KR100717578B1 - Improved Slit Die Device and Coating Apparatus having the Same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 슬릿 다이 장치를 개시하고 있다. 본 발명에 따른 슬릿 다이 장치는 브라켓에 부착되는 슬릿 다이; 상기 슬릿 다이의 상하 방향 이동을 제어하는 서보 모터; 및 상기 슬릿 다이의 상하 방향이동을 미세하게 제어하는 PZT 액추에이터를 포함하고, 상기 PZT 액추에이터는 상기 슬릿 다이의 양 측면에 하나씩 위치되어, 상기 브라켓의 하부에 상기 슬릿 다이와 이격된 상태로 부착되고, 상기 PZT 액추에이터가 작동되면, 상기 PZT 액추에이터의 양 측면에서 상기 브라켓의 수직 방향으로 부착된 소정의 연결 장치에 의해 상기 PZT 액추에이터가 상기 슬릿 다이의 상하 이동을 미세하게 제어한다. The present invention discloses a slit die apparatus. The slit die apparatus according to the present invention includes a slit die attached to a bracket; A servo motor for controlling the vertical movement of the slit die; And a PZT actuator for finely controlling the vertical movement of the slit die, wherein the PZT actuators are positioned at both sides of the slit die, and are attached to the lower portion of the bracket so as to be spaced apart from the slit die. When the PZT actuator is activated, the PZT actuator finely controls the vertical movement of the slit die by a predetermined connection device attached in the vertical direction of the bracket on both sides of the PZT actuator.

슬릿 다이, 서보 모터, PZT 액추에이터 Slit Die, Servo Motor, PZT Actuator

Description

개선된 슬릿 다이 장치 및 이를 구비한 코팅 장치{Improved Slit Die Device and Coating Apparatus having the Same} Improved Slit Die Device and Coating Apparatus having the Same}

도 1은 종래 기술의 롤러 코팅 장치(roller coater)를 도시한 도면이다.1 shows a roller coater of the prior art.

도 2는 종래 기술의 LCD 또는 PDP용 테이블 코팅 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.2 is a view schematically showing a table coating apparatus for a conventional LCD or PDP.

도 3a는 슬릿 다이를 구동하는 일반적인 서보 모터의 회전 속도 성능 특성을 보여주는 도면이다.Figure 3a is a view showing the rotational speed performance characteristics of a typical servo motor driving a slit die.

도 3b는 서보 모터에 의해 구동되는 슬릿 다이에 사용하여 코팅을 할 경우 발생하는 댐핑현상을 도시한 도면이다. FIG. 3B is a diagram illustrating a damping phenomenon occurring when coating is applied to a slit die driven by a servo motor.

도 4a는 본 발명에 따른 PZT 액추에이터를 구비한 슬릿 다이 장치를 도시한 도면이다. 4A shows a slit die apparatus with a PZT actuator in accordance with the present invention.

도 4b는 본 발명에 따른 롤러 코팅 장치를 도시한 도면이다. Figure 4b is a view showing a roller coating apparatus according to the present invention.

도 4c는 본 발명에 따른 LCD 또는 PDP용 테이블 코팅 장치를 도시한 도면이다. Figure 4c is a view showing a table coating apparatus for LCD or PDP according to the present invention.

도 5는 본 발명의 슬릿 다이 장치를 사용하여 기재 또는 글라스상에 코팅하는 경우 댐핑현상없이 코팅이 이루어지는 것을 도시한 도면이다. FIG. 5 is a diagram illustrating that coating is performed without damping when coating on a substrate or glass using the slit die apparatus of the present invention.

본 발명은 개선된 슬릿 다이 장치 및 이를 구비한 코팅 장치에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 코팅 시작 및 코팅 종료 부위의 불균일한 코팅이 좀 더 양호하게 이루어지도록 하는 개선된 슬릿 다이 장치 및 이를 구비한 코팅장치에 관한 것이다.The present invention relates to an improved slit die apparatus and a coating apparatus having the same. More specifically, the present invention relates to an improved slit die apparatus and a coating apparatus having the same, which allows a nonuniform coating of the coating start and coating end sites to be made better.

일반적으로 기재(基材)상에 코팅액을 도포하기 위해서는 노즐(nozzle)을구비한 슬릿 다이(slit die)가 사용된다. 구체적으로, 도1에 도시된 롤러를 사용하는 일반적인 롤러 코팅 장치(roller coater)(100)의 코팅 방법에서는 기재인 글래스(110)를 복수의 롤러(120,12,122,123,124) 상에 걸리게 한 후, 측면에서 서보 모터(미도시)를 이용하여 슬릿 다이(130)를 좌우로 이동시키고또한 구동 모터(미도시)로는 롤러(120,12,122,123,124)를 회전시키면, 슬릿다이(130)를 통해 코팅액을 글래스(110)상에 배출하여 코팅액이 일정 간격으로 도포된다. In general, a slit die equipped with a nozzle is used to apply a coating liquid onto a substrate. Specifically, in the coating method of the general roller coater 100 using the roller shown in FIG. 1, the glass 110, which is a substrate, is caught on the plurality of rollers 120, 12, 122, 123, and 124, When the slit die 130 is moved left and right using a servo motor (not shown), and the rollers 120, 12, 122, 123, and 124 are rotated by the drive motor (not shown), the coating liquid is transferred to the glass 110 through the slit die 130. The coating liquid is applied at regular intervals by discharging onto the phase.

