KR100809827B1 - Manufacturing method of copper clad laminated sheet - Google Patents

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야스후미 마츠무라
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신닛테츠가가쿠 가부시키가이샤
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Abstract

동박과 폴리이미드 수지와의 접착력을 향상시킨 동장적층판의 제조방법을 제공한다. 표면처리된 동박상에 수지층을 형성해 얻어지는 동장적층판의 제조방법으로, 동박을 산수용액으로 소프트에칭하는 공정, 동박을 동박과 수지층과의 접착력을 향상시키는 기능을 가지는 아미노기와 티올기와 같은 적어도 1종 이상의 관능기를 가지는 유기표면 처리제를 용해한 처리액으로 표면처리하는 표면처리공정, 상기 유기표면 처리제를 용해 가능한 유기용제를 사용해 유기표면 처리제의 표면층을 부분적으로 용해 제거하는 세정공정과, 표면처리가 시행된 동박상에 폴리이미드 전구체의 필름을 밀착하는 밀착적층공정과, 폴리이미드 전구체를 이미드하는 이미드화 공정을 가지는 동장적층판의 제조방법.The manufacturing method of the copper clad laminated board which improved the adhesive force of copper foil and polyimide resin is provided. A method for producing a copper clad laminate obtained by forming a resin layer on a surface-treated copper foil, the method of soft etching the copper foil with an acid solution, and at least one of an amino group and a thiol group having a function of improving the adhesion between the copper foil and the resin layer. A surface treatment step of surface treatment with a treatment solution in which an organic surface treatment agent having more than one functional group is dissolved, a washing step of partially dissolving and removing the surface layer of the organic surface treatment agent using an organic solvent that can dissolve the organic surface treatment agent, and a surface treatment. The manufacturing method of the copper clad laminated board which has the adhesion lamination process which adhere | attaches the film of a polyimide precursor on the obtained copper foil, and the imidation process which imides a polyimide precursor.

동박, 폴리아미드, 표면처리, 동장적층판, 접착력 Copper foil, polyamide, surface treatment, copper clad laminate, adhesion

Description

동장적층판의 제조방법{MANUFACTURING METHOD OF COPPER CLAD LAMINATED SHEET}MANUFACTURING METHOD OF COPPER CLAD LAMINATED SHEET}

본 발명은 표면처리된 동박을 사용해, 수지 필름을 밀착하여 작성하는 것을 특징으로 하는 동장적층판의 제조방법에 관한 것이다.This invention relates to the manufacturing method of the copper clad laminated board characterized by using the surface-treated copper foil and making a resin film closely.

전자기기의 전자회로에는 절연재와 도전재로 이루어지는 적층판을 회로 가공한 프린트 배선판이 사용되고 있다. 프린트 배선판은 절연기판의 표면(및 내부)에, 전기설계에 기초한 도체패턴을, 도전성재료로 형성 고착한 것이며, 기재(基材)가 되는 수지의 종류에 따라서 판상의 리지드 프린트 배선판(rigid printed wiring boards)과, 유연성에 풍부한 플랙서블 프린트 배선판으로 대별된다. 플랙서블 프린트 배선판은 가요성을 가지는 것이 특징이며, 상시 굴곡을 반복하는 것과 같은 가동부에서는 접속용 필수부품이 되고 있다. 또한 전자기기 내에서 절곡한 상태에서 수납하는 것도 가능하기 때문에, 성(省)스페이스 배선재료로서도 사용되고 있다. 플랙서블 프린트 배선판의 재료가 되는 플랙서블 기판은 기재가 되는 수지에는 폴리이미드에스테르나 폴리이미드가 많이 사용되고 있지만, 사용량으로서는 폴리이미드가 압도적으로 많다. 한편, 도전재로는 도전성의 점에서 일반적으로 동(銅)이 사용되고 있다. 도전재에 동을 사용한 플랙서블 기판은 동장적층판이라고도 한다.The printed circuit board which circuit-processed the laminated board which consists of an insulating material and a conductive material is used for the electronic circuit of an electronic device. A printed wiring board is formed by fixing a conductive pattern based on an electrical design on the surface (and inside) of an insulating board with a conductive material, and is a plate-shaped rigid printed wiring board according to the type of resin used as a substrate. boards) and flexible, flexible printed wiring boards. The flexible printed wiring board is characterized by having flexibility, and has become an essential part for connection in a movable part such as repeating constant bending. Moreover, since it can be accommodated in the state bent in an electronic device, it is used also as a space-space wiring material. Although the polyimide ester and polyimide are used for the resin used as a base material for the flexible board which becomes a material of a flexible printed wiring board, polyimide is predominantly large as a usage-amount. On the other hand, copper is generally used as the conductive material in terms of conductivity. A flexible substrate using copper as the conductive material is also called a copper clad laminate.

플랙서블 기판은 그 구조에서 3층 플렉서블 기판과, 2층 플랙서블 기판이 있다. 3층 플랙서블 기판은 폴리이미드 등의 베이스필름과 동박을 서로 붙여서 일체화하기 위해 에폭시 수지나 아크릴 수지 등의 접착제를 사용하고, 베이스 필름, 접착제, 동박의 3층으로 구성되는 적층판이다. 한편, 2층 플랙서블 기판은 특수공법을 채용해, 접착제를 사용하지 않고, 베이스필름, 동박의 2층으로 구성되는 적층판이다. 2층 플랙서블 기판은 유기재료로서 내열성에 뛰어난 폴리아미드 수지만을 사용하고 있으므로 내열성이 떨어지는 에폭시 수지나 아크릴 수지 등의 접착제를 사용하고 있는 3층 플랙서블 기판보다도 신뢰성이 높고, 또한 회로 전체의 박막화가 가능하며 그 사용량이 증가하고 있다.The flexible substrate has a three-layer flexible substrate and a two-layer flexible substrate in its structure. A three-layer flexible board | substrate is a laminated board which consists of three layers of a base film, an adhesive agent, and copper foil, using adhesives, such as an epoxy resin and an acrylic resin, in order to integrate base film, such as a polyimide, and copper foil together, and to integrate. On the other hand, the two-layer flexible board | substrate employ | adopts a special method and is a laminated board comprised from two layers of a base film and copper foil, without using an adhesive agent. Since the two-layer flexible substrate uses only polyamide resin excellent in heat resistance as the organic material, it is more reliable than the three-layer flexible substrate using an adhesive such as epoxy resin or acrylic resin, which is inferior in heat resistance, and the entire circuit is thinned. Is possible and its usage is increasing.

최근 전자기기에 있어서의 고성능화, 고기능화의 요구가 높아지고 있고, 그것에 수반해서 전자 디바이스에 사용되는 회로기판 재료인 프린트 배선판의 고밀도화가 요망되고 있다. 프린트 배선판을 고밀도화하기 위해서는 회로배선의 폭과 간격을 작게 하는, 즉 파인피치(fine pitch)화할 필요가 있다. 앞서 서술한 바와 같이, 프린트 배선판은 도전성 재료와 수지필름을 서로 접착한 것인데, 종래 도전성 재료로서는 수지와의 접착력을 높이기 위해서 조도(粗度)가 높고 혹은 조화(粗化)처리된 동박을 사용하고 있었다. 그러나 파인피치가 요구되는 용도에, 조도가 높은 동박을 사용해서 작성한 적층판을 사용하면, 에칭으로 회로를 형성할 시에, 수지에 동박이 남는 잔여(root remaining)가 생기거나, 에칭 직선성이 저하해 회로폭이 불균일하게 되기 쉬운 등의 문제가 생긴다. 이 때문에 프린트 배선판을 고밀도화, 파 인피치화하기 위해서는 표면거칠기가 작은 동박을 사용할 필요가 있다. In recent years, the demand for high performance and high functionality in electronic devices has increased, and along with this, there has been a demand for higher density of printed wiring boards, which are circuit board materials used in electronic devices. In order to increase the density of the printed wiring board, it is necessary to reduce the width and the spacing of the circuit wiring, that is, to fine pitch. As described above, the printed wiring board is a material in which a conductive material and a resin film are bonded to each other. As a conventional conductive material, in order to increase the adhesive strength with the resin, a high roughness or roughened copper foil is used. there was. However, when a laminated sheet made of copper foil having high roughness is used for a purpose where fine pitch is required, root remaining of copper foil in the resin is generated or etching linearity is lowered when the circuit is formed by etching. The problem arises such that the circuit width tends to be uneven. For this reason, in order to make a printed wiring board high density and fine pitch, it is necessary to use copper foil with a small surface roughness.

그러나 표면거칠기가 작은 동박은 앵커효과, 즉 수지의 동박표면의 요철(凹凸)로의 끼어짐이 작기 때문에, 기계적인 접착강도를 얻을 수 없고, 그 때문에 수지에 대한 접착력이 낮다. 그래서 표면거칠기가 작은 동박과 수지와의 접착력을 높이는 것이 과제가 되고 있다.However, the copper foil having a small surface roughness has a small anchoring effect, that is, the intercalation of the surface of the copper foil into the concave-convexities of the resin is small, so that mechanical adhesive strength cannot be obtained, and therefore, the adhesive strength to the resin is low. Therefore, raising the adhesive force of copper foil with small surface roughness and resin becomes a subject.

