KR100762225B1 - Cell plate voltage stable circuit of semiconductor device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 Vcp(셀 플레이트 전압) 노드마다 다이오드를 구성하여 고속의 동작시 발생하는 집적 회로의 오동작을 방지할 수 있도록한 반도체 소자의 셀 플레이트 전압 안정화 회로에 관한 것으로, 반도체 메모리 장치에 있어서,복수개의 단위 셀을 포함하는 단위 셀 어레이;상기 단위 셀 어레이의 커패시터의 플레이트 전극에 Vcp의 레벨을 보정하기 위하여 Vcp 인가부에 연결되어 각각 셀 어레이 부근에 형성되는 다이오드를 포함한다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cell plate voltage stabilization circuit of a semiconductor device in which diodes are formed for each Vcp (cell plate voltage) node to prevent malfunction of an integrated circuit generated at a high speed operation. A unit cell array including two unit cells; a diode connected to a Vcp applying unit to correct a level of Vcp to a plate electrode of a capacitor of the unit cell array, each diode being formed near a cell array.

Vcp,커패시터Vcp, Capacitor

Description

반도체 소자의 셀 플레이트 전압 안정화 회로{CELL PLATE VOLTAGE STABLE CIRCUIT OF SEMICONDUCTOR DEVICE} Cell plate voltage stabilization circuit of semiconductor device {CELL PLATE VOLTAGE STABLE CIRCUIT OF SEMICONDUCTOR DEVICE}             

도 1은 일반적인 메인 셀 어레이의 구성도1 is a configuration diagram of a typical main cell array

도 2는 일반적인 단위 셀의 회로 구성도2 is a circuit diagram of a typical unit cell

도 3은 쓰기/읽기 동작을 수행하지 않은 상태의 전압 레벨을 나타낸 구성도3 is a diagram illustrating a voltage level in a state in which a write / read operation is not performed

도 4는 읽기/쓰기 동작 수행 직전의 전위를 나타낸 회로 구성도4 is a circuit diagram showing a potential immediately before a read / write operation is performed;

도 5는 쓰기 동작을 수행하는 초기 레벨을 나타내는 회로 구성도5 is a circuit diagram illustrating an initial level at which a write operation is performed;

도 6은 이웃하는 로우 레벨의 데이터를 갖는 셀의 전위를 나타낸 회로 구성도6 is a circuit diagram showing the potential of a cell having neighboring low-level data;

도 7은 본 발명에 따른 셀 플레이트 전압 안정화를 위한 연결 구성도
7 is a connection diagram for cell plate voltage stabilization according to the present invention

본 발명은 반도체 소자의 전압 안정화에 관한 것으로, 특히 Vcp(셀 플레이트 전압) 노드마다 다이오드를 구성하여 고속의 동작시 발생하는 집적 회로의 오동작 을 방지할 수 있도록한 반도체 소자의 셀 플레이트 전압 안정화 회로에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to voltage stabilization of semiconductor devices, and more particularly to cell plate voltage stabilization circuits of semiconductor devices in which diodes are formed at each Vcp (cell plate voltage) node to prevent malfunction of integrated circuits generated at high speed. It is about.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 종래 기술의 반도체 메모리 장치에 관하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a semiconductor memory device according to the related art will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 일반적인 메인 셀 어레이의 구성도이고, 도 2는 일반적인 단위 셀의 회로 구성도이다.1 is a configuration diagram of a general main cell array, and FIG. 2 is a circuit configuration diagram of a general unit cell.

일반적으로 디램(DRAM) 등과 같은 반도체 소자의 메모리 셀은 1개의 트랜지스터와 1개의 커패시터로 구성된다.In general, a memory cell of a semiconductor device such as a DRAM is composed of one transistor and one capacitor.

비트 라인(BL)과 연결되는 콘택(contact)을 비트 라인 콘택이라 부르며 두 셀이 하나의 콘택를 공유한다.A contact connected to the bit line BL is called a bit line contact, and two cells share one contact.

그리고 워드 라인(WL)을 사이에 두고 비트 라인 콘택과 저장 노드 콘택이 존재하며 워드 라인(WL)에 양(+)의 방향의 고전압이 인가되면 상기 트랜지스터가 턴온되어 저장 노드 콘택과 비트 라인 콘택이 서로 연결된다.If a bit line contact and a storage node contact exist with a word line WL interposed therebetween, and a high voltage in a positive direction is applied to the word line WL, the transistor is turned on so that the storage node contact and the bit line contact are closed. Are connected to each other.

여기서, 상기 저장 노드 콘택은 셀 캐패시터의 아래쪽 전극에 연결되어 있으며 캐패시터의 다른 한쪽 전극은1(Vdd)/2 에 연결되어 있어 이곳에 저장된 전하가 비트 라인(BL)으로 전달된다.Here, the storage node contact is connected to the lower electrode of the cell capacitor and the other electrode of the capacitor is connected to 1 (Vdd) / 2 so that the charge stored therein is transferred to the bit line BL.

이와 같이 종래의 반도체 소자는 외부전원(Vdd)의 절반인 Vdd/2로 고정된 셀플레이트(cell plate) 전위를 갖게 된다.As such, the conventional semiconductor device has a cell plate potential fixed at Vdd / 2, which is half of the external power supply Vdd.

이와 같은 반도체 소자를 고온 고전압 테스트(Burn In test)를 할 경우에는 외부에서 인가되는 전압을 아무리 높여도 메모리 셀 자체에서는 수백 ㎳ 정도(예컨 대, 300㎳ 정도) 밖에 되지 않는다.When a high temperature burn-in test is performed on such a semiconductor device, the memory cell itself is only about a few hundred kilowatts (for example, about 300 kilowatts) no matter how high a voltage is applied from the outside.

결국, 이와 같이 적은 양의 산화물 전압 스트레스(oxide voltage stress)는 상당히 긴 시간의 고온 고전압 스트레스 시간(Burn In stress time)이 필요하게 되고, 그로 인해 생산 원가 측면에서도 상당한 손실을 불러일으키게 된다.As a result, such a small amount of oxide voltage stress requires a very long time of high temperature burn-in stress time, which causes considerable losses in terms of production cost.

셀 플레이트 인가 라인을 도 1에서와 같이 적용하였을 경우, 집적 회로가 고속으로 동작을 하게되면 라이트 동작시, 소수의 셀을 제외하고 모든 데이터에 하이 데이터를 쓸 때 셀 플레이트 노드(Cell Plate Node)는 도 1에서와 같은 현상이 일어나게 된다.When the cell plate applying line is applied as shown in FIG. 1, when the integrated circuit operates at high speed, the cell plate node writes high data to all data except a few cells during the write operation. The same phenomenon as in FIG. 1 occurs.

수메가의 셀이 계속적으로 라이트 되면서 셀 플레이트 전압이 올라가게 되고, 이에 따라 Low 데이터가 실려있는 쪽의 Vcp 또한 올라가게 된다.As several megacells of light are continuously written, the cell plate voltage rises, which in turn increases the Vcp on the low-side side.

이때 셀 커패시터를 통하여 리크가 더욱 가속화가 된다. 이에 따라 Low 데이터가 high 데이터를 인식하는 레벨까지 누설이 발생하게 되고, 결국은 low 데이터가 high 데이터로 바뀌게 되어 가지고있던 셀 데이터를 잃어버리는 현상이 발생을 하게 된다.At this time, leakage is further accelerated through the cell capacitor. As a result, leakage occurs to a level where low data recognizes high data, and eventually, low data is changed to high data, resulting in the loss of cell data.

그러나 이와 같은 종래 기술의 반도체 메모리 장치의 셀 플레이 전압 인가 방식에 있어서는 다음과 같은 문제가 있다.However, the cell play voltage application method of the conventional semiconductor memory device has the following problems.

수 메가의 셀이 계속적으로 라이트 되면서 셀 플레이트 전압이 올라가게 되고, 이에 따라 Low 데이터가 실려있는 쪽의 Vcp 또한 올라가게 되어 셀 커패시터를 통한 누설이 가속되는 문제가 있다.As several mega cells are continuously written, the cell plate voltage is increased. Accordingly, Vcp at the side of the low data is also increased, thereby accelerating leakage through the cell capacitor.

이는 셀 데이터의 유실을 가져와 소자의 신뢰성을 저하시킨다.
This results in loss of cell data, which degrades device reliability.

