KR100841797B1 - Method for manufacturing light waveguide and light waveguide manufactured therefrom - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기재 상에 자외선 감광성 폴리머를 코팅하는 단계; 상기 코팅된 폴리머가 위를 향하도록 상기 필름을 롤러에 권취 및 고정하는 단계; 상기 코팅된 폴리머에 마스터를 접촉시키고, 이때 상기 롤러를 회전시키면서 코어 패턴을 형성하는 단계; 상기 패턴 형성된 폴리머를 자외선(UV) 조사로 경화시켜 하부 클래드를 형성하는 단계; 상기 패턴에 코어 물질을 주입하여 코어를 형성하는 단계; 및 상기 코어 물질이 주입된 하부 클래드 상에 상부 클래드를 형성하는 단계를 포함하는 광도파로의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention comprises the steps of coating an ultraviolet photosensitive polymer on a substrate; Winding and fixing the film on a roller such that the coated polymer is facing up; Contacting the master with the coated polymer, wherein forming the core pattern while rotating the roller; Curing the patterned polymer by ultraviolet (UV) irradiation to form a lower clad; Injecting a core material into the pattern to form a core; And forming an upper cladding on the lower clad implanted with the core material.

본 발명에 따른 광도파로의 제조 방법을 이용하면, 마스터의 사이즈에 제한되지 않는 연속적인 긴 길이의 광도파로를 제조할 수 있게 된다.By using the method of manufacturing the optical waveguide according to the present invention, it is possible to manufacture a continuous long length optical waveguide that is not limited to the size of the master.

Description

광도파로의 제조 방법 및 이로부터 제조된 광도파로{Method for manufacturing light waveguide and light waveguide manufactured therefrom} Method for manufacturing light waveguide and light waveguide manufactured therefrom

도 1은 본 발명에 따른 연속적인 긴 광도파로를 제조하는 방법을 도시한 도면이다.1 illustrates a method of manufacturing a continuous long optical waveguide according to the present invention.

도 2는 본 발명의 마스터의 단면을 도시한 도면이다. Figure 2 is a diagram showing a cross section of the master of the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 광도파로의 단면을 도시한 도면이다.3 is a cross-sectional view of an optical waveguide according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1. 언와인더 (Unwinder) 2. 와인더 (Winder)1. Unwinder 2. Winder

3. 자외선(UV) 노광기 4. 9. 클래드 코터 (Clad Coater)3. UV Exposure Machine 4. 9. Clad Coater

5. 자외선(UV) 차단막 6. 마스터 5. UV blocking film 6. Master

7. 립 코터 (Lip coater) 8. 프레스 롤러/히터7. Lip coater 8. Press roller / heater

11. 기재 12. 하부 클래드11. Base material 12. Bottom cladding

13. 코어 14. 상부 클래드 13. Core 14. Upper Clad

인쇄회로기판을 포함한 여러 종류의 전기적 배선을 이용한 정보의 전달수단은 20세기 전자시대를 이끌며 컴퓨터, 자동차, 휴대폰 등 대부분의 산업에 응용되 었다. 하지만, 최근 인터넷 사용의 증가와 더불어 정보의 고속화와 대용량화가 진행됨에 따라, 전기적 배선 사용시 발생하는 속도의 한계와 전기 선로간의 누화 특성 및 실장 밀도의 제약, 잡음(EMS; Electro Magnetic Susceptibility)등의 문제가 대두되어 새로운 정보전달 수단을 필요로 하고 있다. 이러한 요구에 따라 최근 전기적 배선의 한계를 극복하기 위하여 광 연결을 이용하고자 한다. The means of transmitting information using various types of electrical wiring, including printed circuit boards, led the 20th century electronic age and was applied to most industries such as computers, automobiles and mobile phones. However, with the recent increase in the use of the Internet, as the speed of information and the increase in capacity have increased, problems such as the limitation of speed occurring when using electrical wiring, the crosstalk characteristic between electric lines, the limitation of the mounting density, and the noise (EMS: Electro Magnetic Susceptibility) Has emerged and requires new means of communication. In order to overcome the recent limitations of electrical wiring according to these needs, it is intended to use an optical connection.