[특허문헌 1] 일본국 특허공개 2003-27162호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Publication No. 2003-27162

[특허문헌 2] 일본국 특허공개 2002-321310호 공보[Patent Document 2] Japanese Patent Publication No. 2002-321310

예를 들면, 일본국 특허공개 2003-27162호 공보에는 폴리아믹산을 포함하는 바니스를 원료로 해서 수지기판으로 하는 2층 프린트 배선판용의 적층판에 있어서, 바니스와의 젖음성이 양호하며, 조화처리를 시행하지 않고 폴리이미드와의 직접 접합이 가능한 표면거칠기가 작은 적층판용의 동합금박을 제공하는 방법이 개시되고 있다. 그러나 상기 방법에 있어서는 접착성을 향상하기 위해서, 동합금 안으로 부원료로서 니켈, 동실리콘 모합금, 은, 알루미늄, 동베릴륨 모합금, 코발트, 동철 모합금, 마그네슘, 망간, 동인 모합금, 철, 주석, 티탄 및 아연 등의 첨가가 필요하며, 또한 동박으로의 유기방청 처리는 폴리아믹산을 포함하는 바니스와의 젖음성을 개선하기 위해서 행하는 것을 나타낼 뿐 접착성의 향상효과를 불충분하다.For example, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2003-27162 discloses a laminate for a two-layer printed wiring board made of a resin substrate using a varnish containing polyamic acid as a raw material. A method of providing a copper alloy foil for a laminated sheet having a small surface roughness that can be directly bonded to a polyimide is disclosed. In the above method, however, nickel, copper silicon master alloy, silver, aluminum, copper beryllium master alloy, cobalt, copper master alloy, magnesium, manganese, copper phosphorus master alloy, iron, tin, Addition of titanium and zinc is necessary, and the organic rust-preventing treatment with copper foil is only performed to improve the wettability with varnish containing polyamic acid, and insufficient effect of improving adhesion.

일본국 특허공개 2002-321310호 공보에는 동 표면을 아졸화 화합물 및 유기산을 함유하는 수용액과 접촉시킴으로써 동 표면에 아졸 화합물이 두꺼운 피막을 형성하고, 수지와의 접착력을 향상하는 방법이 개시되어 있다. 그러나 이 방법을 채용하는 것만으로는 접착성의 향상효과는 불충분하였다. Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2002-321310 discloses a method of forming a thick film of an azole compound on a copper surface by contacting the copper surface with an aqueous solution containing an azole compound and an organic acid, thereby improving adhesion to the resin. However, only by adopting this method, the effect of improving the adhesiveness was insufficient.

이상과 같이, 동박과 수지와의 접착력을 향상시키는 방법 및 동장적층판의 제조방법이 각종 검토되고 있지만, 이것을 만족하는 방법은 아직 발견되지 않고 있으며, 본 발명자가 검토를 행한 결과, 동박과 수지층과의 접착력을 향상시키는 기능을 가지는 유기표면처리를 시행한 표면처리동박을, 폴리아믹산을 포함하는 바니스를 가열건조함으로써 작성한 폴리이미드 전구체 필름과 밀착함으로써 상기 과제를 해결할 수 있음을 발견하고, 본 발명을 완성하였다.
따라서, 본 발명은 접착성이 양호한 동장적층판의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
As mentioned above, the method of improving the adhesive force of copper foil and resin, and the manufacturing method of a copper clad laminated board are examined variously, but the method which satisfy | fills this is not discovered yet. As a result of this inventor's examination, copper foil and a resin layer, The present invention finds that the above-mentioned problems can be solved by bringing the surface-treated copper foil subjected to the organic surface treatment, which has a function of improving the adhesive strength, to the polyimide precursor film prepared by heating and drying the varnish containing polyamic acid. Completed.
Therefore, an object of this invention is to provide the manufacturing method of the copper clad laminated board with favorable adhesiveness.

상기 목적을 달성하기 위해서, 즉 본 발명은 표면처리된 동박상에 수지층을 형성해 얻어지는 동장적층판의 제조방법을 제공한다. 보다 상세하게는 동박을, 적어도 1종 이상의 관능기를 가지고, 동박과 수지층과의 접착력을 향상시키는 기능을 가지는 유기표면 처리제를 용해한 처리액으로 표면처리하는 표면처리공정과, 상기 유기표면 처리제를 용해 가능한 유기용제를 사용해서, 유기표면 처리제의 표면층을 부분적으로 용해 제거하는 세정공정과, 표면처리가 시행된 동박상에, 폴리이미드 전구체의 필름을 밀착하는 밀착적층공정을 가지는 동장적층판의 제조방법을 제공한다.In order to achieve the above object, that is, this invention provides the manufacturing method of the copper clad laminated board obtained by forming a resin layer on the surface-treated copper foil. In more detail, the surface treatment process of surface-treating copper foil with the processing liquid which melt | dissolved the organic surface treatment agent which has at least 1 or more types of functional group, and has the function which improves the adhesive force between copper foil and a resin layer, and melt | dissolves the said organic surface treatment agent A method for producing a copper clad laminate comprising a washing step of partially dissolving and removing the surface layer of the organic surface treatment agent using a possible organic solvent, and an adhesion lamination step of bringing the film of the polyimide precursor into close contact with the copper foil subjected to the surface treatment. to provide.

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우선 동박을, 적어도 1종 이상의 관능기를 가지고, 동박과 수지층과의 접착력을 향상시키는 기능을 가지는 유기표면 처리제를 용해한 처리액으로 표면처리하 는 표면처리공정(표면처리공정 A라 함)에 대해서 설명한다.First, a surface treatment step (referred to as surface treatment step A) in which the copper foil is surface treated with a treatment solution in which at least one functional group has an organic surface treatment agent having a function of improving adhesion between the copper foil and the resin layer. Explain.

본 발명에서 사용되는 동박은 특히 한정되는 것은 아니지만, 플랙서블 기판용도에 사용할 경우의 동박의 바람직한 두께는 5~50㎛의 범위이며, 보다 바람직하게는 8~30㎛의 범위이지만, 파인피치가 요구되는 용도로 사용되는 동장적층판에는 얇은 동박이 호적하게 사용되며, 이 경우, 8~20㎛의 범위가 적합하다. 또한 본 발명은 표면조도가 작은 동박을 사용해도 수지층에 대한 뛰어난 접착성이 얻어지는 점에서, 특히 표면조도가 작은 동박을 사용하는 경우에 적합하다. 바람직한 동박의 표면조도는 10점 평균조도에서 0.1~3㎛의 범위가 적합하다. 특히 파인피치가 요구되는 용도로 사용되는 동박에 대해서는 표면조도는 10점 평균거칠기에서 0.1~1㎛가 적합하다. 또한 동박에는 동박을 주성분으로 하는 동합금박을 포함한다.Although the copper foil used by this invention is not specifically limited, The preferable thickness of the copper foil at the time of using for a flexible substrate use is the range of 5-50 micrometers, More preferably, it is the range of 8-30 micrometers, but fine pitch is required Thin copper foil is suitably used for the copper clad laminated board used for the use, In this case, the range of 8-20 micrometers is suitable. Moreover, since this invention obtains the outstanding adhesiveness with respect to a resin layer even if it uses the copper foil with small surface roughness, it is suitable especially when using the copper foil with small surface roughness. The surface roughness of preferable copper foil is suitable for the range of 0.1-3 micrometers in 10-point average roughness. Particularly, for copper foil used for the application of fine pitch, the surface roughness is suitably 0.1 to 1 µm at a 10-point average roughness. In addition, copper foil contains the copper alloy foil whose main component is copper foil.

표면처리공정 A를 양호하게 행하기 위해서, 동박표면의 표면산화물을 제거하기 위해서 미리 산수용액으로 세정하는 공정을 설치하는 것이 바람직하다. 이 공정을 소프트에칭하는 공정이라 한다. 여기서 사용되는 산수용액은 산성이면 어떠한 수용액도 사용할 수 있는데, 특히 염산수용액이나 황산수용액이 바람직하다. 또한 농도는 0.5~50wt%의 범위가 좋지만, 바람직하게는 1~5wt%의 범위이다. pH는 2이하인 것이 바람직하다.In order to perform surface treatment process A satisfactorily, it is preferable to provide the process of wash | cleaning with an acid aqueous solution beforehand in order to remove the surface oxide of the copper foil surface. This process is called a soft etching process. Any aqueous solution may be used as long as the acid aqueous solution used is acidic, and aqueous hydrochloric acid and sulfuric acid are particularly preferred. The concentration is preferably in the range of 0.5 to 50 wt%, but is preferably in the range of 1 to 5 wt%. It is preferable that pH is two or less.

