KR100846811B1 - 평판디스플레이 결함 검사 방법 및 장치 - Google Patents

평판디스플레이 결함 검사 방법 및 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100846811B1
KR100846811B1 KR1020060005912A KR20060005912A KR100846811B1 KR 100846811 B1 KR100846811 B1 KR 100846811B1 KR 1020060005912 A KR1020060005912 A KR 1020060005912A KR 20060005912 A KR20060005912 A KR 20060005912A KR 100846811 B1 KR100846811 B1 KR 100846811B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
image
defect
pixel
image information
information
Prior art date
Application number
KR1020060005912A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20070076711A (ko
Inventor
임대철
Original Assignee
엘지전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자 주식회사 filed Critical 엘지전자 주식회사
Priority to KR1020060005912A priority Critical patent/KR100846811B1/ko
Publication of KR20070076711A publication Critical patent/KR20070076711A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100846811B1 publication Critical patent/KR100846811B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/70—Determining position or orientation of objects or cameras
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N2021/9513—Liquid crystal panels

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

본 발명은 FPD 패널의 픽셀 소정 영역에 존재하는 점 결함 등을 검사하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명은 FPD 패널의 광학식 검사시에 추출되는 이미지 정보를 그래픽 작업 툴을 이용하여 도형 또는 선(line) 정보 영역으로 구분하여 하나 이상 영역을 설정하며, 이미지 검색/선택 툴에 의해 상기 이미지 정보와 가장 유사한 기준 이미지를 검색/선택하고, 상기 이미지 정보와 기준 이미지를 이미지 일치 툴에 의해 오버랩시켜 상기 이미지 정보에 존재하는 결함을 검사하는 것에 특징이 있다. 상기 그래픽 작업 툴, 이미지 검색/선택 툴, 이미지 일치 툴, 및 결함을 추출하는 결함 추출 툴은 프로그램 구동에 의해 순차적으로 실행된다. 그리고 검사 결과에 따라 픽셀 영역에서 결함이 존재하면 그 결함이 존재하는 픽셀 영역이 구분자로 표시된다. 이에 따라 결함 검출시에 픽셀의 어느 영역에서 결함이 있는지를 손쉽게 확인할 수 있는 잇점이 있다.
FPD, 상관관계 값, 1차원 프로젝션, 유사성, 도형/선 영역 정보.

Description

평판디스플레이 결함 검사 방법 및 장치{Method for defect inspection in Flat-panel display and Apparatus}
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 FPD 결함 검사장치 구성도.
도 2는 본 발명의 평판디스플레이 결함 검사 방법의 흐름도.
도 3은 도 2의 결함 검사 과정을 나타내는 실시 예 도면.
도 4는 본 발명에 따라 픽셀 영역이 선(line) 경계에 의해 정의된 상태를 보인 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 평판디스플레이(FPD) 10 : 카메라
20 : 제어 로직부 22 : 그래픽 프로그램
24 : 패턴처리부 26 : 메모리
30 : 메모리
본 발명은 평판디스플레이(FPD :Flat-panel display)에 관한 것으로서, 특히 FPD의 광학적 검사시에 추출된 이미지 정보를 이용하여 결함 발생 여부와 함께 그 발생된 결함 영역의 위치를 확인하는 평판디스플레이 결함 검사 방법 및 장치에 관한 것이다.
정보통신기술의 발달과 다양화된 정보화 사회의 요구에 따라 디스플레이 수요가 증가하고 있고, 그 디스플레이 장치로서 종래 대부분의 표시장치로 채용되었던 CRT( cathode-ray tube)장치 대신에 컴팩트화, 절전화 등의 요구에 따라 평면형 표시장치인 FPD가 개발되고 있다. 현재 일반적으로 많이 쓰이는 FPD로는 전계발광표시장치(ELD), 액정표시장치(LCD: TFT-LCD, TN/STN), 플라스마 표시패널, 유기EL 등이 있다.