또한, 도2에 개략적으로 도시된 LCD 또는 PDP를 제조하기 위해 사용되는 테이블 코팅 장치(table coater)(200)에서는 코팅할 기재인 글래스(210)를 스테이지(220) 상에 위치시킨 후 갠트리(gantry)(225)에 부착된 슬릿 다이(230)를 수평방향으로 이동시키면서 글래스(210) 상에 필요한 코팅액을 도포시키는 방법이 사용되고 있다.In addition, in the table coater 200 used to manufacture the LCD or PDP shown schematically in FIG. 2, the glass 210, which is a substrate to be coated, is placed on the stage 220 and then gantry A method of applying the coating liquid required on the glass 210 while moving the slit die 230 attached to the 225 in the horizontal direction is used.

상술한, 롤러 코팅 장치 또는 테이블 코팅 장치의 코팅 방법에서, 코팅의 정밀도를 좌우하는 요소는 1) 슬릿 다이 내의 코팅액을 토출하기 위해 사용되는 펌프 의 토출 압력, 및 2) 슬릿 다이의 이동 속도이다. 이러한 2가지 요소 중 슬릿 다이의 이동 속도의 경우, 슬릿 다이의 상하 또는 좌우 이동은 통상적인 구동 수단인 서보 모터(servo motor)에 의해 이루어진다. In the above-described coating method of the roller coating apparatus or the table coating apparatus, the factors that influence the precision of the coating are 1) the discharge pressure of the pump used for discharging the coating liquid in the slit die, and 2) the moving speed of the slit die. In the case of the movement speed of the slit die, among these two factors, the vertical movement of the slit die is performed by a servo motor which is a conventional driving means.

그러나, 통상적인 서보 모터는 초기 구동력이 약하기 때문에, 서보 모터에 의해 제어되는 장치인 슬릿 다이는 상하 또는 좌우 이동시 기재와의 일정 거리를 유지하기 위한 초기 미세 조정이 정밀하게 이루어지지 못한다는 단점이 있었다. 도 3a는 슬릿 다이를 구동하는 일반적인 서보 모터의 회전 속도 성능 특성을 보여주는 도면을 도시하고 있다. 도 3a를 참조하면, 서보 모터가 처음 시동하여 원하는 소정 회전 속도(rpm)에 도달하기 위해서는, 가로축의 시간(t)이 진행함에 따라 댐핑(damping)현상이 발생한다. 따라서, 이러한 댐핑 현상에 의해, 서보 모터에 의해 구동되는 슬릿 다이에 사용하여 코팅을 할 경우, 도 3b에 도시된 것과 같이 초기 코팅부분이 균일성이 확보되지 못한다는 문제가 발생한다. However, since the conventional servo motor has a weak initial driving force, the slit die, a device controlled by the servo motor, has a disadvantage in that initial fine adjustment is not precisely performed to maintain a constant distance from the substrate during vertical movement. . 3A shows a diagram showing the rotational speed performance characteristics of a typical servo motor driving a slit die. Referring to FIG. 3A, in order for the servo motor to start for the first time and reach a desired predetermined rotation speed rpm, a damping phenomenon occurs as the time t on the horizontal axis progresses. Therefore, due to such a damping phenomenon, when the coating is applied to the slit die driven by the servo motor, there is a problem that the initial coating portion is not secured as shown in Figure 3b.

또한, 초기 코팅 부분 중 균일한 코팅부가 형성될 때까지의 안정화 시간이 대략 1 내지 2초 정도이고, 이러한 안정화 시간은 코팅 제품을 대량 생산할 경우 전체 공정 시간(tact time)이 증가하여, 궁극적으로 생산성이 저하된다는 문제점을 야기한다. In addition, the stabilization time until the uniform coating is formed in the initial coating portion is approximately 1 to 2 seconds, this stabilization time increases the overall tact time when the mass production of the coating product, ultimately productivity This causes a problem of deterioration.

나아가, 초기 코팅 부분의 불균일성으로 인하여 불균일한 부분 (대략 10mm)을 커팅하여야 사용해야 하므로, 재료 및 제조비용이 증가한다는 문제가 발생한다.Furthermore, since the nonuniformity (approximately 10 mm) must be cut due to the nonuniformity of the initial coating, a problem arises in that the material and manufacturing cost increase.

본 발명은 종래 서보 모터를 슬릿 다이의 미세조정이 불필요한 상하 이동시 에 사용하고, 이어서 코팅 시작을 위한 슬릿 다이의 이동시 미세한 상방향 이동 제어가 가능한 PZT 액추에이터를 함께 사용하여 슬릿 다이를 이동시킴으로써, 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것이다.The present invention uses the conventional servo motor to move the slit die by using a PZT actuator capable of fine upward movement control when moving the slit die to start the coating, and then using the servo motor when the slit die is finely adjusted. It is to solve the problems of the prior art.

