KR100785741B1 - 반도체 소자 테스트 핸들러의 냉각장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 반도체 소자가 장착된 테스트 트레이가 투입되는 챔버;상기 챔버 내부에 설치되며, 냉매가 유동하는 냉매관을 구비하고, 상기 테스트 트레이와 접촉하여 열전달에 의해 열교환을 수행하도록 된 내부 열교환기;상기 챔버의 외부에서 상기 내부 열교환기의 냉매관과 연결되면서 순환유로를 형성하는 냉매관을 구비하며, 외부에서 공급되는 액화질소(LN2)와 열교환을 수행하는 외부 열교환기;상기 외부 열교환기로부터 내부 열교환기로 냉매를 압송하며 냉매관을 통한 냉매의 순환유동을 일으키는 펌핑유닛; 그리고상기 액화질소가 상기 외부 열교환기에서 열교환되어 기화된 후, 이 기화된 질소가스(N2)를 상온 상태로 재생시켜 챔버 내부로 공급하는 재생유닛을 포함하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 냉각장치.
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- 제 1항에 있어서, 상기 재생유닛은,상기 외부 열교환기가 밀폐되도록 설치되며, 그 내부 공간에 상기 액화질소(LN2)가 공급되어 액화질소와 외부 열교환기와의 열교환이 이루어지는 외부 챔버와;상기 외부챔버로부터 공급되는 기화된 질소가스(N2)가 유동하는 재생열교환기와;상기 재생열교환기로부터 상기 챔버로 질소가스(N2)를 공급하는 가스공급유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 냉각장치.
- 제 4항에 있어서, 상기 가스공급유닛은, 상기 재생열교환기를 통과한 질소가스가 저장되는 질소가스 저장탱크와, 상기 질소가스 저장탱크와 챔버를 연결하는 연결관과, 상기 연결관을 통한 질소가스의 공급을 제어하는 제어밸브를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 냉각장치.
- 제 4항에 있어서, 상기 재생열교환기 내부를 유동하는 가스를 상온 상태로 승온시키는 승온유닛을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 냉각장치.
- 제 6항에 있어서, 상기 승온유닛은, 상기 재생열교환기로 상온 상태의 공기를 강제 송풍시켜 외기와 질소가스 간의 열교환을 발생시키는 송풍기로 구성된 것 을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 냉각장치.
- 제 4항에 있어서, 상기 재생열교환기가 내부에 밀폐되게 설치되는 재생챔버를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 냉각장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 챔버 내부의 공기를 외부로 강제 배출시켜 챔버 내부를 진공 또는 진공에 근접한 상태로 만드는 진공유닛을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 냉각장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 내부 열교환기는, 상기 냉매관이 내설되며 상기 테스트 트레이가 안착되면서 면접촉하는 금속재질의 열전도 플레이트를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 냉각장치.
- 제 4항에 있어서, 상기 재생유닛에서 공급되는 질소가스(N2)의 일부는 챔버에서 테스트 트레이가 출입하는 셔터 쪽으로 공급되며 에어커튼을 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 냉각장치.
- 반도체 소자가 장착된 테스트 트레이가 투입되는 챔버와;상기 챔버 내부에 설치되며, 냉매가 유동하는 냉매관을 구비하고, 상기 테스 트 트레이와 접촉하여 열전달에 의해 열교환을 수행하도록 된 내부 열교환기와;상기 챔버의 외부에 설치되며, 그 내부에 액화질소(LN2)가 공급되는 외부챔버와;상기 외부챔버 내에 설치되고, 상기 내부 열교환기의 냉매관과 연결되면서 순환유로를 형성하는 냉매관을 구비하여 상기 외부챔버 내로 공급되는 액화질소와 열교환을 수행하는 외부 열교환기와;상기 외부 열교환기로부터 내부 열교환기로 냉매를 압송하며 냉매관을 통한 냉매의 순환유동을 일으키는 펌핑유닛과;상기 외부챔버 내부에서 열교환을 수행하고 기화된 질소가스(N2)가 유동하는 재생열교환기와;상기 재생열교환기를 유동하는 질소가스를 상온 상태로 승온시키는 승온유닛과;상기 재생열교환기를 통과한 질소가스를 챔버 내부로 공급하는 질소가스공급유닛을 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트 핸들러의 냉각장치.
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