표면처리공정 A에서 사용되는 유기표면 처리제로서는 적어도 1종 이상의 관능기를 가지는 화합물이며, 처리액은 이 유기표면 처리제를 용해 가능한 용제에 용해한 것이다. 유기표면 처리제는 동박과 수치층의 접착력을 높이는 것에서 선택된다. 그를 위해서는 유기표면 처리제는 양자의 접착력을 높이는 관능기를 가진다. 이러한 관능기로서는 아미노기 또는 티올기가 바람직한 것으로서 예시된다. 유리하게는 관능기로서 아미노기와 티올기를 가지는 화합물이며, 보다 바람직하게는 아미노기와 티올기를 치환기로서 가지는 복소환 화합물이다.The organic surface treatment agent used in the surface treatment step A is a compound having at least one or more functional groups, and the treatment liquid is obtained by dissolving the organic surface treatment agent in a solvent that can dissolve. The organic surface treatment agent is selected from increasing the adhesive force between the copper foil and the numerical layer. For that purpose, the organic surface treatment agent has a functional group which raises the adhesive force of both. As such a functional group, an amino group or a thiol group is illustrated as a preferable thing. Advantageously, it is a compound which has an amino group and a thiol group as a functional group, More preferably, it is a heterocyclic compound which has an amino group and a thiol group as a substituent.

이 복소환 화합물을 구성하는 복소환으로선 이종원소로서 N를 1~4개 가지는 단환 또는 2~3의 환을 가지는 축합환이 있고, 기타의 이종원소로서 O나 S을 1~2개 포함해도 좋다. 그리고 바람직하게는 5~6원환의 방향족 복소환 또는 그 축합환이다.As the heterocycle constituting the heterocyclic compound, there may be a monocyclic ring having 1 to 4 N or a condensed ring having 2 to 3 rings as the hetero element, or 1 or 2 O or S as other hetero elements. And preferably, they are a 5-6 membered aromatic heterocycle or its condensed ring.

더욱 바람직하게는 유기표면 처리제로서는 (NH2)m-Ar-(SH)n으로 표시되는 화합물이다. 여기서 Ar는 m+n가의 방향족 복소환 또는 그 축합환이며, m 및 n은 독립해서 1~2의 정수이다. Ar로서는 환 구성 원자로서 N를 1~4개 가지는 단환 또는 2~3의 환을 가지는 축합환이 있고, 알킬기 등의 치환기를 가질 수 있다.More preferably a compound shown by the Examples of the organic surface treatment agent is (NH 2) m-Ar- ( SH) n. Ar is m + n-valent aromatic heterocycle or its condensed ring, and m and n are the integers of 1-2 independently. Ar may be a monocyclic ring having 1 to 4 N or a condensed ring having 2 to 3 rings as a ring constituent atom, and may have a substituent such as an alkyl group.

바람직한 유기표면 처리제의 구체예를 들면 다음과 같은 화합물이 있는데, 이것에 한정되는 것은 아니다.Specific examples of preferred organic surface treatment agents include the following compounds, but are not limited thereto.

5-아미노-1H-테트라졸, 2-아미노-1,3,5-트리아진-4,6-디티올, 3-아미노1,2,4-트리아진, 3-아미노-1,2,4-트리아졸, 4-아미노-1,2,4-트리아졸, 3-아미노-1,2,4-트리아졸-5-카르본산, 3-아미노-1,2,4-트리아졸-5-티올, 2-아미노-5-트리플루오로메틸-1,3,4-티아디아졸, 5-아미노인다졸, 4-아미노인돌, 5-아미노인돌, 3-아미노-1H-이소인돌, 1-아미노이소퀴놀린, 5-아미노이소퀴놀린, 3-아미노이속사졸, 5-아미노-2-메르캅토벤즈이미다졸, 6-아미노-2-메르캅토벤조티아졸, 4-아미노-6-메 르캅토피라졸로[3,4-d]피리미딘, 2-아미노-4-메톡시벤조티아졸, 3-아미노-5-페닐피라졸, 3-아미노-1-페닐-2-피라졸린-5-온, 2-아미노-4-페닐-5-테트라데실티아졸, 2-아미노-5-페닐-1,3,4-티아디아졸, 2-아미노-4-페닐티아졸, 4-아미노-5-페닐-4H-1,2,4-트리아졸-3-티올, 3-아미노프탈히드라진, 2-아미노-6-(메틸설포닐)벤조티아졸, 2-아미노-4-메틸티아졸, 2-아미노-5-(메틸티오)-1,3,4-티아디아졸, 3-아미노-5-메틸티오-1H-1,2,4-티아졸, 6-아미노-1-메틸우라실, 3-아미노-5-니트로벤즈이소티아졸, 9-아미노-1,2,3,4-테트라히드로아크리딘, 9-아미노아크리딘, 2-아미노-1,3,4-티아디아졸, 5-아미노-1,3,4-티아디아졸-2-티올, 2-아미노티아졸, 2-아미노-4-티아졸아세틱에시드, 2-아미노-2-티아졸린, 2-아미노-6-티아시아네이트벤조티아졸, DL-α-아미노-2-티오펜아세틱에시드, 3-아미노-5-히드록시피라졸, 2-아미노-3-히드록시피리딘, 5-아미노-8-히드록시퀴놀린, 2-아미노-4-히드록시-6-트리플루오로메틸피리미딘, 2-아미노이미다졸, 5-아미노이미다졸-4-카르복시아미드, 4-아미노-5-이미다졸카르복시아미드, 2-아미노-4,5-아미다졸디카르보니트릴, 4-아미노-6-히드록시-2-메르캅토피리미딘, 2-아미노-4-히드록시-6-메틸피리미딘, 2-아미노-6-푸린티올, 아미노피라진, 3-아미노피라진-2-카르본산, 3-아미노피라졸, 3-아미노-4-피로졸카르보니트릴, 3-아미노-4-피라졸카르복시아미드, 3-아미노-4-피라졸카르본산, 4-아미노피라졸[3,4-d]피리미딘, 1-아미노피렌, 2-아미노피리딘, 3-아미노피리딘, 4-아미노피리딘, 4-아미노-5-(4-피리딜)-4H-1,2,4-트리아졸-3-티올, 2-아미노피리미딘, 4-아미노피리미딘, N4-(2-아미노-4-피리미디닐)설파닐아미드, 3-아미노피 롤리딘, 4-아미노퀴날딘, 3-아미노퀴놀린, 3-아미노로다닌, 1-(3-아미노프로필)이미다졸, 2-아미노푸린, 아데닌, 4-(아미노메틸)피페리딘, 3-(아미노메틸)피페리딘, 2-(아미노메틸)피페리딘, 3-아미노-5-메틸피라졸, 2-(아미노메틸)피리딘, 3-(아미노메틸)피리딘, 4-(아미노메틸)피리딘, 2-아미노-4-메틸피리미딘, 3-아미노-2-메틸-4-(3H)퀴나졸리논, 5-아미노-2-메틸인돌, 5-아미노-3-메틸이소티아졸, 3-아미노-5-메틸이속사졸, 3-아미노-2-메톡시디벤조푸란, 2-아미노-α-(메톡시이미노)-4-티아졸아세틱에시드, 2-아미노-4-메톡시-6-메틸피리미딘, 2-아미노-4-메톡시-6-메틸-1,3,5-트리아진, 3-아미노-5-(4-메톡시페닐)피라졸, 5-아미노-2-메톡시피리딘, 4-아미노-6-메톡시피리미딘, 8-아미노-6-메톡시퀴놀린, 2-(아미노메틸)벤즈아미다졸, 2-아미노-1-메틸벤즈이미다졸, 아자아데닌, 티아구아닌 등, 이들을 단독 혹은 조합시켜 사용할 수 있다.5-amino-1H-tetrazole, 2-amino-1,3,5-triazine-4,6-dithiol, 3-amino1,2,4-triazine, 3-amino-1,2,4 -Triazole, 4-amino-1,2,4-triazole, 3-amino-1,2,4-triazole-5-carboxylic acid, 3-amino-1,2,4-triazole-5- Thiol, 2-amino-5-trifluoromethyl-1,3,4-thiadiazole, 5-aminoindazole, 4-aminoindole, 5-aminoindole, 3-amino-1H-isoindole, 1- Aminoisoquinoline, 5-aminoisoquinoline, 3-aminoisoxazole, 5-amino-2-mercaptobenzimidazole, 6-amino-2-mercaptobenzothiazole, 4-amino-6-mercaptopyrazolo [3,4-d] pyrimidine, 2-amino-4-methoxybenzothiazole, 3-amino-5-phenylpyrazole, 3-amino-1-phenyl-2-pyrazolin-5-one, 2 -Amino-4-phenyl-5-tetradecylthiazole, 2-amino-5-phenyl-1,3,4-thiadiazole, 2-amino-4-phenylthiazole, 4-amino-5-phenyl- 4H-1,2,4-triazole-3-thiol, 3-aminophthalhydrazine, 2-amino-6- (methylsulfonyl) benzo Azole, 2-amino-4-methylthiazole, 2-amino-5- (methylthio) -1,3,4-thiadiazole, 3-amino-5-methylthio-1H-1,2,4- Thiazole, 6-amino-1-methyluracil, 3-amino-5-nitrobenzisothiazole, 9-amino-1,2,3,4-tetrahydroacridine, 9-aminoacridine, 2 -Amino-1,3,4-thiadiazole, 5-amino-1,3,4-thiadiazole-2-thiol, 2-aminothiazole, 2-amino-4-thiazoleacetic acid, 2- Amino-2-thiazoline, 2-amino-6-thiasianatebenzothiazole, DL-α-amino-2-thiophenacetic acid, 3-amino-5-hydroxypyrazole, 2-amino-3 -Hydroxypyridine, 5-amino-8-hydroxyquinoline, 2-amino-4-hydroxy-6-trifluoromethylpyrimidine, 2-aminoimidazole, 5-aminoimidazole-4-carboxyamide, 4-amino-5-imidazolecarboxyamide, 2-amino-4,5-amidazoledicarbonitrile, 4-amino-6-hydroxy-2-mercaptopyrimidine, 2-amino-4-hydroxy -6- Methylpyrimidine, 2-amino-6-purinethiol, aminopyrazine, 3-aminopyrazine-2-carboxylic acid, 3-aminopyrazole, 3-amino-4-pyrazolecarbonitrile, 3-amino-4-pyra Solcarboxyamide, 3-amino-4-pyrazolecarboxylic acid, 4-aminopyrazole [3,4-d] pyrimidine, 1-aminopyrene, 2-aminopyridine, 3-aminopyridine, 4-aminopyridine, 4-amino-5- (4-pyridyl) -4H-1,2,4- triazol-3-thiol, 2-amino-pyrimidin-4-amino pyrimidines, N 4 - (2-amino-4 Pyrimidinyl) sulfanylamide, 3-aminopyrrolidine, 4-aminoquinaldine, 3-aminoquinoline, 3-aminorodanine, 1- (3-aminopropyl) imidazole, 2-aminopurine, adenine, 4- (aminomethyl) piperidine, 3- (aminomethyl) piperidine, 2- (aminomethyl) piperidine, 3-amino-5-methylpyrazole, 2- (aminomethyl) pyridine, 3- (Aminomethyl) pyridine, 4- (aminomethyl) pyridine, 2-amino-4-methylpyrimidine, 3-amino-2-methyl-4- (3H) quinazoli , 5-amino-2-methylindole, 5-amino-3-methylisothiazole, 3-amino-5-methylisoxazole, 3-amino-2-methoxydibenzofuran, 2-amino-α- ( Methoxyimino) -4-thiazoleacetic acid, 2-amino-4-methoxy-6-methylpyrimidine, 2-amino-4-methoxy-6-methyl-1,3,5-triazine, 3 -Amino-5- (4-methoxyphenyl) pyrazole, 5-amino-2-methoxypyridine, 4-amino-6-methoxypyrimidine, 8-amino-6-methoxyquinoline, 2- (amino Methyl) benzamidazole, 2-amino-1-methylbenzimidazole, azaadenine, thiaguanine and the like can be used alone or in combination.

