KR100780282B1 - Apparatus for manufacturing multi-layer thick film composite dielectric tape and manufacturing method thereof - Google Patents

Apparatus for manufacturing multi-layer thick film composite dielectric tape and manufacturing method thereof Download PDF

Info

Publication number
KR100780282B1
KR100780282B1 KR1020050054829A KR20050054829A KR100780282B1 KR 100780282 B1 KR100780282 B1 KR 100780282B1 KR 1020050054829 A KR1020050054829 A KR 1020050054829A KR 20050054829 A KR20050054829 A KR 20050054829A KR 100780282 B1 KR100780282 B1 KR 100780282B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
thick film
film
release agent
slurry
composite dielectric
Prior art date
Application number
KR1020050054829A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20060135145A (en
Inventor
김인성
송재성
정순종
이동윤
Original Assignee
한국전기연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국전기연구원 filed Critical 한국전기연구원
Priority to KR1020050054829A priority Critical patent/KR100780282B1/en
Publication of KR20060135145A publication Critical patent/KR20060135145A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100780282B1 publication Critical patent/KR100780282B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B41/00—Arrangements for controlling or monitoring lamination processes; Safety arrangements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/14—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers
    • B32B37/24—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with at least one layer not being coherent before laminating, e.g. made up from granular material sprinkled onto a substrate
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/16—Drying; Softening; Cleaning
    • B32B38/164—Drying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B3/00—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties
    • H01B3/02—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances
    • H01B3/12—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances ceramics
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/20—Properties of the layers or laminate having particular electrical or magnetic properties, e.g. piezoelectric
    • B32B2307/206—Insulating

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
  • Insulating Bodies (AREA)
  • Moulding By Coating Moulds (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 다층후막 복합유전체 테이프의 제조장치는, 다층 후막 테이프의 제조를 위한 베이스 필름을 연속적으로 공급해주는 필름 공급장치와, 상기 연속적으로 공급 및 이송되는 필름의 이동 속도를 제어하는 필름 속도제어장치와, 후막 건조/안정화 장치의 일측에 설치되며, 후막 건조/안정화 장치에 의해 건조된 후막 위에 다음 공정에서의 이종 후막을 캐스팅하기 위해 그 표면에 소정 두께로 이형제를 코팅하는 이형제 코팅장치, 및 상기 이형제 코팅장치에 의해 일정한 두께로 이형제가 코팅되도록 제어하는 이형제 코팅 제어장치를 구비한 다층후막 복합유전체 테이프의 제조장치에 있어서: 복합 유전체 반죽인 슬러리를 그 내부에 가지고 있어, 상기 필름 공급장치로부터 공급된 필름 위에 복합 유전체 슬러리를 일정한 두께로 성형하며, 상기 필름 위에 형성되는 후막의 두께를 조절하기 위한 블레이드 니들 게이지(140g)가 마련되는 복수의 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140a~140c); 상기 지지프레임의 상면부의 상기 슬러리 챔버/닥터 블레이드에 근접 설치되며, 닥터 블레이드에 의해 성형된 후막을 일정한 두께와 폭, 그리고 물성을 유지하도록 표면을 안정화시키는 한편 용매를 휘발시키되, 내부에는 성형된 후막의 표면을 안정화시키기 위한 광-조사장치(152)와 히팅 안정화 롤러(154)가 각각 설치되고, 건조실의 일측에는 성형된 후막으로부터 용매를 휘발시키기 위한 가스의 주입을 위한 가스주입구(152)와, 사용 후의 가스의 배출을 위한 가스배출구(154)가 각각 마련되어 있는 복수의 후막 건조/안정화 장치(150a∼150c); 상기 지지프레임의 타측 단부에 설치되며, 상기 최종 성형된 후막 필름을 다시 감아 정리하는 성형후막 필름 회수장치(180); 및 상기 장치들을 전체적으로 지지 및 고정하는 지지프레임(110)을 포함하여 구성된다.An apparatus for producing a multilayer thick film composite dielectric tape according to the present invention includes a film supply device for continuously supplying a base film for manufacturing a multilayer thick film tape, and a film speed control for controlling a moving speed of the film continuously supplied and conveyed. A release agent coating apparatus installed on one side of the apparatus and the thick film drying / stabilizing apparatus, and coating a release agent to a predetermined thickness on the surface thereof to cast a heterogeneous thick film in the next step on the thick film dried by the thick film drying / stabilizing apparatus, and An apparatus for producing a multilayer thick film composite dielectric tape having a release agent coating control device for controlling a release agent coating to a certain thickness by the release agent coating device, comprising: a slurry having a composite dielectric dough therein, The composite dielectric slurry is molded to a constant thickness on the supplied film, Needle gauge blade (140g) with a plurality of slurry chamber / doctor blade is provided (140a ~ 140c) for regulating the thickness of the thick film to be formed on the film group; It is installed in close proximity to the slurry chamber / doctor blade of the upper surface of the support frame, stabilizes the surface of the thick film formed by the doctor blade to maintain a constant thickness and width and physical properties while evaporating the solvent, but the thick film formed inside A light-irradiating device 152 and a heating stabilizing roller 154 for stabilizing the surface of the chamber are provided, respectively, and on one side of the drying chamber, a gas inlet 152 for injecting gas for volatilizing a solvent from the formed thick film, A plurality of thick film drying / stabilizing devices 150a to 150c each provided with a gas outlet 154 for discharging the used gas; A thick thick film recovery device (180) installed at the other end of the support frame and configured to rewind the final molded thick film to be re-arranged; And a support frame 110 for supporting and fixing the devices as a whole.

이와 같은 본 발명에 의하면, 레이저와 할로겐 램프를 이용하여 후막 표면을 안정화시키고, 적정한 조건으로 용매를 휘발시키며, 이형제의 코팅, 후막 표면의 안정화 작업을 수행함으로써 성형된 후막위에 또 다른 후막을 이중으로 성형할 수 있을 뿐만 아니라, 성질이 서로 다른 세라믹 슬러리를 사용함으로써 이종 후막 유전체의 제조가 가능하다.According to the present invention, by using a laser and a halogen lamp to stabilize the thick film surface, volatilize the solvent under appropriate conditions, and coating the release agent, stabilization of the thick film surface to perform another double film on the thick film formed. In addition to molding, it is possible to manufacture heterogeneous thick film dielectrics by using ceramic slurries having different properties.

