KR100761707B1 - 다기능을 갖는 영상 확대 검사 시스템 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 다기능을 갖는 영상 확대 검사 시스템에 관한 것으로서, 본 발명의 구성은 몸체(1) 내에 빛의 신호를 전기적 신호로 보내는 시시디(CCD) 또는 시모스(C-MOS) 카메라 본체(2)와; 상기 카메라 본체(2)의 전방부에 구성되고 빛의 영상신호를 수신하는 카메라 센서(4)와; 상기 카메라 센서(4)의 전방부에 구성되고 시료의 영상을 받아들이는 렌즈 유니트(6)와; 상기 렌즈 유니트(6)의 외측으로 램프홀더(7)에 의해 설치 구성되고 빛을 발광하여 조명 빛을 조사하며 일반 굴곡 모드 기능을 갖는 제1 엘이디(LED) 램프(8)와; 상기 렌즈 유니트(6)의 외측으로 램프홀더(7)에 의해 설치 구성되고 빛을 발광하여 조명 빛을 조사하며 편광 모드(polarized light mode) 기능을 갖는 제2 엘이디(LED) 램프(9)와; 상기 제1 및 제2 엘이디(LED) 램프(8)(9)의 전방에 구성되고 빛을 수평으로 편광해주는 수평 편광 필터(Horizontal polarization filter)(10) 및 빛을 수직으로 편광해주는 수직 편광 필터(Vertical polarization filter)(11)와; 상기 수직 편광 필터(11)의 전방에 설치 구성되고 측면조명으로 빛 반사 없이 선명한 상태로 검사할 수 있는 무반사 모드 기능을 갖는 칩 엘이디 램프(12)와; 상기 칩 엘이디 램프(12)의 전방에 착탈 가능하게 결합 구성되고 상기 칩 엘이디 램프의 조사되는 조명 빛을 측광으로 변환하는 프리즘(13)과 시료의 빛 영상신호가 관통되는 관통공(14)을 갖는 캡(15)을 구성되고, 상기 렌즈 유니트(6)의 후방으로 카메라 센서(4)가 설치되는 센서 베이스(3)를 전후진 되게 설치 구성하여 상기 렌즈 유니트(6)와 카메라 센서(4) 간의 거리를 조절할 수 있도록 구성하여서 된 것이다.
위와 같은 본 발명은 시료를 검사함에 있어 시료의 표면을 검사하는 일반 모드와 시료의 내부를 검사하는 편광 모드(polarized light mode) 및 굴곡된 시료를 측광 조명에 의해 빛 반사 없이 선명한 상태로 검사할 수 있는 무반사 모드가 구현된 트리플 모드(triple mode)를 실현할 수 있고, 단일의 렌즈 유니트와 카메라 센서 만에 의해 연속배율을 조절할 수 있음은 물론 미세조정이 가능하고 조절이 용이하며 생산 원가가 절감되어 저가의 비용으로 공급할 수 있으며, 시료 상태의 조건에 따라 용이하고 적합하게 관찰하여 검사할 수 있는 등의 효과가 있다.
Description
도 1은 본 발명에 따른 "다기능을 갖는 영상 확대 검사 시스템"의 외형도이다.
도 2는 본 발명에 따른 "다기능을 갖는 영상 확대 검사 시스템"의 전체 구성 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 "다기능을 갖는 영상 확대 검사 시스템"의 요부 확대 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 도 3의 "다기능을 갖는 영상 확대 검사 시스템"의 요부 발췌 확대 단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 도 4의 저면에서 본 요부 발췌 개략도이다.
도 6은 본 발명에 따른 "다기능을 갖는 영상 확대 검사 시스템"에서 배율에 따라 사용되는 캡의 종류를 제시하여 도시한 도면이다.
도 7 내지 도 9는 본 발명에 따른 "다기능을 갖는 영상 확대 검사 시스템"에서 배율에 따라 캡의 종류를 결합한 단면도로서,
도 7은 관찰되는 시료가 1~20배의 배율로 볼 수 있는 예를 도시한 것이고, 도 8은 관찰되는 시료가 60배의 배율로 볼 수 있는 예를 도시한 것이며, 도 9는 관 찰되는 시료가 150배의 배율로 볼 수 있는 예를 도시한 것이다.
