KR100825294B1 - Probe - Google Patents

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KR100825294B1
KR100825294B1 KR1020070108712A KR20070108712A KR100825294B1 KR 100825294 B1 KR100825294 B1 KR 100825294B1 KR 1020070108712 A KR1020070108712 A KR 1020070108712A KR 20070108712 A KR20070108712 A KR 20070108712A KR 100825294 B1 KR100825294 B1 KR 100825294B1
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elastic
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김헌수
원훈재
장현진
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주식회사 코디에스
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Abstract

A probe is provided to minimize damage to a tip and an object by making a contact point between the tip and the object uniform and equally dispersing compressing force when the tip and the object contact with each other. A probe(10) is composed of a base(110) of which the lower end is stepped; a first elastic unit(120) comprising a curved part(122) curved upward from the upper end of the base and a horizontal piece(124) horizontally extended from the end of the curved part; a second elastic unit(130) formed inside of the first elastic unit; and a tip(140) formed by the ends of the first and second elastic units connected and protruded. The second elastic unit comprises a first curved part(132) curved toward the first elastic unit from the upper end of the base where the first elastic unit is formed; a first horizontal piece(136) horizontally extended in parallel to the base at the end of the first curved part; a second curved part(134) curved at the end of the first horizontal piece in the opposite direction for the first curved part; and a second horizontal piece horizontally extended at the end of the second curved part.

Description

탐침{Probe}Probe {Probe}

본 발명은 탐침에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 팁과 검사대상물의 접점을 균일하게 함과 동시에 접점시 발생하는 가압력을 균일하게 분산시켜 팁과 검사대상물의 손상을 최소화할 수 있게 하는 탐침에 관한 것이다.The present invention relates to a probe. More particularly, the present invention relates to a probe capable of minimizing damage to the tip and the test object by uniformly distributing the pressing force generated at the time of contact while uniformly contacting the tip and the test object. .

일반적으로, TFT-LCD, PDP, OLED 등은 평판디스플레이의 일종으로써, 무수히 많은 셀로 이루어진 화소가 배열되어 소정의 크기를 갖고 있다. 평판 디스플레이(FPD)와 같은 평판 피검사체의 양부 검사는 피검사체의 각 전극에 대응하는 복수의 프로브를 갖춘 전기적 접속장치에 의한 통전 시험을 통하여 이루어진다.In general, TFT-LCD, PDP, OLED, etc. are a kind of flat panel display, in which pixels composed of a myriad of cells are arranged and have a predetermined size. Inspection of the quality of a flat object, such as a flat panel display (FPD), is made through an energization test by an electrical connection device having a plurality of probes corresponding to each electrode of the object under test.

이러한 전기적 접속장치에 이용되는 프로브에는 도전성 금속 세선을 피검사체 전극 패턴에 대응시켜 접착제로 고정한 니들형, 피검사체 전극에 대응하는 다수의 구멍에 스프링 핀을 배치한 스프링 핀형, 판상으로 형성된 블레이드형 등이 있다. 이 중 블레이드 타입의 프로브는 니들형, 스프링 핀형 프로브에 비해 비교적 적은 전극 피치에 대응할 수 있으며, 프로브의 교환도 용이한 장점이 있는데, 이러한 블레이드 타입의 프로브를 이용한 프로브 조립체에 대한 발명이 특허 제252566호 및 특허 제314586호에 개시되어 있다.The probe used for the electrical connection device includes a needle type in which a conductive metal thin wire is matched with an electrode pattern to be inspected with an adhesive, a spring pin shape in which spring pins are arranged in a plurality of holes corresponding to the electrode to be inspected, and a blade shape formed in a plate shape. There is this. Among these, the blade-type probe can correspond to a relatively small electrode pitch compared to the needle-type, spring pin-type probe, there is an advantage that the exchange of the probe is easy, the invention for the probe assembly using the blade-type probe is patented 252566 And 314586.

