KR100776482B1 - Organic light emitting display device and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

An organic light emitting display device and a manufacturing method thereof are provided to maintain a stable light emitting characteristic and improve an electric characteristic of an element by preventing the change of voltage. An organic light emitting display device includes an insulation substrate, a first electrode, a first wiring, a second electrode, a second wiring, a sub electrode, a driving unit, an insulation film(60), and an organic thin film layer. The first electrode is formed in one direction on the insulation substrate. The first wiring is connected to the first electrode. The second electrode is formed in the direction which crosses the first electrode. The second wiring is connected to the second electrode. The sub electrode is formed at the first wiring and the second wiring. The driving unit is connected with the first wiring and the second wiring. The insulation film is formed between the first electrode and the second electrode, and has an opening at a part where the first electrode and the second electrode cross each other, and an opening at a part where the driving unit, the first wiring, and the second wiring are connected. The organic thin film layer is formed at the opening where the first electrode and the second electrode cross each other.

Description

유기전계발광 표시 장치 및 그의 제조 방법 {Organic light emitting display device and method of manufacturing the same}Organic light emitting display device and method of manufacturing the same {Organic light emitting display device and method of manufacturing the same}

도 1은 본 발명에 따른 유기전계발광 표시 장치를 설명하기 위한 평면도.1 is a plan view illustrating an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2a 내지 도 2g는 본 발명에 따른 유기전계발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 평면도.2A to 2G are plan views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention.

도 3a 내지 도 3g는 본 발명에 따른 유기전계발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도.3A to 3G are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10: 화소 영역 12: 애노드 전극10: pixel region 12: anode electrode

14: 캐소드 전극 22: 데이터선14 cathode electrode 22 data line

24: 주사선 26a 및 26b: 보조 전극24: scanning lines 26a and 26b: auxiliary electrodes

28a 및 28b: 보호막 30: 비화소 영역28a and 28b: protective film 30: non-pixel region

40: 본딩 패드부 42: 구동부40: bonding pad portion 42: drive portion

46: 범프 50: 입출력 패드부46: bump 50: input / output pad portion

60: 절연막 62a, 62b 및 62c: 개구부60: insulating films 62a, 62b and 62c: openings

70: 격벽 80: 유기 박막층70: partition 80: organic thin film layer

100: 기판 110: 이방성 도전 필름100: substrate 110: anisotropic conductive film

112: 도전볼112: challenge ball

본 발명은 유기전계발광 표시 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 보조 전극을 구비하는 유기전계발광 표시 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device and a manufacturing method thereof, and more particularly, to an organic light emitting display device having an auxiliary electrode and a manufacturing method thereof.

유기전계발광 소자(Organic light emitting device)는 자체발광 특성을 갖는 차세대 표시 소자로서, 액정표시소자(Liquid Crystal Display Device; LCD)에 비해 시야각, 콘트라스트(contrast), 응답속도, 소비전력 등의 측면에서 우수한 특성을 갖는다.Organic light emitting devices are next-generation display devices with self-luminous characteristics.They are organic light emitting devices that have a viewing angle, contrast, response speed, and power consumption compared to liquid crystal display devices (LCDs). Has excellent properties.

유기전계발광 소자는 애노드 전극, 유기 박막층 및 캐소드 전극으로 구성되며, 애노드 전극과 캐소드 전극에 소정의 전압이 인가되면 애노드 전극을 통해 주입되는 정공과 캐소드 전극을 통해 주입되는 전자가 발광층에서 재결합하게 되고, 이 과정에서 발생되는 에너지 차이에 의해 빛을 방출한다. The organic light emitting device is composed of an anode electrode, an organic thin film layer and a cathode electrode, and when a predetermined voltage is applied to the anode electrode and the cathode electrode, holes injected through the anode electrode and electrons injected through the cathode electrode are recombined in the light emitting layer. In this process, light is emitted by the energy difference generated by this process.

이러한 유기전계발광 소자는 주사선(scan line)과 신호선(signal line) 사이에 매트릭스 방식으로 연결되어 화소를 구성하는 패시브 매트릭스(passive matrix) 방식과, 각 화소의 동작이 스위치 역할을 하는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT)에 의해 제어되는 액티브 매트릭스(active matrix) 방식으로 구성된다.Such an organic light emitting display device has a passive matrix method in which a pixel is connected between a scan line and a signal line to form a pixel, and a thin film transistor in which an operation of each pixel serves as a switch. It is configured in an active matrix manner controlled by a film transistor (TFT).