또한 유기표면 처리제를 용해하는 용제로서는 탄소수 1~8의 탄화수소계 알코올류, 예를 들면, 메탄올, 에탄올, 프로판올, 이소프로판올, 부탄올, tert-부탄올, 펜탄올, 헥산올, 헵탄올, 옥탄올 등, 탄소수 3~6의 탄화수소계 케톤류, 예를 들면 아세톤, 프로판온, 메틸에틸케톤, 펜탄온, 헥산온, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥사논 등, 탄소수 4~12의 탄화수소계 에테르류, 예를 들면, 디에틸에테르, 에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜디부틸에테르, 테트라히드로푸란 등, 탄소수 3~7의 탄화수소계 에스테르류, 예를 들면, 초산메틸, 초산에틸, 초산프로필, 초산부틸, γ-부틸로락톤, 마론산디에틸 등, 탄소수 3~6의 아미드류, 예를 들면 디메틸포름아미드, 디메틸아세트아미드, 테트라메틸뇨소, 헥사메틸인산트리아미드, 탄소수 2의 설폭시드 화합물, 예를 들면, 디메틸설폭시드 등, 탄소수 1~6의 함할로겐 화합물, 예를 들면 클로로메탄, 브로모메탄, 디클로로메탄, 클로로포름, 사염화탄소, 디클로로에탄, 1,2-디클로로에탄, 1,4-디클로로부탄, 트리클로르에탄, 클로르벤젠, o-디클로르벤젠 등, 탄소수 4~8의 탄화수소화합물, 예를 들면 부탄, 헥산, 헵탄, 옥탄, 벤젠, 톨루엔, 크실렌 등을 사용할 수 있는데, 이것에 한정되는 것은 아니다.Moreover, as a solvent which melt | dissolves an organic surface treating agent, C1-C8 hydrocarbon alcohols, for example, methanol, ethanol, a propanol, isopropanol, butanol, tert- butanol, pentanol, hexanol, heptanol, an octanol, etc. C3-C6 hydrocarbon ketones, for example, acetone, propanone, methyl ethyl ketone, pentanone, hexanone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone and the like, hydrocarbon ethers having 4 to 12 carbon atoms, for example Hydrocarbon esters having 3 to 7 carbon atoms, such as diethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, tetrahydrofuran, for example, acetic acid Amides having 3 to 6 carbon atoms, such as methyl, ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, γ-butyrolactone, and diethyl malonate, for example, dimethylformamide, dimethylacetamide, tetramethylurethane, and hex Methyl phosphate triamide, a C 2 sulfoxide compound such as dimethyl sulfoxide, and the like, a C 1-6 halogen-containing compound such as chloromethane, bromomethane, dichloromethane, chloroform, carbon tetrachloride, dichloroethane, Hydrocarbon compounds having 4 to 8 carbon atoms, such as 1,2-dichloroethane, 1,4-dichlorobutane, trichlorethane, chlorbenzene, and o-dichlorbenzene, for example, butane, hexane, heptane, octane, benzene and toluene Although xylene etc. can be used, it is not limited to this.

처리액의 유기표면 처리제 농도는 0.0001~1mol/l로 사용하는 것이 바람직하고, 저농도인 쪽인 동박표면으로의 여분의 유기표면 처리제의 부착이 적은 점에서 유리하다고 생각되는데, 지나치게 저농도이면 동박과 수지와의 접착향상 효과가 없어지므로, 보다 바람직하게는 0.0005~0.002mol/l이다.The organic surface treatment agent concentration of the treatment liquid is preferably used at 0.0001 to 1 mol / l, and it is considered advantageous in view of the low adhesion of the extra organic surface treatment agent to the copper foil surface at the lower concentration side. Since the effect of improving the adhesion of the adhesive disappears, more preferably 0.0005 to 0.002 mol / l.

상기 처리액으로 동박표면을 처리할 경우, 처리면 전면에 처리액과 동박표면이 접촉하면 좋고, 그 방법은 한정되지 않지만, 균일하게 접촉시키는 것이 바람직하다. 동박을 처리액에 침지해도 좋고, 또는 스프레이 등으로 동박에 뿌려도, 적당한 공구로 동박에 도포해도 좋다. 또한 이때의 처리액의 온도는 바람직하게는 10~100℃, 보다 바람직하게는 10~50℃의 범위이다.When the copper foil surface is treated with the treatment liquid, the treatment liquid and the copper foil surface may be in contact with the entire surface of the treatment, and the method is not limited, but it is preferable to make the contact uniformly. Copper foil may be immersed in process liquid, or may be sprayed on copper foil with a spray, etc., or you may apply it to copper foil with a suitable tool. Moreover, the temperature of the processing liquid at this time becomes like this. Preferably it is 10-100 degreeC, More preferably, it is the range of 10-50 degreeC.

표면처리공정 A의 종료 후, 동박표면에 여분으로 부착한 유기표면 처리제를 유기용제로 용해 제거하는 세정공정(세정공정 B라고 함)을 행하는 것을 필요로 한다. 이 세정공정 B에서 사용하는 유기용제로는 유기표면 처리제를 용해할 수 있는 용제를 사용할 수 있다. 예로서는 상기 기재의 유기용제를 사용할 수 있는데, 경제 적인 관점에서 저가의 메탄올이 호적하게 사용된다.After the completion of the surface treatment step A, it is necessary to perform a washing step (called a washing step B) in which an organic surface treatment agent that is excessively adhered to the copper foil surface is dissolved and removed with an organic solvent. As the organic solvent used in this washing step B, a solvent capable of dissolving the organic surface treatment agent can be used. As an example, the above-mentioned organic solvent can be used, but inexpensive methanol is used suitably from an economic point of view.

세정공정 B에서 동박표면을 유기용매로 세정하는 방법은 한정되지 않는다. 용매에 침지해도 좋고, 또는 스프레이 등으로 뿌려서 씻어내어도, 적당한 기재에 스며들게 하여 씻어내도 좋다. 이 세정에서는 동박표면에 여분으로 부착한 유기표면 처리제를 용해 제거하는데, 유기표면 처리제의 전부를 제거해서는 안 된다. 유리하게는 유기표면 처리제의 막이 동박표면에 단분자막 정도의 두께가 되게끔 유기표면 처리제를 세정제거한다. 이 방법으로서는 우선 물로 세정하는 공정을 상기 세정공정 전에 설치하고, 다음으로 상기 세정공정 B를 행하고, 그 후, 더욱 물로 세정하는 공정을 설치하는 방법이 있다. 이때의 상기 세정공정에 있어서의 용제의 온도는 바람직하게는 0~100℃, 보다 바람직하게는 5~50℃의 범위이다. 또한 세정시간은 바람직하게는 1~1000초간, 보다 바람직하게는 3~600초간의 범위이다. 용제의 사용량은 바람직하게는 동박 1m2당 1~500L, 보다 바람직하게는 3~50L범위이다.In the washing | cleaning process B, the method of wash | cleaning the copper foil surface with an organic solvent is not limited. It may be immersed in a solvent, or it may be sprinkled with a spray, etc., or may be made to soak in a suitable base material, and may wash out. This cleaning dissolves and removes the organic surface treatment agent that has been excessively adhered to the copper foil surface, but not all of the organic surface treatment agent. Advantageously, the organic surface treatment agent is washed away so that the film of the organic surface treatment agent becomes about the thickness of a monomolecular film on the copper foil surface. As this method, there is a method of first providing a step of washing with water before the washing step, then performing the washing step B, and then providing a step of washing with water further. The temperature of the solvent in the said washing process at this time becomes like this. Preferably it is 0-100 degreeC, More preferably, it is the range of 5-50 degreeC. The washing time is preferably in the range of 1 to 1000 seconds, more preferably 3 to 600 seconds. The usage-amount of a solvent becomes like this. Preferably it is 1-500L per 1m <2> of copper foils, More preferably, it is the range of 3-50L.

본 발명에 있어서는 상기 세정공정에 의해서 동박표면에 존재하는 유기표면 처리제의 양을 조정함으로써 동장적층판으로 했을 경우의 폴리이미드 수지와의 접착력을 보다 향상시킬 수 있다. 유기표면 처리제로서는 상기한 아미노기와 티올기를 관능기로서 가지는 복소환 화합물을 사용했을 경우, 그 동박상의 존재량은 에너지분산형X선(EDX) 분석장치(Horiba사 제품)를 사용해, 가압속도는 10kV, 방출(emission) 전류는 10.0μA, 수집시간은 600초의 측정조건으로서 동박표면을 측정했을 경우에 검출되는 유황농도의 범위가 0.05~0.5wt%인 것이 바람직하고, 0.1~0.4wt%인 것이 보다 바람직하다. 다른 관점에서는 통상의 방법(세정처리 없음)으로 유기표면 처리제를 사용해 표면처리한 경우의 유기표면 처리제의 존재량 A와, 유기표면 처리제를 용해하는 유기용제를 사용하여 유기표면 처리제로 표면처리한 표면층을 부분적으로 용해세정 처리하는 세정공정을 얻은 후의 유기표면 처리제의 존재량 B가, B/A=0.12~0.8, 바람직하게는 0.2~0.6이 되는 범위로 하는 것이 좋다. 여기서 유기표면 처리제의 존래량은 티올, 아민 등의 관능기 중의 S, N 등의 원소를 EDX 분석함으로써 계산된다. 유기표면 처리제의 농도(티올기를 관능기로서 가지는 표면처리제를 사용한 경우는 유황농도)의 범위가 상기 범위에서 벗어나면 동박과 수지층과의 접착력의 확보가 어려워진다. In this invention, the adhesive force with the polyimide resin at the time of forming a copper clad laminated board can be improved further by adjusting the quantity of the organic surface treating agent which exists in the copper foil surface by the said washing process. When the heterocyclic compound having an amino group and a thiol group as a functional group was used as the organic surface treatment agent, the amount of copper foil present was 10 kV, using an energy dispersive X-ray (EDX) analyzer (manufactured by Horiba). The emission current is 10.0 μA, and the collection time is 600 seconds. It is preferable that the range of sulfur concentration detected when the copper foil surface is measured is 0.05 to 0.5 wt%, more preferably 0.1 to 0.4 wt%. Do. From another viewpoint, the surface layer surface-treated with the organic surface treatment agent using the amount A of the organic surface treatment agent in the case of surface treatment using the organic surface treatment agent by a conventional method (no cleaning treatment), and the organic solvent dissolving the organic surface treatment agent. The amount B of the organic surface treatment agent obtained after the washing step of partially dissolving and washing the solution is preferably set to be in a range of B / A = 0.12 to 0.8, preferably 0.2 to 0.6. Here, the amount of the organic surface treatment agent is calculated by EDX analysis of elements such as S and N in functional groups such as thiol and amine. If the range of the concentration of the organic surface treatment agent (the sulfur concentration in the case of using the surface treatment agent having a thiol group as a functional group) is out of the above range, it becomes difficult to secure the adhesive force between the copper foil and the resin layer.

다음으로 이와 같이 해서 표면처리된 동박은 동박상에 폴리이미드 전구체 필름을 밀착시키는 밀착적층공정(밀착적층공정 C라고도 함)에 맡겨진다. Next, the copper foil surface-treated in this way is entrusted to the adhesion lamination process (also called adhesion lamination process C) which makes a polyimide precursor film adhere on a copper foil.

밀착적층공정 C에서는 상기와 같이 해서 얻어진 표면처리동박상에, 폴리이미드 수지의 전구체 필름을 밀착해 적층한다. 여기서 수지의 전구체 필름으로서는 폴리아믹산을 포함하는 바니스를 가열건조함으로써 작성한 폴리이미드 전구체 필름이 바람직하다. 그 후, 열처리에 의해 폴리이미드 전구체를 이미드화하는 이미드화 공정에 맡겨져 동박상에 폴리이미드 수지층이 형성된 적층체로 하는 것이 좋다.In the adhesion lamination process C, the precursor film of a polyimide resin adheres and laminates on the surface-treated copper foil obtained as mentioned above. As a precursor film of resin here, the polyimide precursor film created by heat-drying the varnish containing polyamic acid is preferable. Then, it is good to set it as the laminated body by which it was entrusted to the imidation process which imidates a polyimide precursor by heat processing, and the polyimide resin layer was formed on copper foil.

폴리아믹산을 포함하는 바니스는 일반적으로 산 성분으로서 테트라카르본산 또는 그 산무수물을 사용하고, 아민성분으로서 디아민 화합물을 사용해, 양자를 무수의 조건하, 유기극성 용매 중, 0~100℃에서 축중합함으로써 합성된다. 또한 이 폴리이미드 전구체에 아크릴로일기를 도입한 전구체나, o-니트로벤질에스테르기를 도입한 감광성 폴리이미드 전구체를 사용할 수도 있다. 감광성 폴리이미드 전구체에는 필요에 따라서 광중합개시제, 광증감제, 가교조제 등을 함유해도 좋다.Varnishes containing polyamic acid generally use tetracarboxylic acid or its acid anhydride as the acid component, and diamine compounds as the amine component, and both of them are condensation-polymerized at 0 to 100 ° C in an organic polar solvent under anhydrous conditions. It is synthesize | combined by doing. Moreover, the precursor which introduce | transduced the acryloyl group into this polyimide precursor, and the photosensitive polyimide precursor which introduce | transduced o-nitrobenzyl ester group can also be used. The photosensitive polyimide precursor may contain a photoinitiator, a photosensitizer, a crosslinking aid, etc. as needed.

폴리이미드 전구체 용액의 원료로서 사용되는 디아민 화합물로서는 예를 들면 파라페닐렌디아민, 메타페닐렌디아민, 2,4-디아미노톨루엔, 1,3-비스-(3-아미노페녹시)벤젠, 4,4'-디아미노-2'-메톡시벤즈아닐리드, 3,4'-디아미노디페닐에테르, 4,4'-디아미노-2,2'-디메틸비페닐, 4,4'-디아미노디페닐에테르, 2,2'-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판, 4,4'-비스(3-아미노페녹시)비페닐, 4,4'-디아미노디페닐프로판, 3,3'-디아미노벤조페논, 4,4'-디아미노디페닐설피드 등을 들 수 있다. 이들의 디아민 화합물은 각각 단독으로 혹은 2종 이상을 조합시켜서 사용할 수 있다.As a diamine compound used as a raw material of a polyimide precursor solution, it is paraphenylenediamine, metaphenylenediamine, 2, 4- diamino toluene, 1, 3-bis- (3-aminophenoxy) benzene, 4, 4'-diamino-2'-methoxybenzanilide, 3,4'-diaminodiphenylether, 4,4'-diamino-2,2'-dimethylbiphenyl, 4,4'-diaminodi Phenylether, 2,2'-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 4,4'-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 4,4'-diaminodiphenylpropane, 3,3'- diamino benzophenone, 4,4'- diamino diphenyl sulfide, etc. are mentioned. These diamine compounds can be used individually or in combination of 2 types or more, respectively.

