KR100806211B1 - A structure of utility multi system - Google Patents

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KR100806211B1
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김용재
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주식회사 비비테크
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Abstract

A structure of a utility multi-system is provided to manage a supply line of a helium gas and air to be used in various devices by installing the system in a production apparatus and assembling site. An upper side portion(10) forms an upper plate of a utility multi-system, and a pressure gauge and a regulator for a supply gas protruding from a display unit(20). A front side portion(30) is opened at a front side of the utility multi-system to inspect an interior of the multi-system. A magnet for attaching a door is installed at a lateral portion(40), and a rear side portion(50) has a carry handle. A bottom portion(60) includes moving casters. The display portion has a helium line main valve supplying a helium gas and a helium pressure gauge measuring pressure of the helium gas.

Description

유틸리티 멀티 시스템의 구조{A STRUCTURE OF UTILITY MULTI SYSTEM}A STRUCTURE OF UTILITY MULTI SYSTEM

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유틸리티 멀티 시스템의 구조를 정면에서 도시한 구조도. 1 is a front view showing the structure of a utility multi-system according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유틸리티 멀티 시스템의 구조의 정면 내부 구조를 도시한 설명도.2 is an explanatory diagram showing a front internal structure of the structure of the utility multi-system according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유틸리티 멀티 시스템의 구조를 배면에서 도시한 구조도.Figure 3 is a structural diagram showing the structure of the utility multi-system according to an embodiment of the present invention from the back.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유틸리티 멀티 시스템의 구조의 배면 내부 구조를 도시한 설명도.4 is an explanatory diagram showing a rear internal structure of a structure of a utility multi-system according to an embodiment of the present invention;

도 5는 본 발명의 타 실시예에 따른 유틸리티 멀티 시스템의 구조를 도시하는 사진.5 is a photograph showing the structure of a utility multi-system according to another embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유틸리티 멀티 시스템의 구조를 도시하는 사진.6 is a photograph showing a structure of a utility multi-system according to an embodiment of the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10: 상면부 20: 표시부10: upper surface portion 20: display portion

22: 헬륨 라인 메인 밸브 24: 헬륨(HE) 레귤레이터22: helium line main valve 24: helium (HE) regulator

26: 에어(air) 레귤레이터 27: 헬륨 압력 게이지26: air regulator 27: helium pressure gauge

28: 에어 압력 게이지 30: 전면부28: air pressure gauge 30: front

31: 개폐 손잡이 32:헬륨 라인 인출구31: opening and closing handle 32: helium line outlet

33: 투시창(view port) 34: 에어 라인 인출구33: view port 34: air line outlet

36: 전원 라인 인출구 38: 건(Gun) 브라켓36: Power line outlet 38: Gun bracket

39: 수납장 40: 측면부39: cabinet 40: side

42: 도어 부착용 자석 44: 힌지(hinge)42: magnet for door attachment 44: hinge

50: 배면부 51: 헬륨/에어라인 관통 홀50: rear part 51: helium / airline through hole

52: 이동용 핸들 53: 전원부 연결 라인 관통 홀52: handle for movement 53: power connection line through hole

54: 전원 라인 연결구(Noise filter) 56: 에어 라인 연결구54: power line connector 56: air line connector

55: 미들 플레이트 (Middle Plate) 58: 헬륨 라인 연결구 55: Middle Plate 58: Helium Line Connector

60: 저면부 100: 유틸리티 멀티 시스템60: bottom part 100: utility multi system

본 발명은 유틸리티 멀티 시스템의 구조에 관한 것으로, 특히 생산 공정에서 사용되고 있는 가스의 누출이나 압력, 또는 전원공급 및 부품 클리닝에 필요한 장치를 통합하는 구조를 갖는 유틸리티 멀티 시스템의 구조에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the structure of a utility multi-system, and more particularly to the structure of a utility multi-system having a structure incorporating a device for leaking or pressure of gas used in a production process or for power supply and component cleaning.

일반적으로, 반도체 및 전자기기 등의 생산공정에서는 생산되는 제품의 종류 및 특성에 따라 가스의 공급, 공급되는 가스압력의 측정, 전원 및 부품 클리닝에 대하여 개별 장비 별 또는 라인 별로 공급이 이루어지고 있다. In general, in the production process of semiconductors and electronic devices, the supply of gas, the measurement of the gas pressure to be supplied, the power supply and the component cleaning are provided by individual equipment or by line according to the type and characteristics of the produced product.