본 발명의 제 1 특징에 따르면, 슬릿 다이 장치에 있어서, 브라켓에 부착되는 슬릿 다이; 상기 슬릿 다이의 상하 방향이동을 제어하는 서보 모터; 및 상기 슬릿 다이의 상하 방향이동을 미세하게 제어하는 PZT 액추에이터를 포함하고, 상기 PZT 액추에이터는 상기 슬릿 다이의 양 측면에 하나씩 위치되되, 상기 브라켓의 하부에 상기 슬릿 다이와 이격된 상태로 부착되고, 상기 PZT 액추에이터가 작동되면, 상기 PZT 액추에이터의 양 측면에서 상기 브라켓의 수직 방향으로 부착된 소정의 연결 장치에 의해 상기 PZT 액추에이터가 상기 슬릿 다이의 상하 이동을 미세하게 제어하는 슬릿 다이 장치를 제공하기 위한 것이다. According to a first aspect of the invention, a slit die apparatus, comprising: a slit die attached to a bracket; A servo motor for controlling the vertical movement of the slit die; And a PZT actuator for finely controlling the vertical movement of the slit die, wherein the PZT actuators are positioned on both sides of the slit die and are spaced apart from the slit die at the bottom of the bracket. When the PZT actuator is operated, the PZT actuator is to provide a slit die device in which the PZT actuator finely controls the vertical movement of the slit die by a predetermined connecting device attached in the vertical direction of the bracket on both sides of the PZT actuator. .

본 발명의 제 2 특징에 따르면, 롤러 코팅 장치에 있어서, 기재; 상기 기재가 걸리는 복수의 롤러; 상기 복수의 롤러의 회전을 구동하기 위한 구동 모터; 및 상기 기재 상에 코팅액을 도포하기 위한 슬릿 다이 장치를 포함하고, 상기 슬릿 다이 장치는 브라켓에 부착되는 슬릿 다이; 상기 슬릿 다이의 상하 방향이동을 제어하는 서보 모터; 및 상기 슬릿 다이의 상하 방향이동을 미세하게 제어하는 PZT 액추에이터를 포함하며, 상기 PZT 액추에이터는 상기 슬릿 다이의 양 측면에 하나씩 위치되되, 상기 브라켓의 하부에 상기 슬릿 다이와 이격된 상태로 부착되고, 상기 PZT 액추에이터가 작동되면, 상기 PZT 액추에이터의 양 측면에서 상기 브라켓의 수직 방향으로 부착된 소정의 연결 장치에 의해 상기 PZT 액추에이터가 상기 슬릿 다 이의 상하 이동을 미세하게 제어하는 롤러 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다.According to a second aspect of the present invention, there is provided a roller coating apparatus comprising: a substrate; A plurality of rollers on which the substrate is caught; A drive motor for driving rotation of the plurality of rollers; And a slit die device for applying a coating liquid on the substrate, wherein the slit die device comprises: a slit die attached to a bracket; A servo motor for controlling the vertical movement of the slit die; And a PZT actuator for finely controlling the vertical movement of the slit die, wherein the PZT actuators are positioned on both sides of the slit die and are spaced apart from the slit die at the bottom of the bracket. When the PZT actuator is actuated, the PZT actuator provides a roller coating apparatus for finely controlling the vertical movement of the slit die by a predetermined connecting device attached in the vertical direction of the bracket on both sides of the PZT actuator. .

본 발명의 제 3 특징에 따르면, LCD 또는 PDP용 테이블 코팅 장치에 있어서, 석션 테이블(suction table); 상기 석션 테이블 상에 놓이는 글래스; 상기 석션 테이블 상에서 직선 왕복운동을 하는 갠트리; 및 상기 갠트리에 부착되며, 상기 글래스 상에 코팅액을 도포하기 위한 슬릿 다이 장치를 포함하고, 상기 슬릿 다이 장치는 브라켓에 부착되는 슬릿 다이; 상기 슬릿 다이의 상하 방향이동을 제어하는 서보 모터; 및 상기 슬릿 다이의 상하 방향이동을 미세하게 제어하는 PZT 액추에이터를 포함하며, 상기 PZT 액추에이터는 상기 슬릿 다이의 양 측면에 하나씩 위치되되, 상기 브라켓의 하부에 상기 슬릿 다이와 이격된 상태로 부착되고, 상기 PZT 액추에이터가 작동되면, 상기 PZT 액추에이터의 양 측면에서 상기 브라켓의 수직 방향으로 부착된 소정의 연결 장치에 의해 상기 PZT 액추에이터가 상기 슬릿 다이의 상하 이동을 미세하게 제어하는 LCD 또는 PDP용 테이블 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다.According to a third aspect of the invention, there is provided a table coating apparatus for an LCD or a PDP, comprising: a suction table; A glass placed on the suction table; A gantry for linear reciprocating motion on the suction table; And a slit die device attached to the gantry, the slit die device for applying a coating liquid onto the glass, wherein the slit die device comprises: a slit die attached to a bracket; A servo motor for controlling the vertical movement of the slit die; And a PZT actuator for finely controlling the vertical movement of the slit die, wherein the PZT actuators are positioned on both sides of the slit die and are spaced apart from the slit die at the bottom of the bracket. When the PZT actuator is operated, a table coating apparatus for LCD or PDP in which the PZT actuator finely controls the vertical movement of the slit die by a predetermined connecting device attached in the vertical direction of the bracket on both sides of the PZT actuator. It is to provide.

본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다. Further advantages of the present invention will become apparent from the following description with reference to the accompanying drawings in which like or like reference numerals designate like elements.

이하에서 본 발명의 실시 예를 참조하여 본 발명을 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described with reference to embodiments of the present invention.

