KR100751571B1 - 디스플레이 검사장치의 베이스 - Google Patents

Abstract

본 발명은 디스플레이 검사 장치의 베이스에 관한 것이다.

본 발명은 가로 축 방향으로 길게 설치되는 제1 베이스; 상기 제1 베이스의 양측에 직교하며 세로 축 방향으로 설치되며 대략적인 "╂"자 형상을 하는 적어도 한 개의 제2 베이스; 및 상기 제1,2 베이스를 결합하는 결합부재를 포함한다.

따라서, 석재로 제작되는 베이스의 구조를 개선함으로써 중량을 줄일 수 있고 그에 따라 제작을 용이하게 하며 제조 코스트를 낮출 수 있다.

베이스, 포스트 베이스, 브리지 베이스, 홈, 결합부재

Description

디스플레이 검사장치의 베이스{Base of test apparatus for display}

도 1은 디스플레이 검사장치가 설치된 일반적인 베이스의 일 예를 보인 사시도

도 2는 디스플레이 검사장치가 설치된 일반적인 베이스의 다른 예를 보인 사시도

도 3은 본 발명의 제1 실시 예를 보인 분해사시도

도 4는 본 발명의 제1 실시 예의 결합상태를 보인 사시도

도 5는 본 발명의 제1 실시 예를 다른 형태를 보인 분해 사시도

도 6은 본 발명의 제1 실시 예의 또 다른 형태를 보인 분해 사시도

도 7은 제1 실시 예의 변형된 상태를 보인 사시도

도 8의 a 내지 c는 본 발명이 적용되는 포스트 베이스에 브리지 베이스가 결합되는 상태를 보인 측면도

도 9는 본 발명의 다른 변형 예를 보인 사시도

도 10은 도 9의 또 다른 변형 예를 보인 사시도

도 11은 도 9의 또 다른 변형 예를 보인 사시도

도 12는 도 9의 또 다른 변형 예를 보인 사시도

도 13은 본 발명의 또 다른 실시 예를 보인 사시도

*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ***

10,20;제1,2 베이스 11;홈

12;관통 홀 30;결합부재

40;포스트 베이스 50;브리지 베이tm

51;가이드 홈

본 발명은 디스플레이 검사장치의 베이스에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 특히 석재로 제작되는 베이스의 구조를 개선함으로써 중량을 줄일 수 있고 그에 따라 제작을 용이하게 하며 제조 코스트를 낮출 수 있는 디스플레이 검사 장치의 베이스에 관한 것이다.

디스플레이 장치 중 가장 기초적인 CRT는 1887년 브라운이 최초로 전자관(음극선관 또는 브라운관이라고도 한다)을 발명하면서 시작하여 현재까지 다양한 장치에서 이용되고 있지만, 최근에는 LCD와 PDP라는 디스플레이 장치의 기술이 발달하여 CRT를 뒤로한 채 디스플레이 시장을 평정하며 양분할 정도로 비약적인 발전이 지속되고 있다.

상기한, LCD(Liquid Crystal Display)의 장점은 저소비 전력으로 장시간의 전지구동이 가능한 에너지 절약형이며, 저전압에서 동작하므로 직접 IC 구동이 가능하고 구동 전자회로의 소형화, 간략화가 가능하며, 소자가 얇고 또한 대형표시에서 부터 소형표시까지 가능하여 휴대형(portable)기기에 적합하다는 장점과, 수광형 표시이므로 밝은 장소에서도 표시가 선명하며 컬러화가 쉽기 때문에 표시기능의 확대, 다양화가 이루어질 수 있다는 장점이 있다.

한편, PDP(Plasma Display Panel)는 기체 방전 현상을 이용한 표시소자이므로 기체 방전(Gas Discharge Display) 소자라고도 부르는데, 이와 같은 PDP는 현재 활발히 연구되고 있는 LCD(Liquid Crystal Display), FED(Field Emission Display), ELD(Electro luminescence Display)와 같은 여러 분야의 평판형 디스플레이 중에서도, 대형화에 적합한 많은 장점을 가지고 있다.

이와 같은 PDP의 장점은, 전극간에 전압이 인가되더라도 방전 개시 전압 이하의 인가 전압에 대해서는 방전이 일어나지 않는 강한 비 선형 성을 갖는다는 점과, 이전 상태의 조건에 의해 다음 상태가 결정되는 기억 기능(Memory function)을 이용한 메모리 구동방식에 초대형의 패널에 대해서도 휘도의 저하 없이 고화질의 화상을 표현할 수 있으며, 유전막 위에 스퍼터링 특성이 좋은 MgO와 같은 보호막을 이용하여 수명을 연장시킴으로써 원리적으로는 약 10만 시간 이상의 수명 연장이 가능하며, PDP의 기판 유리로서는 일반적으로 널리 이용되는 Soda-lime glass를 사용함은 물론 보편적인 저가의 재질로써 전극, 유전막 및 격벽 등을 제조 할 수 있으므로 대량의 생산 공정 기술이 확립한다면 저가의 생산 단가로 양산될 수 있다는 등의 장점이 있다.

한편, 상기와 같은 디스플레이 장치는 최근 들어 40인치 이상은 이미 널리 보급되고 점차 크기가 확대되어 70인치 이상의 제품도 생산되고 있지만 이들은 공통적으로 고정밀도를 요구하는 제품이므로 상술한 디스플레이 장치뿐만 아니라 집약된 반도체 칩이나 웨이퍼 등을 별도의 검사장비로 검사한 후 제품의 출시가능 여부 및 불량 여부를 판단한다.

이러한, 고 정밀도를 요구하는 제품들은 최종적으로는 안정적으로 고정된 베이스에서 조금의 흔들림이 발생되지 않고 가로 축, 세로 축 방향으로 이동되는 촬영장치에 의해 제품의 최종적인(또는 단계적인 부품의 제조 공정 중) 이상 유무를 검사 받게 된다.

도 1에는 이러한 디스플레이 장치인 LCD나 PDP 또는 반도체 장치를 검사하기 위한 검사장치의 일 예를 보인 사시도가 도시되어 있다.

도면에 표현된 바와 같이, 디스플레이 검사장치는 평탄하게 제작된 기판(100)의 상측 각 코너 부분에 수직 방향으로 수직 프레임(200)이 설치된다.

또 상기 수직 프레임(200)을 매개로 그 상측에는 수평 프레임(300)이 가로질러 설치된다.

상기 기판(100)의 상방 양측에는 가로 축 방향 이동 장치(400)가 설치되고, 상기 수평 프레임(300)에는 세로 축 방향으로 이동하는 검사장치(500)가 설치된다.

물론, 이동 장치(400)에는 가로 축 방향으로 이동을 위한 여러 가지 기계 및 전자 부품이 장착되고, 검사장치(500)에는 카메라와 그 카메라를 이동시키기 위한 기계 및 전자 부품이 장착되며, 검사 결과를 디스플레이하는 디스플레이 장치 등이 구비되고, 기판의 하측에는 방진 및 방음을 위한 장치가 설치되는데 이러한 구성요소는 후술하는 본 발명의 목적과 무관하므로 이에 대한 별도의 설명은 생략한다.

즉, 검사장치(500)의 카메라는 예를 들어 PDP의 격벽과 격벽 사이의 배열 또는 R,G,B 형광체의 적절한 도포 및 유전 층 등을 정밀하게 검사하게 되는데 이러한 기능 역시 본 발명의 목적과 무관하므로 별도의 설명은 생략한다.

한편, 상기한 구성 요소 중 기판(100)과 수직 프레임(200)은 피 측정대상물을 초 정밀하게 검사해야 하므로 정밀도를 기하기 위해 열에 의해 변형되거나 수축되는 금속 재질을 기피하며 환경 변화의 영향을 조금도 받지 않는 자연석(화강석)으로 제조되는데 그에 따라 다음과 같은 문제점이 발생되었다.

즉, 기판(100)을 제조하기 위해서는 자연석을 가공하여 상, 하면이 평탄한 기판(100)으로 제조해야 하므로 가공에 따른 제조가격이 상승되는 문제점이 있었다.