Description

다층후막 복합유전체 테이프의 제조장치 및 그 제조방법{Apparatus for manufacturing multi-layer thick film composite dielectric tape and manufacturing method thereof}Apparatus for manufacturing multi-layer thick film composite dielectric tape and manufacturing method

도 1은 본 발명에 따른 다층후막 복합유전체 테이프 제조장치의 전체적인 구성을 보여주는 도면.1 is a view showing the overall configuration of a multilayer thick film composite dielectric tape manufacturing apparatus according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 다층후막 복합유전체 테이프 제조장치의 슬러리 챔버/닥터 블레이드와 후막 건조/안정화 장치의 부분 발췌 확대도. Figure 2 is an enlarged partial view of the slurry chamber / doctor blade and thick film drying / stabilizing apparatus of the multilayer thick film composite dielectric tape manufacturing apparatus according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 다층후막 복합유전체 테이프 제조장치의 후막 건조/안정화 장치의 내부 구성을 보여주는 도면.Figure 3 is a view showing the internal configuration of the thick film drying / stabilizing apparatus of the multilayer thick film composite dielectric tape manufacturing apparatus according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

110...지지프레임
122...필름 공급장치 110 ... support frame
122 ... film feeder

123,124...필름 이송속도 조절장치123,124 ... film feedrate adjuster

130...필름 속도제어장치
140a∼140c...슬러리 챔버/닥터 블레이드130 ... film speed controller
140a to 140c ... Slurry Chamber / Doctor Blade

140g...블레이드 니들 게이지
140s...슬러리140 g ... blade needle gauge
140s ... Slurry

150a∼150c...후막 건조/안정화 장치
152...광-조사장치150a ~ 150c ... Thick Film Drying / Stabilizer
152 ... Light-irradiation device

154...히팅 안정화 롤러
156...가스주입구154 ... heat stabilization roller
156.Gas inlet

158...가스배출구
160a∼160c...이형제 코팅장치158.Gas outlet
160a ~ 160c ... release agent coating equipment

170...이형제 코팅 제어장치
180...성형후막 회수장치170 ... Release Agent Coating Control
180 ... forming thick film recovery device

본 발명은 다층후막 복합유전체 테이프의 제조장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 특히 1차로 성형된 후막 테이프를 안정화 및 건조시킨 후, 실리콘계 이형제로 처리하여 다시 2차 닥터 블레이드와 후막 테이프 캐스팅 공정을 진행시킴으로써 한 번의 후막공정으로 다층 성형이 가능하고, 서로 다른 물성의 이종 세라믹 슬러리를 다층으로 성형할 수 있는 다층후막 복합유전체 테이프의 제조장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for manufacturing a multilayer thick film composite dielectric tape and a method of manufacturing the same, and in particular, after stabilizing and drying a firstly formed thick film tape, the second doctor blade and the thick film tape casting process are further processed by treating with a silicone release agent. The present invention relates to a multi-layer thick film composite dielectric tape manufacturing apparatus capable of forming a multilayer in one thick film process and forming a multilayer ceramic slurry of different physical properties into a multilayer.

일반적으로, 세라믹 후막(thick film)을 제조하는 방법으로는 테이프 캐스팅(tape casting) 방법이 많이 사용된다. 테이프 캐스팅 방법은 원료를 곱게 갈아서 용매와 함께 분산제를 이용하여 고르게 분산시킨 다음, 바인더(binder), 결합제 등을 첨가하여 수십 시간 이상 볼밀을 해 줌으로써 섞어 가면서 잘게 부수는 공정을 거치면 슬러리(slurry) 형태의 점도가 있는 액상 반죽이 된다. 슬러리 반죽은 일정하게 용매를 휘발시킴으로써 점성을 제어하고, 제어된 점성의 액체는 닥터 블레이드를 통과하면서 두께가 일정하게 펴지며 후막 형태로 성형된다. 물론 이때 후막의 두께 조정은 닥터 블레이드의 블레이드 간극을 10∼20㎛ 정도로 미세하게 조절함으 로써 가능해 진다. 두께가 균질하게 성형된 후막은 미리 준비되어 이동중인 이송 필름 위에서 이루어지며, 이송필름은 등간격, 등속도로 이동하고 슬러리는 계속 공급되므로 연결된 슬러리 후막형태가 된다. 성형된 후막 슬러리는 아직 점도가 있는 상태이므로 일정 시간동안 건조된 이후에 용도에 따라 커팅을 하고 얼라인 키를 만들며, 전극이나 통전부를 도전성 페이스트로 프린팅하여 만들어 준다. 이때까지 모든 작업은 이송필름 위에서 이루어지며 이송필름은 PP(폴리프로필렌)나 PE(폴리에틸렌) 같이 열에도 연신되지 않는 신율이 적은 것을 사용한다. 이에 따라 한 층의 후막이 이송필름 위에서 완성된다. 계속되는 공정은 컷팅이나 프린팅 작업이 모두 끝나고 다층으로 적층되기 전까지는 항상 이송필름 위에서 작업된다. In general, a tape casting method is widely used as a method of manufacturing a ceramic thick film. In the tape casting method, the raw materials are finely divided and evenly dispersed using a dispersant together with a solvent. Then, a binder, a binder, and the like are added to the ball mill for at least several tens of hours to mix and crush. It becomes a liquid dough with a viscosity of. Slurry dough controls the viscosity by constantly volatilizing the solvent, and the controlled viscous liquid is uniformly flattened and formed into a thick film while passing through the doctor blade. Of course, the thickness of the thick film can be adjusted by finely adjusting the blade gap of the doctor blade to about 10 to 20㎛. The thick film homogeneously formed in thickness is prepared in advance on the transport film in motion, and the transport film moves in a constant interval, at a constant speed, and the slurry is continuously supplied, thereby forming a connected slurry thick film. Since the formed thick film slurry is still in a viscous state, after being dried for a predetermined time, cutting and aligning keys are made according to the purpose, and the electrode or the conducting part are printed by using a conductive paste. Up to this point, all work is done on the transfer film, which uses a low elongation that is not stretched by heat, such as PP (polypropylene) or PE (polyethylene). Thus, a layer of thick film is completed on the transfer film. The subsequent process is always carried out on the conveying film until all the cutting or printing operations are completed and stacked in multiple layers.

또한 한 번의 테이프 캐스팅 공정을 진행하기 위해서는 물성 첨가제, 분산제, 결합제, 가소제 등을 순서대로 첨가시켜 가면서 한 공정에 최소 12시간 이상씩 볼밀 작업을 진행시켜야 한다. 즉 시간적으로 약 1주일 이상 소모되며 그렇게 슬러리를 제조하더라도 후막 테이프 캐스팅 공정중에 점도가 변하지 않아야 균질한 두께가 유지되기 때문에 후막 테이프를 캐스팅할 시간이 그리 넉넉하게 주어지는게 아니다. 그러므로 많은 양의 후막을 제조하기 위해서는 폭이 넓은 캐스팅 장치가 필요하며 아울러 닥터 블레이드, 건조실 공정 진행 프레임 등의 크기가 동시에 커져서 고가의 장비를 갖추어야 하는 부담이 따른다. 그러나, 폭이 넓은 큰 장치는 다만 폭이 넓은 후막을 제조하기에 유리할 뿐이며 서로 다른 후막을 동시에 적층하기는 역시 불가능하다.  In addition, in order to proceed with a single tape casting process, it is necessary to add a physical additive, a dispersant, a binder, a plasticizer, etc. in order, and perform a ball mill operation for at least 12 hours in one process. That is, it is consumed for about one week or more, and even if the slurry is prepared, the time for casting the thick film tape is not given so much that the uniform thickness is maintained when the viscosity does not change during the thick film tape casting process. Therefore, in order to manufacture a large amount of thick film, a wide casting apparatus is required, and the size of the doctor blade, the drying chamber process progress frame, etc. is increased at the same time, which requires a burden of expensive equipment. However, large devices are only advantageous for producing wide thick films and it is also impossible to stack different thick films simultaneously.