또한 내부 구조는 소자 마다 특징이 있지만 영상 신호를 인가하는 영상신호 전극 및 구동 회로는 공통적으로 구비되어 있다. 평판표시소자는 제조를 완료한 후, 평판 표시소자의 패드 전극에 프로브 조립체의 프로브를 접촉하여 전기신호를 인가함으로써 평판표시소자의 정상 유무를 확인하여 불량 표시소자를 조기에 제거하는 테스트(Test)공정을 진행하고 있다.In addition, although the internal structure is characteristic of each element, the video signal electrode and the driving circuit for applying the video signal are commonly provided. After the flat panel display device is manufactured, a test is performed to remove the defective display device early by checking whether the flat panel display device is normal by applying an electrical signal by contacting the probe of the probe assembly to the pad electrode of the flat panel display device. The process is in progress.

이와 같은 평판표시소자의 테스트는, 프로브 조립체를 구비한 프로브 유닛을 이용하여 이루어지고, 이와 같은 프로브 유닛의 프로브 조립체에서 구동 PCB와 구동 IC간의 전기적인 신호 전달은 스프링의 탄성을 이용한 미세 접촉 구조물로 연결하여 이루어지는 형태의 기술이 주로 사용되고 있다.The test of the flat panel display device is performed by using a probe unit having a probe assembly, and the electrical signal transmission between the driving PCB and the driving IC in the probe assembly of the probe unit is a micro contact structure using spring elasticity. The technology of the connection type is mainly used.

그러나 상술한 것과 같이 일반적인 프로브의 경우 팁과 베이스를 연결하는 탄성부가 하나의 구성으로 이루어져 있어 검사체와 팁이 접점시 탄성력이 균일하게 발생하지 못하는 문제점이 있었으며, 이로 인해 팁에 의해 검사체가 손상되는 문제점이 있었다.However, as described above, in the case of a general probe, the elastic part connecting the tip and the base is composed of one configuration, and thus the test object and the tip have a problem in that elastic force does not occur uniformly at the contact point. There was a problem.

또한 탄성력이 균일하지 못해 접점이 전체적으로 균일하게 이루어지지 못하는 단점이 있었다.In addition, there was a disadvantage that the contact is not made uniform evenly because the elastic force is not uniform.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 팁과 검사대상물의 접점을 균일하게 함과 동시에 접점시 발생하는 가압력을 균일하게 분산시켜 팁과 검사대상물의 손상을 최소화할 수 있게 하는 탐침을 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to uniformly disperse the contact force of the tip and the inspection object and at the same time to uniformly distribute the pressing force generated during the contact to minimize damage to the tip and the inspection object In providing a probe that enables it.

본 발명은 앞서 본 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 구성을 가진다.The present invention has the following configuration to achieve the above object.

본 발명의 탐침은, 하단이 단차지게 형성된 베이스; 상기 베이스 상측 단부에서 연장 마련되는 제1 탄성부; 상기 제1 탄성부가 형성된 상기 베이스 타측에서 연장 마련되는 제2 탄성부; 및 상기 제1 탄성부 및 제2 탄성부의 단부가 연결되어 돌출 마련되는 팁부;로 이루어진다.Probe of the present invention, the lower end is formed stepped; A first elastic part extending from the upper end of the base; A second elastic part extending from the other side of the base where the first elastic part is formed; And a tip portion at which end portions of the first elastic portion and the second elastic portion are connected to each other to protrude.