이와 같은 FPD 들의 안정적인 품질을 유지하기 위해서는 재료의 개발, 공정의 개발 등도 중요하지만, 제조에 사용되는 유리 또는 플라스틱 등과 같은 패널에도 결함이 없어야 한다. 통상 FPD용 패널의 결함을 검사하는 방법으로는 패널 표면에 광을 조사하고, 상기 조사된 광의 광학적 변화로부터 패널 표면의 결함을 검사하는 방식이 이용된다. 즉, 광원으로부터 방사된 광은 거울/렌즈/액정판 등의 경로를 순차적으로 거쳐 피검체인 상기 FPD용 패널에 조사되고, 검사자는 흠집이나 얼룩과 같은 결함유무를 판별하는 것이다.
그러나, 광의 휘도가 불안정한 경우 구조적으로 FPD용 패널에서의 불균일한 밝기로 인하여 정확하게 결함 유무를 판별할 수 없는 문제가 발생되고 있다.
이외에도, 저해상도 카메라를 이용하여 자동으로 상기 FPD 패널의 결함을 검사하는 방법도 이용된다. 그러나 상기 저해상도 카메라로 상기 FPD 패널의 영상을 촬영/분석하는 경우에는 모든 픽셀들에 대해 결함을 검사하기에는 검사 시간이 많이 소요되어 부족한 면이 많았고, 특히 FPD 패널에 발생할 수 있는 특이 점에 대한 결함은 검출하기 어려웠다. 상기 카메라를 이용하는 경우에는 결국 검사자가 이를 육안으로 확인하는 검사방법에 지나지 않기 때문에, 일반적으로 FPD를 목시(目視) 검사로 실시하는 것과 큰 차이점이 없다. 상기 목시 검사도 작업자의 숙련도, 주관적인 판단이나 감정 등에 따라 검사 기준이 달라질 수 있기 때문에 일정한 품질을 유지하는데 문제가 있다.
이에 본 발명의 목적은 FPD의 광학적 검사시에 추출된 이미지 정보를 기준 이미지 정보와 비교하여 상기 FPD의 결함 영역/ 결함 유무를 검사하는 평판디스플레이 결함 검사 방법 및 장치를 제공함에 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 평판디스플레이 결함 검사 방법은, 픽셀 영역의 이미지 정보를 추출하는 단계; 상기 이미지 정보를 상기 픽셀 설계 특성에 따라 하나 이상의 픽셀 영역으로 구분하는 단계; 상기 픽셀 영역으로 구분된 이미지 정보와 가장 유사한 픽셀 영역을 갖는 기준 이미지를 검색/선택하는 단계; 상기 이미지 정보와 상기 선택된 기준 이미지를 오버랩(Over-lap)하는 단계; 그리고, 상기 이미지 정보에 결함이 존재하면 이를 추출하는 단계를 포함하여 구성된다.
상기 기준 이미지 검색/선택단계는, 다수의 기준 이미지를 검색한 다음, 상기 이미지 정보를 이루는 픽셀 영역의 도형 정보 또는 선 정보와 가장 유사한 패턴으로 이루어진 기준 이미지를 선택하되, 유사성이 소정 레벨 이상인 값을 가지는 기준 이미지 중에서 유사값이 가장 높은 기준 이미지를 선택하도록 한다.
상기 픽셀 영역은, 다각형 또는 폐곡선인 도형 영역이거나, 선(line)과 선(line)의 경계 영역으로 구분되어진다. 그리고 상기 픽셀 영역에는 각각 상이하거나 동일한 구분자(label)가 부여된다.
삭제
삭제
삭제
삭제
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 평판디스플레이 결함 검사 장치는, 추출된 픽셀의 이미지 정보를 하나 이상의 픽셀 영역으로 구분하는 그래픽 작업 툴; 상기 픽셀 영역으로 구분된 이미지 정보와 가장 유사한 픽셀 영역을 갖는 기준 이미지를 검색/선택하는 이미지 검색/선택 툴; 상기 선택된 기준 이미지와 상기 추출된 이미지 정보를 하나의 화면상에 자동으로 오버랩하는 이미지 일치 툴; 그리고, 상기 추출된 이미지 정보에서 결함을 추출하는 결함 추출 툴을 갖는 제어 로직부를 포함하여 구성된다.
