KR100745155B1 - 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치 - Google Patents

응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치에 관한 것으로, 응축유체가 포화 증기화되어 일측으로 유입되는 나노미터 크기의 입자와 혼재되도록 하부에 응축유체가 담긴 포화용기; 상기 입자가 냉각에 따른 응축으로 성장될 수 있도록 구비되는 냉각부; 상기 입자가 상기 냉각부로 이동될 수 있도록 일단은 상기 포화용기에 연결되고, 상기 입자의 이동 경로상으로 타측의 외주연에는 상기 냉각부가 밀착/설치되는 연결관; 상기 입자의 이동경로 내에 이온을 발생시켜 상기 입자가 하전될 수 있도록 상기 연결관의 타측에 관통/설치되는 하전부; 및 상기 이온과 혼재된 상기 입자가 증발되어 초기 크기화 될 수 있도록 상기 연결관의 타단에 연결되는 증발기;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
응축, 냉각, 성장, 입자, 나노미터, 증발, 균일하전, 하전성능

Description

응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치{An Uniform Charging Device Of Nanometer Particle Using Condensation And Evaporation}
도 1은 본 발명에 따른 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명에 따라 응축을 통해 성장한 입자의 평균크기를 나타내는 그래프도,
도 3은 본 발명에 따라 초기 입자 크기와 평균 하전량과의 관계를 도시한 그래프도이다.
* 도면의 주요부분에 관한 부호의 설명 *
100: 포화용기, 100a: 응축유체,
200: 냉각부, 210: 냉각소자,
300: 코로나 방전기, 310: 고전압 전극침,
320: 접지부, 400: 전기장 발생기,
500: 증발기, 600: 연결관
본 발명은 입자의 하전장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 나노미터 크기의 입자를 응축/냉각으로 균일하게 성장시킨 뒤 하전/증발시키도록 구성하여 입자크기와 관계없이 고효율로 균일하전이 가능한 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치에 관한 것이다.
일반적으로 입자를 하전시키기 위해 이온을 발생시키는 방법으로, 코로나 방전을 이용하는 방법, 방사능 소스를 이용하는 방법, UV 램프의 자외선 조사방법 등이 있다. 이중 코로나 방전을 이용하여 입자를 하전시키는 방법이 여타 방법에 비해 비교적 고농도의 이온을 생산할 수 있기 때문에, 선호되어 왔다.
이와 같이 하전된 입자가 입자의 제어 및 측정과정에 적용될 경우에는 입자의 하전 성능이 매우 중요한 역할을 하게 된다. 그런데 종래의 입자 하전 방법을 통하여 입자를 하전시킬 경우 입자의 크기가 작아질수록 입자의 표면적은 입자의 크기의 제곱에 비례해서 작아지기 때문에 하전 성능이 급격하게 떨어지게 되는 문제점이 있어왔다.
하지만 이러한 하전 성능을 향상을 위해 종래에 진행되어 왔던 개선방법들은, 입자의 크기에 관한 인자는 고려없이 단순히 하전효율을 극대화하는 방향으로만 진행되어 왔기 때문에, 입자의 크기에 따라 하전 성능에 변화가 발생되는 문제점이 있다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 종래 문제점을 해결하고자 도출된 것으로, 본 발명의 제 1목적은, 초기 입자의 크기에 관계없이 입자의 균일한 하전이 가능하도 록 입자를 응축 및 냉각을 통해 균일한 크기로 성장시키고 내부 방전 이외의 2차 전기장을 이용하여 이온과 입자를 혼재시키는 구조를 갖는 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치를 제공하는 것이다.
그리고 본 발명의 제 2목적은, 포화증기 및 냉각소자를 이용한 응축/냉각의 단순 구조로 균일하전이 가능한 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치를 제공하는 것이다.
이러한 본 발명의 목적들은, 응축유체가 포화 증기화되어 일측으로 유입되는 나노미터 크기의 입자와 혼재되도록 하부에 응축유체가 담긴 포화용기; 상기 입자가 냉각에 따른 응축으로 성장될 수 있도록 구비되는 냉각부; 상기 입자가 상기 냉각부로 이동될 수 있도록 일단은 상기 포화용기에 연결되고, 상기 입자의 이동 경로상으로 타측의 외주연에는 상기 냉각부가 밀착/설치되는 연결관; 상기 입자의 이동경로 내에 이온을 발생시켜 상기 입자가 하전될 수 있도록 상기 연결관의 타측에 관통/설치되는 하전부; 및 상기 이온과 혼재된 상기 입자가 증발되어 초기 크기화될 수 있도록 상기 연결관의 타단에 연결되는 증발기;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치에 의하여 달성된다.
여기서 상기 냉각부는, 다수의 냉각소자가 상기 연결관의 배치방향을 따라 포함되는 구조인 것이 바람직하다.
그리고 상기 하전부는, 상기 이온을 발생시켜 상기 연결관 내로 유입시키도록 상기 연결관에 관통/설치되는 코로나 방전기 및 발생/유입된 상기 이온이 전기 장의 형성으로 상기 입자와 혼재될 수 있도록 상기 코로나 방전기에 대향하여 상기 연결관에 관통/설치되는 전기장 발생기를 포함하는 것이 바람직하다.
아울러 상기 코로나 방전기는, 상기 연결관에 수직으로 설치되어 코로나 방전을 발생하는 고전압 전극침과, 상기 고전압 전극침의 하부로 상기 연결관에 근접/설치되는 접지부를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 연결관은, 상기 포화증기와 혼재된 상기 입자가 증기화됨에 따른 부양력으로 상승될 수 있도록 상기 포화용기의 상부에 일단이 연결되고 타측은 수직으로 이어지고, 상기 입자가 상기 이온과의 원활한 혼재가 가능하도록 일정한 길이가 수평으로 절곡되어 상기 하전부에 연결되며, 하전된 상기 입자가 상기 증발기에 유입되도록 타단은 수직으로 하향 절곡되어 상기 증발기의 상부에 연결되는 구조인 것이 바람직하다.
그리고 상기 응축유체는 n-부탄올, 물, 에틸렌 글리콜 중 선택되는 어느 하나인 것이 바람직하다.
본 발명의 그 밖의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이다.
이하에서는 본 발명에 따른 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치에 관하여 첨부된 도면과 더불어 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장 치의 구성도이다. 본 발명에 따른 하전장치는, 나노미터 크기의 입자를 냉각으로 응축시켜 균일한 크기로 만든 뒤, 하전 후 증발시켜 초기의 서로 다른 입자의 크기에 관계없이 균일한 하전이 가능하도록 구성한 장치이다.
이를 위해 본 발명에 따른 하전장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 초기에 서로 다른 크기의 다수의 입자가 일측의 입구를 통해 유입되는 포화용기(100)를 포함한다. 포화용기(100) 내에는 응축유체(100a)가 내포되어 있는데 응축유체(100a)는 포화용기(100) 내에서 포화증기화 되면서 입자가 냉각/하전/증발되는 과정을 거치도록 이동시키는 이동유체의 역할을 담당한다.
본 발명에서는 이러한 응축유체(100a)로 n-부탄올, 물, 에틸렌 글리콜이 이용될 수 있다. 포화용기(100)에 이어 배치되는 것이 냉각부(200)이고, 냉각부(200)에 이어 배치되는 것이 하전부이며, 하전부에 이어 배치되는 것이 증발기(500)이다.
이러한 포화용기(100), 냉각부(200), 하전부, 증발기(500) 등에 걸쳐 연결되며 포화 증기화한 응축유체(100a)와 혼재되어 포화용기(100), 냉각부(200), 하전부, 증발기(500)로 순차 이동하면서 냉각으로 인한 응축/하전/증발 과정을 거치도록 배치되는 것이 연결관(600)이다.
이러한 연결관(600)의 일단은 포화용기(100)의 상부에 연결되며 수직 상향으로 이어져 포화증기와 혼재된 입자가 부양될 수 있도록 형성된다.
이에 따라 부양되던 입자가 냉각으로 응축될 수 있도록 연결관(600)의 수직 상향부위에 설치되는 것이 냉각부(200)이다. 냉각부(200)는 연결관(600)을 따라 배 치되는 다수의 냉각소자(210)를 포함하여 연결관(600)의 외주연에 밀착/설치되는 구조로서, 이러한 설치부위를 따라 입자가 부양/이동될 경우 냉각을 통해 응축되면서 초기 크기보다 더 크게 성장하여 각 입자들의 크기가 균일해지는 되는 냉각 구조가 마련된다.
그리고 연결관(600)은 수직 상향으로 이어지다가 수평 절곡으로 이어지게 되는데, 이러한 수평 절곡부위의 중앙에 설치되고 연결관(600) 내에 연결되는 것이 하전부이다.
하전부는 연결관(600)을 중심으로 대향 배치되는 코로나 방전기(300) 및 전기장 발생기(400)를 포함하여 구성된다. 코로나 방전기(300)는 고압 전극침(310)과 접지부(320)로 구성되어 연결관(600) 내로 이동중이던 고압 전극침(310)에 의해 코로나 방전을 실시함에 따라 입자에 대해 이온을 발생/유입시키는 구조를 마련한다.
또한, 전기장 발생기(400)는, 연결관(600) 내로 전기장을 방출하여 이미 발생된 이온이 입자들과 혼재되도록 하며 전기장 발생기(400)의 발생 전기장을 조절하므로써 입자에 대한 하전량을 조절할 수 있게 되는 구조를 마련한다. 이에 따라 입자들은 하전되는데, 이때 앞서 냉각/응축으로 그 크기가 균일해져 있었으므로 균일한 하전이 달성될 수 있다.
그리고 수평 절곡되어 이어지던 연결관(600)은 다시 수직 하향 절곡되는데, 이렇게 하향 절곡된 하단에 연결되는 것이 증발기(500)이다. 이에 따라 이렇게 하전된 입자들은 증발기(500)로 유입되어 증발되는 구조가 마련된다. 아울러 이러한 증발기(500) 내에서의 증발과정을 통해 성장되었던 입자들이 초기의 크기로 뒤돌아 가게 된다.
도 2는 본 발명에 따라 응축을 통해 성장한 입자의 평균크기를 나타내는 그래프도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, X축은 초기 입자크기(㎚)이고, Y축은 냉각으로 응축된 입자의 크기(㎛)이다. 각 응축온도인 35℃, 40℃, 45℃에 따라 표시되는 각 그래프를 보면 냉각에 의한 응축을 통해 입자들의 크기가 균일해져 있음을 알 수 있다.
도 3은 본 발명에 따라 초기 입자 크기와 평균 하전량과의 관계를 도시한 그래프도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, X축은 초기 입자의 지름(㎚)이고, Y축은 평균 하전량이다. 응축되고 하전된 입자가 증발기(500)를 거쳐 증발될 경우 입자의 평균 하전량이 초기 입자의 지름(크기)에 상관없이 균일함을 알 수 있다.
이상에서와 같은 본 발명에 따른 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치에서, 냉각부(200)는 냉각소자(210)를 이용하는 것 이외에, 냉각 기체를 이용하는 구조, 단열팽창을 이용하는 구조 등으로 대체될 수 있다.
그리고 코로나 방전기(300)를 이용하여 이온을 발생시키는 구조 이외에, UV 램프 또는 방사능 소스의 이용구조로 대체하여 사용할 수 있다.
아울러 증발기(500) 구조를 대신하여 실리카 겔 등을 이용한 확산 건조기 구조로 대체하여 사용할 수 있다.
이상에서와 같은 본 발명에 따른 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치에 의하면, 냉각을 통한 응축으로 입자를 균일하게 성장시켜 하전하는 구조를 취함으로써, 균일한 하전이 가능한 특징이 있다.
그리고 전기장 발생기를 별도로 구비하는데, 이러한 전기장 발생기의 전기장 발생량을 조절함에 따라 입자의 평균 하전량을 용이하게 조절하는 등 하전성능의 제어가 가능한 장점이 있다.
비록 본 발명이 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 본 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다른 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 첨부된 청구의 범위는 본 발명의 진정한 범위내에 속하는 그러한 수정 및 변형을 포함할 것이라고 여겨진다.