도 10 내지 도 13은 본 발명의 "영상확대 검사장치"를 시료 상태의 조건에 따라 사용하는 방법을 도시한 것으로서,
도 10은 시료에 자유롭게 접촉하여 관찰하는 접촉식 사용 방법을 도시한 것이고, 도 11은 고정 재물대(Stage)에 결합 사용하는 방법이며, 도 12는 플렉서블 튜브 타입의 재물대에 결합 사용하는 방법이고, 도 13은 플렉서블 튜브 타입의 재물대와 고정 재물대의 결합에 의해 사용하는 방법을 도시한 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명>
A: 영상 확대 검사 장치 1: 몸체
2: 카메라 본체 3: 센서 베이스
4: 카메라 센서 6: 렌즈 유니트
7: 램프홀더 8: 제1 엘이디 램프
9: 제2 엘이디 램프 10: 수평 편광 필터
11: 수직 편광 필터 12: 칩 엘이디 램프
13: 프리즘 14: 관통공
15: 캡 21: 센서홀더
22: 가이드용 핀 23: 나선형 홈
24: 조절노브 100: 고정 재물대
200: 플렉서블 튜브 타입의 재물대
본 발명은 다기능을 갖는 영상 확대 검사 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 검사하고자하는 피부나 미생물, 동식물의 세포 또는 혈액 등과 같은 빛을 투과시켜 검사하는 시료나 금속, 세라믹, 화석, 광석, 반도체 칩, 전자부품 등과 같은 빛이 투과되지 않는 시편을 검사하는 물체(이하, 통칭하여 "시료"라 한다)를 검사함에 있어서, 시료의 표면을 검사하는 일반 모드와 시료의 내부를 검사하는 편광 모드(polarized light mode) 및 굴곡된 시료를 측광 조명에 의해 빛 반사 없이 선명한 상태로 검사할 수 있는 무반사 모드로서 트리플 모드(triple mode)를 실현할 수 있고, 시료 검사시 고배율로의 확대 연속배율을 용이하게 할 수 있으며, 시료 상태의 조건에 따라 적합하게 검사할 수 있는 다기능을 갖는 영상 확대 검사 시스템에 관한 것이다.
종래에 시료를 검사하는 방법으로서 미생물이나 동식물의 세포 또는 혈액 등과 같은 시료에 빛을 투과시켜 관찰하는 방식 즉, 광원이 시료를 투과하여 관찰하는 투과형 방식과, 금속, 세라믹, 화석, 광석, 전자부품 등과 같이 빛이 투과되지 않는 시료에 빛을 조사하여 수광된 영상 정보에 의해 관찰하는 방식이 있다.
그런데 종래에는 시료가 유리나 유분, 수분이 있는 시료, 기타 빛 반사를 일으키는 시료나, 특히 굴곡이 있는 시료를 검사할 경우에는 빛 반사에 의해 시료의 전체적인 윤곽이 잘 드러나지 않아 선명하고 정확한 관찰을 할 수 없어 정밀한 검사에 한계가 있었다.
그리고 시료를 확대하여 검사하고자 할 경우 각각 별도의 배율에 따른 조명이 포함된 렌즈 유니트를 구비하여 사용하는 것이어서 미세조정이 곤란함은 물론 조절이 용이하지 못하고 고가의 비용이 소요되는 것이었다.
그리고 또한 시료의 상태 조건에 따라 검사가 불명확하거나 곤란한 경우가 있는 것이었다.
즉, 예컨대 인체의 피부조직을 떼어낼 수 없는 상황에서의 인체 피부나, 분해할 수 없는 상태에서의 조립된 전자부품, 또는 반도체 칩 등의 검사에 있어서는 시료의 검사가 곤란한 것이었다.
따라서, 본 발명은 상기에서와 같은 문제를 해결하기 위하여 발명된 것으로, 본 발명의 제1 목적은 시료를 검사함에 있어 시료의 표면을 검사하는 일반 모드와 시료의 내부를 검사하는 편광 모드(polarized light mode) 및 굴곡된 시료를 측광 조명에 의해 빛 반사 없이 선명한 상태로 검사할 수 있는 무반사 모드가 구현된 트리플 모드(triple mode)를 실현할 수 있는 다기능을 갖는 영상 확대 검사 시스템을 제공한다.