본 발명은 이상과 같은 사항을 감안하여 창출된 것으로서, 1차로 성형된 후막 테이프를 안정화 및 건조시킨 후, 실리콘계 이형제로 처리하여 다시 2차 닥터 블레이드와 후막 테이프 캐스팅 공정을 진행시킴으로써 한 번의 후막공정으로 다층 성형이 가능하고, 서로 다른 물성의 이종 세라믹 슬러리를 다층으로 성형할 수 있는 다층후막 복합유전체 테이프의 제조장치 및 그 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.The present invention was created in view of the above matters, and after stabilizing and drying the first molded thick film tape, the second doctor blade and the thick film tape casting process were further processed by a silicone-based release agent to produce a single thick film process. It is an object of the present invention to provide a multilayer thick film composite dielectric tape manufacturing apparatus capable of forming a multilayer and forming a multilayer ceramic slurry of different physical properties into a multilayer.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 다층후막 복합유전체 테이프의 제조장치는,
다층 후막 테이프의 제조를 위한 베이스 필름을 연속적으로 공급해주는 필름 공급장치와, 상기 연속적으로 공급 및 이송되는 필름의 이동 속도를 제어하는 필름 속도제어장치와, 후막 건조/안정화 장치의 일측에 설치되며, 후막 건조/안정화 장치에 의해 건조된 후막 위에 다음 공정에서의 이종 후막을 캐스팅하기 위해 그 표면에 소정 두께로 이형제를 코팅하는 이형제 코팅장치, 및 상기 이형제 코팅장치에 의해 일정한 두께로 이형제가 코팅되도록 제어하는 이형제 코팅 제어장치를 구비한 다층후막 복합유전체 테이프의 제조장치에 있어서:
복합 유전체 반죽인 슬러리를 그 내부에 가지고 있어, 상기 필름 공급장치로부터 공급된 필름 위에 복합 유전체 슬러리를 일정한 두께로 성형하며, 상기 필름 위에 형성되는 후막의 두께를 조절하기 위한 블레이드 니들 게이지가 마련되는 복수의 슬러리 챔버/닥터 블레이드;
상기 지지프레임의 상면부의 상기 슬러리 챔버/닥터 블레이드에 근접 설치되며, 닥터 블레이드에 의해 성형된 후막을 일정한 두께와 폭, 그리고 물성을 유지하도록 표면을 안정화시키는 한편 용매를 휘발시키되, 내부에는 성형된 후막의 표면을 안정화시키기 위한 광-조사장치와 히팅 안정화 롤러가 각각 설치되고, 건조실의 일측에는 성형된 후막으로부터 용매를 휘발시키기 위한 가스의 주입을 위한 가스주입구와, 사용 후의 가스의 배출을 위한 가스배출구가 각각 마련되어 있는 복수의 후막 건조/안정화 장치;
상기 지지프레임의 타측 단부에 설치되며, 상기 최종 성형된 후막 필름을 다시 감아 정리하는 성형후막 필름 회수장치; 및In order to achieve the above object, a multilayer thick film composite dielectric tape manufacturing apparatus according to the present invention,
It is installed on one side of the film feeder for continuously supplying the base film for the manufacture of the multi-layer thick film tape, the film speed control device for controlling the moving speed of the continuously fed and conveyed film, the thick film drying / stabilization device, Release agent coating device for coating a release agent to a predetermined thickness on the surface to cast a heterogeneous thick film in the next step on the thick film dried by a thick film drying / stabilizer, and controlled to release the release agent to a constant thickness by the release agent coating device In the apparatus for producing a multilayer thick film composite dielectric tape having a release agent coating control device:
A plurality of blade needle gauges having a slurry, which is a composite dielectric dough, formed therein, forming a composite dielectric slurry to a predetermined thickness on a film supplied from the film supply device, and controlling a thickness of a thick film formed on the film Slurry chamber / doctor blades;
It is installed in close proximity to the slurry chamber / doctor blade of the upper surface of the support frame, stabilizes the surface of the thick film formed by the doctor blade to maintain a constant thickness and width and physical properties while evaporating the solvent, but the thick film formed inside A light-irradiation device and a heating stabilization roller are respectively provided for stabilizing the surface of the chamber, and on one side of the drying chamber, a gas inlet for injecting gas to volatilize the solvent from the formed thick film, and a gas outlet for discharging the gas after use. A plurality of thick film drying / stabilizing apparatuses each provided;
A thick film film recovery device installed at the other end of the support frame and configured to rewind the final molded thick film film; And

상기 장치들을 전체적으로 지지 및 고정하는 지지프레임을 포함하여 구성된 점에 그 특징이 있다. It is characterized in that it comprises a support frame for supporting and fixing the devices as a whole.

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 다층후막 복합유전체 테이프의 제조방법은,In addition, the method for producing a multilayer thick film composite dielectric tape according to the present invention in order to achieve the above object,

다층 후막 테이프의 제조를 위한 베이스 필름을 연속적으로 공급해주는 필름 공급장치; 연속적으로 공급 및 이송되는 필름의 이동 속도를 제어하는 필름 속도제어장치; 복합 유전체 반죽인 슬러리를 그 내부에 가지고 있으며, 공급된 필름 위에 복합 유전체 슬러리를 일정한 두께로 성형하는 복수의 슬러리 챔버/닥터 블레이드; 성형된 후막을 일정한 두께와 폭, 그리고 물성을 유지하도록 표면을 안정화시키는 한편 용매를 휘발시키는 복수의 후막 건조/안정화 장치; 건조된 후막 위에 다음 공정에서의 이종 후막을 캐스팅하기 위해 그 표면에 소정 두께로 이형제를 코팅하는 이형제 코팅장치; 이형제 코팅장치에 의해 일정한 두께로 이형제가 코팅되도록 제어하는 이형제 코팅 제어장치; 및 최종 성형된 후막 필름을 다시 감아 정리하는 성 형후막 필름 회수장치를 구비하는 다층후막 복합유전체 테이프의 제조장치에 의해 다층후막 복합유전체 테이프를 제조하기 위한 방법에 있어서, A film feeder for continuously supplying a base film for producing a multilayer thick film tape; A film speed control device for controlling a moving speed of the film which is continuously supplied and conveyed; A plurality of slurry chambers / doctor blades having slurry therein, which is a composite dielectric dough, for molding the composite dielectric slurry to a constant thickness on the supplied film; A plurality of thick film drying / stabilizing devices for stabilizing the surface of the molded thick film to maintain a constant thickness, width, and physical properties while volatilizing a solvent; Release agent coating apparatus for coating a release agent to a predetermined thickness on the surface to cast a heterogeneous thick film in the next step on the dried thick film; Release agent coating control device for controlling the release agent coating to a constant thickness by a release agent coating device; And a method for producing a multilayer thick film composite dielectric tape having a thick film composite dielectric tape having a molded thick film film recovery device for rewinding and arranging the final molded thick film.