상기 기준 이미지를 하나 이상 저장하는 메모리를 더 포함하여 구성된다.
상기 픽셀 영역은, 삼각 이상의 다각형 또는 폐곡선인 도형 영역이거나, 선(line)과 선(line)의 경계 영역내에 존재한다.
상기 제어 로직부는, 상기 추출된 이미지 정보에 결함이 존재하면 상기 기준 이미지와 오버랩되었을 때 상기 결함이 표시되는 것을 추출한다.
상기 픽셀 영역에는 상이하거나 동일한 구분자(Label)가 제공된다.
삭제
삭제
삭제
상기한 바와 같은 구성으로 이루어진 본 발명은, FPD의 광학적 검사시에 추출된 이미지 정보를 통해 결함 유무 및 그 결함이 발생된 위치를 손쉽게 검사할 수 있게 된다.
이하, 본 발명에 따라 FPD의 광학적 검사시에 결함을 검사하는 방법의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.
도 1에는 본 발명의 평판디스플레이 결함 검사방법을 설명하기 위해 제안된 FPD 결함 검사장치 구성도가 도시되어 있다.
도면을 참조하면, 상기 FPD 패널(1)은 패널 고정 유니트(3)에 고정 설치되며, 상기 FPD 패널(1)의 수직 상방에는 카메라(10)가 장착된다. 상기 카메라(10)는 X축 모터(14) 및 Y축 모터(16)에 의하여 전후좌우로 이송되면서 상기 FPD 패널(1)의 소정 부분을 촬영하여 이미지 정보를 획득할 수 있게 한다. 상기 X축 모터(14) 및 Y축 모터(16)를 구동 제어하는 구동부(18)가 구비된다.
상기 구동부(18)를 구동하기 위한 조건을 설정하여 상기 카메라(10)를 지정된 위치로 이동시키며, 결함이 전혀 존재하지 않고 사용자에 의해 미리 제공된 단위 구조 영역의 이미지(X)(기준 이미지라 함)와 상기 카메라(10)에 의해 촬영된 이미지 정보(Y)를 비교하여 상기 FPD 패널(1)의 결함 유무를 판별하는 제어 로직부(20)가 구비된다.
상기 제어 로직부(20)는, 상기 이미지 정보(Y)를 1차원 선 정보 또는 복수의 2차원 도형 정보 영역으로 구분/표시하는 그래픽 작업 툴(21)과, 상기 그래픽 작업 툴(21)에 의해 표시되는 이미지 정보(Y)와 유사성이 높은 기준 이미지(X)를 검색하고 선택하는 이미지 검색/선택 툴(22)을 구비한다. 그리고 상기 선택된 기준 이미지(X)와 상기 이미지 정보(Y)를 오버랩시키는 이미지 일치 툴(23) 및, 상기 이미지 일치 툴(23)에 의해 기준 이미지(X)와 이미지 정보(Y)가 오버랩되었을 때, 상기 기준 이미지(X)에 존재하지 않은 결함이 상기 이미지 정보(Y)에 존재하면 상기 이미지 정보(Y)에서 상기 결함을 추출하는 결함 추출 툴(24)을 구비한다. 이와 같은 제어 로직부(20)는 하나의 프로그램으로 제공되며, 일반적인 그래픽 작업이 가능한 프로그램으로서 포토샵, 캐드 프로그램 등이 포함된다. 이에 본 발명의 그래픽 프로그램은 어느 특정 프로그램에 한정되어 제공되지는 않는다.
