KR100784705B1 - 롯 아이디 마킹용 마스크, 이를 이용한 롯 아이디 마킹장치 및 방법 - Google Patents

롯 아이디 마킹용 마스크, 이를 이용한 롯 아이디 마킹장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

적은 비용과 시간으로 롯 아이디를 마킹할 수 있는 롯 아이디 마킹용 마스크, 이를 이용한 롯 아이디 마킹 장치 및 방법이 제공된다. 본 발명에 의한 롯 아이디 마킹용 마스크는 투명한 기판; 및 투명한 기판 상에 형성되어 롯 아이디를 마킹하기 위한 표시소자를 포함한다. 또한, 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치 및 방법도 제공된다.
롯 아이디, 마스크, 표시소자

Description

롯 아이디 마킹용 마스크, 이를 이용한 롯 아이디 마킹 장치 및 방법{Mask for lot ID marking, system and method for marking lot ID therewith}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 도시한 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치를 설명하기 위한 블록구성도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치를 설명하기 위한 블록구성도이다.
도 5 는 본 발명의 일실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 방법을 설명하기 위한 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100: 롯 아이디 마킹용 마스크 110: 투명한 기판
120: 표시소자 200: 롯 아이디 제공부
300: 기판 400: 광원
본 발명은 롯 아이디 마킹에 관한 것으로, 보다 상세하게는 롯 아이디 마킹용 마스크, 이를 이용한 롯 아이디 마킹 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 오엘이디(OLED: Organic Light Emitting Diode)는 낮은 전압에서 구동이 가능하고 박형화, 광시야각, 빠른 응답속도 등 LCD에서 문제로 지적되고 있는 결점을 해소할 수 있으며, 다른 디스플레이 소자에 비해 중형 이하에서는 TFT-LCD와 동등하거나 그 이상의 화질을 가질 수 있다는 점과 제조 공정이 단순하여 향후 가격 경쟁에서 유리하다는 등의 장점을 가진 차세대 디스플레이로 주목받고 있다.
이러한 오엘이디는 투명 유리 기판 상에 양전극으로서 ITO 투명 전극 패턴이 형성되어 있는 형태를 가진 하판과 기판 상에 음전극으로서 금속 전극이 형성되어 있는 상판 사이의 공간에 유기 발광성 소재가 형성되어, 투명 전극과 금속 전극 사이에 소정의 전압이 인가될 때 유기 발광성 소재에 전류가 흐르면서 빛을 발광하는 성질을 이용하는 디스플레이 장치이다.
이러한 오엘이디 소자 공정 또는 기타반도체 유사 공정에 있어서, 기판의 이력 관리용 롯 아이디(Lot ID)를 패터닝하기 위하여 통상 레이저 마킹 장치를 공정 라인 상에 추가로 설치하고 있다. 이러한 롯 아이디를 패터닝하기 위한 종래의 공정 라인은 세정 영역 - 레이저 마킹 - 포토 영역의 순으로 구성되어 있다. 여기서, 롯 아이디는 일반적으로 해당 롯을 표시하는 문자와 해당 롯에서의 해당 글래스의 일련번호를 표시하는 문자 및/또는 숫자의 조합으로 구성된다.
이와 같이, 종래에는 기판 상에 롯 아이디를 마킹하기 위해서 별도의 장비(레이저 마킹 장치)를 도입해야 했으므로 추가적인 투자가 요구되었으며, 세정 후 레이저 마킹을 하기 위한 별도의 시간이 요구되었다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 적은 비용과 시간으로 롯 아이디를 마킹할 수 있는 롯 아이디 마킹용 마스크를 제공하는 데에 있다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상기 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치를 제공하는 데에 있다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는 상기 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 방법을 제공하는 데에 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기의 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크는 투명한 기판; 및 투명한 기판 상에 형성되어 롯 아이디를 마킹하기 위한 표시소자를 포함한다.
상기의 다른 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치는 롯 아이디를 제공하기 위한 롯 아이디 제공부; 투명한 기판 상에 형성되며, 롯 아이디 제공부로부터 롯 아이디를 제공받아 롯 아이디를 오엘이디 소자용 기판 또는 반도체 소자용 기판에 마킹하기 위한 표시소자를 포함한다.
상기의 다른 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치는 광원; 롯 아이디를 제공하기 위한 롯 아이디 제공부; 롯 아이디 제공부로부터 롯 아이디를 제공받아 롯 아이디를 광원에서 조사되는 빛을 통해 오엘이디 소자용 기판 또는 반도체 소자용 기판 상에 마킹하기 위한 표시소자를 포함하는 롯 아이디 마킹용 마스크를 포함한다.