따라서, 전술한 바와 같이 전기적 배선의 한계를 극복하기 위하여 광도파로를 삽입한 인쇄회로기판에 대한 기술 개발이 급속히 발전하고 있다. 특히 차세대 고속 병렬 컴퓨터에 응용하거나 시스템간의 정보 전달과, 백플레인(back plane)에 광 연결을 이용하기 위해서는 긴 길이의 광도파로를 필요로 하고 있다.Therefore, in order to overcome the limitations of electrical wiring as described above, the development of technology for a printed circuit board having an optical waveguide inserted therein has been rapidly developed. In particular, long-wavelength optical waveguides are required for applications in next-generation high-speed parallel computers, information transfer between systems, and optical connections to the back plane.

광도파로의 제조 방법으로서는 실리카 공정이 일반적인데, 이는 화염 가수분해 증착(flame hydrolysis deposition:FHD), 화학 기상증착(plasma enhanced chemical vapor deposition:PECVD) 등에 의해 실리카를 증착시키고 식각 공정을 수행하여 만드는 것이다. 이러한 실리카 공정에 의한 광도파로 제조 방법은 좋은 특성을 구현할 수는 있으나, 생산 단가가 비싸고, 제조 공정이 복잡하여 상업적 대량 생산에 적합하지 않을 뿐 아니라, 광도파로 길이도 포토 마스크 사이즈로 제한적일 수 밖에 없다.As a method of manufacturing an optical waveguide, a silica process is generally used, which is formed by depositing silica and performing an etching process by flame hydrolysis deposition (FHD) or plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). . Although the optical waveguide manufacturing method by the silica process can realize good characteristics, the production cost is expensive, and the manufacturing process is complicated and not suitable for commercial mass production, and the optical waveguide length is limited to the photo mask size. .

그래서 최근 폴리머를 이용한 광도파로 제조에 대한 연구가 활발하게 일어나고 있다. 폴리머는 빠른 제조가 가능하고, 가격 효율적이며, 높은 수율과 적은 광 손실을 가지고 있어 광도파로 재료에 적합하다고 할 수 있다. 폴리머를 이용하여 광도파로를 제조하는 대표적인 방식은 습식 식각 방식, 건식 식각 방식, 엠보싱 방 식 등이 있다. 각각 장단점을 가지고 있으나 상업적인 대량생산 측면이나, 포토 마스크 사이즈를 벗어나는 긴 길이의 광도파로 제조에는 한계를 가지고 있다. 이러한 방식으로 광도파로를 제조에는 포토리소그라피를 위한 마스크나 엠보싱을 위한 마스터를 필요로 하는데 이는 광도파로 제조에 있어 공정이 복잡해 지거나 길이의 한계를 가질 수 밖에 없다. Therefore, research into the manufacture of optical waveguides using polymers has been actively conducted recently. Polymers are fast manufacturing, cost effective, have high yields and low light losses, making them suitable for optical waveguide materials. Typical methods for producing optical waveguides using polymers include wet etching, dry etching, and embossing. Although each has advantages and disadvantages, there are limitations in commercial mass production and the manufacture of long length optical waveguides beyond the size of photo masks. In this way, the manufacture of optical waveguides requires a mask for photolithography or a master for embossing, which can complicate the process or limit the length of the optical waveguide.

길이가 긴 광도파로를 제조하기 위해서는 그 만한 사이즈의 포토 마스크나 마스터를 필요로 한다. 하지만 큰 사이즈의 포토 리소그라피 방식이 쉽지가 않고, 마스터를 제조하는 대표적인 방법인 리가(LIGA) 공정이나, 포토레지스트 패터닝, 식각 방법, 전기 도금 방법들은 웨이퍼 사이즈를 벗어나는 긴 길이, 대략 4 인치 (10 cm) 이상의 마스터를 제조하는데 어려움을 가지고 있다.In order to manufacture a long optical waveguide, a photo mask or a master of that size is required. However, large photolithography is not easy, and the LiGA process, photoresist patterning, etching, and electroplating methods, which are typical methods for manufacturing masters, are long, about 4 inches (10 cm) beyond the wafer size. Difficulty in manufacturing masters)