a) 다층후막 복합유전체 테이프의 제조를 위한 베이스 필름을 상기 필름 공급장치에 의해 공정 라인상에 공급해 주는 단계; a) supplying a base film for producing a multilayer thick film composite dielectric tape on a process line by the film supply device;

b) 상기 공급되어 이송되는 필름 위에 상기 슬러리 챔버/닥터 블레이드에 의해 복합 유전체 슬러리를 일정한 두께로 성형하는 단계;b) molding a composite dielectric slurry to a constant thickness by means of the slurry chamber / doctor blade on the supplied and transported film;

c) 성형된 후막을 일정한 두께와 폭, 그리고 물성을 유지하도록 상기 후막 건조/안정화 장치에 의해 표면을 안정화시키는 한편 용매를 휘발시키는 단계;c) volatilizing the solvent while stabilizing the surface by the thick film drying / stabilizing device to maintain the formed thick film in a constant thickness, width and physical properties;

d) 건조된 후막 위에 다음 공정에서의 이종 후막을 캐스팅하기 위해 상기 이형제 코팅장치에 의해 그 표면에 소정 두께로 이형제를 코팅하는 단계;d) coating a release agent to a predetermined thickness on the surface by the release agent coating apparatus to cast the heterogeneous thick film in a subsequent process onto the dried thick film;

e) 상기 단계 b)∼d)의 과정을 이후의 복수의 다른 슬러리 챔버/닥터 블레이드, 후막 건조/안정화 장치, 이형제 코팅장치를 차례로 거치면서 복수회 반복 실행하는 단계; 및e) repeating the process of steps b) to d) a plurality of times while sequentially going through a plurality of different slurry chamber / doctor blades, thick film drying / stabilizing device, and release agent coating device; And

f) 상기 최종 이형제 코팅장치를 거친 다층후막 필름을 상기 성형후막 필름회수장치에 의해 다시 감아 정리하는 단계를 포함하는 점에 그 특징이 있다.f) rewinding and rearranging the multilayer thick film film passed through the final release agent coating device by the molded thick film film recovery device.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 3은 본 발명에 따른 다층후막 복합유전체 제조장치를 나타낸 것으로서, 도 1은 전체적인 구성을 보여주는 도면이고, 도 2는 슬러리 챔버/닥터 블레이드와 후막 건조/안정화 장치의 부분 발췌 확대도이며, 도 3은 후막 건조/안정화 장치의 내부 구성을 보여주는 도면이다. 1 to 3 show a multi-layer thick film composite dielectric manufacturing apparatus according to the present invention, Figure 1 is a view showing the overall configuration, Figure 2 is an enlarged partial view of the slurry chamber / doctor blade and thick film drying / stabilization device. 3 is a view showing the internal configuration of the thick film drying / stabilization apparatus.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 다층후막 복합유전체 제조장치는 지지프레임(110), 필름 공급장치(122), 필름 속도제어장치(130), 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140a∼140c), 후막 건조/안정화 장치(150a∼150c), 이형제 코팅장치(160a∼160c), 이형제 코팅 제어장치(170), 성형후막 회수장치(180)를 포함하여 구성된다.1 to 3, the multilayer thick film composite dielectric manufacturing apparatus according to the present invention includes a support frame 110, a film supply device 122, a film speed controller 130, and a slurry chamber / doctor blade 140a to 140c. ), A thick film drying / stabilizing device (150a to 150c), a release agent coating device (160a to 160c), a release agent coating control device 170, a molded thick film recovery device (180).

상기 지지프레임(110)은 장치를 전체적으로 지지 및 고정한다. The support frame 110 supports and fixes the device as a whole.

상기 필름 공급장치(122)는 상기 지지프레임(110)의 일측 단부에 설치되며, 다층 후막 테이프의 제조를 위한 베이스 필름을 연속적으로 공급해준다. The film supply device 122 is installed at one end of the support frame 110 and continuously supplies a base film for manufacturing a multilayer thick film tape.

여기서, 바람직하게는 이와 같은 필름 공급장치(122)와 상기 제1 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140a)(후술됨) 사이에는 필름 공급장치(122)로부터 공급되는 필름의 이송 속도를 조절하기 위한 필름 이송속도 조절장치(123)(124)가 더 설치된다. 또한, 베이스 필름으로는 연신율이 작은 폴리 프로필렌이나 폴리 에틸렌 재질의 필름이 사용된다. 이와 같은 필름은 미리 반복적인 실험을 통해 얻어진 최적 공정조건에 따라 필름 이송속도 조절장치(123)(124)를 거쳐 공정상으로 이송된다.Here, preferably, the film feed for adjusting the feed rate of the film supplied from the film feeder 122 between the film feeder 122 and the first slurry chamber / doctor blade 140a (described later) Speed regulators 123 and 124 are further installed. In addition, as the base film, a film made of polypropylene or polyethylene material having a small elongation is used. Such a film is transferred in the process via the film feed rate adjusting device (123, 124) according to the optimum process conditions obtained through the repetitive experiment in advance.

상기 필름 속도제어장치(130)는 지지프레임(110)의 일측에 설치되며, 상기 연속적으로 공급 및 이송되는 필름의 이동 속도를 제어한다. 이 필름 속도제어장치(130)에는 속도 제어용 스위치가 마련되어 있으며, 이 스위치를 조작함으로써 상기 필름 이송롤러(123)(124)의 회전속도가 조절되고, 이에 의해 필름의 이동 속도를 제어하게 되는 것이다.The film speed control device 130 is installed on one side of the support frame 110, and controls the moving speed of the film continuously supplied and conveyed. The film speed control device 130 is provided with a speed control switch. By operating the switch, the rotation speed of the film feed rollers 123 and 124 is adjusted, thereby controlling the moving speed of the film.

상기 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140a∼140c)는 지지프레임(110)의 상면부 일측에 설치되며, 복합 유전체 반죽인 슬러리를 그 내부에 가지고 있어, 상기 필름 공급장치(120)로부터 공급된 필름 위에 복합 유전체 슬러리를 일정한 두께로 성형한다. 여기서, 이 슬러리 챔버에는 성형하고자 하는 슬러리의 두께 및 물성에 따라 슬러리(예컨대, 세라믹 슬러리)(140s)에 용매, 분산제, 결합제, 물성향상 첨가제 등이 미리 혼합되어 반죽의 형태로 준비된다. 그리고, 이 슬러리(140s)는 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140a∼140c)의 일측에 마련되어 있는, 필름 위에 형성되는 후막의 두께를 조절하기 위한 블레이드 니들 게이지(140g)에 의해 원하는 후막 두께만큼 미소하게 간극이 조절된 그 간극 사이로 토출된다. 이상과 같은 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140a∼140c)는 공정상에 복수개(본 실시예에서는 제1 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140a)∼제3 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140c)의 3개가 마련되어 있는 것을 예시하고 있음)가 마련된다.The slurry chamber / doctor blades 140a to 140c are installed at one side of the upper surface of the support frame 110, and have a slurry, which is a composite dielectric dough, therein, which is formed on the film supplied from the film supply device 120. The dielectric slurry is molded to a constant thickness. In this slurry chamber, a solvent, a dispersant, a binder, a physical property additive, and the like are mixed in advance with the slurry (eg, ceramic slurry) 140s according to the thickness and physical properties of the slurry to be molded, and prepared in the form of a dough. And this slurry 140s is minutely spaced as desired thick film thickness by the blade needle gauge 140g for adjusting the thickness of the thick film formed on the film provided in one side of the slurry chamber / doctor blades 140a-140c. It is discharged between the adjusted gaps. The slurry chambers / doctor blades 140a to 140c described above are provided in plural in the process (in this embodiment, three of the first slurry chamber / doctor blades 140a to the third slurry chamber / doctor blades 140c are provided. For example).