그리고, 상기 이미지 검색/선택 툴(22)에는 상기 이미지 정보(Y)의 도형 영역 정보와 유사성이 높은 도형 영역 정보를 갖는 기준 이미지(X)를 검색하기 위한 유사성 알고리즘이 제공된다. 상기 유사성 알고리즘은, 상기 이미지 정보(Y)가 1차원 선 정보로 영역 구분된 경우에는 1차원 프로젝션 값을 이용한다. 즉, 픽셀 영역이 가로 및 세로 방향의 선 정보만으로 영역을 구분할 수 있을 때, 그러한 가로 및 세로 방향의 선 정보만으로 추출된 정보인 1차원 프로젝션 값에 의하여 가장 유사한 픽셀 영역으로 이루어진 기준 이미지(X)를 검색한다. 그러나, 3각형 이상의 다각형으로 픽셀 영역이 구분된 경우에는, 픽셀 영역의 상관관계 값(Correlation Value)을 참조하여 그러한 픽셀 영역과 유사한 패턴을 갖는 픽셀 영역으로 이루어진 기준 이미지(X)를 검색한다. 즉 상관관계 값은 각 픽셀의 RGB 값 상호간의 상관관계 등을 이용하는 것이 아니고, 그래픽 작업 툴(21)에 의해 구분된 도형 정보 영역과 가장 유사한 도형 정보 영역을 갖는 기준 이미지(X)를 검색하는 것이다.
상기 기준 이미지(X)가 저장되는 메모리(25)가 구비된다. 상기 메모리(25)에는 상기 이미지 검색/선택 툴(22)이 상기 이미지 정보(Y)와 유사성이 높은 기준 이미지(X)를 검출하도록 상이한 영역 패턴을 갖는 기준 이미지들이 적어도 하나 이상 저장되는 것이 바람직하다.
미설명 부호 30은 상기 기준 이미지(X)와 이미지 정보(Y)를 표시하는 모니터이다. 상기 모니터(30)에는 상기 제어 로직부(20)의 각 툴(21 내지 24)에 대한 메뉴가 선택적으로 표시될 수 있다.
한편, 상기 기준 이미지(X)는 결함이 전혀 존재하지 않는 이미지를 말한다. 상기 기준 이미지(X)도 전술한 바 있는 다수개의 도형 정보 영역으로 구분되어 있으며, 상기 도형 정보 영역은 픽셀 설계 특성에 따라서 픽셀 한 개를 여러 개의 영역으로 분리되거나 복수의 픽셀 상에서 임의로 영역으로 분리되어 정해진 영역 정보이다. 본 실시 예에서의 상기 영역은 삼각 이상의 다각형이나 폐곡선으로 구성된다.
이어, 상기한 바와 같은 구성에 따라 본 발명의 평판디스플레이 결함 검사방법을 상세하게 설명한다.
제 100 단계에서, 상기 FPD의 결함을 검사하기 위하여 광원(미도시)으로부터 일정 세기의 빛이 조사되면, 상기 제어 로직부(20)는 구동부(18) 제어를 통해 상기 카메라(10)를 일정 방향으로 이동시키면서 상기 FPD 패널(1)의 픽셀 영역을 촬영한다. 상기 카메라(10)에 의해 촬영된 픽셀 영역 이미지 정보(Y)는 상기 제어 로직부(20)에 의해 도시되지 않는 버퍼에 일시 저장되며 이를 육안으로 확인할 수 있도록 모니터(30)에 표시한다(제 102 단계).
일단, 픽셀 영역에 대한 이미지 정보(Y)가 상기 모니터(30)에 표시된 상태에서, 사용자는 제 104 단계에서와 같이 상기 이미지 정보(Y) 위에 그래픽 작업 툴(21)를 이용하여 도형 영역을 그린다. 상기 도형 영역은 픽셀 한 개 또는 복수의 픽셀에 대해 다수개의 영역으로 설정할 수 있다. 그리고, 상기 도형 영역은 사용자가 임의대로 그려 넣는 것보다 상기 FPD패널(1)의 픽셀 설계 특성에 따라 어느 정도 영역이 구분된 정보를 근거로 영역을 지정하는 것이 바람직하다.
