KR100738169B1 - Magnetic recording medium and its manufacturing method, magnetic recorder, and magnetic recording method - Google Patents
Magnetic recording medium and its manufacturing method, magnetic recorder, and magnetic recording method Download PDFInfo
- Publication number
- KR100738169B1 KR100738169B1 KR1020057007283A KR20057007283A KR100738169B1 KR 100738169 B1 KR100738169 B1 KR 100738169B1 KR 1020057007283 A KR1020057007283 A KR 1020057007283A KR 20057007283 A KR20057007283 A KR 20057007283A KR 100738169 B1 KR100738169 B1 KR 100738169B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- layer
- magnetic
- magnetic recording
- soft magnetic
- recording medium
- Prior art date
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 440
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 93
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 96
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 60
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 50
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 19
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 371
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 38
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 22
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 21
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 20
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 20
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 16
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 16
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 9
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 7
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 7
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 229910000358 iron sulfate Inorganic materials 0.000 description 6
- BAUYGSIQEAFULO-UHFFFAOYSA-L iron(2+) sulfate (anhydrous) Chemical compound [Fe+2].[O-]S([O-])(=O)=O BAUYGSIQEAFULO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910001586 aluminite Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L nickel sulfate Chemical compound [Ni+2].[O-]S([O-])(=O)=O LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 5
- 229910000363 nickel(II) sulfate Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910018979 CoPt Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 229910002546 FeCo Inorganic materials 0.000 description 3
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- XTEGARKTQYYJKE-UHFFFAOYSA-M Chlorate Chemical compound [O-]Cl(=O)=O XTEGARKTQYYJKE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910002441 CoNi Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 CoNiP Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910002555 FeNi Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910005335 FePt Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000002595 Solanum tuberosum Nutrition 0.000 description 2
- 244000061456 Solanum tuberosum Species 0.000 description 2
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000361 cobalt sulfate Inorganic materials 0.000 description 2
- 229940044175 cobalt sulfate Drugs 0.000 description 2
- KTVIXTQDYHMGHF-UHFFFAOYSA-L cobalt(2+) sulfate Chemical compound [Co+2].[O-]S([O-])(=O)=O KTVIXTQDYHMGHF-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 150000004645 aluminates Chemical class 0.000 description 1
- 239000010407 anodic oxide Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000000866 electrolytic etching Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000006249 magnetic particle Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/667—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers including a soft magnetic layer
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/858—Producing a magnetic layer by electro-plating or electroless plating
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/90—Magnetic feature
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
본 발명은 고밀도 기록·고속 기록이 가능하고, 오버라이트 특성이 뛰어나며, 균일한 특성을 갖는 고품질이고 대용량의 자기 기록 매체 등의 제공을 목적으로 한다. 본 발명의 자기 기록 매체는 기판 위에, 그 기판면에 대해 대략 직교하는 방향으로 미세 구멍이 복수개 형성된 다공질층을 갖고 이루어지며, 그 미세 구멍의 내부에 연자성층과 강자성층을 상기 기판측으로부터 이 순서대로 갖고, (1) 그 강자성층의 두께가 그 연자성층의 두께 이하 및 (2) 그 강자성층의 두께가 기록시에 사용되는 선기록 밀도로 결정되는 최소 비트 길이의 1/3배∼3배 중 어느 하나이다. 본 발명의 자기 기록 매체의 제조 방법은 상기 자기 기록 매체의 제조 방법으로서, 기판 위에 다공질층 형성 재료층을 형성한 후, 그 다공질층 형성 재료층에 대해 다공질화 처리를 행하고, 그 기판면에 대해 대략 직교하는 방향으로 미세 구멍을 복수개 형성하여 다공질층을 형성하는 다공질층 형성 공정, 그 미세 구멍의 내부에 연자성층을 형성하는 연자성층 형성 공정, 및 그 연자성층 위에 강자성층을 형성하는 강자성층 형성 공정을 포함한다.An object of the present invention is to provide a high-quality, high-capacity magnetic recording medium or the like capable of high density recording and high-speed recording, excellent overwrite characteristics, and uniform characteristics. The magnetic recording medium of the present invention has a porous layer having a plurality of micropores formed on a substrate in a direction substantially orthogonal to the substrate surface, and a soft magnetic layer and a ferromagnetic layer in the micropores from this substrate side. (1) 1/3 to 3 times the minimum bit length determined by (1) the thickness of the ferromagnetic layer is less than or equal to the soft magnetic layer and (2) the thickness of the ferromagnetic layer is determined by the pre-recording density used at the time of recording. Which is either. The method for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention is a method for manufacturing the magnetic recording medium, wherein a porous layer forming material layer is formed on a substrate, and then the porous layer forming material layer is subjected to a porous treatment, and the substrate surface A porous layer forming process for forming a porous layer by forming a plurality of micropores in a substantially orthogonal direction, a soft magnetic layer forming process for forming a soft magnetic layer inside the micropores, and a ferromagnetic layer forming for forming a ferromagnetic layer on the soft magnetic layer Process.
자기 기록 매체, 자기 기록 장치, 강자성층, 연자성층, 다공질층 Magnetic recording medium, magnetic recording device, ferromagnetic layer, soft magnetic layer, porous layer
Description
본 발명은 컴퓨터의 외부 기억 장치, 민생용 비디오 기록 장치 등으로서 널리 사용되고 있는 하드디스크 장치 등에 적합하고, 대용량으로 고속 기록이 가능한 자기 기록 매체 및 그 효율적이고 저비용의 제조 방법과, 그 자기 기록 매체를 이용한 수직 기록 방식의 자기 기록 장치 및 자기 기록 방법에 관한 것이다.The present invention is suitable for a hard disk device or the like widely used as an external storage device for a computer, a public video recording device, or the like. A magnetic recording apparatus and a magnetic recording method of the vertical recording method used.
최근, IT 산업 등에 있어서의 기술 혁신에 수반하여, 자기 기록 매체의 대용량화·고속화·저비용화의 연구 개발이 활발하게 이루어지고 있다. 그 자기 기록 매체의 대용량화·고속화·저비용화를 위해서는 그 자기 기록 매체에 있어서의 기록 밀도의 향상이 필수적이다. 종래로부터, 그 자기 기록 매체에 있어서의 연속 자성막의 수평 기록에 의해 그 자기 기록 매체의 기록 밀도를 향상시키려는 시도가 이루어져 왔지만, 기술적으로는 한계에 부딪히고 있다. 그 이유는 첫째, 상기 연속 자성막을 형성하는 자성 입자의 결정입자가 크면 복잡 자구를 발생시켜 노이즈가 커지는 한편, 이것을 피하기 위해 상기 결정 입자를 작게 하면 열 요동에 의해 자화가 경시적으로 감소하여 에러가 발생하기 때문이다. 둘째, 상기 자기 기록 매 체의 기록 밀도를 높이면 상대적으로 기록 감자계가 커지기 때문에, 그 자기 기록 매체의 보자력을 크게 할 필요가 있는 한편, 기록 헤드의 기입 능력이 부족하여 오버라이트 특성을 확보할 수 없게 되기 때문이다.In recent years, with the technological innovation in the IT industry, the research and development of the large capacity, high speed, and low cost of magnetic recording media are actively performed. In order to increase the capacity, speed, and cost of the magnetic recording medium, it is necessary to improve the recording density of the magnetic recording medium. Conventionally, attempts have been made to improve the recording density of the magnetic recording medium by horizontal recording of the continuous magnetic film on the magnetic recording medium. However, technical limitations are encountered. The reason for this is as follows: First, when the crystal grains of the magnetic particles forming the continuous magnetic film are large, complex magnetic domains are generated to increase noise, while to avoid this, when the crystal grains are made small, the magnetization decreases over time due to thermal fluctuations, resulting in an error. Because it occurs. Second, since increasing the recording density of the magnetic recording medium increases the recording potato system, it is necessary to increase the coercive force of the magnetic recording medium, while the writing capability of the recording head is insufficient, so that the overwrite characteristic cannot be secured. Because it becomes.
최근에는, 상기 수평 기록을 대신하는 새로운 기록 방식에 관한 연구가 활발하게 이루어지고 있다. 그 하나가, 상기 자기 기록 매체에 있어서의 자성막을 연속막이 아닌 도트, 바, 필러 등의 패턴 형상으로 하고, 그 사이즈를 나노미터 수준으로 함으로써 복잡 자구가 아닌 단자구 구조로 한 패턴화된 미디어를 이용하는 기록 방식이다(예를 들면, 비특허문헌 1 참조). 다른 하나가, 상기 수평 기록에 비해, 기록 감자계가 작기 때문에 고밀도화가 가능하고, 기록층을 극단적으로 얇게 할 필요가 없기 때문에 기록 자화의 열 요동에 대한 내성 향상이 가능한 수직 기록에 의한 기록 방식이다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 그 수직 기록에 의한 기록 방식에 대해서는 연자성막과 수직 자화막을 병용하는 제안 등이 이루어져 있지만(예를 들면, 특허문헌 2 참조), 단자극 헤드에 의한 기입성이 충분하지 않은 등의 점에서, 연자성 하지층을 형성하는 제안(예를 들면, 특허문헌 3 참조) 등이 더 이루어져 있다. 상기 수직 기록에 의한 기록 방식에서 자기 기록 매체에 대해, 자기 기록을 행하는 일례로서는 도 1에 도시하는 바와 같이, 수직 자기 기록 방식의 기입 겸 판독용 헤드(단자극 헤드)의 주자극(52)을, 자기 기록 매체의 기록층(30)에 대향시킨다. 그 자기 기록 매체는 기판 위에 연자성층(10)과 중간층(비자성층, 20)과 기록층(수직 자화막)(30)을 이 순서대로 갖고 있다. 기입 겸 판독용 헤드(단자극 헤드)의 주자극(52)에서 기록층(수직 자화막)(30)측으로 높은 자속 밀도로 입력된 기록 자계는, 기록층(수직 자화막)(30)으로부터 연자성층(10)으로, 연자성층(10)에서 기입 겸 판독용 헤드(라이트&리드 헤드)의 후반부(50)로 흘러서 자기 회로가 형성된다. 후반부(50)에 있어서의 기록층(수직 자화막)(30)과 대향하는 부분은 대면적으로 형성되어 있으므로, 기록층(수직 자화막)(30)으로부터 부여하는 자화의 영향은 없다.In recent years, research has been actively conducted on a new recording method that replaces the horizontal recording. One of them is a patterned media having a terminal sphere structure instead of a complex domain by forming a magnetic film in the magnetic recording medium into a pattern shape of dots, bars, fillers, etc., not a continuous film, and having a size of nanometer. It is a recording method used (for example, refer nonpatent literature 1). On the other hand, the recording method is a vertical recording method in which the recording potato system is smaller than the above-mentioned horizontal recording, which makes it possible to increase the density, and because the recording layer does not need to be made extremely thin, the recording magnetization can improve the resistance to thermal fluctuations. For example, refer patent document 1). As for the recording method by the vertical recording, proposals using a soft magnetic film and a vertical magnetization film together have been made (for example, refer to Patent Document 2). However, since the writeability by the terminal electrode head is insufficient, A proposal (for example, refer patent document 3) etc. which form a magnetic underlayer are made | formed further. As an example of performing magnetic recording on the magnetic recording medium in the recording method by the vertical recording, as shown in FIG. 1, the main
상기한 자성막을 패턴 형상으로 하는 경우에는 그 패터닝이 용이하지 않아서 고비용 등의 문제가 있다. 한편, 상기의 연자성 하지층을 형성하는 경우에는 자기 기록시에 상기 단자극 헤드와 그 연자성층 하지층 사이의 거리를 짧게 해야만 하는데, 그 거리가 길면 도 2A에 도시하는 바와 같이 기입 겸 판독용 헤드(단자극 헤드)의 주자극(52)으로부터 연자성 하지층(10)을 향하는 자속이 거리와 함께 발산되어 버려서, 연자성 하지층(10) 위에 형성된 기록층(수직 자화막)(30)의 하부에서는 확장된 자계에서의 기록만 가능하여, 큰 비트만 기록할 수 있는 문제가 있다. 이 경우, 기입 겸 판독용 헤드(단자극 헤드)에 의한 기입 전류도 늘려야만 하고, 또한 큰 비트를 기록한 후에 작은 비트를 기록하면, 큰 비트의 소거 잔류량이 커져서, 오버라이트 특성이 악화되어 버리는 문제가 있다.In the case where the magnetic film has a pattern shape, the patterning is not easy, and there is a problem such as high cost. On the other hand, in the case of forming the soft magnetic underlayer, the distance between the terminal pole head and the soft magnetic layer underlayer should be shortened at the time of magnetic recording. The magnetic flux toward the soft
그런데, 상기 패턴화된 미디어를 이용하는 기록 방식과, 상기 수직 기록에 의한 기록 방식을 겸한 새로운 자기 기록 매체로서, 양극 산화 알루마이트 포어의 포어 중에 자성 금속을 충전하여 이루어지는 자기 기록 매체도 제안되어 있다(예를 들면, 특허문헌 4 참조). 그 자기 기록 매체는 도 3에 도시하는 바와 같이, 기판(100) 위에 하지 전극층(120)과 양극 산화 알루마이트층(130)을 이 순서대로 갖고 이루어지며, 양극 산화 알루마이트층(13)에는 다수의 알루마이트 포어(140)가 질서있게 배열되어 형성되어 있으며, 그 알루마이트 포어 중에 강자성 금속이 충전되어 강자성층이 형성되어 있다.By the way, as a new magnetic recording medium which combines the recording method using the patterned media and the recording method by the vertical recording, a magnetic recording medium in which a magnetic metal is filled in the pores of anodized aluminite pores has also been proposed (examples). For example, refer patent document 4). As shown in FIG. 3, the magnetic recording medium has a
그러나, 이 경우, 양극 산화 알루마이트층(130)에 질서있게 배열된 알루마이트 포어(140)를 형성하기 위해서는, 통상적으로 500nm를 초과하는 두께의 양극 산화 알루마이트층(130)이 필요하고, 설령 상기 연자성 하지층을 형성했다고 하더라도 상기와 같이 단자극 헤드와 연자성 하지층 사이의 거리가 커져서, 고밀도 기록을 행할 수 없는 문제가 있다. 이 때문에, 양극 산화 알루마이트층(130)을 연마하여 두께를 얇게 하는 것도 검토되고 있지만, 그 연마는 용이하지 않을 뿐만 아니라 시간을 필요로 하고 고비용이어서 품질 열화의 원인으로 되는 문제가 있다. 실제로, 1Tb/in2를 타겟으로 한 선기록 밀도 1500kBPI로 자기 기록을 행하기 위해서는 상기 단자극 헤드와 상기 연자성 하지층 사이의 거리를 25nm 정도로 하고, 양극 산화 알루마이트층(130)의 두께를 20nm 정도로 할 필요가 있어, 양극 산화 알루마이트층(130)을 연마하는 수고 등이 큰 문제로 된다.However, in this case, in order to form the
[비특허문헌 1] S. Y. Chou Proc. IEEE 85(4), 652(1997)[Non-Patent Document 1] S. Y. Chou Proc. IEEE 85 (4), 652 (1997)
[특허문헌 1] 일본 특허공개 평6-180834호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-180834
[특허문헌 2] 일본 특허공개 소52-134706호 공보[Patent Document 2] Japanese Patent Application Laid-open No. 52-134706
[특허문헌 3] 일본 특허공개 2001-283419호 공보[Patent Document 3] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-283419
[특허문헌 4] 일본 특허공개 2002-175621호 공보[Patent Document 4] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-175621
본 발명은 종래에 있어서의 제문제를 해결하고, 컴퓨터의 외부 기억 장치, 민생용 비디오 기록 장치 등으로 널리 사용되고 있는 하드디스크 장치 등에 적합하고, 자기 헤드의 기입 전류를 증가시키지 않으면서 고밀도 기록·고속 기록이 가능하며, 오버라이트 특성이 뛰어나고, 균일한 특성을 갖는 고품질의 대용량 자기 기록 매체 및 그 효율적이고 저비용의 제조 방법과, 그 자기 기록 매체를 이용한 수직 기록 방식에 의해, 고밀도 기록 가능한 자기 기록 장치 및 자기 기록 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention solves the problems of the prior art, is suitable for a hard disk device or the like widely used as an external storage device of a computer, a video recording device for public use, and the like, and has high density recording and high speed without increasing the write current of the magnetic head. High-density magnetic recording apparatus capable of high-density recording by a high-capacity large-capacity magnetic recording medium capable of recording, excellent overwrite characteristics and uniform characteristics, its efficient and low-cost manufacturing method, and a vertical recording method using the magnetic recording medium. And a magnetic recording method.