패시브 매트릭스 방식의 유기전계발광 표시 장치는 일 방향으로 형성된 애노드(anode) 전극, 애노드 전극과 교차되도록 형성된 캐소드(cathode) 전극 및 애노드 전극 및 캐소드 전극 사이에 형성된 유기 박막층을 포함하는 유기전계발광 소자와, 외부로부터 입력된 신호를 처리하여 데이터선 및 주사선을 통해 유기전계발광 소자로 전달하는 구동부로 이루어진다. An organic light emitting display device having a passive matrix type includes: an organic light emitting display including an anode formed in one direction, a cathode formed to intersect the anode, and an organic thin film layer formed between the anode and the cathode; The driving unit is configured to process a signal input from the outside and transmit the signal to the organic light emitting diode through the data line and the scan line.

상기와 같이 구성된 유기전계발광 표시 장치에서 데이터선 및 주사선은 ITO(Indium Tin Oxide)와 같은 투명 전극물질로 형성된다. ITO는 투과성은 양호하지만 저항값이 높다. 그러므로 전류 구동 방식의 유기전계발광 표시 장치에서 데이터선 및 주사선의 저항값 증가는 급격한 전압 변동의 원인으로 작용한다. 근래에는 데이터선 및 주사선의 저항값을 감소시키기 위해 저항값이 낮은 물질로 보조 전극을 형성하는데, 데이터선 및 주사선을 패터닝하기 위한 식각 공정시 보조 전극의 측벽이 노출되기 때문에 측벽 손실로 인한 저항값 증가가 문제점으로 대두된다. In the organic light emitting display device configured as described above, the data line and the scan line are formed of a transparent electrode material such as indium tin oxide (ITO). ITO has good permeability but high resistance. Therefore, in the current driving type organic light emitting display device, an increase in resistance values of the data line and the scan line causes a sudden voltage change. Recently, the auxiliary electrode is formed of a material having a low resistance to reduce the resistance of the data line and the scan line, and the sidewall of the auxiliary electrode is exposed during the etching process for patterning the data line and the scan line. The increase is a problem.

본 발명의 목적은 보조 전극의 측벽 손실이 방지될 수 있는 유기전계발광 표시 장치 및 그의 제조 방법을 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same that can prevent sidewall loss of the auxiliary electrode.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 유기전계발광 표시 장치는 절연 기판, 상기 절연 기판 상에 일 방향으로 형성된 제 1 전극, 상기 제 1 전극에 연결된 제 1 배선, 상기 제 1 전극과 교차되는 방향으로 형성된 제 2 전극, 상기 제 2 전극에 연결된 제 2 배선, 상기 제 1 배선 및 제 2 배선에 형성된 보조전극, 상기 제 1 배선 및 제 2 배선에 연결된 구동부, 상기 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 형성되며, 상기 제 1 전극과 제 2 전극이 교차되는 부분, 상기 구동부와 상기 제 1 배선 및 제 2 배선이 연결되는 부분에 개구부가 형성된 절연막, 상기 제 1 전극과 제 2 전극이 교차되는 부분의 상기 개구부에 형성된 유기 박막층, 상기 보조 전극의 상부면 및 하부면 중 적어도 일면에 형성된 보호막, 상기 절연막 상에 형성되며, 상기 제 1 전극과 교차되는 방향으로 배열된 격벽을 포함한다.An organic light emitting display device according to an aspect of the present invention for achieving the above object is an insulating substrate, a first electrode formed in one direction on the insulating substrate, a first wiring connected to the first electrode, the first electrode A second electrode formed in a direction intersecting with the second electrode, a second wiring connected to the second electrode, an auxiliary electrode formed on the first wiring and the second wiring, a driver connected to the first wiring and the second wiring, and the first electrode An insulating layer formed between a second electrode and an opening formed in a portion at which the first electrode and the second electrode intersect, a portion at which the driving unit is connected to the first wiring and the second wiring, the first electrode and the second electrode An organic thin film layer formed in the opening of the intersection portion, a protective film formed on at least one surface of the upper surface and the lower surface of the auxiliary electrode, and formed on the insulating film and intersecting the first electrode. And partition walls arranged in a direction.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 일 측면에 따른 유기전계발광 표시 장치의 제조 방법은 기판 상에 일 방향으로 배열된 제 1 전극과, 상기 제 1 전극으로부터 연장된 제 1 배선 및 제 2 전극과 연결될 제 2 배선을 형성하는 단계, 상기 제 1 배선 및 제 2 배선 상에 보조 전극을 형성하는 단계, 전체 상부면에 절연막을 형성한 후 상기 제 1 배선 및 제 2 배선 상에 형성된 보조 전극 및 상기 제 1 전극의 일부가 노출되도록 개구부를 형성하는 단계, 상기 제 1 전극과 교차되는 방향으로 상기 절연막 상에 격벽을 형성하는 단계, 상기 개구부를 통해 노출된 상기 제 1 전극 상에 유기 박막층을 형성하는 단계, 상기 제 1 전극과 교차되며, 상기 제 2 배선 상에 형성된 상기 보조 전극과 연결되도록 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting display device, including: a first electrode arranged in one direction on a substrate; a first wiring and a second wire extending from the first electrode; Forming a second wiring to be connected to an electrode, forming an auxiliary electrode on the first wiring and the second wiring, forming an insulating film on the entire upper surface, and then forming the auxiliary electrode on the first wiring and the second wiring And forming an opening to expose a portion of the first electrode, forming a partition on the insulating film in a direction crossing the first electrode, and forming an organic thin film layer on the first electrode exposed through the opening. And forming a second electrode crossing the first electrode and connected to the auxiliary electrode formed on the second wiring.