또한 상기 제1 탄성부는 상기 베이스 상측 단부에서 상부 방향으로 곡선진 곡부와, 상기 곡부 단부에서 수평하게 연장된 수평편으로 이루어져 상기 팁부를 탄지하게 하며, 상기 제2 탄성부는 상기 베이스 상측 단부에서 상기 제1 탄성부 측으로 곡선진 제1 곡부와, 상기 제1 곡부 단부에서 상기 베이스와 나란하게 수평 연장되는 제1 수평편과, 상기 제1 수평편 단부에서 상기 제1 곡부에 대해 반대 방향으로 곡선진 제2 곡부와, 상기 제2 곡부 단부에서 수평하게 연장된 제2 수평편으로 이루어져 상기 팁부를 탄지하게 한다.In addition, the first elastic portion is curved in an upward direction from the upper end portion of the base and a horizontal piece extending horizontally from the curved end portion to hold the tip portion, the second elastic portion at the upper end portion of the base A first curved portion curved toward the elastic portion, a first horizontal piece extending horizontally parallel to the base at the first curved end portion, and a curved portion opposite to the first curved portion at the end portion of the first horizontal piece; And a second bent portion and a second horizontal piece extending horizontally from the end of the second bent portion to force the tip portion.

그리고 상기 제2 탄성부는 상기 제1 탄성부 내측에 마련되게 하며, 상기 팁부는 단부가 피라미드 형상으로 돌출되게 한다.The second elastic part is provided inside the first elastic part, and the tip part allows the end portion to protrude in a pyramid shape.

또한 상기 제2 탄성부는 "

Figure 112007077244780-pat00001
" 형상으로 이루어고, 상기 제1 탄성부는 "
Figure 112007077244780-pat00002
" 형상으로 이루어진 것이 바람직하다.In addition, the second elastic portion "
Figure 112007077244780-pat00001
", Wherein said first elastic portion is"
Figure 112007077244780-pat00002
It is preferable that the shape is made of ".

그리고 탐침에는 땜납(Soldering)을 좋게 하기 위한 도금층; 더 형성하며, 상기 도금층은 금(Au)이며, 상기 베이스 하측 단부에는 돌출되니 단턱이 마련되고, 상기 단턱상에 Sn-Ag, Sn-Au, Sn-Pb 및 Pure Sn 중 선택된 어느 하나를 이용해 도별도의 도금층을 형성하도록 한다.And the probe has a plating layer for improving the solder (Soldering); Further formed, the plating layer is gold (Au), protruding from the lower end of the base is provided with a stepped, even if any one selected from Sn-Ag, Sn-Au, Sn-Pb and Pure Sn on the stepped To form a separate plating layer.

본 발명에 따르면, 팁과 검사대상물의 접점을 균일하게 함과 동시에 접점시 발생하는 가압력을 균일하게 분산시켜 팁과 검사대상물의 손상을 최소화할 수 있게 하는 효과가 있다.According to the present invention, the contact between the tip and the inspection object is uniform and at the same time there is an effect of uniformly dispersing the pressing force generated during the contact to minimize damage to the tip and the inspection object.

본 발명의 탐침은, 하단이 단차지게 형성된 베이스; 상기 베이스 상측 단부에서 연장 마련되는 제1 탄성부; 상기 제1 탄성부가 형성된 상기 베이스 타측에서 연장 마련되는 제2 탄성부; 및 상기 제1 탄성부 및 제2 탄성부의 단부가 연결되어 돌출 마련되는 팁부;로 이루어진다.Probe of the present invention, the lower end is formed stepped; A first elastic part extending from the upper end of the base; A second elastic part extending from the other side of the base where the first elastic part is formed; And a tip portion at which end portions of the first elastic portion and the second elastic portion are connected to each other to protrude.

또한 상기 제1 탄성부는 상기 베이스 상측 단부에서 상부 방향으로 곡선진 곡부와, 상기 곡부 단부에서 수평하게 연장된 수평편으로 이루어져 상기 팁부를 탄지하게 하며, 상기 제2 탄성부는 상기 베이스 상측 단부에서 상기 제1 탄성부 측으로 곡선진 제1 곡부와, 상기 제1 곡부 단부에서 상기 베이스와 나란하게 수평 연장되는 제1 수평편과, 상기 제1 수평편 단부에서 상기 제1 곡부에 대해 반대 방향으로 곡선진 제2 곡부와, 상기 제2 곡부 단부에서 수평하게 연장된 제2 수평편으로 이루어져 상기 팁부를 탄지하게 한다.In addition, the first elastic portion is curved in an upward direction from the upper end portion of the base and a horizontal piece extending horizontally from the curved end portion to hold the tip portion, the second elastic portion at the upper end portion of the base A first curved portion curved toward the elastic portion, a first horizontal piece extending horizontally parallel to the base at the first curved end portion, and a curved portion opposite to the first curved portion at the end portion of the first horizontal piece; And a second bent portion and a second horizontal piece extending horizontally from the end of the second bent portion to force the tip portion.

그리고 상기 제2 탄성부는 상기 제1 탄성부 내측에 마련되게 하며, 상기 팁부는 단부가 피라미드 형상으로 돌출되게 한다.The second elastic part is provided inside the first elastic part, and the tip part allows the end portion to protrude in a pyramid shape.

또한 상기 제2 탄성부는 "

Figure 112007077244780-pat00003
" 형상으로 이루어고, 상기 제1 탄성부는 "
Figure 112007077244780-pat00004
" 형상으로 이루어진 것이 바람직하다.In addition, the second elastic portion "
Figure 112007077244780-pat00003
", Wherein said first elastic portion is"
Figure 112007077244780-pat00004
It is preferable that the shape is made of ".

그리고 탐침에는 땜납(Soldering)을 좋게 하기 위한 도금층; 더 형성하며, 상기 도금층은 금(Au)이며, 상기 베이스 하측 단부에는 돌출되니 단턱이 마련되고, 상기 단턱상에 Sn-Ag, Sn-Au, Sn-Pb 및 Pure Sn 중 선택된 어느 하나를 이용해 도별도의 도금층을 형성하도록 한다.And the probe has a plating layer for improving the solder (Soldering); Further formed, the plating layer is gold (Au), protruding from the lower end of the base is provided with a stepped, even if any one selected from Sn-Ag, Sn-Au, Sn-Pb and Pure Sn on the stepped To form a separate plating layer.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 또는 도 2에 도시된 바에 의하면, 상기 탐침(10)은 베이스(110), 제1 탄성부(120), 제2 탄성부(130) 및 팁부(140)로 이루어진다.As shown in FIG. 1 or FIG. 2, the probe 10 includes a base 110, a first elastic part 120, a second elastic part 130, and a tip part 140.

상기 베이스(110)는 판체로 형성되며, 하측 단부를 단차지게 단턱(112)을 형성시켜 프로브 기판에 삽입을 수월하게 할 수 있게 하고 있다.The base 110 is formed of a plate body, and the stepped portion 112 is formed at the lower end thereof to facilitate insertion into the probe substrate.

상기 제1 탄성부(120)는 상기 베이스(110) 상측 단부에서 상부 방향으로 곡선진 곡부(122)와 상기 곡부(122)에서 베이스(110) 측으로 수평하게 연장된 수평편(124)으로 이루어지게 하여 상기 곡부를 통해 제1 탄성부에 가해지는 외압을 분산시킬 수 있게 하고 있다.The first elastic portion 120 is composed of a curved portion 122 curved upward from the upper end of the base 110 and a horizontal piece 124 extending horizontally from the curved portion 122 to the base 110. Thus, the external pressure applied to the first elastic portion can be dispersed through the curved portion.

상기 제2 탄성부(130)는 상기 베이스(110) 상측 단부에서 베이스 측 방향으로 곡선진 제1 곡부(132)와 상기 제1 곡부에서 수평하게 연장된 제1 수평편(136)과, 상기 제1 수평편(136) 단부에서 상기 제1 곡부와 반대 방향으로 곡선진 제2 곡부(134)와 상기 제2 곡부(134) 단부에서 수평하게 연장된 제2 수평편(138)으로 이루어지게 하여 상기 제1,2 곡부를 통해 제2 탄성부에 가해지는 외압을 분산시킬 수 있게 하고 있다.The second elastic portion 130 is the first curved portion 132 curved in the base side direction from the upper end of the base 110 and the first horizontal piece 136 extending horizontally from the first curved portion, and the first 1 the second curved portion 134 curved in the direction opposite to the first curved portion at the end of the horizontal piece 136 and the second horizontal piece 138 extending horizontally at the end of the second curved portion 134 and the The external pressure applied to the second elastic portion can be dispersed through the first and second curved portions.