뿐만 아니라 자연석을 가공하여 예를 들어 일정한 면적과 형상을 갖는 사각 형상의 기판(100)을 제조하기 위해 버려지는 부분이 상대적으로 과다하여 재료 가격에 비해 손실되는 가격이 클 정도의 문제점도 있었다.

또 상기한 기판(100)을 제조하기 위해서는 평판형으로 가공된 원석을 운반한 후 특정된 장소에서 설정된 형상으로 절단하며 제작해야 하는데, 재질이 자연석인 관계로 중량이 무거워 운반 및 가공이 용이하지 않았을 뿐만 아니라 수직 프레임(200)과 수평 프레임(300) 역시 같은 재질의 석재로 제작해야 하므로 완제품을 제 작했을 경우에도 중량에 대한 부담감과 제조 코스트가 상승된다는 근본적인 문제점은 해결되지 않고 있는 실정이다.

한편, 상기와 같이 기판(100)을 제조하기 위해 평탄한 직육면체 형상으로 가공된 상태에서 수입되는 원석의 무게는 그 중량이 대략 15톤 정도이므로, 가공하고자 하는 장소로 옮기기 위한 운반공정도 어려웠고, 또 가공된 기판을 피 설치장소에 설치하기 위해 옮기는 또 다른 수송공정도 어려웠으므로 다양한 종류의 중장비에 의존해야 했고, 그에 따라 불필요한 경비가 다량 소요되므로 제품 가격을 상승시키게 되는 또 다른 문제점도 야기되었다.

따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제, 즉 본 발명의 목적은, 종래와 같은 디스플레이 검사장치의 베이스에서 특히 석재로 제작되는 베이스의 구조를 개선함으로써 중량을 줄일 수 있는 디스플레이 검사 장치의 베이스를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 디스플레이 검사장치의 베이스 구조를 개선하여 중량을 줄임은 물론, 제작을 용이하게 하고 그에 따라 제조 코스트를 낮출 수 있는 디스플레이 검사 장치의 베이스를 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 디스플레이 검사장치의 베이스 구조를 개선하여 평판 형상으로 제작된 단일의 자연석을 가공하여 단일의 베이스를 제조하지 않고, 다수개의 부품으로 제조한 후 여러 개의 디스플레이 검사 장치의 베이스를 제작함 으로써 자연석의 손실을 방지하고 그에 따라 공급가를 낮출 수 있는 디스플레이 검사 장치의 베이스를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은, 기판을 제조하기 위해 수입되는 원석의 무게를 줄일 수 있으므로 운반 및 수송공정을 용이하게 하여 불필요한 경비를 줄이고 그에 따라 제품가격을 낮출 수 있는 디스플레이 검사장치의 베이스를 제공하는데 있다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 가로 축 방향으로 길게 설치되는 제1 베이스; 상기 제1 베이스의 양측에 직교하며 세로 축 방향으로 설치되는 적어도 한 쌍의 제2 베이스; 및 상기 제1,2 베이스를 결합하는 결합부재를 포함하는 디스플레이 검사 장치의 베이스를 제공한다.

제1 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 제1 베이스는 상, 하측 면에 무게를 줄이기 위한 적어도 한 개 이상의 관통 홀이 형성된 것이 바람직하다.

제1 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 제1 베이스의 길이방향에 대해 폭 방향 양측 면 중 적어도 어느 일 측면에는 홈이 형성되고, 상기 제2 베이스는 그 일 측면이 상기 홈에 끼워져 결합되는 것이 바람직하다.

제1 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 제1 베이스의 폭 방향 상, 하 어느 일 측면은 절삭되어 홈을 형성하고, 상기 홈에는 상, 하 어느 일 측면이 상응하여 절삭되며 홈을 형성한 제2 베이스가 끼워 맞춰진 것이 바람직하다.

제1 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 제2 베이스는 상기 제1 베이스의 길이방향 중앙부에 배치되거나 어느 일 측으로 치우치게 장착된 것이 바람직하다.

제1 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 제2 베이스의 양측 면에는 결합부재에 의해 포스트 베이스가 수직 방향으로 돌출되게 구비된 것이 바람직하다.