상기 후막 건조/안정화 장치(150a∼150c)는 지지프레임(110)의 상면부의 상기 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140)에 근접 설치되며, 닥터 블레이드(140)에 의해 성형된 후막이 일정한 두께와 폭, 그리고 물성을 유지하도록 표면을 안정화시키는 한편 용매를 휘발시킨다. 이 후막 건조/안정화 장치(150a∼150c)의 내부에는 도 3에 도시된 바와 같이, 성형된 후막(145)의 표면을 안정화시키기 위한 광-조사장치(레이저 또는 할로겐 램프)(152)와 히팅 안정화 롤러(154)가 각각 설치되고, 건조실의 일측에는 성형된 후막(145)으로부터 용매를 휘발시키기 위한 가스(예를 들면, 질소 또는 아르곤)의 주입을 위한 가스주입구(152)와, 사용 후의 가스의 배출을 위한 가스배출구(154)가 각각 마련된다. 이상과 같은 후막 건조/안정화 장치(150a∼ 150c)는 공정상에 복수개(본 실시예에서는 3개)가 마련된다.The thick film drying / stabilizing devices 150a to 150c are installed in close proximity to the slurry chamber / doctor blade 140 of the upper surface of the support frame 110, and the thick film formed by the doctor blade 140 has a constant thickness and width, The solvent is then volatilized while stabilizing the surface to maintain physical properties. Inside the thick film drying / stabilizing device 150a to 150c, as shown in FIG. 3, a light-irradiating device (laser or halogen lamp) 152 and heating stabilization for stabilizing the surface of the formed thick film 145 are stabilized. The rollers 154 are provided, respectively, and at one side of the drying chamber, a gas inlet 152 for injecting a gas (for example, nitrogen or argon) for volatilizing a solvent from the formed thick film 145 and the gas after use. Gas outlets 154 for discharge are respectively provided. As described above, a plurality of thick film drying / stabilizing devices 150a to 150c are provided in the process (three in this embodiment).

상기 이형제 코팅장치(160a∼160c)는 상기 후막 건조/안정화 장치(150a∼150c)의 일측에 설치되며, 후막 건조/안정화 장치(150a∼150c)에 의해 건조된 후막 위에 다음 공정에서의 이종 후막을 캐스팅하기 위해 그 표면에 소정 두께(1㎛ 미만의 두께)로 이형제(예컨대, 실리콘계 오일)를 코팅한다. 이 이형제 코팅장치(160a∼160c)는 상기 후막 건조/안정화 장치(150a∼150c)의 갯수에 비례하여 복수개(본 실시예에서는 3개)가 마련된다.The release agent coating apparatus 160a to 160c is installed at one side of the thick film drying / stabilizing apparatus 150a to 150c, and the heterogeneous thick film in the following process is dried on the thick film dried by the thick film drying / stabilizing apparatus 150a to 150c. The mold is coated with a release agent (eg, silicone oil) to a predetermined thickness (less than 1 μm) on its surface for casting. The release agent coating apparatuses 160a to 160c are provided in plural (three in this embodiment) in proportion to the number of the thick film drying / stabilizing apparatuses 150a to 150c.

상기 이형제 코팅 제어장치(170)는 지지프레임(110)의 일측에 설치되며, 상기 이형제 코팅장치(160a∼160c)에 의해 일정한 두께로 이형제가 코팅되도록 제어한다. 이 이형제 코팅 제어장치(170)에는 상기 복수의(3개의) 이형제 코팅장치(160a∼160c)의 각 코팅 롤러의 회전속도를 제어하기 위한 복수의(3개의) 제어스위치가 마련된다.The release agent coating control unit 170 is installed on one side of the support frame 110, and controls to release the release agent to a certain thickness by the release agent coating apparatus (160a ~ 160c). The release agent coating control unit 170 is provided with a plurality of (three) control switches for controlling the rotational speed of each coating roller of the plurality of (3) release agent coating apparatus (160a to 160c).

상기 성형후막 필름 회수장치(180)는 지지프레임(110)의 타측 단부(공정진행상의 최종 단부)에 설치되며, 상기 복수의 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140a∼140c)와 후막 건조/안정화 장치(150a∼150c)를 거친 후의 최종 성형후막 필름을 다시 스풀(spool)에 감아 정리한다.The thick film thickener film recovery device 180 is installed at the other end of the support frame 110 (final end in the process progress), the plurality of slurry chamber / doctor blades (140a ~ 140c) and thick film drying / stabilization device (150a) The final thick film formed after passing through ˜150c) is again wound on a spool to be arranged.

그러면, 이상과 같은 구성을 갖는 본 발명의 다층후막 복합유전체 테이프의 제조장치에 의해 다층후막 복합유전체 테이프를 제조하는 과정에 대하여 도 1 내지 도 3을 참조하면서 설명해 보기로 한다.Next, a process of manufacturing the multilayer thick film composite dielectric tape by the apparatus for manufacturing a multilayer thick film composite dielectric tape having the above configuration will be described with reference to FIGS. 1 to 3.

먼저, 본 발명의 다층후막 복합유전체 테이프의 제조방법에 따라 다층후막 복합유전체 테이프의 제조를 위한 베이스 필름을 상기 필름 공급장치(122)에 의해 공정 라인상에 공급해 준다. First, according to the method for manufacturing a multilayer thick film composite dielectric tape of the present invention, a base film for manufacturing a multilayer thick film composite dielectric tape is supplied on a process line by the film supply device 122.

그런 후, 상기 공급되어 이송되는 필름 위에 제1 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140a)에 의해 복합 유전체 슬러리를 일정한 두께로 1차 성형한다. 여기서, 슬러리 챔버에는 성형하고자 하는 슬러리의 두께 및 물성에 따라 슬러리(예컨대, 세라믹 슬러리)에 용매, 분산제, 결합제, 물성 향상 첨가제 등이 미리 혼합되어 반죽의 형태로 준비된다. 그리고, 준비된 슬러리는 블레이드 니들 게이지(140g)(도 2 참조)에 의해 원하는 후막 두께 만큼 미소하게 간극이 조절되어, 조절된 간극 사이로 슬러리가 토출된다. 토출된 슬러리는 이송 테이프 위에 균질한 두께로 캐스팅되어 놓여지며, 필름의 이동 속도에 따라 연속적으로 후막이 성형된다. 이때, 슬러리의 점도나 물성에 따라 운전자(작업자)는 필름 속도제어장치(130)의 스위치를 조작하게 되며, 이에 따라 필름의 이동 속도가 조정된다. 다층으로 후막을 제조함에 있어 용매를 에틸 알콜, 메틸 알콜 또는 MEK(methyl ethyl ketone)를 사용할 경우, 필름을25mm/min의 속도로 이송하면 최적의 2차 후막 성형 조건임이 수차례의 사전 실험에 의해 확인되었다. 상기 제1 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140a)에 의해 성형된 후막 테이프는 용매나 점도에 따라 달라지지만 최소 두께 10㎛ 까지 성형이 가능하다.Thereafter, the composite dielectric slurry is first molded to a predetermined thickness by the first slurry chamber / doctor blade 140a on the supplied and transported film. Here, in the slurry chamber, a solvent, a dispersant, a binder, a physical property improving additive, and the like are premixed with the slurry (eg, a ceramic slurry) according to the thickness and physical properties of the slurry to be molded, and prepared in the form of a dough. Then, the prepared slurry is finely adjusted by the blade needle gauge 140g (see FIG. 2) by the desired thick film thickness, and the slurry is discharged between the adjusted gaps. The discharged slurry is cast and placed in a uniform thickness on the transfer tape, and the thick film is continuously formed according to the moving speed of the film. At this time, the driver (worker) to operate the switch of the film speed control device 130 according to the viscosity or physical properties of the slurry, thereby adjusting the moving speed of the film. When preparing a thick film in multiple layers, when using a solvent of ethyl alcohol, methyl alcohol or MEK (methyl ethyl ketone), the film is transported at a rate of 25 mm / min is the optimal secondary thick film forming conditions by a number of preliminary experiments Confirmed. The thick film tape formed by the first slurry chamber / doctor blade 140a may be molded to a minimum thickness of 10 μm, depending on the solvent and viscosity.

