KR100775911B1 - High Temperature Plasma Generator - Google Patents

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Abstract

본 발명은 고온 플라즈마 발생장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전극봉들의 전원이 연결된 측이 상호 엇갈린 반대방향을 향하도록 하여 전극봉들 간의 방전현상을 방지할 수 있고, 전극봉과 전극봉고정구조물을 결합함에 있어 상기 전극봉의 전극이 전극봉고정구조물과 이격되게 함으로써 스트리머 발생을 방지할 수 있으며, 전극봉을 구성함에 있어 공기층이 형성되는 것을 배제하고 전극이 공기에 노출되지 않도록 함과 동시에 상기 전극봉이 회전될 수 있도록 하여 전극봉의 내구성을 높일 수 있는 고온 플라즈마 발생장치에 관한 것이다.The present invention relates to a high-temperature plasma generating apparatus, and more particularly, to prevent the discharge phenomenon between the electrodes by the side connected to the opposite direction of the power supply of the electrodes, and in the combination of the electrode and the electrode fixing structure The electrode of the electrode can be spaced apart from the electrode fixing structure to prevent the streamer generation, in forming the electrode to exclude the formation of the air layer, so that the electrode is not exposed to air and at the same time the electrode can be rotated It relates to a high temperature plasma generating apparatus that can increase the durability of the electrode.

플라즈마, 전극, 방전, 내구성, 세라믹, 텅스텐 Plasma, electrode, discharge, durable, ceramic, tungsten

Description

고온 플라즈마 발생장치 {High Temperature Plasma Generator}High Temperature Plasma Generator

도 1은 종래의 플라즈마 발생장치를 나타낸 사시도,1 is a perspective view showing a conventional plasma generating apparatus,

도 2는 본 발명에 따른 플라즈마 발생장치의 전원 연결을 나타낸 개략도,Figure 2 is a schematic diagram showing the power connection of the plasma generating apparatus according to the present invention,

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 전극봉과 전극봉고정구조물의 결합을 나타낸 개략도,3 is a schematic view showing the combination of the electrode and the electrode fixing structure according to an embodiment of the present invention,

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전극봉과 전극봉고정구조물의 결합을 나타낸 개략도,Figure 4 is a schematic diagram showing the combination of the electrode and the electrode fixing structure according to another embodiment of the present invention,

도 5는 도 4의 평면도,5 is a plan view of FIG. 4;

도 6 내지 도 11은 본 발명의 각 실시예에 따른 전극봉을 나타낸 종단면도,6 to 11 is a longitudinal sectional view showing an electrode according to each embodiment of the present invention,

도 12는 본 발명의 실시예 7에 따른 전극봉을 나타낸 횡단면도.12 is a cross-sectional view showing an electrode according to a seventh embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10,20,30,40,50,60,70: 전극봉 11,21,71: 세라믹튜브10,20,30,40,50,60,70: electrode 11,21,71: ceramic tube

13,23,33,73: 전극 15,35,45,55,65: 세라믹층13,23,33,73: electrode 15,35,45,55,65: ceramic layer

27,47,57,67: 마감부재 28,58,68: 전원단자27,47,57,67: Finishing members 28,58,68: Power terminal

29: 금속 전원연결부 31: 세라믹봉29: metal power connector 31: ceramic rod

41: 금속봉 51,61: 금속튜브41: metal rod 51, 61: metal tube

52,62: 열팽창흡수층 71a: 홈52, 62: thermal expansion absorbing layer 71a: groove

90,90': 전극봉고정구조물 91: 베어링90,90 ': Fixed electrode structure 91: Bearing

93: 기어 94: 연결수단93: gear 94: connecting means

95: 회전수단 97: 롤러95: rotation means 97: roller

본 발명은 고온 플라즈마 발생장치에 관한 것으로서, 전극봉들의 전원이 연결된 측이 상호 엇갈린 반대방향을 향하도록 하여 전극봉들 간의 방전현상을 방지할 수 있고, 전극봉과 전극봉고정구조물을 결합함에 있어 상기 전극봉의 전극이 전극봉고정구조물과 이격되게 함으로써 스트리머 발생을 방지할 수 있으며, 전극봉을 구성함에 있어 공기층이 형성되는 것을 배제하고 전극이 공기에 노출되지 않도록 함과 동시에 상기 전극봉이 회전될 수 있도록 하여 전극봉의 내구성을 높일 수 있는 고온 플라즈마 발생장치에 관한 것이다.The present invention relates to a high-temperature plasma generating apparatus, and to prevent the discharge phenomenon between the electrodes to the opposite side of the electrode connected to the power source, and the electrode of the electrode in the combination of the electrode and the electrode fixing structure It is possible to prevent the generation of the streamer by being spaced apart from the electrode fixing structure, and to prevent the formation of the air layer in forming the electrode, to prevent the electrode from being exposed to the air and to allow the electrode to rotate at the same time durability of the electrode It relates to a high temperature plasma generator that can increase the.

일반적으로 플라즈마란 제 4의 물질로서 외부에서 가해지는 전기장 등에 의해 생성된 이온, 전자, 라디칼 및 중성입자로 구성되어 전기적으로 중성을 이룬다.In general, plasma is a fourth material and is electrically neutral by being composed of ions, electrons, radicals and neutral particles generated by an external electric field or the like.

이와 같은 플라즈마의 이온, 전자, 라디칼 등을 이용하여 공기를 정화시키는 기술이 이미 공지된 바 있다. Techniques for purifying air using such ions, electrons, radicals, and the like of plasma have already been known.

도 1은 종래기술에 따른 플라즈마 발생장치로서, 원기둥 적층형 플라즈마 반응기의 구성은 원기둥 유전체 전극봉(1)이 수직 방향 이격된 형태로 전극봉고정구조물(5)에 설치되어 있는 전극구조물(9)을 구성하고 이와 같은 전극 구조물(9)을 수평방향 등간격으로 배치하여 이루어진 것으로서, 서로 이웃한 전극 구조물(9)은 서로 다른 극성의 교류전원에 연결되어 있으며, 처리하고자 하는 가스의 흐름은 중력방향으로 공급되는 것을 주요 내용으로 하고 있다.1 is a plasma generating apparatus according to the prior art, the configuration of a cylindrical stacked plasma reactor comprises an electrode structure (9) installed in the electrode fixing structure (5) in the form of the cylindrical dielectric electrode (1) spaced in the vertical direction and The electrode structures 9 are arranged at equal intervals in the horizontal direction, and adjacent electrode structures 9 are connected to AC powers of different polarities, and the flow of gas to be treated is supplied in the direction of gravity. The main content is that.