그러면 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이하의 실시예는 이 기술 분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서, 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The following embodiments are provided to those skilled in the art to fully understand the present invention, and may be modified in various forms, and the scope of the present invention is limited to the embodiments described below. no.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광 표시 장치를 설명하기 위한 평면도이다.1 is a plan view illustrating an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

절연물로 이루어진 기판(100)은 화소 영역(10)과 비화소 영역(30)으로 구분된다. 기판(100)은 전면 발광 구조인 경우 불투명한 물질, 배면 발광 구조인 경우 유리와 같이 투명한 물질로 이루어진 기판을 사용한다. 비화소 영역(30)은 화소 영역(10)의 주변 영역으로서, 화소 영역(10)을 둘러싸는 영역을 의미할 수 있다.The substrate 100 made of an insulator is divided into a pixel region 10 and a non-pixel region 30. The substrate 100 uses a substrate made of a transparent material, such as an opaque material in the case of the top light emitting structure and glass in the case of the bottom light emitting structure. The non-pixel area 30 may be a peripheral area of the pixel area 10 and may mean an area surrounding the pixel area 10.

화소 영역(10)의 기판(100)에는 애노드 전극(12)과 캐소드 전극(14) 사이에 매트릭스 방식으로 연결된 다수의 유기전계발광 소자가 형성되고, 비화소 영역(30)의 기판(100)에는 화소 영역(10)의 애노드 전극(12) 및 캐소드 전극(14)으로부터 연장된 데이터선(22) 및 주사선(24), 유기전계발광 소자의 동작을 위한 전원공급선(도시안됨) 그리고 입출력 패드부(50)를 통해 외부로부터 제공된 신호를 처리하여 데이터선(22) 및 주사선(24)으로 공급하는 구동부(42)가 형성된다. In the substrate 100 of the pixel region 10, a plurality of organic electroluminescent elements connected in a matrix manner are formed between the anode electrode 12 and the cathode electrode 14, and in the substrate 100 of the non-pixel region 30. Data lines 22 and scan lines 24 extending from the anode electrode 12 and the cathode electrode 14 of the pixel region 10, a power supply line (not shown) for the operation of the organic light emitting diode, and an input / output pad unit ( A driver 42 for processing a signal supplied from the outside through the 50 and supplying the signal to the data line 22 and the scan line 24 is formed.