구체적으로, 각 라인 베이(Line Bay)마다 장비의 클리닝(Cleaning), 예방정비(P.M.), 정비(Maintanance)를 위해서는 라인 수 만큼의 복수의 가스(여기에서는 헬륨가스(HE), 질소가스(N2), 공기(air)) 공급 장치와 전원라인, 및 클리닝 장치 등이 사용되었다. 특히, 질소 가스(N2)는 세정용도로 많이 사용되고 있다. Specifically, for each line bay, a plurality of lines of gas (here, helium gas (HE) and nitrogen gas (N) are used for cleaning, preventive maintenance (PM), and maintenance). 2 ), air supply device, power line, and cleaning device were used. In particular, nitrogen gas (N 2 ) is widely used for cleaning purposes.

그런데, 이러한 종래의 장치로서는 생산 및 조립라인이 대형화되고 장치가 정밀화되는 추세에 있어, 유틸리티 라인의 설치에 따른 시간상의 손실이 막대하였다. However, as such a conventional apparatus, production and assembly lines have become larger in size, and the apparatus has become more precise, and the loss of time due to the installation of the utility line has been enormous.

또, 복수개의 유틸리티를 설치하는 데에 따른 비용이 증대되는 문제점도 있었고, 정밀한 생산 설비의 배치에 따른 정리 정돈의 문제점 및 고장 발생의 원인이 되기도 하였다. In addition, there was a problem that the cost of installing a plurality of utilities increased, and also caused the problem of arrangement and trouble caused by the precise arrangement of production equipment.

본 발명은 상기와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 복수의 유틸리티를 통합형으로 구성함으로써 별도의 유틸리티 라인 설치에 따른 설치 비용을 절감하고, 설치 시간을 크게 줄이며, 장비의 운용 및 클리닝을 효과적으로 처리할 수 있는 유틸리티 멀티 시스템의 구조를 제공함에 있다. The present invention has been made to solve the above problems, the purpose of which is to configure a plurality of utilities in an integrated manner to reduce the installation cost of the installation of a separate utility line, greatly reducing the installation time, It is to provide a structure of a utility multi-system that can effectively handle the operation and cleaning of equipment.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구조는, 각종 에어, 가스 및 전원을 통합적으로 관리하여 제공하기 위한 유틸리티 멀티 시스템의 구조로서, 유틸리티 멀티 시스템의 상판을 구성하는 상면부(10)와, 공급되는 가스의 압력계 및 레귤레이터가 돌출되어 표시되는 표시부(20)와, 전면에서 개폐가 가능하여 내부를 점검할 수 있는 전면부(30)와, 도어 부착용 자석이 설치된 측면부(40)와, 이동용 핸들을 구비한 배면부(50), 및 이동용 캐스터를 구비한 저면부(60),로 구성함으로써 달성할 수 있다. The structure of the present invention for achieving the above object is a structure of a utility multi-system for integrally managing and providing a variety of air, gas and power, the upper surface portion 10 constituting the top plate of the utility multi-system is supplied, It is provided with a display unit 20 in which a gas pressure gauge and a regulator are protruded, a front part 30 which can be opened and closed from the front, which can inspect the inside, a side part 40 provided with a door mounting magnet, and a moving handle. This can be achieved by forming one back portion 50 and a bottom portion 60 provided with a movable caster.

여기에서, 상기 표시부(20)에는, 상기 유틸리티 멀티 시스템에 공급되는 헬륨(HE) 가스를 공급하기 위한 헬륨 라인 메인 밸브(22)와, 헬륨 가스의 공급량의 조절하기 위한 헬륨(HE) 레귤레이터(24)와, 헬륨가스의 압력을 측정하기 위한 헬륨 압력 게이지(27)가 설치되어 있고; 공기의 투입 및 배출량을 조절하기 위한 에어(air) 레귤레이터(26)와, 에어의 압력을 측정하기 위한 에어 압력 게이지(28);가 함께 구비되어 있는 것이 바람직하다. Here, the display unit 20 includes a helium line main valve 22 for supplying helium (HE) gas supplied to the utility multi-system, and a helium (HE) regulator 24 for adjusting the supply amount of helium gas. ) And a helium pressure gauge 27 for measuring the pressure of helium gas; An air regulator 26 for adjusting the input and discharge of air and an air pressure gauge 28 for measuring the air pressure are preferably provided together.

