KR100805674B1 - 마이크로 광조형 장치 및 방법 - Google Patents

마이크로 광조형 장치 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100805674B1
KR100805674B1 KR1020060035075A KR20060035075A KR100805674B1 KR 100805674 B1 KR100805674 B1 KR 100805674B1 KR 1020060035075 A KR1020060035075 A KR 1020060035075A KR 20060035075 A KR20060035075 A KR 20060035075A KR 100805674 B1 KR100805674 B1 KR 100805674B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lens
light
optical fiber
optical
photocurable resin
Prior art date
Application number
KR1020060035075A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20070103230A (ko
Inventor
이인환
최지순
정영삼
Original Assignee
이인환
최지순
정영삼
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이인환, 최지순, 정영삼 filed Critical 이인환
Priority to KR1020060035075A priority Critical patent/KR100805674B1/ko
Publication of KR20070103230A publication Critical patent/KR20070103230A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100805674B1 publication Critical patent/KR100805674B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/32—Optical coupling means having lens focusing means positioned between opposed fibre ends
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/0005—Optical objectives specially designed for the purposes specified below having F-Theta characteristic
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0938—Using specific optical elements
    • G02B27/0994—Fibers, light pipes
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/30—Collimators
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/102—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type for infrared and ultraviolet radiation

Abstract

본 발명은 자외선 램프와 광파이버를 이용하는 저비용의 마이크로 광조형 장치 및 방법에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은 자외선을 공급하는 광원과, 상기 광원으로부터 공급된 자외선을 안내하는 광파이버와, 상기 광원과 상기 광파이버를 접속하는 커넥터 및 상기 광파이버의 끝단에 형성되어 상기 자외선을 광경화수지에 공급하기 위한 튜브를 구비한 것을 특징으로 하는 마이크로 광조형 장치 및 방법을 제공한다.

