KR100762053B1

KR100762053B1 - Surface acoustic wave apparatus

Info

Publication number: KR100762053B1
Application number: KR1020060023899A
Authority: KR
Inventors: 고이찌 와다; 세이이찌 미또베; 쇼고 이노우에
Original assignee: 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤; 후지쯔 가부시끼가이샤
Priority date: 2005-08-23
Filing date: 2006-03-15
Publication date: 2007-09-28
Also published as: KR20070023497A

Abstract

고차 가로 모드의 스퓨리어스를 억압하고, 또한 전반 방향의 SAW 여진 강도 분포를 바꾸지 않는 구조를 갖는 탄성 표면파 장치를 제공한다. 적어도 하나의 인터 디지털 트랜스듀서를 갖는 탄성 표면파 장치로서, 상기 인터 디지털 트랜스듀서는, 한 쌍의 공통 전극의 각각에 접속된 복수의 빗형 전극이 교차하도록 배치되고, 또한, 상기 복수의 빗형 전극이 교차하는 영역은, 교차 폭이 탄성 표면파의 전반 방향을 따라 웨이팅되어 있는 제1 교차 영역과 제2 교차 영역의 2개의 영역으로 형성되고, 상기 제1 교차 영역과 제2 교차 영역은, 상기 탄성 표면파의 전반 방향과 수직 방향에서 접하고 있거나, 혹은 중첩하고 있어, 상기 제1 또는 제2 중 어느 하나의 교차 영역에서, 교차 폭 웨이팅 포락선이, 상기 탄성 표면파의 전반 방향으로 적어도 2개 이상의 변화점을 갖는다. A surface acoustic wave device having a structure that suppresses the spurious of the higher-order transverse mode and does not change the SAW excitation intensity distribution in the propagation direction. A surface acoustic wave device having at least one inter digital transducer, wherein the inter digital transducer is arranged such that a plurality of comb electrodes connected to each of the pair of common electrodes cross each other, and the plurality of comb electrodes cross each other. The said area | region is formed into two area | regions of the 1st intersection area | region and the 2nd intersection area | region whose cross width is weighted along the propagation direction of a surface acoustic wave, The said 1st intersection area | region and the 2nd intersection area | region are the In contact with or overlapping in the direction perpendicular to the propagation direction, the crossing width weighting envelope has at least two or more change points in the propagation direction of the surface acoustic wave in any one of the first or second intersection regions.

스퓨리어스, 포락선, 인터 디지털 트랜스듀서(IDT), 탄성 표면파(SAW) Spurious, Envelope, Inter Digital Transducer (IDT), Surface Wave (SAW)

Description

Surface acoustic wave device {SURFACE ACOUSTIC WAVE APPARATUS}

도 1은 한 쌍의 반사기 사이에 하나의 IDT가 배치된 1포트 SAW 공진기의 예를 도시하는 도면.1 shows an example of a one-port SAW resonator in which one IDT is disposed between a pair of reflectors.

도 2는 고차 가로 모드의 스퓨리어스에 대응하기 위한 종래 구성을 도시하는 도면. Fig. 2 is a diagram showing a conventional configuration for responding to the spurious of the higher order landscape mode.

도 3은 본 발명의 일 실시예 구성을 도시하는 도면.3 is a diagram showing an embodiment configuration of the present invention.

도 4는 교차 영역 A 및 B에서의 웨이팅 변화 포락선에 근사하여 설명하는 도면.4 is a diagram illustrating approximation of a weight change envelope in intersection regions A and B. FIG.

도 5는 공통 전극(버스 바) 자체가, 웨이팅 교차 영역에서의 빗형 전극의 교차량의 웨이팅에 대응하는 베타 패턴 형상을 갖도록 설정되어 있는 예를 도시하는 도면.5 is a diagram showing an example in which the common electrode (bus bar) itself is set to have a beta pattern shape corresponding to the weighting of the crossing amount of the comb-shaped electrodes in the weighting crossing area.

도 6은 공통 전극에 더미 전극이 존재하지 않고, 공극을 갖도록 설정되어 있는 예를 도시하는 도면.FIG. 6 is a diagram illustrating an example in which a dummy electrode does not exist in a common electrode and is set to have voids. FIG.

도 7은 웨이팅 교차 영역에서 존재하는 웨이팅에 의해 발생하는 최소 피크와 최대 피크가 발생하는 예를 도시하는 도면.FIG. 7 is a diagram showing an example in which the minimum and maximum peaks generated by the weights present in the weighting intersection region occur. FIG.

도 8은 제2 교차 영역 B에서의 교차 폭 웨이팅 포락선과, 제1 교차 영역 A에서의 교차 폭 웨이팅 포락선과의 관계를 설명하는 도면.8 is a diagram illustrating a relationship between a cross width weighting envelope in a second cross region B and a cross width weighting envelope in a first cross region A;

도 9a는 본 발명의 실시예로서 웨이팅 교차 영역에서의 다양한 웨이팅의 변화 패턴의 예(그 1)를 도시하는 도면.Fig. 9A is a diagram showing an example of the variation pattern of various weightings (weight 1) in the weighting crossing area as an embodiment of the present invention.

도 9b는 본 발명의 실시예로서 웨이팅 교차 영역에서의 다양한 웨이팅의 변화 패턴의 예(그 2)를 도시하는 도면.FIG. 9B is a diagram showing an example (variety 2) of a variation pattern of various weights in a weighting intersection area as an embodiment of the present invention. FIG.

도 9c는 본 발명의 실시예로서 웨이팅 교차 영역에서의 다양한 웨이팅의 변화 패턴의 예(그 2)를 도시하는 도면.Fig. 9C is a diagram showing an example (variety 2) of a variation pattern of various weightings in a weighting intersection area as an embodiment of the present invention.

도 10은 웨이팅 교차 영역 A, B의 위치에 대해 인터 디지털 트랜스듀서의 개구 길이와의 관계로 설명하는 도면.FIG. 10 is a diagram for explaining positions of weighting crossing areas A and B in relation to the opening length of an interdigital transducer. FIG.

도 11a는 Li₂B₄O₇ 기판으로 시작(試作)한 3IDT형 공진기 필터의 특성을 도시하는 도면.Fig. 11A is a diagram showing the characteristics of a 3IDT type resonator filter starting with a Li ₂ B ₄ O ₇ substrate.