또, 상기 전면부(30)에는, 그 내부에 헬륨 가스와 에어 및 전원라인을 인출하기 위한 헬륨 라인 인출구(32)와, 에어 라인 인출구(34) 및 전원 라인 인출구(36)가 설치되어 있으며; 그 외부의 상측 부에는 상기 헬륨 가스와 에어를 배출하기 위한 건 노즐(gun nozzle)을 거치하는 건(Gun) 브라켓(38)과, 전원을 인출하는 인출구가 설치되며, 그 외부의 하측 부에는 공구 및 부품 등을 수납할 수 있는 수납장(39)이 설치되어 있는 것으로, 투시창(33)을 통해 내부를 확인할 수 있는 구 조인 것이 바람직하다. In addition, the front part 30 is provided with a helium line outlet 32 for drawing helium gas, air and a power line therein, an air line outlet 34 and a power line outlet 36; A gun bracket 38 for mounting a gun nozzle for discharging the helium gas and air and an outlet for discharging power are provided at an upper side of the outside thereof, and a tool is provided at the lower side of the outside thereof. And it is preferable that the storage cabinet 39 that can accommodate the components and the like is provided, the structure that can confirm the interior through the viewing window 33.

또한, 상기 배면부(50)에는, 상기 유틸리티 멀티 시스템을 사용자가 손으로 잡아서 이동시킬 수 있는 이동용 핸들(52)이 설치되고, 하부에는 전원 라인을 연결하기 위한 전원 라인 연결구(Noise filter)(54)와, 에어 라인을 연결하는 에어 라인 연결구(56), 및 헬륨 가스 라인을 연결하기 위한 헬륨 라인 연결구(58)가 설치되는 구조인 것이 바람직하다. In addition, the rear part 50 is provided with a movement handle 52 that allows the user to grasp and move the utility multi-system by hand, and a power line connector 54 for connecting a power line to a lower portion thereof. And it is preferable that the structure is provided with an air line connector 56 for connecting the air line, and a helium line connector 58 for connecting the helium gas line.

(실시예)(Example)

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하면서 설명하기로 한다. Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 발명에 따른 유틸리티 멀티 시스템의 구조를 정면에서 도시한 구조도이다. 1 is a structural diagram showing the structure of a utility multi-system according to the present invention from the front.

도 1에 도시한 바와 같이 본 발명에 의한 유틸리티 멀티 시스템(100)은 상판을 구성하는 상면부(10)와, 공급되는 가스의 압력계 및 레귤레이터가 표시되는 표시부(20)와, 전면에서 개폐가 가능하여 내부를 점검할 수 있는 전면부(30)와, 도어 부착용 자석이 설치된 측면부(40)와, 이동용 핸들을 구비한 배면부(50) 및 이동용 캐스터를 구비한 저면부(60)로 구성된다. As shown in FIG. 1, the utility multi-system 100 according to the present invention includes an upper surface portion 10 constituting an upper plate, a display portion 20 on which a pressure gauge and a regulator of a gas to be supplied are displayed, and open and close at the front surface. And a front part 30 capable of inspecting the interior thereof, a side part 40 provided with a door attachment magnet, a rear part 50 having a moving handle, and a bottom part 60 having a moving caster.

상면부(10)에는 별도의 장치나 구조를 형성하지는 않지만, 내장되는 밸브 및 레귤레이터 및 게이지 등을 덮는 구성이다. Although the upper surface part 10 does not form a separate apparatus or structure, it is a structure which covers a valve | bulb, a regulator, a gauge, etc. which are embedded.

전면부(30)에는 양측에서 도어를 개폐할 수 있는 개폐 손잡이(31)가 설치되어 있고, 측면부(40)와 힌지(44)를 통해 개폐된다. The front part 30 is provided with an opening / closing handle 31 which can open and close the door at both sides, and is opened and closed via the side part 40 and the hinge 44.

또 측면부(40)에는 금속 고정물체(도시하지 않음)에 부착할 수 있는 도어 부착용 자석(42)이 설치되어 있으며, 양 측면에 모두 설치할 수 있다. In addition, the side portion 40 is provided with a magnet 42 for door attachment that can be attached to a metal fixture (not shown), can be installed on both sides.

또한 배면부(50)에는 리어 커버의 형상을 손으로 잡을 수 있는 형태로 구성한 이동용 핸들(52)이 구비되어 있다. Moreover, the back part 50 is equipped with the movement handle 52 comprised in the form which can hold the shape of a rear cover by hand.

다음으로, 저면부(60)에는 이동성을 확보하기 위한 캐스터(62)가 4 곳의 바닥면에 부착되어 있다. Next, casters 62 for securing mobility are attached to the bottom surfaces of the four bottom surfaces 60.