이와 같이 상기 이미지 정보(Y)에 대해 다수 개의 도형 영역이 정해지면, 각각의 도형 영역에 대해 이를 구분할 수 있는 구분자(Label)를 부여한다. 상기 구분자 설정은 본 발명의 결함 검사 종료시에 어느 영역에서 결함이 발생되었는가를 용이하게 알려주기 위함이다.
상기 그래픽 작업 툴(21)에 의하여 상기 이미지 정보(Y)에 대한 도형 영역 정보 작업이 완료되면 이후부터는 상기 이미지 검색/선택 툴(22), 이미지 일치 툴 (23), 결함 추출 툴(24)의 처리 루틴에 따라 자동으로 결함을 추출하게 된다.
먼저, 제 106 단계에서 상기 이미지 검색/선택 툴(22)은 상기 메모리(26)를 액세스하여 상기 이미지 정보(Y)의 도형 영역 정보와 유사성이 높은 도형 영역 정보를 갖는 기준 이미지(X)를 검색한다. 상기 메모리(26)에는 도형 영역 정보로 표시된 하나 이상의 기준 이미지들이 저장되어 있으며, 상기 이미지 검색/선택 툴(22)은 가장 높은 유사한 값을 찾는 유사성 알고리즘을 통해 그 각각의 기준 이미지(X)에 대하여 이미지 정보(Y)를 각각 비교한다. 그리고 가장 유사한 도형 영역 정보를 갖는 기준 이미지(X)를 검색 선택한다. 예컨대, 도 3에서와 같이 'A', 'B', 'C', 'D'의 4종류의 도형 정보로 픽셀이 영역 구분되었다면, 이미지 검색/선택 툴(22)에 제공된 유사성 알고리즘은 메모리(25)에서 상기 'A', 'B', 'C', 'D'로 이루어지고 그 패턴이 유사한 도형 정보를 갖는 기준 이미지(X)를 검색하는 것이다.
이때, 상기 이미지 검색/선택 툴(22)의 검색 동작에서 유사한 도형 영역 정보가 검색되지 않는다면 결함 검사에 신뢰성이 저하되기 때문에 상기 제어 로직부(20)는 이에 대한 에러메시지를 모니터(30)에 표시할 수 있다. 또는 사용자가 이미지 정보(Y)의 도형 영역 정보와 유사한 기준 이미지(X)를 별도로 제공받아 결함 검사 작업을 진행할 수 있다.
또한, 상기 유사성이 높은 기준 이미지(X)를 검색할 때 상기 유사성 알고리즘에 의하여 소정 값 이하의 기준 이미지(X)가 검색될 때에도 결함 검사 작업을 중지시키도록 한다. 예컨대 상기 유사성 알고리즘에 의해 레벨 값이 80% 이상일 경우에만 검색되도록 설정하였다면, 상기 80% 이상인 경우에만 검색된 기준이미지(X)를 검색/선택하고 그 이하 수치인 경우에는 결함 검사 작업을 중지시키거나 상기 전술한 바 있는 기준 이미지를 별도로 제공받아 실시한다.
이와 같은 유사성 검사에 따라 이미지 정보(Y)의 도형 영역 정보와 유사한 기준 이미지(X)가 검색/선택되면, 제 108 단계에서 상기 이미지 일치 툴(23)는 상기 기준 이미지(X)와 이미지 정보(Y)를 상기 모니터(30)상에서 오버랩(Overlap)시킨다(도 3참조).
상기 이미지 일치 툴(23)에 의해 두 이미지(X,Y)가 상기 모니터(30)에 일치되어 표시되면, 상기 결함 추출 툴(24)은 상기 이미지 정보(Y)에 결함이 있는지를 검사한다. 상기 검사진행에 따라 만약 상기 이미지 정보(Y)에 결함이 존재하지 않으면 화면상에 아무런 표시가 나타나지 않는다.