도 11b는 도 11a의 대역 내의 확대도.FIG. 11B is an enlarged view in the band of FIG. 11A; FIG.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1 : IDT(인터 디지털 트랜스듀서)1: IDT (Inter Digital Transducer)

1a, 1b : 버스 바1a, 1b: bus bar

1c : 빗형 전극1c: comb-shaped electrode

2a, 2b : 반사기2a, 2b: reflector

10 : SAW의 여진 강도 분포10: aftershock intensity distribution of SAW

1Oa : 기본 가로 모드1Oa: default landscape mode

10b : 3차 가로 모드10b: 3rd landscape mode

11 : 빗형 전극의 교차 폭의 전반 방향을 따른 분포11: Distribution along the propagation direction of the cross width of the comb-shaped electrode

[특허 문헌1] 일본 특공평7-28195호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-28195

[특허 문헌2] 일본 특개평9-270667호 공보[Patent Document 2] Japanese Unexamined Patent Publication No. 9-270667

[특허 문헌3] 일본 특개평7-22898호 공보[Patent Document 3] Japanese Unexamined Patent Publication No. 7-22898

본 발명은, 탄성 표면파(SAW) 장치에 관한 것이다. 특히, VHF, UHF대에 공진 특성을 갖는 탄성 표면파 공진기(SAW 공진기), 또는 공진기를 이용한 공진기 필터로서 구성되는 탄성 표면파 필터(SAW 공진기 필터)에 관한 것이다.The present invention relates to a surface acoustic wave (SAW) device. In particular, the present invention relates to a surface acoustic wave resonator (SAW resonator) having resonance characteristics in the VHF and UHF bands, or a surface acoustic wave filter (SAW resonator filter) configured as a resonator filter using a resonator.

최근, SAW 디바이스는 통신 분야에서 널리 이용되고 있다. 특히 SAW 공진기 또는 SAW 공진기 필터(이하 SAW 공진기 디바이스)는 소형화이면서 저손실화가 가능하여 휴대 전화, 자동차의 리모트 키리스 엔트리 등에 많이 이용되고 있다.Recently, SAW devices have been widely used in the communication field. In particular, SAW resonators or SAW resonator filters (hereinafter referred to as SAW resonator devices) are miniaturized and capable of low loss, and are widely used in mobile phones and remote keyless entries of automobiles.

SAW 공진기 디바이스는, 압전 기판 상에 적어도 하나의 인터 디지털 트랜스듀서(IDT:Inter Digital Transducer) 전극을 배치하고, 일반적으로는 그 양 측에 설치되는 반사기에 의해 구성된다. SAW 공진기 디바이스에서는, IDT의 여진에 의해 압전 기판 상을 전반하는 SAW를 반사기로 반사시킴으로써, 에너지를 반사기 사이에 가둔다. 그때에 SAW의 전반 방향과 수직으로 에너지가 분포하는 모드(이하 가로 모드)의 기본 모드가 주전반 모드로 된다. 이것에 대하여 2차 이상의 고차 가로 모드도 존재하여, 짝수차 모드의 진동으로 여기하는 전하는 IDT 내에서 상쇄되지만 홀수차 모드에 의한 전하는 상쇄되지 않고, 공진기 특성에 스퓨리어스 응답으로서 나타난다. The SAW resonator device arranges at least one Inter Digital Transducer (IDT) electrode on a piezoelectric substrate, and is generally constituted by reflectors provided on both sides thereof. In the SAW resonator device, energy is confined between the reflectors by reflecting the SAW propagating on the piezoelectric substrate by the excitation of the IDT to the reflector. At that time, the basic mode of the mode in which energy is distributed perpendicular to the propagation direction of the SAW (hereinafter, referred to as the horizontal mode) becomes the main panel mode. On the other hand, a higher order transverse mode also exists, whereby the charges excited by the vibrations of the even-order modes cancel in the IDT, but the charges by the odd-order modes do not cancel, and appear as spurious responses to the resonator characteristics.

이 고차 가로 모드에 의한 스퓨리어스는, SAW 공진기의 경우에는 발진 회로에서의 발진 주파수 스킵 현상, SAW 공진기 필터에서는 대역 내 리플로서 악영향을 미친다. 고차 가로 모드가 발생하는 것은 SAW의 여진 강도 분포(10)가 사각 형상으로 되기 때문이다.This spurious in the high-order transverse mode adversely affects the oscillation frequency skip phenomenon in the oscillator circuit in the case of the SAW resonator and the in-band ripple in the SAW resonator filter. The higher-order transverse mode occurs because the excitation intensity distribution 10 of the SAW becomes square.

도 1에, 한 쌍의 반사기(2a, 2b) 사이에 하나의 IDT(1)가 배치된 1포트 SAW 공진기를 예로, 고차 가로 모드에 의한 스퓨리어스 발생의 모습을 도시한다. 도 1에서는 기본 가로 모드(10a)와 3차 가로 모드(10b)만을 도시하고 있지만, IDT의 개구 길이에 따라서는, 5차, 7차의 고차의 가로 모드가 존재한다.Fig. 1 shows a state of spurious generation by a higher-order transverse mode, taking as an example a one-port SAW resonator in which one IDT 1 is disposed between a pair of reflectors 2a and 2b. Although only the basic horizontal mode 10a and the tertiary horizontal mode 10b are shown in FIG. 1, there are 5th and 7th higher order horizontal modes depending on the opening length of the IDT.

고차 가로 모드의 스퓨리어스에 대응하기 위해, 도 2에 도시하는 바와 같이, 공통 전극(1a, 1b)에 접속된 복수의 빗형 전극(1c)이 교차하는 교차부에 교차 폭 웨이팅 포락선으로서 COS 함수를 이용한 웨이팅을 실시함으로써 SAW의 여진 강도 분포(10)를 기본 가로 모드(10a)와 일치 혹은 근사시켜, 고차 가로 모드를 억압하는 것이 알려져 있다(특허 문헌1 내지 3).In order to cope with the spurious in the higher order landscape mode, as shown in FIG. 2, a COS function is used as an intersecting width weighting envelope at an intersection where a plurality of comb-shaped electrodes 1c connected to the common electrodes 1a and 1b intersect. By performing the weighting, it is known that the excitation intensity distribution 10 of the SAW matches or approximates the basic transverse mode 10a to suppress the higher order transverse mode (Patent Documents 1 to 3).

또한, 종래예에서는, 교차 폭 웨이팅 포락선을 탄성 표면파의 전반 방향을 따라 본 경우, 교차 폭은 서서히 증가하지만, 임의의 변화점을 경계로 교차 폭은 감소로 바뀐다. 그리고 이 변화점은 하나뿐이다.In addition, in the conventional example, when the cross width weighting envelope is viewed along the front direction of the surface acoustic wave, the cross width gradually increases, but the cross width changes to decrease at any boundary. And there is only one change.

또한, 교차 폭 웨이팅 포락선은 탄성 표면파의 전반 방향을 축으로 경면 대 칭으로 되어 있다. 여기서 엄밀히 대칭성을 조사하면, 예를 들면 솔리드 전극 구조에서는 인접하는 전극 핑거간 거리분 즉 탄성 표면파 파장의 1/2 상당의 차는 발생하지만, 솔리드 전극 구조에 한정되지 않고, 전극 구조에 기인한 탄성 표면파 파장의 1/2 상당의 대칭성의 어긋남은 탄성 표면파 장치의 구조상 명백한 것으로서, 본 발명의 본질 부분이 아니기 때문에, 이후에도 교차 폭 웨이팅 포락선을 이용한 설명을 할 때에는 언급하지 않는다.In addition, the cross width weighting envelope is mirror-symmetric with respect to the propagation direction of the surface acoustic wave. If strict symmetry is examined here, for example, in the solid electrode structure, the difference between the distances between adjacent electrode fingers, i.e., the surface acoustic wave wavelength, is generated, but the surface acoustic wave due to the electrode structure is not limited to the solid electrode structure. The deviation of the symmetry corresponding to 1/2 of the wavelength is obvious in the structure of the surface acoustic wave device, and since it is not an essential part of the present invention, it is not mentioned later in the description using the cross width weighting envelope.

그러나, 도 2에 도시한 바와 같이 빗형 전극(1c)의 교차부를 교차 폭 웨이팅 포락선으로서 COS 함수로 웨이팅을 행한 경우, IDT(1)의 빗형 전극의 교차 폭의 전반 방향을 따른 분포(11)가 변화하므로 전반 방향에서의 SAW의 여진 강도 분포까지도 바꿔 버리게 된다.However, as shown in Fig. 2, when the intersection of the comb-shaped electrode 1c is weighted by the COS function as the cross-width weighting envelope, the distribution 11 along the propagation direction of the cross-width of the comb-shaped electrode of the IDT 1 This changes the excitation intensity distribution of the SAW in the propagation direction.

특히 SAW 공진기 필터에서는, 전반 방향으로 분포하는 모드(세로 모드)를 이용하여 필터 특성을 실현하고 있기 때문에, 영향은 매우 크다.In particular, in the SAW resonator filter, since the filter characteristics are realized using a mode (vertical mode) distributed in the propagation direction, the influence is very large.

교차 폭이 똑같은 IDT 전극(정규형 IDT 전극)이라면 원하는 특성, 예를 들면 대역 폭이나 원하는 주파수에서의 감쇠량 확보 등을 실현할 수 있지만 가로 모드에 의한 스퓨리어스가 발생하게 된다. 따라서 IDT 전극에 COS 함수로 웨이팅을 행하면 스퓨리어스는 억압할 수 있지만 원하는 특성을 실현할 수 없게 된다고 하는 경우에 매우 많다.If the IDT electrode (regular type IDT electrode) having the same cross width can achieve desired characteristics, for example, securing bandwidth and attenuation at a desired frequency, spurious by the horizontal mode will occur. Therefore, when weighting an IDT electrode with a COS function, spurious can be suppressed, but there are many cases where it is impossible to realize a desired characteristic.

따라서, 본 발명의 목적은, 고차 가로 모드의 스퓨리어스를 억압하고, 또한 전반 방향의 SAW 여진 강도 분포를 바꾸지 않는 구조를 갖는 탄성 표면파 장치를 제공하는 데 있다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a surface acoustic wave device having a structure that suppresses the spurious of the higher-order transverse mode and does not change the SAW excitation intensity distribution in the propagation direction.

상기 본 발명의 목적을 달성하는 탄성 표면파 장치의 제1 측면은,The first aspect of the surface acoustic wave device to achieve the object of the present invention,

적어도 하나의 인터 디지털 트랜스듀서를 갖는 탄성 표면파 장치로서,A surface acoustic wave device having at least one inter digital transducer, comprising:

상기 인터 디지털 트랜스듀서는,The inter digital transducer,

한 쌍의 공통 전극의 각각에 접속된 복수의 빗형 전극이 교차하도록 배치되고, A plurality of comb-shaped electrodes connected to each of the pair of common electrodes are arranged to intersect,

또한, 상기 복수의 빗형 전극이 교차하는 영역은,In addition, the region where the plurality of comb-shaped electrodes intersect,

교차 폭이 탄성 표면파의 전반 방향을 따라 웨이팅되어 있는 제1 교차 영역과 제2 교차 영역의 2개의 영역으로 형성되고,The crossing width is formed of two regions, the first crossing region and the second crossing region, which are weighted along the propagation direction of the surface acoustic wave,

상기 제1 교차 영역과 제2 교차 영역은, 상기 탄성 표면파의 전반 방향과 수직 방향에서 접하고 있거나, 혹은 중첩하고 있어,The first crossing region and the second crossing region are in contact with or overlapping with the propagation direction of the surface acoustic wave, or overlap with each other.

상기 제1 또는 제2 중 어느 하나의 교차 영역에서, 교차 폭 웨이팅 포락선이, 상기 탄성 표면파의 전반 방향으로 적어도 2개 이상의 변화점을 갖는 것을 특징으로 한다. In the intersection region of any one of the first and second, the crossing width weighting envelope has at least two change points in the propagation direction of the surface acoustic wave.

상기 본 발명의 목적을 달성하는 탄성 표면파 장치의 제2 측면은,The second aspect of the surface acoustic wave device to achieve the object of the present invention,

상기 인터 디지털 트랜스듀서는,The inter digital transducer,

교차 폭이 상기 탄성 표면파의 전반 방향을 따라 웨이팅되어 있는 제1 교차 영역과 제2 교차 영역의 2개의 영역으로 형성되고,The crossing width is formed of two regions of the first crossing region and the second crossing region which are weighted along the propagation direction of the surface acoustic wave,

상기 제1 및 제2 교차 영역에서의 교차 폭 웨이팅 포락선의 각각은, 상기 탄성 표면파의 전반 방향에서 단 하나의 변화점을 갖고, 또한 Each of the crossing width weighting envelopes in the first and second crossing regions has only one change point in the propagation direction of the surface acoustic wave, and

상기 제1 및 제2 교차 영역에서의 교차 폭 웨이팅 포락선이 갖는 변화점은, 상기 탄성 표면파의 전반 방향에 수직 방향이며, 동일 방향으로 존재하는 것을 특징으로 한다.A change point of the crossing width weighting envelope in the first and second crossing areas is a direction perpendicular to the propagation direction of the surface acoustic wave and is present in the same direction.

상기 제1 또는 제2 측면에서,In the first or second aspect,

상기 제2 교차 영역에서의 교차 폭 웨이팅 포락선은, 상기 제1 교차 영역의 교차 폭 웨이팅 포락선을 상기 탄성 표면파의 전반 방향과 수직으로 평행 이동한 형상을 갖도록 해도 된다. The crossing width weighting envelope in the second crossing region may have a shape in which the crossing width weighting envelope of the first crossing region is moved in parallel to the propagation direction of the surface acoustic wave.

상기 제1 또는 제2 측면에서,In the first or second aspect,

상기 제2 교차 영역에서의 교차 폭 웨이팅 포락선은, 상기 제1 교차 영역의 교차 폭 웨이팅 포락선을 상기 탄성 표면파의 전반 방향과 수직으로 평행 이동하고, 또한 전반 방향으로 평행 이동한 형상을 갖도록 해도 된다.The cross width weighting envelope in the second cross region may have a shape in which the cross width weighting envelope of the first cross region moves in parallel to the propagation direction of the surface acoustic wave and in parallel in the propagation direction.

