라인을 구동하기 전의 타이밍을 나타내었다.As shown in FIG. 5, the timing at which the aforementioned signals operate includes a timing before driving a plurality of redundancy word lines after all of the plurality of normal word lines belonging to the bank 330 are driven.

즉, 뱅크(330)에 속한 다수의 리던던시 워드라인을 구동하기 위해 리프레쉬 제어부(310)에서 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)를 활성화시키는 순간의 전후 전술한 신호들의 파형을 도시하였다.That is, the waveforms of the above-described signals before and after the moment when the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX is activated by the refresh control unit 310 to drive a plurality of redundancy word lines belonging to the bank 330 are illustrated.

그런데, 도 5에 도시된 신호의 파형은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치가 다음과 같은 조건에서 동작할 때 사용되는 신호의 파형을 나타낸 타이밍 다이어그램이다.By the way, the waveform of the signal shown in Figure 5 is a timing diagram showing the waveform of the signal used when the refresh control device of the semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention operates under the following conditions.

먼저, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 신호(TRWLREF)가 활성화되어 반도체 메모리 장치의 리프레쉬 제어장치가 워드라인 리프레쉬 테스트 모드로 동작한다고 가정한다. First, it is assumed that the word line refresh test mode signal TRWLREF is activated so that the refresh control device of the semiconductor memory device operates in the word line refresh test mode.

즉, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 신호(TRWLREF)가 비활성화되어 반도체 메모리 장치의 리프레쉬 제어장치가 워드라인 리프레쉬 테스트 모드로 동작하지 않는 경우에는 해당되지않는다.That is, this is not applicable when the word line refresh test mode signal TRWLREF is inactivated and the refresh control device of the semiconductor memory device does not operate in the word line refresh test mode.

또한, 지연조절 테스트 신호가 활성화되어 지연 제어부(340)에서 뱅크 액티브(BACT) 신호를 예정된 시간만큼 지연하여 출력하는 것을 가정하였다.In addition, it is assumed that the delay control test signal is activated so that the delay control unit 340 delays and outputs the bank active signal for a predetermined time.

도 5를 참조하여 워드라인 구동부(320)의 동작을 살펴보면 다음과 같다.The operation of the word line driver 320 will now be described with reference to FIG. 5.

지연 제어부(340)의 출력신호는 예정된 시간(tD)만큼 지연되어 출력되므로 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)보다 늦게 활성화된다.Since the output signal of the delay controller 340 is delayed for a predetermined time tD and output, the delayed signal 340 is activated later than the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX.

이는 지연 제어부(340)의 출력신호에 응답하여 활성화되는 NXE신호가 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)에 응답하여 활성화되는 RWLEN신호보다 항상 늦게 활성화되는 것을 의미한다.This means that the NXE signal activated in response to the output signal of the delay controller 340 is always activated later than the RWLEN signal activated in response to the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX.

따라서, NXE에 응답하여 뱅크(330)에 속한 다수의 노멀 워드라인을 구동하는 것을 제어하는 MWLEN신호와 MWLB신호는 활성화되지 않는다.Therefore, the MWLEN signal and the MWLB signal for controlling the driving of the plurality of normal word lines belonging to the bank 330 in response to NXE are not activated.

반면에, 뱅크(330)에 속한 다수의 리던던시 워드라인을 구동하는 것을 제어하는 RWLEN신호와 RMWLB신호는 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)에 응답하여 활성화된다.On the other hand, the RWLEN signal and the RMWLB signal for controlling the driving of the plurality of redundancy word lines belonging to the bank 330 are activated in response to the redundancy word line refresh start signal TRWLREFX.

전술한 바와 같이 본 발명의 실시예를 적용하면, 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치에서 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 동작시 뱅크 액티브 신호(BACT)의 활성화시점이 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)의 활성화시점보다 늦어지도록 제어되므로 뱅크(330)에 속한 리던던시 워드라인을 구동해야하는 타이밍에 노멀 워드라인이 구동되는 오동작이 발생하지 않는다. As described above, when the word line refresh test mode is operated in the refresh control device of the semiconductor memory device, the activation time of the bank active signal BACT is higher than the activation time of the word line refresh start signal TRWLREFX. Since it is controlled to be late, a malfunction in which the normal word line is driven does not occur at a timing at which the redundancy word line belonging to the bank 330 needs to be driven.

또한, 지연조절 테스트 신호(TMREFINC)에 따라 뱅크 액티브 신호(BACT)가 지연되는 것을 선택적으로 제어할 수 있기 때문에 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치에서 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 동작도중 전술한 문제가 발생하는 경우에 선택적으로 적용할 수 있다.In addition, since the bank active signal BACT may be selectively controlled according to the delay control test signal TMREFINC, and the above-described problem occurs during the operation of the word line refresh test mode in the refresh control device of the semiconductor memory device. May be optionally applied.

따라서, 워드라인 리프레쉬 테스트 수행도 중 전술한 문제가 발생하지 않는 경우에는 비교적 빠르게 워드라인 리프레쉬 테스트 수행을 완료할 수 있고, 전술한 문제가 발생할 경우에는 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치의 회로를 수정하지 않고 워드라인 리프레쉬 테스트를 수행할 수 있다.Therefore, if the above-mentioned problem does not occur during the word-line refresh test, the word-line refresh test can be completed relatively quickly. If the above-mentioned problem occurs, the circuit of the refresh control device of the semiconductor memory device is not modified. The word line refresh test can be performed instead.

즉, 종래의 기술에서 문제가 되었던 개발 비용이 증가하는 것과 개발 일정이 지연되는 것을 방지할 수 있다.That is, it is possible to prevent an increase in development costs and a delay in development schedule, which have been a problem in the related art.