이상에 의해 1차 성형된 후막필름은 제1 후막 건조/안정화 장치(150a)로 이동하게 되며, 이곳에서 1차적으로 후막 표면이 안정화되도록 광-조사장치(152)(레이저나 할로겐 램프를 사용)에 의해 후막 표면에 광을 조사해 줌으로써 안정화 처리가 이루어진다. 이와 같은 안정화처리 이후, 성형 후막필름으로부터 용매를 휘발 시키기 위한 불활성 가스(질소 or 아르곤)가 외부에서 70∼80℃ 정도로 가열되어 가스주입구(156)를 통해 제1 후막 건조/안정화 장치(150a)의 내부로 공급된다. 성형 후막필름의 표면을 지난 가스는 가스배출구(158)를 통해 배출된 후, 다시 가열되어 장치 내부로 주입된다. The thick film film primarily formed by the above moves to the first thick film drying / stabilizing device 150a, where the light-irradiating device 152 (using a laser or a halogen lamp) is first stabilized. Stabilization is performed by irradiating light onto the thick film surface. After such stabilization treatment, an inert gas (nitrogen or argon) for volatilizing the solvent from the molded thick film film is heated to about 70 to 80 ° C. from the outside to the first thick film drying / stabilizing device 150a through the gas inlet 156. It is supplied internally. The gas passing through the surface of the formed thick film is discharged through the gas outlet 158, and then heated again to be injected into the apparatus.

이상과 같이 1차로 성형된 후막필름은 제1 후막 건조/안정화 장치(150a)를 지나면서 용매를 휘발시키고 균일한 두께를 유지하게 된다. 이때, 또한 일정한 온도로 가열되는 히팅 안정화 롤러(154)로 후막필름의 표면을 스치듯이 지나게 하여 성형된 후막필름의 표면을 안정화시킨다. 1차로 성형된 후막필름은 제1 후막 건조/안정화 장치(150a)로부터 나와 제1 후막 건조/안정화 장치(150a)의 후단(본 도면상으로는 측면)에 설치되어 있는 제1 이형제 코팅장치(160a)를 지나게 되며, 이 제1 이형제 코팅장치(160a)에 의해 1차 성형 후막필름의 표면에 실리콘 계열의 이형제를 코팅하게 된다.As described above, the first thick film film is volatilized to maintain a uniform thickness while passing through the first thick film drying / stabilizing device 150a. At this time, the surface of the thick film film is passed by the heating stabilization roller 154 heated to a constant temperature as if to stabilize the surface of the formed thick film. The first thick film formed out of the first thick film drying / stabilizing device (150a) is a first release agent coating device (160a) is installed on the rear end (side in the figure) of the first thick film drying / stabilizing device (150a) By passing through the first release agent coating device (160a) to the silicone-based release agent coating on the surface of the first molded thick film.

이상에 의해 단층으로 성형된 후막필름은 연속해서 제2 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140b)를 통과하게 되며, 이 통과에 의해 단층으로 성형된 후막필름의 표면에는 다시 두 번째 층 또는 1차 때와는 다른 이종의 후막이 역시 균일한 두께로 1차 후막 위에 성형된다. 그리고, 그렇게 성형된 후막은 계속해서 제2 후막 건조/안정화 장치(150b)를 거쳐 제2 이형제 코팅장치(160b)에 의해 이형제 처리가 진행되어, 필름에는 2중(2층) 후막(double layer)이 성형된다. 이후 동일한 과정으로 2층 성형 후막필름은 제3 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140c), 제3 후막 건조/안정화 장치(150c) 및 제3 이형제 코팅장치(160c)를 차례로 거치게 되며, 이에 의해 필름에 는 3층 후막이 성형된다. As described above, the thick film film formed into a single layer is continuously passed through the second slurry chamber / doctor blade 140b, and the surface of the thick film film formed into a single layer is passed through the second layer or the first time. Other heterogeneous thick films are also formed on the primary thick film with uniform thickness. Then, the thick film thus formed is subsequently subjected to a release agent treatment by the second release agent coating device 160b via the second thick film drying / stabilizing device 150b, and the film has a double layer. Is molded. Thereafter, in the same process, the two-layer molded thick film is sequentially passed through the third slurry chamber / doctor blade 140c, the third thick film drying / stabilizing device 150c, and the third release agent coating device 160c. A three-layer thick film is molded.

이상과 같은 일련의 후막 성형 과정에 있어서, 복수의(3개의) 슬러리 챔버/닥터 블레이드에 세라믹 슬러리를 사용할 경우, 이웃하는 슬러리 챔버/닥터 블레이드에 서로 다른 세라믹 슬러리를 사용할 경우, 예를 들면, 제1 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140a)에는 알루미나 절연체 슬러리를, 제2 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140b)에는 BST(barium strontium titanate) 강유전체 슬러리를, 그리고 제3 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140c)에는 다시 알루미나 절연체 슬러리를 사용할 경우에는 필름에는 다층의 이종 유전체 후막 성형이 가능하고, 복수의(3개의) 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140a∼140c)에 모두 동일한 세라믹 슬러리를 사용할 경우에는 다층의 동종 유전체 후막 성형이 가능해 진다. In the above-described series of thick film forming processes, when ceramic slurries are used for a plurality of (three) slurry chambers / doctor blades, when different ceramic slurries are used for neighboring slurry chambers / doctor blades, for example, Alumina insulator slurry in the 1 slurry chamber / doctor blade 140a, barium strontium titanate (BST) ferroelectric slurry in the second slurry chamber / doctor blade 140b, and alumina again in the third slurry chamber / doctor blade 140c. In the case of using an insulator slurry, a multilayered heterogeneous thick film can be formed in a film. In the case of using the same ceramic slurry in a plurality of (three) slurry chambers / doctor blades 140a to 140c, a multilayered homogeneous dielectric thick film can be formed. It becomes possible.

한편, 이상에 의해 상기 최종 이형제 코팅장치(160c)를 거친 다층후막 필름을 최종적으로 성형후막 필름회수장치(180)에 의해 다시 감아 정리함으로써 본 발명의 제조방법에 따른 다층후막 복합유전체 테이프의 제조가 완료된다.Meanwhile, the multilayer thick film film passed through the final release agent coating device 160c is wound up again by the thick film film recovering device 180 by the above, thereby preparing the multilayer thick film composite dielectric tape according to the manufacturing method of the present invention. Is done.

이상의 설명에서와 같이, 본 발명에 따른 다층후막 복합유전체 테이프의 제조장치 및 그 제조방법은 일반적으로 알려진 테이프 캐스팅 장비와 달리 건조실에서 레이저와 할로겐 램프를 이용하여 후막 표면을 안정화시키는 장치, 적정한 조건으로 용매를 휘발시키는 건조 조건, 이형제의 코팅, 후막 표면의 안정화 작업을 수행함으로써 성형된 후막위에 또 다른 후막을 이중으로 성형할 수 있다. 뿐만 아니라 성질이 다른 세라믹 슬러리를 각각의 슬러리 챔버/닥터 블레이드에 적용하여, 이종 후막 유전체의 제조가 가능하다.As described above, the apparatus for manufacturing a multilayer thick film composite dielectric tape according to the present invention and a method for manufacturing the same according to the present invention are apparatuses for stabilizing a thick film surface by using a laser and a halogen lamp in a drying chamber, unlike suitable tape casting equipment. Another thick film can be double-molded on the formed thick film by performing drying conditions for volatilizing a solvent, coating a release agent, and stabilizing the thick film surface. In addition, different types of ceramic slurries may be applied to each slurry chamber / doctor blade to produce heterogeneous thick film dielectrics.