상기 제1 측면에서,In the first aspect,

상기 제2 교차 영역에서의 교차 폭 웨이팅 포락선은, 상기 제1 교차 영역의 교차 폭 웨이팅 포락선을 상기 탄성 표면파의 전반 방향을 축으로 경면 대칭으로 한 형상을 갖도록 해도 된다.The crossing width weighting envelope in the second crossing region may have a shape in which the crossing width weighting envelope of the first crossing region is mirror-symmetric with respect to the propagation direction of the surface acoustic wave.

상기 제1 측면에서,In the first aspect,

상기 제2 교차 영역에서의 교차 폭 웨이팅 포락선은, 상기 제1 교차 영역의 교차 폭 웨이팅 포락선을 상기 탄성 표면파의 전반 방향을 축으로 경면 대칭으로 하고, 또한 전반 방향으로 평행 이동한 형상을 갖도록 해도 된다.The crossing width weighting envelope in the second crossing region may have a shape in which the crossing width weighting envelope of the first crossing region is mirror-symmetric with respect to the propagation direction of the surface acoustic wave and moved in parallel in the propagation direction. .

상기 제1 또는 제2 측면에서,In the first or second aspect,

상기 제1 교차 영역에서의 교차 폭 웨이팅 포락선과, 상기 제2 교차 영역의 교차 폭 웨이팅 포락선이 서로 다른 형상이도록 해도 된다.The cross width weighting envelope in the first cross region and the cross width weighting envelope in the second cross region may have different shapes.

상기 제1 또는 제2 측면에서,In the first or second aspect,

상기 제1 또는 제2 교차 영역 중 어느 하나의 교차 폭 웨이팅 포락선은, 상기 탄성 표면파의 전반 방향을 변수 x라고 할 때, 주기 함수 f(x)로 표현되는 형상을 이루도록 해도 된다.The crossing width weighting envelope of any one of the first or second crossing regions may have a shape expressed by a periodic function f (x) when the propagation direction of the surface acoustic wave is a variable x.

또한, 상기에서, 상기 제1 교차 영역과 제2 교차 영역 각각의 크기가, 상기 인터 디지털 트랜스듀서의 개구 길이의 50%로 되도록 설정해도 된다. Further, in the above, the size of each of the first crossing area and the second crossing area may be set to be 50% of the opening length of the interdigital transducer.

또한, 상기 공통 전극이 상기 제1 및 제2 교차 영역에서의 교차 폭 웨이팅 포락선에 대응하는 형상을 이루도록 해도 된다.The common electrode may have a shape corresponding to the cross width weighting envelope in the first and second crossing regions.

또한, 상기에서, 상기 제1 영역은, SAW의 여진에 기여하는 빗형 전극에서, 제1 공통 전극에 접속된 복수의 빗형 전극 중 전극 핑거단이 제2 공통 전극측에 가장 가까이 위치하는 빗형 전극의 전극 핑거단으로부터, 상기 한 쌍의 공통 전극의 제1 공통 전극에 접속된 복수의 빗형 전극 중 전극 핑거단이 상기 제1 공통 전극측에 가장 가까이 위치하는 빗형 전극의 전극 핑거단까지의 영역이고, 상기 제2 영역은, SAW의 여진에 기여하는 빗형 전극에서, 상기 한 쌍의 공통 전극의 제2 공통 전극에 접속된 복수의 빗형 전극 중 전극 핑거단이 제1 공통 전극측에 가장 가까이 위치하는 빗형 전극의 전극 핑거단으로부터, 상기 한 쌍의 공통 전극의 제2 공통 전극에 접속된 복수의 빗형 전극 중 전극 핑거단이 상기 제2 공통 전극측에 가장 가까이 위치하는 빗형 전극의 전극 핑거단까지의 영역이라고 정의할 수 있다. Further, in the above, the first region is a comb-shaped electrode that contributes to the excitation of the SAW, and among the comb-shaped electrodes connected to the first common electrode, the electrode finger end of the comb-shaped electrode is located closest to the second common electrode side. The electrode finger end of the plurality of comb-shaped electrodes connected to the first common electrode of the pair of common electrodes is an area from the electrode finger end to the electrode finger end of the comb-shaped electrode located closest to the first common electrode side, The second region is a comb-shaped electrode which contributes to the excitation of the SAW, wherein a comb-shaped electrode finger end of the plurality of comb-shaped electrodes connected to the second common electrode of the pair of common electrodes is located closest to the first common electrode side. From the electrode finger ends of the electrodes, the electrode finger ends of the plurality of comb-shaped electrodes connected to the second common electrode of the pair of common electrodes of the comb-shaped electrode located closest to the second common electrode side. It can be defined as the area of the pole until the fingers only.

즉, 상기 제1 영역은, SAW의 여진에 기여하는 빗형 전극에서, 제1 공통 전극에 접속된 복수의 빗형 전극 중 가장 짧은 전극 핑거의 전극 핑거단으로부터 가장 긴 전극 핑거의 전극 핑거단까지의 영역이고, 상기 제2 영역은, SAW의 여진에 기여하는 빗형 전극에서, 제2 공통 전극에 접속된 복수의 빗형 전극 중 가장 짧은 전극 핑거의 전극 핑거단으로부터 가장 긴 전극 핑거의 전극 핑거단까지의 영역이라고도 정의할 수 있다. That is, the first region is a region from the electrode finger end of the shortest electrode finger to the electrode finger end of the longest electrode finger among the plurality of comb-shaped electrodes connected to the first common electrode in the comb-shaped electrode contributing to the excitation of the SAW. The second region is a region from the electrode finger end of the shortest electrode finger to the electrode finger end of the longest electrode finger among the plurality of comb-shaped electrodes connected to the second common electrode in the comb-shaped electrode contributing to the excitation of the SAW. It can also be defined as.

본 발명의 특징은, 이하에 도면에 따라 설명되는 발명의 실시 형태 예로부터 더욱 명백해진다. The features of the present invention will become more apparent from the embodiments of the invention described below with reference to the drawings.

이하에 본 발명의 실시 형태 예를 도면에 따라 설명한다. 또한, 실시 형태 예는 본 발명의 설명을 위한 것으로서, 본 발명의 기술적 범위가 이것에 한정되는 것은 아니다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, embodiment of this invention is described according to drawing. In addition, embodiment is for description of this invention, Comprising: The technical scope of this invention is not limited to this.

도 3은, 본 발명의 일 실시예 구성을 도사하는 도면이다. 3 is a diagram illustrating a configuration of an embodiment of the present invention.

먼저 도 1, 도 2에서 도시한 바와 같이 한 쌍의 반사 전극(2a, 2b)과, 상기 반사 전극(2a, 2b) 사이에 인터 디지털 트랜스듀서(IDT)(1)가 배치된 탄성 표면파 장치로서, 반사 전극(2a, 2b) 및 IDT(1)는, LiTaPO₃, LiNbO₃, Li₂B₄O₇, 수정 등의 도시하지 않은 압전 기판 상에 형성되어 있다.First, as shown in FIGS. 1 and 2, a surface acoustic wave device in which a pair of reflective electrodes 2a and 2b and an interdigital transducer (IDT) 1 are disposed between the reflective electrodes 2a and 2b. The reflective electrodes 2a and 2b and the IDT 1 are formed on piezoelectric substrates not shown, such as LiTaPO ₃ , LiNbO ₃ , Li ₂ B ₄ O ₇ , and quartz.

그리고, 특징으로서, 상기 IDT(1)는, 각각 제1 및 제2 공통 전극(버스 바)(1a, 1b)에 접속된 복수의 빗형 전극이 교차하도록 배치되어 구성되고, 탄성 표면파의 전반 방향(도면의 화살표 방향)을 따라 복수의 빗형 전극의 교차가 웨이팅되어 있는 제1 교차 영역 A와 제2 교차 영역 B를 갖고 있다.As a feature, the IDT 1 is configured such that a plurality of comb-shaped electrodes connected to the first and second common electrodes (bus bars) 1a and 1b intersect, respectively, and is arranged in the propagation direction of the surface acoustic wave ( The cross | intersection of the some comb-shaped electrode has the 1st crossing area | region A and the 2nd crossing area | region B which are weighted along the arrow direction of a figure.

여기서, IDT(1)를 구성하는 복수의 빗형 전극 핑거는, 서로 반대의 공통 전극(버스 바)(1a, 1b)에 접속되고, 인접하여 중첩하는 부분을 갖는 전극 핑거가, 탄성 표면파 여진에 기여한다.Here, the plurality of comb-shaped electrode fingers constituting the IDT 1 are connected to mutually opposite common electrodes (bus bars) 1a and 1b, and electrode fingers having adjacently overlapping portions contribute to surface acoustic wave excitation. do.

상기 제1 교차 영역 A와 제2 교차 영역 B는, 이러한 탄성 표면파 여진에 기여하는 빗형 전극의 관계로부터 다음과 같이 정의할 수 있다.The first intersection region A and the second intersection region B can be defined as follows from the relationship of the comb-shaped electrodes that contribute to such surface acoustic wave excitation.

도 3에서, 제1 교차 영역 A는, 한 쌍의 공통 전극의 제1 공통 전극(버스 바)(1a)에 접속된 구동 전극 중, 전극 핑거단이 제2 공통 전극(1b)측에 가장 가까이 위치하는 빗형 전극(100)의 전극 핑거단으로부터, 상기 한 쌍의 공통 전극의 제1 공통 전극(1a)에 접속된 복수의 빗형 전극 중 전극 핑거단이 상기 제1 공통 전극(1a)측에 가장 가까이 위치하는 빗형 전극(101)의 전극 핑거단까지의 영역이다.In FIG. 3, in the first crossing region A, among the driving electrodes connected to the first common electrode (bus bar) 1a of the pair of common electrodes, the electrode finger ends are closest to the second common electrode 1b side. From the electrode finger ends of the comb-shaped electrodes 100 positioned, the electrode finger ends of the plurality of comb-shaped electrodes connected to the first common electrode 1a of the pair of common electrodes are most close to the first common electrode 1a side. It is an area up to the electrode fingertip of the comb-shaped electrode 101 located near.

한편, 상기 제2 교차 영역 B는, 상기 한 쌍의 공통 전극의 제2 공통 전극(1b)에 접속된 복수의 빗형 전극 중 전극 핑거단이 제1 공통 전극(1a)측에 가장 가 까이 위치하는 빗형 전극(111)의 전극 핑거단으로부터, 상기 한 쌍의 공통 전극의 제2 공통 전극(1b)에 접속된 복수의 빗형 전극 중 전극 핑거단이 상기 제2 공통 전극(1b)측에 가장 가까이 위치하는 빗형 전극(110)의 전극 핑거단까지의 영역이다.On the other hand, in the second crossing region B, the electrode finger ends of the plurality of comb-shaped electrodes connected to the second common electrode 1b of the pair of common electrodes are located closest to the first common electrode 1a side. From the electrode finger ends of the comb-shaped electrode 111, the electrode finger ends of the plurality of comb-shaped electrodes connected to the second common electrode 1b of the pair of common electrodes are positioned closest to the second common electrode 1b side. This is the area up to the electrode fingertip of the comb-shaped electrode 110.

그리고 교차 영역 A 및 B(이하 웨이팅 교차 영역 A 및 B라고 함)에서는 IDT(1)의 탄성 표면파(SAW) 전반과 수직 방향 외측을 향해 여진 강도가 서서히 약해지는 웨이팅이 실시되어 있다. In the intersecting regions A and B (hereinafter referred to as the weighting intersecting regions A and B), weighting is performed in which the excitation strength gradually decreases toward the outside of the surface acoustic wave SAW of the IDT 1 in the vertical direction.

그 때문에 교차 영역 A와 교차 영역 B를 합한 탄성 표면파의 여진 강도 분포는, 기본 가로 모드(10a)에 근사한 형(10)으로 된다. 이것에 의해 기본 가로 모드(10a)만이 발생하고, 고차 가로 모드는 억압된다.Therefore, the excitation intensity distribution of the surface acoustic wave in which the intersection region A and the intersection region B are added is the mold 10 approximating the basic transverse mode 10a. As a result, only the basic landscape mode 10a occurs, and the higher-order landscape mode is suppressed.

한편, 도 4에 도시한 바와 같이, 교차 영역 A 및 B에서의 웨이팅 변화는, 포락선 I, Ⅱ에 근사할 수 있다. 따라서, 제2 교차 영역 B에서의 교차 폭 웨이팅 포락선 Ⅱ는, 상기 제1 교차 영역 A에서의 교차 폭 웨이팅 포락선 I을 탄성 표면파의 전반 방향(도면에서 화살표 Ⅲ)과 수직 방향으로 평행 이동한 형상으로 되어 있다.On the other hand, as shown in FIG. 4, the weighting change in intersection area | region A and B can be approximated to envelope I and II. Therefore, the cross width weighting envelope II in the second cross region B is a shape in which the cross width weighting envelope I in the first cross region A is moved in a direction perpendicular to the propagation direction (arrow III in the figure) of the surface acoustic wave. It is.

이때, 전극 핑거의 교차 폭 즉, 중첩되는(교차하는) 부분의 크기(11a)는, 인접한 교차 폭에서는 요철로 되지만, 요철의 차는 일반적으로는 교차 영역 A의 교차 폭에 대하여 적은 양이며, 교차 폭의 전반 방향을 따른 분포(11)는 거의 사각형으로 유지된다.At this time, the crossing width of the electrode fingers, i.e., the size 11a of the overlapping (intersecting) portion, becomes an unevenness in the adjacent crossing width, but the difference of the unevenness is generally a small amount with respect to the crossing width of the crossing area A, and the crossing The distribution 11 along the first half of the width remains almost square.

이 결과, 화살표 방향 Ⅲ 즉, 탄성 표면파의 전반 방향에서의 여진 강도는 정규형 IDT에 근사한 사각형을 유지한다. As a result, the excitation intensity in the arrow direction III, that is, in the propagation direction of the surface acoustic wave, maintains a rectangle close to the normal IDT.

상기와 같이, 본 발명에 의해 고차 가로 모드에 의한 스퓨리어스를 억압하 고, 또한 정규형 전극과 마찬가지의 특성이 실현 가능해진다.As mentioned above, according to this invention, the spurious by a high order horizontal mode can be suppressed, and the characteristic similar to a normal electrode can be implement | achieved.

여기서, 공통 전극(버스 바)(1a, 1b)에, 탄성 표면파의 여진에 기여하지 않은 더미 전극(예를 들면, 도 3에서의 200, 201 등)을 설치하는 것이 일반적이지만, 교차 영역 A, B에서, 도 5, 도 6에 도시하는 실시예와 같이 더미 전극을 설치하지 않는 경우에도 마찬가지로 고차 가로 모드 억압에 대한 효과가 얻어진다.Here, in the common electrodes (bus bars) 1a and 1b, it is common to provide dummy electrodes (for example, 200, 201, etc. in FIG. 3) that do not contribute to the excitation of the surface acoustic wave, but the intersection region A, In B, similarly to the embodiments shown in Figs. 5 and 6, even when no dummy electrode is provided, the effect on higher-order transverse mode suppression can be obtained.

도 5는, 공통 전극(1a, 1b)에 더미 전극이 존재하지 않고, 공통 전극(1a, 1b) 자체가, 교차 영역 A, B에서의 빗형 전극(1c)의 교차량의 웨이팅에 대응하는 베타 패턴 형상을 갖도록 설정되어 있다.5 shows that the dummy electrodes do not exist in the common electrodes 1a and 1b, and the common electrodes 1a and 1b themselves correspond to the weighting of the crossing amount of the comb-shaped electrodes 1c in the intersecting regions A and B. FIG. It is set to have a pattern shape.

도 6은, 공통 전극(1a, 1b)에 더미 전극이 존재하지 않고, 공극(1d)을 갖도록 설정되어 있는 예이다.6 is an example in which dummy electrodes do not exist in the common electrodes 1a and 1b and are set to have voids 1d.

여기서, 웨이팅 교차 영역 A, B에서의 웨이팅의 변화 패턴에 대해 고찰한다. Here, the change pattern of the weighting in the weighting intersection area | regions A and B is considered.

도 7은 제2 교차 영역 B에서의 교차 폭 웨이팅 포락선(21)이, 제1 교차 영역 A에서의 교차 폭 웨이팅 포락선(20)을 탄성 표면파의 전반 방향을 축으로 경면 대칭으로 한 형상으로 되어 있고, 도 7b에 도시한 바와 같이, 전반 방향을 따른 교차 폭의 분포에 최소 피크와 최대 피크가 발생하는 예를 도시하고 있다.7 is a shape in which the cross width weighting envelope 21 in the second cross region B is mirror-symmetrical with the cross width weighting envelope 20 in the first cross region A as the axis of the propagation direction of the surface acoustic wave. 7B shows an example in which a minimum peak and a maximum peak occur in the distribution of the cross widths along the propagation direction.

본 발명에 따른 웨이팅의 변화 패턴은, 도 7a에 도시하는 바와 같은 경면 대칭에 한정되지 않는다. 도 8은, 제2 교차 영역 B에서의 교차 폭 웨이팅 포락선과, 제1 교차 영역 A에서의 교차 폭 웨이팅 포락선과의 관계를 설명하는 도면이다. 제2 교차 영역 B에서의 교차 폭 웨이팅 포락선(21)은, 상기 제1 교차 영역 A에서의 교차 폭 웨이팅 포락선(20)을, 화살표로 나타낸 바와 같이 탄성 표면파의 전반 방 향과 수직으로 평행 이동하고, 또한 전반 방향으로도 평행 이동한 형상이다. The variation pattern of the weight according to the present invention is not limited to mirror symmetry as shown in Fig. 7A. FIG. 8: is a figure explaining the relationship between the cross width weighting envelope in a 2nd crossing area | region B, and the cross width weighting envelope in a 1st crossing area | region A. FIG. The crossing width weighting envelope 21 in the second crossing area B moves the crossing width weighting envelope 20 in the first crossing area A in parallel with the propagation direction of the surface acoustic wave as indicated by the arrow. In addition, it is also the shape which moved parallel to the front direction.

이러한, 포락선 형상 패턴이라도, 도 7b에 도시하는 바와 마찬가지로 최소 피크와 최대 피크를 발생하게 된다.Even in such an envelope-like pattern, as shown in FIG. 7B, a minimum peak and a maximum peak are generated.

여기서, 상기 도 7은 편의상, 교차 폭 웨이팅 포락선(20, 21)의 반복 주기를 길게 그리고 있고, 이러한 경우에는 전반 방향을 따른 교차 폭의 분포에 요철이 발생하여, 도 3에서의 분포(11)와 같은 사각형과 근사하지 않지만, 교차 폭 웨이팅의 반복 주기가 짧아짐에 따라서, 전반 방향을 따른 교차 폭의 분포는 사각형에 근사하고, 정규형 IDT와 마찬가지의 특성이 실현 가능하다.Here, in FIG. 7, for convenience, the repetition period of the crossing width weighting envelopes 20 and 21 is long, and in this case, unevenness occurs in the distribution of the crossing widths along the propagation direction, so that the distribution 11 in FIG. Although not approximate to a square such as, as the repetition period of the cross width weighting becomes shorter, the distribution of the cross width along the propagation direction is approximated to the square, and the same characteristics as in the normal IDT can be realized.

여기서, 상기 실시예에서, 제1, 제2 교차 영역 A, B에서의 웨이팅의 변화 패턴으로서, 도 3에 도시하는 SIN 곡선에 따라 변화하는 예를 나타내었다. 그러나, 본 발명의 적용은, 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니다.Here, in the above embodiment, an example of changing according to the SIN curve shown in FIG. 3 is shown as a change pattern of weighting in the first and second crossing regions A and B. As shown in FIG. However, the application of the present invention is not limited to these examples.

즉, 도 9a, 9b, 9c에 본 발명의 실시예(그 1, 그 2, 그 3)로서 웨이팅 교차 영역 A, B에서의 다양한 웨이팅의 예를, 이들을 포락선 패턴으로서 나타낸다.That is, examples of various weightings in the weighting intersection regions A and B as the embodiments (1, 2, 3) of the present invention are shown in Figs. 9A, 9B, and 9C as envelope patterns.

도 9a에서, (a)는 교차 폭 웨이팅 포락선이 COS(또는 SIN)의 주기 함수 f(x)로서, 도 3에 도시한 실시예와 마찬가지이다. 제1 교차 폭 웨이팅 포락선을 탄성 표면파의 전반 방향과 수직 방향으로 평행 이동한 예이다.In FIG. 9A, (a) is a periodic function f (x) of the cross width weighting envelope of COS (or SIN), which is the same as the embodiment shown in FIG. The first crossing width weighting envelope is an example in which the first crossing width weighting envelope is moved in parallel with the propagation direction of the surface acoustic wave.

(b)는 교차 폭 웨이팅 포락선이, 삼각파의 주기 함수로 나타낸는 예이다. 또한, (c)는 1, 0 값이 교번하는 주기 함수이다. (d)는 IDT 전체가 아니고, 일부에 웨이팅이 형성되는 예이다. (e)는 서로 다른 함수의 조합의 예이다. 이러한 실시예 (b) 내지 (e)에서도, 제1 교차 폭 웨이팅 포락선과, 제2 교차 폭 웨이팅 포 락선의 관계는, 실시예 (a)와 마찬가지로, 제2 교차 폭 웨이팅 포락선이, 제1 교차 폭 웨이팅 포락선을 탄성 표면파의 전반 방향과 수직 방향으로 평행 이동한 형상인 것을 특징으로 하고 있다.(b) is an example where the cross width weighting envelope is expressed as a periodic function of a triangular wave. Also, (c) is a periodic function in which 1 and 0 values alternate. (d) is an example in which the weight is formed in part rather than the entire IDT. (e) is an example of a combination of different functions. Also in such embodiments (b) to (e), the relationship between the first crossing width weighting envelope and the second crossing width weighting envelope is similar to that of the embodiment (a), and the second crossing width weighting envelope is the first intersection. The width-weighting envelope has a shape in which the width-weighting envelope is moved in parallel with the front-end direction of the surface acoustic wave.

또한, 실시예 (a)∼(e)에 관하여, 도 8에 도시한 바와 같이, 제1 교차 폭 웨이팅 포락선을 탄성 표면파의 전반 방향과 수직 방향으로 평행 이동하고, 또한 탄성 표면파의 전반 방향으로 평행 이동한 형상 패턴으로 해도 된다.In addition, with respect to the embodiments (a) to (e), as shown in Fig. 8, the first crossing width weighting envelope is moved in parallel with the propagation direction of the surface acoustic wave and in the propagation direction of the surface acoustic wave. It is good also as a moved shape pattern.

또한, 도 9b에 도시하는 예에서는, 제1 교차 영역 A에서의 웨이팅의 변화 패턴에 대하여, 제2 교차 영역 B를 서로 다른 웨이팅의 변화 패턴으로 형성한 예이다. 이러한 예에서도 교차 폭의 분포가 거의 사각형을 이루기 때문에, 마찬가지의 본 발명의 효과가 얻어진다.In addition, in the example shown in FIG. 9B, with respect to the change pattern of the weight in the 1st crossing area | region A, it is an example in which the 2nd crossing area | region B was formed with the change pattern of different weighting. In this example as well, since the distribution of the crossing widths is almost square, the same effects of the present invention are obtained.

여기서 상기도 9a, 도 9b에 도시된 실시예에서는, 웨이팅의 변화 패턴에 변화점을 2개 이상 갖는 예이다.Here, in the embodiments shown in FIGS. 9A and 9B, the change patterns of weighting have two or more change points.

본 발명은, 이러한 조건에 한정되지 않는 것이다. 즉, 도 9c에 도시하는 예에서는, 웨이팅의 변화 패턴에 변화점을 하나만 갖는 예이다. 도 9c의 (a)에서, 제1 교차 영역 A에서의 웨이팅 포락선의 변화 패턴(20)은, 변화점을 하나만 갖고, 제2 교차 영역 B에서의 웨이팅 포락선의 변화 패턴(21)은, 변화 패턴(20)을 탄성 표면파의 전반 방향과 수직 방향으로 평행 이동한 형상 패턴이다.The present invention is not limited to these conditions. That is, in the example shown in FIG. 9C, it is an example which has only one change point in the change pattern of weighting. In FIG. 9C (a), the change pattern 20 of the weighting envelope in the first crossing area A has only one change point, and the change pattern 21 of the weighting envelope in the second crossing area B is the change pattern. It is a shape pattern which moved 20 parallel to the propagation direction of a surface acoustic wave and perpendicular | vertical direction.

또한, 도 9c의 (b)에서는, 제1 교차 영역 A에서의 웨이팅 포락선의 변화 패턴(20)은, 변화점을 하나만 갖고, 제2 교차 영역 B에서의 웨이팅 포락선의 변화 패턴(21)은, 변화 패턴(20)을 탄성 표면파의 전반 방향과 수직 방향으로 평행 이동하 고, 또한 탄성 표면파의 전반 방향으로 평행 이동한 형상 패턴이다.In addition, in FIG. 9C (b), the change pattern 20 of the weighting envelope in the 1st crossing area A has only one change point, and the change pattern 21 of the weighting envelope in the 2nd crossing area B, It is a shape pattern which moved the change pattern 20 in parallel with the propagation direction of a surface acoustic wave, and also moved in parallel with the propagation direction of a surface acoustic wave.

또한, 도 9c의 (c)에서는, 제1, 제2 교차 영역 A, B에서의 웨이팅 포락선의 변화 패턴(20, 21)은, 변화점을 하나만 갖고 있다. 그리고, 교차 폭 웨이팅 포락선이 서로 다른 패턴이다. 이러한, 도 9c에 도시하는 변화점을 하나만 갖고 있는 제1, 제2 교차 영역 A, B에서의 웨이팅 포락선의 변화 패턴(20, 21)이라도, 종래 구조와 같이 교차 폭 웨이팅 포락선이 탄성 표면파의 전반 방향을 축으로 경면 대칭으로 되어 있지 않기 때문에, 전반 방향을 따른 교차 폭의 분포가 거의 사각형인 효과를 얻는 것이 가능하다.In addition, in FIG. 9C (c), the change patterns 20 and 21 of the weighting envelope in the 1st, 2nd crossing area | region A, B have only one change point. The crossing width weighting envelopes are different patterns. Even in the change patterns 20 and 21 of the weighting envelopes in the first and second crossing regions A and B having only one change point shown in FIG. 9C, the cross width weighting envelope is the first half of the surface acoustic wave as in the conventional structure. Since the direction is not mirror-symmetrical about the axis, it is possible to obtain the effect that the distribution of the cross widths along the propagation direction is almost square.

다음에, 상기 각 실시예에서는, 웨이팅 교차 영역 A, B가 각각 인터 디지털 트랜스듀서(IDT)(1)의 개구 길이의 50%인 경우를 나타내고 있지만, 본 발명의 적용은 이러한 경우에 한정되지 않는다.Next, although each weighting area | region A and B show 50% of the opening length of the interdigital transducer (IDT) 1 in each said embodiment, application of this invention is not limited to this case. .

도 10에 도시하는 예에서는, 적어도 어느 한 쪽의 웨이팅 교차 영역 A 또는 B가, IDT(1)의 개구 길이의 50%보다 크게 된 경우이다. 웨이팅 교차 영역 A와 B의 오버랩하는 양이 증가함에 따라 손실은 악화되지만, 가로 모드 스퓨리어스의 억압이라는 관점면에서는 마찬가지의 효과가 얻어진다.In the example shown in FIG. 10, at least either weighting intersection area | region A or B is a case where it becomes larger than 50% of the opening length of IDT1. The loss worsens as the overlapping amounts of the weighting crossing areas A and B increase, but the same effect is obtained in terms of suppression of the horizontal mode spurious.

이러한, 웨이팅 중 어느 하나의 경우에도 본 발명의 요건을 갖는 것으로서, 본 발명의 효과가 얻어진다. In any of these weightings, the effects of the present invention are obtained as having the requirements of the present invention.

도 11a에 Li₂B₄O₇ 기판으로 시작한 3IDT형 공진기 필터의 특성을 도시한다. 도 11b는 도 11a의 대역 내의 확대도이다. 도면에서, 점선이 정규형 IDT에서의 특 성, 실선이 본 발명을 적용한 경우의 특성이다.11A shows the characteristics of a 3IDT type resonator filter starting with a Li ₂ B ₄ O ₇ substrate. FIG. 11B is an enlarged view in the band of FIG. 11A. FIG. In the figure, the dotted line is the characteristic in the normal form IDT, and the solid line is the characteristic when the present invention is applied.

웨이팅은 COS 함수를 이용하고 있고, 3IDT형 공진기 필터는 도 3에 도시되는 바와 같은 웨이팅이 이루어져 있다. 웨이팅에 의해 IDT의 임피던스가 변화하기 때문에, 정규형 IDT의 경우와 동등한 임피던스를 얻기 위해 매칭 회로에 의한 보정은 실시하고 있지만, 스퓨리어스를 억압할 수 있고, 또한 정규형 IDT인 경우와 동등한 대역 폭 및 대역외 감쇠 특성을 실현할 수 있다. The weighting uses a COS function, and the 3IDT type resonator filter is weighted as shown in FIG. 3. Since the impedance of the IDT changes due to the weighting, correction is performed by the matching circuit to obtain an impedance equivalent to that of the normal type IDT. Attenuation characteristic can be realized.

본 발명에 의해, 가로 모드 스퓨리어스를 억압하고, 또한 정규형 전극과 마찬가지의 특성이 실현된다. 이것에 의해, 설계 자유도가 높고, 우수한 특성의 SAW 공진기 및 SAW 공진기 필터의 설계가 가능하게 된다. According to the present invention, the horizontal mode spurious is suppressed and the same characteristics as those of the normal type electrode are realized. As a result, it is possible to design SAW resonator and SAW resonator filter with high design freedom and excellent characteristics.

Claims

A surface acoustic wave device having at least one inter digital transducer, comprising:

The inter digital transducer,

A plurality of comb-shaped electrodes connected to each of the pair of common electrodes are arranged to intersect,

In addition, the region where the plurality of comb-shaped electrodes intersect,

The crossing width is formed of two regions, the first crossing region and the second crossing region, which are weighted along the propagation direction of the surface acoustic wave,

The first crossing region may include a comb-shaped electrode having an electrode finger end positioned closest to a second common electrode side among a plurality of comb-shaped electrodes connected to the first common electrode of the pair of common electrodes, and the pair of comb-shaped electrodes. Among the plurality of comb-shaped electrodes connected to the second common electrode of the common electrode, an electrode finger end is an area having a width overlapping the comb-shaped electrode positioned closest to the second common electrode side,

The second intersecting region may include a comb-shaped electrode having an electrode finger end positioned closest to a first common electrode side among a plurality of comb-shaped electrodes connected to a second common electrode of the pair of common electrodes, and the pair of common electrodes. Among the plurality of comb-shaped electrodes connected to the first common electrode, an electrode finger end is an area having a width overlapping the comb-shaped electrode positioned closest to the first common electrode side,

The first crossing region and the second crossing region are in contact with or overlapping with the propagation direction of the surface acoustic wave;

The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the crossing width weighting envelope has at least two change points in the propagation direction of the surface acoustic wave.

The method of claim 1,

The surface acoustic wave device according to claim 2, wherein the crossing width weighting envelope in the second crossing region has a shape in which the crossing width weighting envelope of the first crossing region is moved in parallel to the propagation direction of the surface acoustic wave.

The method of claim 1,

The cross width weighting envelope in the second cross region has a shape in which the cross width weighting envelope of the first cross region moves in parallel to the first half direction of the surface acoustic wave and in parallel in the first half direction. Surface acoustic wave device.

The method of claim 1,

The surface acoustic wave device according to claim 2, wherein the crossing width weighting envelope in the second crossing region has a shape in which the cross width weighting envelope of the first crossing region is mirror-symmetric with respect to the propagation direction of the surface acoustic wave.

The method of claim 1,

The cross width weighting envelope in the second cross region has a shape in which the cross width weighting envelope of the first cross region is mirror-symmetrical with respect to the propagation direction of the surface acoustic wave and moved in parallel in the propagation direction. Surface acoustic wave device.

The method of claim 1,

The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the cross width weighting envelope of the first cross region and the cross width weighting envelope of the second cross region have different shapes.

The method of claim 1,

The surface width wave of any one of said 1st or 2nd cross | intersection area | region has the shape represented by the periodic function f (x), when the propagation direction of the surface acoustic wave is set to variable x. Device.

The inter digital transducer,

The crossing width is formed of two regions of the first crossing region and the second crossing region which are weighted along the propagation direction of the surface acoustic wave,

The first crossing region and the second crossing region are in contact with or overlapping with the propagation direction of the surface acoustic wave, or overlap with each other.

Each of the crossing width weighting envelopes in the first and second crossing regions has only one change point in the propagation direction of the surface acoustic wave, and

The change point of the crossing width weighting envelope in the first and second crossing regions is in a direction perpendicular to the propagation direction of the surface acoustic wave and exists in the same direction.

The method of claim 8,

The method according to any one of claims 1 to 11,

The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the size of each of the first crossing area and the second crossing area is set to 50% of the opening length of the interdigital transducer.

The method according to any one of claims 1 to 11,

And the common electrode has a shape corresponding to the crossing width weighting envelope in the first and second crossing regions.

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