도 1은 종래 기술의 롤러 코팅 장치(roller coater)(100)를 도시한 도면이고, 도 2는 종래 기술의 LCD 또는 PDP용 테이블 코팅 장치(200)를 도시한 도면이며, 도 3a는 슬릿 다이를 구동하는 일반적인 서보 모터의 회전 속도 성능 특성을 보여주는 도면이고, 도 3b는 서보 모터에 의해 구동되는 슬릿 다이에 사용하여 코팅을 할 경우 발생하는 댐핑현상을 도시한 도면이다. 1 is a view showing a roller coater 100 of the prior art, Figure 2 is a view showing a table coating apparatus 200 for LCD or PDP of the prior art, Figure 3a is a slit die FIG. 3B is a diagram illustrating a rotation speed performance characteristic of a general servo motor driving, and FIG. 3B is a diagram illustrating a damping phenomenon occurring when coating is applied to a slit die driven by a servo motor.

좀 더 구체적으로, 도 1 및 도 2에 도시된 코팅 장치(100, 200)에 사용되는 슬릿 다이(130, 230)는 슬릿 다이 구동 장치(240) (도 2의 경우만 도시함)에 의해 기재인 글래스(110, 210)에 대해 수직 방향으로 상승 또는 하강한다. 이러한 슬릿 다이 구동 장치(240)는 통상적으로 서보 모터(240)이다. More specifically, the slit dies 130, 230 used in the coating apparatus 100, 200 shown in FIGS. 1 and 2 are described by the slit die drive device 240 (shown only in FIG. 2). Ascending or descending in the vertical direction with respect to the in-glass (110, 210). This slit die drive device 240 is typically a servo motor 240.

글래스(110,10)상에 코팅재를 도포시키기 위해서는, 통상적으로 서포트 바(bar) 또는 브라켓(260) (이하 ‘브라켓’이라 함)에 부착된 슬릿 다이(130, 230)를 상술한 서보 모터(240)를 사용하여 기재인 글래스(110, 210) 표면 상부로부터 대략 30㎛ 내지 50㎛ 이격된 거리 범위 내로 이동시킨다. 이 후, 슬릿 다이(130, 230)의 노즐(미도시)을 통해 배출된 코팅액이 글래스(110, 210) 상에 접촉한 상태에서 슬릿 다이(130, 230)를 글래스(110, 210) 표면 상부로 대략 100㎛ 이격된 거리로 상승시킨 후 이 거리를 유지하면서 코팅이 행해진다. 도 2의 경우, 갠트리(225)의 수평 방향 이동은 별도의 서보 모터(미도시)의 구동에 의해 이루어진다.In order to apply the coating material on the glass 110, 10, the servo motor (not shown), which is typically referred to as the slit die 130, 230 attached to the support bar or the bracket 260 (hereinafter referred to as 'bracket'). 240 is used to move within a distance range of approximately 30 μm to 50 μm from the top of the glass 110, 210 surface of the substrate. Subsequently, the coating liquid discharged through the nozzles (not shown) of the slit dies 130 and 230 contacts the glass 110 and 210 with the slit dies 130 and 230 above the surface of the glass 110 and 210. The coating is performed while maintaining this distance after raising to a distance of approximately 100 μm. In the case of Figure 2, the horizontal movement of the gantry 225 is made by the drive of a separate servo motor (not shown).

그러나, 서보 모터(240)를 사용하여 슬릿 다이(130, 230)를 상승시키는 경우, 원하는 이격 거리인 100㎛에 도달하도록 미리 설정된 프로그램 방식에 의해 서보 모터(240)를 동작시키더라도, 서보 모터(240) 자체의 특성 때문에 슬릿 다이(130, 230)를 원하는 이격 거리인 100㎛에 도달한 상태에서 곧바로 멈추도록 할 수 없으며, 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이 댐핑현상이 발생한다. 그 결과, 초기 코팅 부분의 대략 10mm에 해당하는 부분이 균일한 코팅이 이루어지지 않아, 이 부 분을 제거하여야 하므로, 재료 및 비용이 증가하고, 또한 제품의 택 타임(tact time)이 길어지며, 제품 완성도 및 생산성이 떨어진다. However, when raising the slit dies 130 and 230 using the servo motor 240, even if the servo motor 240 is operated by a preset program method to reach a desired separation distance of 100 mu m, the servo motor ( 240, the slit dies 130 and 230 cannot be stopped immediately in the state of reaching a desired distance of 100 μm due to their own characteristics, and damping occurs as shown in FIGS. 3A and 3B. As a result, approximately 10 mm of the initial coating part is not uniformly coated, and this part must be removed, thereby increasing material and cost, and also increasing the tact time of the product. Product maturity and productivity are poor.

도 4a는 본 발명에 따른 PZT 액추에이터(470)를 구비한 슬릿 다이 장치(400)를 도시한 도면이다. 좀 더 구체적으로, 도 4a는 도 2에 도시된 슬릿 다이(430), 슬릿 다이(230)가 부착된 브라켓(260)의 좌측 및 우측 단부 부분(점선 부분) 내에 본 발명의 PZT 액추에이터(470)가 부착된 것을 도시한 일측면도이고, 타 측면도는 도 4a의 일측면도와 대칭이므로 본 명세서에서는 생략한다. 따라서, PZT 액추에이터(470)는 슬릿 다이(430)의 양 측면에 하나씩 위치된다. 또한, 도 5는 본 발명의 슬릿 다이 장치(400)를 사용하여 기재 또는 글래스 상에 코팅하는 경우 댐핑 없이 코팅이 이루어지는 것을 도시한 도면이다. 4A shows a slit die apparatus 400 with a PZT actuator 470 according to the present invention. More specifically, FIG. 4A shows the slit die 430 shown in FIG. 2, the PZT actuator 470 of the present invention within the left and right end portions (dashed portions) of the bracket 260 to which the slit die 230 is attached. Is one side view showing that is attached, and the other side view is omitted in the present specification because it is symmetrical with one side view of FIG. Thus, the PZT actuators 470 are located one on each side of the slit die 430. In addition, Figure 5 is a view showing that the coating is performed without damping when coating on the substrate or glass using the slit die apparatus 400 of the present invention.

도 2와 도 4a를 참조하면, 본 발명의 슬릿 다이 장치(400)는 브라켓(460)에 부착되는 슬릿 다이(430); 상기 슬릿 다이(430)의 상하 방향이동을 제어하는 서보 모터(240); 및 상기 슬릿 다이(430)의 상하 방향이동을 미세하게 제어하는 PZT 액추에이터(470)를 포함하고, 상기 PZT 액추에이터(470)는 상기 슬릿 다이(430)의 길이 방향을 따라 양 측면에 하나씩 위치되되, 상기 브라켓(460)의 하부에 상기 슬릿 다이(430)와 이격된 상태로 부착되고, 상기 PZT 액추에이터(470)가 작동되면, 상기 PZT 액추에이터(470)의 양 측면에서 상기 브라켓(460)에 수직방향으로 부착된 소정의 연결 장치(480,490)에 의해 상기 PZT 액추에이터(470)가 상기 슬릿다이(430)의 상하이동을 미세하게 제어한다.2 and 4A, the slit die apparatus 400 of the present invention includes a slit die 430 attached to the bracket 460; Servo motor 240 for controlling the vertical movement of the slit die 430; And a PZT actuator 470 for finely controlling the vertical movement of the slit die 430, wherein the PZT actuator 470 is positioned on each side of the slit die 430 one by one, When the PZT actuator 470 is attached to the lower portion of the bracket 460 and spaced apart from the slit die 430, the PZT actuator 470 is perpendicular to the bracket 460 at both sides of the PZT actuator 470. The PZT actuator 470 finely controls the shangdong of the slit die 430 by a predetermined connection device 480 and 490 attached to the slit die 430.

본 발명에 사용되는 PZT 액추에이터(470)는 압전 특성을 갖는 Pb(Zr, TiO3) 성분의 세라믹을 구비한 고상(solid state) 액추에이터로 전기적 에너지를 기계적 에너지(고도의 정밀도를 갖는 운동)로 직접 변환시키는 장치이다. 이러한 PZT 액추에이터(470)의 종류 및 구성은 인터넷 웹 사이트 http://www.pi.ws에 상세히 소개되어 있으며, 현재 미세 정밀가공 분야에서 사용되고 있다. The PZT actuator 470 used in the present invention is a solid state actuator including a ceramic of Pb (Zr, TiO3) component having piezoelectric properties, and directly converts electrical energy into mechanical energy (movement with high precision). Device. The type and configuration of the PZT actuator 470 is introduced in detail on the Internet website http://www.pi.ws , and is currently used in the field of fine precision machining.

도 4a를 참조하면, PZT 액추에이터(470)는 슬릿 다이(430)가 부착된 브라켓(460) 하부에 슬릿 다이(430)와 이격된 상태로 부착된다. 슬릿 다이(430)의 상하 방향 이동의 미세 조정을 위해 PZT 액추에이터(470)가 작동되면, PZT 액추에이터(470)의 양 측면에서 브라켓(460)에 부착된 이동 가능한 안내 포스트(480)와 볼 부시(ball bush)(490)에 의해 PZT 액추에이터(470)와 슬릿 다이(430)가 상하로 미세한 거리를 신속하게 이동한다. 본 발명에서는, PZT 액추에이터(470)가 양 측면에서 각각의 안내 포스트(480)와 볼 부시(ball bush)(490)에 의해 브라켓(460)을 통해 슬릿 다이(430)의 상하 이동을 미세 조정하는 것으로 기술하고 있지만, 당업자라면 안내 포스트(480)와 볼 부시(490) 이외의 소정의 연결 장치에 의해 슬릿 다이(430)의 상하 이동을 미세 조정하는 것이 가능하다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. Referring to FIG. 4A, the PZT actuator 470 is attached to the lower portion of the bracket 460 to which the slit die 430 is attached while being spaced apart from the slit die 430. When the PZT actuator 470 is operated for fine adjustment of the vertical movement of the slit die 430, the movable guide post 480 and the ball bush (attached to the bracket 460 on both sides of the PZT actuator 470) The ball bush 490 quickly moves the PZT actuator 470 and the slit die 430 up and down a minute distance. In the present invention, the PZT actuator 470 finely adjusts the vertical movement of the slit die 430 through the bracket 460 by respective guide posts 480 and ball bush 490 on both sides. It will be appreciated by those skilled in the art that it is possible to finely adjust the vertical movement of the slit die 430 by any connection device other than the guide post 480 and the ball bush 490.

상술한 바와 같이, PZT 액추에이터(470)는 슬릿 다이(430)의 상하 방향 이동을 매우 미세하게 제어할 수 있기 때문에, 도 3a 및 도 3b와 같은 댐핑 현상이 발생하지 않는다. 그 결과, 도 5에 도시된 바와 같이, 코팅 초기 부분이 균일성을 갖게 된다. 초기 경사 부분(510)은 코팅이 시작된 후 기재인 글래스 표면으로부터 대략 100㎛에 도달할 때까지 슬릿 다이(430)가 상승하면서 코팅 방향으로 이동하는 동안 발생하는 것으로, 이 부분을 원천적으로 제거하는 것은 불가능하다. 본 발명에 따른 PZT 액추에이터(470)를 구비한 슬릿 다이(430)를 사용할 경우 도 5에 도시된 초기 경사 부분(510)은 대략 3mm 내지 4mm 범위이다. 따라서, 종래 기술에 비해 커팅 제거 부분이 절반 미만으로 줄어들게 되는 장점이 달성된다. As described above, since the PZT actuator 470 can control the vertical movement of the slit die 430 very finely, a damping phenomenon as shown in FIGS. 3A and 3B does not occur. As a result, as shown in FIG. 5, the coating initial portion has uniformity. The initial inclined portion 510 occurs while the slit die 430 moves in the coating direction as it rises until it reaches approximately 100 μm from the substrate glass surface after the coating has started. impossible. When using the slit die 430 with the PZT actuator 470 according to the present invention, the initial inclined portion 510 shown in FIG. 5 ranges from approximately 3 mm to 4 mm. Thus, the advantage that the cutting removal portion is reduced by less than half compared to the prior art is achieved.

코팅이 완료되면, 도 4a에 도시된 슬릿 다이(430)는 통상적인 서보 모터(440)에 의해 상방향으로 소정 높이(대략 20mm 내지 50mm)까지 상승하고, 다음 단계의 코팅시 다시 서보 모터(440)에 의해서 글래스 표면 상부의 대략 30㎛ 내지 50㎛ 범위에 위치하게 되고, 이후 상술한 동일한 코팅 동작이 반복적으로 행해진다. When the coating is completed, the slit die 430 shown in FIG. 4A is raised to a predetermined height (approximately 20 mm to 50 mm) in the upward direction by the conventional servo motor 440, and again the servo motor 440 in the next step of coating. ) Is located in the range of approximately 30 to 50 µm above the glass surface, and then the same coating operation described above is repeatedly performed.

도 4a에 도시된 상술한 본 발명의 PZT 액추에이터(470)를 구비한 슬릿 다이(430)를 포함하는 슬릿 다이 장치(400)는 도 1 및 도 2에 도시된 종래 기술의 롤러 코팅 장치(100) 및 LCD 또는 PDP용 테이블 코팅 장치(200)에 각각 사용될 수 있다. 따라서, 종래 기술의 롤러 코팅 장치(100) 및 LCD 또는 PDP용 테이블 코팅 장치(200)와 본 발명의 롤러 코팅 장치(402) 및 LCD 또는 PDP용 테이블 코팅 장치(404)는 슬릿 다이(130, 230, 430)가 도 4a에 도시된 PZT 액추에이터(470)를 추가로 구비한다는 점을 제외하고는 실질적으로 동일하다. The slit die apparatus 400 comprising the slit die 430 with the above-described PZT actuator 470 of the present invention shown in FIG. 4A is a prior art roller coating apparatus 100 shown in FIGS. 1 and 2. And the table coating apparatus 200 for LCD or PDP, respectively. Therefore, the roller coating apparatus 100 and the table coating apparatus 200 for LCD or PDP and the roller coating apparatus 402 and table coating apparatus 404 for LCD or PDP of the present invention are the slit dies 130 and 230. , 430 is substantially identical except that it further comprises a PZT actuator 470 shown in FIG. 4A.

즉, 도 4b를 참조하면, 본 발명에 따른 롤러 코팅 장치(402)는 기재(410); 상기 기재(410)가 걸리는 복수의 롤러(420, 421, 422, 423, 424); 상기 복수의 롤러(420, 421, 422, 423, 424)의 회전을 구동하기 위한 구동 모터; 및 상기 기재(410)상에 코팅액을 도포하기 위한 슬릿 다이 장치(400)를 포함한다. 상기 슬릿 다이 장치(400)는 상술한 도 4a에 도시된 본 발명의 슬릿 다이 장치(400)와 동일하 다. That is, referring to FIG. 4B, the roller coating apparatus 402 according to the present invention includes a substrate 410; A plurality of rollers 420, 421, 422, 423, 424 on which the substrate 410 is caught; A drive motor for driving rotation of the plurality of rollers (420, 421, 422, 423, 424); And a slit die apparatus 400 for applying a coating liquid onto the substrate 410. The slit die apparatus 400 is the same as the slit die apparatus 400 of the present invention shown in FIG. 4A described above.

또한, 도 2 및 도 4c를 참조하면, 본 발명에 따른 LCD 또는 PDP용 테이블 코팅 장치(404)는 석션 테이블(suction table)(420); 상기 석션 테이블(420)상에 놓이는 글래스(410); 상기 석션 테이블(420)상에서 직선 왕복운동을 하는 갠트리(225); 및 상기 갠트리(225)에 부착되며, 상기 글래스(410)상에 코팅액을 도포하기 위한 슬릿 다이 장치(400)를 포함하고, 상기 슬릿 다이 장치(400)는 상술한 도 4a에 도시된 본 발명의 슬릿 다이 장치(400)와 동일하다. 또한, 상기 갠트리(225)의 수평 방향 이동은 별도의 서보 모터(미도시)의 구동에 의해 이루어지는 것은 도 2의 종래 기술의 경우와 동일하다. 2 and 4c, the table coating apparatus 404 for LCD or PDP according to the present invention includes a suction table 420; A glass 410 placed on the suction table 420; A gantry 225 for linear reciprocating motion on the suction table 420; And a slit die apparatus 400 attached to the gantry 225 and for applying a coating liquid onto the glass 410, wherein the slit die apparatus 400 of the present invention shown in FIG. 4A described above. Same as the slit die apparatus 400. In addition, the horizontal movement of the gantry 225 is performed by the driving of a separate servo motor (not shown) as in the prior art of FIG. 2.

본 발명의 슬릿 다이 장치를 종래 기술의 롤러 코팅 장치 및 LCD 또는 PDP용 테이블 코팅 장치에 사용하면, 서보 모터에 의해서만 제어되는 종래 슬릿 다이 장치에 비해 초기 코팅 부분의 균일성, 전체 공정 시간(tact time), 생산성, 및 재료 및 제조비용 면에서 우수한 효과가 달성된다. When the slit die apparatus of the present invention is used in the roller coating apparatus of the prior art and the table coating apparatus for LCD or PDP, the uniformity of the initial coating part and the total process time (tact time) compared to the conventional slit die apparatus controlled only by the servo motor ), Productivity, and material and manufacturing cost are excellent effects.

다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.As various modifications may be made to the constructions and methods described and illustrated herein without departing from the scope of the invention, it is intended that all matter contained in the above description or shown in the accompanying drawings be exemplary, and not intended to limit the invention. It is not. Therefore, the scope of the present invention should not be limited by the above-described exemplary embodiments, but should be defined only in accordance with the following claims and their equivalents.

Claims (9)

슬릿 다이 장치에 있어서, In the slit die apparatus, 브라켓에 부착되는 슬릿 다이; A slit die attached to the bracket; 상기 슬릿 다이의 상하 방향이동을 제어하는 서보 모터; 및 A servo motor for controlling the vertical movement of the slit die; And 상기 슬릿 다이의 상하 방향이동을 미세하게 제어하는 PZT 액추에이터PZT actuator to finely control the vertical movement of the slit die 를 포함하고, Including, 상기 PZT 액추에이터는 상기 슬릿 다이의 양 측면에 하나씩 위치되되, 상기 브라켓의 하부에 상기 슬릿 다이와 이격된 상태로 부착되고, 상기 PZT 액추에이터가 작동되면, 상기 PZT 액추에이터의 양 측면에서 상기 브라켓의 수직 방향으로 부착된 소정의 연결 장치에 의해 상기 PZT 액추에이터가 상기 슬릿 다이의 상하 이동을 미세하게 제어하는 The PZT actuators are positioned one by one on both sides of the slit die, and are attached to the lower portion of the bracket so as to be spaced apart from the slit die. When the PZT actuator is operated, the PZT actuators are operated in the vertical direction of the bracket on both sides of the PZT actuator. The PZT actuator finely controls the vertical movement of the slit die by means of an attached connection device. 슬릿 다이 장치.Slit die device. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 소정의 연결장치가 이동 가능한 안내 포스트와 볼 부시(ball bush)인 슬릿 다이 장치. A slit die device, wherein the predetermined connecting device is a movable guide post and a ball bush. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 서보 모터는 소정의 기재(基材) 상에서 코팅을 행할 때 When the servo motor is coated on a predetermined substrate a) 상기 슬릿 다이를 상기 소정의 기재로부터 대략 30㎛ 내지 50㎛ 범위의 이격 거리를 갖도록 미리 위치시키는 단계;a) prepositioning the slit die to have a separation distance from the predetermined substrate in the range of approximately 30 μm to 50 μm; b) 코팅이 시작되면, 상기 PZT 액추에이터가 상기 슬릿 다이를 상기 기재로부터 대략 100㎛ 이격 거리를 갖도록 신속하게 이동시키는 단계;b) when coating starts, the PZT actuator quickly moves the slit die to have a distance of approximately 100 μm from the substrate; c) 코팅이 끝난 후에는 상기 서보 모터가 상기 슬릿 다이를 소정 높이로 상승시키는 단계; 및c) after the coating is finished, the servo motor raising the slit die to a predetermined height; And d) 상기 기재 상의 코팅이 완료될 때까지 상기 단계 a) 내지 c)를 반복하는 단계d) repeating steps a) to c) until the coating on the substrate is completed 를 수행하는 To do 슬릿 다이 장치. Slit die device. 롤러 코팅 장치에 있어서,In the roller coating apparatus, 기재;materials; 상기 기재가 걸리는 복수의 롤러; A plurality of rollers on which the substrate is caught; 상기 복수의 롤러의 회전을 구동하기 위한 구동 모터; 및 A drive motor for driving rotation of the plurality of rollers; And 상기 기재 상에 코팅액을 도포하기 위한 슬릿 다이 장치Slit die apparatus for applying the coating liquid on the substrate 를 포함하고,Including, 상기 슬릿 다이 장치는The slit die device 브라켓에 부착되는 슬릿 다이; A slit die attached to the bracket; 상기 슬릿 다이의 상하 방향이동을 제어하는 서보 모터; 및 A servo motor for controlling the vertical movement of the slit die; And 상기 슬릿 다이의 상하 방향이동을 미세하게 제어하는 PZT 액추에이터PZT actuator to finely control the vertical movement of the slit die 를 포함하며,Including; 상기 PZT 액추에이터는 상기 슬릿 다이의 양 측면에 하나씩 위치되되, 상기 브라켓의 하부에 상기 슬릿 다이와 이격된 상태로 부착되고, 상기 PZT 액추에이터가 작동되면, 상기 PZT 액추에이터의 양 측면에서 상기 브라켓의 수직 방향으로 부착된 소정의 연결 장치에 의해 상기 PZT 액추에이터가 상기 슬릿 다이의 상하 이동을 미세하게 제어하는 The PZT actuators are positioned one by one on both sides of the slit die, and are attached to the lower portion of the bracket so as to be spaced apart from the slit die. When the PZT actuator is operated, the PZT actuators are operated in the vertical direction of the bracket on both sides of the PZT actuator. The PZT actuator finely controls the vertical movement of the slit die by means of an attached connection device. 롤러 코팅 장치.Roller coating device. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 소정의 연결장치가 이동 가능한 안내 포스트와 볼 부시(ball bush)인 롤러 코팅 장치.A roller coating device, wherein the predetermined connecting device is a movable guide post and a ball bush. 제 4항 또는 제 5항에 있어서,The method according to claim 4 or 5, 상기 서보 모터는 상기 기재 상에서 코팅을 행할 때When the servo motor is coating on the substrate a) 상기 슬릿 다이를 상기 기재로부터 대략 30㎛ 내지 50㎛ 범위의 이격 거리를 갖도록 미리 위치시키는 단계;a) prepositioning the slit die to have a separation distance from the substrate in the range of approximately 30 μm to 50 μm; b) 코팅이 시작되면, 상기 PZT 액추에이터가 상기 슬릿 다이를 상기 기재로부터 대략 100㎛ 이격 거리를 갖도록 신속하게 이동시키는 단계;b) when coating starts, the PZT actuator quickly moves the slit die to have a distance of approximately 100 μm from the substrate; c) 코팅이 끝난 후에는 상기 서보 모터가 상기 슬릿 다이를 소정 높이로 상 승시키는 단계; 및c) after the coating, the servo motor raises the slit die to a predetermined height; And d) 상기 기재 상의 코팅이 완료될 때까지 상기 단계 a) 내지 c)를 반복하는 단계d) repeating steps a) to c) until the coating on the substrate is completed 를 수행하는 To do 롤러 코팅 장치.Roller coating device. LCD 또는 PDP용 테이블 코팅 장치에 있어서, In the table coating apparatus for LCD or PDP, 석션 테이블(suction table); A suction table; 상기 석션 테이블 상에 놓이는 글래스; A glass placed on the suction table; 상기 석션 테이블 상에서 직선 왕복운동을 하는 갠트리; 및 A gantry for linear reciprocating motion on the suction table; And 상기 갠트리에 부착되며, 상기 글래스 상에 코팅액을 도포하기 위한 슬릿 다이 장치Slit die device attached to the gantry, for applying a coating liquid on the glass 를 포함하고, Including, 상기 슬릿 다이 장치는The slit die device 브라켓에 부착되는 슬릿 다이; A slit die attached to the bracket; 상기 슬릿 다이의 상하 방향이동을 제어하는 서보 모터; 및 A servo motor for controlling the vertical movement of the slit die; And 상기 슬릿 다이의 상하 방향이동을 미세하게 제어하는 PZT 액추에이터PZT actuator to finely control the vertical movement of the slit die 를 포함하며,Including; 상기 PZT 액추에이터는 상기 슬릿 다이의 양 측면에 하나씩 위치되되, 상기 브라켓의 하부에 상기 슬릿 다이와 이격된 상태로 부착되고, 상기 PZT 액추에이터 가 작동되면, 상기 PZT 액추에이터의 양 측면에서 상기 브라켓의 수직 방향으로 부착된 소정의 연결 장치에 의해 상기 PZT 액추에이터가 상기 슬릿 다이의 상하 이동을 미세하게 제어하는 The PZT actuators are located on both sides of the slit die one by one, and are attached to the lower portion of the bracket while being spaced apart from the slit die. When the PZT actuator is operated, the PZT actuators are operated in the vertical direction of the bracket on both sides of the PZT actuator. The PZT actuator finely controls the vertical movement of the slit die by means of an attached connection device. LCD 또는 PDP용 테이블 코팅 장치.Table coating equipment for LCD or PDP. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 소정의 연결장치가 이동 가능한 안내 포스트와 볼 부시(ball bush)인 LCD 또는 PDP용 테이블 코팅 장치.A table coating apparatus for an LCD or a PDP, wherein the predetermined connecting device is a movable guide post and a ball bush. 제 7항 또는 제 8항에 있어서,The method according to claim 7 or 8, 상기 서보 모터는 상기 글래스 상에서 코팅을 행할 때 The servo motor when coating on the glass a) 상기 슬릿 다이를 상기 글래스로부터 대략 300㎛ 내지 50㎛ 범위의 이격 거리를 갖도록 미리 위치시키는 단계;a) prepositioning the slit die to have a separation distance from the glass in the range of approximately 300 μm to 50 μm; b) 코팅이 시작되면, 상기 PZT 액추에이터가 상기 슬릿 다이를 상기 글래스로부터 대략 100㎛ 이격 거리를 갖도록 신속하게 이동시키는 단계;b) when coating starts, the PZT actuator quickly moves the slit die to have a distance of approximately 100 μm from the glass; c) 코팅이 끝난 후에는 상기 서보 모터가 상기 슬릿 다이를 소정 높이로 상승시키는 단계;c) after the coating is finished, the servo motor raising the slit die to a predetermined height; d) 상기 기재 상의 코팅이 완료될 때까지 상기 단계 a) 내지 c)를 반복하는 단계d) repeating steps a) to c) until the coating on the substrate is completed 를 수행하는To do LCD 또는 PDP용 테이블 코팅 장치.Table coating equipment for LCD or PDP.
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