또한, 슬러리의 준비 기간이 일주일 이상 걸리고 점도가 변하기전까지 균일한 작업을 수행해야 하는 기존의 조건에 비해 동시에 다층의 후막 성형이 가능하고, 조건에 따라 절연체-유전체와 같이 이종 복합 유전체의 제조가 가능한 장점이 있다.In addition, compared to the existing conditions in which the preparation period of the slurry takes more than a week and uniform work is required before the viscosity is changed, multilayer thick film can be formed at the same time, and heterogeneous composite dielectrics such as insulator-dielectric can be manufactured depending on the conditions. There is an advantage.

Claims (9)

다층 후막 테이프의 제조를 위한 베이스 필름을 연속적으로 공급해주는 필름 공급장치와, 상기 연속적으로 공급 및 이송되는 필름의 이동 속도를 제어하는 필름 속도제어장치와, 후막 건조/안정화 장치의 일측에 설치되며, 후막 건조/안정화 장치에 의해 건조된 후막 위에 다음 공정에서의 이종 후막을 캐스팅하기 위해 그 표면에 소정 두께로 이형제를 코팅하는 이형제 코팅장치, 및 상기 이형제 코팅장치에 의해 일정한 두께로 이형제가 코팅되도록 제어하는 이형제 코팅 제어장치를 구비한 다층후막 복합유전체 테이프의 제조장치에 있어서: It is installed on one side of the film feeder for continuously supplying the base film for the manufacture of the multi-layer thick film tape, the film speed control device for controlling the moving speed of the continuously fed and conveyed film, the thick film drying / stabilization device, Release agent coating device for coating a release agent to a predetermined thickness on the surface to cast a heterogeneous thick film in the next step on the thick film dried by a thick film drying / stabilizer, and controlled to release the release agent to a constant thickness by the release agent coating device In the apparatus for producing a multilayer thick film composite dielectric tape having a release agent coating control device: 복합 유전체 반죽인 슬러리를 그 내부에 가지고 있어, 상기 필름 공급장치로부터 공급된 필름 위에 복합 유전체 슬러리를 일정한 두께로 성형하며, 상기 필름 위에 형성되는 후막의 두께를 조절하기 위한 블레이드 니들 게이지(140g)가 마련되는 복수의 슬러리 챔버/닥터 블레이드(140a~140c); It has a slurry that is a composite dielectric dough therein, to form a composite dielectric slurry to a constant thickness on the film supplied from the film supply device, and a blade needle gauge (140g) for controlling the thickness of the thick film formed on the film A plurality of slurry chamber / doctor blades 140a to 140c provided; 상기 지지프레임의 상면부의 상기 슬러리 챔버/닥터 블레이드에 근접 설치되며, 닥터 블레이드에 의해 성형된 후막을 일정한 두께와 폭, 그리고 물성을 유지하도록 표면을 안정화시키는 한편 용매를 휘발시키되, 내부에는 성형된 후막의 표면을 안정화시키기 위한 광-조사장치(152)와 히팅 안정화 롤러(154)가 각각 설치되고, 건조실의 일측에는 성형된 후막으로부터 용매를 휘발시키기 위한 가스의 주입을 위한 가스주입구(152)와, 사용 후의 가스의 배출을 위한 가스배출구(154)가 각각 마련되어 있는 복수의 후막 건조/안정화 장치(150a∼150c);It is installed in close proximity to the slurry chamber / doctor blade of the upper surface of the support frame, stabilizes the surface of the thick film formed by the doctor blade to maintain a constant thickness and width and physical properties while evaporating the solvent, but the thick film formed inside A light-irradiating device 152 and a heating stabilizing roller 154 for stabilizing the surface of the chamber are provided, respectively, and on one side of the drying chamber, a gas inlet 152 for injecting gas for volatilizing a solvent from the formed thick film, A plurality of thick film drying / stabilizing devices 150a to 150c each provided with a gas outlet 154 for discharging the used gas; 상기 지지프레임의 타측 단부에 설치되며, 상기 최종 성형된 후막 필름을 다시 감아 정리하는 성형후막 필름 회수장치(180); 및A thick thick film recovery device (180) installed at the other end of the support frame and configured to rewind the final molded thick film to be re-arranged; And 상기 장치들을 전체적으로 지지 및 고정하는 지지프레임(110)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 다층후막 복합유전체 테이프의 제조장치. Apparatus for manufacturing a multilayer thick film composite dielectric tape comprising a support frame (110) for supporting and fixing the device as a whole. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 광-조사장치는 레이저 또는 할로겐 램프 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 다층후막 복합유전체 테이프의 제조장치.And said photo-irradiation device is either a laser or a halogen lamp. 삭제delete 다층 후막 테이프의 제조를 위한 베이스 필름을 연속적으로 공급해주는 필름 공급장치; 연속적으로 공급 및 이송되는 필름의 이동 속도를 제어하는 필름 속도제어장치; 복합 유전체 반죽인 슬러리를 그 내부에 가지고 있으며, 공급된 필름 위에 복합 유전체 슬러리를 일정한 두께로 성형하는 복수의 슬러리 챔버/닥터 블레이드; 성형된 후막을 일정한 두께와 폭, 그리고 물성을 유지하도록 표면을 안정화시키는 한편 용매를 휘발시키는 복수의 후막 건조/안정화 장치; 건조된 후막 위에 다음 공정에서의 이종 후막을 캐스팅하기 위해 그 표면에 소정 두께로 이형제를 코팅하는 이형제 코팅장치; 이형제 코팅장치에 의해 일정한 두께로 이형제가 코팅되도록 제어하는 이형제 코팅 제어장치; 및 최종 성형된 후막 필름을 다시 감아 정리하는 성형후막 필름 회수장치를 구비하는 다층후막 복합유전체 테이프의 제조장치에 의해 다층후막 복합유전체 테이프를 제조하기 위한 방법에 있어서, A film feeder for continuously supplying a base film for producing a multilayer thick film tape; A film speed control device for controlling a moving speed of the film which is continuously supplied and conveyed; A plurality of slurry chambers / doctor blades having slurry therein, which is a composite dielectric dough, for molding the composite dielectric slurry to a constant thickness on the supplied film; A plurality of thick film drying / stabilizing devices for stabilizing the surface of the molded thick film to maintain a constant thickness, width, and physical properties while volatilizing a solvent; Release agent coating apparatus for coating a release agent to a predetermined thickness on the surface to cast a heterogeneous thick film in the next step on the dried thick film; Release agent coating control device for controlling the release agent coating to a constant thickness by a release agent coating device; And a method for producing a multilayer thick film composite dielectric tape having a molded thick film composite dielectric tape having a molded thick film film recovery device for rewinding and arranging the final molded thick film. a) 다층후막 복합유전체 테이프의 제조를 위한 베이스 필름을 상기 필름 공급장치에 의해 공정 라인상에 공급해 주는 단계; a) supplying a base film for producing a multilayer thick film composite dielectric tape on a process line by the film supply device; b) 상기 공급되어 이송되는 필름 위에 상기 슬러리 챔버/닥터 블레이드에 의해 복합 유전체 슬러리를 일정한 두께로 성형하는 단계;b) molding a composite dielectric slurry to a constant thickness by means of the slurry chamber / doctor blade on the supplied and transported film; c) 성형된 후막을 일정한 두께와 폭, 그리고 물성을 유지하도록 상기 후막 건조/안정화 장치에 의해 표면을 안정화시키는 한편 용매를 휘발시키는 단계;c) volatilizing the solvent while stabilizing the surface by the thick film drying / stabilizing device to maintain the formed thick film in a constant thickness, width and physical properties; d) 건조된 후막 위에 다음 공정에서의 이종 후막을 캐스팅하기 위해 상기 이형제 코팅장치에 의해 그 표면에 소정 두께로 이형제를 코팅하는 단계;d) coating a release agent to a predetermined thickness on the surface by the release agent coating apparatus to cast the heterogeneous thick film in a subsequent process onto the dried thick film; e) 상기 단계 b)∼d)의 과정을 이후의 복수의 다른 슬러리 챔버/닥터 블레이드, 후막 건조/안정화 장치, 이형제 코팅장치를 차례로 거치면서 복수회 반복 실행하는 단계; 및e) repeating the process of steps b) to d) a plurality of times while sequentially going through a plurality of different slurry chamber / doctor blades, thick film drying / stabilizing device, and release agent coating device; And f) 상기 최종 이형제 코팅장치를 거친 다층후막 필름을 상기 성형후막 필름회수장치에 의해 다시 감아 정리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다층후막 복합유전체 테이프의 제조방법. f) rewinding and arranging the multilayer thick film film passed through the final release agent coating device by the molded thick film film recovery device. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 단계 c)에서의 성형된 후막으로부터 용매를 휘발시키기 위하여 질소 또는 아르곤 가스 중의 어느 하나를 상기 후막 건조/안정화 장치에 주입하는 것을 특징으로 하는 다층후막 복합유전체 테이프의 제조방법.A method for producing a multilayer thick film composite dielectric tape, wherein either nitrogen or argon gas is injected into the thick film drying / stabilizing device to volatilize a solvent from the formed thick film in step c). 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 후막으로부터 용매를 휘발시키기 위해 주입되는 질소 또는 아르곤 가스는 외부에서 70∼80℃ 정도로 가열되어 주입되는 것을 특징으로 하는 다층후막 복합유전체 테이프의 제조방법.Nitrogen or argon gas injected to volatilize the solvent from the thick film is heated to about 70 ~ 80 ℃ from outside to inject the multilayer thick film composite dielectric tape manufacturing method. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 단계 b) 내지 e)의 과정을 수행함에 있어서, 상기 복수의 슬러리 챔버/닥터 블레이드에 세라믹 슬러리를 사용할 경우, 이웃하는 슬러리 챔버/닥터 블레이드에 서로 다른 세라믹 슬러리를 사용하여 필름에 다층의 이종 유전체 후막을 성형하거나, 복수의 슬러리 챔버/닥터 블레이드에 모두 동일한 세라믹 슬러리를 사용하여 다층의 동종 유전체 후막을 성형하는 것을 특징으로 하는 다층후막 복합유전체 테이프의 제조방법.In performing the processes of steps b) to e), when a ceramic slurry is used in the plurality of slurry chambers / doctor blades, a multi-layered heterogeneous dielectric layer is formed on a film by using different ceramic slurries in a neighboring slurry chamber / doctor blade. A method for producing a multilayer thick film composite dielectric tape, wherein the thick film is formed, or a multilayer homogeneous dielectric thick film is formed by using the same ceramic slurry in a plurality of slurry chambers / doctor blades.
KR1020050054829A 2005-06-24 2005-06-24 Apparatus for manufacturing multi-layer thick film composite dielectric tape and manufacturing method thereof KR100780282B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050054829A KR100780282B1 (en) 2005-06-24 2005-06-24 Apparatus for manufacturing multi-layer thick film composite dielectric tape and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050054829A KR100780282B1 (en) 2005-06-24 2005-06-24 Apparatus for manufacturing multi-layer thick film composite dielectric tape and manufacturing method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060135145A KR20060135145A (en) 2006-12-29
KR100780282B1 true KR100780282B1 (en) 2007-11-28

Family

ID=37813205

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050054829A KR100780282B1 (en) 2005-06-24 2005-06-24 Apparatus for manufacturing multi-layer thick film composite dielectric tape and manufacturing method thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100780282B1 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030037696A (en) * 2001-11-05 2003-05-16 오리온전기 주식회사 method of making embossment for barrier ribs in a plasma display panel, and a plasma display panel having a rear panel made thereby
KR20030088517A (en) * 2002-05-11 2003-11-20 주식회사 이오테크닉스 The film marker system and its control method
KR20040095318A (en) * 2002-03-26 2004-11-12 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤 Thin-film laminated body, thin-film cell, capacitor, and method and equipment for manufacturing thin-film laminated body

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030037696A (en) * 2001-11-05 2003-05-16 오리온전기 주식회사 method of making embossment for barrier ribs in a plasma display panel, and a plasma display panel having a rear panel made thereby
KR20040095318A (en) * 2002-03-26 2004-11-12 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤 Thin-film laminated body, thin-film cell, capacitor, and method and equipment for manufacturing thin-film laminated body
KR20030088517A (en) * 2002-05-11 2003-11-20 주식회사 이오테크닉스 The film marker system and its control method

Also Published As

Publication number Publication date
KR20060135145A (en) 2006-12-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102664066B1 (en) Vapor phase deposition of organic films
JP4989909B2 (en) Electrode plate coating width control system and control method
CN106413915B (en) Coating method
EP2646209B1 (en) Method and system for real-time, closed-loop shape control of extruded ceramic honeycomb structures
US9599397B2 (en) Light curing apparatus having a modular lamp housing
CN104226539A (en) Coating apparatus and coating method
KR100780282B1 (en) Apparatus for manufacturing multi-layer thick film composite dielectric tape and manufacturing method thereof
KR20190124053A (en) apparatus for coating the both side
KR20110139663A (en) Thermal processing apparatus and thermal processing method
KR19990006928A (en) Manufacturing apparatus of printed wiring board and manufacturing method of printed wiring board
TWI568503B (en) Coating device
CZ305850B6 (en) Method of making coating film on a surface of a cylindrical base material and apparatus for making the same
JP5217732B2 (en) Electronic component manufacturing apparatus and electronic component manufacturing method
KR20020025872A (en) Method for producing ceramic green bodies
CN108630464B (en) Production line for laminated electronic components and method for manufacturing laminated electronic components
KR20200028859A (en) Light sintering apparatus
JP2009246318A5 (en)
JP3932711B2 (en) Film production equipment
JP2010099969A (en) Method of manufacturing transfer foil
KR100867510B1 (en) Sheet casting apparatus
KR101009210B1 (en) Apparatus for calendering pattern part of substrate
JP2005087912A (en) Coating film formation apparatus and coating film formation method
KR20200015962A (en) Double sided atomic layer deposition apparatus
JPH1134022A (en) Device for manufacture of ceramic green sheet
KR100617042B1 (en) Method and apparatus of making blanket for printing roll

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
G170 Publication of correction
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20111025

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121107

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee