KR100777290B1 - 전계 발광 소자의 제조방법 및 그 그린 시트 - Google Patents

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박대현
김제석
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엘지전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 전계 발광 소자의 제조방법 및 그 그린 시트에 관한 것으로 특히, 발광 효율을 향상시킬 수 있는 전계 발광 소자의 제조방법 및 그 그린 시트에 관한 것이다. 이러한 본 발명은, 전계 발광 소자의 제조방법에 있어서, 상기 소자에 형성되는 전극의 일면에 그린 시트법을 이용하여 유전층을 형성하는 단계와; 상기 유전층을 소성하는 단계를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
전계 발광, 유전층, 형광체층, 소성, 그린 시트.

Description

전계 발광 소자의 제조방법 및 그 그린 시트{Method for making electro-luminescent device and green sheet therefor}
도 1 내지 도 8은 본 발명의 제조방법의 제1실시예를 나타내는 단면도로서,
도 1은 기판 상에 하부 전극을 형성한 단계를 나타내는 단면도이다.
도 2는 하부 전극 상에 하부 유전층을 형성한 단계를 나타내는 단면도이다.
도 3은 하부 유전층의 다른 예를 나타내는 단면도이다.
도 4는 하부 유전층 상에 형광체층을 형성한 일례를 나타내는 단면도이다.
도 5는 형광체층 상에 상부 유전층 및 상부 전극을 형성한 단계를 나타내는 단면도이다.
도 6은 상부 전극 상에 색보정층 및 보호층을 형성한 단계를 나타내는 단면도이다.
도 7은 하부 유전층 상에 형광체층을 형성한 다른 예를 나타내는 단면도이다.
도 8은 형광체층 상에 상부 유전층과 상부 전극 및 색변환층을 형성한 단계를 나타내는 단면도이다.
도 9는 색변환층의 작용을 나타내는 개략도이다.
도 10 내지 도 13은 본 발명의 제조방법의 제2실시예를 나타내는 단면도로서,
도 10은 기판 상에 하부 전극을 형성한 단계를 나타내는 단면도이다.
도 11은 하부 전극 상에 하부 유전층을 형성한 단계를 나타내는 단면도이다.
도 12는 도포된 하부 유전층을 평탄화하는 단계를 나타내는 개략도이다.
도 13은 하부 유전층의 다른 예를 나타내는 단면도이다.
도 14 및 도 15는 본 발명의 제조방법의 제2실시예에 의한 소자의 구조를 나타내는 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 간단한 설명>
100 : 기판 200 : 발광층
210 : 하부 전극 220 : 하부 유전층
230 : 형광체층 240 : 상부 유전층
250 : 상부 전극 260 : 색변환층
300 : 색보정층 400 : 보호층
본 발명은 전계 발광 소자의 제조방법 및 그 그린 시트에 관한 것으로 특히, 발광 효율을 향상시킬 수 있는 전계 발광 소자의 제조방법 및 그 그린 시트에 관한 것이다.
전계 발광(electroluminscence) 현상은 발광 소자 및 이를 이용한 디스플레이 장치, 특히 평판 디스플레이 장치에 다양하게 이용되고 있다.
그 중에서 무기 박막을 이용하는 무기 전계 발광 소자(inorganic electro-luminescent device)는 평판 디스플레이 패널에 이용될 수 있으며, 고전계에 의해 가속된 전자가 형광체에 충돌하여 이 형광체를 여기시킴으로써 발광을 유도하는 소자로서, 고휘도, 장시간의 수명, 고분해능 등의 장점을 가진다.
이러한 무기 전계 발광 소자의 구조는 기판 상에 구성되며, 그 구조는 발광을 하는 형광체와, 이 형광체의 양측에 위치하는 유전층 및 전극으로 주로 구성된다.
특히, 유전층은 절연파괴와 외부 불순물로부터 소자를 보호하는 역할을 하여 소자의 안정성에 기여할 뿐 아니라, 형광체와의 계면 상태에 따라 발광 효율과 휘도의 특성을 결정하는 중요한 역할을 한다.
이러한 유전층의 특성으로는 절연파괴 전계가 커서 소자의 안정성에 기여하여야 하고, 유전상수가 커서 문턱전압을 낮추고 고휘도의 소자를 구현할 수 있어야 한다.
이때, 상기 유전층 중 적어도 어느 하나는 페이스트(paste)를 이용하는 스크린 프린팅과 같은 인쇄법을 주로 이용하여 형성되며, 이러한 인쇄법을 이용하는 유전층의 형성은 수차례의 인쇄 및 소성이 반복되어 이루어진다.
이와 같이, 수차례에 걸쳐 유전층을 형성하는 이유는 균일한 표면을 얻기 어 렵기 때문이다. 즉, 인쇄법을 이용하여 한 두차례로 유전층을 도포하는 경우에는 건조 후에 막의 표면이 거칠어지기 때문에 얇은 막의 유전층을 도포하고, 중간층(inter-layer)을 형성하는 과정을 반복하여 특정 두께를 이루게 된다.
특히, 전계 발광 소자의 하부 유전층은 고전계 형성을 위하여 두꺼운 막의 형성이 필요하므로, 이러한 막의 형성에 있어서 더 많은 단계를 필요로 한다.
또한, 이와 같이 인쇄법을 이용하여 한 두차례로 유전층을 도포하여 형성하는 경우에는 유전층에 크랙(crack)이 발생할 수 있고, 이러한 크랙은 소자의 성능을 크게 저하시킬 수 있다.
이와 같이, 소자의 구조를 이루는 막의 형성을 위한 반복 작업은 많은 공정 단계를 필요로 하고 따라서 제작에 많은 시간이 소요되는 문제점이 있었다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 공정이 용이하고 유전체층 또는 다른층의 막의 균일성을 향상시킴으로써 효율을 향상시킬 수 있는 전계 발광 소자의 제조방법 및 그 그린 시트을 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제를 이루기 위한 제1관점으로서, 본 발명은, 전계 발광 소자의 제조방법에 있어서, 상기 소자에 형성되는 전극의 일면에 그린 시트법을 이용하여 유전층을 형성하는 단계와; 상기 유전층을 소성하는 단계를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
상기 기술적 과제를 이루기 위한 제2관점으로서, 본 발명은, 전계 발광 소자 의 제조방법에 있어서, 상기 소자에 형성되는 전극의 일면에 테이블 코팅법을 이용하여 유전층을 형성하는 단계와; 상기 유전층을 소성하는 단계를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
상기 기술적 과제를 이루기 위한 제3관점으로서, 본 발명은, 전계 발광 소자용 그린 시트에 있어서, 상기 그린 시트는, 유전체 분말, 분산제, 바인더, 및 가소제를 포함하며, 상기 그린 시트의 조성은, 유전체 분말이 47 내지 70wt.%, 분산제가 1 내지 3wt.%, 바인더가 20 내지 35wt.%, 가소제가 8 내지 15wt.%인 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 의한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명은 여러 가지 수정 및 변형을 허용하면서도, 그 특정 실시예들이 도면들로 예시되어 나타내어지며, 이하에서 상세히 설명될 것이다. 그러나 이는 본 발명을 게시된 특별한 형태로 한정하려는 의도는 아니며, 오히려 본 발명은 청구항들에 의해 정의된 본 발명의 사상과 합치되는 모든 수정, 균등 및 대용을 포함한다.
동일한 참조번호는 도면의 설명을 통하여 동일한 요소를 나타낸다. 도면들에서 층들 및 영역들의 치수는 명료성을 위해 과장될 수 있다.
층, 영역 또는 기판과 같은 요소가 다른 구성요소 "상(on)"에 존재하는 것으로 언급될 때, 이것은 직접적으로 다른 요소 상에 존재하거나 또는 그 사이에 중간 요소가 존재할 수도 있다는 것을 의미한다.
