KR100748860B1 - 광학 헤드, 광기록 재생 장치 및 집적 광 모듈 - Google Patents

광학 헤드, 광기록 재생 장치 및 집적 광 모듈 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 광학 헤드는 광디스크를 향해 레이저광을 방사하고, 광디스크로부터 복귀광을 검출하는 광이미터/검출기(light emitter/detector)와, 레이저광을 3개의 빔들로 분리하는 회절 격자(diffraction grating)와, 레이저광을 상기 광디스크의 기록면에 집광시키는 집광용 광학 시스템(light converging optical system)을 포함한다. 상기 회절 격자에는 복수의 슬릿들이 형성되고, 상기 슬릿들의 깊이는, 제1 광빔이 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이, 제1 광빔보다 단파장인 제2 광빔이 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율보다 크도록 선택된다.
회절 격자, 광학 헤드, 제1 광빔, 슬릿, 광이미터/검출기, 집광용 광학 시스템

Description

광학 헤드, 광기록 재생 장치 및 집적 광 모듈{OPTICAL HEAD, OPTICAL RECORDING AND/OR REPRODUCING APPARATUS AND INTEGRATED OPTICAL MODULE}
도 1은 본 발명에 따른 광학 헤드의 실시예의 개략도.
도 2는 도 1의 광학 헤드의 집적 광 모듈의 개략도.
도 3은 도 1의 광학 헤드의 회절 격자에 형성된 슬릿의 예를 도시한 개략도.
도 4는 광 회절 효율성과 도 3의 회절 격자의 슬릿 깊이 사이의 관계를 도시한 도면.
도 5는 도 2의 광검출기의 개략도.
도 6은 본 발명에 따른 광기록 재생 장치의 실시예를 도시한 블록도.
도 7은 종래의 회절 격자에 형성된 슬릿의 예를 도시한 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
30 : 회절 격자 a : 슬릿 주기(a)
D : 슬릿 깊이 λm : 파장
102 : 광학 헤드 2 : 광디스크
3 : 집적 광 모듈 11 : 제1 광이미터
본 발명은 레이저광을 광디스크에 방사함으로써 광디스크로부터 정보를 판독하는데 적합한 광학 헤드 및 상기 광학 헤드를 구비한 광기록 재생 장치에 관한 것이다.
도 7에는 종래의 회절 격자가 도시된다. 상기 회절 격자는 전체가 도면 부호 30으로 나타내어진다. 회절 격자(30)에는 깊이(D)와 주기(a)를 가진 복수의 슬릿들이 형성된다. 광이 입사되는 회절 격자(30)의 매질 굴절률을 n0로 하고, 광이 출사하는 회절 격자(30)의 매질 굴절률을 n1로 하며, 슬릿 깊이(D)가 회절 격자(30)의 슬릿 주기(a)보다 충분히 작고(a>>D), 슬릿 주기(a)가 회절 격자(30)에 입사된 레이저광의 파장(λ)보다 충분히 크다면, 회절 격자의 설계는 후술하는 스칼라 이론(scalar theory)에 근사화한다. 스칼라 이론 근사화에 기초한 계산에 의해, 회절 격자(30)의 0차 광의 회절 효율 즉, 입사광과 0차 광 간의 강도의 비는 [수학식1]에 의해 표시된다.
Figure 112005037612873-pat00020
회절 격자(30)의 1차 광의 회절 효율은 [수학식2]에 의해 표시된다.
Figure 112000014546846-pat00002
이 회절 격자(30)를 구비하고, 회절 격자(30)에 의해 레이저광을 3빔들로 분리하여, 3빔법에 의해 트래킹 서보 제어(tracking servo control)를 실행하는 종래의 광학 헤드 및 이 광학 헤드를 사용한 종래의 광기록 재생 장치에 대하여, 회절 격자(30)의 슬릿 깊이(D)는 [수학식1]과 [수학식2]가 하기의 [수학식3]을 만족시키도록 선택된다.
Figure 112000014546846-pat00003
파장이 서로 다른 복수의 레이저빔들을 이용한 광학 헤드 및 광기록 재생 장치에 있어서, 파장이 다른 2개의 레이저빔들(λm과λn 및 λm<λn)이 지나는 공통 장소에 회절 격자(30)를 배치하기 위해, [수학식3]에 기초하여 회절 격자(30)의 슬릿 깊이(D)가 선택된다면, 파장(λm)을 갖는 레이저빔의 1차 광의 회절 효율이 파장(λn)을 갖는 레이저빔의 1차 광의 회절 효율보다 크다.
그래서, 파장(λn)의 레이저광의 트래킹 서보 제어에 대하여는, 3빔법을 채택하도록 레이저빔이 3개의 빔들로 분리되고, 파장(λm) 레이저광의 트래킹 서보 제어에 대해서는 3빔법 이외의 방법을 채택한다. 특히, 파장(λn)을 가진 레이저광의 0차 광, 1차 광 및 -1차 광을 사용하고, 파장(λm)을 가진 광빔의 0차 광만을 사용할 때, 파장(λm)의 레이저광이 회절되어 광 전력 이용 효율의 악화를 초래한다. 또한, 파장(λm)의 레이저광으로부터 불필요한 회절광이 발생하여, 미광(stray light)을 증가시킨다.
따라서, 본 발명의 목적은 종래 기술의 상기한 문제를 회피하는 광학 헤드를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 광 전력 이용 효율(light power utilization efficiency)을 향상시켜 미광(stray light)을 저감한 광학 헤드를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 상기 광학 헤드를 포함하는 광기록 재생 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 여러 다른 목적들, 이점들 및 이점들은 이하의 상세한 설명으로부터 쉽게 분명해질 것이며, 신규의 특성들은 첨부된 청구범위에서 특별히 지적된다.