이와 같은 종래의 플라즈마 발생장치는 전극봉(1) 간에 방전현상이 빈번히 발생하였고, 전극봉(1)과 이를 지지하는 전극봉고정구조물(5) 사이에서 스트리머가 발생하는 문제점이 있었다.In the conventional plasma generator, a discharge phenomenon occurs frequently between the electrodes 1, and a streamer is generated between the electrodes 1 and the electrode fixing structure 5 supporting the electrodes 1.

또한, 상기 종래기술에서는 금속전극과 이를 외부에서 감싸고 있는 세라믹 또는 유리관의 제조방식에 대한 구체적인 언급이 없어 본 발명을 실제로 활용할 경우 금속전극의 산화 및 부식으로 인한 전극의 내구성 결여를 피할 수 없다는 치명적인 결함을 갖고 있다.In addition, in the prior art, there is no specific reference to the manufacturing method of the metal electrode and the ceramic or glass tube enclosing the external electrode. Therefore, when the present invention is actually used, the lack of durability of the electrode due to oxidation and corrosion of the metal electrode cannot be avoided. Have

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명은 전극봉들 간의 방전현상과 전극봉과 전극봉고정구조물 간의 스트리머를 방지할 수 있는 고온 플라즈마 발생장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a high temperature plasma generating apparatus that can prevent the discharge phenomenon between the electrodes and the streamer between the electrode and the electrode fixing structure.

또한, 본 발명은 전극봉을 구성함에 있어 공기층이 형성되는 것을 배제하고 전극이 공기에 노출되지 않게 하여 전극봉의 내구성을 높일 수 있는 고온 플라즈마 발생장치를 제공하는데 그 다른 목적이 있다.In addition, the present invention is to provide a high-temperature plasma generating apparatus that can increase the durability of the electrode by excluding the formation of the air layer in the configuration of the electrode to prevent the electrode from being exposed to the air.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명은 유전체 장벽 방전방식의 원기둥 적층형 고온 플라즈마 반응기를 구성하는데 있어서, 플라즈마 반응을 위한 전원을 공급받기 위해 내부의 전극과 외부전원이 연결된 다수의 전극봉들이 동일한 선상에 배치되고, 상기 전극봉들은 각 전극봉들 사이에 통공이 형성될 수 있도록 상호 이격되며, 상기 전극봉들은 전극과 외부전원이 연결된 측이 이웃하는 전극봉과 상호 반대 방향으로 엇갈린 형태로 전극봉고정구조물에 고정 결합되는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the present invention provides a dielectric stacked discharge cylinder stacked high temperature plasma reactor, in which a plurality of electrodes connected to an internal electrode and an external power source are provided on the same line to receive power for a plasma reaction. The electrodes are spaced apart from each other so that a hole may be formed between the electrodes, and the electrodes are fixedly coupled to the electrode fixing structure in a form in which the electrode and the external power source are connected to each other in a direction opposite to the neighboring electrode. It is characterized by.

이와 같은 특징을 갖는 본 발명은 그에 따른 바람직한 실시예를 통해 보다 명확히 설명될 수 있을 것이다.The present invention having such a feature will be more clearly described through the preferred embodiment accordingly.

이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면과 더불어 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter will be described in detail with reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 종래의 플라즈마 발생장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 플라즈마 발생장치의 전원 연결을 나타낸 개략도이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 전극봉과 전극봉고정구조물의 결합을 나타낸 개략도이다.1 is a perspective view showing a conventional plasma generating apparatus, Figure 2 is a schematic diagram showing the power connection of the plasma generating apparatus according to the present invention, Figure 3 shows a combination of the electrode and the electrode fixing structure according to an embodiment of the present invention Schematic diagram.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 고온 플라즈마 발생장치는 플라즈마 발생영역을 형성하기 위한 다수의 전극봉(10)들과 상기 전극봉(10)들을 고정 지지하기 위한 전극봉고정구조물(90')을 포함한다. As shown, the high temperature plasma generating apparatus according to the present invention includes a plurality of electrodes 10 for forming a plasma generating region and an electrode fixing structure 90 ′ for fixing and supporting the electrodes 10.

상기 전극봉(10)들은 플라즈마 반응을 위한 전원을 공급받기 위해 내부의 전극(13)과 외부전원이 연결된다. 이와 같은 전극봉(10)들은 동일한 선상에 배치되고, 각 전극봉(10)들 사이에 통공이 형성될 수 있도록 상호 이격된다. 이때, 상기 전극봉(10)들은 전극과 외부전원이 연결된 측이 이웃하는 전극봉(10)과 상호 반대 방향으로 엇갈린 형태로 상기 전극봉고정구조물(90')에 고정 결합된다. The electrodes 10 are connected to an internal electrode 13 and an external power source to receive power for the plasma reaction. These electrodes 10 are arranged on the same line, and are spaced apart from each other so that a through hole can be formed between each electrode 10. In this case, the electrodes 10 are fixedly coupled to the electrode fixing structure 90 ′ in a form in which the electrode and the external power source are connected to each other in a direction opposite to the neighboring electrode 10.

여기서, 상기 전극(13)과 외부전원의 연결은 외부전원과 연결된 전극리드(미도시)가 상기 전극(13)에 용접되거나 상기 전극(13)에 외부전원과 연결된 별도의 전원단자(미도시)가 결합됨으로써 이루어진다. 즉, 본 발명에 따르면 상기 전극봉(10)들은 전극리드가 용접된 부위 또는 전원단자가 결합된 부위 측이 상호 반대 방향을 향하도록 배치되는 것이다.Here, the connection of the electrode 13 and the external power source is a separate power terminal (not shown) in which an electrode lead (not shown) connected to an external power source is welded to the electrode 13 or connected to an external power source to the electrode 13. Is made by combining. That is, according to the present invention, the electrode rods 10 are arranged such that the portion where the electrode lead is welded or the portion where the power supply terminal is coupled faces in opposite directions.

