KR100757427B1 - 카본 나노 튜브가 분산된 유기 금속 화합물 잉크 - Google Patents

Abstract

본 발명은 카본 나노 튜브(CNT)를 전자 방출원으로 하는 소자 제조 시 별도의 캐소드 전극 형성 공정없이 캐소드 전극과 CNT 전자 방출원을 동시에 형성할 수 있는 카본 나노 튜브가 분산된 유기 금속 화합물 잉크에 관한 것으로, 유기 금속 화합물과; 카본 나노 튜브와; 상기 카본 나노 튜브를 분산시키는 비히클(vehicle) 혹은 분산제(dispersants)와; 상기 성분들을 용해하기 위한 용매가 기 설정된 비율로 혼합됨으로써, 전계 방출 소자 제조 시 전계 방출 소자의 제작 공정 회수를 줄이고, 패터닝이 요구되지 않는 대면적 CNT 램프 제작에 용이하며 제조 비용을 줄일 수 있으며 잉크를 구성하는 유기 금속 화합물 및 CNT의 함량을 조절하여 전자 방출 소자 제조 시 캐소드 전극용 금속 도전막의 두께 및 저항 그리고 전자 방출원인 CNT의 형성 밀도를 조절함으로써, 전자 방출 효율을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

카본 나노 튜브가 분산된 유기 금속 화합물 잉크{CARBON NANO TUBE DISPERSED ORGANIC METAL COMPLEX INK}

도1은 본 발명 카본 나노 튜브가 분산된 유기 금속 화합물 잉크에 대한 성분 및 조성에 대한 일 실시예 도.

도2는 본 발명을 적용한 소자 제조 과정을 보인 일 실시예 순서도.

도3a 내지 도3d는 본 발명을 적용한 카본 나노 튜브 면발광 램프에 대한 제조 과정을 도시한 수순 단면도.

도4는 본 발명에 따른 Pd 유기 금속 화합물의 함량과 소자전극 두께의 상관 관계도.

본 발명은 카본 나노 튜브가 분산된 유기 금속 화합물 잉크에 관한 것으로, 특히 카본 나노 튜브(CNT)를 전자 방출원으로 하는 소자 제조 시 별도의 캐소드 전극 형성 공정없이 캐소드 전극과 CNT 전자 방출원을 동시에 형성할 수 있는 카본 나노 튜브가 분산된 유기 금속 화합물 잉크에 관한 것이다.

최근 위성 및 디지털 방송이 본격적으로 추진되면서 고해상도를 갖는 대형 화면 디스플레이에 대한 수요와 관심이 증가함으로서 평판 디스플레이에 대한 기대와 역할이 매우 중요시되고 있고, 아울러 고해상도를 가지면서 고휘도, 고선명한 화상정보에 대한 요구가 더욱 강해지고 있으며 이에 부합되는 대화면의 액정디스플레이(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 등에 대한 연구와 투자가 활발하게 이루어지고 있다.

그리고, 가장 널리 보급된 음극선관 티브이(CRT)의 경우 대면적화를 구현하기 위해서는 많은 어려움이 있기 때문에 최근에는 이를 평판화한 전계 방출 디스플레이(FED)에 대한 기대가 높아지고 있고, 이에 대한 기술 개발이 이루어지고 있다.

일반적으로 전계 방출 디스플레이는 가열된 필라멘트에서 전자가 방출되는 열전자 방출소자와 전계로 인해 페르미(Fermi) 준위 부근의 전자가 터널링 현상으로 방출되는 냉음극 전자 방출소자의 2가지 유형으로 구분된다. 특히 냉음극 전자 방출 디스플레이를 구현하기 위한 다양한 기술적인 방법 중 가장 주목받고 있는 기술이 바로 카본 나노 튜브(CNT)를 전자 방출원으로 하는 방식과 캐논/도시바에서 최근 발표한 표면전도형 전계방출소자(surface conduction electron emission device)를 들 수 있다. 그 외 메탈 팁을 이용한 스핀트 타입(spindt type), MIM 타입, BSD(Ballistic surface emitter display) 등의 개발이 진행되고 있고 기술적인 진화가 거듭되고 있다.

상기 기술 중에서 CNT를 전자 방출원으로 적용한 광소자는 크기, 구조, 안정성 면에서 기존의 전자 방출원보다 뛰어나기 때문에 전계방출에서부터 면광원에 이르기까지 다양한 분야에서 그 가치를 인정받고 있다.