상기 목적은, 적어도 트래킹 에러 신호를 검출하기 위해, 정보가 광학적으로 기록된 광디스크의 기록면을 향해 레이저광을 방사하고, 광디스크의 기록면에서 반사된 레이저광의 복귀광 성분을 검출하는 광이미터/검출기를 포함하는 광학 헤드를 제공함으로써 달성될 수 있다. 또한, 광학 헤드는 광이미터/검출기와 광디스크 사이에 제공되어, 상기 광이미터/검출기로부터 방사된 레이저광을 적어도 3개의 빔들로 분리하는 회절 격자와, 회절 격자와 광디스크 사이에 제공되어, 상기 회절 격자에 의해 분리된 광을 광디스크의 기록면에 집광시키는 집광용 광학 시스템을 포함한다.
본 발명에 따른 광학 헤드의 광이미터/검출기는, 제1 광빔을 방사하는 제1 광원과, 상기 제1 광빔보다 단파장인 제2 광빔을 방사하는 제2 광원을 포함한다. 또한, 회절 격자는 복수의 슬릿들로 형성되고, 상기 슬릿들의 깊이는, 제1 광빔이 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이, 제2 광빔이 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율보다 크도록 선택된다.
본 발명에 따른 상술한 광학 헤드에서, 회절 격자의 슬릿 깊이가, 제1 광빔이 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이, 제2 광빔이 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율보다 크도록 선택되기 때문에, 제1 광빔은 회절 격자에 의해 분리되더라도, 상기 제2 광빔은 거의 분리되지 않는다. 따라서, 이 광학 헤드에서, 제2 광빔의 미광이 저감되고, 광 전력 이용 효율이 향상될 수 있다.
또한, 상기 목적은 정보가 기록된 광디스크를 회전하는 수단과, 상기 광디스크의 기록면을 향해 레이저광을 방사하여 광디스크로부터 복귀광을 검출하는 광학 헤드와, 상기 광학 헤드에 의해 검출된 신호를 처리하는 신호 처리 회로를 포함하는 광기록 재생 장치를 제공함으로써 달성될 수 있다.
광기록 재생 장치에 포함된 광학 헤드는, 적어도 트래킹 에러 신호를 검출하기 위해, 정보가 기록된 광디스크의 기록면을 향해 레이저광을 방사하고, 상기 광디스크의 기록면에서 반사된 레이저광의 복귀광 성분을 검출하는 광이미터/검출기를 포함한다. 회절 격자는 광이미터/검출기와 광학 헤드 사이에 제공되어, 광이미터/검출기로부터 방사된 레이저광을 적어도 3개의 빔들로 분리하고, 집광용 광학 시스템은 회절 격자와 광디스크 사이에 제공되어, 회절 격자에 의해 분리된 광을 광디스크의 기록면에 집광시킨다. 광이미터/검출기는 제1 광빔을 방사하는 제1 광원과, 상기 제1 광빔보다 단파장인 제2 광빔을 방사하는 제2 광원을 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 상기 광기록 재생 장치에서, 회절 격자는 복수의 슬릿들로 형성되고, 상기 슬릿들의 깊이는, 제1 광빔이 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이, 제2 광빔이 회절 격자에 입사될 때의 1차 광의 회절 효율보다 크도록 선택된다.
본 발명에 따른 상기 광기록 재생 장치에서, 회절 격자는 복수의 슬릿들로 형성되고, 상기 슬릿들의 깊이가, 제1 광빔이 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이, 제2 광빔이 회절 격자에 입사될 때의 1차 광의 회절 효율보다 크도록 선택되기 때문에, 제1 광빔은 회절 격자에 의해 분리되더라도, 제2 광빔은 거의 분리되지 않는다. 따라서, 이 광학 헤드에서, 제2 광빔의 미광이 저감되고, 광 전력 이용 효율이 향상될 수 있다.
본 발명의 상기 목적 및 다른 목적, 특징 및 이점은 수반하는 도면과 연관될 때 본 발명의 바람직한 실시예의 이하의 상세한 설명으로부터 보다 분명해질 것이며, 동일한 도면 부호들은 몇몇의 도면에서 유사한 특징들을 나타낸다.
도 1에는 본 발명에 따른 광학 헤드의 바람직한 실시예가 도시된다. 광학 헤드는 일반적으로 도면 부호 1로 나타내어진다. 광학 헤드(1)는 광디스크(2)로부터 정보를 판독하고, 집적 광 모듈(3), 콜리메이터 렌즈(collimator lens; 4), 대물 렌즈(5)를 포함한다. 본 예에서, 광디스크(2)는 CD(Compact disc)와 DVD(Digital Video or Versatile Disc)를 포함하는 것으로 한다. 즉, 광학 헤드(1)는 다른 유형의 광디스크(2)와 호환가능하며, 다른 파형들의 레이저빔을 이용하여 광디스크들(2)로부터 각각 정보를 판독한다.
집적 광 모듈(3)은 광이미터, 광검출기, 반도체 기술을 이용한 프리즘(prism)을 집적함으로써 형성된다. 도 2는 도 1의 광학 헤드(1)의 집적 광 모듈(3)의 바람직한 실시예를 도시한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 집적 광 모듈(3)은 실리콘 기판(10), 상기 실리콘 기판(10)상에 배치된 제1 및 제 2 광이미터들(11, 12), 상기 실리콘 기판(10)상에 배치된 광검출기(13) 및 패키지(14), 상기 패키지(14)상에 배치된 프리즘(15) 및 상기 프리즘(15)상에 배치된 파장판(wave plate; 16)을 포함한다.
제1 및 제2 광이미터들(11, 12)은 각각 예를 들면 반도체의 재결합 발광을 이용한 반도체 레이저와 같은 광원들이다. 제1 광이미터(11)는 파장이 약 785nm이 레이저광을 방사한다. 파장이 약 785nm인 레이저광은 CD와 같은 광디스크(2)로부터 정보를 판독하는데 사용된다. 제2 광이미터(12)는 파장이 약 655nm인 레이저광을 방사한다. 파장이 약 655nm인 레이저광은 DVD와 같은 광디스크(2)로부터 정보를 판독하는데 사용된다. 제1 및 제2 광이미터들(11, 12)은 100 내지 200㎛ 정도의 간격을 두고, 광디스크(2)의 반경방향에 배치된다.
광검출기(13)는 광디스크(2)로부터 복귀광을 검출하여 신호를 검출한다. 광검출기(13)는 그들에 의해 검출된 광량에 대응하는 신호들을 제공하도록 채택된 광검출기들로 구성된다.
패키지(14)는 공동의 직사각형 실린더(hollow rectangular cylinder)의 형태로 설계된다. 패키지(14)는 제1 및 제2 광이미터들(11, 12) 및 광검출기(13)를 둘러싸도록 실리콘 기판(10)상에 배치된다.
프리즘(15)은 평행육면체의 직사각형(parallelopiped rectangular)의 형태를 하며, 패키지(14)상에 배치된다. 즉, 실리콘 기판(10)상에 배치된 제1 및 제2 광이미터(11, 12), 광검출기(13), 프리즘(15)은 패키지(14)의 공동 부분에 배치된다.
파장판(16)은 프리즘(15)상에 배치된다. 파장판(16)은 DVD용 레이저광에 1/4파장의 위상차를 주어, 레이저광의 편광 방향과 광디스크(2)상의 기록 피트 방향 사이의 관계를 랜덤으로 제공한다. 또한, 파장판(16)은 광디스크(2)로 향하는 광과 광디스크(2)로부터 되돌아오는 광의 편광을 바꾼다.
집적 광 모듈(3)은 프리즘(15)과 실리콘 기판(10) 사이에 배치된 패키지(14)를 통해 실리콘 기판(10)과 대향하는 프리즘(15)의 면상에 배치된 회절 격자(17)를 포함한다. 회절 격자(17)는 프리즘(15)과 일체로 형성된다. 회절 격자(17)는 광을 적어도 3개의 레이저빔들, 즉, 0차 광의 회절광, +1차 광의 회절광, -1차 광의 회절광으로 분리하기 위해 제1 또는 제2 광이미터들(11 또는 12)로부터 방사된 레이저광을 회절한다.
또한, 홀로그래픽 소자(18)는 파장판(16)과 대향하는 프리즘(15)의 면상에 배치된다. 홀로그래픽 소자(18)는 프리즘(15)과 일체로 형성되며, 복귀광을 2개의 빔들로 분리한다.
상술한 바와 같은 광학 헤드(1)에서, 회절 격자(17)에 형성된 슬릿들의 깊이는, 제1 광이미터(11)로부터 방사된 파장이 약 785nm인 레이저광의 1차 광의 회절 효율이, 제2 광이미터(12)로부터 방사된 파장이 약 655nm인 레이저광보다 크도록 적절히 선택된다. 여기에서 설명된 회절 격자(17)의 n차 광의 회절 효율은 회절 격자(17)에 입사하는 입사광의 강도(I)와 회절 격자(17)에 의해 회절된 n차 광의 강도(In)의 비(In/I)를 나타낸다.
CD용 레이저빔과 파장이 다른 레이저빔을 이용한 DVD용 광학 시스템을 또한 포함하는 광학 헤드의 CD용 광학 시스템에 있어서, 3빔법에 의한 트래킹 서보 제어를 하는 경우, CD용 레이저광을 3개의 빔들로 분리하는 회절 격자가 요구된다. 회절 격자는 CD용 레이저광에 대한 광 경로와 DVD용 레이저광에 대한 광 경로가 별도로 삽입되는 것이 바람직하다. 그러나, 상술한 광학 헤드(1)에서와 같이, CD용 광학 시스템 및 DVD용 광학 시스템이 집적 광 모듈(3)에 일체로 제공되면, 회절 격자는 또한 집적 광 모듈(3)에 제공되며, DVD용 레이저광은 회절 격자에 의해서 분리되는 것을 피할 수 없다.
종래의 광학 헤드에서, 회절 격자에 형성된 슬릿들의 깊이는 CD용 레이저광의 0차 광과 1차 광의 회절의 최적 효율을 위해 선택된다. 이 경우, DVD용 레이저광의 0차 광의 회절 효율은 CD용 레이저광의 0차 광의 회절 효율 및 1차 광의 회절 효율보다 낮다. DVD용 레이저광의 0차 광의 낮은 회절 효율은 DVD용 레이저광의 전력 이용 효율을 낮게 하고 미광을 증가시킨다.
레이저광의 회절 효율이 레이저광의 파장에 대응하는 주기에서 회절 격자의 슬릿 깊이에 의존하여 변하기 때문에, 파장이 다른 2개 이상의 광빔들의 회절 효율들은 회절 격자의 슬릿 깊이를 변경함으로써 동시에 최적화될 수 있다는 것이 본 발명자에 의해 발견되었다.
다음에는 스칼라 이론에 기초한 회절 격자의 회절 효율 계산에 대해서 아래에 설명한다.
광투과성 볼록 회절 격자의 회절 효율 계산
우선, 도 3에 도시한 바와 같이 여기에서 형성된 슬릿들을 가진 광투과성 볼록 유형의 회절 격자를 생각한다. 회절 격자에 형성된 슬릿들의 깊이는 D이고, 슬릿 주기는 a라고 한다. 또한, 광이 입사하는 회절 격자의 매질 굴절율을 n0로 하고, 광이 출사하는 회절 격자의 매질 굴절율을 n1라고 한다. 이러한 가정들을 기초하여, 회절 격자의 슬릿 깊이(D)는 슬릿 주기보다 충분히 작고(a(a>>D)), 슬릿 주기(a)가 회절 격자에 입사된 광의 파장(λ)보다 충분히 크다면, 회절 격자의 설계는 [수학식4 내지 수학식6]같은 스칼라 이론에 적합할 것이다.
Figure 112000014546846-pat00004
Figure 112005037612873-pat00022
Figure 112000014546846-pat00006
도 4에는 상술한 광투과성 볼록 회절 격자의 광 회절 효율과 슬릿 깊이간의 관계가 도시되어 있으며, [수학식4 내지 수학식6]에 의해 파장이 각각 약 655nm 및 785nm인 광빔에 대하여 계산한다. 도 4에서, 파장이 약 655nm인 레이저광의 0차 광은 굵은 실선으로 나타내어지며, 1차 광은 가는 실선으로 나타내어진다. 파장이 약 785nm인 레이저광의 0차 광은 굵은 파선으로 나타내어지며, 1차 광은 가는 파선으로 나타내어진다. 도시한 바와 같이, 회절 효율은 파장에 대응하는 주기로 변화한다.
특히, 슬릿 깊이가 그리드 피치(grid pitch)보다 충분히 작은 경우, DVD용 레이저광의 0차 광의 회절 효율은 도 4에 도시된 바와 같이 CD용 레이저광의 0차 광의 회절 효율보다 낮다. 회절 효율의 주기가 레이저광의 파장에 따라 달라지므로, 슬릿 깊이가 증가하면, DVD용 레이저광의 0차 광의 회절 효율과 CD용 레이저광의 0차 광의 회절 효율간의 크기의 관계는 역전된다. 즉, DVD용 레이저광의 0차 광의 회절 효율은 CD용 레이저광의 0차 광의 회절 효율보다 커진다.
본 발명에 따른 광학 헤드(1)에서, 회절 격자(17)의 슬릿 깊이는 파장이 약 785nm인 CD용 레이저광의 1차 광의 회절 효율이 파장이 약 655nm인 DVD용 레이저광의 1차 광의 회절 효율보다 크도록 적절히 선택된다.
상술된 바와 같이, 회절 효율은 일정한 주기로 레이저광의 파장에 대응하는 회절 격자(17)의 슬릿 깊이에 따라 달라진다. 이 파장에 대응하는 회절 효율간의 주기의 차이를 이용하면, 그 주기를 추적하는 것으로 복수의 파장들에 대하여 회절의 목표 효율이 결정될 수 있다. 이러한 방법을 이용하여, 회절 격자(17)가 복수의 파장들에 대한 공통 광 경로에 배치된 경우, 각각의 파장에 대한 회절 효율을 제어할 수 있다.
그러나, 슬릿 깊이가 그리드 피치보다 무시할 수 없게 커지면, 상술한 수식은 유효하지 않다. 즉, 그리드 피치는 슬릿 깊이보다 충분히 넓어야 한다.
특히, 예를 들어 도 4에 도시된 바와 같이, 회절 격자의 슬릿 깊이가 예를 들어 1200nm인 경우, 파장이 655nm인 DVD용 레이저광의 1차 광의 회절 효율은 거의 0이 되도록 제한될 수 있으며, 파장이 785nm인 CD용 레이저광의 1차 광의 회절 효율은 약 15%가 되도록 설정될 수 있다. 이로써, DVD용 레이저광의 1차 광의 회절 효율은 거의 0으로 설정될 수 있어 CD용 광빔을 3개의 빔들로 분리한다. DVD용 레이저광의 고차 회절광은 DVD로부터 정보를 판독하는데 필요하다. 따라서, DVD용 레이저광의 어떤 고차 광은 억제되어, 미광의 발생을 억제하며, 광 전력 이용 효율의 저하를 방지할 수 있다.
본 발명에 따른 광학 헤드(1)에서, 파장이 약 655nm인 DVD용 레이저광의 1차 광의 회절 효율은 5%보가 작아야 하는 것이 바람직하고, 파장이 약 785nm인 CD용 레이저광의 1차 광 회절 효율이 5%보다 커야 하는 것이 바람직하다. 회절 격자(17)에 의해 3개의 빔들로 분리될 필요가 있는 오직 CD용 레이저광의 트랙킹이 3빔법에 의해 서보 제어된다. 따라서, CD용 레이저광의 1차 광의 회절 효율이 5%보다 작은 경우, 3빔법에 의해 획득되는 트래킹 에러 신호의 신뢰성이 낮아져 버린다. 한편, DVD용 레이저광의 회절 효율이 5%보다 큰 경우, DVD용 레이저광은 불필요하게 분리되어 미광을 증가시키고 광 전력 이용 효율을 저하시킨다.
DVD용 레이저광의 1차 광의 회절 효율이 5%보다 작고, CD용 레이저광의 1차 광의 회절 효율이 5%보다 크도록 회절 격자(17)에서 슬릿의 깊이를 선택함으로써, CD용 광학 시스템은 3빔법에 의해 신뢰성이 향상된 트랙킹 에러 신호를 검출할 수 있고, DVD용 광학 시스템은 미광이 발생하지 않도록 하여, 광 이용 전력에 대한 효율의 저하를 방지할 수 있다.
다음에는 본 발명에 따른 광학 헤드(1)에 의해 광디스크(2)로부터 정보를 판독하는 것에 대하여 설명할 것이다.
광디스크(2)가 CD인 경우, 파장이 약 785nm인 CD용 레이저광이 제1 광이미터(11)로부터 방사된다. 제1 광이미터(11)로부터 방사된 CD용 레이저광은 회절 격자(17)상에 입사된다.
입사 레이저광은 광디스크(2)에 접하여 회절 격자(17)에 의해 0차 회절광, +1차 회절광, -1차 회절광의 적어도 3개의 빔들로 분리된다. 회절 격자(17)에 의해 분리된 CD용 레이저광은 홀로그래픽 소자(18)를 통하여 파장판(16)에 입사된다.
파장판(16)에 입사되는 CD용 레이저광은 파장판(16)에 의해 타원형으로 편광된다. 파장판(16)은 DVD용 레이저광을 편광하므로, CD용 레이저광의 편광 상태는 중요하지 않다. 이와 같이 파장판(16)에 의해 타원형으로 편광된 CD용 레이저광은 콜리메이터 렌즈(4)에 입사된다.
콜리메이터 렌즈(4)는 집적 광 모듈(3)과 광디스크(2) 사이에 제공되어, 입사한 CD용 레이저광을 평행광으로 형성한다. 이 평행한 CD용 레이저광은 대물 렌즈(5)에 입사된다.
대물 렌즈(5)는 콜리메이트 렌즈(4)와 광디스크(2) 사이에 제공되어, 콜리메이트 렌즈(4)로부터의 평행한 CD용 레이저광을 회전하는 광디스크(2)의 기록면의 원하는 트랙상에 집광시킨다.
광디스크(2)의 기록면상에 대물 렌즈(5)에 의해 집광되는 CD용 레이저광은 광디스크(2)의 표면상에 반사된다. 복귀광, 즉, 광디스크(2)의 기록면으로부터의 반사된 CD용 레이저광은 대물 렌즈(5), 콜리메이터 렌즈(4), 파장판(16)을 통하여 홀로그래픽 소자(18)에 입사된다.
홀로그래픽 소자(18)는 회절에 의해 광학 헤드로부터 복귀광을 분리한다. 복귀광은 홀로그래픽 소자(18)에 의해 분리되며 회절 격자(17)에 의해 광이 분리되는 방향과 직각을 이룬다. 광디스크(2)에 접하여 회절 격자(17)에 의해 입사되는 레이저광의 분리 결과로 나타나는 3개의 빔들은 상술한 바와 같이 홀로그래픽 소자(18)에 의해 안내되며, 3개의 복귀빔들은 광디스크(2)와 방사상으로 배치된 홀로그래픽 소자(18)에 의해 6개의 빔들로 추가 분리된다.
홀로그래픽 소자(18)로부터의 6개의 복귀광 빔들은 광검출기(13)에 입사되며 광검출기(13)상에서 6개의 광 스폿들을 정의한다.
도 5는 도 2의 광검출기의 실시예를 도시한 도면이다. 도 5에 도시한 바와 같이, 광검출기(13)는 광디스크(2)에 접하여 배치된 제1 광검출기 내지 제4 광검출기들(20 내지 23)을 포함한다.
4개의 광검출기들(20 내지 23) 중에서, 제1 광검출기(20)는 일반적으로 직사각형이며, 광디스크(2)에 대하여 방사상의 방향으로 길이를 가지도록 배치된다. 제1 광검출기(20)는 검출된 광량에 대응하는 출력 신호(G)를 제공한다.
제2 광검출기(21)는 일반적으로 정사각형이다. 또한, 서로 직각인 두 개의 변에 평행인 두 개의 라인 세그먼트에 의해 제2 광검출기(21)를 분리하여 형성된 4개의 동일한 광검출 영역들(21a 내지 21d)을 포함한다. 이러한 제1 광검출 영역 내지 제4 광검출 영역들(21a 내지 21d)은 검출된 광량에 대응하는 출력 신호들(A 내지 D)을 각각 제공한다.
제3 광검출기(22)는 일반적으로 사각형이며 광디스크(2)를 방사상으로 확장한 세그먼트로 제3 광검출기(22)를 양분하여 형성된 2개의 동일한 광검출 영역들(22a, 22b)을 포함한다. 이러한 광검출 영역들(22a, 22b)은 선택한 광량에 대응하는 출력 신호들(E, F)을 각각 제공한다.
제4 광검출기(23)는 일반적으로 직사각형이며 광디스크(2)에 방사상의 길이 방향을 가지도록 배치된다. 상기 광검출기(23)는 검출된 광량에 대응하는 출력 신호(H)를 제공한다.
광디스크(2)로부터의 복귀광은 제1 검출기 내지 제4 광검출기들(20 내지 23) 상에서 광 스폿을 형성한다. 홀로그래픽 소자(18)의 회절 패턴이 양분되었으므로, 2개의 광 스폿들이 제1 광검출기 내지 제4 광검출기들(20 내지 23) 각각에서 형성된다.
제2 및 제3 광검출기들(21, 22) 각각에서 형성된 광 스폿은 광디스크(2)의 트랙 중심에서 반사된 회절 격자(17)로부터의 0차 광의 복귀광으로부터 유도된다. 제1 광검출기(20), 제4 광검출기(23)상에서 형성된 광 스폿은 회절 격자(17)로부터의 - 및 +1차 광 빔의 복귀광 빔으로부터 유도되어, 광디스크(2)의 트랙 우측 및 좌측에 각각 오프셋되는 위치에서 반사된다.
따라서, 트래킹 에러 신호(TRK)는 3빔법에 의해 [수학식7]로 표시된다.
Figure 112000014546846-pat00007
포커스 에러 신호(FES)는 2중 푸코법에 의해 [수학식8]로 표시된다.
Figure 112000014546846-pat00008
판독 신호(RF)는 [수학식9]로 표시된다.
Figure 112000014546846-pat00009
광디스크(2)가 DVD이면, 약 655nm의 파장을 가진 DVD용 레이저광이 제2 광이미터(12)로부터 방사된다. 제2 광이미터(12)로부터 방사된 DVD용 레이저광은 회절 격자(17)에 입사된다.
파장 약 655nm의 DVD용 레이저빔의 1차 광의 회절 효율이 거의 0으로 설정되므로, DVD용 레이저광은 약간 회절되어 회절 격자(17)를 통하여 0차 광으로서 통과된다.
회절 격자(17)를 통과한 DVD용 레이저광은 홀로그래픽 소자(18)를 통하여 파장판(16)상에 입사된다.
파장판(16)에 입사된 DVD용 레이저광은 파장판(16)에 의해 원형으로 편광화한다. 파장판(16)에 의해 이와같이 선형 편광화된 DVD용 레이저광은 콜리메이트 렌즈(4)에 입사된다.
콜리메이트 렌즈(4)는 DVD용 레이저광을 평행광으로 형성한다. 상기 평행 DVD용 레이저광은 대물 렌즈(5)에 입사된다.
대물 렌즈(5)는 회전 광디스크(2)의 기록면의 원하는 트랙상에 콜리메이터 렌즈(4)로부터의 DVD용 레이저광을 집광시킨다.
대물 렌즈(5)에 의해 광디스크(2)의 기록면상에 집광되는 DVD용 레이저광은 광디스크(2)의 기록면에 반사되며, 대물 렌즈(5), 콜리메이터 렌즈(4), 파장판(16)을 통하여 홀로그래픽 소자(18)에 입사된다. 상기 복귀광이 파장판(16)을 통과하면, 진행 편광 방향과 연관하여 90도로 회전된 선형 편광광의 형태를 가진다.
홀로그래픽 소자(18)는 회절에 의해 광디스크(2)에 방사상으로 배치된 광디스크(2)로부터 복귀광을 분리한다. 홀로그래픽 소자(18)에 의해 분리된 복귀광은 광검출기(13)상에 입사되며 광검출기(13)상에서 6개의 광 스폿들을 형성한다.
트랙킹 에러 신호(TRK)는 (DPD ; 위상차 검출) 방법에 의해 광검출 영역으로부터의 출력 신호 사이의 위상차를 산출하여 [수학식9]로 표시된다.
Figure 112000014546846-pat00010
포커스 에러 신호(FES)는 2중 푸코법에 의해 [수학식11]로 표시된다.
Figure 112000014546846-pat00011
판독 신호(RF)는 [수학식12]로 표시된다.
Figure 112000014546846-pat00012
상기 광학 헤드를 병합한 광기록 재생 장치는 도 6과 연관되어 설명된다.
도 6은 본 발명에 따른 광기록 재생 장치의 블록도이다. 도시한 바와 같이, 광기록 재생 장치는 디스크 회전 구동(101), 광학 헤드(102), 서보 제어 회로(103), 복조 회로(104), 신호 처리 회로(105)를 포함한다. 예를 들면, 디스크 회전 구동(101)인 스핀들 모터는 미리 결정된 속도로 광디스크(106)를 회전한다.
광학 헤드(102)는 상기한 바와 같이 배치되며, 회전하는 광디스크(106)의 기록면상에 레이저광을 방사하며, 신호를 제공하기 위하여 광디스크(106)의 기록면으로부터의 복귀광을 검출한다.
서보 제어 회로(103)는 미리 결정된 속도로 디스크 회전 구동(101)을 구동하기 위하여 스핀들 서보 메커니즘을 제어하며, 포커스 서보 제어, 트랙킹 서보 제어, 레이디얼 서보 제어를 제공하기 위하여 광학 헤드(102)를 제어한다.
복조 회로(104)는 광학 헤드(102)로부터의 판독 신호 출력을 복조한다.
신호 처리 회로(105)는 복조부(104)에 의해 복조된 신호의 에러를 보정하며 신호를 추가로 처리한다.
광디스크(106)는 미리 결정된 속도로 디스크 회전 구동(101)에 의해 회전된다. 광디스크(106)에 레이저광을 방사하여 광디스크(106)의 기록면상에 기록된 정보를 판독한다. 서보 제어 회로(103)는 미리 결정된 속도로 디스크 회전 구동(101)을 구동하도록 스핀들 서보를 제어하며 포커스 서보 제어, 트랙킹 서보 제어, 레이디얼 서보 제어를 제공하기 위하여 광학 헤드(102)를 제어한다.
광학 헤드(102)로부터 출력으로 제공된 판독 신호는 복조 회로(104)에 의해 복조되어, 에러 보정 및 기타 처리 대상인 신호 처리 회로(105)에 공급된다. 이후 신호 처리 회로(105)로부터의 출력은 회로(도시되지 않음)에 전달된다.
본 발명은 파장이 약 650nm인 광빔을 방사하는 광원과 파장이 약 780nm인 광빔을 방사하는 다른 광원을 가지는 광학 헤드의 실시예와 연관되어 설명된다. 그러나, 본 발명은 이러한 실시예에 국한되지 않으며, 상기와 다른 파장을 가진 광빔을 방사하는 광원을 가지는 광학 헤드에 적용될 수 있으며, 서로 파장이 다른 광빔을 방사하는 3개 이상의 광원들을 가진 광학 헤드에 적용될 수 있다.
또한, 본 발명은 광디스크(2)와 같은 CD, DVD와 호환가능한 광학 헤드에 연관되어 설명되었다. 그러나, 본 발명은 이러한 광학 헤드에 국한되지 않으며, 판독 전용 광디스크, 기록가능 광디스크, 자기 광디스크 등을 포함한 광디스크로부터 정보를 기록하는 매체를 위한 다양한 유형의 광학 헤드에 적용가능하다.
본 발명에 따른 광학 헤드에서, 회절 격자의 슬릿 깊이는 파장이 서로 다른 2개 이상의 광빔들 중 회절 격자에 입사되는 하나의 광빔만이 회절되도록 최적화된다.
따라서, 본 발명에 따른 광학 헤드에서, 불필요하게 회절된 미광의 발생이 방지되어 광전력 이용의 효율성은 개선된다.
또한, 본 발명에 따른 광학 헤드에서, 회절 격자는 파장이 서로 다른 2개 이상의 광빔들이 광학 시스템이 보다 자유롭게 설계되도록 동일한 광 경로를 따라 이동하는 경우에도 배치된다.
본 발명에 따른 광기록 재생 장치에서, 회절 격자의 슬릿 깊이는 파장이 서로 다른 2개 이상의 광빔들 중에서 회절 격자에 입사되는 하나만이 회절될 수 있도록 최적화된다.
따라서, 본 발명에 따른 광기록 재생 장치에서, 회절 격자는 파장이 서로 다른 2개 이상의 광빔들이 광학 시스템이 보다 자유롭게 설계되도록 동일한 광 경로를 따라 이동하는 경우에도 배치된다.
본 발명은 특정 실시예를 참조하여 도시되고 설명되었으나, 통상의 기술을 가진 자에 의해 본 발명의 정신과 범위를 벗어나지 않는 한도에서 다양한 변경과 수정이 가능하다. 후술되는 청구항은 앞에서 설명한 내용과 다양한 변경 및 수정을 포함한다.