또한, 상기 전극봉고정구조물(90')에 전극봉(10)들이 결합됨에 있어, 상기 전극봉(10)들은 그 양단이 상기 전극봉고정구조물(90')의 평면상에 밀착되는 형태로 고정결합된다. 여기서 상기 전극봉(10)들의 전극(13)의 양단은 상기 전극봉고정구조물(90')과 간격을 유지하는 것이 바람직하며, 상기 간격은 상기 전극(13)과 상기 전극봉고정구조물(90') 간에 스트리머 방전이 발생되는 것을 방지하기 위함으로 상기 전극(13)의 양단이 전극봉(10)의 양단보다 내측에 위치함으로써 가능하다. 즉, 상기한 바에 의하면, 상호 마주보는 1쌍의 전극봉(10)들이 이루는 단위 반응공간이 형성되고 이 단위 반응공간에서 상기 전극봉(10)들의 전극(13)이 마주보는 공간에서만 스트리머 방전이 일어나게 되며, 처리하고자 하는 가스의 흐름이 있는 공간과 스트리머 방전이 일어나는 공간을 서로 일치하지 않게 된다.In addition, since the electrode rods 10 are coupled to the electrode fixing structure 90 ', the electrode rods 10 are fixedly coupled in such a manner that both ends thereof are in close contact with the plane of the electrode fixing structure 90'. Here, both ends of the electrodes 13 of the electrodes 10 may be spaced apart from the electrode fixing structure 90 ′, and the gap may be between the electrode 13 and the electrode fixing structure 90 ′. Both ends of the electrode 13 may be positioned inside both ends of the electrode 10 to prevent the trimmer discharge from occurring. That is, as described above, a unit reaction space formed by a pair of electrode rods 10 facing each other is formed, and the streamer discharge occurs only in a space in which the electrodes 13 of the electrode rods 10 face each other in the unit reaction space. The space in which the gas flow to be treated and the space in which the streamer discharge occurs occur does not coincide with each other.

한편, 상기 전극봉들은 이하에서 설명되는 다른 실시예에 의해서 상기 전극봉고정구조물에 회전가능하게 결합될 수 있다.On the other hand, the electrodes can be rotatably coupled to the electrode fixing structure by another embodiment described below.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전극봉과 전극봉고정구조물의 결합을 나타낸 개략도이고, 도 5는 도 4의 평면도이다.Figure 4 is a schematic view showing the coupling of the electrode and the electrode fixing structure according to another embodiment of the present invention, Figure 5 is a plan view of FIG.

본 실시예에서 전극봉(10)들은 다수의 홀(미도시)이 형성된 복수개의 전극봉고정구조물(90)과 회전가능하게 관통되는 형태로 결합된다. 여기서, 상기 전극봉(10)들의 회전은 상기 홀의 면과 전극봉(10) 사이에 베어링(91)을 개재함으로써 가능하다. 즉 상기 전극봉(10)들은 상기 베어링(91)을 통해 상기 전극봉고정구조물(90)에 고정결합되는 것이다. 그리고 상기 전극봉(10)들의 일측에는 각각 기어(93)가 결합되며, 상기 기어(93)들은 연결수단(94)에 의해 연결된다. 상기 연결수단(94)은 타이밍 벨트 또는 체인이 채택되어 사용될 수 있다. 또한, 상기 전극봉(10)들 중 선택되는 어느 한 전극봉(10)의 일측단에는 회전수단(95)이 결합되는데 상기 회전수단(95)으로서는 통상의 손잡이 또는 전동모터가 채택 사용될 수 있다. 이와 같은 구성은 상기 전극봉(10)들을 임의 회전시키는 것을 가능하게 한다. 여기서, 상기 회전수단(95)으로서 전동모터가 사용될 경우 작성된 프로그램에 의해 자동으로 상기 전극봉(10)들이 회전되는 것이 가능하다.In this embodiment, the electrode rods 10 are coupled in a rotatable manner to the plurality of electrode fixing structures 90 in which a plurality of holes (not shown) are formed. Here, the electrode rods 10 may be rotated by interposing a bearing 91 between the hole surface and the electrode rod 10. That is, the electrode rods 10 are fixedly coupled to the electrode fixing structure 90 through the bearing 91. In addition, gears 93 are coupled to one side of the electrode rods 10, respectively, and the gears 93 are connected by connecting means 94. The connecting means 94 may be used by adopting a timing belt or chain. In addition, the rotating means 95 is coupled to one end of any one of the electrode rods 10 selected from among the electrode rods 10. As the rotating means 95, a conventional handle or an electric motor may be adopted. Such a configuration makes it possible to arbitrarily rotate the electrodes 10. Here, when the electric motor is used as the rotating means 95, it is possible to automatically rotate the electrode rods 10 by the created program.

아울러, 본 발명에 따르면 상기 전극봉(10)에 부착된 기어(93)들과 타이밍 벨트 혹은 체인으로 구성될 수 있는 연결수단(94)의 완전한 결합을 위해 서로 이웃한 전극봉(10)들 사이에 롤러(97)가 배치된다. 상기 롤러(97)는 상기 연결수단(94)과 기어(93)들이 완전히 밀착될 수 있는 장력을 부여하게 된다.In addition, according to the present invention, the rollers between the electrode rods 10 adjacent to each other for the complete coupling of the gears 93 attached to the electrode rods 10 and the connecting means 94 which may be composed of a timing belt or a chain. 97 is arranged. The roller 97 imparts a tension in which the connecting means 94 and the gears 93 can be completely in contact with each other.

한편, 본 발명에 따른 고온 플라즈마 발생장치에서 전극봉을 구성함에 있어 다양한 실시예가 가능한데 이를 설명하면 다음과 같다. On the other hand, in the high temperature plasma generating apparatus according to the present invention in the configuration of the electrode can be various embodiments are described as follows.

<실시예 1><Example 1>

도 6은 본 발명의 실시예 1에 따른 전극봉을 나타낸 종단면도로서, 전극봉(10)을 구성하기 위해 내부에 공간이 형성된 중공의 세라믹튜브(11) 외측에 전극(13)이 형성된다. 상기 전극(13)은 내열성을 갖는 금속 페이스트(Paste)가 상기 세라믹튜브(11)의 외주면에 도포되어 형성될 수 있다. 여기서, 상기 금속 페이스트는 은, 금, 구리, 텅스텐 중에서 선택되어 이루어질 수 있으며, 이 중 내열성이 높은 텅스텐 페이스트가 채택되는 것이 바람직하다. 이때, 상기 전극(13)의 양단은 상기 세라믹튜브(11)의 양단보다 내측에 위치하게 되는데, 이는 전술된 바 있는 전극봉고정구조물(90')과의 스트리머를 방지하기 위함이다. 또한, 상기 전극(13)의 외측에는 세라믹 층(15)이 형성되는데 상기 세라믹 층(15)은 상기 전극(13)의 외면이 세라믹 코팅되어 이루어지며 이는 상기 전극(13)이 공기에 노출되어 산화되는 것을 방지한다. FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing an electrode according to Embodiment 1 of the present invention, in which an electrode 13 is formed outside the hollow ceramic tube 11 having a space formed therein to form the electrode 10. The electrode 13 may be formed by applying a metal paste having heat resistance to an outer circumferential surface of the ceramic tube 11. Here, the metal paste may be selected from silver, gold, copper, and tungsten, and among these, tungsten paste having high heat resistance is preferably adopted. At this time, both ends of the electrode 13 is located inside the both ends of the ceramic tube 11, which is to prevent the streamer with the electrode rod fixing structure 90 'as described above. In addition, a ceramic layer 15 is formed outside the electrode 13. The ceramic layer 15 is formed by coating an outer surface of the electrode 13 with a ceramic coating, which is exposed to air to oxidize the electrode 13. Prevent it.

상기와 같은 전극봉(10)은 다음과 같은 제조공정에 의해 제조될 수 있다.The electrode rod 10 as described above may be manufactured by the following manufacturing process.

먼저 세라믹튜브(11)의 외주면에 인쇄를 통하여 수 내지 수 백 마이크로 미터 두께의 금속 페이스트를 도포하고, 100 내지 200℃에서 0.1 내지 1시간 동안 유지시켜 상기 금속 페이스트에 포함된 유기 용제를 제거하게 된다. 이후 다시 400 내지 500℃에서 0.5 내지 1시간 동안 유지시켜 상기 금속 페이스트에 포함된 유기 고분자를 제거한 뒤, 상기 금속 페이스트가 도포된 일측면에서 외부로 연결 가능한 전극리드 부분을 용접 처리하여 외부전원과 연결가능한 전극(13)을 형성한다. 다음 단계로, 상기의 금속 페이스트가 도포된 면 보다 약간 넓은 영역에 수 내지 수 백 마이크로 미터 두께의 세라믹 층(15)을 이루도록 세라믹 코팅이 진행되는데 상기 세라믹 코팅은 세라믹 페이스트를 인쇄하고 상기의 열처리 과정과 동일하게 100 내지 200℃에서 0.1 내지 1시간 동안 유지시켜 상기 세라믹 페이스트에 포함된 유기 용제를 제거하며 이후에 다시 400 내지 500℃에서 0.5 내지 1시간 동안 유지시켜 상기 세라믹 페이스트에 포함된 유기 고분자를 제거한 뒤, 700 내지 900℃의 노(Furnace)에서 1 내지 2시간 동안 융착시킨다.First, a metal paste having a thickness of several to several hundred micrometers is coated on the outer circumferential surface of the ceramic tube 11 and maintained at 100 to 200 ° C. for 0.1 to 1 hour to remove the organic solvent contained in the metal paste. . Thereafter, the organic polymer contained in the metal paste is removed by maintaining it again at 400 to 500 ° C. for 0.5 to 1 hour, and then the electrode lead portion, which can be connected to the outside, is welded on one side of the metal paste to be connected to an external power source. Possible electrodes 13 are formed. In the next step, the ceramic coating is carried out to form a ceramic layer 15 of several to several hundred micrometers thick in a region slightly wider than the surface on which the metal paste is applied. The ceramic coating prints the ceramic paste and the heat treatment process is performed. The organic solvent contained in the ceramic paste is removed by maintaining the organic solvent included in the ceramic paste by maintaining it at 100 to 200 ° C. for 0.1 to 1 hour and then maintaining the mixture at 400 to 500 ° C. for 0.5 to 1 hour. After removal, the mixture was fused for 1 to 2 hours in a furnace at 700 to 900 ° C.

<실시예 2><Example 2>

도 7은 본 발명의 실시예 2에 따른 전극봉을 나타낸 종단면도로서, 전극봉(20)을 구성하기 위해 중공의 세라믹튜브(21) 내주면에 금속을 코팅하여 전극(23)을 형성한다. 이때 코팅되는 금속은 은 또는 텅스텐이 채택되어 사용될 수 있다. 그리고 상기와 같이 1차 마련된 전극봉(20)의 일측 단부에는 세라믹 재질의 마감부재(27)가 결합되는데 이는 전극봉(20)들 사이에 스파크가 발생되는 것을 방지하기 위함이다. 아울러, 상기 전극봉(20)의 마감부재(27)가 결합된 측의 반대측에는 외부전원과의 용이한 연결을 위해 전원단자(28)가 결합된다. 이때, 상기 전극봉(20)과 전원단자(28)는 금속전극 연결부(29)를 매개로 결합된다. 상기 금속전극 연결부(29)는 그 일측이 상기 전극(23)에 접하도록 세라믹튜브(21)로 부분 내입되며, 그 타측은 상기 전원단자(28)와 결합된다. 여기서, 비록 도시하지는 않았으나 상기 전 원단자(28)가 직접 상기 세라믹튜브(21)로 내입되어 전극(23)과 접하도록 결합될 수 있음을 밝혀둔다.FIG. 7 is a longitudinal sectional view showing an electrode according to Embodiment 2 of the present invention, in order to form the electrode 20, the electrode 23 is formed by coating a metal on the inner circumferential surface of the hollow ceramic tube 21. In this case, the metal to be coated may be used by adopting silver or tungsten. One end of the electrode rod 20 provided as described above is coupled to a finish member 27 made of a ceramic material to prevent sparks between the electrode rods 20. In addition, the power supply terminal 28 is coupled to the opposite side of the side of the electrode member 20 to which the closing member 27 is coupled for easy connection with an external power source. At this time, the electrode 20 and the power supply terminal 28 are coupled via the metal electrode connecting portion 29. The metal electrode connecting portion 29 is partially embedded in the ceramic tube 21 so that one side thereof is in contact with the electrode 23, and the other side thereof is coupled to the power terminal 28. Here, although not shown, it is noted that the former far end 28 may be directly inserted into the ceramic tube 21 and coupled to contact the electrode 23.

<실시예 3><Example 3>

도 8은 본 발명의 실시예 3에 따른 전극봉을 나타낸 종단면도로서, 전극봉(30)을 구성하기 위해 세라믹 봉(31)의 외주면에 금속 페이스트(Paste)가 도포되어 전극(33)을 형성한다. 상기 전극(33)의 외측에는 상기 전극(33)이 공기와 접촉되는 것을 방지하기 위해 세라믹층(35)이 형성된다. 여기서, 상기 금속 페이스트는 은, 금, 구리, 텅스텐 중에서 선택되어 이루어질 수 있으며, 이 중 내열성이 높은 텅스텐 페이스트가 채택되는 것이 바람직하다. FIG. 8 is a longitudinal cross-sectional view of an electrode rod according to a third exemplary embodiment of the present invention, in which a metal paste is applied to an outer circumferential surface of the ceramic rod 31 to form an electrode rod 30 to form an electrode 33. Outside the electrode 33, a ceramic layer 35 is formed to prevent the electrode 33 from contacting air. Here, the metal paste may be selected from silver, gold, copper, and tungsten, and among these, tungsten paste having high heat resistance is preferably adopted.