전술한 본 발명은, 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치에서 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 동작시 뱅크 액티브 신호(BACT)의 활성화시점이 워드라인 리프레쉬 개시신호(TRWLREFX)의 활성화시점보다 늦어지도록 제어되므로 뱅크(330)에 속한 리던던시 워드라인을 구동해야하는 타이밍에 노멀 워드라인이 구동되는 오동작이 발생하지 않는다. Since the activation time of the bank active signal BACT is controlled later than the activation time of the word line refresh start signal TRWLREFX during the word line refresh test mode operation in the refresh control apparatus of the semiconductor memory device, the bank 330 is controlled. The malfunction that the normal word line is driven does not occur at the timing at which the redundancy word line belonging to) is to be driven.

또한, 지연조절 테스트 신호(TMREFINC)에 따라 뱅크 액티브 신호(BACT)가 지연되는 것을 선택적으로 제어할 수 있기 때문에 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치에서 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 동작도중 전술한 문제가 발생하는 경우에 선택적으로 적용할 수 있다.In addition, since the bank active signal BACT may be selectively controlled according to the delay control test signal TMREFINC, and the above-described problem occurs during the operation of the word line refresh test mode in the refresh control device of the semiconductor memory device. May be optionally applied.

따라서, 워드라인 리프레쉬 테스트 수행도 중 전술한 문제가 발생하지 않는 경우에는 비교적 빠르게 워드라인 리프레쉬 테스트 수행을 완료할 수 있고, 전술한 문제가 발생할 경우에는 반도체 메모리 소자의 리프레쉬 제어장치의 회로를 수정하지 않고 워드라인 리프레쉬 테스트를 수행할 수 있다.Therefore, when the above-described problem does not occur during the word-line refresh test, the word-line refresh test can be completed relatively quickly. When the above-mentioned problem occurs, the circuit of the refresh control device of the semiconductor memory device is not modified. The word line refresh test can be performed instead.

즉, 종래의 기술에서 문제가 되었던 개발 비용이 증가하는 것과 개발 일정이 지연되는 것을 방지할 수 있다.That is, it is possible to prevent an increase in development costs and a delay in development schedule, which have been a problem in the related art.

Claims (5)

다수의 노멀 워드라인과 리던던시 워드라인을 구비하는 뱅크;A bank having a plurality of normal word lines and a redundancy word line; 외부 커맨드에 응답하여 리프레쉬 신호 및 뱅크 액티브 신호를 생성하기 위한 내부 커맨드신호 생성수단;Internal command signal generating means for generating a refresh signal and a bank active signal in response to an external command; 상기 리프레쉬 신호에 응답하여 외부 어드레스 또는 내부 카운팅 어드레스를 로우 어드레스 신호로서 출력하며, 워드라인 리프레쉬 테스트 모드 - 상기 다수의 노멀 워드라인과 리던던시 워드라인을 순차적으로 리프레쉬하는 테스트 모드임 - 에서 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호를 출력하기 위한 리프레쉬 제어수단;In response to the refresh signal, an external address or an internal counting address is output as a row address signal, and a word line refresh test mode is a test mode for sequentially refreshing the plurality of normal word lines and redundant word lines. Refresh control means for outputting a start signal; 상기 워드라인 리프레쉬 테스트 모드에서 지연조절 테스트 신호에 응답하여 상기 뱅크 액티브 신호를 선택적으로 지연시키기 위한 지연 제어수단; 및Delay control means for selectively delaying the bank active signal in response to a delay adjustment test signal in the word line refresh test mode; And 상기 지연 제어수단의 출력신호 및 상기 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호에 응답하여 상기 로우 어드레스 신호에 대응하는 노멀 워드라인 및 리던던시 워드라인을 구동하기 위한 워드라인 구동수단Word line driving means for driving the normal word line and the redundancy word line corresponding to the row address signal in response to the output signal of the delay control means and the redundancy word line refresh start signal. 을 구비하는 반도체 메모리 소자.A semiconductor memory device having a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지연 제어수단은,The delay control means, 상기 뱅크 액티브 신호를 예정된 시간만큼 지연시키기 위한 지연부와, 상기 지연조절 테스트 신호에 응답하여 상기 뱅크 액티브 신호 또는 상기 지연부의 출력신호를 선택적으로 출력하기 위한 다중화부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자.And a delay unit for delaying the bank active signal by a predetermined time, and a multiplexer for selectively outputting the bank active signal or an output signal of the delay unit in response to the delay control test signal. . 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지연 제어수단은,The delay control means, 상기 워드라인 리프레쉬 테스트 모드에서, 상기 지연조절 테스트 신호가 활성화되면 상기 뱅크 액티브 신호를 예정된 시간만큼 지연하여 출력하고, 상기 지연조절 테스트 신호가 비활성화되면 상기 뱅크 액티브 신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자.In the word line refresh test mode, when the delay control test signal is activated, the bank active signal is delayed and output for a predetermined time, and when the delay control test signal is inactivated, the semiconductor memory is output. device. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 워드라인 구동수단은,The word line driving means, 상기 지연 제어수단의 출력신호가 활성화되고, 상기 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호가 비활성화되면, 상기 다수의 노멀 워드라인을 구동하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자.And when the output signal of the delay control means is activated and the redundancy word line refresh start signal is deactivated, the plurality of normal word lines are driven. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 워드라인 구동수단은,The word line driving means, 상기 지연 제어수단의 출력신호가 활성화되고, 상기 리던던시 워드라인 리프레쉬 개시신호가 활성화되면, 상기 다수의 리던던시 워드라인을 구동하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 소자.And a plurality of redundancy word lines when the output signal of the delay control means is activated and the redundancy word line refresh start signal is activated.
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