도 2는 본 발명에 따른 유틸리티 멀티 시스템의 구조의 정면 내부 구조를 도시한 설명도이다. 2 is an explanatory diagram showing a front internal structure of the structure of the utility multi-system according to the present invention.

도 2에서 전면부(20)의 내부구조를 도시하고 있는데, 장치에 공급되는 헬륨(HE) 가스를 공급하기 위한 헬륨 라인 메인 밸브(22)와, 헬륨 가스의 공급량의 조절하기 위한 헬륨(HE) 레귤레이터(24)와 헬륨가스의 압력을 측정하기 위한 헬륨 압력 게이지(27)가 설치되어 있고, 공기의 투입 및 배출량을 조절하기 위한 에어(air) 레귤레이터(26)와 에어의 압력을 측정하기 위한 에어 압력 게이지(28)가 구비되어 있다. 2 shows an internal structure of the front part 20, a helium line main valve 22 for supplying helium (HE) gas supplied to the apparatus, and helium (HE) for adjusting the supply amount of helium gas. A regulator 24 and a helium pressure gauge 27 for measuring the pressure of helium gas are provided, and an air regulator 26 for adjusting the input and discharge of air and an air for measuring the pressure of the air A pressure gauge 28 is provided.

다음으로 전면부(30)의 내부에는 헬륨 가스와 에어 및 전원라인을 인출하기 위한 헬륨 라인 인출구(32)와 에어 라인 인출구(34) 및 전원 라인 인출구(36)가 설치되어 있으며, 각각의 건 노즐을 거치할 수 있도록 하는 건(Gun) 브라켓(38)이 설치되고, 아래 부분으로는 공구 및 부품 등을 수납할 수 있는 수납장(39)이 설치되어 있다. 부호 33은 본 발명에 의한 유틸리티 멀티 시스템의 내부 구조를 투시할 수 있는 투시창으로, 재질은 투명한 아크릴을 사용하였으나, 사용자의 선택에 따라 소재는 변경될 수 있다. Next, a helium line outlet 32, an air line outlet 34, and a power line outlet 36 for drawing helium gas, air, and a power line are installed inside the front part 30, and each gun nozzle is provided. Gun bracket (38) is installed to allow mounting, and the lower part is provided with a cabinet 39 for storing tools and parts. Reference numeral 33 is a viewing window that can see the internal structure of the utility multi-system according to the present invention, the material used a transparent acrylic, the material can be changed according to the user's choice.

도 3은 본 발명에 따른 유틸리티 멀티 시스템의 구조를 배면에서 도시한 구조도이다. Figure 3 is a structural diagram showing the structure of the utility multi-system according to the present invention from the back.

도 3에서, 부호 52는 본 발명에 의한 유틸리티 멀티 시스템을 사용자가 손으로 잡아서 이동시킬 수 있는 이동용 핸들이고, 하부에는 전원 라인을 연결하기 위한 전원 라인 연결구(Noise filter)(54)와 에어 라인을 연결하는 에어 라인 연결구(56) 및 헬륨 가스 라인을 연결하기 위한 헬륨 라인 연결구(58)가 설치된다. 이들 연결구를 통해 장치에 사용되는 각종 가스 및 에어 그리고 전원 라인을 통합적으로 설치할 수 있다. In FIG. 3, reference numeral 52 denotes a moving handle for allowing a user to grasp and move the utility multi-system according to the present invention, and a lower portion of the power line connector 54 and an air line for connecting a power line. An air line connector 56 for connecting and a helium line connector 58 for connecting the helium gas line are provided. These connectors allow the integrated installation of the various gas and air and power lines used in the device.

다음으로, 도 4는 본 발명에 따른 유틸리티 멀티 시스템의 구조의 배면 내부 구조를 도시한 설명도이다. Next, FIG. 4 is an explanatory diagram showing a rear internal structure of the structure of the utility multi-system according to the present invention.

도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명에 의한 유틸리티 멀티 시스템의 배면 내부에는 중앙부에 선반 형태의 미들 플레이트가 설치된다. 이 미들 플레이트의 양단부에는 헬륨가스 공급라인 및 에어 라인을 통과시키기 위한 헬륨/에어라인 관통 홀(51)이 설치되고, 전원 공급 라인을 통과시키기 위한 전원부 연결라인 관통홀(53)이 설치된다. 이들 관통홀(51, 53)을 통과한 다음, 미들 플레이트에는 전원부, 헬륨 라인, 및 에어 라인의 릴이 장착된다. 부호 55는 이들 전원부, 헬륨 라인, 및 에어 라인의 릴이 장착되는 미들 플레이트(middle plate)를 도시하고 있다. As shown in FIG. 4, a middle plate of a shelf shape is installed in the center of the rear surface of the utility multi-system according to the present invention. Both ends of the middle plate are provided with helium / air line through holes 51 for passing the helium gas supply line and the air line, and power supply connection line through holes 53 for passing the power supply line. After passing through these through holes 51 and 53, the middle plate is equipped with a reel of a power supply part, a helium line, and an air line. Reference numeral 55 shows a middle plate to which these reels of power supply, helium line, and air line are mounted.

이와 같이 구성된 본 발명에 의한 유틸리티 멀티 시스템의 구조를 바탕으로 본원 발명자가 시험제작한 시스템의 구조에 대해 도 5 및 도 6에 도시하였다. Based on the structure of the utility multi-system according to the present invention configured as described above is shown in Figures 5 and 6 with respect to the structure of the system tested by the inventors.

도 5는 본 발명의 타 실시예에 따른 유틸리티 멀티 시스템의 구조를 도시하는 사진이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유틸리티 멀티 시스템의 구조를 도시하는 사진을 각각 도시한다. 5 is a picture showing the structure of a utility multi-system according to another embodiment of the present invention, Figure 6 is a picture showing a structure of the utility multi-system according to an embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 유틸리티 멀티 시스템의 구조는 상술한 바와 도면에 도시된 바와 같이 구현된다. The structure of the utility multi-system according to the present invention is implemented as described above and shown in the drawings.

상술한 바와 같이 본 발명에 의한 유틸리티 멀티 시스템의 구조에 의하면, 생산장치 및 조립 현장에 설치됨으로써, 각종 장치에 이용되는 헬륨 가스 및 에어 등의 공급라인을 통합하여 관리할 수 있는 구조를 갖춤으로써, 불필요한 유틸리티 라인의 설치에 따른 비용 및 설치 시간의 낭비를 획기적으로 절감할 수 있다. According to the structure of the utility multi-system according to the present invention as described above, by being installed in the production apparatus and the assembly site, by having a structure that can integrate and manage the supply line, such as helium gas and air used in various devices, Dramatically reduce the cost and waste of installation time due to unnecessary utility line installation.

또한, 본 발명에 따른 유틸리티 멀티 시스템의 구조에 의하면, 공급되는 헬륨 가스 및 에어 가스를 미세 압력으로 조절하여 사용할 수 있기 때문에, 생산 장치 및 조립 설비에 최적화하여 사용할 수 있는 효과가 있다. In addition, according to the structure of the utility multi-system according to the present invention, since the helium gas and the air gas to be supplied can be adjusted to fine pressure, there is an effect that can be used to optimize the production apparatus and assembly equipment.

또, 본 발명에 따른 유틸리티 멀티 시스템의 구조에 의하면, 생산 시설 및 조립라인에 정리 정돈을 자연스럽게 구현할 수 있게 되므로, 사용자 및 작업자의 사용상의 실수를 줄일 수 있고, 작업상의 실수에 따른 불량 발생을 크게 줄일 수 있는 효과가 있다. In addition, according to the structure of the utility multi-system according to the present invention, it is possible to naturally implement the arrangement in the production facility and assembly line, thereby reducing the mistakes of users and operators, and greatly reduce the occurrence of defects due to work mistakes. There is an effect that can be reduced.

이상에서와 같이 본 발명은 실시 예를 상세하게 기술하였지만, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 다양한 산업현장에 대한 응용 및 적용 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 응용 및 적용이 실질적으로 동일한 기능과 구조 및 효과를 가지는 이상 균등의 영역에서 첨부된 특허청구범위에 속함이 당연하다고 할 것이다. As described above, the present invention has been described in detail, but it is apparent to those skilled in the art that the present invention can be applied and applied to various industrial sites within the scope of the technical idea of the present invention. It will be obvious that the claims belong within the scope of the appended claims in the above-described equivalent range of structure and effect.

Claims (4)

각종 에어, 가스 및 전원을 통합적으로 관리하여 제공하기 위한 유틸리티 멀티 시스템의 구조에 있어서, In the structure of the utility multi-system for integrated management and supply of various air, gas and power, 유틸리티 멀티 시스템의 상판을 구성하는 상면부(10)와, The upper surface part 10 which comprises the upper board of a utility multi-system, 공급되는 가스의 압력계 및 레귤레이터가 돌출되어 표시되는 표시부(20)와, A display unit 20 on which a pressure gauge and a regulator of the supplied gas protrude and are displayed; 전면에서 개폐가 가능하여 내부를 점검할 수 있는 전면부(30)와, Opening and closing at the front and the front portion 30 to check the inside, 도어 부착용 자석이 설치된 측면부(40)와, A side portion 40 having a door attachment magnet installed therein, 이동용 핸들을 구비한 배면부(50), 및 A back portion 50 having a moving handle, and 이동용 캐스터를 구비한 저면부(60),로 구성되는 것을 특징으로 하는 유틸리티 멀티 시스템의 구조. A structure of a utility multi-system, comprising: a bottom portion (60) having a caster for movement. 제 1항에 있어서, 상기 표시부(20)에는, The method of claim 1, wherein the display unit 20, 상기 유틸리티 멀티 시스템에 공급되는 헬륨(HE) 가스를 공급하기 위한 헬륨 라인 메인 밸브(22)와, A helium line main valve 22 for supplying helium (HE) gas supplied to the utility multi-system, 헬륨 가스의 공급량의 조절하기 위한 헬륨(HE) 레귤레이터(24)와, 헬륨가스의 압력을 측정하기 위한 헬륨 압력 게이지(27)가 설치되어 있고; 공기의 투입 및 배출량을 조절하기 위한 에어(air) 레귤레이터(26)와, 에어의 압력을 측정하기 위한 에어 압력 게이지(28);가 함께 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 유틸리티 멀티 시스템의 구조. A helium (HE) regulator 24 for adjusting the supply amount of helium gas, and a helium pressure gauge 27 for measuring the pressure of helium gas; An air regulator (26) for adjusting the input and discharge of air, and an air pressure gauge (28) for measuring the pressure of the air; utility multi-system structure characterized in that it is provided together. 제 1항에 있어서, 상기 전면부(30)에는, The method of claim 1, wherein the front portion 30, 그 내부에 헬륨 가스와 에어 및 전원라인을 인출하기 위한 헬륨 라인 인출구(32)와, 에어 라인 인출구(34) 및 전원 라인 인출구(36)가 설치되어 있으며; Helium line outlets 32, air line outlets 34 and power line outlets 36 are provided therein for taking out helium gas, air and power lines; 그 외부의 상측 부에는 상기 헬륨 가스와 에어를 배출하기 위한 건 노즐(gun nozzle)을 거치하는 건(Gun) 브라켓(38)과, 전원을 인출하는 인출구가 설치되며, A gun bracket 38 for mounting a gun nozzle for discharging the helium gas and air and an outlet for discharging power are provided at an upper side of the outside thereof. 그 외부의 하측 부에는 공구 및 부품 등을 수납할 수 있는 수납장(39)이 설치되어 있는 것으로, 투시창(33)을 통해 내부를 확인할 수 있는 구조인 것을 특징으로 하는 유틸리티 멀티 시스템의 구조. The outside of the lower portion is provided with a cabinet 39 for storing tools and parts, etc., the structure of the utility multi-system, characterized in that the structure can be confirmed through the viewing window (33). 제 1항에 있어서, 상기 배면부(50)에는, 상기 유틸리티 멀티 시스템을 사용자가 손으로 잡아서 이동시킬 수 있는 이동용 핸들(52)이 설치되고, According to claim 1, The rear portion 50 is provided with a movement handle 52 that can be moved by the user by holding the utility multi-system by hand, 하부에는 전원 라인을 연결하기 위한 전원 라인 연결구(Noise filter)(54)와, 에어 라인을 연결하는 에어 라인 연결구(56), 및 헬륨 가스 라인을 연결하기 위한 헬륨 라인 연결구(58)가 설치되는 구조인 것을 특징으로 하는 유틸리티 멀티 시스템의 구조. In the lower part, a power line connector 54 for connecting a power line, an air line connector 56 for connecting an air line, and a helium line connector 58 for connecting a helium gas line are installed. The structure of the utility multi-system characterized by the
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JP2001210602A (en) 2000-01-27 2001-08-03 Hitachi Kokusai Electric Inc Substrate-processing apparatus
KR20020091661A (en) * 2001-05-31 2002-12-06 삼성전자 주식회사 Gas supply system and gas supply method for manufacturing semiconductor device

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