유기전계발광 소자는 서로 교차되도록 형성된 애노드 전극(12) 및 캐소드 전극(14)과, 애노드 전극(12) 및 캐소드 전극(14) 사이에 형성된 유기 박막층으로 이 루어진다. 유기 박막층은 정공 수송층, 유기발광층 및 전자 수송층이 적층된 구조로 형성되며, 정공 주입층과 전자 주입층이 더 포함될 수 있다.The organic electroluminescent element is composed of an anode electrode 12 and a cathode electrode 14 formed to cross each other, and an organic thin film layer formed between the anode electrode 12 and the cathode electrode 14. The organic thin film layer has a structure in which a hole transport layer, an organic light emitting layer, and an electron transport layer are stacked, and may further include a hole injection layer and an electron injection layer.

구동부(42)는 유기전계발광 소자의 제조 과정에서 비화소 영역(30)의 기판(100) 상에 형성되거나, 별도의 집적회로 반도체 칩(chip)으로 제조된 후 칩 온 글라스(Chip On Glass) 또는 와이어 본딩(wire bonding) 방법 등으로 데이터선(22) 및 주사선(24)과 연결되도록 기판(100)에 부착될 수 있다.The driver 42 is formed on the substrate 100 of the non-pixel region 30 in the manufacturing process of the organic light emitting device, or is manufactured as a separate integrated circuit semiconductor chip and then chip on glass Alternatively, the substrate 100 may be attached to the substrate 100 to be connected to the data line 22 and the scan line 24 by a wire bonding method or the like.

기판(100)의 상부에는 유기전계발광 소자의 밀봉(encapsulation)을 위해 봉지 기판(도시안됨)이 배치되며, 기판(100)과 봉지 기판은 에폭시, 프릿(frit) 등과 같은 밀봉재(sealant)에 의해 접합된다.An encapsulation substrate (not shown) is disposed on the substrate 100 for encapsulation of the organic light emitting device, and the substrate 100 and the encapsulation substrate are sealed by a sealant such as epoxy or frit. Are bonded.

그러면 상기와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광 표시 장치의 제조 방법을 도 2a 내지 도 2g 및 도 3a 내지 도 3g를 참조하여 설명하기로 한다. 설명의 편의를 위해 도 2a 내지 도 2g 및 도 3a 내지 도 3g는 도 1의 화소 영역(10), 비화소 영역(30) 및 구동부(42)가 장착되는 본딩 패드부(40)의 일부를 개략적으로 도시한다.Next, a method of manufacturing the organic light emitting display device according to the exemplary embodiment of the present invention configured as described above will be described with reference to FIGS. 2A to 2G and 3A to 3G. For convenience of description, FIGS. 2A to 2G and 3A to 3G schematically illustrate a part of the bonding pad portion 40 on which the pixel region 10, the non-pixel region 30, and the driver 42 of FIG. 1 are mounted. As shown.

도 2a 및 도 3a를 참조하면, 기판(100) 상에 투명 전극물질로 도전층을 형성하고, 도전층을 패터닝하여 화소 영역(10)에는 일 방향으로 배열된 애노드 전극(12)을 형성하고, 비화소 영역(30)에는 애노드 전극(12)으로부터 연장된 데이터선(22) 및 캐소드 전극(14)과 연결될 주사선(24)을 형성한다. 이 때 데이터선(22) 및 주사선(24)의 일부는 본딩 패드부(40)까지 형성되도록 한다. 투명 전극물질로는 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide) 및 ITZO(Indium Tin Zinc Oxide) 로 이루어지는 군에서 선택된 하나로 형성할 수 있다.2A and 3A, a conductive layer is formed of a transparent electrode material on the substrate 100, and the conductive layer is patterned to form anode electrodes 12 arranged in one direction in the pixel region 10. In the non-pixel region 30, a data line 22 extending from the anode electrode 12 and a scan line 24 to be connected to the cathode electrode 14 are formed. At this time, a part of the data line 22 and the scan line 24 are formed up to the bonding pad portion 40. The transparent electrode material may be formed of one selected from the group consisting of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), and indium tin zinc oxide (ITZO).