본 발명의 제2 목적은 시료 검사시 고배율로의 확대 연속배율을 용이하게 할 수 있고 미세조정을 할 수 있으며 저가의 비용으로 공급할 수 있는 다기능을 갖는 영상 확대 검사 시스템을 제공한다.
본 발명의 제3 목적은 시료 상태의 조건에 따라 용이하고 적합하게 검사할 수 있는 다기능을 갖는 영상 확대 검사 시스템을 제공한다.
상기 본 발명의 제1 목적을 달성하기 위한 수단으로서, 몸체 내에 빛의 신호를 전기적 신호로 보내는 시시디(CCD) 또는 시모스(C-MOS) 카메라 본체와, 상기 카메라 본체의 전방부에 구성되고 빛의 영상신호를 수신하는 카메라 센서와, 상기 카메라 센서의 전방부에 구성되고 피사체의 영상을 받아들이는 렌즈 유니트와, 상기 렌즈 유니트의 외측으로 램프홀더에 의해 설치 구성되고 빛을 발광하여 조명 빛을 조사하며 일반 굴곡 모드 기능을 갖는 제1 엘이디(LED) 램프와, 상기 렌즈 유니트의 외측으로 램프홀더에 의해 설치 구성되고 빛을 발광하여 조명 빛을 조사하며 편광 모드(polarized light mode) 기능을 갖는 제2 엘이디(LED) 램프와, 상기 제1 및 제2 엘이디(LED) 램프의 전방에 구성되고 빛을 수평으로 편광해주는 수평 편광 필터(Horizontal polarization filter) 및 빛을 수직으로 편광해주는 수직 편광 필터(Vertical polarization filter)와, 상기 수직 편광 필터의 전방에 설치 구성되고 측면조명으로 빛 반사 없이 선명한 상태로 검사할 수 있는 무반사 모드 기능을 갖는 칩 엘이디 램프와, 상기 칩 엘이디 램프의 전방에 착탈 가능하게 결합 구성되고 상기 칩 엘이디 램프의 조사되는 조명 빛을 측광으로 변환하는 프리즘과 피사체의 빛 영상신호가 관통되는 관통공을 갖는 캡으로 구성된 것이다.
상기 본 발명의 제2 목적을 달성하기 위한 수단으로서, 몸체 내에 빛의 신호를 전기적 신호로 보내는 시시디(CCD) 또는 시모스(C-MOS) 카메라 본체와, 상기 카메라 본체의 전방부에 구성되고 빛의 영상신호를 수신하는 카메라 센서와, 상기 카메라 센서의 전방부에 구성되고 피사체의 영상을 받아들이는 렌즈 유니트와, 상기 렌즈 유니트의 외측으로 램프홀더에 의해 설치 구성되고 빛을 발광하여 조명 빛을 조사하며 일반 굴곡 모드 기능을 갖는 제1 엘이디(LED) 램프와, 상기 렌즈 유니트의 외측으로 램프홀더에 의해 설치 구성되고 빛을 발광하여 조명 빛을 조사하며 편광 모드(polarized light mode) 기능을 갖는 제2 엘이디(LED) 램프와, 상기 제1 및 제2 엘이디(LED) 램프의 전방에 구성되고 빛을 수평으로 편광해주는 수평 편광 필터(Horizontal polarization filter) 및 빛을 수직으로 편광해주는 수직 편광 필터(Vertical polarization filter)와, 상기 수직 편광 필터의 전방에 설치 구성되고 측면조명으로 빛 반사 없이 선명한 상태로 검사할 수 있는 무반사 모드 기능을 갖는 칩 엘이디 램프와, 상기 칩 엘이디 램프의 전방에 착탈 가능하게 결합 구성되고 상기 칩 엘이디 램프의 조사되는 조명 빛을 측광으로 변환하는 프리즘과 피사체의 빛 영상신호가 관통되는 관통공을 갖는 캡으로 구성되고, 상기 몸체의 전방부 내측으로 빛을 차단하는 센서홀더를 설치하고, 상기 센서홀더의 내측에는 카메라 센서가 설치된 센서 베이스를 구성하며 상기 센서 베이스의 외측에는 가이드용 핀을 고정 설치하고 상기 가이드용 핀이 삽입 가이드되는 나선형 홈이 형성된 원통형의 조절노브를 상기 몸체의 전방 외측으로 삽입 설치하여 상기 센서 베이스가 전후진 되게 설치구성한 것이다.
