KR100716467B1 - 초음파 압전 진동장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 압전 진동자의 횡진동 모드를 이용하여 신뢰성과 정확도가 높고, 진동효율이 우수하며, 미세 정밀진동이 가능한 초음파 압전 진동장치에 관한 것이다.
본 발명은 진동체와: 상기 진동체의 양쪽 측면에 각각 장착되어 진동을 발생하는 압전 진동자와; 상기 진동체에 결합되어 압전 진동자에 의하여 진동체에서 발생된 진동을 전송하는 진동 전송용 혼과; 상기 진동 전송용 혼의 선단에 장착되어 진동 방향에 따라 종,횡 방향으로 진동 동작하는 칼날 또는 사용자 구조물을 포함하고, 상기 압전 진동자는 분극 방향을 서로 같은 방향 또는 반대 방향으로 배치하여 상기 진동 전송용 혼의 선단에 진동 방향 및 형태를 달리하도록 한 것을 포함한다.
횡 진동모드, 판상형 압전 세라믹, 압전 초음파 진동자.

Description

초음파 압전 진동장치{ultrasonic waves piezoelectric vibration device}
도 1 은 본 발명 초음파 압전 진동장치의 사시도
도 2 는 본 발명 초음파 압전 진동장치의 분해도 사시도
도 3 은 본 발명이 적용된 압전 진동자의 변형 원리도
도 4a 는 본 발명 초음파 압전 진동장치의 진동 전송용 혼의 횡 방향 진동 시뮬레이션 결과도
도 4b 는 본 발명 초음파 압전 진동장치의 진동 전송용 혼의 종 방향 진동 시뮬레이션 결과도
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
11; 진동체 12,13; 압전 진동자
14; 진동 전송용 혼 15; 칼날
본 발명은 초음파 압전 진동 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 압전 진동자의 횡 진동 모드를 이용하여 신뢰성과 정확도가 높고, 진동효율이 우수하며, 정밀 진동이 가능한 초음파 압전 진동장치에 관한 것이다.
일반적으로 큰 출력을 발생시키기 위한 초음파 압전 진동자로서 란쥬반 진동이론을 적용한 볼트조임형 란쥬반 진동자를 이용한다. 이러한 볼트조임형 란쥬반 진동자는 복수의 원판 또는 사각판 형태의 압전소자를 서로 마주 보도록 설치한 후 전기적으로 병렬로 연결하고 상단 및 하단에 금속부를 부착하여 전체를 볼트로 조인 구조를 갖는다.
상기 압전소자는 구동회로로부터 구동신호를 인가받아 기계적인 진동으로 변환시켜주는 역할을 한다.
상기 압전소자의 하단 금속부는 하중으로 작용하며 압전소자에서 두께 모드로 발생한 미소 진동의 진폭을 증폭시키는 역할과 진동자에서 발생한 열을 흡수,냉각시키는 역할을 한다.
상기 압전소자의 상단 금속부는 압전소자에 비해 현저히 낮은 음향저항을 지니며, 상기 압전소자에 의해 상하 양방향으로 발생되는 초음파 중 상 방향으로 음향파를 반사시켜 하 방향으로 합산되도록 하는 역할을 한다.
이들 금속 부품들은 모양, 치수, 질량 등의 설계에 따라 구동주파수와 진동 모드에 영향을 미친다. 이는 정확한 설계와 제작 방법이 필요하다.
현재 초음파 진동자는 세계 여러 곳에서 개발이 되어 초음파 유화기, 세포파쇄기, 초음파 세척기용으로 극히 제한된 응용이 이루어지고 있다.
그리고, 연속 가동시 발열 문제와 공진주파수가 시간에 따라 변화함에 따라 작동이 되지 못하는 경우가 있고, 실제 진동자가 낼 수 있는 출력보다 훨씬 높은 출력을 요구하는 경우가 많아 진폭증대를 위해 극히 고배율의 혼(horn)을 사용하고 있다.
실제 혼(horn)의 경우는 1:1 비율이 가장 이상적이나 진폭의 증대를 위해 어떤 경우는 10:1 정도의 혼을 사용하는 경우도 있어 진동자가 견디지 못하고 파손되는 경우가 많다.
상기 란쥬반 압전 진동자는 고출력이 요구되는 산업용을 중심으로 개발되어 과도한 전압과 전류를 인가해서 사용하므로, 상기 란쥬반 압전 진동자의 경우, 고출력 특성에 의해 의료용, 생활용, 정밀용 기기 등에 응용하기에 한계가 있어 적합하지 않은 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 압전 진동자의 횡모드를 이용한 초음파 압전 진동자를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 압전 진동자에서 발생되는 진동을 증폭시켜 정밀하고 안정적인 전기적 기계적 효율을 극대화시킬 수 있는 초음파 압전 진동자를 제공하는 데 있다.
상기의 목적을 실현하기 위하여 본 발명은 진동체와: 상기 진동체의 양쪽 측면에 각각 장착되어 진동을 발생하는 압전 진동자와; 상기 진동체에 결합되어 압전 진동자로부터 발생된 진동을 전송하는 진동 전송용 혼과; 상기 진동 전송용 혼의 선단에 착탈 되는 칼날 또는 사용자 구조물을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 압전 진동자는 분극 방향을 서로 같은 방향 또는 반대 방향으로 배치하여 상기 진동 전송용 혼의 선단에 진동 방향 및 형태를 달리하도록 한 것을 포함한 다.
이하, 첨부되는 도면에 의거 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 초음파 압전 진동자의 사시도 이고, 도 2 는 본 발명 초음파 압전 진동장치의 분해사시도로서, 본 발명은 진동체(11), 압전 진동자(12)(13), 진동 전송용 혼(14), 칼날 또는 사용자 구조물(15)을 포함한다.
본 발명은 초음파 진동자의 기계적 진동을 횡 진동 모드로 동작하도록 상기 상기 압전 진동자(12)(13)를 상기 진동체(11)의 양측면에 각각 장착하여 상기 진동체(11)의 선단부에 결합되는 진동 전송용 혼(14)과, 상기 진동 전송용 혼(14)에 결합되는 칼날 또는 사용자 구조물(15)이 횡 방향으로 진동하게 한다.
상기 진동체(11)는 금속재질로 진동이 잘 전파되는 밀도가 높고, 경도 및 강도가 높은 탄소강 등으로 구성한다.
상기 진동체(11)는 진동의 효율을 극대화 및 사용자의 손에 착용감을 증대시키기 위하여 상부와 하부가 서로 다른 길이와 크기를 갖는 사각체 형상으로 구성한다.
상기 압전 진동자(12)(13)는 진동을 효율적으로 전달할 수 있는 경화성 에폭시를 사용하여 상기 진동체(11)의 양 측면에 장착한다.
상기 압전 진동자(12)(13)는 일반적으로 산화물 혼합법 등에 의하여 제조 가공한다.
상기 압전 진동자(12)(13)는 양면에 전극을 도포한 후 고 전계 하에서 분극 처리 된다. 상기 압전 진동자(12)(13)는 진동 방향 및 형태에 따라 서로 분극 방향이 같거나 또는 반대가 되도록 배치한다.
상기 진동 전송용 혼(14)은 진동체(11)와 나사 결합되어 상기 진동체(11)로부터 전송된 진동을 다시 증폭시키는 역할과 진동을 집적하여 대상체에 전달하는 역할을 한다.
이때 상기 진동 전송용 혼(14)은 구동주파수와 진동 모드에 따라 모양,치수,질량 등의 달리 구성하게 된다.
또한 진동 전송용 혼(14)은 실제 압전 진동자(12)(13)가 낼 수 있는 출력보다 훨씬 높은 출력을 요구하는 경우가 많아 진폭 증대를 위해 고배율의 혼을 사용하고 가장 이상적인 혼은 1:1 비율이다.