또한 테트라카르본산 또는 그 산무수물로서는 예를 들면 피로멜리트산이무수물, 3,4,3',4'-벤조페논테트라카르본산이무수물, 3,4,3',4'-디페닐설폰테트라카르본산이무수물, 무수트리멜리트산테트라카르본산계이무수물, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르본산이무수물, 4,4'-옥시디프탈산이무수물 등을 들 수 있다. 이들은 각각 단독으로 혹은 2종 이상을 조합시켜 사용할 수 있다.Moreover, as tetracarboxylic acid or its acid anhydride, a pyromellitic dianhydride, 3,4,3 ', 4'- benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,4,3', 4'- diphenyl sulfontetra Carboxylic dianhydride, trimellitic anhydride tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 4,4'- oxydiphthalic dianhydride, and the like. These can be used individually or in combination of 2 types or more, respectively.

폴리이미드 전구체 용액에 사용하는 유기용매로서는 예를 들면, N-메틸피롤리돈(NMP), 디메틸포름아미드(DMF), 디메틸아세트아미드(DMAc), 디메틸설폭사이드(DMSO), 황산디메틸, 설포란, 부틸로락톤, 크레졸, 페놀, 할로겐화페놀, 시클로헥산, 디옥산, 테트라히드로푸란, 디글라임, 트리글라임 등을 사용할 수 있다. 이들의 용제는 각각 단독으로 혹은 2종 이상을 조합시켜서 사용할 수 있다. 이들 중에서도 DMAc나 NMP 등이 특히 바람직하다. 용제의 사용량은 각 성분을 균일하게 용 해하기에 충분한 양으로 한다.Examples of the organic solvent used for the polyimide precursor solution include N-methylpyrrolidone (NMP), dimethylformamide (DMF), dimethylacetamide (DMAc), dimethyl sulfoxide (DMSO), dimethyl sulfate, and sulfolane. , Butyrolactone, cresol, phenol, halogenated phenol, cyclohexane, dioxane, tetrahydrofuran, diglyme, triglyme and the like can be used. These solvents can be used individually or in combination of 2 or more types, respectively. Among these, DMAc, NMP, etc. are especially preferable. The amount of solvent used is sufficient to dissolve each component uniformly.

폴리이미드 전구체의 필름은 폴리아믹산을 포함하는 바니스를 가열건조함으로써 작성한다. 이 경우, 가열건조의 조건은 저온에서는 필름의 형성이 어렵고, 고온에서는 폴리아믹산이 이미드화해, 접착성이 현저하게 저하하기 때문에, 100~200℃에서 1~20분이 바람직하고, 보다 바람직하게는 110~160℃에서 1~10분이다. 이 필름은 용제를 함유해도 좋고, 함유량은 중량백분율로 5~70%, 바람직하게는 10~60%이다. 폴리이미드 전구체의 필름 두께는 10~200㎛이며, 바람직하게는 20~100㎛이다.The film of a polyimide precursor is created by heat-drying the varnish containing a polyamic acid. In this case, since the conditions of heat drying are difficult to form a film at low temperature, the polyamic acid imides at high temperature, and adhesiveness falls remarkably, 1 to 20 minutes are preferable at 100-200 degreeC, More preferably, It is 1 to 10 minutes at 110-160 degreeC. This film may contain a solvent, and content is 5 to 70% by weight percentage, Preferably it is 10 to 60%. The film thickness of a polyimide precursor is 10-200 micrometers, Preferably it is 20-100 micrometers.

밀착적층공정 C에 있어서는 표면처리동박상에 폴리이미드 전구체의 필름을 밀착한다. 이 경우의 밀착방법은 라미네이트법이 바람직하다. 라미네이트 조건은 압력 0.1~1.5MPa, 라미네이트 온도 60~200℃, 라미네이트 시간 1~1000초인 것이 바람직하고, 특히 바람직하게는 압력 0.5~1.2MPa, 라미네이트 온도 80~180℃, 라미네이트 시간 30~600초이다. 라미네이트에 있어서는 버치식이라도 좋고, 연속적으로 라미네이트를 행하는 롤투롤방식이라도 좋고, 그 방법은 한정되지 않는다.In the adhesion lamination step C, the film of the polyimide precursor is adhered to the surface-treated copper foil. In this case, the laminating method is preferable. It is preferable that lamination conditions are pressure 0.1-1.5 MPa, lamination temperature 60-200 degreeC, lamination time 1-1000 second, Especially preferably, pressure is 0.5-1.2 MPa, lamination temperature 80-180 degreeC, lamination time 30-600 second. . In lamination, a birch type may be sufficient and the roll-to-roll system which laminates continuously may be sufficient, The method is not limited.

밀착적층공정 C에 의해 표면처리동박상에 폴리이미드 전구체의 필름을 밀착한 후, 폴리이미드 전구체층을 이미드화를 위해서 가열하는 아미드화 공정을 행한다. 이 경우의 경화조건은 온도 120~420℃, 1~300분인 것이 바람직하고, 특히 바람직하게는 130~380℃로 3~30분이다. 용매의 건조 및 경화에 있어서는 단계적으로 온도를 올려서 행하는 버치식이라도 좋고, 연속적으로 온도를 올려서 행하는 연속경화식이라도 좋고, 그 방법은 한정되지 않는다.After the film of a polyimide precursor adhere | attaches on the surface-treated copper foil by the adhesion lamination process C, the amidation process which heats a polyimide precursor layer for imidation is performed. In this case, the curing conditions are preferably 120 to 420 ° C for 1 to 300 minutes, particularly preferably 3 to 30 minutes at 130 to 380 ° C. In drying and hardening of a solvent, the birch type which raises temperature in steps may be sufficient, and the continuous hardening type which raises temperature continuously may be sufficient and the method is not limited.

본 발명의 동장적층판의 제조방법에 의해서 얻어지는 적층판은 폴리이미드층 의 편면 또는 양면에 동박을 가지고, 폴리이미드층의 바람직한 두께 범위는 3~100㎛, 보다 바람직하게는 10~50㎛의 범위이다. 양면에 동박을 가지는 동장적층판은 편면에 동박을 가지는 편면 동장적층판을 제조한 후, 2장의 편면 동장적층판의 폴리이미드를 겹쳐서 가열압착하거나, 편면 동장적층판의 폴리이미드층에 동박을 겹쳐서 가열압착하거나 함으로써 제조할 수 있다.The laminated board obtained by the manufacturing method of the copper clad laminated board of this invention has copper foil on the single side | surface or both surfaces of a polyimide layer, The preferable thickness range of a polyimide layer is 3-100 micrometers, More preferably, it is the range of 10-50 micrometers. The copper clad laminate having copper foil on both sides is manufactured by manufacturing a single-sided copper clad laminate having copper foil on one side, and then hot pressing by overlapping the polyimide of two single copper clad laminated sheets, or by hot pressing the copper foil on the polyimide layer of the single-side copper clad laminate. It can manufacture.

<실시예><Example>

이하 본 발명의 실시예에 대해서 서술한다. 또한 이하의 실시예에 있어서 특히 제한이 없는 한 각종 측정, 평가는 하기에 의한 것이다.Hereinafter, the Example of this invention is described. In addition, unless otherwise indicated in the following Examples, various measurements and evaluation are based on the following.

[동박표면 유황농도의 측정][Measurement of Copper Surface Sulfur Concentration]

에너지분산형X선(EDX) 분석장치(Horiba사 제품)를 사용해 분석을 행하였다. 가속전압은 10kV, 에미션 전류는 10.0μA, 수집시간은 600초의 조건에서 측정하였다. 동박표면의 유황농도는 검출되는 전체 원자의 질량에 대한 유황원자의 질량을 백분율로 나타내는 값이다.The analysis was performed using an energy dispersive X-ray (EDX) analyzer (Horiba). The acceleration voltage was measured at 10 kV, the emission current was 10.0 μA, and the collection time was 600 seconds. The sulfur concentration on the surface of copper foil is a value representing the mass of sulfur atoms as a percentage of the mass of all atoms detected.

[접착력의 평가][Evaluation of Adhesion]

금속박과 폴리이미드계 수지층과의 사이의 접착력은 동박상에 폴리이미드계 수지층을 형성한 후, 프레스기를 사용하여 폭 10mm의 정사각형으로 절단하고, 토요세이키사 제품 STROGRAPH V1를 사용해 동박을 180℃방향으로 떼어내기 측정하였다.The adhesive force between the metal foil and the polyimide resin layer is formed by forming a polyimide resin layer on the copper foil, then cut into a square of 10 mm width using a press machine, and the copper foil is 180 ° C using STROGRAPH V1 manufactured by Toyo Seiki Co., Ltd. Detachment in the direction was measured.

[폴리아믹산 필름의 용제 함유량의 평가][Evaluation of Solvent Content of Polyamic Acid Film]

시차열 열중량 동시측정장치 SSC/5200(Seiko Instruments사 제품)을 사용하여 폴리아믹산 필름의 중량감소를 측정하였다. 폴리아믹산 필름의 용제 함유량은 100℃에서 400℃까지의 중량감소의 비율을 백분율로 표시한 값이다.The weight loss of the polyamic acid film was measured using a differential thermal gravimetric simultaneous measuring apparatus SSC / 5200 (manufactured by Seiko Instruments). Solvent content of a polyamic-acid film is the value which expressed the ratio of the weight loss from 100 degreeC to 400 degreeC in percentage.

합성예 1Synthesis Example 1

실시예에서 사용한 폴리아믹산을 포함하는 바니스는 다음과 같이 해서 조제하였다. 삼구플라스크에 디메틸아세트아미드를 425g, 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐을 31.8g 및 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠을 4.9g을 첨가해, 실온에서 30분 교반하였다. 그 후, 피로멜리트산이무수물 28.6g 및 비페닐-3,4,3',4'-테트라카르본산이무수물을 첨가해 질소분위기하, 실온에서 3시간 교반하였다. 점도를 측정한 결과, 30℃에서 28000cps이였다.The varnish containing the polyamic acid used in the Example was prepared as follows. 425 g of dimethylacetamide, 31.8 g of 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, and 4.9 g of 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene were added to a three-necked flask, and room temperature Stirred for 30 min. Then, 28.6 g of pyromellitic dianhydride and biphenyl-3,4,3 ', 4'- tetracarboxylic dianhydride were added, and it stirred at room temperature for 3 hours under nitrogen atmosphere. The viscosity was measured and found to be 28000 cps at 30 ° C.

합성예 2Synthesis Example 2

이형제가 도포된 PET필름에, 합성예 1에서 조제한 폴리아믹산을 포함하는 바니스를 두께 약 400㎛로 도포해, 120℃에서 2분간 가열건조함으로써 폴리이미드 전구체 필름을 작성하였다. 폴리이미드 전구체 필름의 두께는 56㎛이며, 용제 함유량은 40%였다.The varnish containing the polyamic acid prepared in the synthesis example 1 was apply | coated to the PET film to which the mold release agent was apply | coated to thickness of about 400 micrometers, and the polyimide precursor film was created by heat-drying at 120 degreeC for 2 minutes. The thickness of the polyimide precursor film was 56 micrometers, and solvent content was 40%.

[실시예 1]Example 1

동박에는 표면처리를 처리하지 않은 미처리전해동박(표면조도: 10점 평균 거칠기=약 0.8㎛, 두께: 18㎛, 20cm×13cm 사각)을 사용하였다. 우선 그 동박표면의 표면산화 피막을 제거하기 위해, 5% 염산수용액(pH<1, 욕온 약 20℃)에 60초간 침지하였다. 부착한 산을 제거하기 위해 이온교환수로 충분하게 세정하고, 압축공기를 불어넣어 건조하였다. 이와 같이 처리한 동박을, 2-아미노-1,3,5-트리아진-4,6-디티올 160mg을 메탄올 1L에 용해한 유기표면 처리제를 용해한 처리액(욕온 약 20 ℃)에 30초간 침지해 표면처리를 행하고, 일단 공기 중에 끌어올려, 여분의 액을 빼냈다. 다음으로 이온교환수 750mL(욕온 약 20℃)에 60초간 침지하고, 그 후 압축공기를 약 15초 불어넣어 건조하였다(제1세정). 나아가 동박표면에 부착한 여분의 유기표면 처리제를 세정하기 위해서, 메탄올 750mL(욕온 약 20℃)에 이 동박을 60초간 침지해 세정하고(제2세정), 다음으로 이온교환수 750mL(욕온 약 20℃)에 60초간 침지해, 그 후 압축공기를 약 15초 불어넣어 건조하여(제3세정), 표면처리동박 A를 얻었다.Untreated electrolytic copper foil (surface roughness: 10-point average roughness = about 0.8 micrometer, thickness: 18 micrometers, 20 cm x 13 cm square) was used for the copper foil. First, in order to remove the surface oxide film of the copper foil surface, it was immersed in 5% hydrochloric acid aqueous solution (pH <1, bath temperature about 20 degreeC) for 60 second. In order to remove the adhered acid, it was sufficiently washed with ion-exchanged water, blown with compressed air and dried. The copper foil thus treated was immersed in a treatment liquid (bath temperature of about 20 ° C.) for 30 seconds in which an organic surface treatment agent in which 160 mg of 2-amino-1,3,5-triazine-4,6-dithiol was dissolved in 1 L of methanol was dissolved. Surface treatment was carried out, and it was once pulled up in air and the excess liquid was taken out. Next, it was immersed in 750 mL of ion-exchanged water (bath temperature of about 20 degreeC) for 60 second, and then compressed air was blown for about 15 second, and it dried (1st washing). Furthermore, in order to wash | clean the excess organic surface treatment agent which adhered to the copper foil surface, this copper foil was immersed for 60 second in 750 mL of methanol (bath temperature about 20 degreeC), and it wash | cleans (second wash), and then 750 mL of ion-exchange water (about 20 bath temperature) Immersed in 60 ° C. for 60 seconds, and then compressed air was blown for about 15 seconds to dry (third wash) to obtain a surface-treated copper foil A.

이 표면처리동박 A의 동박표면에 있어서의 전체 원자의 질량에 대한 유황원자의 질량의 비율은 0.22%이였다.The ratio of the mass of sulfur atoms to the mass of all atoms in the copper foil surface of this surface-treated copper foil A was 0.22%.

표면처리동박 A에, 합성예 2에서 조제한 폴리이미드 전구체 필름을 압력 1MPa, 온도 150℃, 시간 300초에서 라미네이트하고, 그 후 130℃에서 가열처리 후, 최종온도 360℃에서 3분간 가열 경화함으로써 폴리이미드의 피막으로서 폴리이미드와 동박의 2층으로 이루어지는 동장적층판을 제작하였다. 여기서 폴리이미드 피막의 두께는 약 25㎛이였다.The polyimide precursor film prepared in Synthesis Example 2 was laminated to the surface-treated copper foil A at a pressure of 1 MPa, a temperature of 150 ° C. and a time of 300 seconds, and after the heat treatment at 130 ° C., the resin was heat cured at a final temperature of 360 ° C. for 3 minutes. As a film | membrane of mid | medium, the copper clad laminated board which consists of two layers of polyimide and copper foil was produced. The thickness of the polyimide film was about 25 micrometers here.

얻어진 동장적층판에 대해서 프레스기를 사용해서 폭 10mm의 직사각형으로 절단해 실온에서 180도, 10mm필강도(peel strength)를 인장시험기를 사용해 측정함으로써 접착력을 평가한 결과, 접착력은 0.94kN/m였다.The obtained copper clad laminate was cut into a rectangle having a width of 10 mm using a press machine, and the adhesive force was evaluated by measuring a 180 mm and 10 mm peel strength at room temperature using a tensile tester. As a result, the adhesive force was 0.94 kN / m.

[실시예 2]Example 2

2-아미노-1,3,5-트리아진-4,6-디티올 80mg을 메탄올 1L에 용해한 유기표면 처리제를 용해한 처리액을 사용한 이외는 실시예 1과 동일하게 행하고, 표면처리동 박 B를 얻어, 실시예 1과 동일하게 해서 접착력을 측정하였다.A surface-treated copper foil B was prepared in the same manner as in Example 1 except that 80 mg of 2-amino-1,3,5-triazine-4,6-dithiol was dissolved in an organic surface treatment agent dissolved in 1 L of methanol. Obtained and carried out similarly to Example 1, and measured adhesive force.

[실시예 3]Example 3

2-아미노-1,3,5,-트리아진-4,6-디티올의 대신에, 4,5-디아미노-2,6-디메르캅토피리미딘 174mg을 메탄올 1L에 용해한 유기표면 처리제를 용해한 처리액을 사용한 이외는 실시예 1과 동일하게 행하고, 표면처리동박 C를 얻어 실시예 1과 동일하게 해서 접착력을 측정하였다.An organic surface treatment agent in which 174 mg of 4,5-diamino-2,6-dimercaptopyrimidine was dissolved in 1 L of methanol instead of 2-amino-1,3,5, -triazine-4,6-dithiol Except having used the process liquid which melt | dissolved, it carried out similarly to Example 1, obtained surface-treated copper foil C, carried out similarly to Example 1, and measured the adhesive force.

[실시예 4]Example 4

2-아미노-1,3,5-트리아진-4,6-디티올의 대신에, 5-아미노-1,3,4-티아졸-2-티올 150mg을 메탄올 1L에 용해한 유기표면 처리제를 용해한 처리액을 사용한 이외는 실시예 1과 동일하게 행하고, 표면처리동박 D를 얻어 실시예 1과 동일하게 해서 접착력을 측정하였다.Instead of 2-amino-1,3,5-triazine-4,6-dithiol, 150 mg of 5-amino-1,3,4-thiazole-2-thiol dissolved in 1 L of methanol was dissolved. Except having used the processing liquid, it carried out similarly to Example 1, obtained surface-treated copper foil D, and carried out similarly to Example 1, and measured the adhesive force.

비교예 1Comparative Example 1

동박을, 2-아미노-1,3,5-트리아진-4,6-디티올 320mg을 메탄올 1L에 용해한 유기표면 처리제를 용해한 처리액(욕온 약 20℃)에 30초간 침지하여 표면처리를 행한 후에, 세정처리로서 (제1세정)만을 행하고, 메탄올세정(제2세정) 및 제3세정을 행하지 않았던 이외는 실시예 1과 동일하게 행하였다. 이 표면처리동박의 동박표면에 있어서의 전체 원자의 질량에 대한 유황원자의 질량의 비율은 0.69%이였다. 결과를 표 1에 나타낸다.The copper foil was immersed for 30 seconds in a treatment solution (bath temperature of about 20 ° C.) in which an organic surface treatment agent in which 320 mg of 2-amino-1,3,5-triazine-4,6-dithiol was dissolved in 1 L of methanol was subjected to surface treatment. Subsequently, only (first cleaning) was performed as a washing | cleaning process, and it carried out similarly to Example 1 except not having performed methanol washing (2nd washing) and 3rd washing. The ratio of the mass of sulfur atoms to the mass of all atoms in the copper foil surface of this surface-treated copper foil was 0.69%. The results are shown in Table 1.

비교예 2Comparative Example 2

동박에 대해서 유기표면 처리제(2-아미노-1,3,5-트리아진-4,6-디티올)를 함 유하는 처리액에 의한 표면처리를 행하지 않았던 이외는 실시예 1과 동일하게 행하였다. 이 표면처리동박의 동박표면에 있어서의 전체 원자의 질량에 대한 유황원자의 질량의 비율은 0.00%이였다. 결과를 표 1에 나타낸다.It carried out similarly to Example 1 except not having surface-treated with the processing liquid containing the organic surface treating agent (2-amino-1,3,5-triazine-4,6-dithiol) with respect to copper foil. . The ratio of the mass of sulfur atoms to the mass of all atoms in the copper foil surface of this surface-treated copper foil was 0.00%. The results are shown in Table 1.

동장적층판Copper clad laminate 동박표면의 유황농도(%)Sulfur concentration on the surface of copper foil (%) 접착력(kN/m)Adhesive force (kN / m) 실시예 1Example 1 0.220.22 0.940.94 실시예 2Example 2 0.180.18 0.900.90 실시예 3Example 3 0.250.25 0.680.68 실시예 4Example 4 0.340.34 0.800.80 비교예 1Comparative Example 1 0.690.69 0.400.40 비교예 2Comparative Example 2 0.000.00 0.500.50

본 발명에 의하면 종래, 접착력 향상을 위해서 행해지고 있었던 동박으로의 조화처리 및 금속처리를 필요로 하지 않고 동박과 폴리이미드를 라미네이트법에 의해 밀착할 수 있고, 접착성에 뛰어나며, 파인피치 형성에 적합한 고밀도의 프린트배선판에 사용되는 동장적층판의 제조가 가능해지며, 그 공업적 가치는 높은 것이다.ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, copper foil and polyimide can be adhere | adhered by the laminating method, without the need of the roughening process and metal processing to copper foil conventionally performed for the improvement of adhesive force, and are excellent in adhesiveness, and are high density suitable for fine pitch formation. It is possible to manufacture copper clad laminates used in printed wiring boards, and their industrial value is high.

Claims (9)

동박을, 1종 이상의 관능기를 가지고, 동박과 수지층과의 접착력을 향상시키는 기능을 가지는 유기표면 처리제를 용해한 처리액으로 표면처리하는 표면처리공정;A surface treatment step of surface treating the copper foil with a treatment liquid in which at least one functional group has dissolved an organic surface treatment agent having a function of improving adhesion between the copper foil and the resin layer; 상기 유리표면 처리제를 용해 가능한 유기용제를 사용해, 유기표면 처리제의 표면층을 부분적으로 용해 제거하는 세정공정; 및A washing step of partially dissolving and removing the surface layer of the organic surface treatment agent using an organic solvent that can dissolve the glass surface treatment agent; And 표면처리가 시행된 동박상에, 폴리이미드 수지의 전구체의 필름을 밀착하는 밀착적층공정;An adhesion lamination step of bringing the film of the precursor of the polyimide resin into close contact with the copper foil subjected to the surface treatment; 으로 이루어진 것을 특징으로 하는 동장적층판의 제조방법.Method for producing a copper clad laminate, characterized in that consisting of. 제 1항에 있어서, 상기 밀착적층공정 다음으로, 이미드화공정을 가지는 것을 특징으로 하는 동장적층판의 제조방법.The method for manufacturing a copper clad laminate according to claim 1, further comprising an imidization step after the adhesion lamination step. 제 1항에 있어서, 상기 표면처리공정을 행하기 전에, 동박을 산수용액으로 소프트에칭(soft etching)하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 동장적층판의 제조방법.The method for manufacturing a copper clad laminate according to claim 1, further comprising a step of soft etching copper foil with an acid solution before performing the surface treatment step. 제 3항에 있어서, 상기 소프트에칭에 사용하는 산수용액은 pH 2 이하인 것을 특징으로 하는 동장적층판의 제조방법. The method of claim 3, wherein the acid aqueous solution used for the soft etching is pH 2 or less. 제 1항에 있어서, 상기 세정공정에 사용하는 유기용제는 탄소수 1~8의 알코올류, 탄소수 3~6의 케톤류, 탄소수 4~12의 에테르류, 탄소수 3~7의 에스테르류, 탄소수 3~6의 아미드류, 탄소수 2의 설폭시드 화합물, 탄소수 1~6의 함할로겐 화합물 및 탄소수 4~8의 탄화수소 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 유기용제인 것을 특징으로 하는 동장적층판의 제조방법.The organic solvent according to claim 1, wherein the organic solvent used in the washing step is a C1-8 alcohol, a C3-6 ketone, a C4-12 ether, a C3-7 ester, or a C3-6 A method for producing a copper clad laminate comprising at least one organic solvent selected from the group consisting of amides, a sulfoxide compound having 2 carbon atoms, a halogen containing compound having 1 to 6 carbon atoms and a hydrocarbon compound having 4 to 8 carbon atoms. 제 5항에 있어서, 상기 세정공정에 사용하는 유기용제가, 메탄올, 에탄올, 프로판올, 이소프로판올, 부탄올, 테트라히드로푸란, 초산에틸, 초산부틸, 아세톤, 메틸에틸케톤, 시클로헥사논, 디에틸에테르, 디메틸설폭시드, 디메틸아세트아미드, 디메틸포름아미드, 톨루엔, 헥산 및 디클로로메탄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 유기용제인 것을 특징으로 하는 동장적층판의 제조방법. The organic solvent used in the washing step is methanol, ethanol, propanol, isopropanol, butanol, tetrahydrofuran, ethyl acetate, butyl acetate, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, diethyl ether, A dimethyl sulfoxide, dimethyl acetamide, dimethylformamide, toluene, hexane and dichloromethane, at least one organic solvent selected from the group consisting of a method for producing a copper clad laminate. 제 1항에 있어서, 상기 세정공정에 있어서의 유기용제에 의한 세정이, 0~50℃의 용액온도에서 3~600초간 행해지는 것을 특징으로 하는 동장적층판의 제조방법.The method for manufacturing a copper clad laminate according to claim 1, wherein the washing with the organic solvent in the washing step is performed for 3 to 600 seconds at a solution temperature of 0 to 50 ° C. 제 1항에 있어서, 상기 유기표면 처리제가 관능기로서 아미노기를 가지는 화합물인 것을 특징으로 하는 동장적층판의 제조방법. The method for producing a copper clad laminate according to claim 1, wherein the organic surface treating agent is a compound having an amino group as a functional group. 제 1항에 있어서, 상기 유기표면 처리제가 관능기로서 아미노기와 티올기를 가지는 복소환 화합물인 것을 특징을 하는 동장적층판의 제조방법.The method for producing a copper clad laminate according to claim 1, wherein the organic surface treating agent is a heterocyclic compound having an amino group and a thiol group as a functional group.
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