KR100756223B1 - 미소변위 회전구동장치 - Google Patents

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KR100756223B1
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문찬우
정중기
이종배
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Abstract

본 발명은 미소변위 회전구동장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 병진기와 같은 구동자를 정밀 제어하여 회전자를 미세하게 회전시키거나 연속 회전시킬 수 있는 회전구동장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 미소변위 회전구동장치는, 베이스플레이트와, 상기 베이스플레이트에 수직한 축을 중심으로 회전가능하도록 상기 베이스플레이트에 설치된 디스크 형상의 회전자와, 외력에 의해 가동되면 그 일부분이 상기 회전자의 외주면과 접촉할 수 있는 소정의 간격을 두고 상기 회전자의 외주면과 이격되도록 상기 베이스플레이트에 설치된 마찰자와, 상기 마찰자를 가동시켜 상기 마찰자가 상기 회전자와 단속적으로 접촉하여 마찰력에 의해 상기 회전자를 회전시키도록 하는 구동자를 포함하는 것을 특징으로 한다.
미소, 변위, 회전구동, 압전소자, 마찰, 링, 빔.

Description

미소변위 회전구동장치{ROTARY ACTUATING DEVICE}
도 1은 본 발명에 따른 미소변위 회전구동장치의 제1 실시예를 나타낸 분해사시도,
도 2는 도 1의 실시예의 결합사시도,
도 3은 도 2의 A-A선에서 바라본 단면도,
도 4는 도 1의 실시예의 작동원리를 나타낸 설명도,
도 5는 본 발명에 따른 미소변위 회전구동장치의 제2 실시예의 작동원리를 나타낸 설명도,
도 6은 본 발명에 따른 미소변위 회전구동장치의 제3 실시예를 나타낸 사시도,
도 7은 본 발명에 따른 미소변위 회전구동장치의 제4 실시예를 나타낸 분해사시도,
도 8은 도 7의 실시예의 결합사시도,
도 9는 도 7의 실시예의 링부재의 변형 전을 나타낸 설명도,
도 10은 도 9의 링부재의 변형 후를 나타낸 설명도,
도 11은 본 발명에 따른 미소변위 회전구동장치의 제5 실시예를 나타낸 사시도.
도 12는 종래기술에 따른 미소변위 회전구동장치를 나타낸 결합사시도,
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 베이스플레이트 110 : 회전자
120, 220, 420 : 마찰자 421 : 링부재
422 : 빔부재 130 : 고정블럭
131 : 제1 수용부 132 : 제2 수용부
140 : 구동자 150 : 압박부재
본 발명은 미소변위 회전구동장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 병진기와 같은 구동자를 정밀 제어하여 회전자를 미세하게 회전시키거나 연속 회전시킬 수 있는 회전구동장치에 관한 것이다.
최근 정보기술(IT)이나 생명공학기술(BT) 또는 나노기술(NT) 등의 신산업은 미세화, 초정밀화하는 경향으로 흘러가고 있으며, 신산업 시장이 형성됨에 따라 이들 제품을 생산, 가공할 수 있는 초정밀 생산 시스템의 사용 여부가 경쟁력 확보의 핵심 요소가 되어 가고 있다. 특히 게놈 프로젝트와 더불어 관심을 모으고 있는 BT 분야에서는 DNA의 크기가 3nm ~ 4nm이고, 리보솜의 크기는 100nm 이하이며, 가장 큰 일반세포도 10㎛ 정도로 미세하여 이들을 다루고 조작하려면 초정밀 기기가 필요하다. 또한 NT산업에서도 나노 크기의 구조물을 다루고 측정하기 위한 초정밀 기구의 필요성이 증대되고 있다.
따라서, NT, BT, IT 등과 관련된 초정밀 기기에 필요한 마이크로 부품의 조립을 위해서는 초소형 로봇이 필요하며, 이러한 초소형 로봇의 핵심 부품으로 미소변위 구동장치가 있다.
미소변위 구동장치는 작동부위의 변위를 매우 미소한 수준에서 제어할 수 있는 구동장치를 말하며, 예컨대 마이크로미터 단위의 크기를 갖는 미세한 물체를 집는 초소형 그리퍼의 위치를 정밀하게 제어하기 위한 구동장치 등의 용도로 사용된다.
더욱이 광 스위치(Optical Switch), 평판소자(Planar Device) 뿐만 아니라, 최근에 관심이 고조되어 가고 있는 바이오 물질, 기타 나노 스케일의 물질을 다루기 위해서 나노미터 단위로 극히 미세한 제어가 요구되는 미소변위 구동장치의 필요성이 증대되고 있다.
이와 같은 미소변위 구동장치 중에서도 회전구동을 위한 구동장치에 대하여 몇가지 기술들이 공개되어 있으나 각각 단점이 있었으며, 이런 단점들을 해결한 미소변위 회전구동장치는 본 출원의 출원인이 2005년 5월 24일자로 대한민국 특허청에 출원한 특허출원 제2005-43644호에 이미 제시되어 있다.
도 12를 참조로 위 특허출원에 기재된 종래기술에 따른 회전구동장치를 간략히 살펴보면, 종래기술에 따른 회전구동장치는 장치의 하부를 이루는 베이스(2)와, 베이스에 회전가능하게 설치된 회전판(3)과, 베이스의 상면에 고정되고 회전판의 하면에 접촉설치되어 외부 전압 인가 여부에 따라 회전판의 회전축과 직각된 방향 으로 전후진 작동하여 회전판을 회전시키는 미소이동수단(4)을 포함하고 있다. 또한 종래기술에 따른 회전구동장치에 있어서, 회전판(3)을 회전시키는 구동력은 미소이동수단(4)과 회전판(3)의 접촉에 의한 마찰력이므로, 이 마찰력을 지속적으로 확보하거나 강화하기 위해 회전판(3)을 미소이동수단(4) 측으로 압박하는 압착부재(5)를 더 포함할 수 있다.
그러나 종래기술에 따른 회전구동장치는 다음에 지적하는 바와 같은 문제점이 있다.
첫째, 종래기술에 따른 회전구동장치의 미소이동수단은 회전판의 저면에 접촉하고 있으며, 회전판을 회전시키기 위해서는 회전판의 회전 중심축에 수직한 방향으로 변형될 수 있어야 한다. 따라서 종래기술에 사용할 수 있는 미소이동수단은, 외부로부터의 전압 인가여부에 따라 전단 변형되는 소위 전단형 압전소자(Shear Type Piezoelectric Element) 전단변형이 가능한 압전소자가 가장 바람직하다. 그러나 전단형 압전소자는 외부로부터의 전압 인가여부에 따라 압축 변형되는 압축형 압전소자(Compression Type Piezoelectric Element)에 비해 비용이 많이 들 뿐 아니라, 구동력에 있어서도 훨씬 약하다. 즉, 압축형 압전소자는 변형방향으로 대상물을 직접 구동할 수 있으므로 압전소자의 변형력을 그대로 구동력으로 변환하는 것이 가능하지만, 종래기술에 따른 회전구동장치와 같이 압전소자의 변형방향이 회전판을 회전시키려는 방향과 나란한 경우, 전단형 압전소자의 변형면과 회전판 사이에 수직반력을 가하여 양자 사이에 발생하는 마찰력에 의해 회전판을 가동시키므로, 압전소자의 변형력 중 일부만이 구동력으로 변환된다.
둘째, 종래기술에서 구동력 강화를 위해 복수의 미소이동수단을 구비할 경우, 각 미소이동수단과 회전판 사이의 마찰력이 균일하지 않은 경우가 많다. 각 미소이동수단이 회전판에 대해 가지는 마찰력이 서로 다를 경우, 각 미소이동수단이 전단변형 되었다가 원상태로 복원될 때, 마찰력이 가장 강한 미소이동수단은 복원되는 과정에서도 회전판과 마찰을 일으키면서 회전시키고자 하는 반대 방향으로 구동력을 발생시킬 수 있고, 이는 결과적으로 전체적인 구동력 손실을 가져온다. 따라서 종래기술과 같은 회전구동장치에서 구동력 강화를 위해 복수의 미소이동수단을 구비하는 것이 매우 곤란해진다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 새로운 구조를 가짐으로 인해 구동자로부터의 구동력을 최대한 활용하여 회전자를 회전시켜, 구동력이 강하면서도 안정적인 회전이 가능한 회전구동장치를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 그 밖의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관된 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 미소변위 회전구동장치는, 베이스플레이트와, 상기 베이스플레이트에 수직한 축을 중심으로 회전가능하도록 상기 베이스플레이트에 설치된 디스크 형상의 회전자와, 외력에 의해 가동되면 그 일부분이 상기 회전자의 외주면과 접촉할 수 있는 소정의 간격을 두고 상기 회전자 의 외주면과 이격되도록 상기 베이스플레이트에 설치된 마찰자와, 상기 마찰자를 가동시켜 상기 마찰자가 상기 회전자와 단속적으로 접촉하여 마찰력에 의해 상기 회전자를 회전시키도록 하는 구동자를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 미소변위 회전구동장치에 있어서, 상기 구동자는, 외부로부터 전압 인가 여부에 따라 수축 또는 이완되는 압전소자를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 따른 미소변위 회전구동장치에 있어서, 상기 마찰자는, 막대 형상이고, 일단이 상기 회전자의 외주면으로부터 상기 소정의 간격만큼 이격되고 타단이 상기 베이스플레이트에 회동가능하도록 설치되며, 상기 구동자는, 상기 마찰자의 일단을 실질적으로 상기 회전자의 접선방향을 따라 가동시키는 것이 바람직하다. 이 때 상기 마찰자의 일단을 중심으로 상기 구동자와 대칭되도록 배치되어 상기 마찰자의 일단을 상기 구동자 측으로 탄성 압박하는 압박부재를 더 포함하면 마찰자의 복귀를 촉진할 수 있으므로 바람직하다.
또는 상기 마찰자는, 막대 형상이며, 탄성변형되는 재질로 이루어지고, 일단이 상기 회전자의 외주면으로부터 상기 소정의 간격만큼 이격되며 타단이 상기 베이스플레이트에 고정되고, 상기 구동자는, 상기 마찰자의 일단을 실질적으로 상기 회전자의 접선방향을 따라 가동시키도록 할 수도 있다. 이 경우에도 상기 마찰자의 일단을 중심으로 상기 구동자와 대칭되도록 배치되어 상기 마찰자의 일단을 상기 구동자 측으로 탄성 압박하는 압박부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 미소변위 회전구동장치에 있어서, 상기 마찰자는, 탄성변형 되는 재질로 이루어지고 내경이 상기 회전자의 외경에 비해 상기 소정의 간격만큼 크며 상기 회전자와 동심으로 배치된 링부재와, 상기 링부재의 외주면에서 반경방향으로 돌출되며 상기 링부재를 중심으로 회전대칭되는 지점에 각각 하나씩 배치된 적어도 한 쌍 이상의 빔부재를 포함하며, 상기 구동자는 상기 빔부재의 수만큼 구비되고, 각각의 구동자는 상기 빔부재 각각이 상기 링부재와 접하는 부분을 실질적으로 상기 회전자의 접선방향을 따라 가동시키는 것이 더욱 바람직하다. 이 때, 상기 빔부재는 상기 링부재와 접하는 부분의 반대편 단부가 상기 베이스플레이트에 회동가능하도록 설치되는 것이 바람직하다. 그리고 상기 빔부재를 중심으로 상기 구동자와 대향하도록 배치되고, 상기 빔부재가 상기 링부재와 접하는 부분을 상기 구동자 측으로 탄성 압박하는 압박부재를 더 포함하면 마찰자의 복귀를 촉진할 수 있으므로 바람직하다.
또는 상기 빔부재는 탄성변형되는 재질로 이루어지고, 상기 링부재와 접하는 부분의 반대편 단부가 상기 베이스플레이트에 고정되도록 할 수도 있다. 이 때에도, 상기 빔부재를 중심으로 상기 구동자와 대향하도록 배치되고, 상기 빔부재가 상기 링부재와 접하는 부분을 상기 구동자 측으로 탄성 압박하는 압박부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 미소변위 회전구동장치는, 베이스플레이트와, 상기 베이스플레이트에 수직한 축을 중심으로 회전가능하도록 상기 베이스플레이트에 설치된 디스크 형상의 회전자와, 외력에 의해 가동되면 그 일부분이 상기 회전자의 외주면과 접촉할 수 있는 소정의 간격을 두고 상기 회전자의 외주면과 이격되도록 상기 베이 스플레이트에 설치된 제1 마찰자와, 외력에 의해 가동되면 그 일부분이 상기 회전자의 외주면과 접촉할 수 있는 소정의 간격을 두고 상기 회전자의 외주면과 이격되도록 상기 베이스플레이트에 설치되되 상기 제1 마찰자와 이격되어 배치된 제2 마찰자와, 상기 제1 마찰자를 가동시켜 상기 회전자와 단속적으로 접촉하여 마찰력에 의해 상기 회전자를 일방향으로 회전시키도록 하는 제1 구동자와, 상기 제2 마찰자를 가동시켜 상기 회전자와 단속적으로 접촉하여 마찰력에 의해 상기 회전자를 반대방향으로 회전시키도록 하는 제2 구동자를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이 때 상기 제1 마찰자는, 탄성변형되는 재질로 이루어지고 내경이 상기 회전자의 외경에 비해 상기 소정의 간격만큼 크며 상기 회전자와 동심으로 배치된 링부재와, 상기 링부재의 외주면에서 반경방향으로 돌출되며 상기 링부재를 중심으로 회전대칭되는 지점에 각각 하나씩 배치된 적어도 한 쌍 이상의 빔부재를 포함하며, 상기 제2 마찰자는, 탄성변형되는 재질로 이루어지고 내경이 상기 회전자의 외경에 비해 상기 소정의 간격만큼 크며 상기 회전자와 동심으로 배치된 링부재와, 상기 링부재의 외주면에서 반경방향으로 돌출되며 상기 링부재를 중심으로 동일한 중심각을 갖는 지점에 각각 하나씩 배치된 적어도 한 쌍 이상의 빔부재를 포함하며, 상기 제1 마찰자와는 동일축선 상에서 직렬로 배치되고, 상기 제1 구동자는 상기 제1 마찰자의 빔부재의 수만큼 구비되고, 각각의 제1 구동자는 상기 제1 마찰자의 빔부재 각각이 상기 링부재와 접하는 부분을 실질적으로 상기 회전자의 접선방향을 따라 일방향으로 가동시키고, 상기 제2 구동자는 상기 제2 마찰자의 빔부재의 수만큼 구비되고, 각각의 제2 구동자는 상기 제2 마찰자의 빔부재 각각이 상기 링부재와 접하는 부분 을 실질적으로 상기 회전자의 접선방향을 따라 반대방향으로 가동시키는 것이 바람직하다.
이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명에 따른 미소변위 회전구동장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 미소변위 회전구동장치의 제1 실시예를 나타낸 분해사시도이고, 도 2는 도 1의 실시예의 결합사시도이며, 도 3은 도 2의 A-A선에서 바라본 단면도이다.
베이스플레이트(100)는 전체적인 형상이 판상으로서, 회전구동장치의 하부를 구성하며 다른 구성요소들을 지지한다.
회전자(110)는 디스크 형상이며, 베이스플레이트에 회전가능하도록 설치된다. 이 때 회전자(110)의 회전축은 베이스플레이트(100)의 상면에 수직한 것이 바람직하다. 회전자(110)를 베이스플레이트에 회전가능하도록 설치하기 위해 통상적인 축, 베어링 등을 이용할 수 있다.
마찰자(120)는 막대형상이고, 일단(120a)이 회전자(110)의 외주면과 소정 간격을 두고 이격되어 있으며, 타단(120b)은 베이스플레이트(100)에 회동가능하도록 설치된다. 마찰자(120)를 베이스플레이트에 설치하기에 앞서 고정블럭(130)에 마찰자(120)를 회동가능하게 설치하고, 고정블럭(130)을 베이스플레이트(100)에 고정하는 것이 설치 및 차후 유지관리를 용이하게 할 수 있으므로 바람직하다. 마찰자(120)의 회전자(110) 측 일단이 회전자(110)의 외주면과 이격된 소정의 간격은, 마찰자(120)가 가동되었을 때 그 일단이 회전자(110)의 외주면과 접촉할 수 있는 간격을 뜻한다. 이 간격은 마찰자(120)를 가동시킬 구동자(140)의 1회 변형량, 즉 스트로크에 따라 실험적으로 구할 수 있다. 즉, 도 4에 도시한 바와 같이 구동자(140)가 마찰자(120)를 일측으로 밀었을 때 마찰자(120)의 끝단이 회전자(110)의 외주면에 접촉한 채 가동되어, 그 접촉면의 마찰력에 의해 도면에 화살표로 표시된 방향(시계방향)으로 회전자(110)를 회전시킬 수 있도록, 마찰자(120)는 가동 전의 위치에서 그 일단이 회전자(110)의 외주면과 이격되어 있어야 한다.
구동자(140)는 마찰자(120)를 가동시키기 위한 것으로, 마찰자(120)의 일단이 회전자(110)의 외주면에 대해 실질적으로 접선방향을 따라 병진운동(Translational Motion)할 수 있도록 하는 병진기(Translator)인 것이 바람직하며, 병진기 중에서도 압축형 압전소자(Compression Type Piezoelectric Element)인 것이 더욱 바람직하다. 상용의 압축형 압전소자를 살펴보면, 팽창 또는 수축시 작용하는 힘이 1000N 이상으로서, 강한 구동력을 발휘할 수 있는 한편, 1회 작동시 변위, 즉 스트로크는 15㎛, 작동해상도는 0.15nm에 달하므로 고도로 정밀한 제어가 가능하다. 구동자(140)는 고정블럭(130)에 형성된 제1 수용부(131)에 수용된 채 베이스플레이트에 고정되는데, 고정블럭(130)의 제1 수용부(131)는 일단이 개구되고 일단이 폐색된 홈이므로, 구동자(140)는 일단이 고정단이 되고, 타단은 자유단으로서 마찰자(120)의 일단에 접하도록 배치되게 된다.
압박부재(150)는 마찰자(120)를 구동자(140) 측으로 탄성적으로 압박하기 위한 것으로, 역시 고정블럭(130)에 설치되며, 고정블럭(130)의 제2 수용부(132)에 수용된 스프링(150)을 포함하는 것이 바람직하다. 제2 수용부(132)는 일단이 개구되고 타단이 폐색된 구멍 형상이다. 스프링(150)이 제2 수용부(132)로부터 이탈하거나 스프링(150)이 마찰자(120)와 직접 접촉하면서 마찰자(120)를 손상시키는 것을 방지하기 위해, 제2 수용부(132) 내부에 슬라이드 가능하게 삽입되고, 스프링(150)에 의해 탄지된 플런저(151)를 더 포함할 수 있다. 이 경우 마찰자(120)는 플런저(151)를 거쳐 스프링(150)의 탄성력을 받게 되며, 플런저(151)는 마찰자(120)와의 접촉면을 평탄하게 형성하여 마찰자(120)가 손상되는 것을 방지할 수 있다. 압박부재(150)는 구동자(140)에 의해 가동된 마찰자(120)를 탄성력에 의해 원상태로 복귀시키기 위한 것으로, 마찰자(120)를 중심으로 구동자(140)와 대향되도록 배치된다.
고정블럭(130)은 앞서 설명한 바와 같이 마찰자(120), 구동자(140) 및 압박부재(150)를 수용하여 지지하고, 자신은 베이스플레이트(100)에 고정된다. 고정블럭(130)을 구비함으로써 마찰자(120), 구동자(140) 및 압박부재(150)를 베이스플레이트(100)에 직접 설치하는 것에 비해 조립 편의성을 향상시킬 수 있고, 각 구성들의 상대적 배치를 정밀하게 조절할 수 있으므로 전체적인 회전구동장치의 정밀도를 향상시킬 수 있고, 유지관리를 용이하게 하는 장점이 있다. 도 1 내지 도 3에서 고정블럭(130)은 두 부분으로 나뉘어져 있고, 두 부분이 구동자(140)와 압박부재(150)를 각각 수용하는 것으로 도시하였으나, 두 부분을 일체로 성형할 수도 있으므로 같은 도면부호를 부여하고 있다.
이상에서 설명한 마찰자(120), 구동자(140), 압박부재(150) 및 고정블 럭(130)은 회전자(110)를 회전시키기 위한 단위 구동장치로 볼 수 있으며, 구동력을 배가하기 위해 단위 구동장치를 복수 개 구비할 수도 있다. 즉, 회전자(110)를 중심으로 동일한 중심각을 갖는 원주상의 복수의 지점에 복수의 마찰자를 각각 배치하고, 각 마찰자를 구동, 압박, 고정하기 위한 구동자, 압박부재, 고정블럭을 함께 배치하여 복수의 단위 구동장치를 구비하도록 하면, 회전자(110)를 회전시키는 구동력을 강화할 수 있다.
이상과 같은 구조를 가진 본 실시예의 작동을 작동원리를 나타낸 설명도인 도 4를 참조로 설명하면 다음과 같다.
외부로부터 전압 인가여부에 따라 압축형 압전소자로 된 구동자(140)는 길이에 변화가 생기는데, 압전소자가 팽창 또는 이완되면 마찰자(120)의 일단이 밀리면서 마찰자(120)가 베이스플레이트에 회동가능하도록 고정된 단부(120b)를 중심으로 회동한다. 마찰자(120)는 회동 전의 위치에서 그 일단(120a)이 회전자(110)의 외주면과 이격되어 있으나, 회동되면서 상기 일단(120a)이 회전자(110)의 외주면과 접촉하게 되고, 이후에는 접촉상태를 유지한 채 회동하게 된다. 따라서 회전자(110)와 마찰자(120) 사이의 마찰력에 의해 회전자(110)가 마찰자(120)의 회동방향과 같은 방향, 즉 도면에 화살표로 도시한 방향(시계방향)으로 회전하게 된다. 동시에 마찰자(120)는 압박부재(150)를 밀게 되므로, 압박부재(150)인 스프링(150)이 압축된다.
구동자(140)에 대해 외부에서 인가되는 전압이 사라지거나, 반대방향으로 전 압이 인가되면 구동자(140)인 압전소자가 이완 또는 수축된다. 그러면 압박부재(150)의 스프링(150)은 탄성복원되고, 그 복원력이 마찰자(120)를 밀어낸다. 따라서 마찰자(120)는 반대 방향으로 가동되어 최초 상태로 돌아간다. 마찰자(120)가 최초 상태로 돌아가는 과정에서도 회전자(110)와 마찰자(120)가 접촉하고 있으므로, 회전자(110)는 반시계방향으로 가동될 수도 있다. 그러나, 마찰자(120)의 최초 회동과, 복귀될 때의 회동의 속도를 서로 다르게 하거나, 마찰자(120)가 회전자(110)가 접촉하는 일단(120a)의 형상을 별도로 디자인하거나, 마찰력이 서로 다른 재질을 함께 사용함으로써, 일방향으로 회동할 때에 보다 큰 구동력을 회전자(110)에 가하도록 하는 것이 가능하다. 이 경우에는 구동자(140)를 반복 작동시켜 회전자(110)가 일방향으로 계속하여 회전하도록 하는 것 또한 가능해진다.
보다 상세한 예들 들어 설명하자면, 구동자(140)에 대해 톱니파형의 전압을 인가하되, 톱니파의 형상이 선단은 사선이고 후단은 수직선이 되는 형태로 인가하면, 구동자는 최초 변형시 서서히 변형되지만 원형으로 복원될 때는 급속히 변형된다. 구동자(140)가 서서히 변형될 때는 마찰자(120)가 회전자(110)에 대해 구동력을 가할 수 있지만, 급속히 복원될 때는 회전자(110)가 이미 회전관성을 가지고 있으므로, 가해지는 구동력이 미미하다. 반대로 선단이 수직선이고 후단이 사선인 형태의 톱니파형 전압을 구동자(140)에 인가하면, 구동자는 최초 변형시 급속히 변형되고 원형으로 복원될 때는 서서히 변형된다. 이 경우에 회전자(110)는 구동자가 최초 변형될 때 관성에 의해 마찰자(120)로부터 받는 구동력이 미미하지만, 구동자가 복원 변형될 때에는 보다 큰 구동력을 받게 된다. 따라서 구동자(140)에 인가되는 전압의 파형을 변경시킴으로써 회전자(110)에 대한 마찰자(120)의 접근속도 및 이탈속도를 서로 다르게 할 수 있으며, 결과적으로 회전자(110)의 회전 방향을 결정할 수 있다.
요컨대, 회전구동장치가 사용될 환경에 따라 회전자(110)가 미소한 스트로크 내에서 회전진동하도록 하거나, 스트로크와 무관하게 일방향으로 계속하여 회전하도록 할 수 있다. 압축형 압전소자는 부하가 없는 상태에서 수십 kHz로 작동시킬 수 있으므로 미소한 스트로크로도 필요한 회전수를 갖도록 회전자를 회전시키는데 충분하다.
도 5는 본 발명에 따른 미소변위 회전구동장치의 제2 실시예의 작동원리를 나타낸 설명도이다.
본 실시예는 마찰자(120)에 있어서만 앞선 실시예와 달리하며, 나머지 구성들은 동일하므로, 마찰자(220)에 대해서만 설명한다.
마찰자(220)는 막대형상이긴 하지만, 한쪽 단부(220b)가 앞선 실시예와는 달리 고정블럭(130)을 통해 베이스플레이트에 고정되어 있다. 대신, 마찰자(220)는 탄성변형되는 재질, 예컨대 합성수지로 되어 있다. 이 마찰자(220)를 구동자(140)가 압박하면 휘어지면서 그 일단(220a)이 회전자(110)의 외주면에 접촉한다. 따라서 마찰력에 의해 회전자(110)를 회전시킬 수 있다. 또한 구동자(140)로부터의 압박이 없어지면, 마찰자(220)는 자체의 탄성복원력에 의해 최초 상태로 돌아간다. 따라서 본 실시예에서는 앞선 실시예의 압박부재(150)의 필요성이 줄어들며, 경우 에 따라 압박부재를 생략할 수도 있다. 다만 마찰자(220) 자체의 탄성복원력이 충분하지 못할 경우 앞선 실시예의 압박부재를 추가하여 복원력을 보충하도록 하는 것이 바람직하다.
도 6은 본 발명에 따른 미소변위 회전구동장치의 제3 실시예를 나타낸 사시도이다.
본 실시예는 제1 실시예와 동일한 구성을 가지는 이외에, 제1 실시예의 마찰자(120), 구동자(140), 압박부재(150) 및 고정블럭(130)과 동일한 구성을 한 벌 더 구비하고 있다. 즉, 앞서 언급한 바와 같은 단위 구동장치를 두 벌 구비하고 있는데, 이 두 벌의 단위 구동장치는 각각 회전자(110)를 서로 반대되는 방향으로 구동시키기 위한 것이다. 따라서 추가된 한 벌의 단위 구동장치는 각 부분들, 즉 마찰자, 구동자, 압박부재 및 고정블럭을 기존의 단위 구동장치의 각 부분들과 선대칭되도록 배치하여 구성하고, 기존의 단위 구동장치와 이격된 지점에 배치한다. 제1 실시예서는 구동자(140)에 인가되는 전압의 파형을 앞서 설명한 예에서와 같이 특별히 제어하지 않는 이상 회전자(110)를 일방향으로만 연속하여 회전시킬 수 있으나, 본 실시예는 구동자(140)에 인가되는 전압의 파형을 특별히 제어하기 위한 별도의 장비 없이도 회전자(110)를 양방향 중 선택된 임의의 일방향으로 연속 회전시킬 수 있다.
도 7은 본 발명에 따른 미소변위 회전구동장치의 제4 실시예를 나타낸 분해 사시도이고, 도 8은 도 7의 실시예의 결합사시도이다.
베이스플레이트(100), 회전자(110) 및 고정블럭(130)은 앞선 실시예들과 동일하다.
그러나 마찰자(420)는 내경이 회전자(110)의 외경보다 소정 크기만큼 내경이 큰 링 형상이고 탄성변형되는 재질로 된 링부재(421)와, 링부재(421)의 외주면으로부터 반경방향으로 돌출된 빔부재(422)를 포함한다. 여기서 링부재(421)의 내경과 회전자(110)의 외경 사이의 간격은, 제1 실시예의 마찰자의 일단과 회전자의 외주면 사이의 소정의 간격과 수치적으로 반드시 일치하지만은 않으며 실험적으로 구할 수 있다. 빔부재(422)는 적어도 2개 이상 복수가 구비되며, 링부재(421)를 중심으로 중심각이 같은 원주상의 임의의 지점에 각각 배치된다. 도 7및 도 8는 한 쌍의 빔부재(422)가 링부재(421)에 대해 중심각 180도인 지점에 각각 하나씩 배치된 예를 도시하고 있다.
구동자(140)는 각 빔부재(422)가 링부재(421)와 접하는 지점에 각각 하나씩 빔부재(422)의 수만큼 구비되며, 압박부재(150) 또한 구동자(140)와 같은 수만큼 구비되어 각 구동자(140)에 대향하여 배치된다. 이들을 지지하며 베이스플레이트(100)에 고정되는 고정블럭(130) 또한 같다.
도 9에 도시된 바와 같이 외력이 없는 상태에서 원형을 유지하면서 내부에 위치한 회전자(110)와 접촉하지 않고 있던 링부재(421)는, 구동자(140)가 외부로부터의 전압인가 여부에 따라 변형되어 빔부재(422)를 압박함에 따라 도 10에 도시된 바와 같이 타원형으로 변형된다. 링부재(421)는 구동자(140)가 압박하는 거리에 따라 점차로 변형되면서 단축(m)의 길이가 짧아지는 동시에 링부재(421) 자체가 회전하게 된다. 이 단축(m)의 길이가 회전자(110)의 외경과 일치하는 시점에서 회전자(110)의 외주면과 링부재(421)의 내주면이 접촉하게 된다. 이 시점을 지나도록 구동자(140)가 빔부재(422)를 압박하면, 링부재(421)는 회전자(110)와 접촉을 유지한 채 회전하며, 결과적으로 양자간의 마찰력에 의해 회전자(110)를 회전시키게 된다.
구동자(140)로부터 구동력이 제거되면, 링부재(421)는 자체의 탄성복원력에 의해 원래 상태로 복귀되어 변형되기 전의 원형인 상태로 돌아가며, 그 과정에서 회전자(110)와의 접촉은 해제된다. 이와 같은 동작이 반복되면 회전자(110)는 일방향으로 연속하여 회전할 수 있다. 접촉이 해제되는 과정에서 링부재(421)와 회전자(110)사이의 마찰에 의해 역회전이 일어나는 것은 앞서 언급한 바와도 같이 접근속도와 이탈속도를 다르게 하는 등의 방법으로 해결할 수 있다.
마찰자(120)가 링부재(421)를 구비함으로써, 회전자(110)와 보다 넓은 면적에서 접촉할 수 있고, 링부재(421)의 변형에 따라 접촉면에서의 수직반력이 자연스럽게 획득되므로, 앞선 실시예들에 비해 안정적이고 강한 구동력을 획득할 수 있다.
도 11은 본 발명에 따른 미소변위 회전구동장치의 제5 실시예를 나타낸 사시도이다.
본 실시예는 제4 실시예와 동일한 구성을 가지는 이외에, 제4 실시예의 마찰 자(120), 구동자(140), 압박부재(150) 및 고정블럭(130)과 동일한 구성을 한 벌 더 구비하고 있다. 즉, 앞서 언급한 바와 같은 단위 구동장치를 두 벌 구비하고 있는데, 이 두 벌의 단위 구동장치는 각각 회전자(110)를 서로 반대되는 방향으로 구동시키기 위한 것이다. 따라서 추가된 한 벌의 단위 구동장치는 마찰자의 링부재를 기존의 단위 구동장치의 마찰자의 링부재와 동일축선 상에서 직렬로 배치하고, 구동자, 압박부재 및 고정블럭을 기존의 단위 구동장치의 각 부분들과 선대칭되도록 배치하여 구성한다. 즉, 제1 마찰자(521)를 포함한 기존의 단위 구동장치가 회전자(110)를 시계방향으로 회전시키기 위한 것이라면, 제2 마찰자(522)를 포함한 추가의 단위 구동장치는 회전자(110)를 반시계방향으로 회전시키기 위한 것이 된다. 제4 실시예서는 앞선 제1 실시예와 마찬가지로 구동자에 인가되는 전압을 특별히 제어하지 않는 한 회전자(110)를 일방향으로만 연속하여 회전시킬 수 있으나, 본 실시예는 제3 실시예에서 설명한 바와 같이 인가 전압을 제어하기 위한 별도의 장비 없이도 회전자(110)를 양방향 중 선택된 임의의 일방향으로 연속 회전시킬 수 있다.
도 8 및 도 11에는 도시하지 않았으나, 앞선 실시예들의 압박부재(150)와 같은 구성을 더 포함할 수도 있다. 압박부재가 구비되면, 빔부재를 구동자 측으로 밀어줌으로써 복원력을 보완하여 장치가 더욱 원활히 작동할 수 있게 해준다.
또한 도 8 및 도 11에는 빔부재(422)의 한쪽 끝단이 모두 고정블럭(130)에 고정된 것으로 도시하였으나, 앞선 실시예들의 마찰자와 같이 그 끝단이 고정블럭(130)에 회동가능하도록 고정되게 할 수도 있다. 다만 앞선 실시예들의 마찰 자(120)와의 차이점은, 본 실시예의 빔부재(422)의 한쪽 끝단이 고정블럭(130)에 고정되어 있더라도 링부재(421)가 탄성변형되는 재질이므로, 빔부재(422)가 반드시 탄성변형되는 재질일 필요는 없다는 점이다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
이상에서 설명한 바와같이 본 발명에 따른 미소변위 회전구동장치에 의하면, 마찰자를 매개로 하여 병진기인 구동자로부터의 구동력을 회전자로 전달하므로, 구동자로서 압축형 압전소자를 사용할 수 있고, 강력한 회전력을 확보할 수 있다. 또한 회전자의 외주면에 접촉하여 마찰력에 의해 회전시키는 새로운 구조를 가지므로 안정적인 회전력을 확보할 수 있을 뿐더러, 회전자를 연속적으로 회전시킬 수도 있다.

Claims (13)

  1. 베이스플레이트와,
    상기 베이스플레이트에 수직한 축을 중심으로 회전가능하도록 상기 베이스플레이트에 설치된 디스크 형상의 회전자와,
    외력에 의해 가동되면 그 일부분이 상기 회전자의 외주면과 접촉할 수 있는 간격을 두고 상기 회전자의 외주면과 이격되도록 상기 베이스플레이트에 설치된 마찰자와,
    상기 마찰자를 가동시켜 상기 마찰자가 상기 회전자와 단속적으로 접촉하여 마찰력에 의해 상기 회전자를 회전시키도록 하는 구동자를 포함하며,
    상기 마찰자는, 막대 형상이고, 일단이 상기 회전자의 외주면으로부터 상기 간격만큼 이격되고 타단이 상기 베이스플레이트에 회동가능하도록 설치되고,
    상기 구동자는, 외부로부터 전압 인가 여부에 따라 팽창 또는 수축되는 압전소자를 포함하며, 상기 마찰자의 일단을 상기 회전자의 접선방향을 따라 가동시키는 것을 특징으로 하는 미소변위 회전구동장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 마찰자의 일단을 중심으로 상기 구동자와 대칭되도록 배치되어 상기 마찰자의 일단을 상기 구동자 측으로 탄성 압박하는 압박부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미소변위 회전구동장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 마찰자는, 막대 형상이며, 탄성변형되는 재질로 이루어지고, 일단이 상기 회전자의 외주면으로부터 상기 간격만큼 이격되며 타단이 상기 베이스플레이트에 고정되고,
    상기 구동자는, 상기 마찰자의 일단을 상기 회전자의 접선방향을 따라 가동시키는 것을 특징으로 하는 미소변위 회전구동장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 마찰자의 일단을 중심으로 상기 구동자와 대칭되도록 배치되어 상기 마찰자의 일단을 상기 구동자 측으로 탄성 압박하는 압박부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미소변위 회전구동장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 마찰자는, 탄성변형되는 재질로 이루어지고 내경이 상기 회전자의 외경에 비해 상기 간격만큼 크며 상기 회전자와 동심으로 배치된 링부재와, 상기 링부재의 외주면에서 반경방향으로 돌출되며 상기 링부재를 중심으로 회전대칭되는 지점에 각각 하나씩 배치된 복수의 빔부재를 포함하며,
    상기 구동자는 상기 빔부재의 수만큼 구비되고, 각각의 구동자는 상기 빔부재 각각이 상기 링부재와 접하는 부분을 상기 회전자의 접선방향을 따라 가동시키는 것을 특징으로 하는 미소변위 회전구동장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 빔부재는 상기 링부재와 접하는 부분의 반대편 단부가 상기 베이스플레이트에 회동가능하도록 설치된 것을 특징으로 하는 미소변위 회전구동장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 빔부재를 중심으로 상기 구동자와 대향하도록 배치되고, 상기 빔부재가 상기 링부재와 접하는 부분을 상기 구동자 측으로 탄성 압박하는 압박부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미소변위 회전구동장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 빔부재는 탄성변형되는 재질로 이루어지고, 상기 링부재와 접하는 부분의 반대편 단부가 상기 베이스플레이트에 고정된 것을 특징으로 하는 미소변위 회전구동장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 빔부재를 중심으로 상기 구동자와 대향하도록 배치되고, 상기 빔부재가 상기 링부재와 접하는 부분을 상기 구동자 측으로 탄성 압박하는 압박부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미소변위 회전구동장치.
  12. 베이스플레이트와,
    상기 베이스플레이트에 수직한 축을 중심으로 회전가능하도록 상기 베이스플레이트에 설치된 디스크 형상의 회전자와,
    외력에 의해 가동되면 그 일부분이 상기 회전자의 외주면과 접촉할 수 있는 간격을 두고 상기 회전자의 외주면과 이격되도록 상기 베이스플레이트에 설치된 제1 마찰자와,
    외력에 의해 가동되면 그 일부분이 상기 회전자의 외주면과 접촉할 수 있는 간격을 두고 상기 회전자의 외주면과 이격되도록 상기 베이스플레이트에 설치되되 상기 제1 마찰자와 이격되어 배치된 제2 마찰자와,
    상기 제1 마찰자를 가동시켜 상기 회전자와 단속적으로 접촉하여 마찰력에 의해 상기 회전자를 일방향으로 회전시키도록 하는 제1 구동자와,
    상기 제2 마찰자를 가동시켜 상기 회전자와 단속적으로 접촉하여 마찰력에 의해 상기 회전자를 반대방향으로 회전시키도록 하는 제2 구동자를 포함하고,
    상기 제1 마찰자는, 탄성변형되는 재질로 이루어지고 내경이 상기 회전자의 외경에 비해 상기 간격만큼 크며 상기 회전자와 동심으로 배치된 링부재와, 상기 링부재의 외주면에서 반경방향으로 돌출되며 상기 링부재를 중심으로 회전대칭되는 지점에 각각 하나씩 배치된 복수의 빔부재를 포함하며,
    상기 제2 마찰자는, 탄성변형되는 재질로 이루어지고 내경이 상기 회전자의 외경에 비해 상기 간격만큼 크며 상기 회전자와 동심으로 배치된 링부재와, 상기 링부재의 외주면에서 반경방향으로 돌출되며 상기 링부재를 중심으로 동일한 중심각을 갖는 지점에 각각 하나씩 배치된 복수의 빔부재를 포함하며, 상기 제1 마찰자와는 동일축선 상에서 직렬로 배치되고,
    상기 제1 구동자는 상기 제1 마찰자의 빔부재의 수만큼 구비되고, 각각의 제1 구동자는 상기 제1 마찰자의 빔부재 각각이 상기 링부재와 접하는 부분을 상기 회전자의 접선방향을 따라 일방향으로 가동시키고,
    상기 제2 구동자는 상기 제2 마찰자의 빔부재의 수만큼 구비되고, 각각의 제2 구동자는 상기 제2 마찰자의 빔부재 각각이 상기 링부재와 접하는 부분을 상기 회전자의 접선방향을 따라 반대방향으로 가동시키는 것을 특징으로 하는 미소변위 회전구동장치.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH05153790A (ja) * 1991-11-26 1993-06-18 Mitsubishi Electric Corp 回転微動機構
JPH1080164A (ja) 1996-09-03 1998-03-24 Minolta Co Ltd 電気機械変換素子を使用した回転型駆動装置
KR20020038566A (ko) * 1999-03-06 2002-05-23 클라인디에크 스테판 압전식 엘리먼트를 포함하는 전기기계식 구동 엘리먼트
JP2004153968A (ja) 2002-10-31 2004-05-27 Seiko Epson Corp 駆動装置、これを用いた走行体および搬送装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05153790A (ja) * 1991-11-26 1993-06-18 Mitsubishi Electric Corp 回転微動機構
JPH1080164A (ja) 1996-09-03 1998-03-24 Minolta Co Ltd 電気機械変換素子を使用した回転型駆動装置
KR20020038566A (ko) * 1999-03-06 2002-05-23 클라인디에크 스테판 압전식 엘리먼트를 포함하는 전기기계식 구동 엘리먼트
JP2004153968A (ja) 2002-10-31 2004-05-27 Seiko Epson Corp 駆動装置、これを用いた走行体および搬送装置

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