상기 칼날(15) 또는 사용자 구조물은 상기 진동 전송용 혼(14)의 선단에 볼트 조임식으로 착탈 가능하게 결합하고, 상기 압전 진동자(12)(13)의 배치 방향에 따라 진동 방향이 횡 방향, 종 방향으로 진동 동작을 한다.
도 3 은 본 발명이 적용된 압전 진동자의 변형 원리도로서, 압전 진동자(12)(13)는 정밀하고 미세한 진동 발생을 위해 횡 진동 모드로 구성된다.
상기 압전 진동자의 재료, 정수 측정 및 산출을 위한 일본 전자재료 공업 회 표준 규격(EMAS)에 따르면 압전 진동자의 진동은 크게 횡 진동과 종 진동으로 나뉘어진다.
따라서 상기 횡 진동은 전계의 방향과 탄성파의 전파 및 진동 방향이 직교하는 경우이고, 종 진동은 전계의 방향과 탄성파의 전파 및 진동 방향이 평행한 경우 이다.
여기서 본 발명은 압전 진동자(12)(13)에서 발생되는 진동이 진동체(11)의 측면을 기준으로 평행하게 진동파가 전달되는 횡 진동 효과를 이용하는 진동 모드를 사용하게 된다.
따라서 상기 압전 진동자(12)(13)는 도 3a에 도시한 바와 같이, 상기 압전 진동자(12)(13)의 판상에 두께 방향으로 분극(P)을 하게 되고, 교류 전계를 분극 방향과 동일하게 인가해 주면 도 3b에 도시한 바와 같이 압전 진동자(12)(13)의 길이 방향으로 진동자가 팽창 또는 수축하게 된다.
일본 전자재료 공업회 표준 규격(EMAS)에서와 같이 상기 횡 진동 형태를 나타내기 위해서 상기 압전 진동자(12)(13)의 길이와 두께의 비율이 32 보다 크게 한다.
상기와 같이 구성되는 본 발명은 진동의 효율을 극대화시키고 사용자의 손에 착용감을 증대시키기 위하여 상 하부의 크기와 길이가 다른 사각체 형상의 금속재질인 진동체(11)의 양 측면에 진동을 효율적으로 전달될 수 있도록 경화성 에폭시로 상기 압전 진동자(12)(13)를 장착하게 된다.
이때 상기 압전 진동자(12)(13)는 양면에 전극을 도포한 후 고 전계 하에서 분극 처리되고, 진동 방향 및 형태에 따라 서로 분극 방향이 같거나 또는 반대가 되도록 배치하여 장착하게 된다.
이어서 상기 압전 진동자(12)(13)가 장착된 진동체(11)의 선단부에는 진동을 다시 증폭시키는 역할과 진동을 집적하여 전달하고, 구동주파수와 진동 모드에 따 라 다른 모양, 치수, 질량을 갖는 진동 전송용 혼(14)을 나사 결합으로 장착하게 된다.
상기 진동 전송용 혼(14)의 선단에는 칼날(15) 또는 사용자 구조물을 볼트 조임식으로 착탈 가능하게 장착하게 된다.
이와 같이 장착된 초음파 압전 진동장치는 상기 진동체(11)의 양 측면에 부착된 압전 진동자(12)(13)의 분극 방향 및 인가 전계에 따라 상기 진동 전송용 혼(14)의 선단에 볼트 조임으로 장착된 칼날(15) 또는 사용자 구조물의 진동 방향 및 형태가 결정되어 진동하게 된다.
따라서 상기 진동체(11)의 양 측면에 부착된 압전 진동자(12)(13)에 분극 방향이 서로 같고, 같은 상의 교류 전계를 인가하게 되면, 상기 압전 진동자(12)(13)는 길이 방향(횡방향)으로 수축과 팽창하게 되어 상기 압전 진동자(12)(13)에 의하여 상기 진동체(11)를 좌우로 진동하게 되며, 상기 진동체(11)의 좌우 진동은 선단부에 볼트로 결합 된 상기 진동 전송용 혼(14)을 횡 방향으로 진동하게 되므로, 상기 진동 전송용 혼(14)의 선단에 장착된 칼날(15) 또는 사용자 구조물을 횡 방향으로 진동시키게 된다.
한편 상기 압전 진동자(12)(13)에 분극 방향이 서로 같고, 180도 위상차를 갖는 교류 전계를 인가하게 되면, 상기 압전 진동자(12)(13)는 두께 방향(종방향)으로 수축과 팽창하게 되어 상기 압전 진동자(12)(13)에 의하여 상기 진동체(11)를 상하로 진동하게 되며, 상기 진동체(11)의 상하 진동은 선단부에 볼트로 결합 된 상기 진동 전송용 혼(14)을 종 방향으로 진동하게 되므로, 상기 진동 전송용 혼(14)의 선단에 장착된 칼날(15) 또는 사용자 구조물을 종 방향으로 진동시키게 된다.
또한 상기 압전 진동자(12)(13)에 분극 방향이 서로 마주보는 형태에서는 같은 상의 교류 전계가 인가될 경우, 상기 압전 진동자(12)(13)는 두께 방향(상하방향)으로 수축과 팽창하게 되어 상기 진동체(11)의 선단부에 나사로 결합된 상기 진동 전송용 혼(14)을 종 방향으로 진동하게 되므로, 상기 진동 전송용 혼(14)의 선단에 장착된 칼날(15) 또는 사용자 구조물을 종 방향으로 진동시키게 된다.
반면에 상기 압전 진동자(12)(13)에 분극 방향이 서로 마주보는 형태에서 180도 위상차를 갖는 교류 전계가 인가될 경우, 상기 압전 진동자(12)(13)는 길이 방향(좌우방향)으로 수축과 팽창하게 되어 상기 진동체(11)의 선단부에 나사로 결합된 상기 진동 전송용 혼(14)을 횡 방향으로 진동하게 되므로, 상기 진동 전송용 혼(14)의 선단에 장착된 칼날(15) 또는 사용자 구조물을 횡 방향으로 진동시키게 된다.
도 4a 는 본 발명 초음파 압전 진동장치의 진동 전송용 혼의 횡 방향 진동 시뮬레이션 결과도이고, 도 4b 는 본 발명 초음파 압전 진동장치의 진동 전송용 혼의 종 방향 진동 시뮬레이션 결과도로서, 효율적인 초음파 진동전달과 미세한 진동이 요구되는 칼날(15)은 다양한 구조와 치수로 제작되게 되고, 상기 칼날(15)은 진동 전송용 혼(14)의 선단에 볼트 조임식으로 착탈이 가능하게 결합 된다.
상기 칼날(15)의 최적화된 구조 및 치수를 알아보기 위하여 압전구조 해석 프로그램인 ATILA를 이용하게 된다.
따라서 도 4a에 도시한 바와 같이 상기 진동 전송용 혼(14)의 시뮬레이션 결과, 상기 진동 전송용 혼(14)의 발생변위는 43㎛, 동작주파수는 96 kHz, 전기 기계 결합계수는 28%로 나타난 것으로 보아, 상기 압전 진동자(12)(13)의 길이방향(좌우방향) 변위에 의해 상기 진동 전송용 혼(14)은 좌우 진동 변위형태를 일으켜 횡방향으로 진동하는것을 확인할 수 있었다.
한편 도 4b에 도시한 바와 같이 상기 진동 전송용 혼(14)의 시뮬레이션 결과, 상기 진동 전송용 혼(14)의 발생변위는 20㎛, 동작주파수는 90 kHz, 전기 기계 결합계수는 24%로 나타난 것으로 보아, 상기 압전 진동자(12)(13)의 두께방향(상하방향)변위에 의해 상기 진동 전송용 혼(14)은 상하진동 변위 형태를 일으켜 종방향으로 진동하는것을 확인할 수 있었다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 양면에 전극을 도포한 후 고 전계 하에서 분극 처리된 상기 압전 진동자를 진동 방향 및 형태에 따라 서로 분극 방향이 같거나 또는 반대가 되도록 배치하여 진동을 횡 방향 또는 종 방향으로 미세 고속 진동을 제공함으로써, 의료 시술인 치과, 외과 및 안과 수술 등에 있어서 치석 제거, 인체 조직이나 각막상피의 활성화를 유지한 상태에서 안전한 절개 및 분리 시술을 효율적으로 할 수 있는 의료용 기기 및 다기능 생활 기기의 효과를 제공하게 되는 것이다.

Claims (9)

  1. 진동체와: 상기 진동체의 양쪽 측면에 각각 장착되어 진동을 발생하는 압전 진동자와; 상기 진동체에 결합되어 압전 진동자에 의하여 발생된 진동체의 진동을 전송하는 진동 전송용 혼과; 상기 진동 전송용 혼의 선단에 장착되어 전송된 진동방향으로 구동하는 칼날 또는 사용자 구조물을 포함하는 초음파 압전 진동장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 진동체는 진동이 잘 전파되는 밀도가 높고, 경도 및 강도가 높은 탄소강을 포함하는 초음파 압전 진동장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 진동체는 사용자의 손에 착용감을 증대되도록 상,하부의 크기와 길이가 다른 사각체 형상을 포함하는 초음파 압전 진동장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 압전 진동자는 진동을 효율적으로 전달할 수 있는 경화성 에폭시로 상기 진동체의 양 측면에 장착하는 것을 특징으로 하는 초음파 압전 진동장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 압전 진동자는 양면에 전극을 도포한 후 고전계 하에서 분극 처리하는 것을 특징으로 하는 초음파 압전 진동장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 압전 진동자는 진동 방향 및 형태에 따라 서로 분극 방향이 같거나 또는 반대가 되도록 배치하는 것을 특징으로 하는 초음파 압전 진동장치.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 압전 진동자는 교류 전계 인가 방법에 따라 상하 또는 좌우로 진동을 발생시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 초음파 압전 진동 장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 진동 전송용 혼은 상기 진동체와 볼트로 결합되어 상기 진동체로부터 전송된 진동을 증폭과 집적하여 대상체에 전달하는 초음파 압전 진동 장치.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 칼날은 진동 전송용 혼과 볼트로 결합되어 착탈 가능하는 것을 특징으로 하는 초음파 압전 진동 장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101055796B1 (ko) 2010-06-01 2011-08-09 건국대학교 산학협력단 압전-복합재료 발전소자 특성 분석시스템

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020003202A (ko) * 1999-03-08 2002-01-10 프랭크 제이. 윌리엄 삼세 압전소자 부착방법
KR20020065927A (ko) * 2000-11-20 2002-08-14 소니 가부시끼 가이샤 초음파 진동방법 및 초음파 진동장치
KR20050029298A (ko) * 2003-09-22 2005-03-25 (주)피에조테크놀리지 압전 진동자를 이용한 초음파 커터

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020003202A (ko) * 1999-03-08 2002-01-10 프랭크 제이. 윌리엄 삼세 압전소자 부착방법
KR20020065927A (ko) * 2000-11-20 2002-08-14 소니 가부시끼 가이샤 초음파 진동방법 및 초음파 진동장치
KR20050029298A (ko) * 2003-09-22 2005-03-25 (주)피에조테크놀리지 압전 진동자를 이용한 초음파 커터

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
10-2002-0003202 A
10-2002-0065927 A
10-2005-0029298 A

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101055796B1 (ko) 2010-06-01 2011-08-09 건국대학교 산학협력단 압전-복합재료 발전소자 특성 분석시스템

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