KR100810429B1 - 커튼 립 체크 시스템 및방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 습식 제조공정 장치 중 커튼에 관한 것이다.

본 발명의 커튼 립 체크 시스템은 커튼의 내부에 삽입된 금속라인, 상기 금속라인과 연결되고 상기 금속라인이 단절되었을 때 전기적 신호를 발생시키는 인터페이스 보드, 상기 인터페이스에서 보내는 신호를 받는 PLC 회로 및 상기 PLC 회로와 연결된 알람을 포함하여 이루어짐에 기술적 특징이 있다.

따라서 본 발명의 커튼 립 체크 시스템은 커튼이 찢어짐으로 인한 웨이퍼 손실을 방지하고, 부품 가격을 절감하고, 장비 정지 시간이 감소되는 등의 효과가 있다.

커튼, 금속라인

Description

커튼 립 체크 시스템 및 방법{System and method for checking curtain}

도 1은 종래기술에 따른 커튼을 나타낸 구성도.

도 2는 본 발명에 따른 커튼 립 체크 시스템의 구성도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 금속라인

110 : 커튼

120 : 인터페이스 보드

130 : PLC 회로

본 발명은 습식 스테이션 장치 중 커튼에 관한 것으로, 보다 자세하게는 커튼의 내부에 삽입된 금속라인, 상기 금속라인과 연결되고 상기 금속라인이 단절되었을 때 전기적 신호를 발생시키는 인터페이스 보드, 상기 인터페이스에서 보내는 신호를 받는 PLC 회로 및 상기 PLC 회로와 연결된 알람을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 커튼 립 체크 시스템 및 체크 방법에 관한 것이다.

종래의 습식 스테이션 장치는 습식식각(Wet Etching)공정으로써 화학액을 주로 사용하고 있다. 상기 화학액을 취급하게 되면 산성 가스들이 다량 발생되므로 습기장치들은 설계부터 이러한 문제점을 보완하는 구조로 만들어져 있다.

하지만 가스가 배스(Bath)구역이 아닌 로보트 및 제어기, 시그널 구역을 다량 침투하여 오염 및 부식을 시켜 큰 사고를 유발 시키고 있다.

DNS 장치는 황산을 120℃ 이상에서 사용하고 있다. 화학액 특성에 따라 다르지만 온도가 높을수록 발생 가스는 비례하게 되는데, 배스구역과 리프터(Lifter)구역은 커튼(Curtain)으로 차단 되어져 있다. 상기 리프터는 황산 배스와 ONB(DIW 및 SC-1) 배스를 이동하게 되어져 있어 화학액의 보호재질인 커튼으로 경계되어 있다.

도 1은 종래기술에 따른 커튼을 나타낸 것이다. 각 배스마다 커튼 차단막이 설치되어 있다. 리프터가 황산배스로 투입시 상기 황산배스 위까지 이동하는 중에 상기 리프터가 커튼 인터락 핀(Curtain Interlock Pin)을 누르면서 상기 황산배스 위까지 이동 완료하게 되는데 이때 핀을 누르게 되면서 잠금 핀(Lock Pin)이 뒤로 빠지게 되어 상기 커튼과 함께 다운되게 한다.

상기 커튼 상하 구동은 상기 리프터 모터 힘으로 이루어지는데 다운 시 하부 롤러가 감기고 상부 롤러의 커튼은 풀리게 되는 동작 방식이다. 상기 롤러는 태엽식으로 되어 있어서 풀리고 감기는 힘이 항상 유지되어 있다.

그러나, 상기 커튼 동작이 반복되므로 찢어지는 경우가 빈번히 발생되고 있 다. 상기 커튼이 찢어져 황산가스가 장비 뒷편의 구동 구역으로 유입되어 리니어 가이드(LM Guide) 및 리프터 모터, 센서 등을 부식시켜 장비의 오동작 발생을 일으키고 있다.

