KR100719558B1 - 평판 표시 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 이물질이나 포토레지스트 찌꺼기에 의한 기판상에 전기적 단락의 발생을 방지하기 위한 것으로, 이를 위하여 기판과 상기 기판상에 구비된 제 1 전극과 상기 제 1 전극의 가장자리 중 적어도 일부에 위치하는 구조체를 포함하는 평판 표시 장치에 관한 것이다.

Description

평판 표시 장치{Flat panel display device}
도 1은 유기 발광 표시 장치를 나타내는 개략도.
도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 도시한 부분 확대 단면도이고,
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 일부 확대 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
40: 기판 42: 제 1 전극
43: 층간 절연막 50: 구조체
60: 발광층 90: 발광부
100: 밀봉부재
본 발명은 평판 표시 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 포토리소그래피 공정에서 전극패턴의 형성시에 공정중 이물질이나 현상(developping)후 제거되지 아니하고 남아있는 포토레지스트에 의하여 발생할 수 있는 전기적 단락의 발생을 방지한 기술을 적용한 평판 표시 장치에 관한 것이다.
현재 평판 표시 장치라 함은 가시광선을 내는 특성을 이용한 전면이 평판으로 된 장치로서 두 전극 사이에 강한 전압을 걸면 전극 사이에 Gas방전이 생기고, 이때 발생하는 자외선이 형광체에 부딪혀 빛을 내는 현상을 이용한 PDP(플라즈마 디스플레이 패널), 평면으로 형성된 Cathode(전자방출원)에서 방출된 전자가 형광체에 부딪혀 발광하는 FED(전계 발광 디스플레이), Filament에 전압을 인가하여 열전자를 발생시키고, Grid에서 전자가 가속되어 Anode에 도달하도록 하여, 이미 패턴(Patterning)된 형광체에 부딪혀 발광함으로서 정보를 표시하는 VFD(배큐엄 플루오레슨트 디스플레이), 형광(螢光) 또는 인광(燐光) 유기물 박막(薄膜)에 전류를 흘려주면 전자와 정공이 유기물층에서 결합하면서 빛이 발생되는 자발광형(自發光형)인 OLED(유기 발광 표시 장치)등이 있고, 액체와 고체의 중간상태인 액정(液晶)의 전기적 성질을 표시장치에 응용한 Display로서 액정(液晶)이 Shutter 역할을 하여 전압의 On/Off에 따라 빛을 투과(透過) 또는 차단(遮斷)하는 원리를 이용하여 정보를 표시하는 LCD(액정 표시 장치)가 있다. 특히 유기 발광 표시 장치는 능동 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 표시 소자로서 주목을 받고 있다.
상술한 바와 같이, 유기발광표시장치(OLED)나 LCD, PDP, VFD, FED에 있어서 전극을 형성하는 물질은 통전이 가능한 도전체로 구성된다. 상기 도전체는 금속성 물질 또는 유기물일수 있는데 상세히는 후술한다. 이러한 전극은 포토리소프래피공정을 통해서 패터닝될 수 있는데, 공정 중 발생되는 이물질 등의 오염원에 의해 원하는 전극패턴이 형성되지 아니하고, 이에 따라 패터닝된 전극들 사이에서 전기적 단락이 발생될 수 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 이물질이나 포토레지스트 찌꺼기에 의한 기판상에 전기적 단락의 발생을 방지하고, 생산공정중 전기적 단락의 발생을 감소시킬 수 있도록 하기 위한 평판 표시 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 기판과 상기 기판상에 구비된 제 1 전극부와 상기 제 1 전극부의 가장자리 중 적어도 일부에 위치하는 구조체를 포함하는 평판 표시 장치를 제공한다.