상기의 또 다른 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 방법은 투명한 기판 상에 표시소자를 포함하는 롯 아이디 마킹용 마스크 하부에 포토레지스트가 도포된 오엘이디 소자용 기판 또는 반도체 소자용 기판을 위치시키는 단계; 표시소자에 롯 아이디를 제공하는 단계; 및 롯 아이디를 제공받아 롯 아이디를 오엘이디 소자용 기판 또는 반도체 소자용 기판 상에 마킹하는 단계를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 첨부 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 도시한 평면도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 도시한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크(100)는 투명한 기판(110) 및 투명한 기판(110) 상에 형성되어 롯 아이디를 마킹하기 위한 표시소자(120)를 포함한다.
여기서, 투명한 기판(110)은 유리 또는 석영과 같은 투명 절연성 물질로 이루어질 수 있다.
표시소자(120)는 외부회로, 보다 구체적으로는 롯 아이디 제공부(도 3 내지 도 6의 200)로부터 롯 아이디를 제공받아 롯 아이디에 대응되는 문자 및 숫자를 자 체 발광된 빛을 통해 표시하여 오엘이디 또는 반도체 소자용 기판(300) 상에 롯 아이디를 마킹한다.
이때, 표시소자(120)는 유브이 엘이디(UV LED) 또는 오엘이디(OLED)를 포함하는 자체발광 표시소자를 이용하여 구현하는 것이 바람직하다.
한편, 표시소자(120)는 외부회로(롯 아이디 제공부)로부터 롯 아이디를 제공받아 롯 아이디에 대응되는 문자 및 숫자를 광원으로부터 조사된 빛을 통해 표시하여 오엘이디 또는 반도체 소자용 기판(300) 상에 롯 아이디를 마킹한다.
이때, 표시소자(120)는 7 세그먼트(7- segment)와 같은 액정표시소자를 포함하는 투과형 표시소자를 이용하여 구현하는 것이 바람직하다.
이와 같은 표시소자(120)는 투명한 기판(110)의 가장자리 영역에 형성될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치를 도 2 및 도 3을 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치를 설명하기 위한 블록구성도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치는 롯 아이디 제공부(200) 및 롯 아이디 마킹용 마스크(100)를 포함한다.
롯 아이디 제공부(200)는 롯 아이디 마킹용 마스크(100)의 표시소자(120)에 롯 아이디를 제공한다. 이러한 롯 아이디 제공부(200)는 롯 아이디 마킹용 마스 크(100)의 표시소자(120)에 롯 아이디를 제공할 때마다 다른 롯 아이디를 제공한다. 예를 들어, 이전에 롯 아이디(AA001)를 제공했으면 다음으로는 롯 아이디(AA002)를 제공하며, 그 다음으로는 롯 아이디(AA003)를 제공한다.
롯 아이디 마킹용 마스크(100)는 투명한 기판(110) 상에 형성되며, 롯 아이디 제공부(200)로부터 롯 아이디를 제공받아 롯 아이디를 오엘이디 또는 반도체 소자용 기판(300)에 마킹하기 위한 표시소자(120)를 포함한다.
여기서, 표시소자(120)는 유브이 엘이디(UV LED) 또는 오엘이디(OLED)를 포함하는 자체발광 표시소자를 이용하여 구현할 수 있으며, 이러한 자체발광 표시소자를 이용하여 구현된 표시소자(120)는 자체 발광된 빛을 통해 롯 아이디에 대응되는 문자 및 숫자를 표시하여 오엘이디 또는 반도체 소자용 기판(300) 상에 롯 아이디를 마킹한다.
이때, 표시소자(120)는 투명한 기판(110)의 가장자리 영역에 형성되는 것이 바람직하다.
이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치를 도 2 및 도 4를 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치를 설명하기 위한 블록구성도이다.
도 2 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치는 광원(400), 롯 아이디 제공부(200) 및 롯 아이디 마킹용 마스크(100)를 포함한다. 여기서, 롯 아이디 제공부(200)는 본 발명 의 일실시예와 동일한 것이므로 이에 대한 설명은 자세한 생략하기로 한다.
표시소자(120)는 본 발명의 일실시예에서와 같이 롯 아이디 제공부(200)으로부터 롯 아이디를 제공받아 오엘이디 또는 반도체 소자용 기판(300) 상에 롯 아이디를 마킹하기 위한 장치이다.
하지만, 본 실시예에서 사용되는 표시소자(120)는 롯 아이디 제공부(200)로부터 제공받은 롯 아이디를 광원(400)에서 조사되는 빛을 통해 오엘이디 또는 반도체 소자용 기판(300) 상에 마킹한다.
즉, 표시소자(120)는 7 세그먼트(7-segment)와 같은 액정표시소자를 포함하는 투과형 표시소자를 이용하여 구현하는 것이 바람직하며, 이러한 투과형 표시소자를 이용하여 구현된 표시소자(120)는 광원(400)을 통해 조사된 빛을 통해 롯 아이디에 대응되는 문자 및 숫자를 표시하여 오엘이디 또는 반도체 소자용 기판(300) 상에 롯 아이디를 마킹한다.