여기서 상기 제1 탄성부는 "

Figure 112007077244780-pat00005
" 형상이며, 상기 제2 탄성부는 "
Figure 112007077244780-pat00006
" 형상으로 이루어진다.Wherein the first elastic portion is "
Figure 112007077244780-pat00005
"Shaped, and said second elastic portion is"
Figure 112007077244780-pat00006
"Made of shape.

상기 팁부(140)는 상기 제1 탄성부와 제2 탄성부의 단부를 연결하여 돌출 형성되며, 검사대상물이 팁부로 인해 손상되는 것을 최소화하기 위해 상부로 뾰족한 피라미드 형상으로 이루어져 있다.The tip portion 140 is formed by connecting the ends of the first elastic portion and the second elastic portion to protrude, and has a pointed pyramid shape upward to minimize damage to the inspection object due to the tip portion.

또한, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 탐침(10) 표면에는 땜납(Soldering)을 좋게 하기 위한 도금층(20); 더 형성하며, 상기 도금층(20)은 금(Au)을 이용하도록 하고 있다. 그리고 상기 베이스(110) 하측 단부에는 돌출되는 단턱(112)이 마련되며, 상기 단턱(112) 표면상에 Sn-Ag, Sn-Au, Sn-Pb 및 Pure Sn 중 선택된 어느 하나를 이용해 별도의 도금층(30)을 형성하도록 함으로써 탐침을 기판에 본딩시 본딩 력을 좋게 하고 있다.In addition, as shown in FIG. 3, the surface of the probe 10 may include a plating layer 20 for improving soldering; Further, the plating layer 20 is made of gold (Au). A stepped protrusion 112 is provided at a lower end of the base 110, and a separate plating layer is formed on the surface of the stepped 112 using any one selected from Sn-Ag, Sn-Au, Sn-Pb, and Pure Sn. By forming 30, the bonding force is improved when the probe is bonded to the substrate.

예컨대, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 탐침(10)은 단턱(112)을 프로브 기판(20) 측에 삽입 고정한 상태이고, 팁부(140)는 검사대상물(W)과 접점된 상태를 하게 되는데, 이때 상기 탐침은 프로브 기판에서 가해지는 힘에 의해 검사대상물 측으로 가압력을 전달하게 되어 검사대상물과 탐침에 손상이 발생할 수 있게 되는데, 이를 방지하기 위해 상기 제1 탄성부(120) 및 제2 탄성부(130)에서 가해지는 힘의 분배를 균일하게 함으로써 검사대상물에 가해지는 힘이 일정하게 유지될 수 있게 하고 있다. 또한 상기 팁부를 피라미드 형상으로 형성시켜 팁부가 검사대상물과 접점시 팁부에 의한 검사대상물 손상을 최소화할 수 있게 하고 있다.For example, as shown in FIG. 4, the probe 10 is in a state in which the step 112 is inserted and fixed to the probe substrate 20, and the tip 140 is in contact with the inspection object W. In this case, the probe may transmit a pressing force to the inspection object by the force applied from the probe substrate, thereby causing damage to the inspection object and the probe. In order to prevent this, the first elastic part 120 and the second elastic part By uniformly distributing the force applied at 130, the force applied to the inspection object can be kept constant. In addition, the tip portion is formed in a pyramid shape to minimize the damage to the inspection object by the tip when the tip portion is in contact with the inspection object.

한편 상기 탐침(110)은 X-레이 또는 UV를 이용하여 식각 및 노광 방법에 의해 형성되고, 재질로는 니켈(Ni) 또는 니켈-합금(Ni-Alloy)로 형성하는 것이 바람직하며, 전기가 통하는 도전성 물질 중 탄성계수가 낮을수록 항복강도가 높은 특성을 갖는 소재이면 어떠한 것도 가능하다.On the other hand, the probe 110 is formed by an etching and exposure method using X-rays or UV, the material is preferably formed of nickel (Ni) or nickel-alloy (Ni-Alloy), the electricity is The lower the modulus of elasticity of the conductive material, the higher the yield strength is.

도 1은 본 발명의 탐침을 나타내는 사시도.1 is a perspective view showing a probe of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 A 부분을 나타내는 부분 확대 사시도.FIG. 2 is a partially enlarged perspective view illustrating a portion A shown in FIG. 1. FIG.

도 3은 본 발명에 따튼 탐침 표면에 도금 처림된 상태를 나타내는 측면도.Figure 3 is a side view showing a plating plating on the surface of the probe according to the present invention.

도 4는 본 발명의 탐침이 결합 작동되는 상태를 나타내는 상태도.Figure 4 is a state diagram showing a state in which the probe operation of the present invention coupled.

<도면 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 탐침 110 : 베이스10: probe 110: base

112 : 단턱 120 : 제1 탄성부112: step 120: first elastic portion

122 : 곡부 124 : 수평편122: curved portion 124: horizontal piece

130 : 제2 탄성부 132 : 제1 곡부130: second elastic portion 132: first curved portion

134 : 제2 곡부 136 : 제1 수평편134: second curved portion 136: first horizontal piece

138 : 제2 수평편 140 : 팁부138: second horizontal piece 140: tip portion

Claims (8)

하단이 단차지게 형성된 베이스;A base having a stepped bottom; 상기 베이스 상측 단부에서 상부 방향으로 곡선진 곡부와, 상기 곡부 단부에서 수평하게 연장된 수평편으로 이루어는 제1 탄성부;A first elastic portion formed of a curved portion curved upward from the upper end of the base and a horizontal piece extending horizontally from the curved end ; 상기 제1 탄성부 내측에 마련되며, 상기 제1 탄성부가 형성된 상기 베이스 상측 단부에서 상기 제1 탄성부 측으로 곡선진 제1 곡부와, 상기 제1 곡부 단부에서 상기 베이스와 나란하게 수평 연장되는 제1 수평편과, 상기 제1 수평편 단부에서 상기 제1 곡부에 대해 반대 방향으로 곡선진 제2 곡부와, 상기 제2 곡부 단부에서 수평하게 연장된 제2 수평편으로 이루어지는 제2 탄성부; 및 A first curved portion provided inside the first elastic portion and curved toward the first elastic portion from an upper end portion of the base where the first elastic portion is formed , and a first horizontally extending parallel to the base at the first curved portion; A second elastic portion comprising a horizontal piece, a second curved portion curved in a direction opposite to the first curved portion at the end of the first horizontal piece, and a second horizontal piece extending horizontally from the second curved portion ; And 상기 제1 탄성부 및 제2 탄성부의 단부가 연결되어 돌출 마련되는 팁부;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 탐침.And a tip portion at which the ends of the first elastic portion and the second elastic portion are connected to protrude. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제2 탄성부는 "
Figure 112008015542414-pat00007
" 형상으로 이루어지고, 상기 제1 탄성부는 "
Figure 112008015542414-pat00008
" 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 탐침.The second elastic portion is "
Figure 112008015542414-pat00007
", Wherein said first elastic portion is"
Figure 112008015542414-pat00008
Probe, characterized in that consisting of. 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 베이스 하측 단부에는 돌출되니 단턱이 마련되고, 상기 단턱상에 Sn-Ag, Sn-Au, Sn-Pb 및 Pure Sn 중 선택된 어느 하나를 이용해 별도의 도금층을 형성 하도록 하는 것을 특징으로 하는 탐침.Protruding from the lower end of the base is provided with a stepped, characterized in that to form a separate plating layer using any one selected from Sn-Ag, Sn-Au, Sn-Pb and Pure Sn on the stepped.
KR1020070108712A 2007-10-05 2007-10-29 Probe KR100825294B1 (en)

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