표면과 같은 구성 요소의 일부가 '내부(inner)'라고 표현된다면 이것은 그 요소의 다른 부분들보다 소자의 외측으로부터 더 멀리 있다는 것을 의미한다고 이해할 수 있을 것이다.
나아가 '아래(beneath)' 또는 '중첩(overlies)'과 같은 상대적인 용어는 여기에서는 도면에서 도시된 바와 같이 기판 또는 기준층과 관련하여 한 층 또는 영역과 다른 층 또는 영역에 대한 한 층 또는 영역의 관계를 설명하기 위해 사용될 수 있다.
이러한 용어들은 도면들에서 묘사된 방향에 더하여 소자의 다른 방향들을 포함하려는 의도라는 것을 이해할 수 있을 것이다. 마지막으로 '직접(directly)'라는 용어는 중간에 개입되는 어떠한 요소가 없다는 것을 의미한다. 여기에서 사용되는 바와 같이 '및/또는'이라는 용어는 기록된 관련 항목 중의 하나 또는 그 이상의 어느 조합 및 모든 조합을 포함한다.
비록 제1, 제2 등의 용어가 여러 가지 요소들, 성분들, 영역들, 층들 및/또는 지역들을 설명하기 위해 사용될 수 있지만, 이러한 요소들, 성분들, 영역들, 층들 및/또는 지역들은 이러한 용어에 의해 한정되어서는 안 된다는 것을 이해할것이다.
이러한 용어들은 단지 다른 영역, 층 또는 지역으로부터 어느 하나의 요소, 성분, 영역, 층 또는 지역들을 구분하기 위해 사용되는 것이다. 따라서 아래에서 논의된 제1 영역, 층 또는 지역은 제2 영역, 층 또는 지역이라는 명칭으로 될 수 있다.
<제1실시예>
도 1에서 도시하는 바와 같이, 기판(100) 상에 전계에 의하여 발광하는 형광체층을 포함하는 발광층이 형성된다. 이러한 발광층의 형성을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상기 기판(100) 상에는 하부 전극(210)이 형성되며, 이러한 하부 전극(210)은 특정 패턴, 예를 들어, 스트라이프 형상으로 패터닝될 수 있다.
이러한 하부 전극(210)은 구리(Cu), 크롬(Cr), 금(Au)과 같은 금속이 스퍼터링 방법에 의하여 형성될 수 있으며, 은(Ag) 또는 은(Ag)을 포함한 합금으로 형성될 수도 있다.
이때, 상기 은(Ag) 또는 은(Ag)을 포함하는 합금은 인쇄법 또는 그린 시트법으로 형성이 가능하다. 따라서 이와 같이, 하부 전극(210)을 은(Ag) 또는 은(Ag)을 포함하는 합금으로 형성할 경우에는, 하부 전극(210)을 보다 간단한 공정으로 보다 두껍게 형성할 수 있다.
즉, 상술한 인쇄법 또는 그린 시트법은 스퍼터링법과 같은 방법에 비하여 고가의 장비를 필요로 하지 않고, 간단한 공정에 의하여 제작이 가능하며, 스퍼터링법과 같은 방법에 비하여 보다 두껍게 하부 전극(210)을 형성할 수 있다.
이러한 하부 전극(210) 상에는, 도 2에서와 같이, 하부 유전층(220)이 형성된다. 이러한 하부 유전층(220)은 한차례 또는 수차례에 걸쳐 형성될 수 있으며, 인쇄법, 그린 시트법, 또는 테이블 코팅법 등의 방법에 의하여 형성될 수 있다.
상기 하부 유전층(220)은 절연파괴와 외부 불순물로부터 소자를 보호하는 역 할을 하여 소자의 안정성에 기여할 뿐 아니라, 형광체와의 계면 상태에 따라 발광 효율과 휘도의 특성을 결정하는 중요한 역할을 한다.