Claims (29)

  1. 광학 헤드에 있어서:
    적어도 트랙킹 에러 신호(tracking error signal)를 검출하기 위해, 정보가 광학적으로 기록된 광디스크의 기록면을 향해 레이저광을 방사하고, 상기 광디스크의 기록면에서 반사된 상기 레이저광의 복귀광 성분을 검출하는 광이미터/검출기와;
    상기 광이미터/검출기와 상기 광디스크 사이에 제공되어, 상기 광이미터/검출기로부터 방사된 상기 레이저광을 0차 회절광, +1차 회절광, -1차 회절광의 적어도 3개의 빔들로 분리하는 회절 격자(diffraction grating)와;
    상기 회절 격자와 광디스크 사이에 제공되어, 상기 회절 격자에 의해 분리된 광들을 상기 광디스크의 기록면에 집광시키는 집광용 광학 시스템(light converging optical system)을 포함하며,
    상기 광이미터/검출기는 제1 광빔을 방사하는 제1 광원과, 상기 제1 광빔보다 단파장인 제2 광빔을 방사하는 제2 광원을 포함하고,
    상기 회절 격자에는 복수의 슬릿들이 형성되고, 상기 슬릿들의 깊이는, 상기 제1 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이, 상기 제2 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율보다 크도록 선택되며,
    0차 회절광인 주 광빔으로 형성된 주 스폿의 강도를 크게 하는, 광학 헤드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 회절 격자에 형성된 슬릿들의 깊이는, 상기 제1 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이 5%보다 크고, 상기 제2 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이 5%보다 작도록 선택되는, 광학 헤드.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 광빔은 파장이 약 785±25nm이고,
    상기 제2 광빔은 파장이 약 655±25nm인, 광학 헤드.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 광원들과, 상기 광디스크에서 반사된 상기 레이저광의 복귀광 성분을 검출하는 광검출기(photodetector)는 반도체 기판상에 장착되는, 광학 헤드.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 광원들과, 상기 광디스크에서 반사된 상기 레이저광의 복귀광 성분에 기초하여 적어도 트랙킹 에러 신호를 검출하는 광검출기를 수용하는 하우징과;
    상기 하우징의 개구부에 놓인 광학 소자를 더 포함하며,
    상기 회절 격자는 상기 광학 소자의 한 면에 배치되는, 광학 헤드.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 광학 소자는, 상기 복귀광 성분이 상기 광검출기에 안내되도록, 상기 광학 소자의 다른 면에 배치된 홀로그래픽 소자(holographic element)를 갖는, 광학 헤드.
  7. 광기록 재생 장치에 있어서:
    정보가 기록된 광디스크를 회전시키는 수단과;
    상기 광디스크의 기록면을 향해 광을 방사하고, 상기 광디스크로부터 복귀광을 검출하는 광학 헤드와;
    상기 광학 헤드에 의해 검출된 신호를 처리하는 신호 처리 회로를 포함하며,
    상기 광학 헤드는:
    적어도 트랙킹 에러 신호를 검출하기 위해, 정보가 광학적으로 기록된 광디스크의 기록면을 향해 레이저광을 방사하고, 상기 광디스크의 기록면에서 반사된 상기 레이저광의 복귀광 성분을 검출하는 광이미터/검출기와;
    상기 광이미터/검출기와 상기 광디스크 사이에 제공되어, 상기 광이미터/검출기로부터 방사된 상기 레이저광을 0차 회절광, +1차 회절광, -1차 회절광의 적어도 3개의 빔들로 분리하는 회절 격자와;
    상기 회절 격자와 광디스크 사이에 제공되어, 상기 회절 격자에 의해 분리된 광들을 상기 광디스크의 기록면에 집광시키는 집광용 광학 시스템을 포함하며,
    상기 광이미터/검출기는 제1 광빔을 방사하는 제1 광원과, 상기 제1 광빔보다 단파장인 제2 광빔을 방사하는 제2 광원을 포함하고,
    상기 회절 격자에는 복수의 슬릿들이 형성되고, 상기 슬릿들의 깊이는, 상기 제1 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이, 상기 제2 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율보다 높도록 선택되며,
    0차 회절광인 주 광빔으로 형성된 주 스폿의 강도를 크게 하는, 광기록 재생 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 회절 격자에 형성된 슬릿들의 깊이는, 상기 제1 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이 5%보다 크고, 상기 제2 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이 5%보다 작도록 선택되는, 광기록 재생 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제1 광빔은 파장이 약 785±25nm이고,
    상기 제2 광빔은 파장이 약 655±25nm인, 광기록 재생 장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 광원들과, 상기 광디스크에서 반사된 상기 레이저광의 복귀광 성분을 검출하는 광검출기는 반도체 기판상에 장착되는, 광기록 재생 장치.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 광원들과, 상기 광디스크에서 반사된 상기 레이저광의 복귀광 성분에 기초하여 적어도 트랙킹 에러 신호를 검출하는 광검출기를 수용하는 하우징과;
    상기 하우징의 개구부에 놓인 광학 소자를 더 포함하며;
    상기 회절 격자는 상기 광학 소자의 한 면에 배치되는, 광기록 재생 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 광학 소자는, 상기 복귀광 성분이 상기 광검출기에 안내되도록, 상기 광학 소자의 다른 면에 배치된 홀로그래픽 소자를 갖는, 광기록 재생 장치.
  13. 광학 헤드에 있어서:
    제1 광빔을 방사하는 제1 광원과;
    상기 제1 광원으로부터 미리 결정된 거리만큼 이격되어, 상기 제1 광빔보다 단파장인 제2 광빔을 방사하는 제2 광원과;
    상기 제1/제2 광원들 및 광디스크 사이에 제공되어, 상기 제1 광원 또는 제2 광원으로부터 방사된 상기 레이저광을 0차 회절광, +1차 회절광, -1차 회절광의 적어도 3개의 빔들로 분리하는 회절 격자와;
    상기 회절 격자와 상기 광디스크 사이에 제공되어, 상기 회절 격자에 의해 분리된 광을 상기 광디스크의 기록면에 집광시키는 집광용 광학 시스템을 포함하며,
    상기 회절 격자에는 복수의 슬릿들이 형성되고, 상기 슬릿들의 깊이는, 상기 제1 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이, 상기 제2 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율보다 크도록 선택되고,
    0차 회절광인 주 광빔으로 형성된 주 스폿의 강도를 크게 하는, 광학 헤드.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 회절 격자에 형성된 슬릿들의 깊이는, 상기 제1 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이 5%보다 높고, 상기 제2 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이 5%보다 작도록 선택되는, 광학 헤드.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 제1 광빔은 파장이 약 785±25nm이고,
    상기 제2 광빔은 파장이 약 655±25nm인, 광학 헤드.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 광원들과, 상기 광디스크에서 반사된 상기 레이저광의 복귀광 성분에 기초하여 적어도 트랙킹 에러 신호를 검출하는 광검출기는 반도체 기판상에 장착되는, 광학 헤드.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 광원들과, 상기 광디스크에서 반사된 상기 레이저광의 복귀광 성분에 기초하여 적어도 트랙킹 에러 신호를 검출하는 광검출기를 수용하는 하우징과;
    상기 하우징의 개구부에 놓인 광학 소자를 더 포함하며,
    상기 회절 격자는 상기 광학 소자의 한 면에 배치되는, 광학 헤드.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 광학 소자는, 상기 복귀광 성분이 상기 광검출기에 안내되도록, 상기 광학 소자의 다른 면에 배치된 홀로그래픽 소자를 갖는, 광학 헤드.
  19. 광기록 재생 장치에 있어서:
    정보가 기록된 광디스크의 회전을 구동하는 회전 구동 수단과;
    상기 회전 구동 수단에 의해 회전하도록 구동된 상기 광디스크의 기록면을 향해 광을 방사하고, 상기 광디스크로부터 복귀광을 검출하는 광학 헤드와;
    상기 광학 헤드에 의해 검출된 신호를 처리하는 신호 처리 회로를 포함하며;
    상기 광학 헤드는:
    제1 광빔을 방사하는 제1 광원과;
    상기 제1 광원으로부터 미리 결정된 거리만큼 이격되어, 상기 제1 광빔보다 단파장인 제2 광빔을 방사하는 제2 광원과;
    상기 제1/제2 광원들과 광디스크 사이에 제공되어, 상기 제1 광원 또는 제2 광원으로부터 방사된 레이저광을 0차 회절광, +1차 회절광, -1차 회절광의 적어도 3개의 빔들로 분리하는 회절 격자와;
    상기 회절 격자와 상기 광디스크 사이에 제공되어, 상기 회절 격자에 의해 분리된 광을 상기 광디스크의 기록면에 집광시키는 집광용 광학 시스템을 포함하며,
    상기 회절 격자에는 복수의 슬릿들이 형성되고, 상기 슬릿들의 깊이는, 상기 제1 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이, 상기 제2 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율보다 크도록 선택되고,
    0차 회절광인 주 광빔으로 형성된 주 스폿의 강도를 크게 하는, 광기록 재생 장치.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 회절 격자에 형성된 슬릿들의 깊이는, 상기 제1 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이 5%보다 크고, 상기 제2 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이 5%보다 작도록 선택되는, 광기록 재생 장치.
  21. 제19항에 있어서,
    상기 제1 광빔은 파장이 약 785±25nm이고,
    상기 제2 광빔은 파장이 약 655±25nm인, 광기록 재생 장치.
  22. 제19항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 광원들과, 상기 광디스크에서 반사된 상기 레이저광의 복귀광 성분에 기초하여 적어도 트랙킹 에러 신호를 검출하는 광검출기는 반도체 기판상에 장착되는, 광기록 재생 장치.
  23. 제19항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 광원들과, 상기 광디스크에서 반사된 상기 레이저광의 복귀광 성분에 기초하여 적어도 트랙킹 에러 신호를 검출하는 광검출기를 수용하는 하우징과;
    상기 하우징의 개구부에 놓인 광학 소자를 더 포함하며,
    상기 회절 격자는 상기 광학 소자의 한 면에 배치되는, 광기록 재생 장치.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 광학 소자는, 상기 복귀광 성분이 상기 광검출기에 안내되도록, 상기 광학 소자의 다른 면에 배치된 홀로그래픽 소자를 갖는, 광기록 재생 장치.
  25. 레이저광을 방사하여 상기 레이저광의 복귀광 성분을 검출하는 집적 광 모듈에 있어서:
    제1 광빔을 방사하는 제1 광원과;
    상기 제1 광원으로부터 미리 결정된 거리만큼 이격되어, 상기 제1 광빔보다 단파장인 제2 광빔을 방사하는 제2 광원과;
    상기 제1 또는 제2 광원으로부터 방사된 상기 레이저광의 복귀광 성분을 검출하는 광검출기와;
    상기 제1 광원, 상기 제2 광원 및 상기 광검출기를 수용하고, 개구부를 갖는 하우징과;
    상기 개구부에 배치된 광학 소자와;
    상기 광학 소자의 한 면에 제공되어, 상기 제1 광원 또는 제2 광원으로부터 방사된 상기 레이저광을 0차 회절광, +1차 회절광, -1차 회절광의 적어도 3개의 빔들로 분할하는 회절 격자를 포함하며,
    상기 회절 격자에는 복수의 슬릿들이 형성되고, 상기 슬릿들의 깊이는, 상기 제1 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이, 상기 제2 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율보다 크도록 선택되고,
    0차 회절광인 주 광빔으로 형성된 주 스폿의 강도를 크게 하는, 집적 광 모듈.
  26. 제25항에 있어서,
    상기 회절 격자에 형성된 슬릿들의 깊이는, 상기 제1 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이 5%보다 크고, 상기 제2 광빔이 상기 회절 격자에 입사했을 때의 1차 광의 회절 효율이 5%보다 작도록 선택되는, 집적 광 모듈.
  27. 제25항에 있어서,
    상기 제1 광빔은 파장이 약 785±25nm이고,
    상기 제2 광빔은 파장이 약 655±25nm인, 집적 광 모듈.
  28. 제25항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 광원들과, 상기 광검출기는 반도체 기판상에 장착되는, 집적 광 모듈.
  29. 제25항에 있어서,
    상기 광학 소자는, 상기 복귀광 성분이 상기 광검출기에 안내되도록, 상기 광학 소자의 다른 면에 배치된 홀로그래픽 소자를 갖는, 집적 광 모듈.
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