Description

마이크로 광조형 장치 및 방법{MICRO-STEREOLITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD THEREOF}
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로 광조형 장치를 도시한 블록도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마이크로 광조형 장치의 커넥터에 포함된 제1광학렌즈부를 자세히 도시한 도면이다.
도 3은 도 1에 도시된 마이크로 광조형 장치의 튜브를 도시한 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 튜브에 포함된 제2광학렌즈부를 자세히 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로 광조형방법을 순차적으로 도시한 흐름도이다.
<도면부호의 간단한 설명>
10: 광원 20: 커넥터
21: 제1광학렌즈부 22,23,24,25 : 제1,2,3,4렌즈
30: 광파이버 31: 코어
32: 클래딩 40: 튜브
41: 제2광학렌즈부 42: 제5렌즈
43: 제6렌즈 50: 튜브홀더
60: 제1스테이지 70: 제2스테이지
80: 엘리베이터 90: 용기
100: 시스템 서버 110: 광경화수지
120: 경화된 광경화수지
본 발명은 마이크로 광조형 장치에 관한 것으로, 특히 자외선 광원과 광파이버를 구비하여 저비용의 광조형장치 및 방법에 관한 것이다.
현재 고도의 기술 발달로 인해 마이크로 단위의 제품들이 공학, 의학 등의 여러산업분야에 사용되고 있다. 이러한 마이크로 단위의 제품들을 제조하기 위하여 주로 엠이엠에스(Micro Electro Michenical System; MEMS) 또는 엘아이지에이(Lithographie, Galvanoformung, Abformung; LIGA) 기술이 많이 사용되고 있다. 이러한 기술들은 고가의 레이져 광원을 기반으로 하기 때문에 제조장치의 비용이 고가이며, 이러한 기술들은 반도체 공정을 기반으로 하기 때문에 높은 세장비(Aspet-Ratio)를 가지는 구조물이나 복잡한 3차원 형상을 제조하기에는 어려움이 있다. 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 종래에 마이크로 광조형기술은 레이저를 렌즈 및 거울 등의 일련의 복잡한 광학계를 이용하여 입사되는 레이저 광을 매우 작은 초점 직경으로 변환한 후 이를 광경화수지에 공급하여 3차원의 마이크로 광조형물을 제조하는 것이 대부분이다.
그러나, 종래의 마이크로 광조형 장치는 가격이 고가인 레이저를 광원으로 사용하고, 레이저 광을 굴절 및 반사시켜 매우 작으로 초점 직경을 갖도록 초점화시키기 위해 광학계를 많이 사용하므로 장비를 구성하는데 있어서 많은 비용과 노력이 필요하다.
따라서, 본 발명의 목적은 자외선 램프와 광파이버를 이용하는 저비용의 마이크로 광조형 장치 및 방법을 제공하는 데 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 자외선을 공급하는 광원과, 상기 광원으로부터 공급된 자외선을 안내하는 광파이버와, 상기 광원과 상기 광파이버를 접속하는 커넥터 및 상기 광파이버의 끝단에 형성되어 상기 자외선을 광경화수지에 공급하기 위한 튜브를 구비한 것을 특징으로 하는 마이크로 광조형 장치를 제공한다.
상기 광원은 자외선 램프인 것을 특징으로 한다.
상기 커넥터는 상기 광원의 광을 집속하여 상기 광파이버로 공급하는 제1광학렌즈부를 더 구비한다.
상기 제1광학렌즈부는 상기 광원의 광을 평행광으로 변환하는 제1렌즈와, 상기 제1렌즈를 투과한 평행광을 집속하는 제2렌즈와, 상기 제2렌즈를 투과하여 집속된 광을 평행광으로 변환하는 제3렌즈 및 상기 제3렌즈를 투과한 광을 집속하여 상기 광파이버에 공급하는 제4렌즈를 더 포함한 것을 특징으로 한다.
상기 튜브는 상기 광파이버로부터 출사된 자외선을 수 ㎛의 직경으로 집속하는 제2광학렌즈부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제2광학렌즈부는 상기 광파이버로부터 발산된 광을 평행광으로 변환하는 제5렌즈 및 상기 제5렌즈를 투과한 광을 수 ㎛의 직경으로 집속하는 제6렌즈를 더 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 튜브를 고정하는 튜브홀더 및 상기 튜브홀더를 X축 및 Y축 방향으로 이송하는 제1스테이지를 더 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 광경화수지의 단면층 두께를 조절하기 위안 제2스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 광원을 구동하여 자외선을 발생하는 단계와, 상기 자외선을 광파이버를 통해 광경화수지에 공급하는 단계 및 상기 자외선을 공급받아 상기 광경화수지를 경화시켜 마이크로 광조형물을 제조하는 단계를 포함하는 마이크로 광조형 방법을 제공한다.
상기 광경화수지에 자외선을 공급하는 단계는, 제1스테이지 통해 상기 광파이버의 끝단에 형성된 튜브를 X축 및 Y축으로 이동하여 상기 광경화수지를 경화시켜 2차원 단면 층을 성형하는 단계를 더 포함한다.