상기와 같은 전극봉(30)은 이하의 제조공정에 의해 제조될 수 있다.The electrode rod 30 as described above may be manufactured by the following manufacturing process.

상기 전극봉(30)을 제조하기 위해 우선, 세라믹 봉(31)이 마련된다. 그리고 소성단계 이전의 세라믹 재료인 그린시트(Green Sheet)에 원하는 패턴의 전극(33) 모양으로 금속 페이스트를 인쇄한다. 이후, 인쇄면이 노출된 상태에서 100 내지 200℃에서 0.1 내지 1시간 동안 유지시켜 상기 금속 페이스트에 포함된 유기 고분자를 제거하게 된다. 그런 다음 상기의 경화되지 않은 금속재의 전극(33)이 인쇄된 그린시트(Green Sheet)를 금속전극이 인쇄된 면으로 세라믹 봉에 감싸게 되며 상기의 금속재의 전극(33)이 인쇄된 세라믹 그린시트(Green Sheet)가 감싸진 세라믹 봉(30)을 동시에 소성하여 금속부를 세라믹 내부에 완전히 함침시킨다.In order to manufacture the electrode 30, first, a ceramic rod 31 is provided. Then, the metal paste is printed in the shape of the electrode 33 having a desired pattern on the green sheet, which is a ceramic material before the firing step. Then, the organic polymer contained in the metal paste is removed by maintaining the printed surface at 100 to 200 ° C. for 0.1 to 1 hour in an exposed state. Then, the green sheet on which the electrode 33 of the uncured metal material is printed is wrapped in a ceramic rod with the metal electrode printed surface, and the ceramic green sheet on which the electrode 33 of the metal material is printed ( Simultaneously firing the ceramic rod 30 wrapped with the green sheet to completely impregnate the metal part inside the ceramic.

<실시예 4><Example 4>

도 9는 본 발명의 실시예 4에 따른 전극봉을 나타낸 종단면도로서, 전극봉(40)을 구성하기 위해 금속봉(41)의 외주면이 세라믹 코팅되어 세라믹층(45)을 형성한다. 상기 금속봉(41)은 철과 니켈 합금 중 선택되는 어느 하나의 금속을 재질로 한다. 이때, 상기 금속봉(41)의 일측에는 세라믹 재질의 마감부재(47)가 결합된다. 9 is a longitudinal cross-sectional view of an electrode according to a fourth exemplary embodiment of the present invention, in order to form the electrode 40, an outer circumferential surface of the metal rod 41 is ceramic coated to form a ceramic layer 45. The metal rod 41 is made of any one metal selected from iron and nickel alloys. At this time, one side of the metal rod 41 is coupled to the finishing member 47 made of a ceramic material.

<실시예 5><Example 5>

도 10은 본 발명의 실시예 5에 따른 전극봉을 나타낸 종단면도로서, 전극봉(50)을 구성하기 위해 중공의 금속튜브(51)의 외측에 열팽창 흡수용 완충제로 이루어진 열팽창흡수층(52)이 형성된다. 상기 금속튜브(51)는 철 또는 니켈합금을 그 재질로 할 수 있다. 상기 열팽창흡수층(52)의 외면에는 세라믹 코팅되어 세라믹층(55)을 형성한다. 이와 같은 구조는 상기 열팽창흡수층(52)이 상기 금속튜브(51)의 열에 의해 팽창된 두께를 흡수할 수 있는 구조이다. 아울러, 상기 금속튜브(51)에는 외부전원이 용이하게 인가될 수 있도록 전원단자(58)가 내입되는 형태로 결합된다. 즉, 상기 전원단자(58)는 금속튜브(51)의 내주면에 닿게 됨으로써 상기 금속튜브(51)에 전원을 인가할 수 있는 것이다. 또한, 상기 금속튜브(51)의 일측에는 중공의 마감부재(57)가 결합된다. 상기 마감부재(57)는 세라믹으로 구성된다. 여기서, 상기 세라믹층(55) 또는 금속튜브(51)와 마감부재(57)의 결합은 브레이징(Brazing)에 의해서 가능하다.FIG. 10 is a longitudinal sectional view showing an electrode according to a fifth exemplary embodiment of the present invention, in which a thermal expansion absorbing layer 52 made of a thermal expansion absorbing buffer is formed outside the hollow metal tube 51 to form the electrode 50. . The metal tube 51 may be made of iron or nickel alloy. The outer surface of the thermal expansion absorption layer 52 is ceramic coated to form a ceramic layer 55. Such a structure is a structure in which the thermal expansion absorbing layer 52 can absorb the thickness expanded by the heat of the metal tube 51. In addition, the metal tube 51 is coupled in a form in which the power supply terminal 58 is embedded so that external power can be easily applied. That is, the power supply terminal 58 is able to apply power to the metal tube 51 by contacting the inner circumferential surface of the metal tube 51. In addition, a hollow finishing member 57 is coupled to one side of the metal tube 51. The finishing member 57 is made of ceramic. Here, the coupling of the ceramic layer 55 or the metal tube 51 and the finishing member 57 is possible by brazing.

<실시예 6><Example 6>

도 11은 본 발명의 실시예 6에 따른 전극봉을 나타낸 종단면도로서, 전극봉(60)을 구성하기 위해 금속튜브(61)의 일측에 결합되는 마감부재(67)가 단을 지게 형성되고 상기 마감부재(67)의 협소부위가 상기 금속튜브(61)로 내입된다. 그리고, 상기 금속튜브(61)의 마감부재(67)와 결합된 반대측에는 전원단자(68)가 결합된다. 상기 금속튜브(61)의 외측에는 세라믹 코팅으로 이루어진 세라믹층(65)이 형성되는데 이때, 상기 세라믹층(65)은 상기 마감부재(67)가 결합된 부위까지 포함하며 동일한 두께를 유지한다. 그리고 상기 세라믹층(65)과 금속튜브(61) 사이에는 고온 열팽창 흡수용 완충제로 이루어진 열팽창흡수층(62)이 형성된다.11 is a longitudinal cross-sectional view showing an electrode according to a sixth embodiment of the present invention, in order to form an electrode 60, a finishing member 67 coupled to one side of the metal tube 61 is formed to have a stage and the finishing member. A narrow portion of 67 is introduced into the metal tube 61. Then, the power terminal 68 is coupled to the opposite side coupled to the finishing member 67 of the metal tube 61. A ceramic layer 65 made of a ceramic coating is formed on the outer side of the metal tube 61, wherein the ceramic layer 65 includes up to a portion where the finish member 67 is coupled and maintains the same thickness. A thermal expansion absorption layer 62 made of a high temperature thermal expansion absorption buffer is formed between the ceramic layer 65 and the metal tube 61.