본 발명은 이와 같은 종래 기술의 반도체 메모리 장치의 문제를 해결하기 위한 것으로, Vcp(셀 플레이트 전압) 노드마다 다이오드를 구성하여 고속의 동작시 발생하는 집적 회로의 오동작을 방지할 수 있도록한 반도체 소자의 셀 플레이트 전압 안정화 회로를 제공하는데 그 목적이 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem of the semiconductor memory device of the related art. The purpose is to provide a cell plate voltage stabilization circuit.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 셀 플레이트 전압 안정화 회로는 반도체 메모리 장치에 있어서, 복수개의 단위 셀을 포함하는 단위 셀 어레이; 상기 단위 셀 어레이의 커패시터의 플레이트 전극에 Vcp의 레벨을 보정하기 위하여 Vcp 인가부에 연결된 다이오드;를 포함하고, 상기 다이오드의 순방향 턴온 전압(turn on voltage)으로 Vcp의 레벨(level)을 동일하게 형성하여 Vcp가 일정 전압 이상으로 올라가는 것을 막아주는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a cell plate voltage stabilization circuit comprising: a unit cell array including a plurality of unit cells; And a diode connected to the Vcp applying unit to correct the level of Vcp at the plate electrode of the capacitor of the unit cell array, and form the same level of Vcp as the forward turn on voltage of the diode. This prevents the Vcp from rising above a certain voltage.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 따른 셀 플레이트 전압 안정화 회로에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a cell plate voltage stabilization circuit according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 쓰기/읽기 동작을 수행하지 않은 상태의 전압 레벨을 나타낸 구성도이고, 도 4는 읽기/쓰기 동작 수행 직전의 전위를 나타낸 회로 구성도이다.3 is a diagram illustrating a voltage level in a state where a write / read operation is not performed, and FIG. 4 is a diagram illustrating a potential of a voltage immediately before performing a read / write operation.

그리고 도 5는 쓰기 동작을 수행하는 초기 레벨을 나타내는 회로 구성도이고, 도 6은 이웃하는 로우 레벨의 데이터를 갖는 셀의 전위를 나타낸 회로 구성도 이다.FIG. 5 is a circuit diagram illustrating an initial level at which a write operation is performed, and FIG. 6 is a circuit diagram illustrating potentials of cells having neighboring low level data.

그리고 도 7은 본 발명에 따른 셀 플레이트 전압 안정화를 위한 연결 구성도이다.7 is a connection diagram for cell plate voltage stabilization according to the present invention.

본 발명은 각 미니 셀 어레이에 Vcp 노드마다 다이오드(Diode)를 형성을 한다. 이 다이오드의 순방향 턴온 전압(turn on voltage)을 Vcp의 레벨(level)을 동일하게 형성을 함으로써 Vcp가 일정 전압 이상으로 올라가는 것을 막아주도록 한 것이다.The present invention forms a diode for each Vcp node in each mini cell array. The forward turn on voltage of the diode is set to the same level of Vcp to prevent the voltage from rising above a certain voltage.

DRAM에서는 셀(cell)의 데이터(data)를 저장하기 위하여 커패시터를 사용한다. 이 커패시터의 용량을 키우기 위하여 두 개의 노드(node) 사이의 거리를 가깝게 하고 있다. In DRAMs, capacitors are used to store data of cells. In order to increase the capacity of this capacitor, the distance between two nodes is close.

커패시턴스는 거리에 반비례하고, 면적에 비례를 하는 특성을 가지고 있다.Capacitance is inversely proportional to distance and proportional to area.

물론 유전율에도 비례를 한다. 유전율을 올리는 기술과 거리를 좁히는 기술이 동시에 연구가 되고 있는 상태에서, 거리를 줄이면 커패시턴스가 커지지만, 누설전류 또한 커지게 된다.Of course, it is proportional to dielectric constant. While the technique of increasing the dielectric constant and the technique of narrowing the distance is being studied at the same time, reducing the distance increases the capacitance, but also increases the leakage current.

이는 브레이크 다운 전압(Breakdown Voltage) 또한 낮아지는 단점이 있다. This has the disadvantage that the breakdown voltage is also lowered.

이러한 커패시터를 적용하는 DRAM에서 동작은 어떤 동작이 일어나는 예측이 전혀 불가능하므로 어떤 동작에서도 신뢰성을 확보하여야 한다.In DRAMs that use these capacitors, the operation is not predictable at all, so reliability must be ensured in any operation.

도 3은 DRAM이 셀에 대한 데이터의 입출력을 하지 않을 때 상태이고, 도 4는 데이터에 쓰기 작업을 하기 전에 데이터를 리드할 때의 전위를 나타낸 것이다.FIG. 3 shows a state when the DRAM does not input / output data to a cell, and FIG. 4 shows a potential when reading data before writing to data.

도 6은 쓰기 작업을 들어가는 상태에 Vcp의 전압이 순간적으로 높아지는 원 리를 나타낸 것으로, 이때 Low 데이터를 가지고 있는 셀에 누설 전류가 발생하는 것을 도 6에 도시하였다.FIG. 6 illustrates a principle in which the voltage of Vcp increases momentarily while a write operation is performed, and FIG. 6 illustrates that a leakage current occurs in a cell having low data.

도 7은 이와 같은 누설 전류의 발생을 막기 위한 것으로, 단위 셀 어레이의 커패시터의 플레이트 전극에 Vcp의 레벨을 보정하기 위하여 Vcp 인가부에 연결되어 각각 셀 어레이 부근에 다이오드를 형성한다.FIG. 7 is for preventing the occurrence of such leakage current, and is connected to the Vcp applying unit to correct the level of Vcp at the plate electrode of the capacitor of the unit cell array, thereby forming diodes in the vicinity of the cell array.

여기서, 다이오드는 양단에 하나씩 형성하거나 다수개를 사용할 수 있다.Here, one diode may be formed at both ends or a plurality of diodes may be used.

여기서, 단위 셀 어레이에 복수개 구성되는 각각의 단위 셀은 일방향으로 구성되는 워드 라인과, 워드 라인에 수직한 방향으로 지나는 비트 라인과, 상기 워드라인에 게이트가 연결되고 소오스가 비트 라인에 연결되는 셀 트랜지스터와, 상기 셀 트랜지스터의 드레인에 한쪽 전극이 연결되고 다른쪽 전극이 접지 단자에 연결되는 단위 커패시터로 구성된다.Here, each unit cell of the plurality of unit cell arrays includes a word line configured in one direction, a bit line passing in a direction perpendicular to the word line, a cell having a gate connected to the word line and a source connected to the bit line. A transistor and a unit capacitor having one electrode connected to the drain of the cell transistor and the other electrode connected to the ground terminal.

본 발명은 각 미니 셀 어레이에 Vcp 노드마다 다이오드(Diode)를 형성하여 다이오드의 순방향 턴온 전압(turn on voltage)을 Vcp의 레벨(level)을 동일하게 형성을 함으로써 Vcp가 일정 전압 이상으로 올라가는 것을 막아주도록 한 것이다.
According to the present invention, a diode is formed at each Vcp node in each minicell array to prevent the Vcp from rising above a certain voltage by forming a forward turn on voltage of the diode at the same level of Vcp. It was given.

이와 같은 본 발명에 따른 반도체 소자의 셀 플레이트 전압 안정화 회로는 다음과 같은 효과가 있다.Such a cell plate voltage stabilization circuit of a semiconductor device according to the present invention has the following effects.

본 발명은 집적 회로의 동작에 매우 중요하게 사용이되는 Vcp의 전압의 레벨 안정화를 통하여 DRAM의 동작의 신뢰성을 확보한다.The present invention ensures the reliability of the DRAM operation through the level stabilization of the voltage of Vcp which is very important for the operation of the integrated circuit.

Claims (4)

반도체 메모리 장치에 있어서,In a semiconductor memory device, 복수개의 단위 셀을 포함하는 단위 셀 어레이;A unit cell array including a plurality of unit cells; 상기 단위 셀 어레이의 커패시터의 플레이트 전극에 Vcp의 레벨을 보정하기 위하여 Vcp 인가부에 연결된 다이오드;를 포함하고,And a diode connected to the Vcp applying unit to correct the level of Vcp at the plate electrode of the capacitor of the unit cell array. 상기 다이오드의 순방향 턴온 전압(turn on voltage)으로 Vcp의 레벨(level)을 동일하게 형성하여 Vcp가 일정 전압 이상으로 올라가는 것을 막아주는 반도체 소자의 셀 플레이트 전압 안정화 회로.A cell plate voltage stabilization circuit of a semiconductor device which prevents Vcp from rising above a certain voltage by forming the same level of Vcp as the forward turn on voltage of the diode. 제 1 항에 있어서, 다이오드는 양단에 하나씩 형성하거나 다수개를 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 셀 플레이트 전압 안정화 회로.2. The cell plate voltage stabilization circuit of claim 1, wherein the diodes are formed one at each end or a plurality of diodes. 제 1 항에 있어서, 각각의 단위 셀은 일방향으로 구성되는 워드 라인과,The method of claim 1, wherein each unit cell is a word line configured in one direction, 상기 워드 라인에 수직한 방향으로 지나는 비트 라인과,A bit line passing in a direction perpendicular to the word line, 상기 워드라인에 게이트가 연결되고 소오스가 비트 라인에 연결되는 셀 트랜지스터와,A cell transistor having a gate connected to the word line and a source connected to a bit line; 상기 셀 트랜지스터의 드레인에 한쪽 전극이 연결되고 다른쪽 전극이 접지 단자에 연결되는 단위 커패시터로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 셀 플레이트 전압 안정화 회로.And a unit capacitor having one electrode connected to the drain of the cell transistor and the other electrode connected to the ground terminal. 삭제delete
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