이와 같은 하부 유전층(220)을 그린 시트법이나 테이블 코팅법에 의하여 형성하는 경우에는 두꺼운 막을 균일하게 형성할 수 있고, 강유전체의 성질을 가지는 것이 바람직하며, BaTiO3을 포함하여 형성될 수 있다.
이와 같이, 그린 시트법을 이용하여 하부 유전층(220)을 형성하는 경우에는, 먼저, 유전체 분말을 포함하는 그린 시트(221)를 준비한다. 이러한 그린 시트(221)는 유전체 분말과, 분산제, 바인더, 및 가소제 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있으며, 상술한 재료가 슬러리 형태로 제조된 후 건조되어 일정한 두께를 가지는 그린 시트(221)가 제조될 수 있다.
이와 같은 그린 시트(221)의 조성은, 유전체 분말이 47 내지 70wt.%, 분산제가 1 내지 3wt.%, 바인더가 20 내지 35wt.%, 가소제가 8 내지 15wt.%인 것이 바람직하다.
이렇게 준비된 그린 시트(221)를 상기 하부 전극(210) 상에 라미네이터와 같은 라미네이팅 장비를 이용하여 형성하고, 그 이후에 소성된다.
또한, 경우에 따라서는, 도 3에서와 같이, 각각 다른 조성과 성분을 갖는 그린 시트(221)를 두 층 이상 형성할 수 있으며, 이러한 두 층 이상의 그린 시트(221) 사이에는 중간층(222)이 위치할 수도 있다.
이와 같은 두 층 이상의 그린 시트(221)는 각각 소성되거나 한번에 소성될 수 있다.
이후에는 도 4에서 도시하는 바와 같이, 하부 유전층(220) 상에 형광체층(230)이 형성된다. 이러한 형광체층(230)은 적색 형광체(231), 녹색 형광체(232), 및 청색 형광체(233)가 차례로 형성되거나 패터닝 되어 발광셀을 이룰 수 있다.
이러한 세 개의 형광체는 하나의 픽셀을 이룰 수 있으며, 적색(231) 형광체, 녹색(232) 형광체, 및 청색 형광체(233)가 각각 서브 픽셀로서 배열되어 형성될 수 있다.
이와 같이 형성된 형광체층(230) 상에는, 도 5에서와 같이, 상부 유전층(240)과 상부 전극(250)이 차례로 형성된다.
상기 상부 유전층(240)은 상술한 하부 유전층(220)과 동일한 방법으로 형성될 수 있다.
또한, 상부 전극(250)은 상기 하부 전극(210)과 교차하는 패턴으로 형성될 수 있으며, 예를 들어, 상기 하부 전극(210)의 패턴과 직교하는 스트라이프 형상으로 형성될 수 있다.
이와 같이, 형성된 상부 전극(250) 상에는, 도 6에서 도시하는 바와 같이, 상기 형광체층(230)에서 발광한 빛이 컬러 좌표에 맞도록 보정하는 색보정층(300)이 위치할 수 있다.
또한, 상기 색보정층(300) 상에는 보호층(400)이 형성되어, 외부의 충격으로부터 발광층(200)과 기판(100)을 보호할 수 있다.
한편, 상기 하부 유전체층(220) 상에는 도 7에서와 같이, 청색 형광체(233)가 전체 층을 이루는 형광체층(230)을 이룰 수 있다.
이와 같이 청색 형광체(233)에 의하여 발광된 청색 광은 추후 설명하는 색변환층(260: 도 8 참고)에 의하여 적색광 및 녹색광으로 변환되어 전체 색상을 표현할 수 있다.
이와 같이 형성된 형광체층(230) 상에는, 상부 유전층(240)과 상부 전극(250)이 차례로 형성된다.
상기 상부 유전층(240)은 상술한 하부 유전층(220)과 동일한 방법으로 형성될 수 있다.