<실시예 7><Example 7>

도 12은 본 발명의 실시예 7에 따른 전극봉을 나타낸 횡단면도로서, 전극봉(70)을 구성하기 위해 세라믹튜브(71)의 외주면에 홈(71a)이 형성된다. 상기 홈(71a)에는 금속 페이스트(Paste)가 도포되어 전극(73)을 형성한다. 상기 전극(73)의 외면은 세라믹 코팅되어 세라믹층(75)을 형성한다. 상기 전극(73)을 형성하는 금속은 은, 금, 구리, 텅스텐 등이 채택되어 사용될 수 있다. 12 is a cross-sectional view showing an electrode rod according to a seventh embodiment of the present invention, in which a groove 71a is formed on the outer circumferential surface of the ceramic tube 71 to form the electrode rod 70. A metal paste is applied to the groove 71a to form an electrode 73. The outer surface of the electrode 73 is ceramic coated to form a ceramic layer 75. As the metal for forming the electrode 73, silver, gold, copper, tungsten, or the like may be adopted.

상기와 같은 전극봉(70)은 후술되는 제조공정에 의해 제조될 수 있다.The electrode rod 70 as described above may be manufactured by a manufacturing process described below.

세라믹 튜브(71)의 외경에 음각된 홈(71a)이 가공된다. 그리고 상기 홈(71a)에는 금속 페이스트가 인쇄되며, 인쇄면이 노출된 상태에서 100 내지 200℃에서 0.1 내지 1시간 유지시켜 금속 페이스트에 포함된 유기 용제를 제거하게 된다. 이후 400 내지 500℃에서 0.5 내지 1시간 유지시켜 금속 페이스트에 포함된 유기 고분자를 제거하게 되고, 상기 금속 페이스트의 열처리가 끝난 후 상기의 금속 페이스트가 도포된 일측면에 외부로 연결 가능한 전극리드 부분을 용접 처리한다. 그런 다음 상기 홈의 경계 보다 넓게 세라믹 페이스트를 금속 페이스트의 위에 인쇄하게 되고 인쇄면이 노출된 상태에서 100 내지 200℃에서 0.1 내지 1시간 동안 유지시켜 세라믹 페이스트에 포함된 유기 용제를 제거한다. 이후에 400 내지 500℃에서 0.5 내지 1시간 동안 유지시켜 상기 세라믹 페이스트에 포함된 유기 고분자를 제거한다. 그런 다음 700 내지 900℃의 노(Furnace)에서 1 내지 2시간 동안 세라믹 페이스트를 소성시킨다.The groove 71a engraved in the outer diameter of the ceramic tube 71 is processed. In addition, the metal paste is printed on the groove 71a, and the organic solvent contained in the metal paste is removed by keeping the printing surface exposed at 0.1 to 1 hour at 100 to 200 ° C. Thereafter, the organic polymer contained in the metal paste is removed by maintaining 0.5 to 1 hour at 400 to 500 ° C. After the heat treatment of the metal paste is finished, an electrode lead portion which can be connected to the outside of the metal paste is applied to the outside. Weld process. Then, the ceramic paste is printed on the metal paste wider than the boundary of the groove and is maintained at 100 to 200 ° C. for 0.1 to 1 hour while the printing surface is exposed to remove the organic solvent contained in the ceramic paste. Thereafter, the organic polymer contained in the ceramic paste is removed by maintaining at 400 to 500 ° C. for 0.5 to 1 hour. The ceramic paste is then calcined for 1-2 hours in a furnace at 700 to 900 ° C.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 전극봉들의 전원이 연결된 측이 상호 엇갈린 반대방향을 향하도록 하여 전극봉들 간의 방전현상을 방지할 수 있으며, 전극봉과 전극봉고정구조물을 결합함에 있어 상기 전극봉의 전극이 전극봉고정구조물과 이격되게 함으로써 스트리머 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention can prevent the discharge phenomenon between the electrodes by the opposite side to the opposite side of the power supply of the electrode, the electrode of the electrode in the electrode and the electrode fixing structure combined By spaced apart from the fixed structure there is an effect that can prevent the streamer generation.

또한, 본 발명은 전극봉을 구성함에 있어 공기층이 형성되는 것을 배제하고 전극이 공기에 노출되지 않게 하며, 상기 전극봉이 회전될 수 있도록 하여 전극봉의 내구성을 획기적으로 높일 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention has the effect of excluding the formation of the air layer to prevent the electrode from being exposed to the air, the electrode can be rotated to significantly increase the durability of the electrode in configuring the electrode.

Claims (15)

