KR100831428B1 - 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용백색광 조사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치에 관한 것으로, 소정크기의 케이스, 상기 케이스의 일측에 고정 구비되는 것으로, 소정크기의 하우징 내부에 복수개의 구동기어가 치합되어 있는 동력전달부, 상기 동력전달부의 동력을 전달받아 개폐되는 것으로, 그 일측은 결합핀에 의해 상기 케이스의 일면에 형성된 홈에 결합되고, 그 타측은 상기 동력전달부와 결합되는 복수개의 셔터부, 상기 동력전달부로 동력을 전달하는 동력수단, 상기 케이스의 일면에 고정 설치되어 조명광을 제공하는 조사수단 및 상기 조사수단의 전원공급과 상기 동력수단을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

셔터부, 조사장치, 백색광, 초고진공, 공압구동장치, 메탈 할라이드

Description

원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치{An inspection illuminator with remotely controlled shutter for the large-scale ultra-high vacuum devices}

도 1은 본 발명에 따른 조사장치의 사시도,

도 2는 본 발명에 따른 조사장치의 셔터부가 개폐된 상태를 나타낸 사시도,

도 3은 본 발명에 따른 조사장치의 분해 사시도,

도 4는 본 발명에 따른 동력전달부의 상세도,

도 5는 본 발명에 따른 조사장치의 셔터부와 셔터 구동기어가 연결된 상태를 나타낸 사시도,

도 6은 본 발명에 따른 조사장치의 조사수단을 나타낸 상세도,

도 7은 본 발명에 따른 조사장치의 측단면도,

도 8은 본 발명에 따른 조사장치의 제어 구성도.

<도면의 주요 부호에 대한 부호의 설명>

10 : 케이스

20 : 동력전달부

30 : 셔터부

40 : 동력수단

50 : 조사수단

60 : 제어부

본 발명은 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치에 관한 것으로, 핵융합 장치인 진공용기의 고에너지 전자기파, 고자기장, 고온 등의 환경조건에서도 동작되는 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치에 관한 것이다.

차세대 핵융합 연구 장치인 초전도 토카막 (tokamak) 장치의 주요 구성품으로는, 초전도 자석 (superconducting magnet), 초전도 자석 구조물(superconducting magnet structure), 진공용기 (vacuum vessel), 저온용기 (cryostat), 열차폐막 (thermal shield), 플라즈마 대향부품(PFC, Plasma Facing Component), 플라즈마 진단설비 (plasma diagnostics) 등으로 구성되어 있다.

이러한 핵융합 장치의 구성 중 하나인 진공용기는 그 내부는

수준인 초고진공 상태에서 운전되며, 핵융합반응을 일으키기 위한 환경을 만들기 위해 높은 에너지의 전자기파를 진공용기 내부에 주입하게 된다.

또한, 약 3 테슬라(T)에 이르는 고자기장 환경, 고온 상태로 운전되기 때문에 운전자(사용자)가 진공용기에 근접해 있는 것은 매우 위험하다.

하지만, 진공용기 내부의 운전상태를 검사하기 위해서는 카메라와 같은 영상촬영장치를 사용하여 계속적인 모니터링이 필요한데, 영상촬영장치를 사용하여 내부를 촬영하기 위해서는 영상촬영장치에 대한 조명광이 필요하다. 뿐만 아니라, 고에너지 전자기파 환경에서 조사장치의 램프를 보호하기 위한 장치가 필요하다.

그러나, 상술한 바와 같은 진공용기의 환경에서 조사장치를 설치하기에는 매우 어려운 점이 따른다.

따라서, 진공용기의 환경조건에서 짧게는 수개월, 길게는 수년간 초고진공상태의 진공용기에서 대면적 진공 공간에 적절하게 조명광을 분산하면서 정상적으로 작동을 유지할 수 있는 조사장치가 요구되고 있다.

따라서, 본 발명은 상술한 바와 같은 진공용기의 내부 환경조건에 구애받지 동작 가능하며, 장치의 유지 보수가 용이한 백색광 조사장치를 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 소정크기의 케이스, 상기 케이스의 일측에 고정 구비되는 것으로, 소정크기의 하우징 내부에 복수개의 구동기 어가 치합되어 있는 동력전달부, 상기 동력전달부의 동력을 전달받아 개폐되는 것으로, 그 일측은 결합핀에 의해 상기 케이스의 일면에 형성된 홈에 결합되고, 그 타측은 상기 동력전달부와 결합되는 복수개의 셔터부, 상기 동력전달부로 동력을 전달하는 동력수단, 상기 케이스의 일면에 고정 설치되어 조명광을 제공하는 조사수단 및 상기 조사수단의 전원공급과 상기 동력수단을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 바람직한 한 특징으로는, 상기 케이스는, 탈착 가능하도록 그 양단이 상기 케이스에 고정 구비되어 상기 조사수단을 커버하는 복수개의 강화유리판을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 바람직한 다른 특징으로는, 상기 케이스는, 진공 용기 내부에 고정하기 위한 설치패드가 일측면에 고정 구비되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 바람직한 또 다른 특징으로는, 상기 동력전달부는, 상기 셔터부의 일측과 연결되는 셔터 구동기어와, 상기 셔터 구동기어 에 동력을 전달하기 위해 하우징에 결합되어 있는 구동기어로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 바람직한 또 다른 특징으로는, 상기 동력수단은, 외부기기로부터 공급되는 압축공기의 주입 방향을 결정하는 솔레노이드 밸브, 상기 솔레노이드 밸브에 의해 결정되는 압축공기의 방향에 따라 로드가 전/후로 동작하는 공압구동장치, 상기 공압구동장치의 로드와 상기 동력전달수단의 기어와 연결되어 동력을 전달하는 구동축으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 바람직한 또 다른 특징으로는, 상기 조사수단은, 상기 케이 스에 고정 설치되는 소켓과, 상기 소켓에 결합되는 램프로 구성되고, 상기 램프는 메탈 할라이드 램프인 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 바람직한 또 다른 특징으로는, 상기 조사수단은, 상기 동력전달부의 일측면에 커넥터를 구비하고 상기 커넥터와 상기 소켓이 연결되며, 상기 커넥터를 통하여 상기 조사수단 제어부로부터 전원을 공급받는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 바람직한 또 다른 특징으로는, 상기 제어부는, 상기 조사수단의 안정적인 전원 공급을 위한 램프 제어기를 포함하는 조사수단 제어부, 상기 동력수단에 전원을 공급하는 동력수단 제어부로 구성되는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 따른 조사장치의 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 조사장치의 셔터부가 개폐된 상태를 나타낸 사시도, 도 3은 본 발명에 따른 조사장치의 분해 사시도, 도 4는 본 발명에 따른 동력전달부의 상세도이다.

도 5는 본 발명에 따른 조사장치의 셔터부와 셔터 구동기어가 연결된 상태를 나타낸 사시도, 도 6은 본 발명에 따른 조사장치의 조사수단을 나타낸 상세도, 도 7은 본 발명에 따른 조사장치의 측단면도, 도 8은 본 발명에 따른 조사장치의 제어 구성도이다.

본 발명에 따른 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치는, 소정크기의 케이스(10)와, 상기 케이스의 일측면에 고정 설치되는 하우징(21)과 그 내부에 다수의 구동기어(22a ~ 22d)와 셔터 구동기어(23a ~ 23d)가 치합(맞물려)되어 있는 동력전달부(20)와, 상기 동력전달부(20)의 동력을 전달받아 개폐되는 셔터부(30)와, 상기 동력전달부(20)로 동력을 전달하는 동력수단(40)과, 상기 케이스(10)에 설치되는 조사수단(50) 및 상기 동력수단(40)과 조사수단(50)을 제어하는 제어부(60)를 포함하여 구성된다.

케이스(10)는 판 형상의 강재로 제작되며, 'ㄴ'형상을 가지고 있다. 이것은 굽힘가공이나, 용접 또는 볼트체결에 의해 제작될 수 있으며, 생산비용을 최대한 절감하기 위해 상기 케이스(10)는 후면측과 한쪽 측면만을 구성한 것으로, 결코 그 형상에 한정하지 않고 박스형상이 'ㄷ'등 전면과 상면 및 배면이 개방된 다양한 형상으로 구비될 수 있다.

상기 케이스(10)가 후면과 일측면만을 가지는 구조라면, 이의 상면과 전면 및 저면으로는 강화유리판(11)이 고정 설치된다. 상기 강화유리판(11)은 소정크기의 강재 플레이트에 홀을 형성하고, 여기에 강화유리를 결합하여 고정시킨 것으로, 상기 케이스(10)의 전면에는 2개가 설치되고, 상면과 저면에는 각각 하나씩 설치된다. 상기 강화유리판(11)은 상기 케이스(10)의 가장자리에서 내측으로 소정간격을 두고 설치되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 강화유리판(11)은 탈/부착이 가능하고 용이하게 실시할 수 있도록 볼트 체결이나 체결 부재, 잠금 부재에 의해 상기 케이스(10)에 체결된다. 상기 강화유리판(11)은 후술한 조사수단의 커버(덮개) 역할을 하는 것으로, 조사수단 파열 시 램프의 파편으로 인한 진공용기의 오염을 방지하기 위한 것이다.

또한, 상기 케이스(10)의 후면으로는 다수의 설치패드(12)가 설치된다. 상기 설치패드(12)는 조사장치를 진공용기 내벽에 고정시키기 위한 것으로, 다수의 홀이 형성되어 볼트 체결에 의해 진공용기 내부에 고정한다.

동력전달부(20)는 소정크기의 하우징(21)과 이 하우징(21) 내부에 구동기어(22a ~ 22d)와 셔터 구동기어(23a ~ 23d)가 구비되어 있다. 상기 구동기어(22a ~ 22d)와 셔터 구동기어(23a ~ 23d)는 스퍼기어(spur gear)로 사용되는 것이 바람직하며, 상기 하우징(21)에 설치된 구조를 도 4를 참조하여 살펴보면, 4개의 구동기어(22a ~ 22d)는 두 개씩 각각 치합되어 있으며, 서로 치합된 구동기어(22a, 22b)와 구동기어(22c, 22d)는 소정간격 떨어져 있어 이들은 서로 치합되지 않는다. 상기 구동기어(22a ~ 22d)는 상기 하우징(21)에 축이 고정 설치되고 여기에 끼움 결합된다.

소정간격 이격된 상기 구동기어(22a, 22b)와 구동기어(22c, 22d) 사이로는 하우징(21)에 2개의 관통홀이 형성되고, 상기 구동기어(22a, 22d)에 근접한 위치에 각각 1개의 관통홀이 형성되어 있다.

이 4개의 관통홀에는 상기 셔터 구동기어(23a ~ 23d)가 결합되는데, 상기 셔터 구동기어들은 기어와 연결축이 결합된 구조로, 그 연결축이 관통홀에 각각 끼움 결합되는 것이다. 그래서 구동기어(22a ~ 22d)와 셔터 구동기어(23a ~ 23d)는 모두 맞물려서 일체로 연동하는 단순구조를 갖는다. 여기서 상기 관통홀 각각에는 상기 셔터 구동기어의 원활한 회전을 위해 외주면으로 베어링(미도시)이 설치되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 하우징(21)이 일측면으로는 후술할 구동축(43)이 관통할 수 있는 관통홀이 형성되어 있다.

셔터부(30)는 상기 케이스(10)의 전면과 상면 및 저면에 설치되어 상기 동력전달부(20)에 의해 선택적으로 개폐되는 것으로써, 판재 형상을 갖는다. 상기 셔터부(30)는 상기 강화유리판(11)과 대향하게 설치되는 것으로, 상면과 저면에 각각 1개씩 설치되며, 전면에 2개가 설치되어 상기 강화유리판(11)의 덮개 역할을 하는 것으로, 본 조사장치의 외면이 된다.

각각의 셔터부(30)의 일측 모서리 부근에는 결합핀(31)이 고정된다. 타측 모서리 부근에는 상기 셔터 구동기어(23a ~ 23d)의 연결축과 체결되어 고정된다. 상기 결합핀(31)은 상기 케이스(10)의 내측면에 형성된 4개의 홈에 각각 끼움 결합된다. 상면에 구비된 셔터부(30)는 상기 셔터 구동기어(23a)의 연결축에 고정된다. 전면에 구비된 2개의 셔터부(30)는 상기 셔터 구동기어(23b)와 셔터 구동기어(23c)에 연결축에 각각 연결된다.

저면에 구비된 셔터부(30)는 상기 셔터 구동기어(23d)의 연결축에 연결된다. 그리고 상기 셔터 구동기어(23d)가 후술한 동력수단(20)과 연결되어 동력을 전달 받으면 모든 상기 셔터 구동기어(23a ~ 23d)와 상기 구동기어(22a ~ 22d)는 연동하는 것이다.

이리하여 상기 셔터 구동기어(23a)가 동력을 전달받아 회전하면 모든 셔터 구동기어가 회전을 하면서 각각의 셔터부(30)는 개폐 동작하는데, 이때 상기 셔터부(30)는 90 도로 개폐되는 것이 바람직하다.

케이스(10)의 상면에 설치된 셔터부는 상부측으로 개폐되고, 전면에 설치된 2개의 셔터부는 전면으로 개폐되며, 저면에 설치된 셔터부는 하부측으로 개폐되는 것이다.

여기서, 상기 셔터부(30)가 폐쇄되었을 때는 300 GHZ 수준의 전자기파 에너지로부터 케이스 내부에 설치된 조사수단(50)을 보호하기 위해 각 셔터부(30)들 사이는 간격은 0.1mm 이하가 되도록 한다.

동력수단(40)은 상기 동력전달부(20)에 동력을 전달하여 상기 셔터부(30)를 선택적으로 개폐하기 위한 것으로, 전원이 입력되면 외부장치로부터 공급받는 압축공기의 방향을 결정하는 솔레노이드 밸브(42)와, 상기 솔레노이드 밸브의 압축공기 방향에 따라 로드가 전진/후퇴하는 공압구동장치(41) 및 상기 공압구동장치(41)의 로드와 그 일단이 연결되고 그 타단은 상기 셔터 구동기어(23d)와 치합되는 구동축(43)으로 구성된다.

상기 동력수단(40)은 고자기장이 발생하는 환경에서는 자석이 들어가는 모터의 적용이 불가능한 문제점을 해소하기 위하여 공기압력을 이용하여 구동되는 상용화되어 있는 공압방식의 공압구동장치(41)를 적용하는 것이다.

상기 공압구동장치(41)의 원리를 간략하게 설명하면, 압축공기를 투입하여 2개의 입력부가 있고, 하나의 입력부에 압축공기가 주입되면 로드가 전진하고, 다른 하나의 입력부에 압축공기가 주입되면 로드가 후퇴하는 원리를 적용한 구동장치이 다.

상기 공압구동장치(41)와 솔레노이드 밸브(42)는 진공용기의 외부에 설치되고 구동축(43)은 내부에 설치된다. 이때 솔레노이드 밸브(42)는 진공용기의 자장에 영향이 미치지 않도록 수십미터 떨어진 위치에서 설치한다.

상기 솔레노이드 밸브(42)에 전원이 인가 또는 차단되면, 상기 공압구동장치(41)의 로드 전진 입력부와 로드 후진 입력부의 압축공기 주입을 결정한다. 여기서 압축공기는 일반적으로 많이 사용되는 압축기인 콤프레샤 등과 같은 장치가 적용된다.

상기 솔레노이드 밸브(42)에 전원이 인가되면 공압구동장치(41)의 로드 전진 입력부로 압축공기가 주입된다. 이때, 로드는 전진하게 되고, 이 로드와 연결되어 있는 구동축(43)이 동력전달부(20) 측으로 선형 동력을 전달한다.

상기 구동축(43)은 길이형상의 부재로써, 일측에 기어이가 형성된 통상의 랙크기어 형상을 가지고 있는 것으로, 상기 구동축(43)은 셔터 구동기어(23d)와 치합되어 있어 동력을 전달한다. 그러면 셔터 구동기어(23a ~ 23d)와 구동기어(22a ~ 22d)는 연동한다. 따라서 상기 셔터 구동기어(23a ~ 23d)와 결합된 각각의 셔터부(30)가 개폐되는 것이다.

다시 상기 솔레노이드 밸브(42)에 전원이 차단되어 상기 공압구동장치(41)의 로드 후진 입력부로 압축공기가 주입되면 로드가 후퇴함에 따라 셔터부(30)는 폐쇄되는 것이다.

조사수단(50)은 진공용기 내부를 영상장치로 검사하기 위해 필요한 조명광을 제공하는 것으로, 램프(51)와 소켓(52)으로 구성된다. 상기 램프(51)는 메탈 할라이드 램프를 사용하는데, 진공 광원으로 흔히 사용되는 텅스텐램프에 비하여 효율이 매우 높아서 약 150W 의 출력으로도 700W의 텅스텐램프 수준의 밝기를 제공하며 황색 빛을 내는 텅스텐램프에 비하여 영상장치의 광원으로서 적합하다.

또한, 높은 에너지 효율은 낮은 발열을 의미하여 손쉽게 주변을 300도 이상으로 가열하는 텅스텐램프와는 달리 장치 본체의 온도를 약 230 도 수준으로 제어할 수 있어 장치의 소형화와 진공용 배선재의 선택 등에 있어 많은 장점을 가지고 있다.

상기 소켓(52)은 케이스(10)의 내측면에 설치되는데, 2개의 소켓(52)이 나란히 한쌍을 이루어 45도 정도의 각을 유지하며, 상/하 설치된다. 즉, 한쌍은 상부측으로 45도 각을 유지하고, 나머지 한쌍은 하부측으로 45도 각을 유지하여 설치되는 것이다. 이 상기 소켓(52)에 램프(51)가 결합되는 것이다.

또한, 상기 조사수단(50)으로의 전원 공급은 케이블을 사용하지 않고, 소켓방식의 전원 입력단자를 사용하여 유지보수 및 제작설치 효율성을 높였다. 외부에서 공급되는 전원은 상기 동력전달부(20)에 설치된 커넥터(53)를 통하여 전원을 공급받게 되고, 상기 커넥터(53)를 통하여 소켓(52)으로 전원을 공급시켜준다.

제어부(60)는 상기 동력수단(60)을 제어하는 동력수단 제어부(61)와 상기 조사수단(50)을 제어하는 조사수단 제어부(62)로 구성된다.

상기 동력수단 제어부(61)는 솔레노이브 밸브(42)의 전원 공급을 제어하며, 상기 조사수단 제어부(62)는 안정기(63)를 통하여 안정적인 전류를 조사수단(50)으로 공급해 준다.

상기 제어부(60) 또한 진공용기와 수십미터 떨어진 위치에서 사용자에 의해 조작받아 조사장치를 원격으로 제어할 수 있다.

이와 같이 구성되고 작용되는 본 발명은 초고진공, 고자기장, 고온 등의 환경조건에서 운전되는 핵융합장치의 구성 중에 하나인 진공용기에 설치되어 영상촬영장치의 조명광으로 사용되며, 원격구동되어 안전성과 편의성을 도모하는 이점이 있다.

이상, 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 설명하고 도시하였지만, 본 고안은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다.

오히려, 첨부된 청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 고안의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.

상기와 같이 구성되고 작용되는 본 발명은 초고진공, 고에너지 전자기파, 고자기장, 고온 등의 환경에 대응하여 진공용기 내부를 검사하기 위한 영상장치의 조명광으로 사용할 수 있는 효과가 있다.

또한, 램프를 셔터와 강화유리판으로 보호함에 따라 파손에 의한 진공용기 오염을 방지하고, 고에너지 전자기파로부터 램프를 보호하기 위한 셔터부를 고자기장에 영향을 받지 않고 원격 작동시킬 수 있는 장치의 수명을 장기간 유지시킬 수 있는 이점이 있다.

Claims (8)

1. 소정크기의 케이스;

   상기 케이스의 일측에 고정 구비되는 것으로, 소정크기의 하우징 내부에 복수개의 구동기어가 치합되어 있는 동력전달부;

   상기 동력전달부의 동력을 전달받아 개폐되는 것으로, 그 일측은 결합핀에 의해 상기 케이스의 일면에 형성된 홈에 결합되고, 그 타측은 상기 동력전달부와 결합되는 복수개의 셔터부;

   상기 동력전달부로 동력을 전달하는 동력수단;

   상기 케이스의 일면에 고정 설치되어 조명광을 제공하는 조사수단; 및

   상기 조사수단의 전원공급과 상기 동력수단을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 케이스는,

   탈착 가능하도록 그 양단이 상기 케이스에 고정 구비되어 상기 조사수단을 커버하는 복수개의 강화유리판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치.
3. 제 1항에 있어서, 상기 케이스는,

   진공 용기 내부에 고정하기 위한 설치패드가 일측면에 고정 구비되는 것을 특징으로 하는 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치.
4. 제 1항에 있어서, 상기 동력전달부는,

   상기 셔터부의 일측과 연결되는 셔터 구동기어와, 상기 셔터 구동기어 에 동력을 전달하기 위해 하우징에 결합되어 있는 구동기어로 이루어지는 것을 특징으로 하는 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치.
5. 제 1항에 있어서, 상기 동력수단은,

   외부기기로부터 공급되는 압축공기의 주입 방향을 결정하는 솔레노이드 밸브;

   상기 솔레노이드 밸브에 의해 결정되는 압축공기의 방향에 따라 로드가 전/후로 동작하는 공압구동장치; 및

   상기 공압구동장치의 로드와 상기 동력전달수단의 기어와 연결되어 동력을 전달하는 구동축으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치.
6. 제 1항에 있어서, 상기 조사수단은,

   상기 케이스에 고정 설치되는 소켓과, 상기 소켓에 결합되는 램프로 구성되 고, 상기 램프는 메탈 할라이드 램프인 것을 특징으로 하는 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치.
7. 제 1항 또는 제 6항에 있어서, 상기 조사수단은,

   상기 동력전달부의 일측면에 커넥터를 구비하고 상기 커넥터와 상기 소켓이 연결되며, 상기 커넥터를 통하여 상기 조사수단 제어부로부터 전원을 공급받는 것을 특징으로 하는 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치.
8. 제 1항에 있어서, 상기 제어부는,

   상기 조사수단의 안정적인 전원 공급을 위한 램프 제어기를 포함하는 조사수단 제어부; 및

   상기 동력수단에 전원을 공급하는 동력수단 제어부로 구성되는 것을 특징으로 하는 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치.

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