이러한 문제를 해결하기 위하여, 롤패터닝법이 사용되는데, 이는 한 쌍의 가압 롤러 중 한쪽의 가압 롤러의 외주면에 오목 홈이나 캐버티와 같은 패턴이 원주 방향을 따라 새겨져 있어, 표면에 수지가 도포된 시트가 상기 가압 롤러 사이를 통과하면, 상기 수지가 패턴이 형성되고, 경화되는 방식이다. 상기 롤패터닝법은 마스터의 길이와 상관없이 길이가 긴 광도파로를 제조할 수 있는 장점이 있으나, 롤에 패턴을 새겨야 하는 고난이 기술을 요구되고, 원형의 재료에 각 패턴간 너비, 깊이 오차 및 표면 조도를 적절하게 유지해야 되는 문제점이 있다. In order to solve this problem, a roll patterning method is used, in which a pattern such as a concave groove or a cavity is engraved along the circumferential direction on the outer circumferential surface of one of the pair of pressure rollers, so that resin is applied to the surface. When the used sheet passes between the pressure rollers, the resin is formed in a pattern and cured. The roll patterning method has an advantage of manufacturing a long optical waveguide irrespective of the length of the master, but requires a difficult technique to inscribe a pattern on the roll, the width, depth error and There is a problem that the surface roughness must be properly maintained.

상기한 바와 같이 종래기술의 문제점을 개선하기 위해, 본 발명이 이루고자 하는 첫 번째 기술적 과제는, 마스터의 사이즈에 제한되지 않고 연속적인 긴 길이 를 갖는 광도파로의 제조 방법을 제공하는 것이다.In order to improve the problems of the prior art as described above, the first technical problem to be achieved by the present invention is to provide a method of manufacturing an optical waveguide having a continuous long length without being limited to the size of the master.

본 발명이 이루고자 하는 두 번째 기술적 과제는, 상기 방법을 이용하여 제조된 광도파로를 제공하는 것이다.A second technical object of the present invention is to provide an optical waveguide manufactured using the above method.

본 발명은 상기 첫 번째 기술적 과제를 해결하기 위하여, The present invention to solve the first technical problem,

기재 상에 자외선 감광성 폴리머를 코팅하는 단계;Coating an ultraviolet photosensitive polymer on the substrate;

상기 코팅된 폴리머가 위를 향하도록 상기 필름을 롤러에 권취 및 고정하는 단계;Winding and fixing the film on a roller such that the coated polymer is facing up;

상기 코팅된 폴리머에 마스터를 접촉시키고, 이때 상기 롤러를 회전시키면서 코어 패턴을 형성하는 단계;Contacting the master with the coated polymer, wherein forming the core pattern while rotating the roller;

상기 패턴 형성된 폴리머를 자외선(UV) 조사로 경화시켜 하부 클래드를 형성하는 단계;Curing the patterned polymer by ultraviolet (UV) irradiation to form a lower clad;

상기 패턴에 코어 물질을 주입하여 코어를 형성하는 단계; 및Injecting a core material into the pattern to form a core; And

상기 코어 물질이 주입된 하부 클래드 상에 상부 클래드를 형성하는 단계를 포함하는 광도파로의 제조 방법을 제공한다.It provides a method of manufacturing an optical waveguide comprising the step of forming an upper clad on the lower clad implanted with the core material.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 마스터가 광투과성의 유리기판으로 이루어진 것이 바람직하다. According to one embodiment of the invention, it is preferable that the master is made of a transparent glass substrate.

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 상기 패턴 형성과 경화가 동시에 일어나는 것이 바람직하다.According to another embodiment of the present invention, it is preferable that the pattern formation and curing occur simultaneously.

본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 상기 코어 형성 단계가 립코터를 지남 에 따른 코어 물질를 주입하는 단계, 프레스 롤러사이의 틈을 필름두께와 하부 클래드 두께의 합으로 하여 코어 물질이 하부 클래드 패턴에 일정량 충진되어 코어의 슬랩을 최소화하는 단계, 70℃ 내지 100℃에서 소프트 베이킹(soft baking)을 통해 코어물질을 패턴 내에 고정시키는 단계, 및 40초 내지 5분 동안의 자외선 경화 단계로 이루어지는 것이 바람직하다.According to another embodiment of the present invention, the core forming step of the step of injecting the core material along the lip coater, the gap between the press roller as the sum of the film thickness and the bottom clad thickness of the core material to the lower clad pattern It is preferred to have a certain amount of filling to minimize the slab of the core, to fix the core material in the pattern through soft baking at 70 ℃ to 100 ℃, and ultraviolet curing step for 40 seconds to 5 minutes. .

본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 상기 하부 클래드의 두께가 65㎛ 내지 82.5㎛이고 상부 클래드의 두께가 15㎛ 내지 20㎛인 것이 바람직하다. According to another embodiment of the present invention, the lower cladding has a thickness of 65 μm to 82.5 μm and the upper cladding has a thickness of 15 μm to 20 μm.

본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 상기 패턴이 가로 및 세로가 50㎛ 내지 62.5㎛인 것이 바람직하다. According to another embodiment of the present invention, it is preferable that the pattern is 50 µm to 62.5 µm in length and width.

본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 상기 코어의 중심점간 피치가 100㎛ 내지 300㎛인 것이 바람직하다. According to another embodiment of the present invention, the pitch between the center points of the core is preferably 100㎛ to 300㎛.

본 발명은 상기 두 번째 기술적 과제를 해결하기 위하여,The present invention to solve the second technical problem,

상기 방법을 이용하여 제조된 광도파로를 제공한다.An optical waveguide manufactured using the above method is provided.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 구체적으로 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명의 범위가 아래에 상술하는 실시예로 인하여 한정되는 식으로 해석되어서는 안된다. Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the scope of the present invention should not be construed as being limited due to the embodiments described below.

도 1을 참조하여 본 발명에 따른 연속적인 긴 광도파로를 제조 방법을 설명하면 다음과 같다.Referring to Figure 1 describes a method for manufacturing a continuous long optical waveguide according to the present invention.

언와인더(1)에서 나온 기재가 롤러에 의하여 진행하면서 먼저 클래드 코터(4)에 의해 기재 상에 자외선 감광성 폴리머를 코팅하고, 이후 상기 코팅된 폴리머 가 위를 향하도록 하여 상기 필름을 마스터(6)가 장착된 롤러 사이로 이동하여 권취 및 고정된다. 이때 상기 기재는 광도파로에 요구되는 특성, 즉 유연성, 내열성, 내압성 등에 따라 달라질 수 있는데, 통상적으로 폴리이미드(Polyimide)필름, 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethylene naphthalate)필름이 사용될 수 있다. 상기 자외선 감광성 폴리머로는 분자구조내에 광가교(photo-crosslinking)가 가능한 에폭시(Epoxy)나 아크릴레이트(Acrylate)계 폴리머가 사용될 수 있다.The substrate from the unwinder 1 proceeds with a roller and first coats the ultraviolet photosensitive polymer on the substrate by means of a clad coater 4, and then the coated polymer is directed upwards to the master 6. ) Is rolled up and fixed between the mounted rollers. In this case, the substrate may vary depending on characteristics required for the optical waveguide, that is, flexibility, heat resistance, pressure resistance, and the like, and a polyimide film and a polyethylene naphthalate film may be used. The ultraviolet photosensitive polymer may be an epoxy or acrylate-based polymer capable of photo-crosslinking in a molecular structure.

이때 코팅된 폴리머에 마스터를 접촉시키고, 마스터(6)의 패턴을 기재 위의 폴리머로 전이 시키고, 이와 동시에 자외선 노광기(3)에서 자외선을 조사하게 되고 자외선은 마스터(6)를 투과하여 마스터(6)의 패턴을 코팅된 폴리머에 전이 받은 상태에서 경화시켜 하부 클래드를 형성하게 된다. 상기 마스터의 단면을 확대하여 도 2에 나타내었다. 상기 마스터는 광투과 특성을 가져야 하므로 유리기판으로 이루어지는 것이 바람직하고, 일반직인 식각 공정 등을 통해 제작될 수 있다. 이때 자외선 노광은 40초 내지 5분 동안 하는 것이 바람직한데, 40초 보다 작으면 미경화(non-crosslinking)되어 광특성에 악영향을 주고, 5분 보다 크면 노광기의 열에 의해 기저필름의 변형 문제가 있어 바람직하지 않다.At this time, the master is brought into contact with the coated polymer, and the pattern of the master 6 is transferred to the polymer on the substrate. At the same time, the ultraviolet light is exposed to the ultraviolet light 3, and the ultraviolet light passes through the master 6 to allow the master 6 ) Is hardened in the state of being transferred to the coated polymer to form the lower clad. An enlarged cross section of the master is shown in FIG. 2. Since the master should have a light transmitting property, it is preferable that the master is made of a glass substrate, and may be manufactured through an etching process which is a general weave. In this case, UV exposure is preferably performed for 40 seconds to 5 minutes. If it is less than 40 seconds, non-crosslinking may adversely affect optical properties. If it is larger than 5 minutes, there is a problem of deformation of the base film due to heat of the exposure machine. Not desirable

코어는 기본적으로 하부 클래드 재료에 도판트(Dopant)를 첨가해 굴절률을 높인 재료로서 상기 도판트로는 브로모 벤젠, 벤질부틸프탈레이트, 벤질벤조에이트, 디페닐 프탈레이트 등이 사용될 수 있다. 상기 코어의 경화조건은 하부 클래드와 같다.The core is a material in which a dopant is added to the lower clad material to increase refractive index, and as the dopant, bromo benzene, benzyl butyl phthalate, benzyl benzoate, diphenyl phthalate, and the like may be used. Curing conditions of the core is the same as the lower cladding.

이후, 립 코터(7)를 이용하여 상기 패턴에 코어 물질을 주입하고, 프레스 롤 러/히터(8) 및 자외선 노광기(3)로 압착, 가열, 및 자외선 경화 단계를 거쳐 코어를 형성하게 된다. 상기 압착은 프레스 롤러 사이의 틈을 필름두께와 하부 클래드 두께의 합으로 하여 코어의 슬랩(slab)을 최소화한다. 프레스 롤러 사이의 틈이 각 두께의 합보다 작으면 패턴의 뭉개짐 문제가 있고, 두께의 합보다 너무 크면 코어의 슬랩(slab)이 커지게 되어 광특성에 문제가 있어 바람직하지 않다. Thereafter, the core material is injected into the pattern using the lip coater 7, and the core is formed by pressing, heating, and ultraviolet curing with the press roller / heater 8 and the ultraviolet exposure machine 3. The compression minimizes slab in the core by making the gap between the press rollers the sum of the film thickness and the bottom clad thickness. If the gap between the press rollers is smaller than the sum of the thicknesses, there is a problem of crushing the pattern. If the gaps are larger than the sums of the thicknesses, the slab of the core becomes large, which is not preferable because of problems in optical properties.

패턴에 코어 물질을 주입한 후 프레스 롤러/히터(8)를 거치게 되면서 70℃ 내지 100℃, 바람직하게는 75℃ 내지 97℃, 더욱 바람직하게는 80℃ 내지 95℃에서 소프트 베이킹(soft baking)을 통해 코어물질을 패턴 내에 고정시킨다. 상기 소프트 베이킹 온도가 70℃보다 작으면 폴리머내의 솔벤트 제거가 안되서 코어특성에 나쁜 영향을 끼치고 100℃ 보다 크면 폴리머의 일부가 경화 진행이 되므로 패턴형성시 정교한 형상이 어렵게 되므로 바람직 하지 않다.After the core material is injected into the pattern, the soft material is subjected to soft baking at 70 ° C. to 100 ° C., preferably 75 ° C. to 97 ° C., more preferably 80 ° C. to 95 ° C. while passing through the press roller / heater 8. The core material is fixed in the pattern. If the soft baking temperature is less than 70 ℃ does not remove the solvent in the polymer has a bad effect on the core properties, and if it is larger than 100 ℃ because a portion of the polymer is hardening proceeds because the elaborate shape is difficult to form the pattern is not preferable.

최종적으로 상기 코어 물질이 주입된 하부 클래드 상에 클래드 코터(9) 및 자외선 노광기(3)를 이용하여, 전술한 하부 클래드를 형성한 방법과 동일하게 상부 클래드를 형성하여 광도파로가 제조된다. 상부 클래드의 경화조건은 하부 클래드와 같다. 상기 제조된 광도파로는 와인더(2)에 의해 권취되어 보관될 수 있다. Finally, using the clad coater 9 and the ultraviolet exposure machine 3 on the lower clad into which the core material is injected, the optical waveguide is manufactured by forming the upper clad in the same manner as the lower clad. Curing conditions of the upper clad are the same as the lower clad. The prepared optical waveguide can be wound and stored by the winder (2).

도 3에서는 본 발명에 따라 제조된 광도파로의 단면을 나타내었는데, 이는 기재, 하부 클래드, 코어, 상부 클래드의 순서로 적층되어 있다.3 shows a cross section of an optical waveguide manufactured according to the present invention, which is stacked in the order of the substrate, the lower cladding, the core, and the upper cladding.

상기 기재의 두께(f)는 광도파로에 요구되는 특성, 즉 유연성, 내열성 및 내압성 등에 따라서 달라지는데 통상적으로 10㎛ 내지 100㎛이고, 하부 클래드(12)의 두께(e)는 65㎛ 내지 82.5 ㎛이고, 상부 클래드의 두께(d)는 15㎛ 내지 20 ㎛이고, 상기 코어의 패턴은 가로(c) 및 세로(b)가 50㎛ 내지 62.5 ㎛인 정사각형이다.The thickness f of the base material varies depending on the characteristics required for the optical waveguide, that is, flexibility, heat resistance, pressure resistance, and the like, and is typically 10 μm to 100 μm, and the thickness e of the lower clad 12 is 65 μm to 82.5 μm. The thickness (d) of the upper clad is 15 μm to 20 μm, and the pattern of the core is a square having a width (c) and a length (b) of 50 μm to 62.5 μm.

상기 코어의 중심점간 피치(a)는 발광 및 수광소자와의 어레이 간격에 따라 자유자재로 설계될 수 있는데, 소자간의 빛 간섭이 없는 한 작게 설계될 수 있다. 상기 피치는 바람직하게는 100㎛ 내지 300㎛이고, 더 바람직하게는 125㎛ 내지 275㎛이고, 현재 통상적인 수발광소자 제품들의 어레이 간격에 맞추어서는 250㎛가 바람직하다.The pitch (a) between the center points of the core can be freely designed according to the array spacing with the light emitting and receiving elements, and can be designed small as long as there is no light interference between the elements. The pitch is preferably from 100 μm to 300 μm, more preferably from 125 μm to 275 μm, and preferably 250 μm to match the array spacing of conventional light emitting device products.

코어 패턴의 크기가 50㎛ 내지 62.5 ㎛인 이유는 일반적인 멀티모드 소자 또는 멀티모드 화이버(코어크기 50㎛ 내지 62.5㎛)와의 연결에 적용하기 위함인데 코어패턴 크기의 오차범위는 보통 5㎛이하가 적당하다. 클래드 두께는 코어와의 굴절률차에 따라 달라지는데 보통 코어두께의 1/3 ~ 1/4 가 적당하다. 다층코팅(클래드/코어/클래드의 3층코팅)이므로 층간 스트레스 유발, 도파로의 기계적 특성(유연성(flexibility), 외부 압력에 의한 패턴 무너짐 등등)을 고려해야 하므로 재료에 따라 클래드 최적 두께가 필요하다. The reason that the size of the core pattern is 50 μm to 62.5 μm is to be applied to a connection with a general multimode device or a multimode fiber (core size of 50 μm to 62.5 μm). The error range of the core pattern size is usually less than 5 μm. Do. The cladding thickness depends on the refractive index difference from the core, usually 1/3 to 1/4 of the core thickness. Since it is a multi-layer coating (3 layer coating of clad / core / clad), it is necessary to take into account the interlayer stress, the mechanical properties of the waveguide (flexibility, pattern collapse due to external pressure, etc.), and thus the optimum thickness of the clad is required depending on the material.

광도파로 당 코어부의 개수는 적용 시스템에 따라 다르다. 코어부의 개수가 많을수록 신호 전송용량이 증가한다. 본 특허는 12개의 코어부(12채널) 제작에 관한 것이고 마스터의 코어패턴 수에 따라 코어부 개수를 조절할 수 있다. The number of core portions per optical waveguide depends on the application system. The greater the number of core parts, the greater the signal transmission capacity. This patent relates to the production of twelve core parts (12 channels) and the number of core parts can be adjusted according to the number of core patterns of the master.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해 질 것이다.All simple modifications and variations of the present invention fall within the scope of the present invention, and the specific scope of protection of the present invention will be apparent from the appended claims.

본 발명에 따른 광도파로의 제조 방법을 이용하면, 마스터의 사이즈에 제한 되지 않는 연속적인 긴 길이의 광도파로를 제조할 수 있게 된다.By using the method of manufacturing the optical waveguide according to the present invention, it is possible to manufacture a continuous long length optical waveguide that is not limited to the size of the master.

Claims (8)

삭제delete 기재 상에 자외선 감광성 폴리머를 코팅하는 단계;Coating an ultraviolet photosensitive polymer on the substrate; 상기 코팅된 폴리머가 위를 향하도록 상기 필름을 롤러에 권취 및 고정하는 단계;Winding and fixing the film on a roller such that the coated polymer is facing up; 상기 코팅된 폴리머에 광투과성의 유리기판을 접촉시키고, 이때 상기 롤러를 회전시키면서 코어 패턴을 형성하는 단계;Contacting the coated polymer with a transparent glass substrate, wherein the roller is rotated to form a core pattern; 상기 패턴 형성된 폴리머를 자외선(UV) 조사로 경화시켜 하부 클래드를 형성하는 단계;Curing the patterned polymer by ultraviolet (UV) irradiation to form a lower clad; 상기 패턴에 코어 물질을 주입하여 코어를 형성하는 단계; 및Injecting a core material into the pattern to form a core; And 상기 코어 물질이 주입된 하부 클래드 상에 상부 클래드를 형성하는 단계를 포함하는 광도파로의 제조 방법.And forming an upper clad on the lower clad implanted with the core material. 제 2 항에 있어서, 상기 패턴 형성과 경화가 동시에 일어나는 것을 특징으로 하는 광도파로의 제조 방법.The method of manufacturing the optical waveguide according to claim 2, wherein the pattern formation and the curing occur simultaneously. 제 2 항에 있어서, 상기 코어 형성 단계가 립코터를 지남에 따른 코어 물질를 주입하는 단계; 3. The method of claim 2, wherein said core forming step comprises the steps of: injecting a core material along the lip coater; 프레스 롤러사이의 틈을 필름두께와 하부 클래드 두께의 합으로 하여 코어 물질이 하부 클래드 패턴에 일정량 충진되어 코어의 슬랩을 최소화하는 단계; Making the gap between the press rollers the sum of the film thickness and the bottom cladding thickness to fill the core material with a predetermined amount in the bottom clad pattern to minimize the slab of the core; 70℃ 내지 100℃에서 소프트베이킹(soft baking)을 통해 코어물질을 패턴내에 고정시키는 단계; 및 Fixing the core material in the pattern through soft baking at 70 ° C. to 100 ° C .; And 40초 내지 5분 동안의 자외선 경화 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광도파로의 제조 방법.Method for producing an optical waveguide, characterized in that consisting of an ultraviolet curing step for 40 seconds to 5 minutes. 제 2 항에 있어서, 상기 하부 클래드의 두께가 65 내지 82.5 ㎛이고 상부 클래드의 두께가 15㎛ 내지 20 ㎛인 것을 특징으로 하는 광도파로의 제조 방법.The method of claim 2, wherein the lower cladding has a thickness of 65 to 82.5 μm and the upper cladding has a thickness of 15 μm to 20 μm. 제 2 항에 있어서, 상기 패턴이 가로 및 세로가 50㎛ 내지 62.5 ㎛인 것을 특징으로 하는 광도파로의 제조 방법. The method of manufacturing an optical waveguide according to claim 2, wherein the pattern has a width and length of 50 µm to 62.5 µm. 제 2 항에 있어서, 상기 코어의 중심점간 피치가 100㎛ 내지 300㎛ 인 것을 특징으로 하는 광도파로의 제조 방법. The method of manufacturing the optical waveguide according to claim 2, wherein the pitch between the center points of the cores is 100 µm to 300 µm. 제 2 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항의 방법을 이용하여 제조된 광도파로.An optical waveguide manufactured using the method of any one of claims 2 to 7.
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