도 2b 및 도 3b를 참조하면, 데이터선(22) 및 주사선(24) 상에 보조 전극(26a 및 26b)을 형성한다. ITO는 산화인듐(In2S3)에 산화주석(SnO2)이 도핑된 도전물로, 투과성은 양호하지만 저항값이 높은 단점이 있다. 그래서 ITO 등으로 이루어진 데이터선(22) 및 주사선(24)의 저항값을 감소시키기 위해 저항값이 낮은 물질 예를 들어, 알루미늄(Al), 은(Ag), 몰리브듐(Mo), 구리(Cu), 크롬(Cr) 등으로 보조 전극(26a 및 26b)을 형성한다. 그러나 상기 물질들은 ITO를 패터닝하기 위한 식각 공정시 식각제에 노출되면 쉽게 손실될 수 있기 때문에 도 2c에 도시된 바와 같이 보조 전극(26a 및 26b)의 상부 및 하부 또는 상부에만 보호막(28a 및 28b)을 형성할 수 있다. 보호막(28a 및 28b)은 ITO를 패터닝하기 위한 식각 공정시 보조 전극(26a 및 26b)의 손실이 발생되지 않는 물질로 형성한다.2B and 3B, auxiliary electrodes 26a and 26b are formed on the data line 22 and the scan line 24. ITO is a conductive material doped with indium oxide (In 2 S 3 ) doped with tin oxide (SnO 2 ), and has a disadvantage in that the transmittance is good but the resistance is high. Thus, in order to reduce the resistance of the data line 22 and the scan line 24 made of ITO or the like, materials having low resistance, for example, aluminum (Al), silver (Ag), molybdium (Mo), and copper ( The auxiliary electrodes 26a and 26b are formed of Cu, chromium (Cr), or the like. However, since the materials may be easily lost when exposed to an etchant during an etching process for patterning ITO, the protective films 28a and 28b only on and under or above the auxiliary electrodes 26a and 26b, as shown in FIG. 2C. Can be formed. The passivation layers 28a and 28b are formed of a material that does not cause loss of the auxiliary electrodes 26a and 26b during an etching process for patterning ITO.

도 2d, 도 3c 및 도 3d를 참조하면, 전체 상부면에 유기물 또는 무기물로 절연막(60)을 형성한 후 본딩 패드부(40)의 데이터선(22) 및 주사선(24) 상에 형성된 보호막(28a 및 28b), 화소 영역(10)과 인접된 주사선(24) 상에 형성된 보호막(28b) 및 발광 영역의 애노드 전극(12)의 일부가 노출되도록 개구부(62a, 62b 및 62c)를 형성한다. 이 때 데이터선(22) 및 주사선(24) 상부에 형성되는 절연막(60)의 두께는 도전볼의 직경보다 얇게 조절하며, 데이터선(22), 주사선(24) 및 애노드 전극(12)의 가장자리부가 절연막(60)으로 덮힐 수 있도록 개구부(62a, 62b 및 62c)의 크기를 조절한다. 도 3c는 도 2a의 A1-A2 부분을 절취한 단면도이고, 도 3d는 도 2a의 B1-B2 부분을 절취한 단면도이다. 2D, 3C, and 3D, after the insulating film 60 is formed of an organic material or an inorganic material on the entire upper surface, a protective film formed on the data line 22 and the scan line 24 of the bonding pad part 40. Openings 62a, 62b, and 62c are formed to expose portions 28a and 28b, a protective film 28b formed on the scan line 24 adjacent to the pixel region 10, and a part of the anode electrode 12 in the light emitting region. At this time, the thickness of the insulating film 60 formed on the data line 22 and the scan line 24 is adjusted to be thinner than the diameter of the conductive ball, and the edges of the data line 22, the scan line 24, and the anode electrode 12 are adjusted. The sizes of the openings 62a, 62b and 62c are adjusted to be covered by the additional insulating layer 60. 3C is a cross-sectional view taken along the A1-A2 portion of FIG. 2A, and FIG. 3D is a cross-sectional view taken along the B1-B2 portion of FIG. 2A.

도 2e 참조하면, 화소 영역(10)의 절연막(60) 상에 애노드 전극(12)과 교차되는 방향으로 격벽(70)을 형성한다. 격벽(70)은 절연막(60) 상에 형성될 유기 박막층 및 캐소드 전극 간의 분리를 위한 것으로, 상부의 폭이 하부보다 넓은 오버행(overhang) 구조로 형성하는 것이 바람직하다. Referring to FIG. 2E, the partition wall 70 is formed on the insulating layer 60 of the pixel region 10 in a direction crossing the anode electrode 12. The partition wall 70 is for separation between the organic thin film layer to be formed on the insulating film 60 and the cathode electrode, it is preferable to form an overhang structure having a wider width than the lower portion.

도 2f 및 도 3e를 참조하면, 전체 상부면에 유기 박막층(80)을 형성한 후 비화소 영역(30)의 유기 박막층(80)을 제거한다. 이 때 발광 영역의 개구부(62c)에 유기 박막층(80)이 매립되며, 격벽(70)에 의해 유기 박막층(80)이 서로 분리된다.2F and 3E, after forming the organic thin film layer 80 on the entire upper surface, the organic thin film layer 80 of the non-pixel region 30 is removed. At this time, the organic thin film layer 80 is filled in the opening 62c of the light emitting region, and the organic thin film layer 80 is separated from each other by the partition wall 70.

도 2g 및 도 3f를 참조하면, 전체 상부면에 금속층을 형성한 후 패터닝하여 발광 영역의 애노드 전극(12)과 교차되도록 캐소드 전극(14)을 형성한다. 이 때 캐소드 전극(14)의 일부가 개구부(62b)를 통해 노출되는 보호막(28b)과 접촉되도록 하여 캐소드 전극(14)과 주사선(24)이 보조 전극(26b)를 통해 전기적으로 연결되도록 한다. 2G and 3F, the metal layer is formed on the entire upper surface and then patterned to form the cathode electrode 14 to cross the anode electrode 12 of the emission region. At this time, a portion of the cathode electrode 14 is in contact with the passivation layer 28b exposed through the opening 62b so that the cathode electrode 14 and the scan line 24 are electrically connected through the auxiliary electrode 26b.

본 발명은 도 2d에 도시된 바와 같이 화소 영역(10) 및 비화소 영역(30)에 절연막(60)을 형성하고, 본딩 패드부(40)의 데이터선(22) 및 주사선(24) 상에 형성된 보호막(28a 및 28b)과, 화소 영역(10)과 인접된 주사선(24) 상에 형성된 보호막(28b)이 도 3d에 도시된 바와 같이 개구부(62a 및 62b)를 통해 노출되도록 한다. 그러므로 데이터선(22) 및 주사선(24)과 보조 전극(26a 및 26b)의 측벽 및 가장자리부가 절연막(60)으로 보호됨으로써 캐소드 전극(14)을 형성하기 위한 금속층 식각시 식각제의 침투나 부식으로 인한 손실이 방지된다.The present invention forms an insulating film 60 in the pixel region 10 and the non-pixel region 30, as shown in Figure 2d, and on the data line 22 and the scanning line 24 of the bonding pad portion 40 The formed protective films 28a and 28b and the protective film 28b formed on the scanning line 24 adjacent to the pixel region 10 are exposed through the openings 62a and 62b as shown in FIG. 3D. Therefore, the sidewalls and edges of the data line 22, the scan line 24, and the auxiliary electrodes 26a and 26b are protected by the insulating layer 60, so that the etching agent penetrates or corrodes the metal layer to form the cathode electrode 14. Loss due to

도 2g 및 도 3g를 참조하면, 본딩 패드부(40)의 개구부(62a 및 62b)를 통해 노출된 보호막(28a 및 28b) 상에 도전볼(112)이 위치되도록 이방성 도전 필름(ACF; 110)을 형성한 후 범프(bump)(46)가 개구부(62a 및 62b)에 각각 위치되도록 구동부(42)를 장착한다. 그리고 열압착 등의 공정으로 범프(46)를 압착하여 범프(46)가 도전볼(112)을 통해 보호막(28a 및 28b)에 접촉되도록 한다. 열압착에 의해 도전볼(112)이 깨짐으로써 범프(46)가 보호막(28a 및28b)에 접촉되어 구동부(42)가 보조 전극(26a 및 26b)를 통해 데이터선(22) 및 주사선(24)에 전기적으로 연결된다. 2G and 3G, an anisotropic conductive film (ACF) 110 is disposed such that the conductive balls 112 are positioned on the passivation layers 28a and 28b exposed through the openings 62a and 62b of the bonding pad portion 40. After the formation of the bumps 46, the driving unit 42 is mounted so that the bumps 46 are positioned in the openings 62a and 62b, respectively. Then, the bumps 46 are compressed by a process such as thermocompression bonding so that the bumps 46 come into contact with the protective films 28a and 28b through the conductive balls 112. The conductive balls 112 are broken by thermocompression so that the bumps 46 come into contact with the passivation layers 28a and 28b so that the driving unit 42 passes through the auxiliary electrodes 26a and 26b and the data line 22 and the scan line 24. Is electrically connected to the

상기 실시예에서는 절연막(60)이 비화소 영역(30)의 전체면에 형성되고, 본딩 패드부(40)에 형성된 개구부(62a 및 62b)를 통해 데이터선(22) 및 주사선(24) 상에 형성된 보호막(28a 및 28b)이 노출되는 구조를 설명하였으나, 이에 국한되지 않고 데이터선(22) 및 주사선(24) 사이에만 절연막(60)이 매립된 구조로 구현하여도 본 발명의 효과를 얻을 수 있다.In this embodiment, the insulating film 60 is formed on the entire surface of the non-pixel region 30 and is formed on the data line 22 and the scan line 24 through the openings 62a and 62b formed in the bonding pad portion 40. Although the structure in which the formed protective films 28a and 28b are exposed is described, the present invention is not limited thereto, and an effect of the present invention can be obtained even when the insulating film 60 is embedded only between the data line 22 and the scan line 24. have.

이상에서와 같이 상세한 설명과 도면을 통해 본 발명의 최적 실시예를 개시하였다. 용어들은 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.As described above, the preferred embodiment of the present invention has been disclosed through the detailed description and the drawings. The terms are used only for the purpose of describing the present invention and are not used to limit the scope of the present invention as defined in the meaning or claims. Therefore, those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible from this. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

상술한 바와 같이 본 발명은 데이터선 및 주사선과 보조 전극의 측벽 및 가장자리부가 절연막으로 보호되도록 함으로써 식각 공정시 식각제의 침투나 부식으로 인한 보조 전극의 손실이 방지된다. 따라서 데이터선 및 주사선의 저항값 감소로 인해 전압 변동이 방지되므로 안정된 발광 특성을 유지할 수 있으며, 소자의 전기적 특성이 향상될 수 있다. As described above, in the present invention, the sidewalls and edges of the data line, the scan line, and the auxiliary electrode are protected by the insulating layer, thereby preventing the loss of the auxiliary electrode due to infiltration or corrosion of the etchant during the etching process. Therefore, since the voltage fluctuation is prevented due to the decrease in the resistance values of the data line and the scan line, stable light emission characteristics can be maintained and the electrical characteristics of the device can be improved.

Claims (11)

절연 기판,Insulation board, 상기 절연 기판 상에 일 방향으로 형성된 제 1 전극,A first electrode formed in one direction on the insulating substrate, 상기 제 1 전극에 연결된 제 1 배선,A first wiring connected to the first electrode, 상기 제 1 전극과 교차되는 방향으로 형성된 제 2 전극,A second electrode formed in a direction crossing the first electrode, 상기 제 2 전극에 연결된 제 2 배선,A second wiring connected to the second electrode, 상기 제 1 배선 및 제 2 배선에 형성된 보조전극,Auxiliary electrodes formed on the first wiring and the second wiring; 상기 제 1 배선 및 제 2 배선에 연결된 구동부,A driving unit connected to the first wiring and the second wiring; 상기 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 형성되며, 상기 제 1 전극과 제 2 전극이 교차되는 부분, 상기 구동부와 상기 제 1 배선 및 제 2 배선이 연결되는 부분에 개구부가 형성된 절연막,An insulating film formed between the first electrode and the second electrode and having an opening formed at a portion at which the first electrode and the second electrode cross each other, at a portion at which the driving part is connected to the first wiring and the second wiring, 상기 제 1 전극과 제 2 전극이 교차되는 부분의 상기 개구부에 형성된 유기 박막층을 포함하는 유기전계발광 표시 장치.An organic light emitting display device comprising an organic thin film layer formed in the opening at a portion where the first electrode and the second electrode intersect. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 전극, 제 1 배선 및 제 2 배선이 투명 전극물질로 이루어진 유기전계발광 표시 장치.The organic light emitting display device of claim 1, wherein the first electrode, the first wiring, and the second wiring are made of a transparent electrode material. 제 1 항에 있어서, 상기 보조 전극이 알루미늄(Al), 은(Ag), 몰리브듐(Mo), 구리(Cu) 및 크롬(Cr)을 포함하는 군에서 선택된 하나로 이루어진 유기전계발광 표 시 장치.The organic light emitting display device according to claim 1, wherein the auxiliary electrode is one selected from the group consisting of aluminum (Al), silver (Ag), molybdium (Mo), copper (Cu), and chromium (Cr). . 제 1 항에 있어서, 상기 구동부가 도전볼을 통해 상기 제 1 배선 및 제 2 배선에 연결되는 유기전계발광 표시 장치.The organic light emitting display device of claim 1, wherein the driving unit is connected to the first wiring line and the second wiring line through conductive balls. 제 1 항에 있어서, 상기 보조 전극의 상부면 및 하부면 중 적어도 일면에 형성된 보호막을 더 포함하는 유기전계발광 표시 장치.The organic light emitting display device of claim 1, further comprising a passivation layer formed on at least one of an upper surface and a lower surface of the auxiliary electrode. 제 1 항에 있어서, 상기 절연막 상에 형성되며, 상기 제 1 전극과 교차되는 방향으로 배열된 격벽을 더 포함하는 유기전계발광 표시 장치.The organic light emitting display device of claim 1, further comprising a partition wall formed on the insulating layer and arranged in a direction crossing the first electrode. 기판 상에 일 방향으로 배열된 제 1 전극과, 상기 제 1 전극으로부터 연장된 제 1 배선 및 제 2 전극과 연결될 제 2 배선을 형성하는 단계,Forming a first electrode arranged in one direction on the substrate, a first wiring extending from the first electrode, and a second wiring to be connected to the second electrode; 상기 제 1 배선 및 제 2 배선 상에 보조 전극을 형성하는 단계, Forming an auxiliary electrode on the first wiring and the second wiring; 전체 상부면에 절연막을 형성한 후 상기 제 1 배선 및 제 2 배선 상에 형성된 보조 전극 및 상기 제 1 전극의 일부가 노출되도록 개구부를 형성하는 단계,Forming an opening so that an auxiliary electrode formed on the first wiring and the second wiring and a portion of the first electrode are exposed after forming an insulating film on the entire upper surface; 상기 제 1 전극과 교차되는 방향으로 상기 절연막 상에 격벽을 형성하는 단계,Forming a partition on the insulating film in a direction crossing the first electrode; 상기 개구부를 통해 노출된 상기 제 1 전극 상에 유기 박막층을 형성하는 단계,Forming an organic thin film layer on the first electrode exposed through the opening; 상기 제 1 전극과 교차되며, 상기 제 2 배선 상에 형성된 상기 보조 전극과 연결되도록 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 유기전계발광 표시 장치의 제조 방법.And forming a second electrode crossing the first electrode and connected to the auxiliary electrode formed on the second wiring. 제 7 항에 있어서, 상기 제 1 전극, 제 1 배선 및 제 2 배선을 투명 전극물질로 형성하는 유기전계발광 표시 장치의 제조 방법.The method of claim 7, wherein the first electrode, the first wiring, and the second wiring are formed of a transparent electrode material. 제 7 항에 있어서, 상기 보조 전극을 알루미늄(Al), 은(Ag), 몰리브듐(Mo), 구리(Cu) 및 크롬(Cr)을 포함하는 군에서 선택된 하나로 형성하는 유기전계발광 표시 장치의 제조 방법.The organic light emitting display device of claim 7, wherein the auxiliary electrode is formed of one selected from the group consisting of aluminum (Al), silver (Ag), molybdium (Mo), copper (Cu), and chromium (Cr). Method of preparation. 제 7 항에 있어서, 상기 제 1 배선 및 제 2 배선 상부에 형성되는 상기 절연막의 두께를 도전볼의 직경보다 얇게 조절하는 유기전계발광 표시 장치의 제조 방법.The method of claim 7, wherein a thickness of the insulating layer formed on the first wiring and the second wiring is adjusted to be smaller than a diameter of the conductive ball. 제 7 항에 있어서, 상기 제 1 배선, 제 2 배선 및 제 1 전극의 가장자리부가 상기 절연막으로 덮힐 수 있도록 상기 개구부의 크기를 조절하는 유기전계발광 표시 장치의 제조 방법.The method of claim 7, wherein the size of the opening is adjusted to cover the edges of the first wiring, the second wiring, and the first electrode with the insulating film.
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