상기 본 발명의 제3 목적을 달성하기 위한 수단으로서, 시료 상태의 조건에 따라 본 발명의 영상확대 검사장치를 시료에 자유롭게 접촉하여 관찰하는 접촉식 사용 방법과, 수직 및 미세조정 관찰이 가능한 고정 재물대(Stage)에 결합 사용하는 방법과, 측면관찰과 시료의 넓은 범위를 관찰하기 위한 플렉서블 튜브 타입의 재물대에 결합 사용하는 방법과, 측면관찰과 시료의 보다 넓은 범위를 관찰하기 위 한 플렉서블 튜브 타입의 재물대와 고정 재물대의 결합에 의한 사용하는 방법으로 이루어진 것이다.
이하, 바람직한 실시예로서 도시하여 첨부된 도면에 따라 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 1 내지 도 5에 따라 본 발명의 제1 실시예를 설명한다.
외통체로서 몸체(1) 내에 빛의 신호를 전기적 신호로 보내는 시시디(CCD) 또는 시모스(C-MOS) 카메라 본체(2)가 삽입 설치되고, 상기 카메라 본체(2)의 전방부에는 센서 베이스(3)에 의해 설치되고 빛의 영상신호를 수신하는 카메라 센서(4)가 구성되며, 상기 카메라 본체(2)와 카메라 센서(4) 간에는 영상 신호를 전달하는 케이블(5)이 연결된다.
상기 카메라 센서(4)의 전방부에 시료의 영상을 받아들이고 다수의 렌즈 군으로 이루어진 렌즈 유니트(6)를 설치 램프홀더(7)에 의해 설치 구성하고, 상기 렌즈 유니트(7)의 외측으로 램프홀더(7)에 의해 설치 구성되고 빛을 발광하여 조명 빛을 조사하며 일반 굴곡 모드 기능을 갖는 제1 엘이디(LED) 램프(8)를 다수 개로 구성한다.
상기 렌즈 유니트(6)의 외측으로 램프홀더(7)에 의해 설치 구성되고 빛을 발광하여 조명 빛을 조사하며 편광 모드(polarized light mode) 기능을 갖는 제2 엘이디(LED) 램프(9)를 다수 개로 구성한다.
상기 제1 및 제2 엘이디(LED) 램프(8)(9)의 전방에는 빛을 수평으로 편광해 주는 수평 편광 필터(Horizontal polarization filter)(10)와 빛을 수직으로 편광해주는 수직 편광 필터(Vertical polarization filter)(11)를 설치 구성한다.
상기 수직 편광 필터(11)의 전방에는 측면조명으로 빛 반사 없이 선명한 상태로 시료를 검사할 수 있는 무반사 모드 기능을 갖는 다수의 칩 엘이디 램프(12)를 설치 구성하고, 상기 칩 엘이디 램프(12)의 전방에 착탈 가능하게 결합 구성되고 상기 칩 엘이디 램프(12)의 조사되는 조명 빛을 측광으로 변환하는 프리즘(13)과 피사체(시료)의 빛 영상신호가 관통되는 관통공(14)을 갖는 캡(15)으로 구성된 것이다.
그리고 상기 몸체의 전방 외측으로 엘이디 전원버튼(16)과 영상정지 버튼(17) 및 엘이디 램프 모드 체인지 버튼(18)이 구성되고, 상기 카메라 본체(2)와 케이블(19)로 연결되며 컴퓨터 등에 연결되는 유에스비(USB) 커넥터(20)를 구성한다.
이상과 같이 구성된 본 발명은 도 4를 참조하여 설명하면 먼저 일반 굴곡 모드 기능에 의해 시료를 검사하고자 할 경우 캡(15)의 관통공(14)을 시료에 접근시킨 다음 제1 엘이디 램프(8)에 의해 빛을 조사한다.
조사된 빛은 전방부의 수평 편광 필터(10)와 수직 편광 필터(11)를 통과하고, 통과된 빛은 관통공(14)을 통하여 검사하고자 하는 시료의 특정 부위에 조사되고 시료로부터 반사되는 빛은 수직 편광 필터(11)와 수평 편광 필터(10)를 통과한다.
상기 수평 편광 필터(10)를 통과한 빛은 렌즈 유니트(6)에 입사되고 입사된 빛은 카메라 센서(4)를 통해 시시디(CCD) 또는 시모스(C-MOS) 카메라로 된 카메라 본체(2)에 영상으로 인입되고 이는 상기 카메라 본체(2)에 의해 전기적인 신호로 변환하여 아날로그 모니터(미도시 처리하였음)로 전송하여 모니터를 통해 시료의 표면상태를 진단한다.
한편, 편광 모드 기능에 의해 시료를 검사하고자 할 경우 캡(15)의 관통공(14)을 시료에 접근시킨 다음 제2 엘이디 램프(9)에 의해 빛을 조사한다.
조사된 빛은 전방부의 수평 편광 필터(10)와 수직 편광 필터(11)의 면을 통과한다.
통과된 빛은 진단하고자 하는 시료의 특정 부위에 조사되고 조사된 빛은 시료의 외피 뿐만 아니라 내피까지 투과된다.
이 경우 시료의 외피와 내피로부터 반사되는 빛은 수직 편광 필터(11)를 통과하고 통과된 빛은 수평 편광 필터(10)를 통과하되, 이때 시료의 외피로부터 반사된 빛은 수평 편광 필터(10)에 의해 차단되고 시료의 내피에서 반사된 빛만 통과되어 시료의 내부 속을 검사할 수 있는 것이다.
상기 제1 및 제2 엘이디 램프(8)(9)와 수평 및 수직 편광 필터(10)(11)의 작용에 의해 시료의 표면 및 내부 속까지 촬상하여 검사할 수 있는 보다 구체적인 작용 설명은 본 출원인(발명자)이 등록권자로서 대한민국 특허청에 실용신안으로 등록한 실용신안등록 제291667호(명칭; 편광 피부 진단 장치)에 상세히 제시되어 있다.
한편, 상기 제1 및 제2 엘이디 램프(8)(9)에 의해서만 시료에 빛을 조사하여 검사할 경우 시료가 유리나 유분, 수분이 있는 시료, 기타 빛 반사를 일으키는 시료나, 특히 굴곡이 있는 시료를 검사할 경우에는 빛 반사에 의해 시료의 전체적인 윤곽이 잘 드러나지 않아 선명하고 정확한 관찰을 할 수 없어 정밀한 검사에 한계가 있는 것이다.
본 발명은 이를 해소한 것으로 빛 반사를 일으키는 시료에 캡(15)의 관통공(14)을 접근시킨 다음 제1 및/또는 제2 엘이디 램프(8)(9)에 의해 빛을 조사함과 동시에 칩 엘이디 램프(12)에 의해 빛을 발광하여 조사한다.
이때 조사된 빛은 프리즘(13)에 의해 측면으로 변환하여 조사되고 시료에 조사되는 측광에 의해 시료의 전체적인 윤곽이 잘 드러나 선명하고 정확한 관찰을 할 수 있어 정밀한 검사를 할 수 있는 것이다.
따라서, 본 발명의 제1 실시예는 시료를 검사함에 있어 시료의 표면을 검사하는 일반 모드와 시료의 내부를 검사하는 편광 모드(polarized light mode) 및 굴곡된 시료를 측광 조명에 의해 빛 반사 없이 선명한 상태로 검사할 수 있는 무반사 모드가 구현된 트리플 모드(triple mode)를 실현할 수 있는 것이다.
다음 본 발명의 제2 실시예로서 도 1 내지 도 5를 원용하여 도 6 내지 도 9에 따라 설명한다.
상기 제1 실시예의 구성에서 상기 몸체(1)의 전방부 내측으로 빛을 차단하는 센서홀더(21)를 설치하고, 상기 센서홀더(21)의 내측에는 카메라 센서(4)가 설치된 센서 베이스(3)를 구성하며, 상기 센서 베이스(3)의 외측에는 가이드용 핀(22)을 고정 설치하고, 상기 가이드용 핀(22)이 삽입 가이드되는 나선형 홈(23)이 형성된 원통형의 조절노브(24)를 상기 몸체(1)의 전방 외측으로 삽입 설치하여 상기 센서 베이스(3)가 전후진 되게 설치구성한 것이다.
그리고, 상기 몸체(1)의 전방 선단부에 착탈 가능하게 결합 설치되는 캡(15)은 도 6에서와 같이 상기 렌즈 유니트(6)와 카메라 센서(4)의 거리 조절에 따라 시료를 확대하여 볼 경우 배율에 적합한 캡(15)을 선택하여 사용할 수 있으며, 예를 들어 1~20배용의 캡(K1)과, 60배용 캡(K2) 및 150배용 캡(K3)이 제시되어 있다.
이상과 같이 구성된 본 발명의 제2 실시예는 조절노브(24)를 회전시키면 가이드용 핀(22)은 나선형 홈(23)을 따라 횡 방향으로 이동되고 이 경우 카메라 센서(4)가 설치된 센서 베이스(3)가 횡 방향으로 이동되어 상기 카메라 센서(4) 전방에 설치된 렌즈 유니트(6) 간에 거리가 조절된다.
즉, 상기 센서 베이스(3)에 설치된 카메라 센서(4)는 전후진 되어 렌즈 유니트(6) 간에 거리가 조절된다.
도 7에서와 같이 상기 렌즈 유니트(6)에 카메라 센서(4)가 가까워지면 시료의 관찰 범위가 넓어지나 배율이 작아져 축소되어 보이고, 도 8 및 도 9에서와 같이 상기 렌즈 유니트(6)로부터 카메라 센서(4)가 멀어지면 시료의 관찰 범위가 좁아지나 배율이 커져 확대되어 보인다.
상기, 도 7은 관찰되는 시료가 1~20배의 배율로 볼 수 있는 예를 도시한 것이고, 상기 도 8은 관찰되는 시료가 60배의 배율로 볼 수 있는 예를 도시한 것이며, 도 9는 관찰되는 시료가 150배의 배율로 볼 수 있는 예를 도시한 것이다.
상기 도 7 내지 도 9에서와 같이 고배율로 조절될수록 캡(15)의 관통공(14) 직경이 작아지며 이는 관통공(14)의 직경이 작아질수록 집중조명을 주어 고배율로 확대되는 시료를 선명하게 볼 수 있고 또 시료와의 촛점거리를 맞출 수 있게 된다.
따라서, 단일의 렌즈 유니트(6)와 카메라 센서(6) 만에 의해 연속배율을 조절할 수 있음은 물론 미세조정이 가능하고 조절이 용이하며 생산 원가가 절감되어 저가의 비용으로 공급할 수 있다.
다음, 본 발명의 제3 실시예로서 도 10 내지 도 13에 따라 설명하면 다음과 같다.
시료 상태의 조건에 따라 본 발명의 "영상확대 검사장치"를 사용하는 방법으로서, 도 10에서와 같이 시료에 자유롭게 접촉하여 관찰하는 접촉식 사용 방법이 제시된다.
이와 같은 방법은 관찰하고자 하는 물체로부터 시료를 채취할 수 없는 경우에 별도의 시료를 채취함이 없이 관찰하고자 하는 시료로부터 확대된 정보를 용이하게 관찰 또는 얻을 수 있는 것이다.
예컨대, 인체의 피부조직을 떼어낼 수 없는 상황에서의 인체 피부나, 분해할 수 없는 상태에서의 조립된 전자부품, 또는 반도체 칩 등의 검사를 용이하게 할 수 있다.
그리고, 도 11에서와 같이 수직 및 미세조정 관찰이 가능한 고정 재물대(Stage)(100)에 결합 사용하는 방법이 있다.