또한, 공정 처리 후 린스 처리를 위해 ONB 배스로 상기 리프터가 이동하려고 상승 동작 중 모터 및 상기 리니어 가이드 파손으로 중간에 멈추게 되어 다량의 생산 웨이퍼에 손상이 된다. 원인은 화학 가스로 인한 부식인데 현재 커튼이 찢어진 즉시 체크가 되지 않고 있어 찢어진 후 장시간 상기 가스에 누출되고 있는 문제가 있었다.

따라서 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 커튼이 찢어짐으로 인한 웨이퍼 손실을 방지하고, 부품 가격을 절감하고, 장비 정지 시간을 감소시키는 커튼 립 체크 시스템 및 방법을 제공함에 본 발명의 목적이 있다.

본 발명의 상기 목적은 커튼의 내부에 삽입된 금속라인, 상기 금속라인과 연결되고 상기 금속라인이 단절되었을 때 전기적 신호를 발생시키는 인터페이스 보드, 상기 인터페이스에서 보내는 신호를 받는 PLC 회로 및 상기 PLC 회로와 연결된 알람을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 커튼 립 체크 시스템에 의해 달성된다.

또한, 본 발명은 커튼의 커팅이 일어나는 부위에 금속 라인을 삽입하는 단계, 상기 커튼의 모서리 부위가 찢어지며 상기 금속 라인이 떨어져 나가는 단계, 상기 금속 라인에 연결된 인터페이스 보드에서 신호가 발생되는 단계 및 상기 신호가 PLC 회로로 입력되어 알람을 발생시키는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 커튼 립 체크 방법에 의해 달성된다.

본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다.

도 2는 본 발명에 따른 금속 라인이 삽입된 커튼(110)을 나타낸 것이다. 도면에 나타난 바와 같이 커팅이 일어나는 부분에 얇은 금속 라인(100)을 삽입하는 것이다.

상기 커튼(110) 자체에 얇은 금속 라인(100)을 삽입하고 이를 전기적 신호로 연결하여 상기 커튼(110)이 찢어졌을 경우 알람이 발생하게 한다. 상기 커튼(110) 사이에 금속 라인(100)은 상기 커튼(110)과 일체형으로 제작한다.

또한, 모서리 부위에서 상기 커튼(110)이 찢어지면 얇은 금속 라인(100)도 함께 떨어져 나가는데 이때 인터페이스 보드(120)에서 신호가 발생되고, 상기 설계된 전기회로에 따라 PLC(130)로 단선 신호가 입력되어 알람 메시지를 발생시키게 된다.

상세히 설명된 본 발명에 의하여 본 발명의 특징부를 포함하는 변화들 및 변형들이 당해 기술 분야에서 숙련된 보통의 사람들에게 명백히 쉬워질 것임이 자명하다. 본 발명의 그러한 변형들의 범위는 본 발명의 특징부를 포함하는 당해 기술 분야에 숙련된 통상의 지식을 가진 자들의 범위 내에 있으며, 그러한 변형들은 본 발명의 청구항의 범위 내에 있는 것으로 간주된다.

따라서 본 발명의 커튼 립 체크 시스템 및 방법은 커튼이 찢어짐으로 인한 웨이퍼 손실을 방지하고, 부품 가격을 절감하고, 장비 정지 시간이 감소되는 등의 효과가 있다.

Claims (3)

1. 커튼의 내부에 삽입된 금속라인;

   상기 금속라인과 연결되고 상기 금속라인이 단절되었을 때 전기적 신호를 발생시키는 인터페이스 보드;

   상기 인터페이스 보드에서 보내는 신호를 받는 PLC 회로; 및

   상기 PLC 회로와 연결된 알람

   을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 커튼 립 체크 시스템.
2. 제1항에 있어서,

   상기 커튼과 내부에 삽입된 금속라인은 일체형임을 특징으로 하는 커튼 립 체크 시스템.
3. 커튼의 커팅이 일어나는 부위에 금속 라인을 삽입하는 단계;

   상기 커튼의 모서리 부위가 찢어지며 상기 금속 라인이 떨어져 나가는 단계;

   상기 금속 라인에 연결된 인터페이스 보드에서 신호가 발생되는 단계; 및

   상기 신호가 PLC 회로로 입력되어 알람을 발생시키는 단계

   를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 커튼 립 체크 방법.

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