이때, 표시소자(120)는 투명한 기판(110)의 가장자리 영역에 형성되는 것이 바람직하다.
이와 같은 본 발명의 일실시예 또는 다른 실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치를 이용하여 오엘이디 또는 반도체 소자용 기판(300)에 롯 아이디를 마킹하게 될 경우, 롯 아이디를 마킹하기 위한 장비 투자에 많은 비용을 들일 필요가 없어 제조비용을 절감시킬 수 있으며, 또한 여러 공정 과정(세정 - 레이저 마킹 - 포토)을 거칠 필요가 없어 마킹 공정에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일실시예 및 다른 실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 방법에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.
도 5 는 본 발명의 일실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5를 참조하면, 먼저, 투명한 기판(110) 상에 표시소자(120)를 포함하는 롯 아이디 마킹용 마스크(100) 하부에 포토레지스트가 도포된 오엘이디 또는 반도체 소자용 기판(300)을 위치시킨다. 여기서, 오엘이디 또는반도체 소자용 기판(300) 상에 도포된 포토레지스트에 대한 도시는 생략하였다.
그리고 나면, 롯 아이디 제공부(200)는 롯 아이디를 표시소자(120)에 제공한다. 이때, 표시소자(120)는 유브이 엘이디(UV LED) 또는 오엘이디(OLED)를 포함하는 자체발광 표시소자인 것이 바람직하다.
이어서, 표시소자(120)는 롯 아이디 제공부(200)로부터 롯 아이디를 제공받아 롯 아이디를 오엘이디 또는 반도체 소자용 기판(300) 상에 마킹한다. 이때, 표시소자(120)는 유브이 엘이디 또는 오엘이디를 포함하는 자체발광 표시소자이므로, 자체 발광된 빛을 통해 롯 아이디 제공부(200)로부터 제공받은 롯 아이디에 대응되는 문자 및 숫자를 표시함으로써, 오엘이디 또는 반도체 소자용 기판(300) 상에 롯 아이디를 마킹할 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6을 참조하면, 먼저, 투명한 기판(110) 상에 표시소자(120)를 포함하는 롯 아이디 마킹용 마스크(100) 하부에 포토레지스트가 도포된 오엘이디 또는 반도체 소자용 기판(300)을 위치시킨다. 여기서, 오엘이디 또는반도체 소자용 기판(300) 상에 도포된 포토레지스트에 대한 도시는 생략하였다.
그리고 나면, 롯 아이디 제공부(200)는 롯 아이디를 표시소자(120)에 제공한다. 이때, 표시소자(120)는 액정표시소자(LCD)를 포함하는 투과형 표시소자인 것이 바람직하다.
이어서, 표시소자(120)는 롯 아이디 제공부(200)로부터 롯 아이디를 제공받아 롯 아이디를 오엘이디 또는 반도체 소자용 기판(300) 상에 마킹한다. 이때, 표시소자(120)는 액정표시소자를 포함하는 투과형 표시소자이므로, 광원(400)에서 조사되는 빛(UV)을 통해 롯 아이디에 대응되는 문자 및 숫자를 표시함으로써, 오엘이디 또는 반도체 소자용 기판(300) 상에 롯 아이디를 마킹한다.
이때, 광원(400)은 광원(400)으로부터 나온 빛을 반사한 후 집광하는 노광기(미도시)에 포함될 수 있으며, 표시소자(120)는 이러한 노광기에 의해 빛을 받아 롯 아이디를 기판(300) 상에 마킹할 수 있다.
이와 같은 본 발명의 일실시예 또는 다른 실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 방법을 이용하여 오엘이디 또는 반도체 소자용 기판(300)에 롯 아이디를 마킹하게 될 경우, 롯 아이디를 마킹하기 위한 장비 투자에 많은 비용을 들일 필요가 없어 제조비용을 절감시킬 수 있으며, 또한 여러 공정 과정(세정 - 레이저 마킹 - 포토)을 거칠 필요가 없어 마킹 공정에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.
이상 첨부된 도면 및 표를 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
본 발명의 실시예에 따른 롯 아이디 마킹용 마스크, 이를 이용한 롯 아이디 마킹 장치 및 방법에 의하면, 롯 아이디를 마킹하기 위한 장비 투자에 많은 비용을 들일 필요가 없어 제조비용을 절감시킬 수 있으며, 또한 여러 공정 과정(세정 - 레이저 마킹 - 포토)을 거칠 필요가 없어 마킹 공정에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.

Claims (16)

  1. 투명한 기판; 및
    상기 투명한 기판 상에 형성되어 롯 아이디를 마킹하기 위한 표시소자를 포함하는 롯 아이디 마킹용 마스크.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 표시소자는 외부회로로부터 상기 롯 아이디를 제공받아 상기 롯 아이디에 대응되는 문자 및 숫자를 자체 발광된 빛을 통해 표시하여 오엘이디 소자용 기판 또는 반도체 소자용 기판 상에 상기 롯 아이디를 마킹하는 것을 특징으로 하는 롯 아이디 마킹용 마스크.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 표시소자는 유브이 엘이디 또는 오엘이디를 포함하는 자체발광 표시소자인 것을 특징으로 하는 롯 아이디 마킹용 마스크.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 표시소자는 외부회로로부터 상기 롯 아이디를 제공받아 상기 롯 아이디에 대응되는 문자 및 숫자를 광원으로부터 조사된 빛을 통해 표시하여 상기 오엘이디 소자용 기판 또는 반도체 소자용 기판 상에 상기 롯 아이디를 마킹하는 것을 특징으로 하는 롯 아이디 마킹용 마스크.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 표시소자는 액정표시소자를 포함하는 투과형 표시소자인 것을 특징으로 하는 롯 아이디 마킹용 마스크.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 표시소자는 상기 투명한 기판의 가장자리 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 롯 아이디 마킹용 마스크.
  7. 롯 아이디를 제공하기 위한 롯 아이디 제공부;
    투명한 기판 상에 형성되며, 상기 롯 아이디 제공부로부터 상기 롯 아이디를 제공받아 상기 롯 아이디를 오엘이디 소자용 기판 또는 반도체 소자용 기판에 마킹하기 위한 표시소자를 포함하는 롯 아이디 마킹용 마스크를 포함하는 롯 아이디 마 킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 표시소자는 유브이 엘이디 또는 오엘이디를 포함하는 자체발광 표시소자이며,
    자체 발광된 빛을 통해 상기 롯 아이디에 대응되는 문자 및 숫자를 표시하여 상기 오엘이디 소자용 기판 또는 반도체 소자용 기판 상에 상기 롯 아이디를 마킹하는 것을 특징으로 하는 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 표시소자는 상기 투명한 기판의 가장자리 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치.
  10. 광원;
    롯 아이디를 제공하기 위한 롯 아이디 제공부;
    상기 롯 아이디 제공부로부터 상기 롯 아이디를 제공받아 상기 롯 아이디를 상기 광원에서 조사되는 빛을 통해 오엘이디 소자용 기판 또는 반도체 소자용 기판 상에 마킹하기 위한 표시소자를 포함하는 롯 아이디 마킹용 마스크를 포함하는 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 표시소자는 액정표시소자를 포함하는 투과형 표시소자이며,
    상기 광원을 통해 조사된 빛을 통해 상기 롯 아이디에 대응되는 문자 및 숫자를 표시하여 상기 오엘이디 소자용 기판 또는 반도체 소자용 기판 상에 상기 롯 아이디를 마킹하는 것을 특징으로 하는 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 표시소자는 상기 투명한 기판의 가장자리 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 장치.
  13. 투명한 기판 상에 표시소자를 포함하는 롯 아이디 마킹용 마스크 하부에 포토레지스트가 도포된 오엘이디 소자용 기판 또는 반도체 소자용 기판을 위치시키는 단계;
    상기 표시소자에 상기 롯 아이디를 제공하는 단계; 및
    상기 롯 아이디를 제공받아 상기 롯 아이디를 상기 오엘이디 소자용 기판 또는 반도체 소자용 기판 상에 마킹하는 단계를 포함하는 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 표시소자는 유브이 엘이디 또는 오엘이디를 포함하는 자체발광 표시소자이며,
    자체 발광된 빛을 통해 상기 롯 아이디에 대응되는 문자 및 숫자를 표시하여 상기 오엘이디 소자용 기판 또는 반도체 소자용 기판 상에 상기 롯 아이디를 마킹하는 것을 특징으로 하는 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 방법.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 표시소자는 액정표시소자를 포함하는 투과형 표시소자이며,
    광원에서 조사되는 빛을 통해 상기 롯 아이디에 대응되는 문자 및 숫자를 표시하여 상기 오엘이디 소자용 기판 또는 반도체 소자용 기판 상에 상기 롯 아이디를 마킹하는 것을 특징으로 하는 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 방법.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 포토레지스트는 상기 표시소자에 대응되는 위치의 상기 오엘이디 소자용 기판 또는 반도체 소자용 기판 상에 도포되는 것을 특징으로 하는 롯 아이디 마킹용 마스크를 이용한 롯 아이디 마킹 방법.
KR1020060071022A 2006-07-27 2006-07-27 롯 아이디 마킹용 마스크, 이를 이용한 롯 아이디 마킹장치 및 방법 KR100784705B1 (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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