Claims (8)

  1. 응축유체가 포화 증기화되어 일측으로 유입되는 나노미터 크기의 입자와 혼재되도록 하부에 응축유체가 담긴 포화용기;
    상기 입자가 냉각에 따른 응축으로 성장될 수 있도록 구비되는 냉각부;
    상기 입자가 상기 냉각부로 이동될 수 있도록 일단은 상기 포화용기에 연결되고, 상기 입자의 이동 경로상으로 타측의 외주연에는 상기 냉각부가 밀착/설치되는 연결관;
    상기 입자의 이동경로 내에 이온을 발생시켜 상기 입자가 하전될 수 있도록 상기 연결관의 타측에 관통/설치되는 하전부; 및
    상기 이온과 혼재된 상기 입자가 증발되어 초기 크기화될 수 있도록 상기 연결관의 타단에 연결되는 증발기를 포함하여 구성되고;
    상기 연결관은,
    상기 포화증기와 혼재된 상기 입자가 증기화됨에 따른 부양력으로 상승될 수 있도록 상기 포화용기의 상부에 일단이 연결되고 타측은 수직 상향으로 이어지고,
    상기 입자가 상기 이온과의 원활한 혼재가 가능하도록 일정한 길이가 수평 절곡되어 상기 하전부에 연결되며,
    하전된 상기 입자가 상기 증발기에 유입되도록 타단은 수직 하향 절곡되어 상기 증발기의 상부에 연결되는 구조인 것을 특징으로 하는 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 냉각부는, 다수의 냉각소자가 상기 연결관의 배치방향을 따라 포함되는 구조인 것을 특징으로 하는 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 하전부는,
    상기 이온을 발생시켜 상기 연결관 내로 유입시키도록 상기 연결관에 관통/설치되는 코로나 방전기 및
    발생/유입된 상기 이온이 전기장의 형성으로 상기 입자와 혼재될 수 있도록 상기 코로나 방전기에 대향하여 상기 연결관에 관통/설치되는 전기장 발생기를 포함하는 것을 특징으로 하는 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 코로나 방전기는,
    상기 연결관에 수직으로 설치되어 코로나 방전을 발생하는 고전압 전극침과,
    상기 고전압 전극침의 하부로 상기 연결관에 근접/설치되는 접지부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치.
  5. 삭제
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 응축유체는 n-부탄올인 것을 특징으로 하는 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 응축유체는 물인 것을 특징으로 하는 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 응축유체는 에틸렌 글리콜인 것을 특징으로 하는 응축 및 증발을 이용한 나노미터 입자의 균일 하전장치.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4155008A (en) 1977-02-04 1979-05-15 Jersey Nuclear-Avco Isotopes, Inc. Vapor coated emissive cathode
KR970051655A (ko) * 1995-12-21 1997-07-29 윤종용 음극선관 패널의 형광면 정착장치 및 방법
US6245280B1 (en) 1999-06-21 2001-06-12 Energy Conversion Devices, Inc. Method and apparatus for forming polycrystalline particles
KR20030050696A (ko) * 2001-12-19 2003-06-25 주식회사 하이닉스반도체 전극 물질 형성 방법
JP2005002209A (ja) 2003-06-11 2005-01-06 Toshiba Corp 蛍光体と蛍光体の製造方法、および製造装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4155008A (en) 1977-02-04 1979-05-15 Jersey Nuclear-Avco Isotopes, Inc. Vapor coated emissive cathode
KR970051655A (ko) * 1995-12-21 1997-07-29 윤종용 음극선관 패널의 형광면 정착장치 및 방법
US6245280B1 (en) 1999-06-21 2001-06-12 Energy Conversion Devices, Inc. Method and apparatus for forming polycrystalline particles
KR20030050696A (ko) * 2001-12-19 2003-06-25 주식회사 하이닉스반도체 전극 물질 형성 방법
JP2005002209A (ja) 2003-06-11 2005-01-06 Toshiba Corp 蛍光体と蛍光体の製造方法、および製造装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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Journal of Aerosol Science. vol.34, pp.733-745

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