제1 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 포스트 베이스는 제2 베이스의 양측 면에 대해 끼워 맞춤식으로 결합되는 것이 바람직하다.

제1 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 포스트 베이스의 상측에는 세로 축 방향으로 브리지 베이스가 연결 설치된 것이 바람직하다.

제1 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 브리지 베이스는 상기 포스트 베이스의 상측에 대해 끼워 맞춤식으로 결합된 후 결합부재에 의해 고정된 것이 바람직하다.

제1 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 브리지 베이스는 일 측 또는 상측 중 적어도 어느 일 방향에 길이 방향으로 검사장비가 장착되어 활주되는 가이드 홈이 형성된 것이 바람직하다.

제1 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 브리지 베이스의 길이 방향에 대해 중앙부의 높이(L)는 양단 부의 높이(l)에 비해 1-20 미크론 정도 높게 형성된 것이 바람직하다.

제1 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 제1,2 베이스와 상기 포스트 베이스 그리고 상기 브리지 베이스의 적어도 어느 하나는 석재로 구비된 것이 바람직하다.

본 발명의 제2 실시 예는, 가로 축 방향으로 길게 설치되는 제1 베이스; 및 상기 제1 베이스의 양측에 직교하며 세로 축 방향이 형성되도록 제1 베이스의 양측에서 연장 형성된 적어도 한 쌍의 제2 베이스로 구비된 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 장치의 베이스를 제공한다.

제2 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 제1 베이스는 상, 하측 면에는 무게를 줄이기 위한 적어도 한 개 이상의 관통 홀이 형성된 것이 바람직하다.

제2 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 제2 베이스의 양측 면에는 홈(또는 돌기)이 형성되고, 상기 제2 베이스의 홈(또는 돌기)에는 결합부재에 의해 포스트 베이스가 수직 방향으로 돌출되게 구비된 것이 바람직하다.

제2 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 포스트 베이스의 상측에는 세로 축 방향으로 브리지 베이스가 연결 설치된 것이 바람직하다.

제2 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 브리지 베이스는 상기 포스트 베이스의 상측에 대해 끼워 맞춤식으로 결합된 후 결합부재에 의해 고정된 것이 바람직하다.

제2 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 제2 베이스는 상기 제1 베이스의 길이방향 중앙부에 배치되거나 어느 일 측으로 치우치게 장착된 것이 바람직하다.

제2 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 브리지 베이스는 일 측 또는 상측 중 적어도 어느 일 방향에 길이 방향으로 검사장비가 장착되어 활주되는 가이드 홈이 형성된 것이 바람직하다.

제2 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 브리지 베이스의 길이 방향에 대해 중앙부의 높이(L)는 양단 부의 높이(l)에 비해 1-20 미크론 정도 높게 형성된 것이 바람직하다.

제2 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 제1,2 베이스와 상기 포스트 베이스 그리고 상기 브리지 베이스의 적어도 어느 하나는 석재로 구비된 것이 바람직하다.

이하에서는 상기의 목적을 달성하는 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

설명의 편의를 위해 종래와 동일한 부분, 부재에 대해서는 종래와 동일한 부호를 부여하여 설명한다.

도 3에는 본 발명의 제1 실시 예를 보인 사시도가 도시되어 있고, 도 4 내지 도 12에는 제1 실시 예의 변형 가능한 구성 예를 보인 예시도가 각각 도시되어 있으며, 도 13에는 본 발명의 제2 실시 예를 보인 사시도가 도시되어 있다.

부연하면, 본 발명의 상측에는 종래의 기술에서 상세히 설명한 바와 같이 다수의 이동장치 및 검사장치가 설치되는데, 이러한 부품들은 본 발명의 특징과 무관하므로 별도의 설명은 생략하고 본 발명의 특징부인 베이스의 구조에 대해서만 한정하여 설명한다.

이에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 디스플레이 검사 장치의 베이스는 가로 축 방향으로 길게 설치되는 제1 베이스(10)와, 상기 제1 베이스(10)의 양측에 직교하며 세로 축 방향으로 설치되는 적어도 한 쌍의 제2 베이스(20) 및 상기 제1,2 베이스(10)(20)를 결합하는 결합부재(30)를 포함한다.

바람직하게는, 상기 제1 베이스(10)는 그 상측면 또는 하측면에 길이 방향으로 홈(11)을 절삭함으로써 무게를 줄일 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

이를 위해서는 상기 제1,2 베이스(10)(20)를 일체로 결합하기 위한 별도의 볼트 구멍을 형성한 후 그 볼트 구멍에 볼트를 이용하여 장착하거나 또는 별도의 패킹물을 장착한 후 그 내측에 볼트를 결합할 수 있다.(도 3 내지 도 7 참조)

본 발명의 목적, 즉 디스플레이 검사 장치의 베이스 무게를 경감시키기 위해서는, 상기 제1 베이스(10)는 상, 하측 면에 무게를 줄이기 위한 적어도 한 개 이상의 관통 홀(12)이 형성된 것이 바람직하다.

제1 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 제1 베이스(10)의 길이방향에 대해 폭 방향 양측 면 중 적어도 어느 일 측면에는 홈(11)이 형성되고, 상기 제2 베이스(20)는 그 일 측면이 상기 홈(11)에 끼워져 결합되는 것이 바람직하다.(도 4 참조)

제1 실시 예를 효과적으로 구현하기 위해서는, 상기 제1 베이스(10)의 폭 방향 상, 하 어느 일 측면은 절삭되어 홈(11)을 형성하고, 상기 홈(11)에는 상, 하 어느 일 측면이 상응하여 절삭되며 홈(11)을 형성한 제2 베이스(20)가 끼워 맞춰진 것이 바람직하다.(도 5 참조)

도 4와 도 5를 참조하여 형성된 홈(11)은 제1 베이스(10)에 대해 단일의 제2 베이스(20) 또는 분리된 제2 베이스(20)를 효과적으로 끼워 맞추기 위한 기능을 하며 재질의 특성상 무게를 줄이게 되는 기능을 한다.

한편, 일체로 구성되거나 두 개로 분리 구성된 상기 제2 베이스(20)는 상기 제1 베이스(10)의 길이방향 중앙부에 배치되거나 어느 일 측으로 치우치게 장착될 수 있다.

그리고 상기 제2 베이스(20)의 양측 면에는 결합부재(30)에 의해 포스트 베이스(40)가 수직 방향으로 돌출하며 구비되는데 상기 포스트 베이스(40)는 제2 베이스(20)의 양측 면에 대해 면 접촉하며 장착되거나 또는 상술했던 바와 같이 제2 베이스(20)의 일측면과 그 제2 베이스(20)에 대해 면 접촉되는 포스트 베이스(40)의 접촉면에 홈 또는 돌기를 가공함으로써 끼워 맞춤식으로 결합되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 포스트 베이스(40)의 상측에는 세로 축 방향으로 브리지 베이스(50)가 연결 설치된다.

상기 브리지 베이스(50)는 상기 포스트 베이스(40)의 상측에 대해 끼워 맞춤식으로 결합된 후 결합부재에 의해 고정되거나, 포스트 베이스(40)의 평탄한 상단면과 일치하며 면 접촉되도록 적어도 부분적으로 또는 하측면이 평탄하게 제작된 후 결합부재에 의해 고정될 수도 있다.(도 8의 a 내지 c 참조)

상기 브리지 베이스(50)의 일측 또는 상측 중 적어도 어느 일 방향에는 브리지 베이스(50)의 길이 방향으로 가이드 홈(51)이 형성되고, 그 가이드 홈(51)에는 종래의 기술에서 설명했던 바와 같은 통상적인 검사장비의 어셈블리가 설치된 후 활주될 것이다.

이를 위해서는 상기 가이드 홈(51)은 브리지 베이스(50)의 상측 면에 형성되는 것이 보다 효과적이다.

또 상기 브리지 베이스(50)의 길이 방향에 대해 중앙부의 높이(L)는 양단 부의 높이(l)에 비해 1-20 미크론 정도 높게 형성된 것이 바람직하다.

상기와 같이 브리지 베이스(50)의 중앙 부 높이를 한정하는 이유는, 종래의 기술에서 상세히 설명했던 바와 같이 그 브리지 베이스(50)에 형성된 가이드 홈(51)에 검사장치의 어셈블리가 설치된 상태에서 장시간 브리지 베이스(50)를 매개로 검사장치의 어셈블 리가 동작되며 발생하는 하중에 의해 중앙부분이 하측으로 치우치게 되는 것을 보상하기 위함이다.

물론, 상기와 같이 다양하게 제안되고 있는 제1,2 베이스(10)(20)와 상기 포스트 베이스(40) 그리고 상기 브리지 베이스(50)의 적어도 어느 하나는 석재로 구비될 것이다.

도 13에는 본 발명의 제2 실시 예를 보인 사시도가 도시되어 있다.

도면에 표현된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시 예는 가로 축 방향으로 길게 설치되는 제1 베이스(10)와 상기 제1 베이스(10)의 양측에 직교하며 세로 축 방향이 형성되도록 제1 베이스(10)의 양측에서 일체로 연장 설치된 적어도 한 쌍의 제2 베이스(20)가 구비된다는 점이다.

물론, 상기 제2 실시 예에 있어서도, 상기 제1 베이스(100는 상, 하측 면에는 무게를 줄이기 위한 적어도 한 개 이상의 관통 홀(12)이 형성될 것이며, 이하의 구성은 제1 실시 에에서 상세히 설명한 바와 대동소이하므로 이에 대한 중복 설명은 생략한다.

한편, 상기한 제1,2 실시 예를 다양하게 제안하고 있는 근본적인 목적은 각 베이스의 형상과 구조를 개선함으로써 본 발명의 근본적인 목적인 무게를 줄이고, 부피를 축소시키기 위함이다.

또한, 상기한 제1,2 실시 예는 평판형상으로 제공되고 있는 석재를 다양하게 가공함으로써 석재의 낭비를 방지하고, 사용 효율을 극대화시킴은 물론 그에 따라 제품의 설치 및 운반을 용이하게 하면서도 그 근본적인 기능은 충분히 수행할 수 있도록 하기 위함이다.

이와 같이, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 디스플레이 검사장치 의 베이스에서 특히 석재로 제작되는 베이스의 구조를 개선함으로써 중량을 줄일 수 있는 효과가 있다.

또 본 발명은 디스플레이 검사장치의 베이스 구조를 개선하여 중량을 줄임은 물론, 제작을 용이하게 하고 그에 따라 제조 코스트를 낮출 수 있는 효과도 있다.

또한 본 발명은 디스플레이 검사장치의 베이스 구조를 개선하여 평판 형상으로 제작된 단일의 자연석을 가공하여 단일의 베이스를 제조하지 않고, 다수개의 부품으로 제조한 후 여러 개의 디스플레이 검사 장치의 베이스를 제작함으로써 자연석의 손실을 방지하고 그에 따라 공급가를 낮출 수 있는 효과도 있다.

또한 본 발명은, 기판을 제조하기 위해 수입되는 원석의 무게를 줄일 수 있으므로 운반 및 수송공정을 용이하게 하여 불필요한 경비를 줄이고 그에 따라 제품가격을 낮출 수 있는 효과도 있다.

Claims (21)

1. 상, 하측 면에는 무게를 줄이기 위한 한 개 이상의 관통 홀이 형성되고 피검사품인 디스플레이가 길이방향으로 놓이는 제1 베이스;

   상기 제1베이스와 직교 되고 상기 제1베이스의 양측에 설치되고 피검사품인 디스플레이가 폭 방향으로 설치되는 한 쌍의 제2 베이스; 및

   상기 제1,2 베이스가 맞닿는 상태에서 제1, 2 베이스를 일체로 결합하는 결합부재를 포함하는 디스플레이 검사 장치의 베이스.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 제1 베이스의 길이방향에 대해 폭 방향 양측 면 중 어느 일 측면에는 홈이 형성되고, 상기 제2 베이스는 그 일 측면이 상기 홈에 끼워져 결합되는 것을 포함하는 디스플레이 검사장치의 베이스.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 제1 베이스의 폭 방향 상, 하 어느 일 측면은 절삭되어 홈을 형성하고, 상기 홈에는 상, 하 어느 일 측면이 상응하여 절삭되며 홈을 형성한 제2 베이스가 끼워 맞춰진 것을 더 포함하는 디스플레이 검사 장치의 베이스.
5. 삭제
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 제2 베이스의 양측 면에는 결합부재에 의해 포스트 베이스가 수직 방향으로 돌출되게 구비되고,

   상기 포스트 베이스는 상기 제2 베이스의 양측 면에 대해 끼워 맞춤식으로 결합되는 것을 더 포함하는 디스플레이 검사 장치의 베이스.
7. 삭제
8. 제 6 항에 있어서,

   상기 포스트 베이스의 상측에는 세로 축 방향으로 브리지 베이스가 연결 설치된 것을 더 포함하는 디스플레이 검사 장치의 베이스.
9. 제 8 항에 있어서,

   상기 브리지 베이스는 상기 포스트 베이스의 상측에 대해 끼워 맞춤식으로 결합된 후 결합부재에 의해 고정된 것을 포함하는 디스플레이 검사 장치의 베이스.
10. 제 9 항에 있어서,

    상기 브리지 베이스는 일 측 또는 상측 중 어느 일 방향에 길이 방향으로 검사장비가 장착되어 활주되는 가이드 홈이 형성된 것을 더 포함하는 디스플레이 검사 장치의 베이스.
11. 제 9 항에 있어서,

    상기 브리지 베이스의 길이 방향에 대해 중앙부의 높이(L)는 양단 부의 높이(l)에 비해 1-20 미크론 높게 형성된 것을 더 포함하는 디스플레이 검사 장치의 베이스.
12. 제 8 항에 있어서,

    상기 제1,2 베이스와 상기 포스트 베이스 그리고 상기 브리지 베이스 중에 어느 하나는 석재로 구비된 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 장치의 베이스.
13. 상, 하측 면에는 무게를 줄이기 위한 한 개 이상의 관통 홀이 형성되고 가로 축 방향으로 길게 설치되는 제1 베이스; 및

    상기 제1베이스와 직교 되고 상기 제1베이스의 양측에 설치되며 세로 축 방향이 형성되도록 제1 베이스의 양측에서 연장 형성된 한 쌍의 제2 베이스로 구비된 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 장치의 베이스.
14. 삭제
15. 제 13 항에 있어서,

    상기 제2 베이스의 양측 면에는 홈(또는 돌기)이 형성되고, 상기 제2 베이스의 홈(또는 돌기)에는 결합부재에 의해 포스트 베이스가 수직 방향으로 돌출되게 구비된 것을 더 포함하는 디스플레이 검사 장치의 베이스.
16. 제 15 항에 있어서,

    상기 포스트 베이스의 상측에는 세로 축 방향으로 브리지 베이스가 연결 설치된 것을 더 포함하는 디스플레이 검사 장치의 베이스.
17. 제 16 항에 있어서,

    상기 브리지 베이스는 상기 포스트 베이스의 상측에 대해 끼워 맞춤식으로 결합된 후 결합부재에 의해 고정된 것을 포함하는 디스플레이 검사 장치의 베이스.
18. 삭제
19. 제 17 항에 있어서,

    상기 브리지 베이스는 일 측 또는 상측 중에 어느 일 방향에 길이 방향으로 검사장비가 장착되어 활주되는 가이드 홈이 형성된 것을 더 포함하는 디스플레이 검사 장치의 베이스.
20. 제 17 항에 있어서,

    상기 브리지 베이스의 길이 방향에 대해 중앙부의 높이(L)는 양단 부의 높이(l)에 비해 1-20 미크론 정도 높게 형성된 것을 더 포함하는 디스플레이 검사 장치의 베이스.
21. 제 17 항에 있어서,

    상기 제1,2 베이스와 상기 포스트 베이스 그리고 상기 브리지 베이스 중에 어느 하나는 석재로 구비된 것을 특징으로 하는 디스플레이 검사 장치의 베이스.

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