Z축 방향으로 수직으로 이동하는 제2스테이지를 통해 상기 2차원 단면 층으로 경화된 광경화수지상에 미경화된 광경화수지를 공급하고, 제1스테이지를 통해 새로운 2차원 광경화수지 단면층을 성형하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 이점들은 첨부 도면을 참조한 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. 이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 마이크로 광조형 장치를 개략적으로 도시한 블록도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로 광조형 장치는 자외선을 공급하는 광원(10)과, 광원(10)으로부터 공급된 자외선을 안내하는 광파이버(30)와, 광원(10)과 광파이버(30)를 접속하는 커넥터(20) 및 광파이버(30)의 끝단에 형성되어 자외선을 광경화수지(110)에 공급하기 위한 튜브(40)를 구비한다.
구체적으로, 광원(10)은 광경화수지(110)에 광을 공급하여 광경화수지(110)를 경화시킨다. 이러한 광원(10)으로는 저가이면서, 높은 광효율을 나타내며 광경화수지(110)의 특성에 알맞는 자외선 램프(10)를 사용하는 것이 바람직하다. 이외에 자외선 레이저 등을 사용할 수 있다. 여기서, 광원(10)은 시스템 서버(100)에 의해 턴온 또는 턴오프된다. 한편, 광원(10)이 턴온되어 안정적으로 광에너지 또는 자외선량을 공급하는 데는 소정의 시간이 소요된다. 이 때, 광원(10)의 턴온/턴오프로 인하여 소요되는 시간으로 인하여 공정시간이 길어지는 것을 방지하기 위하여 광원(10)과 커넥터(20) 사이에 셔터(도시하지 않음)를 더 구비한다. 셔터는 시스템 서버(100)와 연결되어 시스템 서버에서 자외선 공급중지 명령이 전달될 때, 오프되어 광원(10)에서 공급되는 자외선을 차단한다. 따라서, 광원(10)의 턴온 및 턴 오프시 구동시간을 절감하여 공정시간을 단축시킬 수 있다.
광원(10)에서 방출된 자외선은 광파이버(30)를 통해 안내되어 광경화수지(110)에 공급된다. 광파이버(30)는 주로 투명도가 좋은 유리로 만들어진다. 광파이버(30)는 중앙의 코어(31)와 코어(31)를 주변에서 감싸는 클래딩(32)으로 이루어진 이중원기둥 형태를 갖는다. 그리고 외부에는 충격으로부터 보호하기 위해 보호막을 구비한다. 광파이버(30)의 지름은 백 내지 수백 ㎛정도로 매우 작고, 코어(31)의 굴절률이 클래딩(32)의 굴절률보다 크게 형성되어, 코어(31)와 클래딩(32)의 경계에서 전반사되어 손실없이 광을 투과시킨다. 광파이버(30)는 소형·경량으로서 굴곡에도 물리적 특성이 강하며, 외부환경의 변화에도 영향을 거의 받지 않는다.
이러한 광파이버(30)를 광원(10)과 접속시키기 위해 커넥터(20)를 더 구비한다. 커넥터(20)는 광원(10)으로 사용되는 자외선 램프(10)가 큰 발산각을 갖기 때문에 광파이버(30)로 자외선을 집광시키는 제1광학렌즈부(21)를 더 포함한다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 제1광학렌즈부(21)를 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 제1광학렌즈부(21)는 광원(10)에서 발산된 광을 평행광으로 변환하는 제1렌즈(22)와, 평행광을 집속하는 제2렌즈(23)와, 집속된 광을 다시 평행광으로 변환하는 제3렌즈(24) 및 제3렌즈(24)로부터 공급된 광의 지름을 작게 만드는 제4렌즈(25)를 포함한다.
제1렌즈(22)는 광원(10)을 자외선 램프(10)로 사용할 경우 자외선 램프(10)에서 공급되는 자외선은 발산각이 매우 크다. 따라서, 제1렌즈(22)는 볼록렌즈를 사용한다. 제1렌즈(22)를 통과한 자외선은 평행한 광으로 변환된다. 제2렌즈(23)는 제1렌즈(22)로부터 공급된 평행한 광을 집광하기 위하여 볼록렌즈를 사용한다. 제2렌즈(23) 통과한 자외선은 볼록렌즈의 두께에 대응하여 하나의 초점에 집광된다. 그리고 제2렌즈(23)를 통해 집광된 광은 제3렌즈(24)에 공급되어 평행광으로 변환된다. 평행광으로 변환된 자외선은 제4렌즈(25)를 통과하여 광파이버(30)에 공급된다. 제4렌즈(25)는 제3렌즈로부터 공급된 자외선을 광파이버(30)의 코어에 집광시키기 위해 수십 ㎛의 직경을 갖는 자외선으로 변환하여 광파이버(30)에 공급한다. 여기서, 제1광학렌즈부(21)와 광파이버(30)는 동일 광축상에 위치하며, 제4렌즈(25)의 초점 평면이 광파이버(30)의 끝단에 위치한다.
도 3은 도 1에 도시된 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로 광조형 장치의 튜브를 상세히 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 광파이버(30)의 일단은 튜브(40)가 형성되고, 튜브(40)는 튜브홀더(50)에 고정된다. 그리고 튜브홀더(50)는 도 1에 도시된 바와 같이, 제1스테이지(60)에 장착되어 튜브(40)를 X축 및 Y축으로 이동시킨다.