그러나, 만일 상기 기준 이미지(X)와 이미지 정보(Y)의 비교에 따라 일정 도형 영역에서 점 결함 등이 발생되면, 상기 결함 추출 툴(24)은 상기 결함이 발생된 영역을 모니터(30)에 표시한다(제 110 단계). 예컨대, 도 3의 실시 예 도면에 따르면, 'C'영역에서 점 결함이 발생되는 것을 예로서 도시하고 있다. 이에, 상기 FPD패널(1) 영역 중 어느 부분에 결함이 발생 되었는가를 용이하게 알 수 있다.
다시 말해, 상기 기준 이미지(X)가 제공되지 않고 이미지 정보(Y)만을 가지고 결함 여부를 추출하는 것은 결함 여부의 정확성이 결여될 수 있다. 예컨대, 도형 영역 중 소정 부위에 특이한 점의 결함이 있다 할지라도, 그 특이한 점이 결함이 아니고 픽셀 패턴에 원래 있는 구조라고 판단할 수 있는 오류가 있을 수 있는 것이다. 그래서 전혀 결함이 존재하지 않는 기준 이미지(X)가 제공되는 것이다. 따라서, 상기 기준 이미지(X)에 이미지 정보(Y)가 오버랩되었을 때 동일하게 겹쳐지는 패턴 이외의 영역에 결함이 있는지를 알 수 있게 된다.
한편, 전술한 실시 예에서는 FPD 패널(1) 중 상기 카메라(10)에 의해 촬영된 이미지를 도형 영역으로 구분하여 결함 발생 여부를 검사하는 것을 보이고 있으나, 픽셀 설계에 따라 단순 직선으로 영역을 구분하여 결함을 검사할 수 있다(도 4).
도 4는 기준 이미지(X)에 픽셀 영역 이미지 정보(Z)가 오버랩된 상태이다. 마찬가지로 상기 카메라(10)에 의해 촬영된 픽셀 영역 이미지 정보(Z)가 모니터 (30)에 표시되면(제 120 단계), 사용자는 그래픽 작업 툴(21)을 통해 가로 및 세로 방향만으로 1차원적으로 영역을 지정한다(제 122 단계). 이는 픽셀 영역의 패턴이 반복적으로 구성되어 선과 선의 경계로 영역 구분이 가능한 것에 해당될 수 있다. 물론 단순한 픽셀 영역이라 할지라도 1차원적으로 영역을 지정하지 않고 전술한 바 있는 도형 영역 정보로서 픽셀 영역을 지정할 수도 있다.
상기 모니터(30)에 픽셀 영역 정보가 지정되면, 사용자는 그 영역에 대해 구분자를 부여한다. 그리고 이후부터는 상기 제어 로직부(20)가 상기 이미지 정보(Z)에 대한 결함 여부를 메모리(25)에 저장되어 있는 기준 이미지(X)와 비교하여 자동으로 검사하는 과정을 수행하는데, 그 과정은 전술한 도형 영역 정보에 대한 결함 검출과 유사하게 진행된다. 즉, 도 2를 다시 참조하면 제 124 단계 및 제 126 단계에서와 같이 이미지 검색/선택 툴(22)은 상기 이미지(Z)의 선 영역 정보와 유사성이 높은 선 영역 정보를 갖는 기준 이미지(X)를 메모리(25)로부터 검출한다. 그리고 이미지 일치 툴(23)은 상기 검출된 기준 이미지(X)와 상기 이미지(Z)를 오버랩시킨다. 이후 결함 추출 툴(24)에 의해 결함이 추출되는데, 도 4는 'D*B' 픽셀 영역에 결함이 있음을 나타내고 있다.
이와 같이 상기 실시 예에 설명되고 있는 본 발명은, FPD을 이루는 단위 구조인 픽셀에서 점 결함이 존재할 때 그 점 결함이 픽셀의 어느 영역에 존재하는 지를 용이하게 알 수 있는 잇점이 있다.
이상에서 상세하게 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 FPD 광학 검사시에 추출된 이미지 정보를 이용하여 픽셀 영역에 존재하는 점 결함 등의 특이 결함을 용이하게 검출할 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기 특이 결함이 픽셀의 어느 영역에 있는지를 사용자가 손쉽게 확인할 수 있도록 함으로써, 결함 검출에 따른 대응을 빠르게 할 수 있는 효과도 있다.

Claims (12)

  1. 픽셀 영역의 이미지 정보를 추출하는 단계;
    상기 이미지 정보를 상기 픽셀 설계 특성에 따라 하나 이상의 픽셀 영역으로 구분하는 단계;
    상기 픽셀 영역으로 구분된 이미지 정보와 가장 유사한 픽셀 영역을 갖는 기준 이미지를 검색/선택하는 단계;
    상기 이미지 정보와 상기 선택된 기준 이미지를 오버랩(Over-lap)하는 단계; 그리고
    상기 이미지 정보와 기준 이미지가 오버랩 되었을 때, 상기 기준 이미지에 존재하지 않은 결함이 상기 이미지 정보에 존재하면 상기 결함을 추출하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 결함 검사 방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 기준 이미지 검색/선택단계는,
    다수의 기준 이미지를 검색한 다음, 상기 이미지 정보를 이루는 픽셀 영역의 도형 정보 또는 선 정보와 가장 유사한 패턴으로 이루어진 기준 이미지를 선택하되,
    유사성이 소정 레벨 이상인 값을 가지는 기준 이미지 중에서 유사값이 가장 높은 기준 이미지를 선택하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 결함 검사 방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 픽셀 영역은, 다각형 또는 폐곡선인 도형 영역으로 구분하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 결함 검사 방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 픽셀 영역은,
    선(line)과 선(line)의 경계 영역으로 구분하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 결함 검사 방법.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제 3항 또는 제 4항에 있어서,
    상기 픽셀 영역에는 각각 상이하거나 동일한 구분자(label)를 부여하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 결함 검사 방법.
  8. 추출된 픽셀의 이미지 정보를 하나 이상의 픽셀 영역으로 구분하는 그래픽 작업 툴;
    상기 픽셀 영역으로 구분된 이미지 정보와 가장 유사한 픽셀 영역을 갖는 기준 이미지를 검색/선택하는 이미지 검색/선택 툴;
    상기 선택된 기준 이미지와 상기 추출된 이미지 정보를 하나의 화면상에 자동으로 오버랩하는 이미지 일치 툴; 그리고,
    상기 이미지 정보와 기준 이미지가 오버랩 되었을 때, 상기 기준 이미지에 존재하지 않은 결함이 상기 이미지 정보에 존재하면 상기 결함을 추출하는 결함 추출 툴을 갖는 제어 로직부를 포함하여 구성되는 평판디스플레이 결함 검사장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 기준 이미지를 하나 이상 저장하는 메모리를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 결함 검사장치.
  10. 제 8항 또는 제 9항에 있어서,
    상기 픽셀 영역은,
    삼각 이상의 다각형 또는 폐곡선인 도형 영역이거나, 선(line)과 선(line)의 경계 영역내에 존재하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 결함 검사 장치.
  11. 삭제
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 픽셀 영역에는 상이하거나 동일한 구분자(Label)가 제공되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 결함 검사장치.
KR1020060005912A 2006-01-19 2006-01-19 평판디스플레이 결함 검사 방법 및 장치 KR100846811B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060005912A KR100846811B1 (ko) 2006-01-19 2006-01-19 평판디스플레이 결함 검사 방법 및 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060005912A KR100846811B1 (ko) 2006-01-19 2006-01-19 평판디스플레이 결함 검사 방법 및 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070076711A KR20070076711A (ko) 2007-07-25
KR100846811B1 true KR100846811B1 (ko) 2008-07-17

Family

ID=38501489

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060005912A KR100846811B1 (ko) 2006-01-19 2006-01-19 평판디스플레이 결함 검사 방법 및 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100846811B1 (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100842460B1 (ko) * 2006-09-22 2008-07-01 씨에스아이시스템주식회사 평판 디스플레이 패널의 도트 결함 검출 방법
US8175373B2 (en) 2009-02-16 2012-05-08 Kla-Tencor Corporation Use of design information and defect image information in defect classification
CN108007913B (zh) * 2016-10-27 2020-08-14 中国人民解放军第二军医大学 光谱处理装置、方法以及药品真伪判定系统
KR20220166403A (ko) * 2021-06-09 2022-12-19 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040091562A (ko) * 2003-04-22 2004-10-28 가부시키가이샤 시마즈세이사쿠쇼 기판 검사장치 및 기판 검사방법
KR20050015065A (ko) * 2003-08-01 2005-02-21 삼성전자주식회사 결함 검사 방법 및 결함 검사 장치
KR20050102943A (ko) * 2004-04-23 2005-10-27 주식회사 에이디피엔지니어링 칼라 필터 결함 검사 장치 및 칼라 필터 결함 검사 방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040091562A (ko) * 2003-04-22 2004-10-28 가부시키가이샤 시마즈세이사쿠쇼 기판 검사장치 및 기판 검사방법
KR20050015065A (ko) * 2003-08-01 2005-02-21 삼성전자주식회사 결함 검사 방법 및 결함 검사 장치
KR20050102943A (ko) * 2004-04-23 2005-10-27 주식회사 에이디피엔지니어링 칼라 필터 결함 검사 장치 및 칼라 필터 결함 검사 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070076711A (ko) 2007-07-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6767490B2 (ja) 欠陥検査装置、欠陥検査方法、およびプログラム
JP5158365B2 (ja) 基板の欠陥検査装置
US10169855B2 (en) Method and device for detecting defects on a display subtrate
US20140240488A1 (en) Appearance inspection device and method for object having line pattern
KR100846811B1 (ko) 평판디스플레이 결함 검사 방법 및 장치
JP2010139461A (ja) 目視検査システム
WO2011152445A1 (ja) 太陽電池パネルのｅｌ検査装置、及びｅｌ検査方法
JP2009115566A (ja) パネルの欠陥位置の特定装置
JP2008130966A (ja) 欠陥レビュー方法および装置
JP2007334262A (ja) Ｔｆｔアレイ基板の欠陥検出方法、およびｔｆｔアレイ基板の欠陥検出装置
KR100763019B1 (ko) 평판표시장치의 화질 검사 시스템 및 그 방법
KR101409568B1 (ko) 표시패널 검사장치 및 그 검사방법
JP2006251561A (ja) 欠陥画素リペア方法
JP4664417B2 (ja) 表示パネル点灯検査装置、及び表示パネル点灯検査方法。
TW201339573A (zh) 平面基板之自動光學檢測方法及其裝置
JP2009079915A (ja) 微小寸法測定方法および測定装置
KR102390058B1 (ko) Led 패널 결함 검출을 위한 데이터 생성 장치 및 방법
KR20160101436A (ko) 표면의 이물검사 방법
JP2006300678A (ja) 製品の外観検査方法と外観検査補助装置
JP3311628B2 (ja) 薄型表示機器の欠陥箇所位置決め装置
JP2011029324A (ja) レシピ更新方法およびレシピ更新システム
JP2010249772A (ja) 欠陥解析装置、欠陥解析プログラム、および欠陥解析方法
JP2002340739A (ja) 表示画面検査装置および表示画面検査方法
KR20150051684A (ko) 자동 광학 검사 시스템, 장치 및 방법
KR101910069B1 (ko) 영상 분석 기반의 결함 검사 시스템 및 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
J201 Request for trial against refusal decision
AMND Amendment
E801 Decision on dismissal of amendment
B601 Maintenance of original decision after re-examination before a trial
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20070920

Effective date: 20080626

S901 Examination by remand of revocation
GRNO Decision to grant (after opposition)
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120914

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130624

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee