KR100841410B1 - Two phase injection nozzle for mixing fluid - Google Patents

Two phase injection nozzle for mixing fluid Download PDF

Info

Publication number
KR100841410B1
KR100841410B1 KR1020080017373A KR20080017373A KR100841410B1 KR 100841410 B1 KR100841410 B1 KR 100841410B1 KR 1020080017373 A KR1020080017373 A KR 1020080017373A KR 20080017373 A KR20080017373 A KR 20080017373A KR 100841410 B1 KR100841410 B1 KR 100841410B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
fluid
nozzle
air
spray
supply
Prior art date
Application number
KR1020080017373A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
범정우
Original Assignee
범정우
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 범정우 filed Critical 범정우
Priority to KR1020080017373A priority Critical patent/KR100841410B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100841410B1 publication Critical patent/KR100841410B1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B7/00Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
    • B05B7/02Spray pistols; Apparatus for discharge
    • B05B7/04Spray pistols; Apparatus for discharge with arrangements for mixing liquids or other fluent materials before discharge
    • B05B7/0416Spray pistols; Apparatus for discharge with arrangements for mixing liquids or other fluent materials before discharge with arrangements for mixing one gas and one liquid
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/14Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means with multiple outlet openings; with strainers in or outside the outlet opening
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B13/00Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
    • B05B13/02Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work
    • B05B13/0278Arrangement or mounting of spray heads
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B15/00Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
    • B05B15/60Arrangements for mounting, supporting or holding spraying apparatus
    • B05B15/62Arrangements for supporting spraying apparatus, e.g. suction cups
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B15/00Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
    • B05B15/60Arrangements for mounting, supporting or holding spraying apparatus
    • B05B15/68Arrangements for adjusting the position of spray heads
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B7/00Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
    • B05B7/02Spray pistols; Apparatus for discharge
    • B05B7/12Spray pistols; Apparatus for discharge designed to control volume of flow, e.g. with adjustable passages

Landscapes

  • Nozzles (AREA)

Abstract

A two-phase injection spray nozzle for mixing fluid is provided to simplify the shape of a fluid nozzle and an air cap installed in a spray body and to increase the air supply efficiency. A two-phase fluid injection nozzle(200) for mixing fluid is composed of: a nozzle support rod(210) having plural spray bodies(250) forming a fluid nozzle placed in an air cap(130); a vertical support plate(230) vertically supporting the nozzle support rod; a middle support bar(220) separated from the lower part of the nozzle support rod at a predetermined gap and installed in parallel to the nozzle support rod; a bottom support plate attached on the bottom of the vertical support plate in a straight form to support plural spray bodies from the bottom at the predetermined height; a fluid tank(270) attached on the upside of the bottom support plate to supply fluid from the outside; and a ball tap valve capable of adjusting the inner level in order to regulate the pressure and injection amount of fluid flowing into the fluid tank by difference of negative pressure in a siphon method, and controlling the supply of fluid into the spray body.

Description

유체 혼합용 2상 유체 분사 노즐 {Two phase injection nozzle for mixing fluid} Two phase injection nozzle for mixing fluid

본 발명은 2상 유체인 에어(공기)와 유체(물)를 혼합시켜 미세한 입자로 분무되도록 함으로써 반도체 웨이퍼나 액정 기판등의 피세정물을 세정하거나 공조기에 가습용으로 공조기 덕트에 사용할 수 있도록 한 2상 유체 노즐에 관련된 것이다. The present invention mixes air (air) and fluid (water), which are two-phase fluids, to be sprayed with fine particles so that the object to be cleaned, such as a semiconductor wafer or liquid crystal substrate, or used in an air conditioner duct for humidification in an air conditioner. Related to two-phase fluid nozzles.

일반적으로 유체(물)와 에어(공기)를 공급 받아서 이를 혼합하고 혼합된 2가지 유체의 미스트를 분사 노즐로부터 분사하는 방법은 널리 알려져 있다. In general, a method of receiving a fluid (water) and air (air), mixing them, and spraying a mist of the mixed two fluids from a spray nozzle is widely known.

이를 위하여 노즐 몸체는 외부로부터 유체 공급라인을 통하여 노즐 몸체의 내부로 유체가 공급되는 가운데 별도의 공압 라인을 통해 노즐 몸체의 내부로 에어가 공급되어 유체가 에어와 함께 미세하게 분무되도록 하는 구성을 가진다. To this end, the nozzle body is configured to allow the fluid to be finely sprayed with the air by supplying air into the nozzle body through a separate pneumatic line while fluid is supplied into the nozzle body through the fluid supply line from the outside. .

일반적으로 유체 또는 에어를 고속으로 자유 공간에 분출시키기 위하여 유로끝에 다는 가는 형상의 관체를 노즐이라고 하며, 이러한 노즐은 통상 노즐 몸체와, 노즐 몸체의 내부에 구비된 오리피스 및 노즐 몸체로 유입되는 에어량을 조절하도록 구비된 제어밸브, 그리고 오리피스의 중앙에 형성된 유체공급관 또는 유체공급 부로 구성된다.Generally, a nozzle having a thinly shaped tube attached to the end of a flow path in order to eject a fluid or air into a free space at high speed is called a nozzle, and such a nozzle generally includes a nozzle body, an orifice provided in the nozzle body, and an amount of air flowing into the nozzle body. It consists of a control valve provided to adjust, and a fluid supply pipe or fluid supply portion formed in the center of the orifice.

여기에서, 상기 노즐 몸체는 원통형이나 다각 형태를 갖는 것으로서, 그 양측은 유입구와 분사구가 대칭되도록 구비되어 있는 것이 보통이다.Here, the nozzle body has a cylindrical or polygonal shape, both sides of the nozzle body is usually provided so that the inlet and the injection port are symmetrical.

또한, 노즐 몸체의 내부는 오리피스가 형성되어 있으며, 오리피스의 일측에는 외부로부터 유체를 공급받기 위한 유체공급관이 내설되어 있다.In addition, an orifice is formed in the inside of the nozzle body, and a fluid supply pipe for receiving a fluid from the outside is installed at one side of the orifice.

그리고, 노즐 몸체의 일측에는 외부로부터 유입구를 통하여 공급되는 에어량을 제어하는 디스크 형태의 제어밸브가 설치되어 있다.And, one side of the nozzle body is provided with a disk-type control valve for controlling the amount of air supplied through the inlet from the outside.

이러한 구성을 갖는 노즐은 외부로부터 공급되는 액체(물, 페인트, 윤활재, 방청제, 접착제, 코팅액(이하, "유체"라 한다)이 노즐 몸체의 일측에 형성된 유체공급관을 통하여 내부로 공급됨과 동시에 별도의 에어 유닛을 통해 에어가 노즐 몸체의 유입구로 공급된다.The nozzle having such a configuration is provided with a liquid (water, paint, lubricant, rust inhibitor, adhesive, coating liquid (hereinafter referred to as "fluid") supplied from the outside through the fluid supply pipe formed on one side of the nozzle body and at the same time Air is supplied to the inlet of the nozzle body through the air unit.

다음, 노즐 몸체의 유입구로 공급된 에어는 제어밸브를 통해 오리피스 내를 통과하는 과정에서 유체공급관으로부터 공급되거나 흘러나온 유체와 일정 비율로 혼합되며, 에어와 혼합된 유체는 노즐 몸체의 타측에 구비된 분사구를 통해 분사되고, 분사되는 유체에 따라서 반도체 후공정, 식품의 소독, 금형의 표면에 이형재 도포, 냉각, 냄새제거 분진제거, 코팅등을 할 수 있게 된다.Next, the air supplied to the inlet of the nozzle body is mixed with the fluid supplied or flowed out of the fluid supply pipe in the process of passing through the orifice through the control valve, and the fluid mixed with the air is provided on the other side of the nozzle body. Sprayed through the injection hole, depending on the fluid to be sprayed can be a semiconductor post-process, disinfection of food, mold release material on the surface of the mold, cooling, deodorizing dust removal, coating, and the like.

그러나, 이러한 노즐은 노즐 몸체의 선단부에 분사구가 일방향으로 고정된 형태를 취하게 됨에 따라서 유체를 분사시키는 과정에서 그 분사 각도를 용이하게 조절할 수 없게 되는 문제점이 있었다. 특히, 바(bar) 형태의 사이폰(Siphon) 분사 방식의 2상 유체 분사 노즐에 있어서는 분사 노즐 구성시 유체 공급장치에 의한 분 사 방향이 제한적일 수 밖에는 없었다.However, such a nozzle has a problem in that the injection angle is fixed to the front end of the nozzle body in one direction so that the injection angle cannot be easily adjusted in the process of injecting the fluid. Particularly, in the bar-type siphon injection type two-phase fluid injection nozzle, the injection direction by the fluid supply device in the injection nozzle configuration was limited.

또한 노즐 몸체의 오리피스 내를 통과하는 에어량의 조절을 디스크 형태의 제어밸브를 통해 제어하는 과정에서 작업자가 요구하는 정확한 공기의 량을 제어하는데 어려움이 있었다. 따라서, 유체의 분사량을 조절하는데 어려움이 따랐었다. In addition, there is a difficulty in controlling the exact amount of air required by the operator in the process of controlling the amount of air passing through the orifice of the nozzle body through the disk-type control valve. Thus, difficulties have been encountered in adjusting the injection volume of the fluid.

한편, 종래의 유체공급관 및 에어공급관 구성시, 각각의 공급로에 유체와 에어를 공급하기 위한 배관이 복잡하였으며, 이에 따라 조립 제작이 어렵고 크기가 대형화되는 문제점이 있었다. 이러한 배관 구성의 복잡함을 해결하기 위하여 에어공급관 내부에 유체공급관을 설치하는 구성이 개시되어 있지만, 이 경우에는 유체와 에어가 혼합되는 혼합실 공간이 적고 도입구가 형성된 부재를 미리 유체 공급관에 용접하여 고정하고, 공기 공급관에 형성된 개구를 통하여 외부로 돌출시켜 에어 공급관에 고정한다는 점에서 조립 및 수선이 곤란하다는 문제점이 있었다. On the other hand, in the conventional fluid supply pipe and air supply pipe configuration, the piping for supplying fluid and air to each supply path was complicated, and thus there was a problem that the assembly fabrication is difficult and the size is large. In order to solve the complexity of the piping configuration, there is disclosed a configuration in which a fluid supply pipe is installed inside the air supply pipe. There is a problem in that assembly and repair are difficult in that it is fixed and protrudes to the outside through an opening formed in the air supply pipe and is fixed to the air supply pipe.

그리고, 기존의 2상 유체 분사 노즐에서는 혼합되어 분사되는 유체 및 에어의 양 및 그 압력을 동시에 고려하고 조절하여야만 하므로 노즐 어셈블리 제작시 부속되는 공구가 많이 소요되며 분사 작업시 작업 환경의 복잡성이 따랐었다. In addition, in the conventional two-phase fluid injection nozzle, the amount and pressure of the mixed and injected fluid and air must be considered and adjusted at the same time. Therefore, a lot of tools are required when manufacturing the nozzle assembly, and the complexity of the work environment is followed during the spraying operation. .

따라서, 유입되는 유체와 에어의 제어가 정확하게 이루어지지 못함으로써, 노즐 몸체의 분사구를 통하여 분사되는 분사 입자의 크기와 분포가 일정하지 않아 제품의 불량이 발생하게 됨과 동시에 유체의 소비가 증가되는 또 다른 문제점이 있었다. Therefore, the inflow of fluid and air are not controlled accurately, and the size and distribution of the spray particles injected through the nozzle of the nozzle body are not constant, resulting in product defects and increased fluid consumption. There was a problem.

또한, 종래의 노즐 몸체는 스테인레스 또는 금속 재질로 구성하여 몸체 내부 및 외측면에 나사선 결합되는 다수의 부재들을 체결하는 경우 스패너와 같은 공구 를 사용하여야 했으며, 재질 한정에 따른 전체 노즐 몸체의 무게가 많이 나간다는 문제점이 있었다.In addition, when the conventional nozzle body is made of stainless steel or metal material to fasten a plurality of members screwed to the inner and outer surfaces of the body, a tool such as a spanner had to be used. There was a problem going out.

한편, 반도체 또는 LCD 클린 공정에서 사용되는 스팀 분무 방식의 경우에는 유체를 데우기 위한 전기적 수단이 필요하여 간단하게 유체 및 에어를 혼합시켜 분무하는 방식이 필요하다.Meanwhile, in the case of the steam spray method used in the semiconductor or LCD clean process, an electrical means for warming the fluid is required, and thus a method of simply spraying a mixture of fluid and air is required.

그리고, 도 1a 내지 도 1d에 도시되어 있듯이, 종래의 유체노즐 형상을 보면 유체노즐 선단부인 니들연결부(15)와 일체로 연장되는 본체(16) 및 나사선으로 구성된 체결부(18)로 구성하며, 상기 본체(16) 상부에는 다수개의 에어분사 구멍(17)을 형성하여 유입된 에어 흐름을 안내하는 역할을 수행한다. And, as shown in Figure 1a to 1d, when viewed in the shape of a conventional fluid nozzle is composed of a main body 16 and a fastening portion 18 consisting of a screw thread extending integrally with the needle connecting portion 15, which is the fluid nozzle tip, The upper part of the main body 16 forms a plurality of air injection holes 17 to guide the introduced air flow.

이 경우에는 에어분사 구멍(17)을 가공하는데 어려움이 있고 그 흐름 또한 원활하지 못하여 유체 노즐 가공의 어려움과 충분한 에어 유동이 어렵다는 문제점이 있었다. 또한 상기 유체노즐을 분리하는 경우 본체 양측으로 파지부를 구성하여 스패너와 같은 공구를 사용하여야 하는 번거로움이 있었다.In this case, there is a difficulty in processing the air injection hole 17 and the flow thereof is not smooth, and there is a problem in that the fluid nozzle processing is difficult and sufficient air flow is difficult. In addition, when the fluid nozzle is separated, there is a hassle to use a tool such as a spanner by forming a grip part on both sides of the main body.

상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 본 고안의 목적은 다음과 같다.The purpose of the present invention for solving the above-mentioned conventional problems is as follows.

첫째, 사이폰 분사 방식을 사용하는 바 형태의 유체 분사 노즐 구성에 있어서, 유체노즐을 통한 미세 입자의 분사 방향을 자유로이 변경 가능하도록 할 수 있는 분사 노즐을 제공하는데 있다.First, in the bar-type fluid injection nozzle configuration using the siphon injection method, to provide a spray nozzle that can be freely changed the injection direction of the fine particles through the fluid nozzle.

둘째, 바 형상의 스프레이 바디를 구비한 분사 노즐 구성에서, 에어와 유체가 통과하는 분사 노즐 유로를 스프레이바디 횡축 방향으로 드릴로 구멍 가공하고, 유로와 에어공급관 및 유체공급관을 스프레이 바디 내부에서 서로 연결되도록 하여, 전체 노즐 어셈블리의 부피를 작게 하여 공간이 협소한 곳에서도 사용이 가능한 분사 노즐을 제공하는데 있다.Second, in the spray nozzle configuration having a bar-shaped spray body, the injection nozzle flow path through which air and fluid pass is drilled in the horizontal direction of the spray body, and the flow path, the air supply pipe, and the fluid supply pipe are connected to each other inside the spray body. In order to reduce the volume of the entire nozzle assembly, it is possible to provide a spray nozzle that can be used even in a narrow space.

셋째, 높이 조절이 가능한 볼탭 밸브를 사용하여 사이폰 분사 방식에서 수조 수위 높이를 조절하여 분사되는 유체 분사량을 자유롭게 조절할 수 있는 분사 노즐을 제공하는데 있다.Third, to provide a spray nozzle that can freely control the amount of fluid sprayed by adjusting the height of the water tank level in the siphon injection method using a height-adjustable ball tap valve.

넷째, 노즐 몸체를 엔지니어 플라스틱 재질 또는 알룸늄 재질로 구성하고 상기 본체 일측 중앙으로 나사선 체결되는 분사부재인 유체노즐 형상을 단순화시키고 공구파지 동작이 용이하도록 하여 작업자가 직접 손쉽게 스프레이바디와 체결할 수 있도록 하고, 전체 노즐 몸체의 무게를 경량화하는 데 있다.Fourth, the nozzle body is composed of engineer plastic material or aluminum material, and the shape of the fluid nozzle, which is an injection member screwed to the center of one side of the main body, is simplified, and the tool gripping operation is easy, so that the operator can directly connect with the spray body. In order to reduce the weight of the entire nozzle body.

다섯째, 반도체 및 엘시디 제조 공정 중 클린 공정에서 사용되는 습도 조절 장치인 스팀 장치 대용으로 사용할 수 있어 제조비 및 운영비를 절감시키는 데 있 다. Fifth, it can be used as a steam device, which is a humidity control device used in the clean process of semiconductor and LCD manufacturing process, to reduce manufacturing and operating costs.

상기한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 구성은, 에어캡 내부로 안치되는 유체노즐을 형성하고 있는 다수개의 스프레이바디를 구비한 바 형상인 노즐지지봉과, 상기 노즐지지봉을 수직 방향으로 지지하는 수직지지대와, 상기 노즐지지봉 하부 방향으로 일정 간격 이격되어 상기 노즐지지봉과 평행 방향으로 설치되는 중간지지대와, 상기 수직지지대 저면에 일자 형상으로 부착되어 상기 다수개의 스프레이바디를 바닥으로부터 일정 높이에서 지지하는 바닥지지대와, 상기 중간지지대 상면에 부착되어 외부로부터 유체를 공급하기 위한 유체탱크 및 상기 유체탱크 내부로 사이폰 방식에서의 음압 차이를 이용하여 유입되는 유체 압력 및 유체 분사량을 조절하기 위하여 내부 수위의 높이 조절이 가능하고 상기 스프레이바디 내부로의 유체 공급을 제어하기 위한 볼탭밸브를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 한다.The configuration of the present invention for solving the above technical problem is a bar-shaped nozzle support rod having a plurality of spray bodies forming a fluid nozzle placed inside the air cap, and a vertical support for supporting the nozzle support rod in the vertical direction A support base, an intermediate support spaced at a predetermined interval in the nozzle support rod downward direction, and installed in a direction parallel to the nozzle support rod, and a bottom attached to the bottom of the vertical support to support the plurality of spray bodies at a predetermined height from a bottom. Height of the internal water level to adjust the fluid pressure and the fluid injection amount introduced by using a support, a fluid tank attached to the upper surface of the intermediate support for supplying fluid from the outside and the negative pressure difference in the siphon method into the fluid tank. Adjustable and fluid supply inside the spray body It characterized in that it comprises a valve for controlling boltaep.

또한, 외부로부터 유입되는 고압의 에어를 상기 노즐지지봉 내부 에어유로로 공급하기 위하여 상기 노즐지지봉 하부로 연결 장착되는 하나 이상의 에어공급밸브 및 상기 스프레이바디 내부로 유체를 공급하기 위하여 상기 유체탱크 저부 일측에 형성되는 하나 이상의 유체공급밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, at least one air supply valve connected to the lower part of the nozzle support rod for supplying high-pressure air flowing from the outside into the air flow path inside the nozzle support rod, and at one side of the bottom of the fluid tank to supply fluid to the spray body. It is characterized in that it further comprises one or more fluid supply valve is formed.

또한, 상기 에어유로에 연결되어 상기 스프레이바디 내부에 고압의 에어를 공급하기 위한 에어공급 연결밸브를 상기 스프레이바디 일측에 형성하고, 상기 유체공급밸브와 연결시켜 상기 스프레이바디 내부로 외부 유체를 공급하기 위한 유체 공급 연결밸브를 상기 스프레이바디 타측에 형성하는 것을 특징으로 한다.In addition, an air supply connection valve connected to the air flow path for supplying high pressure air into the spray body is formed on one side of the spray body, and connected to the fluid supply valve to supply external fluid into the spray body. It is characterized in that for forming the fluid supply connection valve for the other side of the spray body.

또한, 상기 노즐지지봉 또는 중간지지대 중 어느 하나 또는 상기 노즐지지봉 및 중간지지대를 분사 영역에 따라서 지면으로부터 높이 변화를 주기 위하여 상기 수직지지대를 따라서 수직 슬라이드홈 및 체결부재를 하나 이상 더 구성하는 것을 특징으로 한다.Further, at least one of the nozzle support rod or the intermediate support, or the nozzle support rod and the intermediate support further comprises one or more vertical slide grooves and fastening members along the vertical support to give a height change from the ground according to the spraying region. do.

또한, 상기 유체노즐을 통하여 분사되는 2상 유체의 분사 방향을 자유로이 변경 가능하도록 고정브라켓을 더 포함하여 구성하는 것을 특징으로 한다.In addition, it characterized in that the configuration further comprises a fixing bracket so as to be able to freely change the injection direction of the two-phase fluid injected through the fluid nozzle.

또한, 상기 고정브라켓 전면방향(분사되는 방향 기준)에는 상기 스프레이바디의 수평 움직임이 가능하도록 분사노즐 몸체 후단 연결부를 수용하는 홈을 구성하여 상기 홈에 상기 후단 연결부를 삽입 후 그 상부로는 볼트를 삽입하여 고정하고, 상기 고정브라켓 후방향으로는 볼트를 삽입하여 너트로 고정하되 고정 조임 정도를 사용자가 손쉽게 조절할 수 있도록 하여 상기 스프레이바디의 수직 방향 움직임이 가능하도록 한 것을 특징으로 한다.In addition, the fixing bracket in the front direction (based on the spraying direction) constitutes a groove for accommodating the rear end connection portion of the spray nozzle body to enable horizontal movement of the spray body. Inserted and fixed, the fixing bracket in the rear direction by inserting a bolt to be fixed with a nut, so that the user can easily adjust the fixed tightening degree characterized in that the vertical movement of the spray body is possible.

또한, 상기 스프레이바디와 노즐지지봉은 엔지니어 플라스틱 재질, 알루미늄 재질, 스테인레스 재질 중 선택된 어느 하나로 구성하는 것을 특징으로 한다.In addition, the spray body and the nozzle support rod is characterized in that it consists of any one selected from engineer plastic material, aluminum material, stainless material.

또한, 상기 유체노즐은 본체 및 본체에 연장되어 노즐 몸체 중앙에 형성된 원통 형상의 나사선을 따라 체결 가능하도록 나사선이 형성된 체결부로 구성하며, 조립면의 원형을 가공하고 대향하는 양 단면을 밀링 가공하여 평평해진 가공단면을 조립공구의 파지부와 에어유로로 사용하는 것을 특징으로 한다.In addition, the fluid nozzle is composed of a fastening portion formed with a screw thread so as to extend along the main body and the main body and can be fastened along the cylindrical thread formed in the center of the nozzle body, the circular surface of the assembly surface and milling the opposing opposite end surface The processed cross section is used as a holding part and an air flow path of the assembly tool.

상기한 과제 해결 수단을 구비하는 본 고안인 2상 유체 분사 노즐을 사용하는 경우에는, 사이폰 분사 방식을 사용하는 바 형태의 유체 분사 노즐에서, 분사 방향을 자유로이 변경 가능한 효과가 있다.In the case of using the two-phase fluid injection nozzle of the present invention provided with the above-mentioned means for solving the above problems, there is an effect that the injection direction can be freely changed in the bar-shaped fluid injection nozzle using the siphon injection method.

또한, 바 형상의 노즐지지봉에 다수개 장착되는 스프레이바디를 구비한 분사 노즐 구성에서, 에어공급밸브 및 유체공급밸브를 스프레이바디에 연결되도록 하여, 전체 노즐 어셈블리의 부피를 작게 하여 공간이 협소한 곳에서도 사용이 가능하다.In addition, in a spray nozzle configuration having a plurality of spray bodies mounted on a bar-shaped nozzle support rod, the air supply valve and the fluid supply valve may be connected to the spray body, where the volume of the entire nozzle assembly is reduced, where space is limited. Can also be used at

또한, 높이 조절이 가능한 볼탭 밸브를 사용하여 사이폰 분사 방식에서 수조 수위 높이를 조절하여 분사되는 유체 분사량을 자유롭게 조절하고 에어공급 제어밸브 동작만으로 분사 동작이 가능하도록 할 수 있는 효과가 있다.In addition, by using a height-adjustable ball tap valve, it is possible to freely control the amount of fluid injected by adjusting the water tank level in the siphon injection method and to enable the injection operation only by the air supply control valve operation.

또한, 스프레이바디 내부로 장착되는 유체노즐 및 에어캡 형상을 단순화시키고 에어공급 효율을 높이는 효과가 있다.In addition, there is an effect of simplifying the shape of the fluid nozzle and the air cap mounted inside the spray body and increasing the air supply efficiency.

또한, 반도체 및 엘시디 제조 공정 중 클린 공정에서 사용되는 습도 조절 장치인 스팀 장치 대용으로 사용할 수 있어 제조비 및 운영비를 절감시키는 효과가 있다. In addition, it can be used instead of the steam device, which is a humidity control device used in the clean process of the semiconductor and LCD manufacturing process has the effect of reducing the manufacturing cost and operating costs.

이하, 본 발명의 상세한 설명 및 바람직한 실시예를 첨부되는 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a detailed description of the present invention and preferred embodiments will be described in detail.

도 2a 내지 2d는 본 발명에 따른 유체노즐 구성도이다.2a to 2d is a configuration of a fluid nozzle according to the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 유입되는 유체 및 에어의 분사를 미세하게 할 수 있는 분사부재인 에어캡 내부로 안치되는 유체노즐(120)은 본체(121) 및 본체(121) 에 연장되어 노즐 몸체 중앙에 형성된 원통 형상의 나사선을 따라 체결 가능하도록 나사선이 형성된 체결부(123)로 구성하며, 상기 본체(121) 조립면의 원형을 가공하고 대향하는 양 단면을 밀링 가공하여 평평해진 가공단면(124)을 조립공구의 파지부와 에어유로로 사용하는 것을 특징으로 한다.As shown in FIG. 2, the fluid nozzle 120 placed inside the air cap, which is an injection member capable of finely injecting fluid and air, extends to the main body 121 and the main body 121 to extend the nozzle body. Consists of a fastening portion 123 is formed with a screw thread to be fastened along the cylindrical screw line formed in the center, the circular cross-section of the assembly surface of the main body 121 and milling the opposing cross-section cross-section flattened 124 ) As a holding part of the assembly tool and an air flow path.

먼저, 싱글형 분사노즐(100)의 구성에 대하여 도 3을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.First, the configuration of the single injection nozzle 100 will be described in detail with reference to FIG. 3 as follows.

본 발명에 따른 싱글형 2상 유체 혼합용 분사 노즐(100)은 스프레이바디(110)와 니들어셈블리(150), 유체노즐(120), 에어캡(130), 에어캡너트(140) 등으로 구성된다.The single nozzle for two-phase fluid mixing according to the present invention 100 is composed of a spray body 110 and the needle assembly 150, the fluid nozzle 120, the air cap 130, the air cap nut 140, etc. do.

이 경우, 스프레이바디(110)는 일정 두께의 직사각 형태로 형성된 것으로, 상기 스프레이바디(110) 전면과 후면으로는 연장 돌출된 원통 형상의 나사선(113,115,117)을 형성하여, 상기 후면에 형성된 나사선(117)과 락너트(160) 및 외부 노브(knob, 170)) 내부로 형성된 나사선을 맞물리게 하여 체결하고, 상기 전면에 형성된 나사선(113) 내부로는 또 다른 직경을 갖는 원통형 몸체 외부로 내나사선(115)을 형성하여 유체노즐(120) 일측에 형성된 체결부(123)와 체결하고, 환형의 에어캡 너트(140) 내부면으로 나사선을 형성하여 상기 스프레이바디(110) 전면에 형성돤 나사선(113)과 체결하도록 하고 있다.In this case, the spray body 110 is formed in a rectangular shape having a predetermined thickness, and forms a cylindrical screw thread 113, 115, 117 extending to the front and rear of the spray body 110, the thread line 117 formed on the rear surface ) And lock screw 160 and outer knob (knob, 170) is engaged by engaging the thread, and the inner thread line 115 to the outside of the cylindrical body having another diameter into the screw thread 113 formed on the front And fasten with the fastening part 123 formed on one side of the fluid nozzle 120, and form a screw thread on the inner surface of the annular air cap nut 140 to form a screw thread 113 on the front surface of the spray body 110 and It is to be tightened.

이 때, 상기 스프레이바디(110)는 MC 나일론, 폴리아세탈, PE 등과 같은 엔지니어 플라스틱 재질로 구성하는 것이 바람직하다. 이에 따라서, 스프레이바디(110) 내부 또는 측면에 연결되는 다수 부재를 나사선 체결하는 데 있어서 손쉽 게 손으로도 작업이 가능하게 되고 전체 노즐 무게를 경량화할 수 있게 된다. 물론, 일정 강성을 가지는 재질로 구성하여야 함은 당연하다.At this time, the spray body 110 is preferably composed of an engineer plastic material such as MC nylon, polyacetal, PE. Accordingly, in screwing a plurality of members connected to the inside or the side of the spray body 110, it is possible to easily work by hand and to reduce the weight of the entire nozzle. Of course, it should be made of a material having a certain rigidity.

그리고, 유입되는 유체 및 에어의 분사를 미세하게 할 수 있는 분사부재인 에어캡(130) 내부로 안치되는 유체노즐(120)은 전술한 바와 같은 형상을 갖는다.In addition, the fluid nozzle 120 placed inside the air cap 130, which is an injection member capable of finely injecting fluid and air, has a shape as described above.

한편, 상기 에어캡(130)은 원추 형태로 형성되어 스프레이바디(110)의 전방에 고정되는 것으로서, 그 내부는 후방이 개방된 형태를 취하도록 형성되어 있고, 이와 대향되는 전방은 폐쇄된 형태를 취하도록 형성되어 있다.On the other hand, the air cap 130 is formed in a conical shape is fixed to the front of the spray body 110, the inside is formed to take the form of the rear open, the front opposite is a closed form It is formed to take.

상기 폐쇄된 전방의 중앙에는 유체분사공(133)이 형성되어 있고, 이 유체분사공(133)의 양측으로 에어분사공(135)이 일체로 형성되어 있다. 상기 에어캡 너트(140)는 스프레이바디(110)의 전방으로 형성된 나사선(113)에 에어캡(130) 몸체를 고정시키는 역할을 한다.A fluid injection hole 133 is formed at the center of the closed front, and air injection holes 135 are integrally formed at both sides of the fluid injection hole 133. The air cap nut 140 serves to fix the air cap 130 body to the thread 113 formed in front of the spray body 110.

그리고, 상기 유체분사공(133) 양 측면으로는 일정 높이를 갖는 환형의 수직 구조인 에어분사 가이드(131,132)를 구비한다. 상기 에어분사 가이드(131,132)는 분사되는 에어에 의해 유체가 확산되는 가운데 이를 더욱 미세하게 확산시키는 기능을 갖는 것으로서, 소정의 두께와 높이를 갖도록 에어캡(130) 몸체의 외측에 일체로 형성되어 있다.In addition, both sides of the fluid injection hole 133 are provided with air injection guides 131 and 132 having an annular vertical structure having a predetermined height. The air injection guides 131 and 132 have a function of spreading the fluid even more finely while the fluid is diffused by the injected air, and are integrally formed on the outside of the body of the air cap 130 to have a predetermined thickness and height. .

분사부재인 유체노즐(120)은 유체공급 연결구를 통해 스프레이바디(110)로 공급된 유체가 유체분사공(133)을 통해 전방으로 분사되는 가운데 스프레이바디(110) 내부로 공급된 에어가 에어분사공(135)으로 분사되도록 구비하여 유체의 분사를 미세하게 할 수 있도록 구비되어 있다. The fluid nozzle 120, which is the injection member, is supplied with the fluid supplied to the spray body 110 through the fluid supply hole, and the air supplied into the spray body 110 is sprayed forward through the fluid injection hole 133. It is provided to be injected into the hole (135) is provided so as to finely spray the fluid.

이를 위해, 상기 유체노즐(120)은 원통형의 분사 몸체로 구성하되, 상기 분사 몸체는 후방에 스프레이바디(110)의 암나사(115)에 결합되는 연결나사선(123)을 형성하고, 그 전방은 깔대기 형태로 구비되어 있다. To this end, the fluid nozzle 120 is composed of a cylindrical injection body, the injection body forms a connecting screw line 123 coupled to the female screw 115 of the spray body 110 at the rear, the front of the funnel It is provided in the form.

상기 유체노즐(120)과 에어캡(130) 중앙으로 관통되도록 전방부가 뾰족한 바늘 형상의 탐침 구조인 니들핀(151) 및 피스톤(152)을 포함하는 니들어셈블리(150)를 구성한다.The needle assembly 150 includes a needle pin 151 and a piston 152 having a needle-shaped probe structure having a pointed front portion so as to penetrate through the fluid nozzle 120 and the air cap 130.

한편 락너트(160) 및 노브(170)는 스프레이바디(110) 일측에 연장된 나사선(117)에 나사 결합시킨다. 그리고, 스프링(165)은 유체의 점도나 점성에 따라 니들핀(151)의 작동력을 조절하는 것으로서, 상기 노브(170)와 피스톤(152) 사이에 끼워지도록 구비되어 있다.Meanwhile, the lock nut 160 and the knob 170 are screwed to the thread 117 extending to one side of the spray body 110. In addition, the spring 165 adjusts the operating force of the needle pin 151 according to the viscosity or viscosity of the fluid, and is provided to be fitted between the knob 170 and the piston 152.

이하, 또 다른 실시예로 다수개의 스프레이바디를 구비한 바(Bar)형 노즐지지봉이 설치되는 사이폰 분사 방식의 노즐 어셈블리에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, as another embodiment, a nozzle assembly of a siphon injection method in which a bar type nozzle support bar having a plurality of spray bodies is installed will be described.

도 4 본 발명의 또 다른 일실시예를 도시한 바 형상의 노즐 어셈블리 정면도, 도 5는 도 4의 평면도, 도 6은 도 4의 측면도, 도 7은 스프레이바디 및 연결밸브를 도시한 사시도, 도 8은 고정브라켓을 도시하기 위한 사시도, 도 9는 상기 고정브라켓을 다른 방향에서 도시한 사시도, 도 10은 유체탱크 내부 및 외부를 도시한 구성도이다.4 is a front view of a nozzle assembly having a bar shape according to another embodiment of the present invention, FIG. 5 is a plan view of FIG. 4, FIG. 6 is a side view of FIG. 4, FIG. 7 is a perspective view showing a spray body and a connection valve; Figure 8 is a perspective view for showing a fixing bracket, Figure 9 is a perspective view showing the fixing bracket in a different direction, Figure 10 is a configuration diagram showing the inside and outside of the fluid tank.

여기에서 다수개의 유체노늘을 장착한 스프레이바디 구성에서는 전술한 싱글형 스프레이바디(210)의 전체 구성에서 바형 노즐지지봉 전면부로 체결되므로 나사선(117)과 락너트(160) 및 외부 노브(knob, 170)가 없어도 된다. 그리고 바형 스프 레이바디를 구비한 본 발명에 따르면 사이폰 분사 방식 제어가 가능하므로 니들어셈블리를 필요로 하지도 않으므로 노즐 어셈블리 구성에서 간편성을 제고하는 효과를 가지게 된다.Here, in the spray body configuration in which a plurality of fluid gutters are mounted, the screw nozzle 117 and the lock nut 160 and the external knob (knob, 170) are fastened to the front surface of the bar nozzle support rod in the entire configuration of the single spray body 210 described above. You do not have to. In addition, according to the present invention having a bar-shaped spray body, it is possible to control the siphon injection method so that it does not require a needle assembly, thereby improving the convenience in the nozzle assembly configuration.

사이폰 분사 방식은 공급되는 에어에 의하여 생성되는 흡인력(siphon)으로 유체가 흡입되어 노즐 선단에 위치한 오리피스를 통하여 혼합된 유체를 분사하는 방식을 말하며, 사이폰의 높이나 중력 변화에 따라서 공급되는 유량 변화가 가능하게 된다. 이에 따라서, 기존에는 공급되는 유체의 양 및 에어압을 동시에 제어해야 하는 번거로움을 해결할 수 있는 방식으로 그 효용성이 있게 된다. 즉, 도시되지는 않았지만 제어밸브 개폐를 통하여 유입되는 공기압 조절만 하면 미세 혼합 유체가 분무될 수 있도록 한 것이다. The siphon injection method refers to a method of injecting a mixed fluid through an orifice positioned at the tip of the nozzle by sucking the fluid with siphon generated by the supplied air, and changing the flow rate supplied according to the siphon height or the change in gravity Becomes possible. As a result, the conventional method has its utility in such a way that it is possible to solve the inconvenience of simultaneously controlling the amount of the supplied fluid and the air pressure. That is, although not shown, the fine mixed fluid can be sprayed only by adjusting the air pressure introduced through opening and closing the control valve.

먼저 바형 노즐 어셈블리(200) 구성을 설명하면 다음과 같다. 도 4 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 에어캡(130) 내부로 안치되는 유체노즐을 형성하고 있는 다수개의 스프레이바디(250)를 구비한 바 형상인 노즐지지봉(210)과, 상기 노즐지지봉(210)을 수직 방향으로 지지하는 수직지지대(230)와, 상기 수직지지대 저면에 설치되어 노즐 어셈블리를 지지하는 바닥지지대(240)와, 상기 노즐지지봉(210) 하부 방향으로 일정 간격 이격되어 상기 노즐지지봉(210)과 평행하게 설치되는 중간지지대(220)와, 상기 중간지지대(220) 상면에 부착되어 외부로부터 유체를 공급하기 위한 유체탱크(270) 및 외부로부터 유체 및 에어 공급을 위한 다수개의 연결밸브(261, 262)를 포함하여 구성한다.First, the bar nozzle assembly 200 will be described. 4 to 9, a nozzle support rod 210 having a bar shape having a plurality of spray bodies 250 forming a fluid nozzle placed inside the air cap 130, and the nozzle support rod ( Vertical support 230 for supporting the 210 in the vertical direction, the bottom support 240 is installed on the bottom of the vertical support to support the nozzle assembly, and the nozzle support rod spaced at a predetermined interval in the nozzle support rod 210 downward direction Intermediate support 220 is installed in parallel with the 210, and the fluid tank 270 for supplying fluid from the outside attached to the upper surface of the intermediate support 220 and a plurality of connection valves for supplying fluid and air from the outside It comprises a (261, 262).

그리고, 상기 유체탱크(270) 내부로는 사이폰 방식에서의 음압 차이를 이용 하여 유입되는 유체 압력 및 유체 분사량을 조절하기 위하여 상기 유체탱크(270) 내부 수위의 높이 조절이 가능하도록 볼탭밸브(273)를 구성한다. 이에 대한 구성은 도10을 참조하여 후술하기로 한다.In addition, the ball tap valve 273 allows the height of the fluid level inside the fluid tank 270 to be adjusted in order to adjust the fluid pressure and the fluid injection amount introduced into the fluid tank 270 by using the negative pressure difference in the siphon method. ). The configuration thereof will be described later with reference to FIG. 10.

한편, 바 형태의 노즐지지봉(210)의 전면에는 2상 유체를 혼합하여 분사할 수 있는 다수개의 스프레이바디(250)를 구성한다. 이 경우, 상기 스프레이바디(250)는 작업 공간 및 환경에 따라서 3개 내지 21개 범위에서 자유로이 부착 설치가 가능하다.On the other hand, the front surface of the nozzle support rod 210 in the form of a bar constitutes a plurality of spray bodies 250 capable of injecting a mixture of two-phase fluid. In this case, the spray body 250 can be attached freely installed in the range of 3 to 21 depending on the working space and environment.

상기 노즐지지봉(210) 형상은 원통형임이 바람직하나 이에 국한되는 것은 아니며, 소재는 엔지니어 플라스틱, 스테인레스강, 알루미늄 재질 등으로 구성할 수 있다. 이 경우 엔지니어 플라스틱 재질로는 MC 나일론, 폴리아세탈, PE 등이 적용될 수 있다.The nozzle support rod 210 is preferably a cylindrical shape, but is not limited thereto. The material may be formed of engineer plastic, stainless steel, aluminum, or the like. In this case, the engineer plastic material may be MC nylon, polyacetal, PE, and the like.

그리고, 상기 스프레이바디(250)가 형성된 노즐지지봉(210) 저면 일측에는 압축기(미도시됨) 로부터 에어를 공급하기 위한 에어공급관(미도시됨)과 연결되는 에어공급밸브(261a)를 구비하여 외부 에어 호스와 연결되어 노즐지지봉(210) 내부의 에어 유로(261c)로 고압의 에어를 유입시킨다. In addition, one side of the bottom surface of the nozzle support rod 210 having the spray body 250 is provided with an air supply valve 261a connected to an air supply pipe (not shown) for supplying air from a compressor (not shown). The high pressure air is introduced into the air passage 261c inside the nozzle support rod 210 by being connected to the air hose.

한편, 상기 노즐지지봉(210) 양 끝단은 엔드캡(211)으로 고정하여 분사되는 수직 높이를 고정시키며 분사 작업시 유동을 억제시킨다.On the other hand, both ends of the nozzle support rod 210 is fixed by the end cap 211 to fix the vertical height is injected and suppress the flow during the spraying operation.

이 경우, 분사 영역 및 공간에 따라서 분사되는 높이를 조절할 필요가 있는데, 이를 위하여 상기 노즐지지봉(210) 및 중간지지대(220)를 연결하는 수직지지대(230)를 따라서 상기 노즐지지봉(210) 및/또는 상기 중간지지대(220) 양 끝단이 체결되는 상기 수직지지대(230) 에는 수직 슬라이드홈(212, 215) 및 체결부재(213, 216)을 하나 이상 더 구성하여 고정시켜준다.In this case, it is necessary to adjust the height to be sprayed according to the injection area and space, for this purpose the nozzle support rods 210 and / along the vertical support 230 connecting the nozzle support rods 210 and the intermediate support 220 Alternatively, one or more vertical slide grooves 212 and 215 and fastening members 213 and 216 are fixed to the vertical support 230 to which both ends of the intermediate support 220 are fastened.

또한, 본 발명에서는 상기 유체노즐을 통하여 분사되는 2상 유체의 분사 방향을 자유로이 변경 가능하도록 하는 것을 특징으로 하고 있는데, 이를 위하여 노즐을 고정하는 고정브라켓(280)을 상기 스프레이바디(250) 및 노즐지지봉(210)과 연결시켜 어셈블리를 구성하고 있다. In addition, the present invention is characterized in that it is possible to freely change the injection direction of the two-phase fluid injected through the fluid nozzle, for this purpose the fixed bracket 280 for fixing the nozzle to the spray body 250 and the nozzle The assembly is connected to the support rod 210.

상기 고정브라켓(280) 형상을 설명하면 고정브라켓(280) 전면부로는 스프레이바디(250) 후방향(분사되는 방향 기준)에 연장 형성되는 후단연결부(251)를 수용하는 수평홈(281)을 구성하여, 상기 후단연결부(251)를 수평 방향이 개구된 형태로 수용함으로써 상기 스프레이바디(250)의 수평 방향 변경 움직임이 가능하도록 하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 고정브라켓(280) 후방향으로는 볼트(285)를 삽입하여 너트로 고정하되 고정 정도를 조절하여 상기 스프레이바디(250)의 수직 움직임이 가능하도록 구성하는 것이 바람직하다. When describing the shape of the fixing bracket 280, the front surface of the fixing bracket 280 constitutes a horizontal groove 281 for receiving the rear end connecting portion 251 extending in the rear direction (based on the spraying direction) of the spray body 250. As such, the rear end connecting part 251 may be accommodated in a shape in which the horizontal direction is opened to enable the horizontal body change movement of the spray body 250. Then, the fixing bracket 280 in the rear direction is inserted into the bolt (285) to be fixed with a nut, but is preferably configured to enable the vertical movement of the spray body 250 by adjusting the degree of fixing.

이에 따라서, 상기 스프레이바디(250)를 분사하는 각도에 따라서 수평 또는 수직 방향으로의 방향 변경이 가능하게 된다.Accordingly, it is possible to change the direction in the horizontal or vertical direction according to the angle of spraying the spray body 250.

그리고, 상기 에어유로(261c)에 연결되어 상기 스프레이바디(250)에 고압의 에어를 공급하기 위한 에어공급 연결밸브(261b)를 상기 스프레이바디(250) 일측에 형성하고, 유체공급밸브(262a)와 연결시켜 상기 스프레이바디(250) 내부로 외부 유체를 공급하기 위한 유체공급 연결밸브(262b)를 구성한다.In addition, an air supply connection valve 261b connected to the air flow path 261c to supply high pressure air to the spray body 250 is formed at one side of the spray body 250, and a fluid supply valve 262a is provided. It is connected with the to constitute a fluid supply connection valve (262b) for supplying an external fluid into the spray body 250.

또한, 상기 유체탱크(270)는 상기 중간지지대(220) 상면으로 설치하는데, 설 치시에는 상기 유체탱크(270) 저면 일측부로 다수개의 체결구(미도시)를 삽입한다.In addition, the fluid tank 270 is installed to the upper surface of the intermediate support 220, when installed, a plurality of fasteners (not shown) are inserted into one side of the bottom surface of the fluid tank 270.

상기 유체탱크(270) 구조는 도 10에 도시된 바와 같이, 내부로 일정량의 유체를 저장할 수 있는 원통 또는 사각 형상의 본체(271)와, 상기 본체(271) 상면 일측에 외부 유체 공급원과 연결이 가능한 외부 유체 연결부(274)와, 상기 본체(271) 상면에 설치되며 저장 유체의 누설을 방지하기 위한 유체탱크 덮개(272)를 포함하여 구성한다.As shown in FIG. 10, the fluid tank 270 structure has a cylindrical or square body 271 capable of storing a certain amount of fluid therein, and an external fluid source connected to one side of the upper surface of the body 271. Possible external fluid connection 274 and the fluid tank cover 272 is installed on the upper surface of the body 271 to prevent leakage of the storage fluid.

그리고, 상기 본체(271) 저면부 일측에는 상기 스프레이바디(250) 일측에 형성된 상기 유체공급 연결밸브(262b)와 연결되는 유체공급밸브(262a)를 구성되는 스프레이바디 몸체 개수에 맞게 형성한다.In addition, one side of the bottom portion of the main body 271 may be configured to have a fluid supply valve 262a connected to the fluid supply connection valve 262b formed at one side of the spray body 250 to correspond to the number of spray body bodies.

아울러, 상기 유체탱크(270) 내부로는 사이폰 방식에서의 음압 차이를 이용하여 상기 스프레이바디(250) 내부로 유입되는 유체 압력 및 유체 분사량을 조절하기 위하여 상기 유체탱크(270) 내부 수위의 높이 조절이 가능하도록 볼탭 밸브(273)를 더 구성하는 것이 바람직하다.In addition, the height of the water level inside the fluid tank 270 to adjust the fluid pressure and the fluid injection amount introduced into the spray body 250 by using the negative pressure difference in the siphon method into the fluid tank 270. It is preferable to further configure the ball tap valve 273 to enable adjustment.

이는 상기 유체탱크(270) 안에 저장되는 유체가 일정 높이가 되면 볼탭에서 유입되는 외부 유체 공급로를 차단하게 하는 것으로 부력 원리를 이용한 것이다.This is to use the buoyancy principle to block the external fluid supply path flowing from the ball tap when the fluid stored in the fluid tank 270 is a certain height.

이에 따르면, 상기 유체탱크(270) 내부에 저장되는 유체 높이를 사용자가 원하는만큼 설정하여 스프레이바디(250) 내부로 유입되어 분사되는 분사압 등을 조절할 수 있게 된다. Accordingly, by setting the fluid height stored in the fluid tank 270 as desired by the user, it is possible to adjust the injection pressure and the like injected into the spray body 250.

즉, 유체탱크(270) 내부의 유체량을 사용자가 계속 체크하여 일정 높이를 유지해야 하는 필요성을 제거할 수 있으며, 일정 유체량을 넘게 되면 유체 공급 부위 를 막아주므로 노즐 분사량을 손쉽게 조절할 수 있는 효과를 얻을 수 있게 된다. That is, the user can continuously check the amount of fluid inside the fluid tank 270 to eliminate the need to maintain a certain height, and when the amount exceeds a certain amount of fluid, it blocks the fluid supply area, so that the nozzle injection amount can be easily adjusted. Will be obtained.

한편, 상기 스프레이바디(250)와 노즐지지봉(210)은 엔지니어 플라스틱 재질, 또는 스테인레스 재질 또는 알루미늄 재질로 구성하고, 유입되는 유체 및 에어의 분사를 미세하게 할 수 있는 분사부재인 에어캡 내부로 안치되는 유체노즐(120)은 도 2에서와 같이, 본체(122) 및 본체에 연장되어 노즐 몸체 중앙에 형성된 원통 형상의 나사선을 따라 체결 가능하도록 나사선이 형성된 체결부(123)로 구성하며, 조립면의 원형을 가공하고 대향하는 양 단면을 밀링 가공하여 평평해진 가공단면(124)을 조립공구의 파지부와 에어유로로 사용할 수 있도록 형상을 구성함이 바람직하다.On the other hand, the spray body 250 and the nozzle support rod 210 is composed of engineer plastic material, or stainless steel or aluminum material, and placed inside the air cap which is an injection member that can finely injected the fluid and air flow As shown in FIG. 2, the fluid nozzle 120 includes a main body 122 and a fastening part 123 formed with a screw line to be fastened along a cylindrical screw line formed at the center of the nozzle body to extend to the main body. It is preferable to configure the shape so as to use a circular processing and milling the opposing cross-sections and the flattened cross section 124 can be used as a holding part of the assembly tool and the air flow path.

종래에는 유체공급 및 에어공급시 용접 구조를 주로 이용하였으나, 본 발명에서는 외부에 설치되는 유체공급원인 유체탱크(270)와 에어공급원인 고압의 압축기로부터 밸브선을 이용하여 연결함으로써 전체 노즐 어셈블리(200)의 부피를 작게 할 수 있게 되며, 특히 공조기에 가습용으로 공조기 덕트에 사용하는 경우에는 설치 단면적을 최소화하여 덕트의 공기 저항을 최소화할 수 있는 효과를 얻게 된다.Conventionally, the welding structure is mainly used for fluid supply and air supply, but in the present invention, the entire nozzle assembly 200 is connected by using a valve wire from a fluid tank 270 that is an external fluid supply source and a high pressure compressor that is an air supply source. It is possible to reduce the volume of), and in particular, in the case of using the air conditioner duct for humidifying the air conditioner, it is possible to minimize the air resistance of the duct by minimizing the installation cross-sectional area.

상기와 같은 구성을 갖는 유체 혼합용 분사노즐(200)을 이용하여 액체와 에어가 혼합된 2상 유체를 분사시키는 과정은 다음과 같다. 유체노즐 및 분사 작동법은 이전 실시예에서 언급한 실글형 스프레이바디와 동일하므로 전도면을 인용하여 설명하기로 한다.The process of injecting a two-phase fluid mixed with liquid and air by using the injection nozzle 200 for fluid mixing having the above configuration is as follows. The fluid nozzle and injection operation is the same as the sealed spray body mentioned in the previous embodiment, and will be described with reference to the conducting surface.

먼저, 스프레이바디(250) 일측에 형성된 유체공급 연결밸브(262b)를 통해 분사되어질 유체가 공급되면, 유체는 스프레이바디(250) 내부에 형성된 유로를 통해 내부로 이동하게 된다. 유입된 유체는 유체노즐(120) 내부를 경유한 후 그 단부에 형성된 유체분사공(133)을 통해 전방으로 분사된다.First, when a fluid to be injected is supplied through the fluid supply connection valve 262b formed at one side of the spray body 250, the fluid moves inside through a flow path formed in the spray body 250. The introduced fluid is injected forward through the fluid injection hole 133 formed at the end after passing through the fluid nozzle 120.

이와 동시에 에어공급 연결밸브(261b)를 통해 에어가 스프레이바디(250) 내부로 공급되면, 공급된 에어는 유체노즐(120)의 가공단면(124)인 에어통로를 통해 전방으로 다시 이동하게 된다.At the same time, when the air is supplied into the spray body 250 through the air supply connection valve 261b, the supplied air moves forward again through the air passage which is the processing cross section 124 of the fluid nozzle 120.

다음, 유체노즐(120)의 전방으로 이동된 에어는 에어캡(130)의 전방에 형성된 에어분사공(135)을 통해 에어캡(130)의 전방측으로 분사되면서 그 상태를 유지하게 되며 에어캡(130)의 에어분사 가이드(131,132)에 형성된 에어분사공(135)을 통해 전방으로 분사되는 상태를 유지하게 된다.Next, the air moved to the front of the fluid nozzle 120 is sprayed to the front side of the air cap 130 through the air injection hole 135 formed in front of the air cap 130 to maintain the state and the air cap ( Maintaining a state that is sprayed forward through the air injection hole 135 formed in the air injection guide (131, 132) of 130.

이러한 상태에서 미도시한 제어밸브 등을 조작하여 고압의 에어가 스프레이바디(250) 내부로 공급됨과 동시에 실린더로 유입된다. 실린더 내로 유입된 에어가 팽창이 되면서 개방된 분사공(133)을 통해 유체가 전방으로 분사되며, 이때 상기 에어분사공(135)에서 에어가 분사되고 있는 상태가 됨에 따라 전방으로 유체가 확산되면서 넓게 분사되게 된다.In this state, a high-pressure air is supplied into the spray body 250 and flows into the cylinder at the same time by operating a control valve or the like not shown. As the air introduced into the cylinder is expanded, the fluid is injected forward through the open injection hole 133. At this time, as the air is being injected from the air injection hole 135, the fluid is spread in the forward direction. To be injected.

이 같은 상태에서 미도시한 제어밸브를 조작하여 고압의 에어를 차단하면 볼탭밸브 작동에 따라서 스프레이바디 내부로의 유체 공급이 중단되며 이에 따라서 분사 동작이 멈춰지게 된다.In this state, if the high pressure air is blocked by operating a control valve (not shown), the fluid supply to the spray body is stopped according to the operation of the ball tap valve, and thus the injection operation is stopped.

이 경우, 상기 유체탱크(270)는 상기 스프레이바디(250)와 일정 간격의 높이 차이를 유지하도록 하여 높이와 중력차를 이용한 음압의 차이를 이용하여 유입되는 유체의 양 및 유체압력을 조절할 수 있는 사이폰 분사 방식이 용이하도록 함이 바 람직하다.In this case, the fluid tank 270 maintains the height difference between the spray body 250 and a predetermined interval to adjust the amount of fluid and the fluid pressure introduced by using the difference between the sound pressure using the height and the gravity difference. It is desirable to facilitate siphon injection.

즉, 에어공급밸브(261a)에서 높은 압력으로 유입되는 에어에 의해 유체 공급밸브(262a)를 통해 유입되는 유체가 벤츄리 효과에 의하여 유체 사이의 충돌이 일어나고, 이로 인해 미분화되면서 미세한 입자의 분무를 생성할 수 있게 된다.That is, the fluid flowing through the fluid supply valve 262a is caused by the air introduced at a high pressure from the air supply valve 261a to collide between the fluids due to the Venturi effect, and thus finely atomized to generate a spray of fine particles. You can do it.

이에 따라서, 유입되는 에어 제어밸브 개폐 동작 만으로 간편하게 혼합 분사되는 2상 유체 움직임을 연동시킬 수 있게 된다. 즉, 전술하였듯이 유체탱크(270) 내부의 볼탭밸브(273)의 사이폰 방식에 의하여 유체탱크(270) 로부터의 상기 스프레이바디(250) 내부로의 유체 유입을 제어할 수 있으므로 분사 작동 및 제어 간편성을 극대화할 수 있게 된다.Accordingly, the two-phase fluid movement can be easily interlocked by simply opening and closing the incoming air control valve. That is, as described above, the inflow of the fluid from the fluid tank 270 into the spray body 250 can be controlled by the siphon method of the ball tap valve 273 in the fluid tank 270. To maximize.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.As described above, although the present invention has been described by way of limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto and is intended by those skilled in the art to which the present invention pertains. Of course, various modifications and variations are possible within the scope of equivalents of the claims to be described.

도 1a 내지 도 1d는 종래 기술에 따른 유체노즐 구성도.1a to 1d is a fluid nozzle configuration according to the prior art.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명에 따른 유체노즐 구성도.2a to 2d is a fluid nozzle configuration according to the present invention.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 싱글형 노즐몸체를 도시한 분해 사시도.Figure 3 is an exploded perspective view showing a single nozzle body according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 또 다른 일실시예를 도시한 바 형상의 노즐 어셈블리 정면도.Figure 4 is a front view of the nozzle assembly bar shape showing another embodiment of the present invention.

도 5는 도 4의 평면도5 is a plan view of FIG.

도 6은 도 4의 측면도.6 is a side view of FIG. 4.

도 7은 스프레이바디 및 연결밸브를 도시한 사시도.Figure 7 is a perspective view of the spray body and the connecting valve.

도 8은 고정브라켓을 도시하기 위한 사시도.8 is a perspective view for showing a fixing bracket.

도 9는 상기 고정브라켓을 다른 각도에서 보여주는 사시도. 9 is a perspective view showing the fixing bracket from another angle.

도 10은 유체탱크 내부 및 외부를 도시한 구성도.10 is a configuration diagram showing the inside and the outside of the fluid tank.

<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100: 싱글형 유체 분사 노즐 110: 스프레이 바디100: single fluid injection nozzle 110: spray body

120: 유체노즐 121: 니들연결부120: fluid nozzle 121: needle connection

122: 본체 123: 체결부122: main body 123: fastening portion

130: 에어캡 133: 유체분사공130: air cap 133: fluid injection hole

135: 에어분사공 140: 에어캡 너트 135: air sprayer 140: air cap nut

150: 니들어셈블리 151: 니들핀 150: needle assembly 151: needle pin

152: 피스톤 160: 락너트 152: piston 160: lock nut

165: 스프링 170: 노브 165: spring 170: knob

180: 에어공급구 200: 바(bar)형 유체 분사 노즐 180: air supply port 200: bar type fluid injection nozzle

210: 노즐지지봉 212,215: 슬라이드홈 213, 216: 체결부재 220: 중간지지대 210: nozzle support rods 212, 215: slide grooves 213, 216: fastening member 220: intermediate support

230: 수직지지대 240: 바닥지지대 230: vertical support 240: floor support

250: 스프레이바디 251: 후면부 250: spray body 251: rear

261a: 에어공급밸브 261b: 에어공급연결밸브 261a: air supply valve 261b: air supply connection valve

262a: 유체공급밸브 262b: 유체공급연결밸브 262a: fluid supply valve 262b: fluid supply connection valve

270: 유체탱크 271: 본체 270: fluid tank 271: main body

273: 볼탭밸브 274: 외부 유체 연결부 273: ball tap valve 274: external fluid connection

280: 고정브라켓 281: 수평홈 280: fixing bracket 281: horizontal groove

285: 볼트285: Bolt

Claims (8)

에어캡 내부로 안치되는 유체노즐을 형성하고 있는 다수개의 스프레이바디를 구비한 바 형상인 노즐지지봉과;A nozzle support rod having a bar shape having a plurality of spray bodies forming a fluid nozzle seated inside the air cap; 상기 노즐지지봉을 수직 방향으로 지지하는 수직지지대와;A vertical support for supporting the nozzle support rod in a vertical direction; 상기 노즐지지봉 하부 방향으로 일정 간격 이격되어 상기 노즐지지봉과 평행 방향으로 설치되는 중간지지대와; An intermediate support spaced apart from the nozzle support bar by a predetermined distance in a direction parallel to the nozzle support bar; 상기 수직지지대 저면에 일자 형상으로 부착되어 상기 다수개의 스프레이바디를 바닥으로부터 일정 높이에서 지지하는 바닥지지대와;A bottom support attached to the bottom of the vertical support in a straight shape to support the plurality of spray bodies at a predetermined height from a bottom; 상기 중간지지대 상면에 부착되어 외부로부터 유체를 공급하기 위한 유체탱크; 및A fluid tank attached to an upper surface of the intermediate support to supply fluid from the outside; And 상기 유체탱크 내부로 사이폰 방식에서의 음압 차이를 이용하여 유입되는 유체 압력 및 유체 분사량을 조절하기 위하여 내부 수위의 높이 조절이 가능하고 상기 스프레이바디 내부로의 유체 공급을 제어하기 위한 볼탭밸브;를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 유체 혼합용 2상 유체 분사 노즐. A ball tap valve capable of adjusting the height of the internal water level and controlling the fluid supply into the spray body to adjust the fluid pressure and the fluid injection amount introduced by using the negative pressure difference in the siphon method into the fluid tank; Two-phase fluid injection nozzle for fluid mixing comprising a. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 외부로부터 유입되는 고압의 에어를 상기 노즐지지봉 내부 에어유로로 공급하기 위하여 상기 노즐지지봉 하부로 연결 장착되는 하나 이상의 에어공급밸브; 및At least one air supply valve connected to the lower portion of the nozzle support rod to supply high-pressure air flowing from the outside into the air passage inside the nozzle support rod; And 상기 스프레이바디 내부로 유체를 공급하기 위하여 상기 유체탱크 저부 일측 에 형성되는 하나 이상의 유체공급밸브;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 혼합용 2상 유체 분사노즐.And one or more fluid supply valves formed at one side of the bottom of the fluid tank to supply fluid into the spray body. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 에어유로에 연결되어 상기 스프레이바디 내부에 고압의 에어를 공급하기 위한 에어공급 연결밸브를 상기 스프레이바디 일측에 형성하고, 상기 유체공급밸브와 연결시켜 상기 스프레이바디 내부로 외부 유체를 공급하기 위한 유체공급 연결밸브를 상기 스프레이바디 타측에 형성하는 것을 특징으로 하는 유체 혼합용 2상 유체 분사노즐.An air supply connecting valve connected to the air passage to supply high pressure air to the spray body on one side of the spray body, and connected to the fluid supply valve to supply external fluid into the spray body A two-phase fluid injection nozzle for fluid mixing, characterized in that the supply connection valve is formed on the other side of the spray body. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 노즐지지봉 또는 중간지지대 중 어느 하나 또는 상기 노즐지지봉 및 중간지지대를 분사 영역에 따라서 지면으로부터 높이 변화를 주기 위하여 상기 수직지지대를 따라서 수직 슬라이드홈 및 체결부재를 하나 이상 더 구성하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 2상 유체 분사 노즐. At least one of the nozzle support rod or the intermediate support or the nozzle support rod and the intermediate support further comprises a vertical slide groove and the fastening member along the vertical support to give a height change from the ground according to the spraying region. Two-phase fluid injection nozzle characterized in that. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 유체노즐을 통하여 분사되는 2상 유체의 분사 방향을 자유로이 변경 가능하도록 고정브라켓을 더 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 2상 유체 분사 노즐.Two-phase fluid injection nozzle, characterized in that it further comprises a fixed bracket so as to be able to freely change the injection direction of the two-phase fluid injected through the fluid nozzle. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 고정브라켓 전면방향(분사되는 방향 기준)에는 상기 스프레이바디의 수평 움직임이 가능하도록 분사노즐 몸체 후단 연결부를 수용하는 홈을 구성하여 상기 홈에 상기 후단 연결부를 삽입 후 그 상부로는 볼트를 삽입하여 고정하고, 상기 고정브라켓 후방향으로는 볼트를 삽입하여 너트로 고정하되 고정 조임 정도를 사용자가 손쉽게 조절할 수 있도록 하여 상기 스프레이바디의 수직 방향 움직임이 가능하도록 한 것을 특징으로 하는 2상 유체 분사 노즐. In the front direction of the fixing bracket (based on the spraying direction), a groove for accommodating the rear end portion of the spray nozzle body is configured to allow horizontal movement of the spray body. And a bolt inserted in the rearward direction of the fixing bracket to be fixed by a nut, so that the user can easily adjust the fixed tightening degree so as to vertically move the spray body. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 스프레이바디와 노즐지지봉은 엔지니어 플라스틱 재질, 알루미늄 재질, 스테인레스 재질 중 선택된 어느 하나로 구성하는 것을 특징으로 하는 유체 혼합용 2상 유체 분사 노즐.The spray body and the nozzle support rod is a two-phase fluid injection nozzle for fluid mixing, characterized in that composed of any one selected from engineer plastic material, aluminum material, stainless steel material. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 유체노즐은 본체 및 본체에 연장되어 노즐 몸체 중앙에 형성된 원통 형상의 나사선을 따라 체결 가능하도록 나사선이 형성된 체결부로 구성하며, 상기 본체 조립면의 원형을 가공하고 대향하는 양 단면을 밀링 가공하여 평평해진 가공단면을 조립공구의 파지부와 에어유로로 사용하는 것을 특징으로 하는 유체 혼합용 2상 유체 분사 노즐. The fluid nozzle is composed of a fastening portion formed with a screw thread so as to extend along the main body and the main body and can be fastened along a cylindrical thread formed at the center of the nozzle body, and process the circular shape of the main body assembly surface and milling the opposing end surfaces. A two-phase fluid injection nozzle for fluid mixing, wherein the processed cross section is used as a holding part of the assembly tool and an air flow path.
KR1020080017373A 2008-02-26 2008-02-26 Two phase injection nozzle for mixing fluid KR100841410B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080017373A KR100841410B1 (en) 2008-02-26 2008-02-26 Two phase injection nozzle for mixing fluid

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080017373A KR100841410B1 (en) 2008-02-26 2008-02-26 Two phase injection nozzle for mixing fluid

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100841410B1 true KR100841410B1 (en) 2008-06-25

Family

ID=39772509

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080017373A KR100841410B1 (en) 2008-02-26 2008-02-26 Two phase injection nozzle for mixing fluid

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100841410B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114100942A (en) * 2021-12-30 2022-03-01 北京科技大学 Ultrasonic atomizing nozzle for forming rectangular spraying section
KR102578850B1 (en) * 2022-09-15 2023-09-15 주식회사 영컴퍼니 Smart locker having digital key whose password is changed by user's selection, and automatically removing and sterilizing contaminants

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR960000401Y1 (en) * 1993-07-07 1996-01-08 포항종합제철 주식회사 Device of controlling an angle of a nozzle tip
KR20000053986A (en) * 2000-05-16 2000-09-05 이정욱 Device for injection ozone as fog type
KR200343954Y1 (en) 2003-11-27 2004-03-06 이원일 A pulverizing nozzle for two fluid mixing in
KR20040068686A (en) * 2003-01-27 2004-08-02 주식회사 디엠에스 Apparatus for processing substrate having cylinder for moving substrate

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR960000401Y1 (en) * 1993-07-07 1996-01-08 포항종합제철 주식회사 Device of controlling an angle of a nozzle tip
KR20000053986A (en) * 2000-05-16 2000-09-05 이정욱 Device for injection ozone as fog type
KR20040068686A (en) * 2003-01-27 2004-08-02 주식회사 디엠에스 Apparatus for processing substrate having cylinder for moving substrate
KR200343954Y1 (en) 2003-11-27 2004-03-06 이원일 A pulverizing nozzle for two fluid mixing in

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114100942A (en) * 2021-12-30 2022-03-01 北京科技大学 Ultrasonic atomizing nozzle for forming rectangular spraying section
CN114100942B (en) * 2021-12-30 2023-02-24 北京科技大学 Ultrasonic atomizing nozzle for forming rectangular spraying section
KR102578850B1 (en) * 2022-09-15 2023-09-15 주식회사 영컴퍼니 Smart locker having digital key whose password is changed by user's selection, and automatically removing and sterilizing contaminants

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101066539B (en) Double-fluid nozzle and spraying method using the same
US9085003B2 (en) Flat jet fluid nozzles with fluted impingement surfaces
US3394888A (en) Dispensing gun
JP2007513758A (en) Multipurpose handheld sprayer with vertical shut-off valve
KR200475805Y1 (en) Shower faucet furnished shelf
KR100841410B1 (en) Two phase injection nozzle for mixing fluid
US4989791A (en) Valve nozzle assembly
KR100841406B1 (en) Two phase injection nozzle for mixing fluid
CN204235731U (en) A kind of spray nozzle device
KR101660643B1 (en) Shower apparatus attached to the wall
CN113198634A (en) Double-gas automatic adjustable atomizing nozzle
EP3219409B1 (en) Nozzle mechanism and die casting machine having the same
KR101016180B1 (en) Spray gun with a heating part
US3907207A (en) Atomizing sprayer device
US3547408A (en) Spraying methods and apparatus for spraying glue,plastics,and other joining agents and coatings with air under pressure
JP2008221425A (en) Closed type nozzle device for machining
KR200358746Y1 (en) Automatic Micro Spray Nozzle
KR20050012458A (en) Fluid mixture injection nozzle
JP4664051B2 (en) Spray gun
CN220025618U (en) Ethanol adjustable dropping device of traditional Chinese medicine pill making machine
JP2005270856A (en) Atomizer, spraying equipment and spray sound reducing method
CN218583361U (en) High-pressure spray deodorizer
CN219560033U (en) Shower head capable of adjusting spraying range
CN215000144U (en) Adjustable atomization desuperheater
CN217699677U (en) Water spraying gun

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130425

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140410

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150416

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160620

Year of fee payment: 9