즉, 상기 고정 재물대(100)는 베이스(101)의 일측부에 포스트 바(102)를 수직으로 세워 설치하고 상기 포스트 바(102)에는 본 발명의 영상확대 검사장치(A)를 결합하여 상하로 조절하는 홀더(103)를 결합 구성하며 상기 홀더(103)에는 홀더(103)의 높이를 미세 조정하는 조동나사(104)와 미동나사(105)가 구성되어 미세한 높이로 조절을 할 수 있다.
위와 같은 고정 재물대(100)는 베이스(101) 위에 시료를 올려놓고 홀더(103)를 높이 조절하여 영상확대 검사장치(A)에 의해 시료를 고배율로 미세조정 관찰을 할 수 있는 것이다.
도 12는 측면관찰과 시료의 넓은 범위를 관찰하기 위한 플렉서블 튜브 타입의 재물대(200)에 결합 사용하는 방법으로서 지지베이스(201) 위에 플렉서블 튜브(202)를 설치하고 상기 플렉서블 튜브(202)에는 상기 본 발명의 영상확대 검사장치(A)를 결합하는 홀더(203)가 연결 구성된다.
위와 같은 플렉서블 튜브 타입의 재물대(200)는 상기 플렉서블 튜브(202)가 여러 방향으로 자유로이 구부릴 수 있기 때문에 시료를 여러 방향에서 관찰할 수 있으며 특히 움직일 수 없는 시료일 경우 측면관찰을 용이하게 할 수 있으며 시료의 넓은 범위로 관찰할 수 있고, 흔들림이 없이 안정적으로 시료를 관찰할 수 있다.
도 13은 측면관찰과 시료의 보다 넓은 범위를 관찰하기 위한 플렉서블 튜브 타입의 재물대(200)와 고정 재물대(100)의 결합에 의해 사용하는 방법으로, 상기 도 11의 고정 재물대(100)의 홀더(103)에 도 12의 플렉서블 튜브(202)를 결합하여 본 발명의 영상확대 검사장치(A)를 홀더(203)에 결합하여 시료를 관찰할 수 있다.
즉, 도 13에 의한 사용방법은 도 10 내지 도 12에 비해 보다 넓은 범위로 시 료를 관찰할 수 있고 상기 플렉서블 튜브(200)에 의해 여러 방향으로 자유로이 구부릴 수 있어 여러 방향에서 관찰할 수 있으며 또한 움직일 수 없는 시료일 경우 측면관찰을 용이하게 할 수 있음은 물론 시료의 넓은 범위로 흔들림이 없이 안정적으로 관찰할 수 있다.
이상과 같은 본 발명은 다음과 같은 효과를 얻을 수 있는 것이다.
첫째, 시료를 검사함에 있어 시료의 표면을 검사하는 일반 모드와 시료의 내부를 검사하는 편광 모드(polarized light mode) 및 굴곡된 시료를 측광 조명에 의해 빛 반사 없이 선명한 상태로 검사할 수 있는 무반사 모드가 구현된 트리플 모드(triple mode)를 실현할 수 있다.
둘째, 단일의 렌즈 유니트(6)와 카메라 센서(4) 만에 의해 연속배율을 조절할 수 있음은 물론 미세조정이 가능하고 조절이 용이하며 생산 원가가 절감되어 저가의 비용으로 공급할 수 있다.
셋째, 시료 상태의 조건에 따라 용이하고 적합하게 관찰하여 검사할 수 있는 등의 효과가 있다.
Claims (6)
- 몸체(1) 내에 빛의 신호를 전기적 신호로 보내는 시시디(CCD) 또는 시모스(C-MOS) 카메라 본체(2)와;상기 카메라 본체(2)의 전방부에 구성되고 빛의 영상신호를 수신하는 카메라 센서(4)와;상기 카메라 센서(4)의 전방부에 구성되고 시료의 영상을 받아들이는 렌즈 유니트(6)와;상기 렌즈 유니트(6)의 외측으로 램프홀더(7)에 의해 설치 구성되고 빛을 발광하여 조명 빛을 조사하며 일반 굴곡 모드 기능을 갖는 제1 엘이디(LED) 램프(8)와;상기 렌즈 유니트(6)의 외측으로 램프홀더(7)에 의해 설치 구성되고 빛을 발광하여 조명 빛을 조사하며 편광 모드(polarized light mode) 기능을 갖는 제2 엘이디(LED) 램프(9)와;상기 제1 및 제2 엘이디(LED) 램프(8)(9)의 전방에 구성되고 빛을 수평으로 편광해주는 수평 편광 필터(Horizontal polarization filter)(10) 및 빛을 수직으로 편광해주는 수직 편광 필터(Vertical polarization filter)(11)와;상기 수직 편광 필터(11)의 전방에 설치 구성되고 측면조명으로 빛 반사 없이 선명한 상태로 검사할 수 있는 무반사 모드 기능을 갖는 칩 엘이디 램프(12)와;상기 칩 엘이디 램프(12)의 전방에 착탈 가능하게 결합 구성되고 상기 칩 엘이디 램프(12)의 조사되는 조명 빛을 측광으로 변환하는 프리즘(13)과 시료의 빛 영상신호가 관통되는 관통공(14)을 갖는 캡(15)을 구성하여서 된 것을 특징으로 하는 다기능을 갖는 영상 확대 검사 시스템.
- 몸체(1) 내에 빛의 신호를 전기적 신호로 보내는 시시디(CCD) 또는 시모스(C-MOS) 카메라 본체(2)와;상기 카메라 본체(2)의 전방부에 구성되고 빛의 영상신호를 수신하는 카메라 센서(4)와;상기 카메라 센서(4)의 전방부에 구성되고 시료의 영상을 받아들이는 렌즈 유니트(6)와;상기 렌즈 유니트(6)의 외측으로 램프홀더(7)에 의해 설치 구성되고 빛을 발광하여 조명 빛을 조사하며 일반 굴곡 모드 기능을 갖는 제1 엘이디(LED) 램프(8)와;상기 렌즈 유니트(6)의 외측으로 램프홀더(7)에 의해 설치 구성되고 빛을 발광하여 조명 빛을 조사하며 편광 모드(polarized light mode) 기능을 갖는 제2 엘이디(LED) 램프(9)와;상기 제1 및 제2 엘이디(LED) 램프(8)(9)의 전방에 구성되고 빛을 수평으로 편광해주는 수평 편광 필터(Horizontal polarization filter)(10) 및 빛을 수직으로 편광해주는 수직 편광 필터(Vertical polarization filter)(11)와;상기 수직 편광 필터(11)의 전방에 설치 구성되고 측면조명으로 빛 반사 없이 선명한 상태로 검사할 수 있는 무반사 모드 기능을 갖는 칩 엘이디 램프(12)와;상기 칩 엘이디 램프(12)의 전방에 착탈 가능하게 결합 구성되고 상기 칩 엘이디 램프(12)의 조사되는 조명 빛을 측광으로 변환하는 프리즘(13)과 시료의 빛 영상신호가 관통되는 관통공(14)을 갖는 캡(15)을 구성되고,상기 렌즈 유니트(6)의 후방으로 카메라 센서(4)가 설치되는 센서 베이스(3)를 전후진 되게 설치 구성하여 상기 렌즈 유니트(6)와 카메라 센서(4) 간의 거리를 조절할 수 있도록 구성하여서 된 것을 특징으로 하는 다기능을 갖는 영상 확대 검사 시스템.
- 제2항에 있어서, 상기 몸체(1)의 전방부 내측으로 빛을 차단하는 센서홀더(21)를 설치하고, 센서 베이스(3)의 외측에는 가이드용 핀(22)을 고정 설치하며 상기 가이드용 핀(22)이 삽입 가이드되는 나선형 홈(23)이 형성된 원통형의 조절노브(24)를 상기 몸체(1)의 전방 외측으로 삽입 설치하여 상기 센서 베이스(3)가 전후진 되게 설치 구성된 것을 특징으로 하는 다기능을 갖는 영상 확대 검사 시스템.
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR100910015B1 (ko) * | 2007-10-01 | 2009-07-30 | 곽영우 | 배율조절 카메라 |
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2007
- 2007-03-12 KR KR1020070023934A patent/KR100761707B1/ko active IP Right Grant
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