이와 같은 CNT는 작은 직경(약 1.0∼수십[nm])을 갖기 때문에 종래의 마이크로팁형(spindt형) 전계 방출 팁에 비해 전계 강화 효과(field enhancement factor)가 상당히 우수하여 전자방출이 낮은 임계 전계(turn-on field, 약 1∼5[V/㎛])에서 이루어질 수 있게 되므로, 전력손실 및 생산단가를 줄일 수 있는 장점이 있다.

이런 CNT 전계 방출 소자의 CNT를 형성하는 방법에는 여러 가지가 있는데 이에 대해 설명하면 다음과 같다.

먼저, CNT 페이스트를 이용하여 셀을 구현하는 방식이 있는데, 이 방식에 따라 사이드 게이트 타입과 노멀 게이트 타입으로 나눌 수 있다. 상기 사이드 게이트 타입은 제조공정이 간단하고 CNT가 표면에 노출되어 있기 때문에 비교적 쉽게 후처리 공정을 진행할 수 있는 장점이 있으나 전자빔의 퍼짐 현상으로 인한 크로스토크(crosstalk)가 발생하기 쉬워 별도의 그리드를 형성해야 하고, 사이드 영역으로 전자빔이 방출되므로 빔을 조절하기 어려운 단점이 있다.

반면, 노멀 게이트 타입은 빔의 집속을 위하여 일정사이즈의 홀을 형성한 후 그 내부에 CNT 페이스트를 충진하여 CNT 전자 방출원을 제조하고, 그 위에 포커싱 전극 혹은 그리드를 형성하여 픽셀간 크로스토크를 방지하는 복잡한 공정을 통해 제조되나 소자의 안정적인 측면에 있어서 사이드 게이트 타입에 비해 장점이 있다.

그리고, 화상표시장치로 활용하기 위해서는 휘도의 균일성을 확보해야 하는 어려움이 있기 때문에 다양한 후처리 공정을 통해 기술개발이 진행되고 있는 실정이다. 즉, 상기 CNT 페이스트를 이용한 기술이 대면적의 패널을 제작하는데 있어서 저가공정을 활용할 수 있는 장점이 있으나 인위적으로 CNT 밀도 및 균일성을 조절 하기 쉽지 않고 CNT가 페이스트에 묻혀있기 때문에 이를 활성화하기 위한 후처리 공정이 매우 중요한 변수로 작용한다.

CNT를 형성하는 또 다른 방법으로는 화학 기상 증착법(CVD)을 이용하여 형성할 수 있는데, 이는 CVD를 이용하여 홀 내부에 선택적으로 CNT를 직접 성장시켜 전자 방출원으로 활용한다.

상기 페이스트를 이용한 CNT 형성 방법은 대부분 유리 프릿(glass frit), 감광성 비히클(vehicle), 도전성 부재 및 CNT를 함유하는 페이스트를 제조하여 스크린 프린팅법으로 패턴 인쇄를 직접하거나 전면에 인쇄한 후 노광을 통해 패턴을 형성하는 방법을 취하고 있다.