또한, 상부 전극(250)은 상기 하부 전극(210)과 교차하는 패턴으로 형성될 수 있으며, 예를 들어, 상기 하부 전극(210)의 패턴과 직교하는 스트라이프 형상으로 형성될 수 있다.
이러한 상부 전극(250) 상에는 색변환층(260)이 형성된다. 이러한 색변환층(260)은 상술한 바와 같이, 청색 형광체(233)에서 발광된 청색광을 각각 적색(R)광, 녹색(G)광으로 변환시킬 수 있다.
도 9에서는 상기 색변환층(260)의 작용을 개략적으로 도시하고 있다. 즉, 색변환층(260)은 적색 변환부(261), 녹색 변환부(262), 및 청색 보정부(263)로 구성되어 있어, 상기 적색 변환부(261)는 청색광을 적색으로, 녹색 변환부(262)는 청색광을 녹색으로 변환시키는 것이다.
이때, 상기 청색 보정부(263)는 상기 청색광을 보정시킬 수 있고, 경우에 따 라서는 그대로 통과시킬 수도 있다.
이러한 색변환층(260) 상에 별도의 색보정층이 위치할 수도 있으나, 상기 색변환층(260)이 최적의 색좌표로 각 색상을 출력할 수 있다면 별도의 색보정층이 필요하지 않을 수 있다.
또한, 상기 색변환층(260) 상에는 보호층(400)이 형성되어, 외부의 충격으로부터 기판(100)과, 이 기판(100) 상에 형성된 발광층 구조를 보호할 수 있다.
<제2실시예>
도 10에서 도시하는 바와 같이, 기판(100) 상에는 하부 전극(210)이 형성되며, 이러한 하부 전극(210)은 특정 패턴, 예를 들어, 스트라이프 형상으로 패터닝될 수 있다.
이러한 하부 전극(210)은 구리(Cu), 크롬(Cr), 금(Au)과 같은 금속이 스퍼터링 방법에 의하여 형성될 수 있으며, 은(Ag) 또는 은(Ag)을 포함한 합금으로 형성될 수도 있고, 이러한 은(Ag) 또는 은(Ag)을 포함하는 합금은 인쇄법 또는 그린 시트법으로 형성이 가능하며, 이상은 상기 제1실시예와 동일하다.
이러한 하부 전극(210) 상에는, 도 11에서와 같이, 하부 유전층(220)이 형성된다. 이러한 하부 유전층(220)은 한차례 또는 수차례에 걸쳐 형성될 수 있으며, 인쇄법, 그린 시트법, 또는 테이블 코팅법 등의 방법에 의하여 형성될 수 있으며, 이하, 본 실시예에서는 테이블 코팅법에 의하여 하부 유전층(220)이 형성되는 과정을 설명한다.
이와 같이, 상기 하부 유전층(220)을 테이블 코팅법을 이용하여 형성하는 경 우에는, 먼저, 도 12에서와 같이, 테이블 코터 장비에서 하부 유전층(220)의 슬러리 또는 페이스트와 같은 유전층 재료(223)를 도포한 후에, 이와 같이 도포된 유전층 재료(223)는 블레이드(224)와 같은 도구에 의하여 평탄화될 수 있다.
이와 같이 도포된 유전층 재료(223)는 건조 과정을 거쳐서 소성될 수 있으며, 도 13에서와 같이, 두 층 이상의 유전층 재료(223)가 도포될 수도 있고, 이후, 두 차례 이상의 도포 및 건조 과정이 수행될 수 있다.
이렇게 두 층 이상의 유전층 재료(223)가 사용되는 경우에는, 이러한 유전층 재료(223) 사이에 중간층(222)이 형성될 수도 있다.
이후에는 도 14에서 도시하는 바와 같이, 상술한 방법에 의하여 형성된 하부 유전층(220) 상에 형광체층(230)이 형성된다. 이러한 형광체층(230)은 적색 형광체(231), 녹색 형광체(232), 및 청색 형광체(233)가 차례로 형성되거나 패터닝 되어 발광셀을 이룰 수 있다.