여기서, 평판 표시 장치에는 상기 제 1 전극부 상에 위치하는 발광층 및 적어도 상기 발광층 상에 형성되고, 상기 제 1 전극부와 절연된 제 2 전극부;을 포함할 수 있다. 상기 제 1 전극부는 투명전극인 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다. 아울러, 상기 제 1 전극부는 반사전극인 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 구조체의 외측 단부는 상기 제 1 전극부의 가장자리 외측으로 돌출된 것을 특징으로 할 수 있다. 여기서, 구조체는 금속재인 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치일 수 있다. 아울러, 상기 구조체는 전기적 절연체인 것을 특징으로 할 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 유기 발광 표시 장치를 나타내는 개략도이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 도시한 부분 확대 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 유기 발광 표시 장치는 상기 기판(40)의 상면에 형성된 발광부(90)를 포함하고, 상기 발광부(90)는 제1전극부(42) 및 상기 제1 전극부(42)의 가장자리 중 적어도 일부에 적층되는 구조체(50)를 포함한다. 상기 기판(40)은 글라스, 플라스틱, 또는 금속재 등으로 형성될 수 있는데, 상기 금속재는 금속재 호일, 예컨대, 스테인레스 스틸, Ti, Mo, Invar합금, Inconel 합금, 및 Kovar 합금 등으로 구비될 수 있다.
상기 플라스틱은 폴리에테르술폰(PES, polyethersulphone), 폴리아크릴레이트(PAR, polyacrylate), 폴리에테르 이미드(PEI, polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN, polyethyelenen napthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(PET, polyethyeleneterepthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide: PPS), 폴리아릴레이트(polyallylate), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(TAC), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propinonate: CAP)로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 플라스틱 필름을 포함한다. 이러한 상기 기판(40)의 상면에는 버퍼층(41)이 형성될 수 있는데, 상기 버퍼층(41)은 상기 기판(40)과 그 상면에 적층될 상기 제 1 전극부(42),층간절연막(43) 등과 같은 다양한 층과의 계면 특성을 확보하기 위하여 적층되는 것으로서, 통상 SiO2로 구비될 수 있다.
도 2에서 도시하는 바와 같이, 상기 발광부(90)는 상기 기판(40)의 상면에 위치하는 상기 제 1 전극부(42)와, 상기 제 1 전극부(42)상에 위치하는 상기 발광층(60) 및 적어도 상기 발광층(60)으로 구성되며, 상기 제 1 전극부(42)와 절연된 상기 제 2 전극부(44)를 포함할 수 있다.
그리고 상기 제 1 전극부(42) 사이에는 상기 층간 절연막(43)이 개재될 수 있다. 상기 제 1 전극부(42) 및 층간 절연막(43) 상면에 적층되는 상기 발광층(60)은 도면상 나타나지는 않았지만, 적색 유기 발광영역을 갖는 부화소와, 녹색 유기 발광영역을 갖는 부화소 및 청색 유기 발광영역을 갖는 부화소가 한 화소를 형성하여 풀칼라를 구현하도록 배치된다.
또한 상기 제 2 전극부(44)는 AM(능동형 매트릭스) 구조에서는 상기 기판(40)의 상면에 대향되게 전면에 형성되도록 증착시킬 수 있고, PM(수동형 매트릭스) 구조에서는 상기 제 1 전극부(42)와 직교하도록 기설계된 패턴으로 증착시킨다. 이렇게 상기 제 2 전극부(44)를 형성한 후에는 별도의 글라스 부재나, 메탈 캡 등의 밀봉부재(100)로 밀봉시킨다. 상기 제 1 전극부(42)은 투명전극 또는 반사전극으로 형성할 수 있는데, 투명 전극은 일함수가 높고 투명한 ITO, IZO, In2O3, 및 ZnO 등을 사용하여 형성할 수 있다.
반사 전극으로는 일함수가 낮은 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, Li, Ca 및 이들의 화합물 등의 금속재로 구비될 수 있다. 이러한 상기 제 1 전극부(42)는 PM형 유기 발광 표시 장치의 경우에, 스트라이프 형태로 패터닝될 수 있다.또한 상기 구조체(50)는 3A, 4A, 5A, 6A, 7A, 8, 1B, 2B, 3B, 4B족으로부터 선택된 원소를 포함하는 적어도 1종의 금속 또는 금속화합물이 포함될 수 있고, 바람직하게는 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, Li, Ca 및 이들의 화합물 등의 금속재로 형성할 수 있다.
상기 구조체(50)를 금속 또는 금속화합물로 형성하는 경우에는 상기 제 1 전극부을 전면에 피복할 수 있다.
여기서 상기 구조체(50)는 전기적 절연체인 것을 특징으로 할 수 있는데, 절연체에는 유기 절연체로서 폴리머재를 사용할 수 있는 데, 그 예로서, 일반 범용고분자(PMMA, PS), phenol그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일리렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자 및 이들의 블렌드 등이 가능하고 무기 절연체로서는, SiO2, SiNx, SiON, Al2O3, TiO2, Ta2O5, HfO2, ZrO2, BST, 및 PZT 등이 가능하다. 물론 유기-무기 하이브리드막으로 형성될 수 있다. 도 1에서 도시된 바와 같이, 상기 기판(40)과 대향되게 상기 제 2 전극부(44) 상면에 외부로부터 수분과 산소의 유입을 방지하기 위한 밀봉부재(100)를 접착할 수 있다.
도 2에서 참조하면, 상기 구조체(50)의 외측 단부는 상기 제 1 전극부(42)의 가장자리 외측으로 돌출되게 형성할 수 있다.
이 경우에, 상기 제 1 전극부(42)의 폭너비의 0.1% ~ 20%비율 만큼 상기 제 1 전극부(42)의 양쪽 가장자리 외측으로 돌출하게 할 수 있고, 바람직하게는 0.5 ~ 5%비율로 할 수 있다. 또한, 상기 구조체(50)은 금속재 또는 절연체로 할 수 있음은 상술한 바와 같다. 한편, 상기 구조체(50)는 도 3에서 볼 수 있는 바와 같이, 상기 구조체(50)의 단부와 제 1 전극부(42)의 가장자리의 단부에 정렬되도록 할 수 있다.
상기 구조체(50)로 인하여 포토리소그래피공정 중에 발생할 수 있는 이물질에 의한 전극간 전기적 단락의 발생을 방지할 수 있다.
예컨데, ITO전극의 패터닝 공정에서의 기설계된 ITO전극 사이에 공정내 이물질이나 포토마스크의 오염물이 개재되어 노광이 덜 되고, 결과적으로 전기적 단락이 발생될 수 있으나, 상기 구조체(50)의 적용으로 인하여 노광되는 면적이 많이 확보되고, 아울러 싸이드 에칭에 의한 ITO전극 사이에 기설계된 패턴이 형성된다.
이상은 본 발명의 하나의 구현예인 유기 발광 표시장치를 설명하였으나, 유기 발광 표시 장치 외에도 본 발명의 기술적 사상의 범위내에서 다양한 평판 표시장치에 모두 적용될 수 있음은 물론이다.
상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따르면, 본 발명은 평판 표시 장치에 관한 것으로서, 이물질이나 포토레지스트 찌꺼기에 의한 기판상에 전기적 단락의 발생을 방지할 수 있다.
본 명세서에서는 본 발명을 한정된 실시예를 중심으로 설명하였으나, 본 발명의 사상적 범위 내에서 다양한 실시예가 가능하다.
또한 설명되지는 않았으나, 균등한 수단도 또한 본 발명에 그대로 결합되는 것이라 할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (7)

  1. 기판;
    상기 기판상에 구비된 복수의 제 1 전극부; 및
    상기 제 1 전극부의 가장자리 중 적어도 일부에 위치하는 구조체;
    상기 제 1 전극부들의 사이에 위치하는 층간 절연막;
    상기 제 1 전극부 상에 위치하는 발광층; 및
    적어도 상기 발광층 상에 형성되고, 상기 제 1 전극부와 절연된 제 2 전극부;를 포함하는 평판 표시 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 전극부는 투명전극인 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 전극부는 반사전극인 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치.
  5. 제 1 항, 제3항 및 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구조체의 외측 단부는 상기 제 1 전극부의 가장자리 외측으로 돌출된 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치.
  6. 제 1 항, 제3항 및 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구조체는 금속재인 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치.
  7. 제 1 항, 제3항 및 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구조체는 전기적 절연체인 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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