구체적으로, 광파이버(30)의 끝단에는 튜브(40)가 형성된다. 그리고 튜브홀더(50)는 튜브(40)의 외곽을 단단히 고정하며 제1스테이지(60)와 연결된다.
제1스테이지(60)는 튜브(40)를 통해 출력된 자외선을 광경화수지(110)에 직접 조사하여 마이크로 조형물의 단층을 형성하기 위하여 튜브홀더(50)를 X축 및 Y축으로 이동시킨다. 제1스테이지(60)가 X축 및 Y축으로 이동함으로써 광경화수지(110)를 경화시켜 2차원의 얇은 막 형태로 성형한다. 여기서, 제1스테이지(60)의 속도에 따라 광경화수지(110)에 공급되는 자외선의 양이 변하므로 이동속도를 제어하여 설계된 광조형물의 2차원 형상을 성형한다. 예를 들어, 폭이 좁은 형상을 제조할 경우는 제1스테이지(60)의 속도를 높여 단위 면적을 기준으로 광경화수지(110)에 공급되는 자외선 양을 줄이고, 이와 반대로 폭이 큰 형상을 제조할 경우 제1스테이지(60)의 속도를 줄여 광경화수지(110)에 공급되는 자외선 양을 늘린다.
한편, 튜브(40)는 자외선이 출력되어 광경화수지(110)로 극소의 직경을 갖는 광을 공급하도록 제2광학렌즈부(41)가 더 구비된다.
도 4는 도 3에 도시된 튜브에 형성된 제2광학렌즈부를 도시한 개념도이다.
도 4를 참조하면, 제2광학렌즈부(41)는 광파이버(30)의 끝단에서 출력되는 광을 평행하게 공급하는 제5렌즈(42)와, 제5렌즈(42)에서 공급된 광을 수 내지 수십 ㎛의 직경을 갖는 초점된 광으로 변환하는 제6렌즈(43)를 포함한다.
구체적으로, 제5렌즈(42)는 볼록렌즈로 형성되며 광파이버(30)의 끝단에서 발산된 자외선을 평행하게 공급하는 기능을 한다. 그리고 제6렌즈(43)는 제5렌즈(42)에서 평행하게 공급된 자외선을 수 ㎛의 직경으로 초점된 자외선 빔으로 변환하여 광경화수지(110)에 공급한다. 이를 위하여 제6렌즈(43)는 볼록렌즈로 형성된다. 여기서, 제5,6렌즈(42, 43)는 볼록렌즈 이외에 오목렌즈를 사용할 수도 있다.
제2스테이지(70)는 광경화수지(110)가 개재된 용기(90)의 내부에 광경화수지(110)의 단면층으로 승강 또는 하강시키는 엘리베이터(80)를 제어한다. 제2스테이지(70)는 제1스테이지(60)의 이동에 의해 경화된 광경화수지(120)를 엘리베이터(80)를 통해 하강시켜 새로운 광경화수지(110)를 경화된 광경화수지(120)위로 위치시킨다. 이를 통해 3차원의 마이크로 광조형물을 제조할 수 있다.
제1,2스테이지(60, 70)는 시스템 서버(100)로부터 데이터를 공급받아 각각 동작된다.
시스템 서버(100)는 3차원의 마이크로 조형물의 설계 데이터를 입력받아 광원(10)과 제1,2스테이지(60, 70)에 데이터 정보를 공급하여 광원(10)의 턴온 및 턴오프와 제1,2스테이지(60, 70)의 이동위치 및 이동속도를 제어한다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로 광조형물 제조방법을 순차적으로 도시한 흐름도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 마이크로 광조형물 제조방법은 광원을 구동하여 자외선을 발생시키는 단계(S1)와, 발생된 자외선을 제1,2광학렌즈부를 통해 순차적으로 집속시키는 단계(S2)와,광원에서 공급된 자외선을 광파이버를 통해 광경화수지에 공급하는 단계(S3) 및 자외선을 공급받아 광경화수지를 경화시켜 마이크로 광조형물을 제조하는 단계(S4)를 포함한다.
구체적으로, 광원을 구동하여 자외선을 공급한다. 여기서, 광원은 자외선 램프를 사용하는 것이 바랍직하다.
다음으로, 광원에서 공급된 자외선은 커넥터를 통해 집광된 후 광파이버를 경유하여 광경화수지에 공급된다. 커넥터는 제1,2,3,4렌즈를 구비하고, 제1,2,3,4렌즈를 차례로 통과하여 광원에서 큰 발산각으로 공급된 자외선을 수백 ㎛의 직경의 자외선으로 변환하여 광파이버에 공급한다.
다음으로, 광파이버를 따라 전반사되어 타측단으로 공급된 자외선은 광경화수지에 공급되어 광경화수지를 경화시킨다. 여기서, 제1스테이지를 X축 및 Y축으로 이동하여 2차원의 광경화수지 단층을 제조한다. 그리고 제2스테이지를 하강하여 미경화된 광경화수지를 공급하고 다시 2차원의 광경화수지 단층을 제조한다. 이러한 과정을 반복하여 3차원의 마이크로 광조형물을 제조한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로 광조형 장치 및 방법은 자외선에 경화되는 광경화수지를 적층하여 3차원의 마이크로 광조형물을 제조할 수 있으며, 특히 광원으로 저비용의 자외선 램프를 사용하여 마이크로 광조형 장치의 비용을 줄이고, 광파이버를 사용하여 종래의 복잡한 광학계를 단순화할 수 있다.
종래의 복잡한 광학계 대신 광파이버를 사용하므로써, 마이크로 광조형물 제조장치의 제조시간이 절감된다.
이상에서 상술한 본 발명은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다 할 것이다. 따라서 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정하지 않고 청구범위에 의해 그 권리가 정해져야 할 것이다.

Claims (12)

  1. 자외선을 공급하는 자외선 램프와;
    상기 자외선 램프로부터 공급되는 자외선이 집속되는 복수의 렌즈가 구비된 제1광학렌즈부;
    상기 제1광학렌즈부로부터 집속된 자외선을 안내하는 광파이버와;
    상기 광파이버의 끝단에 형성되고, 내부에 상기 광파이버로부터 안내되는 자외선이 집속되는 제2광학렌즈부가 구비되어, 집속된 자외선을 광경화수지에 공급하는 튜브를 포함하는 마이크로 광조형 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1광학렌즈부는 커넥터를 통하여 복수의 렌즈가 일정간격으로 배열되도록 된 것을 특징으로 하는 마이크로 광조형 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 제1광학렌즈부는 상기 자외선 램프의 광을 평행광으로 변환하는 제1렌즈와,
    상기 제1렌즈를 투과한 평행광을 집속하는 제2렌즈와,
    상기 제2렌즈를 투과하여 집속된 광을 평행광으로 변환하는 제3렌즈 및
    상기 제3렌즈를 투과한 광을 집속하여 상기 광파이버에 공급하는 제4렌즈로 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로 광조형 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제1렌즈, 제2렌즈 및 제4렌즈는 볼록렌즈이고, 상기 제3렌즈는 오목렌즈인 것을 특징으로 하는 마이크로 광조형 장치.
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2광학렌즈부는 상기 광파이버로부터 발산된 광을 평행광으로 변환하는 제5렌즈 및 상기 제5렌즈를 투과한 광을 수 ㎛의 직경으로 집속하는 제6렌즈로 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로 광조형 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 튜브를 고정하는 튜브홀더 및 상기 튜브홀더를 X축 및 Y축 방향으로 이송하는 제1스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광조형 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 광경화수지의 단면층 두께를 조절하기 위한 제2스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광조형 장치.
  10. 자외선 램프를 구동하여 자외선을 발생시키는 제1단계와,
    발생된 자외선을 제1,2광학렌즈부를 통해 순차적으로 집속시키는 제2단계와,
    집속된 자외선을 광파이버를 통해 광경화수지에 공급하는 제3단계 및
    상기 자외선을 공급받아 상기 광경화수지를 경화시켜 마이크로 광조형물을 제조하는 제4단계를 포함하는 마이크로 광조형 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제3단계는, 제1스테이지를 통해 상기 광파이버의 끝단에 형성된 튜브를 X축 및 Y축으로 이동하여 상기 광경화수지를 경화시켜 2차원 단면 층을 성형하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광조형 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제3단계는, Z축 방향으로 수직으로 이동하는 제2스테이지를 통해 상기 2차원 단면 층으로 경화된 광경화수지상에 미경화된 광경화수지를 공급하고, 제1스테이지를 통해 새로운 2차원 광경화수지 단면층을 성형하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광조형 방법.
KR1020060035075A 2006-04-18 2006-04-18 마이크로 광조형 장치 및 방법 KR100805674B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060035075A KR100805674B1 (ko) 2006-04-18 2006-04-18 마이크로 광조형 장치 및 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060035075A KR100805674B1 (ko) 2006-04-18 2006-04-18 마이크로 광조형 장치 및 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070103230A KR20070103230A (ko) 2007-10-23
KR100805674B1 true KR100805674B1 (ko) 2008-02-21

Family

ID=38817764

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060035075A KR100805674B1 (ko) 2006-04-18 2006-04-18 마이크로 광조형 장치 및 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100805674B1 (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100968490B1 (ko) * 2008-07-31 2010-07-07 재단법인서울대학교산학협력재단 미세구조물 운반 방법 및 시스템
KR101407048B1 (ko) * 2013-11-07 2014-06-12 비즈텍코리아 주식회사 3차원 라인 스캔 조형장치 및 이를 이용한 조형방법
KR101407050B1 (ko) * 2013-11-07 2014-06-12 비즈텍코리아 주식회사 가변형 수조 적층방식을 이용한 3차원 프린터 및 이를 이용한 조형방법
KR101533374B1 (ko) * 2014-07-07 2015-07-02 김진식 Dlp 방식 3d 프린터

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5211805A (en) 1990-12-19 1993-05-18 Rangaswamy Srinivasan Cutting of organic solids by continuous wave ultraviolet irradiation
JPH0899360A (ja) * 1994-09-29 1996-04-16 Yamanashi Pref Gov 粉末混入樹脂による光造形体
KR19980048944A (ko) * 1996-12-18 1998-09-15 양승택 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치
KR20060072225A (ko) * 2004-12-22 2006-06-28 광주과학기술원 레이저를 이용한 금속 박판의 습식 홀 가공 방법 및 시스템

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5211805A (en) 1990-12-19 1993-05-18 Rangaswamy Srinivasan Cutting of organic solids by continuous wave ultraviolet irradiation
JPH0899360A (ja) * 1994-09-29 1996-04-16 Yamanashi Pref Gov 粉末混入樹脂による光造形体
KR19980048944A (ko) * 1996-12-18 1998-09-15 양승택 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치
KR20060072225A (ko) * 2004-12-22 2006-06-28 광주과학기술원 레이저를 이용한 금속 박판의 습식 홀 가공 방법 및 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070103230A (ko) 2007-10-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10809468B2 (en) Optical component with beam deflection element, method for production thereof, and beam deflection elements suitable for the component
JP7430756B2 (ja) 光学システムを製造する方法および光学システム
US9034222B2 (en) Method for producing photonic wire bonds
CN108292016B (zh) 用于在光学纤维上生成微型结构的方法和装置
JP2010510089A (ja) ポリマーオブジェクトオプティカル製造工程
Thienpont et al. Plastic microoptical interconnection modules for parallel free-space interand Intra-MCM data communication
CN104029394A (zh) 一种提高激光扫描成像光固化快速成型效率的方法
JPWO2018163936A1 (ja) 光学部品および光学部品の製造方法
Ha et al. Mass production of 3-D microstructures using projection microstereolithography
WO2021053096A1 (en) Micro-optical interconnect component and its method of fabrication
KR100805674B1 (ko) 마이크로 광조형 장치 및 방법
JP2009113294A (ja) 光造形装置及び光造形方法
CN1862354A (zh) 并行飞秒激光双光子光聚合微纳加工方法及其装置
Niesler et al. Additive Manufacturing of Micro‐sized Parts: Trend of miniaturization is driver for 3D laser lithography
CN110178058A (zh) 光学部件及光学部件的制造方法
Hoque et al. Design and fabrication of a biconvex aspherical microlens for maximizing fiber coupling efficiency with an ultraviolet laser diode
Van Erps et al. High-precision 2-D SM fiber connectors fabricated through deep proton writing
CN110320599B (zh) 一种空间光波导制备方法
KR100921939B1 (ko) 광 픽업 유니트를 이용한 광조형 장치 및 그 장치를이용하여 구조물을 형성하는 방법
Kühne et al. Insights into challenges and potentials of two-photon lithography
JP7134235B2 (ja) 三次元造形装置、制御装置、および造形物の製造方法
CN204964823U (zh) 一种光学引擎和光通信装置
CN113275195B (zh) 光学装置及其制作方法
CN115519785A (zh) 一种基于光纤的微纳结构3d打印系统及其打印方法
Frese et al. Combination of guided wave and free-space micro-optics for a new optical backplane concept

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
G170 Publication of correction
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120214

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130214

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee