KR100740885B1 - 표면탄성파 필터의 내전력 시험 시스템 및 그 방법 - Google Patents

Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야

본 발명은 표면탄성파(SAW) 필터의 내전력 시험 시스템 및 그 방법에 관한 것임.

2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제

본 발명은 SAW 디비이스(Device) 및 필터의 신뢰성 있는 내전력시험을 통해 수명을 예측하고, 가속수명시험의 가속조건이 성립하도록 정확한 온도를 유지하며 고장조건에 성립하는 시점에서 정확한 시간, 온도 그리고 전기적인 특성변화를 파악하고 가속수명모델을 적용하여 최적의 조건으로 수명을 예측하고, 차후 고장분석을 하기 위한 표면탄성파(SAW) 필터의 내전력 시험방법을 제공하는데 그 목적이 있음.

3. 발명의 해결방법의 요지

본 발명은 SAW 필터의 내전력 시험 시스템에 있어서, 오실레이터(Oscillator)의 지속파(Continous Wave)를 발생시키기 위한 신호발생 수단; 상기 신호발생 수단에서 인가된 신호를 측정하고자하는 전력레벨로 증폭하기 위한 고전력 증폭 수단; 상기 고전력 증폭 수단에서 증폭된 신호를 인가받아 SAW 필터에 인가되는 전력을 모니터링하고, 네트워크 분석기를 통한 전기적인 특성을 모니터링하기 위해 경로를 설정하기 위한 PDT(Power Durability Testing) 수단; 상기 PDT 수단에서 출력된 신호를 측정하기 위한 전력 측정 수단; 상기 PDT 수단의 전기적인 특성을 모니터링할 수 있도록 경로를 바꾸어 주기 위한 제어 수단; 상기 SAW 필터의 전기적인 특성을 분석하기 위한 상기 네트워크 분석 수단; 상기 SAW 필터에 시험온도를 가하고, 유지하기 위한 신뢰성 시험 수단; 상기 SAW 필터의 온도를 측정하기 위한 온도 측정 수단; 상기 신뢰성 시험 수단에 가해지는 시험온도를 제어하기 위한 온도 제어 수단; 및 상기 신호발생 수단, 전력 측정 수단, 네트워크 분석 수단, 제어 수단, 온도제어 수단, 온도 측정 수단을 제어하기 위한 컴퓨팅 수단을 포함함.

4. 발명의 중요한 용도

본 발명은 통신 시스템 등에 이용됨.

내전력, SAW Filter, 신뢰성 시험장치, 가속수명시험

Description

표면탄성파 필터의 내전력 시험 시스템 및 그 방법{System and Method for Testing Power Durability of SAW Filter}

도 1 은 본 발명에 의한 SAW 필터의 내전력 시험 시스템의 일실시예 구성도.

도 2 는 상기 도 1의 신뢰성 시험기의 일실시예 사시도.

도 3 은 본 발명에 따른 SAW 필터의 내전력 시험 방법에 대한 일실시예 흐름도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

111 : 신호발생기 112 : 고전력 증폭기

120 : PDT 모듈 121 : 커플러

122 : 제 1 스위치 123 : 제 2 스위치

124 : 감쇠기 130 : 전력메터

140 : 네트워크 분석기 150 : 제어기

160 : 신뢰성 시험기 161 : SAW 필터

170 : 컴퓨터 180 : 온도메터

190 : 온도 제어기

본 발명은 표면탄성파 필터(Surface Acoustic Wave Filter : 이하, "SAW 필터"라 함)의 내전력 시험에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 SAW 필터의 가속수명시험을 신뢰성 있게 수행하기 위한 내전력 시험 방법에 관한 것이다.

이동통신과 반도체 기술의 발달과 더불어 반도체 부품, 특히 고주파 소자 및 부품은 소형화, 집적화되어 지고 있는 추세이며, 신뢰성의 필요성은 무한경쟁시대에 대응하여 타사 제품이나 국외제품과의 경쟁력을 키우기 위해, 그리고 개발/생산시험에 드는 막대한 시간과 설비 및 경비를 줄이기 위해 계속 증가하고 있다.

가속수명 신뢰성 시험은 고 신뢰도의 새로운 반도체 시험시료를 개발하기 위해 행하는 것으로 가혹한 조건 하에서 새로운 RF(Radio Frequency) 반도체소자 및 부품의 수명을 추정하는데 필수적이다. 특히, 단말기에 사용되는 SMD(Surface Mounted Device) 타입인 SAW 필터와 SAW 송수 전환기(Duplexer)(이하, "SAW 듀플렉서"라 함)의 수명 예측을 하기 위해서는 내전력 시험방법에 의한 가속수명 신뢰성 시험이 필수적이다.

SAW 필터들, 셀룰러 폰(Cellular Phone), RF(Radio Frequency) 회로(Circuits)에 넓게 사용되어 지고 있다.

셀롤러 폰의 경우, SAW 안테나 듀플렉서(Antenna Duplexer)는 시스템을 작게 만들 수 있는 중요한 디바이스이다. SAW 안테나 듀플렉서(Antenna Duplexer)는 일 반적으로 수신 SAW 필터와 송신 SAW 필터로 구성된다. 그리고, 소형화와 더불어 수신감도의 증진 및 송신 출력의 안정성을 위하여 작은 삽입손실, 송수신 시의 상호 간의 간섭영향을 최대로 억압하기 위해 높은 격리도를 요구하고, 높은 파워특성을 가져야 한다.

SAW 안테나 듀플렉서(Antenna Duplexer)는 PAM(Pulse Amplitude Modulation)으로부터 인가되는 높은 전력의 신호를 받아들여야 하는데, 일반적으로 높은 전력의 신호가 디바이스(Device) 내부의 열에 의한 이송(Migration) 현상이 발생하여 전극(IDT : InterDigital Transducer)파괴가 발생한다.

종래 기술에 의한 내전력 시험방법으로는 예들 들어 미국특허등록공보 US 6,407,486 B1호, 발명의 명칭 "SURFACE ACOUSTIC WAVE DEVICE"에 간략하게 개시되어 있다. 종래기술은 편리성과 확실한 신뢰성을 제공하지 못하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, SAW 디비이스(Device) 및 필터의 신뢰성 있는 내전력시험을 통해 수명을 예측하고, 가속수명시험의 가속조건이 성립하도록 정확한 온도를 유지하며 고장조건에 성립하는 시점에서 정확한 시간, 온도 그리고 전기적인 특성변화를 파악하고 가속수명모델을 적용하여 최적의 조건으로 수명을 예측하고, 차후 고장분석을 하기 위한 SAW 필터의 내전력 시험방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있으며, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, SAW 필터의 내전력 시험 시스템에 있어서, 오실레이터(Oscillator)의 지속파(Continous Wave)를 발생시키기 위한 신호발생 수단; 상기 신호발생 수단에서 인가된 신호를 측정하고자하는 전력레벨로 증폭하기 위한 고전력 증폭 수단; 상기 고전력 증폭 수단에서 증폭된 신호를 인가받아 SAW 필터에 인가되는 전력을 모니터링하고, 네트워크 분석기를 통한 전기적인 특성을 모니터링하기 위해 경로를 설정하기 위한 PDT(Power Durability Testing) 수단; 상기 PDT 수단에서 출력된 신호를 측정하기 위한 전력 측정 수단; 상기 PDT 수단의 전기적인 특성을 모니터링할 수 있도록 경로를 바꾸어 주기 위한 제어 수단; 상기 SAW 필터의 전기적인 특성을 분석하기 위한 상기 네트워크 분석 수단; 상기 SAW 필터에 시험온도를 가하고, 유지하기 위한 신뢰성 시험 수단; 상기 SAW 필터의 온도를 측정하기 위한 온도 측정 수단; 상기 신뢰성 시험 수단에 가해지는 시험온도를 제어하기 위한 온도 제어 수단; 및 상기 신호발생 수단, 전력 측정 수단, 네트워크 분석 수단, 제어 수단, 온도제어 수단, 온도 측정 수단을 제어하기 위한 컴퓨팅 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

한편, 본 발명의 방법은, SAW 필터의 내전력 시험 방법에 있어서, 제 1, 2 스위치를 제어하여 네트워크 분석기로 시험 전 SAW 필터의 전기적인 특성을 측정하는 시험전 SAW 필터 전기적 특성 측정 단계; 상기 제 1, 2 스위치를 제어하여 SAW 필터에 고전력 지속파 신호를 인가하는 고전력 지속파 신호 인가 단계; 상기 고전력 지속파의 시험인가 전력 및 SAW 필터의 출력전력을 전력메터를 이용하여 측정하는 출력전력 측정 단계; 기 설정된 고장판정기준에 벗어나는 경우 자동으로 신호발생기의 지속파 신호를 차단하여 시험을 종료하는 시험 종료 단계; 및 상기 시험 종료 단계 후, 상기 제 1, 2 스위치를 이용하여 네트워크 분석기로 SAW 필터의 전기적인 특성을 측정하는 시험 종료 후 SAW 필터 전기적 특성 측정 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해 질 것이며, 그에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1 은 본 발명에 의한 SAW 필터의 내전력 시험 시스템의 일실시예 구성도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 SAW 필터의 내전력 시험 시스템은, 오실레이터(Oscillator)의 지속파(CW : Continous Wave)를 발생시키는 신호발 생기(111), 상기 신호발생기(111)에서 인가된 신호를 측정하고자하는 전력레벨로 증폭하는 고전력 증폭기(112), 상기 고전력 증폭기(112)에서 증폭된 신호를 인가받아 SAW 필터(161)에 인가되는 전력을 모니터링하고, 네트워크 분석기(140)를 통한 전기적인 특성을 모니터링하기 위해 경로를 설정하기 위한 PDT(Power Durability Testing : 이하, "PDT"라 함) 모듈(120), 상기 PDT 모듈(120)에서 출력된 신호를 측정하는 전력메터(130), 상기 PDT 모듈(120)의 전기적인 특성을 모니터링할 수 있도록 경로를 바꾸어 주기 위한 제어기(Controller)(150), 상기 SAW 필터(161)의 전기적인 특성을 분석하기 위한 상기 네트워크 분석기(140), 상기 SAW 필터(161)에 시험온도를 가하고, 유지하기 위한 신뢰성 시험기(160), 상기 SAW 필터(161)의 온도를 측정하기 위한 온도메터(180), 상기 신뢰성 시험기(160)에 가해지는 시험온도를 제어하기 위한 온도 제어기(190), 그리고 상기 신호발생기(111), 전력메터(130), 네트워크 분석기(140), 제어기(150), 온도제어기(190), 온도메터(180)를 제어하기 위한 컴퓨터(170)를 포함한다.

한편, 상기 PDT 모듈(120)은 상기 SAW 필터(161)에 인가되는 전력을 모니터링하는 커플러(121), 상기 네트워크 분석기(140)를 이용한 상기 SAW 필터(161)의 전기적인 특성을 모니터링할 수 있도록 경로를 바꾸어 주는 RF 제 1, 2 스위치(122, 123), 그리고 시험전력레벨이 상기 전력메터(130)에 인가되어 전력메터(130)에서 측정할 수 있도록 감쇠하는 역할과 계측기 보호용으로 사용되는 감쇠기(124)를 포함한다.

신호발생기(111)에서 신호원인 오실레이터(Oscillator)의 지속파(CW, Continuous Wave)신호를 고전력 증폭기(112)에 입력한다. 이때, 신호원의 주파수와 전력레벨은 컴퓨터(170)의 자동시험 내전력 프로그램에 시험하고자 하는 주파수와 전력레벨을 입력하면 자동으로 컨트롤 되어진다.

고전력 증폭기(112)에 인가된 신호는 측정하고자하는 전력레벨(예를 들면, 30∼39dBm)로 증폭을 한다.

증폭된 신호는 PDT 모듈(120)로 인가된다.

PDT 모듈(120)은 커플러(121), RF 제 1, 2 스위치(122, 123), 그리고 감쇠기(124)로 구성되어 있으며, 커플러(121)는 SAW 필터(161)에 인가되는 전력을 모니터링하는 역할을 수행하고, RF 스위치(122, 123)는 네트워크 분석기(140)를 이용한 SAW Filter(161)의 전기적인 특성을 모니터링할 수 있도록 경로를 바꾸어 주는 역할을 수행하며 제어부(150)에 의하여 제어된다. 그리고, 감쇠기(124)는 시험전력레벨이 전력메터(130)에 인가되어 전력메터(130)에서 측정할 수 있도록 감쇠하는 역할과 계측기 보호용으로 사용된다.

PDT 모듈(120)을 통해 출력되는 신호는 전력메터(130)에 의해 측정된다.

전력메터(130)는 컴퓨터(170)의 자동시험프로그램에 의하여 제어되며, 측정되는 모든 데이터는 컴퓨터(170)에 저장된다.

도 2 는 상기 도 1의 신뢰성 시험기의 일실시예 사시도이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 SAW 필터의 내전력 시험 시스템의 신뢰성 시험기는, 상부에 SAW 필터(201)를 장착하는 시료 탑재부(202), 팁형상으로 제조되어 탑재된 상기 SAW 필터(201)의 하부에 장착되며, 시험온도를 유지시키기 위한 가열블럭(203), 상기 가열블럭(203)과 분리된 구조로 상기 가열블럭(203)을 에워싸는 구조로 제작되어, 상기 SAW 필터(201)의 온도를 냉각시키기 위한 냉각블럭(204), 그리고 상기 SAW 필터(201)를 상, 하로 이동시키는 고정블럭(205)을 포함하는 SAW 필터(201)의 신뢰성 시험 시스템을 제공하며, 신뢰성 시험 시스템은 RTD(Resistance temperature dectecor)센서를 이용한 온도제어기(Temperature Controller)(190)를 자동측정 내전력 프로그램으로 컨트롤하여 칩의 온도를 최대 300℃까지 컨트롤 할 수 있다.

예를 들면, 약 85℃에서 시험시료에만 열이 인가되며, 기타 주변 마이크로스트립(Microstrip) 선로와 주변 커넥터에는 상온을 유지할 수 있도록 하여 온도에 따른 손실변화를 최대한 억제하여 신뢰성 있는 시험이 가능하게 하였으며, 많은 시료를 손쉽게 시험할 수 있는 편리성을 제공한다.

도 3 은 본 발명에 따른 SAW 필터의 내전력 시험 방법에 대한 일실시예 흐름도이다.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 SAW 필터의 내전력 시험 방법은, 먼저 제 1, 2 스위치를 제어하여 네트워크 분석기로 시험 전 SAW 필터의 전기적인 특성을 측정하고(301), 상기 제 1, 2 스위치를 제어하여 SAW 필터에 고전력 지속파 신호를 인가한다(302).

상기 지속파의 시험인가 전력 및 SAW 필터의 출력전력을 전력메터를 이용하여 측정하고(303), 고장판정기준에 벗어나는 경우 자동으로 신호발생기의 지속파 신호를 차단하여 시험종료을 한다(304).

시험 종료 후 상기 제 1, 2 스위치를 이용하여 네트워크 분석기로 SAW 필터의 전기적인 특성을 측정한다(305).

상기 SAW 필터의 내전력 시험 방법에 대한 일실시예는 다음과 같다.

전력메터(Power Meter)(130)의 제로잉(Zeroing)과 교정(Calibration)을 하고 네트워크분석기(Network Analyzer)(140)의 시작(Start), 종료(Stop) 주파수를 입력 후, 상기 교정을 신뢰성 시험기(160)의 제 1 스위치 포트(206)와 제 2 스위치 포트(207)에서 실시한다. 이 모든 작업은 내전력 자동시험프로그램을 통해 모두 제어되고 장비 셋업은 완료된다.

장비 셋업 후, 내전력 자동시험프로그램에서 시험 지속파 및 시험전력레벨을 입력하고, 신뢰성 시험기(160)의 시험온도를 80℃로 설정하여 온도를 유지시키고, 제 1 스위치 포트(206)와 제 2 스위치 포트(207)를 전력메터(130)의 포트와 연결하여 모니터링 되어지는 값이 같도록 내전력 자동시험프로그램을 이용하여 전력메터(130)의 오프셋(offset)값을 조절하여 시스템을 초기화 시킨다.

초기화 후 시료의 고장판정기준을 입력한다.

고장판정기준은 SAW 필터의 경우 시험주파수에서 삽입손실(Insertion loss)이 0.5dB 증가하는 시점을 기준으로 한다. 입력 후 시험파일명을 입력하고, 파워 트래킹(Power Tracking) 값을 설정(± 0.2 dB)하는데, 설정값은 고장판정기준이 0.5 dB이므로 더 작은 값으로 설정한다.

상기한 바와 같은 설정은 종래의 방법으로는 고장판정기준의 오차범위에 포함되어 신뢰성 있는 데이터를 얻을 수 없었으나, 본 발명에 의한 시험방법은 보다 신뢰성 있는 데이터를 얻을 수 있는 있다.

내전력 시험의 경우, 순간적으로 고전력이 SAW 필터에 인가되는 경우, SAW 필터의 IDT(InterDigital Transducer)가 파괴되므로 파워 스윕(Power Sweep)을 설정한다. 예를 들어 35 dBm의 시험조건인 경우, 30 dBm에서 35 dBm까지 약 10분정도 서서히 시험전력까지 증가하도록 설정한다.

고장판정기준(약 0.5 dB)을 벗어나는 경우 자동으로 신호 발생기(111)의 지속파 신호는 차단되고, 시험이 종료되며, 제 1, 2 스위치(122, 123)를 이용하여 네트워크분석기(140)로 SAW 필터의 전기적인 특성을 측정한다. 또한, 시험 중간에 제 1, 2스위치(122, 123)를 매우 빠르게 컨트롤하여 SAW 필터의 전기적인 특성을 모니터링 할 수 있다. 이때, 단속시험이지만, SAW 필터가 열적으로는 단속이 아니므로 갑자기 파괴되는 현상과는 무관하다.

시험이 끝난 모든 데이터는 시험일자, 온도메터(Thermal Meter)(180)를 이용하여 SAW 필터의 시험온도, 시험 전력레벨, 시험 주파수, 출력전력, 시험시간, 시험 전, 후의 전기적인 특성값들이 데이터로이 저장이 되어 신뢰성 시험 모델식(Eyring's model)에 적용되어 확률지에 플로팅하여 수명예측을 가능하게 한다.

상기와 같은 내전력 시험방법은 내전력 시험시스템을 이용하여 자동측정 내전력 프로그램을 통한 시험방법으로 편리하고 신뢰성 있는 수명예측을 제공한다.

상술한 바와 같은 본 발명의 방법은 프로그램으로 구현되어 컴퓨터로 읽을 수 있는 형태로 기록매체(씨디롬, 램, 롬, 플로피 디스크, 하드 디스크, 광자기 디스크 등)에 저장될 수 있다. 이러한 과정은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상 의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있으므로 더 이상 상세히 설명하지 않기로 한다.

이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니다.

상기와 같은 본 발명은, RTD(Resistance Temperature Detector) 센서를 이용한 정확한 시험온도제어가 가능한 신뢰성 시험 시스템을 사용하여 SAW 필터 및 듀플렉스(Duplexer) 등 RF 수동(Passive) 부품의 수명예측이 종래의 것보다 확실한 신뢰성을 확보할 수 있으며, 자동측정 프로그램을 이용하여 편리하고 정확한 계측기의 제어와 측정이 가능하여 정밀한 내전력 시험을 가능하게 하는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 자동측정 프로그램에 신뢰성 모델식의 적용으로 다양한 시험조건 및 측정 데이터를 가지고 수명예측이 가능하며, 향후 기지국에 사용되는 수동부품에도 전력증폭기 및 기타 PDT 모듈의 고전력 부품의 교체를 통하여 가속수명시험에 적용할 수 있는 효과가 있다.

Claims (5)

1. SAW 필터의 내전력 시험 시스템에 있어서,

   오실레이터(Oscillator)의 지속파(Continous Wave)를 발생시키기 위한 신호발생 수단;

   상기 신호발생 수단에서 인가된 신호를 측정하고자하는 전력레벨로 증폭하기 위한 고전력 증폭 수단;

   상기 고전력 증폭 수단에서 증폭된 신호를 인가받아 SAW 필터에 인가되는 전력을 모니터링하고, 네트워크 분석기를 통한 전기적인 특성을 모니터링하기 위해 경로를 설정하기 위한 PDT(Power Durability Testing) 수단;

   상기 PDT 수단에서 출력된 신호를 측정하기 위한 전력 측정 수단;

   상기 PDT 수단의 전기적인 특성을 모니터링할 수 있도록 경로를 바꾸어 주기 위한 제어 수단;

   상기 SAW 필터의 전기적인 특성을 분석하기 위한 상기 네트워크 분석 수단;

   상기 SAW 필터에 시험온도를 가하고, 유지하기 위한 신뢰성 시험 수단;

   상기 SAW 필터의 온도를 측정하기 위한 온도 측정 수단;

   상기 신뢰성 시험 수단에 가해지는 시험온도를 제어하기 위한 온도 제어 수단; 및

   상기 신호발생 수단, 전력 측정 수단, 네트워크 분석 수단, 제어 수단, 온도제어 수단, 온도 측정 수단을 제어하기 위한 컴퓨팅 수단

   을 포함하는 SAW 필터의 내전력 시험 시스템.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 PDT 수단은,

   상기 SAW 필터에 인가되는 전력을 모니터링하기 위한 커플링 수단;

   상기 네트워크 분석 수단을 이용한 상기 SAW 필터의 전기적인 특성을 모니터링할 수 있도록 경로를 바꾸어 주기 위한 스위칭 수단; 및

   시험전력레벨이 상기 전력 측정 수단에 인가되어 상기 전력 측정 수단에서 측정할 수 있도록 감쇠시키고, 계측기 보호용으로 사용하기 위한 감쇠 수단

   을 포함하는 SAW 필터의 내전력 시험 시스템.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 신뢰성 시험 수단은,

   상부에 SAW 필터를 장착하기 위한 시료 탑재 수단;

   팁형상으로 제조되어 탑재된 상기 SAW 필터의 하부에 장착되며, 시험온도를 유지시키기 위한 가열 수단;

   상기 가열 수단과 분리된 구조로 상기 가열 수단을 에워싸는 구조로 제작되어, 상기 SAW 필터의 온도를 냉각시키기 위한 냉각 수단; 및

   상기 SAW 필터를 상, 하로 이동시키기 위한 고정 수단

   을 포함하는 SAW 필터의 내전력 시험 시스템.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 컴퓨팅 수단은,

   내전력 자동시험프로그래밍에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 SAW 필터의 내전력 시험 시스템.
5. SAW 필터의 내전력 시험 방법에 있어서,

   제 1, 2 스위치를 제어하여 네트워크 분석기로 시험 전 SAW 필터의 전기적인 특성을 측정하는 시험전 SAW 필터 전기적 특성 측정 단계;

   상기 제 1, 2 스위치를 제어하여 SAW 필터에 고전력 지속파 신호를 인가하는 고전력 지속파 신호 인가 단계;

   상기 고전력 지속파의 시험인가 전력 및 SAW 필터의 출력전력을 전력메터를 이용하여 측정하는 출력전력 측정 단계;

   기 설정된 고장판정기준에 벗어나는 경우 자동으로 신호발생기의 지속파 신호를 차단하여 시험을 종료하는 시험 종료 단계; 및

   상기 시험 종료 단계 후, 상기 제 1, 2 스위치를 이용하여 네트워크 분석기 로 SAW 필터의 전기적인 특성을 측정하는 시험 종료 후 SAW 필터 전기적 특성 측정 단계

   를 포함하는 SAW 필터의 내전력 시험 방법.

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