하지만, 페이스트를 이용한 CNT 형성 방법은 감광성 비히클이 열처리를 통해 완전하게 번아웃되지 않고, 유리 프릿의 양에 따라 발광효율에 영향을 미치며, 후처리 공정을 통해서 일정하게 CNT를 수직방향으로 배열하는데 한계가 있었다. 또한 홀크기가 적은 경우 고점도의 CNT 페이스트가 제대로 충진되지 않은 단점이 있고, 대부분의 CNT 페이스트가 현상과정에서 버려지기 때문에 원가에도 부담이 되는 단점이 있었다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 문제점을 해결하기 위하여 창출한 것으로, 유기 금속 화합물이 용매에 용해된 용액과 CNT와 CNT 분산 및 점도조절을 위한 비히클 혹은 분산제를 적정 용량 혼합한 다음 분산기를 이용하여 분산시켜 잉크를 제조하고, 그 제조된 잉크를 이용하여 CNT를 전자 방출원으로 사용하는 소자 제조 시 캐소드 전극용 금속 도전막과 CNT 전자 방출원을 동시에 형성함으로써, 전계 방출 소자의 제작 공정 회수를 줄이고, 패터닝이 요구되지 않는 대면적 CNT 램프 제작에 용이하며 제조 비용을 줄일 수 있는 카본 나노 튜브가 분산된 유기 금속 화합물 잉크를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 잉크를 구성하는 유기 금속 화합물 및 CNT의 함량을 조절하여 전자 방출 소자 제조 시 캐소드 전극용 금속 도전막의 두께 및 저항 그리고 전자 방출원인 CNT의 형성 밀도를 조절함으로써, 전자 방출 효율을 증가시킬 수 있는 카본 나노 튜브가 분산된 유기 금속 화합물 잉크를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 유기 금속 화합물과; 카본 나노 튜브와; 상기 카본 나노 튜브를 분산시키는 비히클(vehicle) 혹은 분산제(dispersants)와; 상기 성분들을 용해하기 위한 용매가 기 설정된 비율로 혼합된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 각 성분들의 비율은 용매를 기준으로 유기 금속 화합물 10~40중량퍼센트(wt.%), 카본 나노 튜브 5~20중량퍼센트(wt.%), 비히클 10~30중량퍼센트(wt.%), 분산제 2~10중량퍼센트(wt.%)인 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 대한 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참고하여 설명한다.

우선 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단된 경우 그 상세한 설명은 생략한다.

또한, 하기의 설명에서 구체적인 처리흐름과 같은 많은 특정 상세들은 본 발명의 보다 전반적인 이해를 제공하기 위해 나타나 있으나 여기에 국한되는 것은 아니며, 이들 특정 상세들 없이 본 발명이 실시될 수 있다는 것은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.

본 발명은 CNT를 전자 방출원으로 사용하는 소자 제조 시 별도의 캐소드 전극 형성 공정없이 소자를 제조하여 소자 제조 공정 회수 및 제조 비용을 줄이고, 잉크를 구성하는 CNT 및 유기 금속 화합물의 함량을 조절하여 금속 도전막의 두께 및 저항 그리고 CNT 밀도를 조절하고, 전자 방출 효율을 증가시킬 수 있는 캐소드 전극용 금속 도전막과 CNT 전자 방출원을 동시에 형성할 수 있는 CNT가 분산된 유기 금속 화합물 잉크를 제조하는 것을 그 요지로 한다.

상기 CNT가 분산된 유기 금속 화합물 잉크는 유기 금속 화합물과 SW(single wall) 혹은 DW(double wall) 혹은 MW(multi wall) 타입의 카본 나노 튜브(CNT)와 상기 CNT를 분산시키고, 점도를 조절하기 위한 비히클(vehicle) 혹은 분산제(dispersants)를 용매에 용해시켜 액상으로 만들고, 그 액상을 고속 분산기 혹은 균질화기(homogenizer) 등의 분산기를 이용하여 CNT가 분산된 유기 금속 화합물 잉크를 제조할 수 있다.

여기서, 상기 잉크를 구성하는 각 성분의 비율은 용매를 기준으로 비율을 설정한 경우 유기 금속 화합물은 10~40[wt.%](중량퍼센트), CNT는 5~20[wt.%], 비히클은 10~30[wt.%], 분산제는 2~10[wt.%]로 설정되지만 CNT는 5~10[wt.%], 비히클은 10~20[wt.%]인 것이 바람직하다. 여기서, 상기 유기 금속 화합물은 다양한 유기 금 속 화합물을 사용할 수 있는데, 일 예로 팔라듐 아세테이트 에탈올아민 화합물(palladium acetate ethanolamine complex) 혹은 팔라듐 프롤린 화합물(palladium proline complex)과 같은 팔라듐(Pd) 유기 금속 화합물이 사용될 수 있으며 상기 유기 금속 화합물의 함량에 따라 후에 형성될 캐소드 전극인 금속 도전막의 두께 및 저항이 달라지고, 상기 CNT의 함량을 조절함으로써 CNT 전자 방출원의 밀도를 조절할 수 있다.

상기 분산제는 일반적으로 비이온성 분산제를 사용하는데, 상기 비이온성 분산제는 친수기로 분자내에 히드록시 그룹과 에테르 결합과 같은 비이온성을 가진 분산제로서, 비이온성 분산제는 친수기의 형태에 따라 폴리옥시에틸렌 글리콜(polyoxyethylene glycol)형과 다가 알콜(polyhydric alcohol)형 분산제로 분리된다.

상기 폴리옥시에틸렌 글리콘형 비이온성 계면활성제는 여러 가지 소수성 원료 물질에 친수성을 가진 에틸렌옥사이드가 부가되어 생성되는데, 본 발명에서의 대표적인 예로 제1기 아민(primary amine)과 에틸렌 옥사이드(ethylene oxide)의 반응을 통해 생성된 알킬 아민(alkyl amine)계 폴리옥시에틸렌 글리콜형의 이용이 가능하다.

상기 용매는 유기 금속 화합물, CNT, 분산제, 비히클 등을 용해해서 액상으로 만들기 위한 것으로, 도포하고자 하는 두께에 의존하여 점도를 조절하는데, 일반적으로 두께가 0.5~5[㎛] 정도가 바람직하고, 재료조성의 적절한 선정을 통하여 수용성 및 유기용매 용해성 조성(formulation) 모두를 활용할 수 있다. 상기 용매 에 대한 일 예로는 이소프로필 알코올(IPA)을 들 수 있다.

도1은 본 발명에 따른 CNT가 분산된 유기 금속 화합물 잉크의 구성 물질과 각 구성물질의 조성비를 보인 일 실시예 도로서, 도시된 바와 같이 CNT, 분산제, Pd 유기 금속 화합물, 비히클, 용매로 구성되고, 각 물질의 조성은 CNT의 경우 5~20[wt.%], 분산제의 경우 2~10[wt.%], Pd 유기 금속 화합물의 경우 10~40[wt.%], 비히클의 경우 10~30[wt.%], 용매의 경우에는 두께에 따라 달라지는데 두께는 0.5~3[㎛]인 것을 알 수 있는데, 상기 두께는 상황에 따라 달라질 수 있다.

상기 CNT는 SW, DW, MW 타입 등 모든 종류의 CNT를 광범위하게 이용할 수 있고, 상기 분산제는 비이온성 분산제를 사용하는데, 상기 비이온성 분산제는 친수기로 분자내에 히드록시 그룹과 에테르 결합과 같은 비이온성을 가진 분산제로서, 친수기의 형태에 따라 폴리옥시에틸렌 글리콜(polyoxyethylene glycol)형과 다가 알콜(polyhydric alcohol)형 분산제로 분리된다. 그리고, 본 발명에서는 제1기 아민(primary amine)과 에틸렌 옥사이드(ethylene oxide)의 반응을 통해 생성된 알킬 아민(alkyl amine)계 폴리옥시에틸렌 글리콜형의 이용이 가능하다.

도2는 본 발명에 따른 CNT가 분산된 유기 금속 화합물 잉크를 이용하여 전계 방출 소자를 제조하는 과정에 대한 일 실시예 순서도를 보인 것으로, 도시한 바와 같이, CNT가 분산된 Pd 유기 금속 화합물 잉크를 생성하는 단계와, 상기 생성된 잉크를 전계 방출 소자에서 캐소드 전극이 형성될 영역에 코팅하는 단계와, 상기 캐소드 전극이 형성될 영역에 코팅된 잉크를 소정의 열처리 과정에 의해 CNT가 덮여있는 Pd 금속 도전막으로 형성하는 단계와, 상기 Pd 금속 도전막에 덮여 있는 CNT 를 후처리 공정을 이용하여 수직 배열시켜 전자 방출원으로 형성하는 단계로 이루어진다.

상기 Pd 유기 금속 화합물 잉크는 Pd 유기 금속 화합물, CNT, 비히클, 분산제를 용매에 용해하고, 고속분산기 혹은 균질화기(homogenizer) 등을 이용하여 CNT가 분산된 Pd 유기 금속 화합물 잉크를 제조하는데, 이에 대한 일 예를 설명하면 다음과 같다.

먼저 세정된 플라스틱 용기에 Pd 유기 금속 화합물을 용해하기 위한 용매인 이소프로필 알콜(IPA) 100g에 Pd 유기 금속 화합물 25[wt.%]를 용해시킨다. 상기 Pd 유기 금속 화합물이 용해된 용액에 SW(single wall) CNT 15[wt.%]를 첨가하고, 교반하여 잘 섞이게 한다. 상기 CNT가 섞인 용액에 비이온성 분산제인 프로필 아민 폴리옥시에틸렌 글리콜 5[wt.%]를 첨가한 후 이 용액을 고속분산기에 투입하여 1시간동안 분산 회전시켜 CNT가 분산된 Pd 유기 금속 화합물 잉크를 제조한다. 여기서, 상기 잉크를 구성하는 CNT의 함량 및 Pd 유기 금속 화합물의 함량을 조절하면 소자 제조 시 형성되는 캐소드 전극용 금속 도전막의 두께 및 저항과 전자 방출원인 CNT의 밀도를 조절할 수 있다.

상기 CNT가 분산된 Pd 유기 금속 화합물 잉크가 제조되면 전계 방출 소자 혹은 CNT형 면발광 램프 제조 시 형성될 캐소드 전극 영역에 상기 CNT가 분산된 Pd 유기 금속 화합물 잉크를 코팅한다. 여기서, 상기 CNT가 분산된 Pd 유기 금속 화합물 잉크는 공정 방법에 따라 스핀 코팅, 스프레이 방식, 딥핑 등에 의해 상기 캐소드 전극이 형성될 영역에 코팅될 수 있다.

상기 캐소드 전극 영역에 코팅된 CNT가 분산된 Pd 유기 금속 화합물 잉크를 CNT가 덮여있는 Pd 금속 도전막으로 형성하는 열처리 과정은 먼저, 캐소드 전극 영역에 잉크가 코팅된 구조물을 대기상에서 소정의 조건(350[℃], 10 ~ 30분간)으로 열처리하여 PdO 도전막을 형성하고, 그 PdO 도전막이 형성된 구조물을 H₂:N₂=2:98인 혼합가스를 일정 압력까지 진공처리장치 내로 도입한 후 약 150~200[℃]로 30분간 열처리하여 PdO 성분을 Pd 성분으로 환원하여 PdO 도전막을 Pd 금속 도전막으로 환원시킨다.

상기 Pd 금속 도전막에 덮여있는 CNT는 롤링, 테이핑, 레이저 방사 등의 후처리 공정에 의해 Pd 도전막 입자 사이에 분산된 CNT를 수직 배열시켜 CNT 전자 방출원을 형성된다.

그럼, 본 발명에 따른 CNT가 분산된 유기 금속 화합물 잉크를 이용하여 전계 방출 소자를 제조하는 과정에 대해 설명한다.

도3은 본 발명을 적용한 일 실시예로서, CNT용 면발광 램프를 제조하는 과정을 보인 수순 단면도를 보인 것이다.

이하, 본 발명을 적용한 CNT 면발광 램프 제조 과정을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도3a에 도시한 바와 같이, Pd 유기 금속 화합물과 CNT와 비히클과 분산제 그리고 용매에 의해 형성된 본 발명의 CNT가 분산된 Pd 유기 금속 화합물 잉크(20)를 하부기판(10) 전면에 스핀 코팅 혹은 딥핑 혹은 스프레이 방식으로 코팅 한다.

그 다음 도3b에 도시한 바와 같이, 상기 잉크가 코팅된 구조물을 대기상에서 350[℃], 10 ~ 30분간 열처리하여 잉크에 포함된 유기물을 제거하고, Pd 금속과 대기중에 있는 산소가 결합하여 CNT가 덮여있는 PdO 도전막을 형성한다.

상기 PdO 도전막이 형성된 구조물을 H₂:N₂=2:98인 혼합가스가 일정 압력까지 채워진 진공처리장치 내에서 약 150~200[℃], 30분간 열처리하면 PdO 성분이 Pd 성분으로 환원되어 PdO 도전막이 Pd 금속 도전막(30)으로 환원되고, 상기 Pd 금속 도전막(30)에는 CNT(40)가 덮여있는 상태가 된다.

마지막으로 도3c에 도시한 바와 같이, 상기 Pd 금속 도전막(30)에 덮여있는 CNT(40)를 롤링, 테이핑, 레이저 방사 등과 같은 방법의 후처리 공정을 이용하여 수직 배열시킴으로써, CNT 전자 방출원을 형성한다. 후처리 공정을 통해 CNT(40)를 수직 배열시킴으로써, 균일한 발광 이미지를 얻을 수 있고, 구동 전압을 낮출 수 있다.

상기 면발광 소자의 캐소드 전극인 Pd 금속 도전막(30)과 전자 방출원인 CNT(40)가 수직 배열되면, 도3d에 도시한 바와 같이 애노드 기판(60)과 스페이서(50)를 구비한 모듈 형태로 구성한다. 이렇게 구성된 CNT 면발광 램프는 LCD 백라이트 혹은 면발광 소자로 활용될 수 있다.

또한, 상기 도3에 도시한 소자 제조 과정에서 알 수 있듯이, 본 발명의 잉크를 적용하여 소자를 제작하는 경우 캐소드 전극을 형성하는 별도의 공정없이 잉크 조성만으로 캐소드 전극용 금속 도전막과 CNT 전자 방출원을 형성하기 때문에 전체 공정 회수를 줄일 수 있고, 저가의 대면적 소자를 제조하는데 유용한 장점이 있다.

그리고, 본 발명 CNT가 분산된 유기 금속 화합물 잉크의 적용범위는 상기 도3의 일 실시예에 한정하지 않고, CNT를 전자 방출원으로 사용하는 모든 분야에 적용될 수 있다.

도4는 본 발명에 따른 잉크의 조성 중 Pd 유기 금속 화합물의 함량과 소자 제조 시 소자전극(캐소드 전극)의 두께의 관계를 보인 상관도로서, 도시된 바와 같이 Pd 유기 금속 화합물의 함량이 높을수록 형성되는 소자전극의 두께가 두꺼워지는 것을 알 수 있다. 즉, 소자전극의 두께를 조절할 수 있는 Pd 유기 금속 화합물의 함량을 조절하여 소자전극의 저항을 조절할 수 있는데, 상기 소자전극의 저항 조절은 본 발명에 따른 잉크의 사용 용도에 따라 결정될 수 있다. 예를 들어, CNT용 면발광 램프 혹은 사이드 게이트 타입의 전계 방출 소자에서는 캐소드 전극용 금속 도전막을 형성하기 위해 소자전극의 두께를 두껍게 형성하여 소자전극의 저항값을 줄이고, 노멀 게이트 타입의 전계 방출 소자에서는 캐소드 전극 상부에 저항층을 형성하기 위해 소자전극의 두께를 얇게 형성하여 저항값을 크게 한다.

상기에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명은 유기 금속 화합물이 용매에 용해된 용액과 CNT와 CNT 분산 및 점도조절을 위한 비히클 혹은 분산제를 적정 용량 혼합한 다음 분산기를 이용하여 분산시켜 잉크를 제조하고, 그 제조된 잉크를 이용하여 CNT를 전자 방출원으로 사용하는 소자 제조 시 캐소드 전극용 금속 도전막과 CNT 전자 방출원을 동시에 형성함으로써, 전계 방출 소자의 제작 공정 회수를 줄이고, 패터닝이 요구되지 않는 대면적 CNT 램프 제작에 용이하며 제조 비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 잉크를 구성하는 유기 금속 화합물 및 CNT의 함량을 조절하여 전자 방출 소자 제조 시 캐소드 전극용 금속 도전막의 두께 및 저항 그리고 전자 방출원인 CNT의 형성 밀도를 조절함으로써, 전자 방출 효율을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (6)

1. 팔라듐(Pd) 유기 금속 화합물과, 카본 나노 튜브와, 상기 카본 나노 튜브를 분산시키는 비이온성 분산제(dispersants)와, 용매를 혼합한 유기 금속 화합물 잉크로서,

   상기 각 성분들의 비율은 용매를 기준으로 상기 팔라듐(Pd) 유기 금속 화합물은 10~40 중량퍼센트(wt,%), 상기 카본 나노 튜브는 5~20중량퍼센트(wt,%), 상기 비이온성 분산제는 2~10중량퍼센트(wt,%)인 것을 특징으로 하는 카본 나노 튜브가 분산된 유기 금속 화합물 잉크.
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 제1항에 있어서, 상기 비이온성 분산제는 제1기 아민(primary amine)과 에틸렌 옥사이드(ethylene oxide)의 반응을 통해 생성된 알킬 아민(alkyl amine)계 폴리옥시에틸렌 글리콜(polyoxyethylene glycol)형인 것을 특징으로 하는 카본 나노 튜브가 분산된 유기 금속 화합물 잉크.
6. 제1항에 있어서, 상기 용매는 이소프로필 알콜(IPA)인 것을 특징으로 하는 카본 나노 튜브가 분산된 유기 금속 화합물 잉크.

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