본 발명의 제1 형태에 따른 자기 기록 매체는, 기판 위에, 그 기판면에 대해 대략 직교하는 방향으로 미세 구멍이 복수개 형성된 다공질층을 갖고 이루어지고, 그 미세 구멍의 내부에, 연자성층과 강자성층을 상기 기판측으로부터 이 순서대로 갖고, 그 강자성층의 두께가 그 연자성층의 두께 이하인 것을 특징으로 한다.The magnetic recording medium according to the first aspect of the present invention has a porous layer having a plurality of micropores formed on a substrate in a direction substantially orthogonal to the substrate surface, and having a soft magnetic layer and a ferromagnetic layer in the micropores. It has in this order from the said board | substrate side, The thickness of this ferromagnetic layer is characterized by being below the thickness of the soft magnetic layer.
그 자기 기록 매체에 있어서는 상기 강자성층이 상기 다공질층에 있어서의 미세 구멍의 내부에 형성한 상기 연자성층 위에 적층되어 있고, 그 다공질층보다도 두께가 얇아져 있다. 이 때문에, 그 자기 기록 매체에 대해 단자극 헤드를 이용하여 자기 기록을 행한 경우에는, 상기 단자극 헤드와 상기 연자성층 사이의 거리가 상기 다공질층의 두께보다도 짧고, 상기 강자성층의 두께와 대략 동일하게 되므로, 상기 다공질층의 두께에 관계없이 상기 강자성층의 두께만으로, 상기 단자극 헤드로부터의 자속의 집중, 사용되는 기록 밀도에서의 최적의 자기 기록 재생 특성 등이 제어가능해지고, 또한, 도 2B 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 상기 단자극 헤드의 주자극(52)으로부터의 자속이 상기 강자성층(수직 자화막)(30)에 집중한 결과, 그 자기 기록 매체에 있어서는 종래의 자기 기록 매체에 비해, 기입 효율이 대폭적으로 향상되고, 기입 전류가 작아도 되어, 오버라이트 특성이 현저하게 향상된다.In the magnetic recording medium, the ferromagnetic layer is laminated on the soft magnetic layer formed inside the fine holes in the porous layer, and is thinner than the porous layer. For this reason, when magnetic recording is performed on the magnetic recording medium using the terminal electrode head, the distance between the terminal electrode head and the soft magnetic layer is shorter than the thickness of the porous layer, and is approximately equal to the thickness of the ferromagnetic layer. Therefore, regardless of the thickness of the porous layer, only the thickness of the ferromagnetic layer makes it possible to control the concentration of magnetic flux from the terminal head, the optimum magnetic recording and reproduction characteristics at the recording density used, and the like. As shown in FIG. 4, the magnetic flux from the main
본 발명의 제2 형태에 따른 자기 기록 매체는, 기판 위에, 상기 기판면에 대해 대략 직교하는 방향으로 미세 구멍이 복수개 형성된 다공질층을 갖고 이루어지고, 그 미세 구멍의 내부에, 연자성층과 강자성층을 상기 기판측으로부터 이 순서대로 갖고, 그 강자성층의 두께가 기록시에 사용되는 선기록 밀도로 결정되는 최소 비트 길이의 1/3배∼3배인 것을 특징으로 한다.The magnetic recording medium according to the second aspect of the present invention has a porous layer having a plurality of micropores formed on a substrate in a direction substantially orthogonal to the substrate surface, and having a soft magnetic layer and a ferromagnetic layer in the micropores. And the thickness of the ferromagnetic layer is 1/3 to 3 times the minimum bit length determined by the pre-recording density used at the time of recording.
그 자기 기록 매체에 있어서는 상기 강자성층이 상기 다공질층에 있어서의 미세 구멍의 내부에 형성된 상기 연자성층 위에 적층되어 있고, 그 두께가 기록시에 사용되는 선기록 밀도로 결정되는 최소 비트 길이의 1/3배∼3배이다. 이 때문에, 그 자기 기록 매체에 대해 단자극 헤드를 이용하여 자기 기록을 행한 경우에는, 그 자기 기록 매체에 있어서는 상기 단자극 헤드로부터의 자속의 집중, 사용되는 기록 밀도에서의 최적의 자기 기록 재생 특성 등이 제어가능하고, 또한, 도 2B 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 상기 단자극 헤드의 주자극(52)으로부터의 자속이 상기 강자성층(수직 자화막)(30)에 집중한 결과, 종래의 자기 기록 매체에 비해, 기입 효율이 대폭적으로 향상되고, 기입 전류가 작아도 되어, 오버라이트 특성이 현저하게 향상된다.In the magnetic recording medium, the ferromagnetic layer is laminated on the soft magnetic layer formed inside the fine holes in the porous layer, and the thickness thereof is 1 / of the minimum bit length determined by the prerecording density used at the time of recording. 3 to 3 times For this reason, when magnetic recording is performed on the magnetic recording medium using the terminal electrode head, the magnetic recording medium has optimal magnetic recording and reproduction characteristics at the concentration of the magnetic flux from the terminal electrode head and the recording density used. 2B and 4, the magnetic flux from the main
본 발명의 제3 형태에 따른 자기 기록 매체는, 기판 위에, 연자성 하지층과, 상기 기판면에 대해 대략 직교하는 방향으로 미세 구멍이 복수개 형성된 다공질층을 갖고 이루어지고, 그 미세 구멍의 내부에, 연자성층과 강자성층을 상기 기판측으로부터 이 순서대로 갖고, 그 강자성층의 두께가 그 연자성층 및 상기 연자성 하지층 두께의 합계 이하인 것을 특징으로 한다.The magnetic recording medium according to the third aspect of the present invention has a soft magnetic underlayer and a porous layer having a plurality of micropores formed in a direction substantially orthogonal to the surface of the substrate, on the substrate. And a soft magnetic layer and a ferromagnetic layer in this order from the substrate side, and the thickness of the ferromagnetic layer is equal to or less than the sum of the thicknesses of the soft magnetic layer and the soft magnetic base layer.
그 자기 기록 매체에 있어서는 상기 강자성층의 두께가 상기 연자성층 및 상기 연자성 하지층 두께의 합계 이하이고, 그 강자성층이 상기 연자성 하지층 위의 다공질층에 있어서 미세 구멍의 내부에 형성한 상기 연자성층 위에 적층되어 있으며, 그 다공질층의 두께보다도 얇아져 있다. 이 때문에 그 자기 기록 매체에 대해 단자극 헤드를 이용하여 자기 기록을 행한 경우에는 상기 단자극 헤드와 상기 연자성층 사이의 거리가 상기 다공질층의 두께보다도 짧고, 상기 강자성층의 두께와 대략 동일해지므로, 상기 다공질층의 두께에 관계없이 상기 강자성층의 두께만으로 상기 단자극 헤드로부터의 자속의 집중, 사용되는 기록 밀도에서의 최적의 자기 기록 재생 특성 등이 제어가능해지고, 또한, 도 2B 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 상기 단자극 헤드의 주자극(52)으로부터의 자속이 상기 강자성층(수직 자화막)(30)에 집중한 결과, 그 자기 기록 매체에 있어서는 종래의 자기 기록 매체에 비해 기입 효율이 대폭적으로 향상되고, 기입 전류가 작아도 되어, 오버라이트 특성이 현저히 향상된다.In the magnetic recording medium, the thickness of the ferromagnetic layer is equal to or less than the sum of the thickness of the soft magnetic layer and the soft magnetic base layer, and the ferromagnetic layer is formed inside the micropores in the porous layer on the soft magnetic base layer. It is laminated on the soft magnetic layer, and is thinner than the thickness of the porous layer. For this reason, when magnetic recording is performed on the magnetic recording medium using the terminal electrode head, the distance between the terminal electrode head and the soft magnetic layer is shorter than the thickness of the porous layer, and becomes approximately equal to the thickness of the ferromagnetic layer. Irrespective of the thickness of the porous layer, only the thickness of the ferromagnetic layer can control the concentration of magnetic flux from the terminal head, the optimum magnetic recording and reproduction characteristics at the recording density used, and the like. FIGS. 2B and 4 As shown in Fig. 2, the magnetic flux from the main
본 발명의 자기 기록 매체의 제조 방법은, 본 발명의 자기 기록 매체를 제조하는 자기 기록 매체의 제조 방법으로서, 기판 위에 연자성 하지막을 형성하고, 그 위에 다공질층 형성 재료층을 형성한 후, 그 다공질층 형성 재료층에 대해 다공질화 처리를 행함으로써, 그 기판면에 대해 대략 직교하는 방향으로 미세 구멍을 복수개 형성하여 다공질층을 형성하는 다공질층 형성 공정, 그 미세 구멍의 내부에 연자성층을 형성하는 연자성층 형성 공정, 및 그 연자성층 위에 강자성층을 형성하는 강자성층 형성 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.The manufacturing method of the magnetic recording medium of this invention is a manufacturing method of the magnetic recording medium which manufactures the magnetic recording medium of this invention, after forming a soft magnetic base film on a board | substrate, and forming a porous layer formation material layer thereon, A porous layer forming step of forming a porous layer by forming a plurality of micropores in a direction substantially orthogonal to the substrate surface by performing the porous layer forming material layer on a porous layer, and forming a soft magnetic layer inside the micropores. And a ferromagnetic layer forming step of forming a ferromagnetic layer on the soft magnetic layer.
그 자기 기록 매체의 제조 방법에서는, 상기 다공질층 형성 공정에 있어서, 기판 위에 다공질층 형성 재료층이 형성된 후, 그 다공질층 형성 재료층에 대해 다공질화 처리가 행해지고, 그 기판면에 대해 대략 직교하는 방향으로 미세 구멍이 복수개 형성되어 다공질층이 형성된다. 상기 연자성층 형성 공정에 있어서, 상기 미세 구멍의 내부에 연자성층이 형성된다. 상기 강자성층 형성 공정에 있어서 그 연자성층 위에 강자성층이 형성된다. 그 결과, 본 발명의 자기 기록 매체가 제조된다.In the method of manufacturing the magnetic recording medium, in the porous layer forming step, after the porous layer forming material layer is formed on the substrate, the porous layer forming material layer is subjected to a porous treatment, and substantially perpendicular to the substrate surface. A plurality of fine holes are formed in the direction to form a porous layer. In the soft magnetic layer forming step, a soft magnetic layer is formed inside the fine holes. In the ferromagnetic layer forming step, a ferromagnetic layer is formed on the soft magnetic layer. As a result, the magnetic recording medium of the present invention is produced.
본 발명의 자기 기록 장치는 본 발명의 상기 자기 기록 매체와, 수직 자기 기록용 헤드를 갖는 것을 특징으로 한다.The magnetic recording apparatus of the present invention includes the magnetic recording medium of the present invention and a vertical magnetic recording head.