유전체 장벽 방전방식의 원기둥 적층형 고온 플라즈마 반응기에 있어서,In the cylindrical laminated high temperature plasma reactor of the dielectric barrier discharge method, 플라즈마 반응을 위한 전원을 공급받기 위해 내부의 전극(13)과 외부전원이 연결된 다수의 전극봉들이 동일한 선상에 배치되고, 상기 전극봉들은 각 전극봉들 사이에 통공이 형성될 수 있도록 상호 이격되며, 상기 전극봉들은 전극(13)과 외부전원이 연결된 측이 이웃하는 전극봉과 상호 반대 방향으로 엇갈린 형태로 그 양단이 전극봉고정구조물(90')에 밀착되는 형태로 고정결합되되, In order to receive power for the plasma reaction, a plurality of electrodes connected to an internal electrode 13 and an external power source are disposed on the same line, and the electrodes are spaced apart from each other so that a hole may be formed between the electrodes. They are fixedly coupled in a form in which both ends of the electrode 13 and the external power supply side are crossed in a direction opposite to each other in the opposite direction to each other in close contact with the electrode fixing structure 90 '. 상기 전극봉은 철과 니켈 합금 중 선택되는 어느 하나의 금속을 재질로 하는 중공의 금속튜브(51,61) 외측에 상기 금속튜브(51,61)의 열에 의해 팽창된 두께를 흡수할 수 있도록 열팽창 흡수용 완충제로 이루어진 열팽창흡수층(52,62)이 형성되고 상기 열팽창흡수층(52,62)의 외면은 세라믹 코팅되어 이루어지며, The electrode rod absorbs thermal expansion so as to absorb the expanded thickness by the heat of the metal tube (51, 61) outside the hollow metal tube (51, 61) made of any one metal selected from iron and nickel alloys Thermal expansion absorbing layers (52, 62) made of a buffer for the formation is formed and the outer surface of the thermal expansion absorbing layers (52, 62) is made of a ceramic coating, 상기 전극봉들의 금속 전극의 양단은 상기 전극봉고정구조물(90')과의 스트리머 방전을 방지하기 위해 상기 전극봉고정구조물과 이격됨을 특징으로 하는 고온 플라즈마 발생장치.Both ends of the metal electrodes of the electrodes, the high temperature plasma generator, characterized in that spaced apart from the electrode fixing structure to prevent the streamer discharge with the electrode fixing structure (90 '). 유전체 장벽 방전방식의 원기둥 적층형 고온 플라즈마 반응기에 있어서,In the cylindrical laminated high temperature plasma reactor of the dielectric barrier discharge method, 플라즈마 반응을 위한 전원을 공급받기 위해 내부의 전극(13)과 외부전원이 연결된 다수의 전극봉들이 동일한 선상에 배치되고, 상기 전극봉들은 각 전극봉들 사이에 통공이 형성될 수 있도록 상호 이격되며, 상기 전극봉들은 전극(13)과 외부전원이 연결된 측이 이웃하는 전극봉과 상호 반대 방향으로 엇갈린 형태로 그 양단이 전극봉고정구조물(90')에 밀착되는 형태로 고정결합되되, In order to receive power for the plasma reaction, a plurality of electrodes connected to an internal electrode 13 and an external power source are disposed on the same line, and the electrodes are spaced apart from each other so that a hole may be formed between the electrodes. They are fixedly coupled in a form in which both ends of the electrode 13 and the external power supply side are crossed in a direction opposite to each other in the opposite direction to each other in close contact with the electrode fixing structure 90 '. 상기 전극봉은 세라믹튜브(71)의 외주면에 홈(71a)이 형성되고 상기 홈(71a)에는 금속 페이스트(Paste)가 도포되어 전극(73)이 형성되고 상기 전극(73)의 외면은 세라믹 코팅되어 이루어지며,The electrode rod has a groove 71a formed on the outer circumferential surface of the ceramic tube 71, and a metal paste is applied to the groove 71a to form an electrode 73, and the outer surface of the electrode 73 is ceramic coated. Done, 상기 전극봉들의 금속 전극의 양단은 상기 전극봉고정구조물(90')과의 스트리머 방전을 방지하기 위해 상기 전극봉고정구조물과 이격됨을 특징으로 하는 고온 플라즈마 발생장치.Both ends of the metal electrodes of the electrodes, the high temperature plasma generator, characterized in that spaced apart from the electrode fixing structure to prevent the streamer discharge with the electrode fixing structure (90 '). 유전체 장벽 방전방식의 원기둥 적층형 고온 플라즈마 반응기에 있어서,In the cylindrical laminated high temperature plasma reactor of the dielectric barrier discharge method, 플라즈마 반응을 위한 전원을 공급받기 위해 내부의 전극(13)과 외부전원이 연결된 다수의 전극봉들이 동일한 선상에 배치되고, 상기 전극봉들은 각 전극봉들 사이에 통공이 형성될 수 있도록 상호 이격되며, 상기 전극봉들은 전극과 외부전원이 연결된 측이 이웃하는 전극봉과 상호 반대 방향으로 엇갈린 형태로 다수의 홀이 형성된 복수개의 전극봉고정구조물(90)들에 회전가능하게 관통되는 형태로 결합되고, 상기 전극봉들에는 각각 기어(93)가 결합되며, 상기 기어(93)들은 연결수단(94)에 의해 연결되며 상기 전극봉들 중 선택되는 어느 한 전극봉의 일측단에는 상기 전극봉들을 임의 회전시키기 위한 회전수단(95)이 결합되되,In order to receive power for the plasma reaction, a plurality of electrodes connected to an internal electrode 13 and an external power source are disposed on the same line, and the electrodes are spaced apart from each other so that a hole may be formed between the electrodes. The electrodes and the external power supply side are coupled in a rotatable manner to the plurality of electrode fixing structures 90 in which a plurality of holes are formed in a staggered form in a direction opposite to the neighboring electrode rods. Gear 93 is coupled, the gears 93 are connected by a connecting means 94 and the rotating means 95 for arbitrarily rotating the electrodes at one end of any one of the electrodes selected from among the electrodes But 상기 전극봉은 철과 니켈 합금 중 선택되는 어느 하나의 금속을 재질로 하는 중공의 금속튜브(51,61) 외측에 상기 금속튜브(51,61)의 열에 의해 팽창된 두께를 흡수할 수 있도록 열팽창 흡수용 완충제로 이루어진 열팽창흡수층(52,62)이 형성되고 상기 열팽창흡수층(52,62)의 외면은 세라믹 코팅되어 이루어진 것을 특징으로 하는 고온 플라즈마 발생장치.The electrode rod absorbs thermal expansion so as to absorb the expanded thickness by the heat of the metal tube (51, 61) outside the hollow metal tube (51, 61) made of any one metal selected from iron and nickel alloys A thermal expansion absorbing layer (52, 62) is formed of a buffer for the high temperature plasma generating apparatus, characterized in that the outer surface of the thermal expansion absorbing layer (52, 62) is made of a ceramic coating. 유전체 장벽 방전방식의 원기둥 적층형 고온 플라즈마 반응기에 있어서,In the cylindrical laminated high temperature plasma reactor of the dielectric barrier discharge method, 플라즈마 반응을 위한 전원을 공급받기 위해 내부의 전극(13)과 외부전원이 연결된 다수의 전극봉들이 동일한 선상에 배치되고, 상기 전극봉들은 각 전극봉들 사이에 통공이 형성될 수 있도록 상호 이격되며, 상기 전극봉들은 전극과 외부전원이 연결된 측이 이웃하는 전극봉과 상호 반대 방향으로 엇갈린 형태로 다수의 홀이 형성된 복수개의 전극봉고정구조물(90)들에 회전가능하게 관통되는 형태로 결합되고, 상기 전극봉들에는 각각 기어(93)가 결합되며, 상기 기어(93)들은 연결수단(94)에 의해 연결되며 상기 전극봉들 중 선택되는 어느 한 전극봉의 일측단에는 상기 전극봉들을 임의 회전시키기 위한 회전수단(95)이 결합되되,In order to receive power for the plasma reaction, a plurality of electrodes connected to an internal electrode 13 and an external power source are disposed on the same line, and the electrodes are spaced apart from each other so that a hole may be formed between the electrodes. The electrodes and the external power supply side are coupled in a rotatable manner to the plurality of electrode fixing structures 90 in which a plurality of holes are formed in a staggered form in a direction opposite to the neighboring electrode rods. Gear 93 is coupled, the gears 93 are connected by a connecting means 94 and the rotating means 95 for arbitrarily rotating the electrodes at one end of any one of the electrodes selected from among the electrodes But 상기 전극봉은 세라믹튜브(71)의 외주면에 홈(71a)이 형성되고 상기 홈(71a)에는 금속 페이스트(Paste)가 도포되어 전극(73)이 형성되고 상기 전극(73)의 외면은 세라믹 코팅되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 고온 플라즈마 발생장치.The electrode rod has a groove 71a formed on the outer circumferential surface of the ceramic tube 71, and a metal paste is applied to the groove 71a to form an electrode 73, and the outer surface of the electrode 73 is ceramic coated. A high temperature plasma generator, characterized in that made. 유전체 장벽 방전방식의 원기둥 적층형 고온 플라즈마 반응기에 있어서,In the cylindrical laminated high temperature plasma reactor of the dielectric barrier discharge method, 플라즈마 반응을 위한 전원을 공급받기 위해 내부의 전극(13)과 외부전원이 연결된 다수의 전극봉들이 동일한 선상에 배치되고, 상기 전극봉들은 각 전극봉들 사이에 통공이 형성될 수 있도록 상호 이격되며, 상기 전극봉들은 전극과 외부전원이 연결된 측이 이웃하는 전극봉과 상호 반대 방향으로 엇갈린 형태로 다수의 홀이 형성된 복수개의 전극봉고정구조물(90)들에 회전가능하게 관통되는 형태로 결합되고, 상기 전극봉들에는 각각 기어(93)가 결합되며, 상기 기어(93)들은 연결수단(94)에 의해 연결되며 상기 전극봉들 중 선택되는 어느 한 전극봉의 일측단에는 상기 전극봉들을 임의 회전시키기 위한 회전수단(95)이 결합되되,In order to receive power for the plasma reaction, a plurality of electrodes connected to an internal electrode 13 and an external power source are disposed on the same line, and the electrodes are spaced apart from each other so that a hole may be formed between the electrodes. The electrodes and the external power supply side are coupled in a rotatable manner to the plurality of electrode fixing structures 90 in which a plurality of holes are formed in a staggered form in a direction opposite to the neighboring electrode rods. Gear 93 is coupled, the gears 93 are connected by a connecting means 94 and the rotating means 95 for arbitrarily rotating the electrodes at one end of any one of the electrodes selected from among the electrodes But 상기 연결수단(94)은 타이밍 벨트와 체인 중 선택되는 어느 하나로 이루어지며, The connecting means 94 is made of any one selected from a timing belt and a chain, 상기 회전수단(95)은 손잡이와 전동모터 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 고온 플라즈마 발생장치.The rotating means (95) is a high temperature plasma generator, characterized in that any one selected from the handle and the electric motor. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 전극봉은 중공의 세라믹튜브(11) 외주면에 금속 페이스트(Paste)가 도포되어 전극(13)을 형성하고 상기 전극(13)이 세라믹 코팅되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 고온 플라즈마 발생장치.The electrode is a high temperature plasma generator, characterized in that the metal paste (Paste) is applied to the outer surface of the hollow ceramic tube (11) to form an electrode (13) and the electrode (13) is ceramic coated. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 전극봉은 중공의 세라믹튜브(21) 내주면에 은 또는 텅스텐 중 선택되는 어느 하나의 금속이 코팅되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 고온 플라즈마 발생장치.The electrode is a high temperature plasma generator, characterized in that any one metal selected from silver or tungsten is coated on the inner surface of the hollow ceramic tube (21). 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 전극봉은 세라믹 봉(31)의 외주면에 금속 페이스트(Paste)가 도포되어 전극(33)을 형성하고 상기 전극(33)이 세라믹 코팅되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 고온 플라즈마 발생장치.The electrode rod is a high temperature plasma generator, characterized in that the metal paste (Paste) is applied to the outer circumferential surface of the ceramic rod 31 to form an electrode 33 and the electrode 33 is a ceramic coating. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 전극봉은 철과 니켈 합금 중 선택되는 어느 하나의 금속을 재질로 하는 금속봉(41)의 외주면이 세라믹 코팅되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 고온 플라즈마 발생장치.The electrode rod is a high temperature plasma generator, characterized in that the outer circumferential surface of the metal rod 41 made of any one metal selected from iron and nickel alloy is ceramic coated. 제2항 또는 제4항 또는 제6항 또는 제8항 중 선택되는 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 or 4 or 6 or 8, 상기 금속 페이스트(Paste)는 은, 금, 구리, 텅스텐 중 선택되는 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 고온 플라즈마 발생장치.The metal paste is made of any one selected from silver, gold, copper and tungsten. 제1항 또는 제3항 또는 제7항 또는 제9항 중 선택되는 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 or 3 or 7 or 9, 상기 전극봉은 그 일측 단부에 전극에 의한 스파크를 방지하도록 결합되는 마감부재를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고온 플라즈마 발생장치.The electrode rod is a high temperature plasma generator, characterized in that it further comprises a finishing member coupled to prevent the spark by the electrode at one end thereof. 제 11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 마감부재는 세라믹 재질인 것을 특징으로 하는 고온 플라즈마 발생장치.The finishing member is a high temperature plasma generator, characterized in that the ceramic material. 제1항 또는 제 3항 또는 제7항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to claim 1 or 3 or 7, 상기 전극봉은 그 일측 단부에 외부전원을 상기 전극에 인가하기 위해 상기 전극과 접하는 형태로 결합되는 전원단자를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고온 플라즈마 발생장치.The electrode rod is a high temperature plasma generator, characterized in that further comprising a power terminal coupled in contact with the electrode to apply an external power to the electrode at one end thereof. 삭제delete 삭제delete
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