이러한 세 개의 형광체는 하나의 픽셀을 이룰 수 있으며, 적색(231) 형광체, 녹색(232) 형광체, 및 청색 형광체(233)가 각각 서브 픽셀로서 배열되어 형성될 수 있다.
이와 같이 형성된 형광체층(230) 상에는 상부 유전층(240)과 상부 전극(250)이 차례로 형성된다. 상기 상부 유전층(240)은 상술한 하부 유전층(220)과 동일한 방법으로 형성될 수 있다.
또한, 상부 전극(250)은 상기 하부 전극(210)과 교차하는 패턴으로 형성될 수 있으며, 예를 들어, 상기 하부 전극(210)의 패턴과 직교하는 스트라이프 형상으 로 형성될 수 있다.
이와 같이, 형성된 상부 전극(250) 상에는 상기 형광체층(230)에서 발광한 빛이 컬러 좌표에 맞도록 보정하는 색보정층(300)이 위치할 수 있고, 상기 색보정층(300) 상에는 보호층(400)이 형성되어, 외부의 충격으로부터 기판(100)과 그 위에 형성된 발광층(200) 구조를 보호할 수 있다.
한편, 상기 하부 유전체층(220) 상에는 도 15에서와 같이, 청색 형광체(233)가 전체 층을 이루는 형광체층(230)을 이룰 수 있다. 이와 같이 청색 형광체(233)에 의하여 발광된 청색 광은 색변환층(260)에 의하여 적색광 및 녹색광으로 변환되어 전체 색상을 표현할 수 있다.
이와 같이 형성된 형광체층(230) 상에는, 상부 유전층(240)과 상부 전극(250)이 차례로 형성되며, 상기 상부 유전층(240)은 상술한 하부 유전층(220)과 동일한 방법으로 형성될 수 있다.
또한, 상부 전극(250)은 상기 하부 전극(210)과 교차하는 패턴으로 형성될 수 있으며, 예를 들어, 상기 하부 전극(210)의 패턴과 직교하는 스트라이프 형상으로 형성될 수 있다.
이러한 상부 전극(250) 상에는 색변환층(260)이 형성된다. 이러한 색변환층(260)은 상술한 바와 같이, 청색 형광체(233)에서 발광된 청색광을 각각 적색(R)광, 녹색(G)광으로 변환시킬 수 있다.
이러한 색변환층(260) 상에 상기 색변환층(260)에서 변환된 광의 색상을 보정하는 별도의 색보정층(300)이 위치할 수 있다. 그러나 상기 색변환층(260)이 최 적의 색좌표로 각 색상을 출력할 수 있다면 별도의 색보정층(300)이 필요하지 않을 수 있다.
또한, 상기 색보정층(300) 상에는 보호층(400)이 형성되어, 외부의 충격으로부터 기판(100)과, 이 기판(100) 상에 형성된 발광층(200) 구조를 보호할 수 있다.
상기 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구체적으로 설명하기 위한 일례로서, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 다양한 형태의 변형이 가능하고, 이러한 기술적 사상의 여러 실시 형태는 모두 본 발명의 보호범위에 속함은 당연하다.
이상과 같은 본 발명은 다음과 같은 효과가 있는 것이다.
첫째, 전계 발광 소자의 유전층을 형성함에 있어서, 유전층의 균일성을 크게 향상시킬 수 있다.
둘째, 두꺼운 유전층을 용이하게 형성할 수 있다.
셋째, 이와 같이 균일성이 우수한 두꺼운 막을 형성할 수 있어서, 공정 단계가 축소되어 비용이 절감되고 양산성을 크게 향상시킬 수 있다.

Claims (32)

  1. 전계 발광 소자의 제조방법에 있어서,
    상기 소자에 형성되는 전극의 일면에 그린 시트법을 이용하여 유전층을 형성하는 단계와;
    상기 유전층 상에 청색(B)을 발광하는 형광체층을 형성하는 단계와;
    상기 형광체층 상에, 상기 청색(B) 광의 적어도 일부를 적색(R) 광 및 녹색(G) 광으로 변환하는 색변환층을 형성하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 유전층은, BaTiO3을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 유전층은, 전극 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 유전층은, 하부 유전층인 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 유전층은, 1회 이상 소성되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 유전층을 형성하는 단계는, 1층 이상의 그린 시트에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 유전층은, 강유전체인 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 형광체층에서 발광하는 광의 색상을 보정하는 색보정층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  9. 제 1항에 있어서, 상기 유전층을 형성하는 단계에서, 상기 그린 시트는, 유전체 분말, 분산제, 바인더, 및 가소제를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  10. 제 1항에 있어서, 상기 그린 시트의 조성은, 유전체 분말이 47 내지 70wt.%, 분산제가 1 내지 3wt.%, 바인더가 20 내지 35wt.%, 가소제가 8 내지 15wt.%인 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  11. 제 1항에 있어서, 상기 전극은, Ag 또는 Ag를 포함하는 합금으로 형성되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  12. 전계 발광 소자의 제조방법에 있어서,
    상기 소자에 형성되는 전극의 일면에 2층 이상의 그린 시트 및 상기 그린 시트 사이에 위치하는 중간층를 이용하여 유전층을 형성하는 단계와;
    상기 유전층을 소성하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  13. 제 12항에 있어서, 상기 유전층 상에 형광체층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  14. 제 12항에 있어서, 상기 형광체층을 형성하는 단계는, 적색(R), 녹색(G), 및 청색(B)을 발광하는 형광체층을 형성하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  15. 제 12항에 있어서, 상기 형광체층에서 발광하는 광의 색상을 보정하는 색보정층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  16. 제 12항에 있어서, 상기 전극은, Ag 또는 Ag를 포함하는 합금으로 형성되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  17. 전계 발광 소자의 제조방법에 있어서,
    상기 소자에 형성되는 전극의 일면에 테이블 코팅법을 이용하여 유전층을 형성하는 단계와;
    상기 유전층을 소성하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  18. 제 17항에 있어서, 상기 유전층은, BaTiO3을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  19. 제 17항에 있어서, 상기 유전층은, 전극 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  20. 제 17항에 있어서, 상기 유전층은, 하부 유전층인 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  21. 제 17항에 있어서, 상기 유전층은, 1회 이상 소성되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  22. 제 17항에 있어서, 상기 유전층을 형성하는 단계는, 1층 이상 코팅하여 형성되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  23. 제 17항에 있어서, 상기 유전층을 형성하는 단계는,
    상기 유전층의 슬러리를 도포하는 단계와;
    상기 슬러리를 평탄화하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  24. 제 17항에 있어서, 상기 유전층은, 강유전체인 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  25. 제 17항에 있어서, 상기 유전층 상에 형광체층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  26. 제 25항에 있어서, 상기 형광체층을 형성하는 단계는, 적색(R), 녹색(G), 및 청색(B)을 발광하는 형광체층을 형성하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  27. 제 25항에 있어서, 상기 형광체층을 형성하는 단계는, 청색(B)을 발광하는 형광체층을 형성하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  28. 제 27항에 있어서, 상기 형광체층 상에는, 상기 청색(B) 광을 적색(R) 및 녹 색(G)으로 변환하는 색변환층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  29. 제 25항에 있어서, 상기 형광체층에서 발광하는 광의 색상을 보정하는 색보정층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  30. 제 17항에 있어서, 상기 전극은, Ag 또는 Ag를 포함하는 합금으로 형성되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  31. 제 30항에 있어서, 상기 전극은, 인쇄법 또는 그린 시트법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법.
  32. 삭제
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