그 자기 기록 장치에 있어서는, 상기 수직 자기 기록용 헤드가 본 발명의 상기 자기 기록 매체에 대해 자기 기록을 행한다. 그 자기 기록 매체는 상기 강자성층이 상기 다공질층에 있어서의 미세 구멍의 내부에 형성한 상기 연자성층 위에 적층되어 있고, 그 다공질층의 두께보다도 얇아져 있다. 이 때문에, 그 자기 기록 매체에 대해 단자극 헤드 등의 상기 수직 자기 기록용 헤드를 이용하여 자기 기록을 행한 경우에는 그 수직 자기 기록용 헤드와 상기 연자성층 사이의 거리가 상기 다공질층의 두께보다도 짧고, 상기 강자성층의 두께와 대략 동일해지기 때문에, 상기 다공질층의 두께에 관계없이 상기 강자성층의 두께만으로 상기 수직 자기 기록용 헤드로부터의 자속의 집중, 사용되는 기록 밀도에서의 최적의 자기 기록 재생 특성 등이 제어 가능해진다. 상기 자기 기록 장치에 의해 자기 기록을 행한 경우, 도 2B 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 상기 단자극 헤드의 주자극(52)으로부터의 자속이 상기 강자성층(수직 자화막)(30)에 집중한 결과, 종래의 자기 기록 장치에 비해, 기입 효율이 대폭적으로 향상되고, 기입 전류가 작아도 되어, 오버라이트 특성이 현저하게 향상된다.In the magnetic recording apparatus, the vertical magnetic recording head performs magnetic recording on the magnetic recording medium of the present invention. In the magnetic recording medium, the ferromagnetic layer is laminated on the soft magnetic layer formed inside the fine hole in the porous layer, and is thinner than the thickness of the porous layer. For this reason, when magnetic recording is performed on the magnetic recording medium using the vertical magnetic recording head such as a terminal electrode head, the distance between the vertical magnetic recording head and the soft magnetic layer is shorter than the thickness of the porous layer. Since the thickness is approximately equal to the thickness of the ferromagnetic layer, the magnetic flux concentration from the vertical magnetic recording head is concentrated only at the thickness of the ferromagnetic layer, regardless of the thickness of the porous layer. Characteristics and the like can be controlled. When magnetic recording is performed by the magnetic recording apparatus, as shown in FIGS. 2B and 4, the magnetic flux from the main
본 발명의 자기 기록 방법은 본 발명의 상기 자기 기록 매체에 대해 수직 자기 기록용 헤드를 이용하여 기록을 행하는 것을 포함하는 것을 특징으로 한다.The magnetic recording method of the present invention is characterized by recording on the magnetic recording medium of the present invention using a vertical magnetic recording head.
그 자기 기록 방법에 있어서는 상기 수직 자기 기록용 헤드에 의해 본 발명의 상기 자기 기록 매체에 대해 자기 기록이 행해진다. 그 자기 기록 매체는 상기 강자성층이 상기 다공질층에 있어서의 미세 구멍 내부에 형성한 상기 연자성층 위에 적층되어 있고, 그 다공질층의 두께보다 얇아져 있다. 이 때문에 그 자기 기록 매체에 대해 단자극 헤드 등의 상기 수직 자기 기록용 헤드를 이용하여 자기 기록을 행한 경우에는 그 수직 자기 기록용 헤드와 상기 연자성층 사이의 거리가 상기 다공질층의 두께보다도 짧고, 상기 강자성층의 두께와 대략 동일해지기 때문에, 상기 다공질층의 두께에 관계없이 상기 강자성층의 두께만으로 상기 수직 자기 기록용 헤드로부터의 자속의 집중, 사용되는 기록 밀도에서의 최적의 자기 기록 재생 특성 등이 제어 가능해진다. 상기 자기 기록 방법에 의해 자기 기록을 행한 경우, 도 2B 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 상기 단자극 헤드의 주자극(52)으로부터의 자속이 상기 강자성층(수직 자화막)(30)에 집중한 결과, 종래의 자기 기록 장치에 비해, 기입 효율이 대폭적으로 향상되고, 기입 전류가 작아도 되어, 오버라이트 특성이 현저하게 향상된다.In the magnetic recording method, magnetic recording is performed on the magnetic recording medium of the present invention by the vertical magnetic recording head. The magnetic recording medium is laminated on the soft magnetic layer in which the ferromagnetic layer is formed inside the micropores in the porous layer, and is thinner than the thickness of the porous layer. For this reason, when magnetic recording is performed on the magnetic recording medium using the vertical magnetic recording head such as a terminal electrode head, the distance between the vertical magnetic recording head and the soft magnetic layer is shorter than the thickness of the porous layer. Since the thickness is approximately equal to the thickness of the ferromagnetic layer, the magnetic flux concentration from the vertical magnetic recording head is concentrated only at the thickness of the ferromagnetic layer, and the optimum magnetic recording and reproducing characteristic is used regardless of the thickness of the porous layer. Etc. can be controlled. When magnetic recording is performed by the magnetic recording method, as shown in FIGS. 2B and 4, the magnetic flux from the main
도 1은 종래의 자기 기록 매체를 이용한 경우의 수직 기록 방식에 의한 자기 기록을 행하고 있는 일례를 도시한 개념도이다.1 is a conceptual diagram showing an example of magnetic recording by the vertical recording method in the case of using a conventional magnetic recording medium.
도 2A는 종래의 자기 기록 매체를 이용한 경우의 수직 기록 방식에 의한 자기 기록시에, 자속이 확산되어 버린 상태의 일례를 설명하기 위한 개념도이고, 도 2B는 본 발명의 자기 기록 매체를 이용한 경우의 수직 기록 방식에 의한 자기 기록시에, 자속이 확산되지 않고 집중하는 상태의 일례를 설명하기 위한 개념도이다.FIG. 2A is a conceptual diagram for explaining an example of a state in which magnetic flux has diffused during magnetic recording by the vertical recording method in the case of using a conventional magnetic recording medium, and FIG. 2B is a case of using the magnetic recording medium of the present invention. It is a conceptual diagram for explaining an example of a state in which magnetic flux is concentrated without being diffused during magnetic recording by the vertical recording method.
도 3은 종래에 있어서의, 양극 산화 알루마이트 포어의 포어 중에 자성 금속을 충전하여 이루어지고, 패턴화된 미디어와 수직 기록 방식을 겸한 자기 기록 매체의 일례를 도시한 개략 설명도이다.Fig. 3 is a schematic explanatory view showing an example of a magnetic recording medium which is formed by filling a magnetic metal in a pore of anodized aluminite pore in the related art, and also serves as a patterned medium and a vertical recording method.
도 4는 본 발명의 자기 기록 매체에 대해 단자극 헤드를 이용하여 수직 자기 기록 방식에 의해 자기 기록을 행하고 있는 상태의 일례를 도시한 일부 단면 개략 설명도이다.4 is a partial cross-sectional schematic diagram showing an example of a state in which magnetic recording is performed by a vertical magnetic recording method using a terminal electrode head with respect to the magnetic recording medium of the present invention.
도 5는 본 발명의 자기 기록 매체와 종래의 자기 기록 매체에 있어서의 S/N비 및 오버라이트 특성의 비교 실험 데이터를 도시한 그래프이다.5 is a graph showing comparative experiment data of the S / N ratio and overwrite characteristics in the magnetic recording medium of the present invention and the conventional magnetic recording medium.
(자기 기록 매체)(Magnetic recording medium)
본 발명의 자기 기록 매체는 기판 위에 다공질층을 갖고 이루어지며, 또한 필요에 따라 적당히 선택한 그 외의 층을 가지고 이루어진다.The magnetic recording medium of the present invention has a porous layer on a substrate, and has other layers suitably selected as necessary.
상기 다공질층에는 상기 기판면에 대해 대략 직교하는 방향으로 미세 구멍이 복수개 형성되어 있고, 그 미세 구멍의 내부에 연자성층과 강자성층이 상기 기판측으로부터 이 순서대로 적층되어 있으며, 또한 필요에 따라 비자성층(중간층)이 형성되어 있다.The porous layer is provided with a plurality of fine holes in a direction orthogonal to the substrate surface, and a soft magnetic layer and a ferromagnetic layer are stacked in this order from the substrate side in the inside of the fine holes. A stratified layer (intermediate layer) is formed.
본 발명의 자기 기록 매체로서는 각종 형태를 예로 들 수 있지만, 상기 강자성층의 두께가 상기 연자성층의 두께 이하인 제1 형태, 상기 강자성층의 두께가 기록시에 사용되는 선기록 밀도로 결정되는 최소 비트 길이의 1/3배∼3배인 제2 형태, 상기 강자성층의 두께가 상기 연자성층 및 상기 연자성 하지층 두께의 합계 이하인 제3 형태, 이들 형태를 둘 이상을 조합한 제4 형태 등을 특히 바람직하게 들 수 있다.Although various forms can be mentioned as an example of the magnetic recording medium of this invention, The 1st form whose thickness of the said ferromagnetic layer is below the thickness of the said soft magnetic layer, The minimum bit whose thickness is determined by the pre-recording density used at the time of recording. Particularly, the second form having 1/3 to 3 times the length, the third form having a thickness of the ferromagnetic layer equal to or less than the total thickness of the soft magnetic layer and the soft magnetic base layer, the fourth form combining two or more of these forms, etc. Preferred is mentioned.
상기 기판으로서는 그 형상, 구조, 크기, 재질 등에 대하여 특별히 제한은 없으며, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있지만, 예를 들면 상기 형상으로서는 상기 자기 기록 매체가 하드디스크 등의 자기 디스크인 경우에는 원판 형상이고, 또한 상기 구조로서는 단층 구조이어도, 적층 구조이어도 무방하고, 또한, 상기 재질로서는 자기 기록 매체의 기재 재료로서 공지의 것 중에서 적당히 선택할 수 있고, 예를 들면 알루미늄, 유리, 실리콘, 석영, 실리콘 표면에 열산화막을 형성하여 이루어지는 SiO2/Si 등을 들 수 있다. 이들 기판 재료는 1종류 단독으로 사용해도 무방하고, 2종류 이상을 병용해도 무방하다.There is no restriction | limiting in particular about the shape, a structure, a size, a material, etc. as said board | substrate, Although it can select suitably according to the objective, For example, as said shape, when the said magnetic recording medium is a magnetic disk, such as a hard disk, it is a disk shape, The structure may be either a single layer structure or a laminated structure, and the material may be appropriately selected from the known ones as the base material of the magnetic recording medium. For example, heat is applied to aluminum, glass, silicon, quartz, and silicon surfaces. there may be mentioned SiO 2 / Si, etc. formed by forming an oxide film. These substrate materials may be used individually by 1 type, and may use two or more types together.
또, 상기 기판은 적당히 제조한 것이어도 무방하고, 시판품을 사용해도 무방하다.Moreover, the said board | substrate may be manufactured suitably, and a commercial item may be used.
상기 다공질층으로는 상기 기판면에 대해 대략 직교하는 방향으로 미세 구멍이 복수개 형성되어 있으면 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있지만, 그 재료로서는 예를 들면, 알루마이트(산화 알루미늄), 다공질 실리카 등을 바람직하게 들 수 있고, 또한 상기 구조로서는 단층 구조이어도 적층 구조이어도 무방하다.There is no restriction | limiting in particular if the said porous layer is provided with two or more fine holes in the direction orthogonal to the said board | substrate surface, Although it can select suitably according to the objective, As a material, for example, an alumite (aluminum oxide) and a porous silica Etc. are mentioned preferably, and the structure may be a single layer structure or a laminated structure.
상기 미세 구멍에 있어서의 개구 지름으로서는 상기 강자성층을 단자구로 할 수 있으면 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있으며, 예를 들면, 100nm 이하가 바람직하고 5∼60nm가 보다 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular as an opening diameter in the said fine hole as long as the said ferromagnetic layer can be made into a terminal hole, According to the objective, it can select suitably, For example, 100 nm or less is preferable and 5 to 60 nm is more preferable.
상기 미세 구멍에 있어서의 개구 지름이 100nm을 초과하면, 단자구 구조로 되지 않는 경우가 있다.When the opening diameter in the said fine hole exceeds 100 nm, it may not become a terminal block structure.
상기 미세 구멍의 상기 다공질층 표면에 있어서의 배열 상태로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있지만, 규칙적으로 배열되어 있는 것이 바람직하고, 예를 들면 벌집 형상으로 배열된 모양, 정방 격자 형상으로 배열된 모양 등이 보다 바람직하며, 이들 중에서도 상기 미세 구멍을 균등하면서 치밀하게 배열시킬 수 있는 점에서 벌집 형상으로 배열된 모양이 특히 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular as an arrangement state on the surface of the said porous layer of the said micropore, Although it can select suitably according to the objective, It is preferable to arrange regularly, for example, in the shape arrange | positioned in a honeycomb shape, square lattice shape. Arranged shapes and the like are more preferable, and among these, a shape arranged in a honeycomb shape is particularly preferable in that the fine holes can be evenly and precisely arranged.
상기 미세 구멍에 있어서의 깊이와 개구 지름의 애스펙트비(깊이/개구 지름)로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있지만, 애스펙트비가 높으면, 형상 이방성이 커지게 되어, 자기 기록 매체의 유지력을 향상시킬 수 있다 는 점에서 바람직하며, 예를 들면 2 이상인 것이 바람직하고, 3∼15인 것이 보다 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular as an aspect ratio (depth / opening diameter) of the depth and opening diameter in the said fine hole, Although it can select suitably according to the objective, If the aspect ratio is high, shape anisotropy will become large and the holding force of a magnetic recording medium will be improved. It is preferable at the point which can improve, For example, it is preferable that it is two or more, and it is more preferable that it is 3-15.
상기 애스펙트비가 2 미만이면, 자기 기록 매체의 유지력을 충분히 향상시킬 수 없는 경우가 있다.If the aspect ratio is less than 2, the holding force of the magnetic recording medium may not be sufficiently improved.
상기 다공질층의 두께로는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있지만, 예를 들면 500nm 이하가 바람직하고, 300nm 이하가 보다 바람직하며, 20∼200nm가 특히 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular as thickness of the said porous layer, Although it can select suitably according to the objective, For example, 500 nm or less is preferable, 300 nm or less is more preferable, 20-200 nm is especially preferable.
상기 다공질층의 두께가 500nm을 초과하면, 상기 자기 기록 매체에 상기 연자성 하지층을 형성했다고 해도 고밀도 기록을 행할 수 없는 경우가 있어, 그 다공질층의 연마가 필요로 되고, 이 경우 시간을 필요로 하고 고비용이며 품질 열화의 원인으로 되는 경우가 있다.When the thickness of the porous layer exceeds 500 nm, even if the soft magnetic underlayer is formed on the magnetic recording medium, high-density recording may not be possible and polishing of the porous layer is necessary, in which case time is required. In some cases, high cost and quality deterioration may occur.
상기 다공질층의 형성은 특별히 제한은 없고 공지의 방법에 따라 행할 수 있으며, 예를 들면 스퍼터법, 증착법 등에 의해 그 다공질막의 재료 연속막을 형성한 후에, 양극 산성화법 등의 에칭법에 의해 상기 미세 구멍을 형성함으로써 행할 수 있다.There is no restriction | limiting in particular and formation of the said porous layer can be performed by a well-known method, For example, after forming the material continuous film | membrane of this porous film by a sputtering method, a vapor deposition method, etc., the said fine hole by etching methods, such as an anodizing method, etc. It can be performed by forming a.
상기 강자성층은 상기 자기 기록 매체에 있어서 기록층으로서 기능하고, 상기 연자성층과 함께 자성층을 구성한다.The ferromagnetic layer functions as a recording layer in the magnetic recording medium, and forms a magnetic layer together with the soft magnetic layer.
상기 강자성층의 재료로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 공지의 것 중에서 적당히 선택할 수 있지만, 예를 들면 Fe, Co, Ni, FeCo, FeNi, CoNi, CoNiP, FePt, CoPt 및 NiPt에서 선택되는 적어도 1종류 등을 바람직하게 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as a material of the said ferromagnetic layer, Although it can select suitably from a well-known thing according to the objective, For example, at least 1 chosen from Fe, Co, Ni, FeCo, FeNi, CoNi, CoNiP, FePt, CoPt, and NiPt. Kind etc. are mentioned preferably.
이것은 1종류 단독으로 사용해도 무방하고, 2종류 이상을 병용해도 무방하다.This may be used individually by 1 type and may use two or more types together.
상기 강자성층은 상기 재료에 의해 수직 자화막으로 형성되어 있으면 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있지만, 예를 들면 Ll0 규칙 구조를 갖고, C축이 상기 기판과 수직 방향으로 배향하고 있는 것, fcc 구조 혹은 bcc 구조를 갖고, C축이 상기 기판과 수직방향으로 배열하고 있는 것 등을 바람직하게 들 수 있다.The ferromagnetic layer if it is formed by the material in a vertical magnetic film particularly limited, it is not, and can be appropriately selected according to the purpose, for example, have the Ll 0 ordered structure that is a C-axis oriented in the substrate and the vertical direction It has a thing, fcc structure, or bcc structure, C-axis arrange | positioned perpendicular to the said board | substrate, etc. are mentioned preferably.
상기 강자성층의 두께로는 본 발명의 효과를 저해하지 않는 한 특별히 제한은 없고, 기록시에 사용되는 선기록 밀도 등에 부합하여 적당히 선택할 수 있지만, 예를 들면, 상기 제1 형태의 경우에는 상기 연자성층의 두께 이하인 것이 필요하고, 상기 제2 형태의 경우에는 기록시에 사용되는 선기록 밀도로 결정되는 최소 비트 길이의 1/3배∼3배인 것이 필요하며, 상기 제3 형태의 경우에는 상기 연자성층 및 상기 연자성 하지층 두께의 합계 이하인 것이 필요하며, 예를 들면 통상 5∼100nm 정도가 바람직하고, 5∼50nm가 보다 바람직하며, 1Tb/in2을 타겟으로 한 선기록 밀도 1500kBPI로 자기 기록을 행하는 경우에는 50nm 이하(20nm 정도)로 하는 것이 바람직하다.The thickness of the ferromagnetic layer is not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired. The ferromagnetic layer may be appropriately selected in accordance with the pre-recording density and the like used in recording. It is required to be equal to or less than the thickness of the magnetic layer, and in the case of the second form, it is required to be 1/3 to 3 times the minimum bit length determined by the pre-recording density used for recording. It is necessary to be equal to or less than the sum of the thickness of the magnetic layer and the soft magnetic base layer, for example, usually about 5 to 100 nm is preferred, more preferably 5 to 50 nm, and magnetic recording at a prerecording density of 1500 kBPI targeting 1 Tb / in 2 . In the case of performing the step, the thickness is preferably 50 nm or less (about 20 nm).
또, 상기 제1 형태∼상기 제4 형태에 있어서의 「강자성층」의 두께는 그 강자성층이 적층 구조, 또는 복수층으로 분할된 구조(예를 들면, 비자성층 등의 중간층에 의해 분할되어 연속층으로 되어 있지 않은 구조)를 갖는 경우에는 각 강자성 층 두께의 합계를 의미한다. 또, 상기 제1 형태에 있어서의 「연자성층」의 두께는 그 연자성층이 적층 구조, 또는 복수층으로 분할된 구조(예를 들면, 비자성층 등의 중간층에 의해 분할되고 연속층으로 되어 있지 않은 구조)를 갖는 경우에는 각 연자성층 두께의 합계를 의미한다. 또한, 상기 제3 형태에 있어서의 「연자성층 및 연자성 하지층 두께의 합계」는 그 연자성층 및 그 연자성 하지층 중 적어도 어느 하나가 적층 구조, 또는 복수층으로 분할된 구조(예를 들면, 비자성층 등의 중간층에 의해 분할되고 연속층으로 되어 있지 않은 구조)를 갖는 경우에는 각 연자성층의 두께의 합계를 의미한다.The thickness of the "ferromagnetic layer" in the first aspect to the fourth aspect is continuous by dividing the ferromagnetic layer by a laminated structure or a structure in which a plurality of layers are formed (for example, an intermediate layer such as a nonmagnetic layer). In the case of having a structure not composed of layers), the total thickness of each ferromagnetic layer is meant. The thickness of the "soft magnetic layer" in the first aspect is that the soft magnetic layer is divided by a laminated structure or a structure in which a plurality of layers are divided (for example, a non-continuous layer divided by an intermediate layer such as a nonmagnetic layer). Structure) means the sum of the thicknesses of the soft magnetic layers. In addition, in the said 3rd aspect, "the sum of the soft magnetic layer and the soft magnetic base layer thickness" is a structure in which at least one of the soft magnetic layer and the soft magnetic underlayer is divided into a laminated structure or a plurality of layers (for example, In the case of having a structure which is divided by an intermediate layer such as a nonmagnetic layer and is not a continuous layer), the total of the thicknesses of the soft magnetic layers is meant.
본 발명의 자기 기록 매체의 경우, 자기 기록시에 사용하는 단자극 헤드와 상기 연자성층 사이의 거리를 상기 다공질층의 두께보다도 짧고, 그 강자성층의 두께와 대략 동일하게 할 수 있기 때문에, 상기 다공질층의 두께에 관계없이 그 강자성층의 두께만으로, 상기 단자극 헤드로부터의 자속의 집중, 사용되는 기록 밀도에서의 최적의 자기 기록 재생 특성 등이 제어가능해진다. 그 결과, 그 자기 기록 매체에 있어서는 종래의 자기 기록 매체에 비해, 기입 효율이 대폭적으로 향상되고, 기입 전류가 작아도 되어, 오버라이트 특성을 현저하게 향상시킬 수 있다.In the case of the magnetic recording medium of the present invention, since the distance between the terminal pole head and the soft magnetic layer used for magnetic recording is shorter than the thickness of the porous layer and can be approximately equal to the thickness of the ferromagnetic layer, the porous Irrespective of the thickness of the layer, only the thickness of the ferromagnetic layer makes it possible to control the concentration of magnetic flux from the terminal head, the optimum magnetic recording reproduction characteristic at the recording density used, and the like. As a result, in the magnetic recording medium, compared with the conventional magnetic recording medium, the writing efficiency can be greatly improved, the writing current can be small, and the overwrite characteristic can be remarkably improved.
상기 강자성층의 형성은 특별히 제한은 없고, 공지의 방법에 따라 행할 수 있으며, 예를 들면 전착(전착법) 등에 의해 행할 수 있다.There is no restriction | limiting in particular in formation of the said ferromagnetic layer, It can carry out by a well-known method, For example, it can carry out by electrodeposition (electrodeposition method) etc ..
상기 연자성층으로는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 공지의 것 중에서 적당히 선택할 수 있지만, 예를 들면 NiFe, FeSiAl, FeC, FeCoB, FeCoNiB 및 CoZrNb에서 선택되는 적어도 1종 등을 바람직하게 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as said soft magnetic layer, Although it can select suitably from a well-known thing according to the objective, For example, at least 1 sort (s) chosen from NiFe, FeSiAl, FeC, FeCoB, FeCoNiB, CoZrNb, etc. are mentioned preferably.
이들은 1종 단독으로 사용해도 무방하고, 2종 이상을 병용해도 무방하다.These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.
상기 연자성층의 두께로서는 본 발명의 효과를 저해하지 않는 한 특별히 제한은 없고, 상기 다공질층에 있어서의 상기 미세 구멍의 깊이, 상기 강자성층의 두께 등에 부합하여 적당히 선택할 수 있지만, 예를 들면 상기 제1 형태의 경우에는 상기 강자성층의 두께보다 큰 것이 필요하고, 상기 제3 형태인 경우에는 상기 연자성 하지층의 두께와의 합계가 상기 강자성층의 두께보다 큰 것이 필요하다.The thickness of the soft magnetic layer is not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired. The thickness of the soft magnetic layer can be appropriately selected in accordance with the depth of the fine pores in the porous layer, the thickness of the ferromagnetic layer, and the like. In the case of one form, it is necessary to be larger than the thickness of the ferromagnetic layer, and in the case of the third form, the sum with the thickness of the soft magnetic underlayer is required to be larger than the thickness of the ferromagnetic layer.
상기 연자성층은 자기 기록에 사용하는 자기 헤드로부터의 자속을 효과적으로 상기 강자성층에 수속시킬 수 있어, 그 자기 헤드의 자계의 수직 성분을 크게 할 수 있는 점에서 유리하다. 또한, 상기 연자성층은 연자성 하지막과 상기 자기 헤드와 함께 그 자기 헤드로부터 입력시키는 기록 자계의 자기 회로를 형성가능한 것이 바람직하다.The soft magnetic layer is advantageous in that the magnetic flux from the magnetic head used for magnetic recording can be efficiently converged to the ferromagnetic layer, thereby increasing the vertical component of the magnetic field of the magnetic head. Further, it is preferable that the soft magnetic layer can form a magnetic circuit of a recording magnetic field inputted from the magnetic head together with the soft magnetic underlayer and the magnetic head.
상기 연자성층의 형성은 특별히 제한은 없고, 공지의 방법에 따라 행할 수 있지만, 예를 들면 전착(전착법) 등에 의해 행할 수 있다.There is no restriction | limiting in particular in formation of the said soft magnetic layer, Although it can carry out by a well-known method, it can be performed by electrodeposition (electrodeposition method) etc., for example.
상기 다공질층에 있어서의 상기 미세 구멍 중에는 상기 강자성층과 상기 연자성층 사이에 비자성층(중간층)을 갖고 있어도 무방하다. 그 비자성층(중간층)이 존재하면, 상기 강자성층과 상기 연자성층 사이의 교환 결합력의 작용을 약하게 한 결과, 예상과는 달리 자기 기록의 재생 특성으로 되어 버리는 경우에, 그것을 원하는 재생 특성으로 제어할 수 있다.In the micropores in the porous layer, a nonmagnetic layer (intermediate layer) may be provided between the ferromagnetic layer and the soft magnetic layer. If the nonmagnetic layer (intermediate layer) is present, the effect of the exchange coupling force between the ferromagnetic layer and the soft magnetic layer is weakened, and as a result, unexpectedly, it becomes a reproducing characteristic of magnetic recording. Can be.
상기 비자성층의 재료로서는 특별히 제한은 없고, 공지의 것 중에서 적당히 선택할 수 있지만, 예를 들면 Cu, Al, Cr, Pt, W, Nb 및 Ti로부터 선택되는 적어도 1종 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as a material of the said nonmagnetic layer, Although it can select suitably from a well-known thing, For example, at least 1 sort (s) chosen from Cu, Al, Cr, Pt, W, Nb, Ti, etc. are mentioned.
이들은 1종 단독으로 사용해도 무방하고, 2종 이상을 병용해도 무방하다.These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.
상기 비자성층의 두께로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as thickness of the said nonmagnetic layer, According to the objective, it can select suitably.
상기 비자성층의 형성은 특별히 제한은 없고, 공지의 방법에 따라 행할 수 있지만, 예를 들면 전착(전착법) 등에 의해 행할 수 있다.There is no restriction | limiting in particular in the formation of the said nonmagnetic layer, Although it can carry out by a well-known method, it can be performed by electrodeposition (electrodeposition method) etc., for example.
상기 기판과 상기 다공질층 사이에, 상기 제1 형태 및 상기 제2 형태의 경우에는 상기 연자성 하지층을 갖고 있어도 무방하고, 상기 제3 형태의 경우에는 상기 연자성 하지층을 갖고 있는 것이 필요하다.In the case of the said 1st form and the said 2nd form, it is necessary to have the said soft magnetic base layer between the said board | substrate and the said porous layer, and in the case of the said 3rd form, it is necessary to have the said soft magnetic base layer. .
상기 연자성 하지층의 재료로는 특별히 제한은 없고, 공지의 것 중에서 적당히 선택할 수 있지만, 예를 들면, 상기 연자성층의 재료로서 상기한 것을 최적으로 들 수 있다. 이들 재료는 1종류 단독으로 사용해도 무방하고, 2종류 이상을 병용해도 무방하며, 또한, 상기 연자성층의 재료와 서로 동일해도 무방하고, 달라도 무방하다.There is no restriction | limiting in particular as a material of the said soft magnetic base layer, Although it can select suitably from a well-known thing, For example, the above-mentioned thing is mentioned optimally as a material of the said soft magnetic layer. These materials may be used individually by 1 type, may use 2 or more types together, and may be the same as the material of the said soft magnetic layer, and may differ.
상기 연자성 하지층은 상기 기판면의 면내 방향으로 자화 용이축을 갖고 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 자기 기록에 사용하는 자기 헤드로부터의 자속이 효과적으로 닫힌 자기 회로를 형성하고, 그 자기 헤드의 자계의 수직 성분을 크게 할 수 있다.It is preferable that the soft magnetic underlayer has an easy magnetization axis in the in-plane direction of the substrate surface. In this case, it is possible to form a magnetic circuit in which the magnetic flux from the magnetic head used for magnetic recording is effectively closed, and to increase the vertical component of the magnetic field of the magnetic head.
상기 연자성 하지층의 형성은 특별히 제한은 없고, 공지의 방법에 따라 행할 수 있지만, 예를 들면 전착(전착법) 등에 의해 행할 수 있다.There is no restriction | limiting in particular in formation of the said soft magnetic base layer, Although it can carry out by a well-known method, it can be performed by electrodeposition (electrodeposition method) etc., for example.
상기 그 외의 층으로는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있지만, 예를 들면, 전극층, 보호층 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as said other layer, Although it can select suitably according to the objective, For example, an electrode layer, a protective layer, etc. are mentioned.
상기 전극층은, 자성층(상기 강자성층 및 상기 연자성층)을 전착 등에 의해 형성할 때의 전극으로 기능하는 층으로서, 일반적으로 상기 기판 위로서 상기 강자성층의 아래쪽에 형성된다. 또, 상기 자성층을 전착에 의해 형성하는 경우, 그 전극층을 전극으로 사용해도 무방하지만, 상기 연자성 하지층 등을 전극으로 사용해도 무방하다.The electrode layer is a layer that functions as an electrode when a magnetic layer (the ferromagnetic layer and the soft magnetic layer) is formed by electrodeposition or the like, and is generally formed below the ferromagnetic layer on the substrate. When the magnetic layer is formed by electrodeposition, the electrode layer may be used as an electrode, but the soft magnetic underlayer or the like may be used as an electrode.
상기 전극층의 재료로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있고, 예를 들면, Cr, Co, Pt, Cu, Ir, Rh, 이들의 합금 등을 들 수 있다. 이들은 1종류 단독으로 사용해도 무방하고, 2종류 이상을 병용해도 무방하다. 또, 그 전극층은 이들 재료 이외에 W, Nb, Si, O 등을 더 함유하고 있어도 무방하다. There is no restriction | limiting in particular as a material of the said electrode layer, According to the objective, it can select suitably, For example, Cr, Co, Pt, Cu, Ir, Rh, these alloys, etc. are mentioned. These may be used individually by 1 type and may use two or more types together. Moreover, the electrode layer may further contain W, Nb, Si, O, etc. in addition to these materials.
상기 전극층의 두께로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있다. 그 전극층은 1층만 설치되어 있어도 무방하고, 2층 이상 설치되어 있어도 무방하다.There is no restriction | limiting in particular as thickness of the said electrode layer, According to the objective, it can select suitably. Only one layer of the electrode layer may be provided, or two or more layers may be provided.
상기 전극층의 형성은 특별히 제한은 없고, 공지의 방법에 따라 행할 수 있지만, 예를 들면 스퍼터법, 증착법 등에 의해 행할 수 있다.There is no restriction | limiting in particular in the formation of the said electrode layer, Although it can carry out by a well-known method, it can be performed by the sputtering method, vapor deposition method, etc., for example.
상기 보호층은 상기 강자성층을 보호하는 기능을 갖는 층으로, 상기 강자성층의 표면 내지 위쪽에 형성된다. 그 보호층은 1층만 형성되어 있어도 무방하고, 2층 이상 형성되어 있어도 무방하다. 또한, 단층 구조여도 무방하고, 적층 구조여도 무방하다.The protective layer is a layer having a function of protecting the ferromagnetic layer, and is formed on or above the surface of the ferromagnetic layer. Only one layer of the protective layer may be formed, or two or more layers may be formed. Moreover, a single layer structure may be sufficient and a laminated structure may be sufficient.
상기 보호층의 재료로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있으며, 예를 들면 DLC(Diamond-like Carbon) 등을 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as a material of the said protective layer, According to the objective, it can select suitably, For example, DLC (Diamond-like Carbon) etc. are mentioned.
상기 보호층의 두께로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as thickness of the said protective layer, According to the objective, it can select suitably.
상기 보호층의 형성은 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 공지의 방법에 따라 행할 수 있지만, 예를 들면 플라즈마 CVD법, 도포법 등에 의해 행할 수 있다.There is no restriction | limiting in particular in formation of the said protective layer, Although it can carry out by a well-known method according to the objective, For example, it can carry out by a plasma CVD method, a coating method, etc.
본 발명의 자기 기록 매체는 자기 헤드를 이용한 각종 자기 기록에 사용할 수 있지만, 단자극 헤드에 의한 자기 기록에 바람직하게 사용할 수 있고, 후술하는 본 발명의 자기 기록 장치 및 자기 기록 방법에 바람직하게 특별히 사용할 수 있다.Although the magnetic recording medium of the present invention can be used for various magnetic recordings using a magnetic head, the magnetic recording medium can be suitably used for magnetic recording by a terminal electrode head, and is particularly preferably used for the magnetic recording apparatus and magnetic recording method of the present invention described later. Can be.
본 발명의 자기 기록 매체는 자기 헤드의 기입 전류를 증가시키지 않으면서 고밀도 기록·고속 기록이 가능하고 대용량이며, 오버라이트 특성이 뛰어나고, 균일한 특성을 갖고, 고품질이다. 이 때문에, 그 자기 기록 매체는 각종 자기 기록 매체로서 설계하고 사용할 수 있으며, 예를 들면 컴퓨터의 외부 기억 장치, 민생용 비디오 기록 장치 등으로 널리 사용되고 있는 하드디스크 장치 등에 설계하여 사용할 수 있어, 하드디스크 등의 자기 디스크에 특별히 바람직하게 설계하여 사용할 수 있다.The magnetic recording medium of the present invention is capable of high density recording and high-speed recording without increasing the write current of the magnetic head, has a large capacity, excellent overwrite characteristics, uniform characteristics, and high quality. For this reason, the magnetic recording medium can be designed and used as various magnetic recording media. For example, the magnetic recording medium can be designed and used for an external storage device of a computer, a hard disk device widely used for consumer video recording devices, and the like. It is particularly preferable to design and use magnetic disks, for example.
본 발명의 자기 기록 매체의 제조는 특별히 제한은 없고, 공지의 방법에 따라 제조할 수 있지만, 이하에 설명하는 본 발명의 자기 기록 매체의 제조 방법에 의해 바람직하게 제조할 수 있다.There is no restriction | limiting in particular in manufacture of the magnetic recording medium of this invention, Although it can manufacture by a well-known method, it can manufacture preferably by the manufacturing method of the magnetic recording medium of this invention demonstrated below.
(자기 기록 매체의 제조 방법)(Manufacturing method of magnetic recording medium)
본 발명의 자기 기록 매체의 제조 방법은 본 발명의 상기 자기 기록 매체를 제조하는 방법으로, 다공질층 형성 공정, 연자성층 형성 공정 및 강자성층 형성 공정을 포함하고, 또한 필요에 따라 적당히 선택한 연자성 하지층 형성 공정, 비자성층 형성 공정, 보호층 형성 공정 등의 그 외의 공정을 포함한다.The manufacturing method of the magnetic recording medium of the present invention is a method of manufacturing the magnetic recording medium of the present invention, which includes a porous layer forming step, a soft magnetic layer forming step, and a ferromagnetic layer forming step, and is suitably selected as necessary. Other processes, such as a layer formation process, a nonmagnetic layer formation process, a protective layer formation process, are included.
상기 연자성 하지층 형성 공정은 기판 위에 연자성 하지층을 형성하는 공정이다.The soft magnetic underlayer forming process is a step of forming a soft magnetic underlayer on a substrate.
상기 기판으로서는 상기한 것을 들 수 있다.As said board | substrate, said thing is mentioned.
상기 연자성 하지층의 형성은 공지의 방법에 따라 행할 수 있지만, 예를 들면 스퍼터법(스퍼터링), 증착법 등의 진공 제막법, 전착(전착법) 등으로 형성해도 무방하고, 혹은 무전해 도금으로 형성해도 무방하다.The soft magnetic underlayer can be formed according to a known method. For example, the soft magnetic underlayer may be formed by a vacuum film forming method such as a sputtering method (sputtering) or an evaporation method, or an electrodeposition method (electrodeposition method), or by electroless plating. It may be formed.
상기 연자성 하지층 형성 공정에 의해, 상기 기판 위에 상기 연자성 하지층이 형성된다.By the soft magnetic underlayer forming process, the soft magnetic underlayer is formed on the substrate.
상기 다공질층 형성 공정은 기판 위에(상기 연자성 하지층 형성 공정에 의해 상기 연자성 하지층을 형성한 경우에는 그 연자성 하지층 위에) 다공질층 형성 재료층을 형성한 후, 그 다공질층 형성 재료층에 대해 다공질화 처리를 행함으로써, 그 기판면에 대해 대략 직교하는 방향으로 미세 구멍을 복수개 형성하여 다공질층을 형성하는 공정이다.The porous layer forming step is a porous layer forming material after forming a porous layer forming material layer on a substrate (on the soft magnetic underlayer when the soft magnetic underlayer is formed by the soft magnetic underlayer forming step). By performing a porous process with respect to a layer, it is a process of forming a porous layer by forming a plurality of fine holes in the direction orthogonal to the board | substrate surface.
상기 다공질층 형성 재료로서는 상기 다공질층의 재료로 상기한 것을 들 수 있고, 예를 들면, 알루마이트(산화 알루미늄), 다공질 실리카 등을 바람직하게 들 수 있다.As said porous layer forming material, the above-mentioned thing is mentioned as a material of the said porous layer, For example, an alumite (aluminum oxide), porous silica, etc. are mentioned preferably.
상기 다공질층 형성 재료층의 형성은 공지의 방법에 따라 행할 수 있지만, 예를 들면 스퍼터법(스퍼터링), 증착법 등에 의해 바람직하게 행할 수 있다. 그 다공질층 형성 재료층의 형성 조건으로는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있다. 또한, 상기 스퍼터법의 경우, 상기 다공질 형성 재료에 의해 형성된 타겟을 이용하여 스퍼터링을 행할 수 있다. 이 경우에 이용하는 상기 타겟은 고순도인 것이 바람직하고, 상기 다공질 형성 재료가 알루미늄인 경우에는, 99.990% 이상인 것이 바람직하다.Although the formation of the porous layer forming material layer can be performed according to a known method, for example, it can be preferably performed by a sputtering method (sputtering), a vapor deposition method, or the like. There is no restriction | limiting in particular as formation conditions of this porous layer formation material layer, According to the objective, it can select suitably. In the sputtering method, sputtering can be performed using a target formed of the porous forming material. It is preferable that the said target used in this case is high purity, and when the said porous formation material is aluminum, it is preferable that it is 99.990% or more.
상기 다공질화 처리로는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있지만, 예를 들면 양극 산화법, 에칭법 등을 바람직하게 들 수 있다. 이들 중에서도 상기 다공질층 형성 재료층에 상기 기판면에 대략 직교하는 방향으로 다수의 미세 구멍을 대략 등간격이면서 균등하게 배열 형성할 수 있는 등의 점에서 양극 산화법이 특히 바람직하다.There is no restriction | limiting in particular as said porous treatment, Although it can select suitably according to the objective, For example, anodizing method, an etching method, etc. are mentioned preferably. Among them, the anodic oxidation method is particularly preferable in that a plurality of fine holes can be formed in the porous layer forming material layer in a direction substantially orthogonal to the substrate surface and can be formed evenly at equal intervals.
상기 양극 산화법의 경우, 황산 혹은 옥살산의 수용액 중에서 상기 다공질층 형성 재료층에 접하는 전극을 양극으로 하여 전기 분해 에칭시킴으로써 행할 수 있다. 그 전극으로서는 상기 다공질층 형성 재료층의 형성에 앞서 형성한 상기 연자성 하지막, 상기 전극층 등을 들 수 있다. 상기 에칭을 상기 다공질층 형성 재료층에 작용시킬 때의 온도, 전압, 시간 등의 조건으로서는 특별히 제한은 없고, 형성하는 미세 구멍의 수, 크기, 애스펙트비 등에 부합하여 적당히 선택할 수 있지만, 상기 전압으로서는 예를 들면 5∼100V 정도로 충분하다.In the anodic oxidation method, the electrode contacting the porous layer-forming material layer in an aqueous solution of sulfuric acid or oxalic acid can be used as an anode to perform electrolytic etching. Examples of the electrode include the soft magnetic underlayer, the electrode layer, and the like formed prior to the formation of the porous layer forming material layer. There is no restriction | limiting in particular as conditions, such as temperature, a voltage, and time, when the said etching is made to act on the said porous layer formation material layer, Although it can select suitably according to the number, size, aspect ratio, etc. of the fine hole to form, As said voltage For example, about 5-100V is enough.
또, 상기 양극 산화법에 의해 상기 다공질화 처리를 행하면, 그 다공질층 형성 재료층에 미세 구멍을 다수개 형성할 수 있지만, 그 미세 구멍의 하부에 배리어층이 형성되는 경우가 있고, 이 경우, 그 배리어층은 인산 등의 공지의 에칭액을 이용하여 공지의 에칭 처리를 행함으로써 용이하게 제거할 수 있다. 이상에 의해, 상기 다공질층 형성 재료층에 상기 연자성 하지층 또는 상기 기판을 노출시키는 상기 미세 구멍을 상기 기판면에 대략 직교하는 방향으로 다수개 형성할 수 있다.When the above-mentioned porous treatment is carried out by the anodic oxidation method, a plurality of fine pores can be formed in the porous layer forming material layer, but a barrier layer may be formed under the fine pores. The barrier layer can be easily removed by performing a known etching process using a known etching solution such as phosphoric acid. As described above, a plurality of the fine pores exposing the soft magnetic base layer or the substrate can be formed in the porous layer forming material layer in a direction substantially perpendicular to the substrate surface.
상기 다공질층 형성 공정에 의해, 상기 기판 위 또는 상기 연자성 하지층 위에 상기 다공질층이 형성된다.By the porous layer forming step, the porous layer is formed on the substrate or on the soft magnetic underlayer.
상기 연자성층 형성 공정은 상기 미세 구멍의 내부에 연자성층을 형성하는 공정이다.The soft magnetic layer forming step is a step of forming a soft magnetic layer inside the fine hole.
상기 연자성층의 형성은 상기한 연자성층의 재료를 전측 등에 의해 상기 미세 구멍의 내부에 퇴적 내지 충전시킴으로써 행할 수 있다.The soft magnetic layer can be formed by depositing or filling the material of the soft magnetic layer in the inside of the fine hole by the front side or the like.
상기 전착의 방법, 조건 등으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있으며, 예를 들면 상기 연자성 하지층 또는 상기 전극층을 전극으로 하여 상기 연자성층의 재료를 포함하는 용액을 1종류 또는 2종류 이상 이용하여 전압을 인가시킴으로써, 상기 전극 위에 석출 내지 퇴적시키는 방법 등을 바람직하게 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as a method, conditions, etc. of the said electrodeposition, According to the objective, it can select suitably, For example, one type or two solution containing the material of the said soft magnetic layer using the said soft magnetic base layer or the said electrode layer as an electrode. The method of depositing or depositing on said electrode by applying a voltage using more than a kind is mentioned preferably.
상기 연자성층 형성 공정에 의해, 상기 다공질층에 있어서의 미세 구멍의 내부로서, 상기 기판 위, 상기 연자성 하지층 위 또는 상기 전극층 위에 상기 연자성층이 형성된다.By the soft magnetic layer forming step, the soft magnetic layer is formed on the substrate, on the soft magnetic underlayer, or on the electrode layer as the inside of the fine holes in the porous layer.
상기 강자성층 형성 공정은 상기 연자성층 위(또는 그 연자성층 위에 상기 비자성층이 형성되어 있는 경우에는 그 비자성층 위에)에 강자성층을 형성하는 공정이다.The ferromagnetic layer forming step is a step of forming a ferromagnetic layer on the soft magnetic layer (or on the nonmagnetic layer if the nonmagnetic layer is formed on the soft magnetic layer).
상기 강자성층의 형성은 상기한 강자성층의 재료를 전착 등에 의해 상기 미세 구멍 내부에 형성한 상기 연자성층 위에 퇴적 내지 충전시킴으로써 행할 수 있다.The ferromagnetic layer can be formed by depositing or filling the soft magnetic layer formed inside the fine hole by electrodeposition or the like on the material of the ferromagnetic layer.
상기 전착의 방법, 조건 등으로는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있으며, 예를 들면 상기 연자성 하지층 또는 상기 전극층(시드층)을 전극으로 하여 상기 강자성층의 재료를 포함하는 용액을 1종류 또는 2종류 이상 이용하고, 전압을 인가시킴으로써 상기 미세 구멍 내에 석출 내지 퇴적시키는 방법 등을 바람직하게 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as a method, conditions, etc. of the said electrodeposition, According to the objective, it can select suitably, For example, the solution containing the material of the said ferromagnetic layer using the said soft magnetic base layer or the said electrode layer (seed layer) as an electrode. The method of depositing or depositing in the said fine hole by using one type or two types or more, and applying a voltage is mentioned preferably.
상기 강자성층 형성 공정에 의해 상기 다공질층에 있어서의 미세 구멍의 내부로서, 상기 연자성층 위 또는 상기 비자성층 위에 상기 강자성층이 형성된다.The ferromagnetic layer is formed on the soft magnetic layer or on the nonmagnetic layer as the inside of the fine holes in the porous layer by the ferromagnetic layer forming step.
상기 비자성층 형성 공정은 상기 연자성층 위에 비자성층을 형성하는 공정이다.The nonmagnetic layer forming step is a step of forming a nonmagnetic layer on the soft magnetic layer.
상기 비자성층의 형성은 상기한 비자성층의 재료를 전착 등에 의해 상기 미세 구멍의 내부에 형성한 상기 연자성층 위에 퇴적 내지 충전시킴으로써 행할 수 있다.The formation of the nonmagnetic layer can be performed by depositing or filling the material of the nonmagnetic layer on the soft magnetic layer formed inside the fine hole by electrodeposition or the like.
상기 전착의 방법, 조건 등으로는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있으며, 예를 들면 상기 연자성 하지층 또는 상기 전극층을 전극으로 하 여 상기 비자성층의 재료를 포함하는 용액을 1종류 또는 2종류 이상 이용하여 전압을 인가시킴으로써, 미세 구멍 내에 석출 내지 퇴적시키는 방법 등을 최적으로 들 수 있다.There is no restriction | limiting in particular as a method, conditions, etc. of the said electrodeposition, According to the objective, it can select suitably, For example, one type of solution containing the material of the said nonmagnetic layer using the said soft magnetic base layer or the said electrode layer as an electrode. Or the method of depositing or depositing in a micropore by applying a voltage using two or more types is mentioned optimally.
상기 비자성층 형성 공정에 의해, 상기 다공질층에 있어서의 미세 구멍의 내부로서, 상기 연자성층 위 등에 상기 비자성층이 형성된다.In the nonmagnetic layer forming step, the nonmagnetic layer is formed on the soft magnetic layer or the like as the inside of the fine holes in the porous layer.
본 발명의 자기 기록 매체의 제조 방법에 의해, 본 발명의 상기 자기 기록 매체를 효율적으로 저비용으로 제조할 수 있다.By the method for producing a magnetic recording medium of the present invention, the magnetic recording medium of the present invention can be efficiently produced at low cost.
(자기 기록 장치 및 자기 기록 방법)(Magnetic recording device and magnetic recording method)
본 발명의 자기 기록 장치는 본 발명의 상기 자기 기록 매체와, 수직 자기 기록용 헤드를 갖고 이루어지며, 또한 필요에 따라 적당히 선택한 그 외의 수단 내지 부재 등을 갖고 이루어진다. The magnetic recording apparatus of the present invention comprises the magnetic recording medium of the present invention and a vertical magnetic recording head, and other means or members selected as appropriate as necessary.
본 발명의 자기 기록 방법은 본 발명의 상기 자기 기록 매체에 대해 수직 자기 기록용 헤드를 이용하여 기록을 행하는 것을 포함하고, 또한 필요에 따라 적당히 선택한 그 외의 처리 내지 공정을 포함한다. 본 발명의 자기 기록 방법은 본 발명의 상기 자기 기록 장치를 이용하여 바람직하게 실시할 수 있다. 또, 상기 그 외의 처리 내지 공정은 상기 그 외의 수단 내지 부재 등에 의해 행할 수 있다. 이하, 본 발명의 자기 기록 장치의 설명과 함께 본 발명의 자기 기록 방법에 대해 설명한다.The magnetic recording method of the present invention includes recording on the magnetic recording medium of the present invention by using a vertical magnetic recording head, and further includes other processes or processes appropriately selected as necessary. The magnetic recording method of the present invention can be preferably implemented using the magnetic recording device of the present invention. Moreover, the said other process-process can be performed by the said other means, member, etc. The magnetic recording method of the present invention will be described below along with the description of the magnetic recording apparatus of the present invention.
상기 수직 자기 기록용 헤드로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있지만, 예를 들면 단자극 헤드 등을 바람직하게 들 수 있다. 또한, 그 수직 자기 기록용 헤드는 기입 전용이어도 무방하고, GMR 헤드 등의 판독용 헤드와 일체인 기입 겸 판독용이어도 무방하다.There is no restriction | limiting in particular as said vertical magnetic recording head, Although it can select suitably according to the objective, For example, a terminal electrode head etc. are mentioned preferably. The vertical magnetic recording head may be dedicated to writing, or may be write and read integrated with a reading head such as a GMR head.
본 발명의 자기 기록 장치에 의한 자기 기록, 또는 본 발명의 자기 기록 방법에 의한 자기 기록에 있어서는 본 발명의 상기 자기 기록 매체를 이용하므로, 상기 수직 자기 기록용 헤드와 상기 자기 기록 매체에 있어서의 상기 연자성층 사이의 거리가 상기 다공질층 두께보다도 짧아, 상기 강자성층의 두께와 대략 동일해지므로, 상기 다공질층의 두께에 관계없이 상기 강자성층의 두께만으로 그 수직 자기 기록용 헤드로부터의 자속의 집중, 사용되는 기록 밀도에서의 최적의 자기 기록 재생 특성 등이 제어가능해진다. 이 때문에 도 2B에 도시하는 바와 같이, 상기 수직 자기 기록용 헤드(기입 겸 판독용 헤드)의 주자극(52)으로부터의 자속이 상기 강자성층(수직 자화막)(30)에 집중한 결과, 종래의 자기 기록 장치에 비해 기입 효율이 대폭적으로 향상되고, 기입 전류가 작아도 되어, 오버라이트 특성이 현저하게 향상된다.In the magnetic recording by the magnetic recording apparatus of the present invention or the magnetic recording by the magnetic recording method of the present invention, the magnetic recording medium of the present invention is used, so that the head for the vertical magnetic recording head and the magnetic recording medium are used. Since the distance between the soft magnetic layers is shorter than the thickness of the porous layer and becomes approximately equal to the thickness of the ferromagnetic layer, concentration of magnetic flux from the head for vertical magnetic recording only with the thickness of the ferromagnetic layer, regardless of the thickness of the porous layer, Optimum magnetic recording reproduction characteristics and the like in the recording density used can be controlled. For this reason, as shown in Fig. 2B, the magnetic flux from the main
또, 상기 자기 기록 매체에 상기 연자성 하지층이 형성되어 있는 경우에는, 상기 수직 자기 기록용 헤드와 그 연자성 하지층 사이에서 자기 회로가 형성되므로 바람직하다. 이 경우, 고밀도 기록이 가능해지는 점에서 유리하다.In the case where the soft magnetic underlayer is formed on the magnetic recording medium, a magnetic circuit is formed between the vertical magnetic recording head and the soft magnetic underlayer. This is advantageous in that high density recording is possible.
본 발명의 자기 기록 장치에 의한 자기 기록, 또는 본 발명의 자기 기록 방법에 의한 자기 기록에 있어서는 상기 자기 기록 매체에 있어서의 상기 강자성층에 상기 수직 자기 기록용 헤드로부터의 자속이 그 강자성층의 하면, 즉 상기 연자성층 또는 상기 비자성층과의 경계면 부근에서도 집중한 채로 확산하지 않기 때문에 작은 비트를 기록할 수 있다.In the magnetic recording by the magnetic recording apparatus of the present invention or the magnetic recording by the magnetic recording method of the present invention, the magnetic flux from the vertical magnetic recording head is lower than that of the ferromagnetic layer on the ferromagnetic layer of the magnetic recording medium. In other words, small bits can be recorded because they do not spread while being concentrated even near the interface with the soft magnetic layer or the nonmagnetic layer.
또, 그 강자성층에 있어서의 상기 자속의 수렴 정도(확산의 정도)로서는 본 발명의 효과를 저해하지 않는 한 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적당히 선택할 수 있다.There is no particular limitation on the degree of convergence (degree of diffusion) of the magnetic flux in the ferromagnetic layer, so long as the effects of the present invention are not impaired.
이하, 본 발명의 실시예에 대해 설명하지만, 본 발명은 이 실시예에 특별히 한정되는 것은 없다. 이하의 실시예는 본 발명의 자기 기록 매체를 본 발명의 자기 기록 매체의 제조 방법에 의해 제조하고, 본 발명의 자기 기록 장치에 의해 자기 기록을 행하며, 본 발명의 자기 기록 방법을 실시하는 것이다.Hereinafter, although the Example of this invention is described, this invention is not specifically limited to this Example. In the following embodiments, the magnetic recording medium of the present invention is manufactured by the manufacturing method of the magnetic recording medium of the present invention, magnetic recording is performed by the magnetic recording apparatus of the present invention, and the magnetic recording method of the present invention is performed.
(실시예 1)(Example 1)
자기 기록 매체를 이하와 같이 하여 제조하였다. 즉, 상기 기판으로서의 실리콘 기판에 상기 연자성 하지층의 재료로서의 CoZrNb를 스퍼터법에 의해 두께가 500nm로 되도록 성막하고, 상기 연자성 하지층을 형성하였다. 이상이 본 발명의 자기 기록 매체의 제조 방법에 있어서의 상기 연자성 하지층 형성 공정이다.A magnetic recording medium was produced as follows. That is, CoZrNb as a material of the soft magnetic underlayer was formed on the silicon substrate as the substrate so as to have a thickness of 500 nm by the sputtering method, thereby forming the soft magnetic underlayer. The above is the above-described soft magnetic base layer forming step in the method of manufacturing the magnetic recording medium of the present invention.
다음으로, 스퍼터링의 상기 타겟으로서 순도가 99.995%인 알루미늄(Al)을 이용하여, 스퍼터법에 의해 상기 연자성 하지층 위에 상기 다공질층 형성 재료층으로서의 알루미늄층을 두께가 500nm으로 되도록 제막하였다. 그 다공질층 형성 재료층에 대해, 상기 연자성 하지층(CoZrNb)을 전극으로 하고, 황산 수용액을 이용하여 10℃, 인가 전압 25V의 조건에서 양극 산화를 행함으로써, 다공질화를 행하여 상기 미세 구멍을 다수 형성하고, 상기 다공질층으로서의 알루마이트 포어(포어의 피치(셀 지름): 60nm, 포어 지름: 40nm, 상기 애스펙트비: 12.5, 벌집 형상으로 배열)를 형성하였다. 또, 상기 다공질층으로서의 알루마이트 포어의 바닥부에는 배리어층이 존재하고 있었으므로, 이것을 인산을 이용하여 에칭하여 제거하여, 상기 연자성 하지층(CoZrNb)을 노출시켜서 스루홀화시켰다. 이상이 본 발명의 자기 기록 매체의 제조 방법에 있어서의 상기 다공질층 형성 공정이다.Next, using aluminum (Al) having a purity of 99.995% as the target for sputtering, an aluminum layer as the porous layer-forming material layer was formed on the soft magnetic base layer by a sputtering method so as to have a thickness of 500 nm. For the porous layer-forming material layer, the soft magnetic base layer (CoZrNb) is used as an electrode, and anodic oxidation is carried out using a sulfuric acid aqueous solution at a condition of 10 ° C and an applied voltage of 25 V, thereby performing the porous to form the fine pores. Many were formed, and the alumite pores (pitch (cell diameter) of pores: 60 nm, pore diameter: 40 nm, the aspect ratio: 12.5, arranged in a honeycomb shape) as the porous layer were formed. In addition, since a barrier layer was present at the bottom of the alumite pore as the porous layer, the barrier layer was etched and removed using phosphoric acid, and the soft magnetic underlayer (CoZrNb) was exposed to through-hole. The above is the above-mentioned porous layer formation process in the manufacturing method of the magnetic recording medium of this invention.
다음으로, 상기 연자성 하지층(CoZrNb)을 부전압 인가의 상기 전극으로 하고, 황산 니켈 및 황산 철을 함유하는 용액을 이용하여, 그 용액을 수용하는 욕 중(浴中)에서 다공질층(알루마이트 포어)에 있어서의 미세 구멍(포어)의 내부에 상기 연자성층으로서의 NiFe를 전착에 의해 형성하였다. 또한, 상기 황산 니켈 및 상기 황산 철의 상기 용액 중 조성으로서는 퍼멀로이 조성(Ni 80%-Fe 20%)으로 하고, 상기 연자성층의 두께는 약 250nm이었다. 이상이 본 발명의 자기 기록 매체의 제조 방법에 있어서의 상기 연자성층 형성 공정이다.Next, the soft magnetic underlayer (CoZrNb) is used as the electrode for application of negative voltage, and a porous layer (aluminate) is used in a bath containing the solution using a solution containing nickel sulfate and iron sulfate. NiFe as the soft magnetic layer was formed in the fine pores (pores) in the pores by electrodeposition. In the solution of the nickel sulfate and the iron sulfate, the composition was a permalloy composition (Ni 80% -
다음으로, 상기 욕조 안의 용액을 상기 황산 철 및 상기 황산 코발트를 함유하는 용액에서 FeCo을 함유하는 용액으로 대신하고, 상기 다공질층(알루마이트 포어)에 있어서의 미세 구멍(포어) 내부에 형성한 상기 연자성층 위에 상기 강자성층으로서의 FeCo를 전착에 의해 형성하였다. 이상이 본 발명의 자기 기록 매체의 제조방법에 있어서의 상기 강자성층 형성 공정이다.Next, the lead in the tub was replaced with a solution containing FeCo in a solution containing the iron sulfate and the cobalt sulfate, and formed inside the micropores (pores) in the porous layer (aluite pore). FeCo as the ferromagnetic layer was formed on the magnetic layer by electrodeposition. The above is the above-described ferromagnetic layer forming process in the method of manufacturing the magnetic recording medium of the present invention.
다음으로, 상기 다공질층의 표면을 연마한 후, 상기 보호막으로서의 SiO2를 스퍼터법으로 제막하였다. 또한, 바니시 처리/윤활 처리를 행함으로써, 본 발명의 상기 자기 기록 매체로서의 샘플 디스크 A를 제조하였다. 또한, 그 샘플 디스크 A 에 있어서의 상기 강자성층의 두께는 250nm이었다.Next, after polishing the surface of the porous layer, SiO 2 as the protective film was formed into a film by sputtering. Further, the varnish treatment / lubrication treatment was performed to produce Sample Disc A as the magnetic recording medium of the present invention. In addition, the thickness of the ferromagnetic layer in the sample disk A was 250 nm.
여기에서, 비교를 위해 상기 샘플 디스크 A에 있어서, 상기 연자성층을 형성하지 않고, 상기 다공질층(알루마이트 포어)에 있어서의 상기 미세 구멍(포어) 속에 상기 강자성층만을 형성(상기 샘플 디스크 A에 있어서의 상기 강자성층 및 연자성층 두께의 합계의 두께로 형성)한 것 이외에는 그 샘플 디스크 A와 마찬가지로 하여 샘플 디스크 B(비교예)를 제조하였다.Here, for comparison, in the sample disk A, only the ferromagnetic layer is formed in the fine holes (pores) in the porous layer (aluite pore) without forming the soft magnetic layer (in the sample disk A). A sample disk B (comparative example) was produced in the same manner as the sample disk A, except that the thickness was the sum of the thickness of the ferromagnetic layer and the soft magnetic layer.
또, 상기 샘플 디스크 A에서, 상기 연자성층을 형성하지 않고, 상기 다공질층(알루마이트 포어)을 두께가 250nm로 될 때까지 연마 처리한 후, 그 상기 미세 구멍(포어) 속에 상기 강자성층만을 형성(상기 샘플 디스크 A에 있어서의 상기 강자성층과 동일 두께로 형성)한 것 이외에는, 그 샘플 디스크 A와 마찬가지로 하여 샘플 디스크 C(비교예)를 제조하였다.In the sample disk A, without forming the soft magnetic layer, the porous layer (aluite pore) was polished until the thickness became 250 nm, and only the ferromagnetic layer was formed in the fine pores (pores). A sample disc C (comparative example) was produced in the same manner as the sample disc A, except that the same thickness as that of the ferromagnetic layer in the sample disc A).
제조한 샘플 디스크A, B 및 C에 대해, 기입용 자기 헤드로서의 단자극 헤드 및 판독용 자기 헤드로서의 GMR 헤드를 구비한 자기 기록 장치를 이용하여 그 자극 헤드에 의한 기입, 및 그 GMR 헤드의 판독에 의한 자기 기록을 행하고, 기록 재생 특성을 평가하였다. 결과를 도 5에 도시하였다. 도 5의 위의 부분(a)은 60nm 피치에 상당하는 400kBPI에서의 기입 전류와 재생 신호 S/N와의 관계를 나타낸 그래프이다. 도 5의 횡축보다도 아래의 부분(b)은 200kBPI의 신호를 기록한 후(큰 비트로 기입한 후), 400kBPI의 신호를 중복기입하고(작은 비트로 기입하고), 200kBPI 신호의 소거 잔류량(큰 비트의 소거 잔류량)의 정도를 평가한 오버라이트 특성을 기입 전류의 함수로 하여 나타낸 그래프이다.For the sample disks A, B, and C produced, writing by the magnetic pole head and reading of the GMR head using a magnetic recording apparatus having a terminal pole head as a writing magnetic head and a GMR head as a reading magnetic head. Magnetic recording was performed to evaluate recording reproduction characteristics. The results are shown in FIG. The upper part (a) of FIG. 5 is a graph showing the relationship between the write current and the reproduction signal S / N at 400 kBPI corresponding to a 60 nm pitch. The portion (b) below the abscissa in Fig. 5 writes a signal of 200 kBPI (after writing with a large bit), overwrites the signal of 400 kBPI (writes with a small bit), and removes the residual amount of the 200 kBPI signal (clearing a large bit). The overwrite characteristic which evaluated the degree of residual amount) is a graph which shows as a function of writing current.
도 5에 도시된 바와 같이, 샘플 디스크 A(본 발명의 자기 기록 매체)는 S/N 및 오버라이트 특성이 모두 샘플 디스크 B(비교예의 자기 기록 매체)보다도 뛰어났다. 샘플 디스크 C(비교예의 자기 기록 매체)는 디스크 둘레의 출력 엔벨로프가 불량이기 때문에, 정확한 측정 데이터를 얻을 수 없었지만, 이것은 연마량이 많았던 것에 의한 두께 불균일이 원인인 것으로 추측된다.As shown in Fig. 5, the sample disk A (the magnetic recording medium of the present invention) was superior to the sample disk B (the magnetic recording medium of the comparative example) in both S / N and overwrite characteristics. Since the sample disk C (the magnetic recording medium of the comparative example) had a poor output envelope around the disk, accurate measurement data could not be obtained, but this is presumed to be caused by the thickness variation due to the large amount of polishing.
(실시예 2)(Example 2)
실시예 1에 있어서, 상기 기판을 실리콘 기판에서 알루미늄 기판으로 대신하여, 그 알루미늄 기판을 전극으로 이용하고, CoZrNb에 의한 상기 연자성 하지층으로 대신하여, 황산 니켈 및 황산 철을 함유하는 용액을 이용하여, 퍼멀로이(Ni 80%-Fe 20%)에 의한 상기 연자성 하지층을 두께 500nm으로 되도록 전착 형성한 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 샘플 디스크르 제조하였다.In Example 1, a solution containing nickel sulfate and iron sulfate was used instead of the silicon substrate to the aluminum substrate, using the aluminum substrate as an electrode, and replacing the soft magnetic underlayer with CoZrNb. A sample disk was produced in the same manner as in Example 1 except that the soft magnetic underlayer by Permalloy (Ni 80% -
실시예 2의 샘플 디스크에 대해, 실시예 1과 마찬가지의 평가를 행한 결과, 실시예 2의 샘플 디스크는 실시예 1의 샘플 디스크 A와 마찬가지의 자기 기록 특성을 갖는 것을 확인할 수 있었다.As a result of the same evaluation as in Example 1 with respect to the sample disk of Example 2, it was confirmed that the sample disk of Example 2 had the same magnetic recording characteristics as the sample disk A of Example 1.
(실시예 3)(Example 3)
실시예 1의 샘플 디스크 A 및 B에 있어서, 상기 연자성층의 재료를 FeSiAl, FeC, FeCoB, FeCoNiB, CoZrNb로 각각 대신하고, 상기 강자성층의 재료를 Fe, Co, Ni, FeNi, CoNi, CoNiP 및 FePt, CoPt, NiPt로 각각 대신하여 각종 샘플 디스크를 제조하고, 이들 샘플 디스크에 대해 실시예 1과 마찬가지의 평가를 행한 결과, 실시예 1의 샘플 디스크 A 및 B에 대응한 결과, 즉 도 5에 도시하는 것과 같은 자기 기록 특성을 나타내는 것을 확인할 수 있었다.In the sample disks A and B of Example 1, the soft magnetic layer was replaced with FeSiAl, FeC, FeCoB, FeCoNiB, CoZrNb, and the ferromagnetic layer was replaced with Fe, Co, Ni, FeNi, CoNi, CoNiP and Various sample discs were manufactured by FePt, CoPt, and NiPt, respectively, and the same evaluations as those in Example 1 were performed on these sample discs. As a result, the results corresponding to the sample discs A and B of Example 1, that is, in FIG. It was confirmed that the magnetic recording characteristics as shown are shown.
(실시예 4)(Example 4)
자기 기록 매체를 이하와 같이 하여 제조하였다. 즉, 상기 기판으로서의 실리콘 기판에 상기 연자성 하지층의 재료로서의 NiFe(Ni 80%-Fe 20%)를 스퍼터법에 의해 두께가 500nm으로 되도록 성막하고, 상기 연자성 하지층을 형성하였다. 이상이 본 발명의 자기 기록 매체의 제조 방법에 있어서의 상기 연자성 하지층 형성 공정이다.A magnetic recording medium was produced as follows. That is, NiFe (Ni 80% -
다음으로, 스퍼터링의 상기 타겟으로서, 순도가 99.995%인 알루미늄(Al)을 이용하여 스퍼터법에 의해 상기 연자성 하지층 위에 상기 다공질층 형성 재료층으로서의 알루미늄층을 두께가 500nm으로 되도록 제막하였다. 그 다공질층 형성 재료층에 대해 상기 연자성 하지층(NiFe)을 전극으로 하고, 황산 수용액을 이용하여 4℃, 인가 전압 3V의 조건에서 상기 양극 산화법에 의해 양극 산화를 행하고, 상기 연속된 다공질화를 행하여 상기 미세 구멍을 다수개 형성하여, 상기 다공질층으로서의 알루마이트 포어(포어의 피치(셀 지름): 20nm, 포어 지름: 13nm, 상기 애스펙트비: 38.5, 벌집 형상으로 배열)를 형성하였다. 또, 상기 다공질층으로서의 알루마이트 포어의 바닥부에는 배리어층이 존재하고 있었으므로, 이것을 인산을 이용하여 에칭하여 제거하여, 상기 연자성 하지층(NiFe)을 노출시켜서 스루홀화시켰다. 이상이 본 발명의 자기 기록 매체의 제조 방법에 있어서의 상기 다공질층 형성 공정이다.Next, the aluminum layer as the porous layer-forming material layer was formed on the soft magnetic base layer by a sputtering method using aluminum (Al) having a purity of 99.995% as the target for sputtering so as to have a thickness of 500 nm. The soft magnetic base layer (NiFe) was used as an electrode to the porous layer forming material layer, and anodized by the anodic oxidation method at 4 ° C. and an applied voltage of 3 V using an aqueous sulfuric acid solution, and the continuous porousization was performed. A plurality of fine pores were formed to form an alumite pores (pitch (cell diameter) of pores: 20 nm, pore diameter: 13 nm, aspect ratio: 38.5, arranged in a honeycomb shape) as the porous layer. In addition, since a barrier layer existed at the bottom of the alumite pore as the porous layer, the barrier layer was etched and removed using phosphoric acid, and the soft magnetic underlayer (NiFe) was exposed to through-hole. The above is the above-mentioned porous layer formation process in the manufacturing method of the magnetic recording medium of this invention.
다음으로, 상기 연자성 하지층(NiFe)을 음전압 인가의 상기 전극으로 하고, 황산 니켈 및 황산 철을 함유하는 용액을 이용하여, 그 용액을 수용하는 욕 중에서, 상기 다공질층(알루마이트 포어)에 있어서의 미세 구멍(포어)의 내부에 상기 연자성층으로서의 NiFe를 전착에 의해 형성하였다. 또한, 상기 황산 니켈 및 상기 황산 철의 상기 용액 속 조성으로는 퍼멀로이 조성(Ni 80%-Fe 20%)로 하고, 상기 연자성층의 두께는 약 470nm이었다. 이상이 본 발명의 자기 기록 매체의 제조 방법에 있어서의 상기 연자성층 형성 공정이다.Next, the soft magnetic underlayer (NiFe) is used as the electrode for applying a negative voltage, and a solution containing nickel sulfate and iron sulfate is used for the porous layer (aluite pore) in a bath containing the solution. NiFe as the soft magnetic layer was formed in the interior of the fine holes (pores) in the electrodeposition. In addition, the composition of the nickel sulfate and the iron sulfate in the solution was a permalloy composition (Ni 80% -
다음으로, 상기 연자성 하지층(NiFe)을 부전압 인가의 상기 전극으로 하여 황산 동을 함유하는 용액을 이용하고, 그 용액을 수용하는 욕 중에서 상기 다공질층(알루마이트 포어)에 있어서의 미세 구멍(포어)의 내부에 형성한 상기 연자성층 위에 상기 비자성층으로서의 Cu를 전착에 의해 형성하였다. 그 비자성층의 두께는 약 5nm이었다. 이상이 본 발명의 자기 기록 매체의 제조 방법에 있어서의 상기 비자성층 형성 공정이다.Next, a fine hole in the porous layer (aluite pore) is used in a bath containing copper sulfate using the soft magnetic underlayer (NiFe) as the electrode for application of a negative voltage and accommodating the solution. Cu as the nonmagnetic layer was formed on the soft magnetic layer formed in the pores by electrodeposition. The thickness of the nonmagnetic layer was about 5 nm. The above is the process of forming the nonmagnetic layer in the method of manufacturing the magnetic recording medium of the present invention.
다음으로, 상기 욕 중의 용액을 상기 황산 코발트 및 6염화 백금산을 함유하는 용액에 대신하여, 상기 다공질층(알루마이트 포어)에 있어서의 미세 구멍(포어)의 내부에 형성한 상기 비자성층 위에 상기 강자성층으로서의 CoPt를 전착에 의해 형성하였다. 이상이 본 발명의 자기 기록 매체의 제조 방법에 있어서의 상기 강자성층 형성 공정이다.Next, the ferromagnetic layer is formed on the nonmagnetic layer formed in the inside of the micropores (pores) in the porous layer (aluite pore), instead of the solution containing the cobalt sulfate and hexavalent chlorate. CoPt as was formed by electrodeposition. The above is the above-described ferromagnetic layer forming process in the method of manufacturing the magnetic recording medium of the present invention.
다음으로, 상기 다공질층의 표면을 연마한 후, 상기 보호막으로서의 SiO2를 스퍼터법으로 제막(두께 3nm)하였다. 또한, 바니시 처리/윤활 처리를 행함으로써, 본 발명의 상기 자기 기록 매체로서의 샘플 디스크 K를 제조하였다. 또한, 그 샘플 디스크 K에 있어서의 상기 강자성층의 두께는 20nm이었다.Next, after polishing the surface of the porous layer, SiO 2 as the protective film was formed into a film by a sputtering method (3 nm thick). Further, the varnish treatment / lubrication treatment was performed to produce a sample disk K as the magnetic recording medium of the present invention. In addition, the thickness of the ferromagnetic layer in the sample disk K was 20 nm.
여기에서, 비교를 위해, 상기 샘플 디스크 K에 있어서, 상기 다공질층 및 상기 연자성층을 형성하지 않고, 상기 연자성 하지층(NiFe(Ni 80%-Fe 20%)) 위에 상기 비자성층(Cu) 및 상기 강자성층(CoPt)을 샘플 디스크 K에 있어서의 조성 및 두께와 마찬가지로 되도록 하여 형성한 이외에는, 그 샘플 디스크 K와 마찬가지로 하여 샘플 디스크 L(비교예)를 제조하였다.Here, for comparison, in the sample disk K, the nonmagnetic layer Cu is formed on the soft magnetic underlayer (NiFe (Ni 80% -
제조한 샘플 디스크 K 및 L에 대해, 실시예 1과 마찬가지로 하여 기입용 자기 헤드로서의 단자극 헤드(자극 사이즈: 20nm)를 구비한 자기 기록 장치를 이용하여, 그 단자극 헤드에 의한 기입에 의한 자기 기록을 행했다(단자극 헤드의 부상량은 5nm).The magnets produced by the writing by the terminal electrode head were manufactured by using the magnetic recording apparatus provided with the terminal electrode head (magnet size: 20 nm) as the writing magnetic head in the same manner as in Example 1 with respect to the manufactured sample disks K and L. Recording was performed (the floating amount of the single magnetic pole head was 5 nm).
그리고, 샘플 디스크 K 및 L에 있어서의 기록 부분을, 자기력 현미경으로 관찰한 결과, 그 샘플 디스크 K에 있어서는 기록 부분의 자화 방향에 대응한 최소 20nm 사이즈의 밝은 부분 또는 어두운 부분이 관찰되고, 자성 재료가 충전된 하나 하나의 미세 구멍(알루마이트 포어)이 싱글 도메인으로 되어 있음을 확인할 수 있었다. 한편, 샘플 디스크 L에 있어서는 샘플 디스크 K와 마찬가지의 기입 전류(기입 조건)에서는 기록 주파수에 대응한 자화 패턴이 아무것도 관찰되지 않고, 그 샘플 디스크 K의 기입 전류의 1.5배 이상인 기입 전류로 한 경우에, 기록 비트 길이 30nm 이상의 기록 패턴을 볼 수 있었지만, 이들 자화 패턴은 형상·사이즈가 흐트러져 있는 것이었다. 본 발명의 샘플 디스크 K에 의하면, 1비트가 20nm 사이즈, 1.6Tb/in2의 기록 밀도도 가능해진다고 생각되었다.As a result of observing the recording portions in the sample disks K and L with a magnetic force microscope, the light or dark portions of the minimum 20 nm size corresponding to the magnetization direction of the recording portion were observed in the sample disk K, and the magnetic material was observed. It was confirmed that each one of the fine holes (aluite pore) filled with a single domain. On the other hand, in the sample disk L, when the write current (write condition) similar to that of the sample disk K is observed, no magnetization pattern corresponding to the recording frequency is observed, and the write current is 1.5 times or more the write current of the sample disk K. Although the recording pattern of 30 nm or more of recording bit lengths was seen, these magnetization patterns had the shape and size distorted. According to the sample disk K of the present invention, it is considered that one bit can also have a recording density of 20 nm size and 1.6 Tb / in 2 .
본 발명에 따르면, 종래에 있어서의 제문제를 해결하여, 컴퓨터의 외부 기억 장치, 민생용 비디오 기록 장치 등으로서 널리 사용되고 있는 하드디스크 장치 등에 적합하고, 자기 헤드의 기입 전류를 증가시키지 않으면서 고밀도 기록·고속 기록이 가능하며, 오버라이트 특성이 뛰어나고, 균일한 특성을 갖는 고품질의 대용량 자기 기록 매체 및 그 효율적이고 저비용의 제조 방법과, 그 자기 기록 매체를 이용한 수직 기록 방식에 의해, 고밀도 기록 가능한 자기 기록 장치 및 자기 기록 방법을 제공할 수 있다.According to the present invention, it solves the problems in the prior art, and is suitable for a hard disk device or the like widely used as an external storage device of a computer, a public video recording device, or the like, and high density recording without increasing the write current of the magnetic head. High-quality, high-capacity magnetic recording medium capable of high speed recording, excellent overwrite characteristics, and uniform characteristics, and an efficient and low-cost manufacturing method, and a vertical recording method using the magnetic recording medium, capable of high-density recording A recording apparatus and a magnetic recording method can be provided.
Claims (32)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020057007283A KR100738169B1 (en) | 2005-04-27 | 2003-03-19 | Magnetic recording medium and its manufacturing method, magnetic recorder, and magnetic recording method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020057007283A KR100738169B1 (en) | 2005-04-27 | 2003-03-19 | Magnetic recording medium and its manufacturing method, magnetic recorder, and magnetic recording method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20050109914A KR20050109914A (en) | 2005-11-22 |
| KR100738169B1 true KR100738169B1 (en) | 2007-07-10 |
Family
ID=37285619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020057007283A KR100738169B1 (en) | 2005-04-27 | 2003-03-19 | Magnetic recording medium and its manufacturing method, magnetic recorder, and magnetic recording method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100738169B1 (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0744851A (en) * | 1993-07-30 | 1995-02-14 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Perpendicular magnetic recording medium and its production |
| JP2002175621A (en) * | 2000-09-29 | 2002-06-21 | Canon Inc | Magnetic recording medium and manufacturing method therefor |
-
2003
- 2003-03-19 KR KR1020057007283A patent/KR100738169B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0744851A (en) * | 1993-07-30 | 1995-02-14 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Perpendicular magnetic recording medium and its production |
| JP2002175621A (en) * | 2000-09-29 | 2002-06-21 | Canon Inc | Magnetic recording medium and manufacturing method therefor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20050109914A (en) | 2005-11-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8021769B2 (en) | Patterned perpendicular magnetic recording medium with exchange coupled recording layer structure and magnetic recording system using the medium | |
| US7670696B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium with patterned magnetic islands and nonmagnetic trenches and manufacturing method for suppressing surface diffusion of trench material | |
| US20060204794A1 (en) | Laminate structure, magnetic recording medium and method for producing the same, magnetic recording device, magnetic recording method, and element with the laminate structure | |
| JP4968591B2 (en) | Magnetic recording medium and method for manufacturing the same | |
| JP2007200548A (en) | Perpendicular magnetic recording disk | |
| JP2006127681A (en) | Magnetic recording medium and its manufacturing method, and magnetic recording and reproducing device | |
| JP2009289360A (en) | Perpendicular magnetic recording medium and device | |
| JP5179833B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium, manufacturing method thereof, and magnetic storage device | |
| US20090109579A1 (en) | Magnetic recording medium, manufacturing method thereof and magnetic storage apparatus | |
| US20050225900A1 (en) | Magnetic recording media and production thereof, and, magnetic recording apparatus and method | |
| US8634153B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium, method of manufacturing the same, and magnetic recording/reproduction apparatus | |
| US9214179B2 (en) | Magnetic recording medium, method of manufacturing the same, and magnetic recording/reproduction apparatus | |
| KR100738169B1 (en) | Magnetic recording medium and its manufacturing method, magnetic recorder, and magnetic recording method | |
| JP4348971B2 (en) | Method for manufacturing perpendicular magnetic recording medium and perpendicular magnetic recording medium | |
| JP4878168B2 (en) | Nanohole structure and manufacturing method thereof, and magnetic recording medium and manufacturing method thereof | |
| JP2009223989A (en) | Nano-hole structure and magnetic recording medium | |
| JP6085088B2 (en) | Method for manufacturing perpendicular magnetic recording medium | |
| US20080144217A1 (en) | Patterned magnetic recording medium and method of manufacturing the same | |
| US11475916B1 (en) | Dual seed layer for magnetic recording media | |
| JP2008287771A (en) | Perpendicular magnetic recording medium, method for manufacturing the same, and magnetic recoding device | |
| JP2006075946A (en) | Nano-hole structural body and manufacturing method for this body, and magnetic recording medium and manufacturing method for this medium | |
| JP2006277844A (en) | Magnetic recording medium, its manufacturing method, and magnetic recording device | |
| JP2008176846A (en) | Substrate for magnetic recording medium, manufacturing method, and magnetic recording medium |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130621 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140626 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150618 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160616 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170616 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |