KR100702149B1 - A discharge tube of the ozone apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 제조장치에서 사용되는 오존발생장치의 방전관 구조에 관한 것으로, 특히 방전관을 조립형으로 구성하여 제조와 설치가 용이하고 파손시 부분적인 수리가 가능하는 오존발생장치의 방전관에 관한 것이다.The present invention relates to a discharge tube structure of an ozone generating device used in a semiconductor manufacturing apparatus, and more particularly, to a discharge tube of an ozone generating device which is easy to manufacture and install by disassembling the discharge tube and to partially repair in case of breakage.

본 발명의 오존 발생장치의 방전관을 이루는 구성수단은, 소정의 직경을 가지는 원통 형상의 제1 석영관과, 상기 제1 석영관의 직경보다 더 작은 직경을 가지되, 상기 제1 석경관 내부로 삽입되는 원통 형상의 제2 석영관과, 상기 제1 석영관과 제2 석영관을 고정하기 위하여 상기 석영관 일측에 삽입되도록 구비되되, 상기 제1 석영관과 제2 석영관 사이에 형성되는 간극으로 산소를 유입하는 산소유입플랜지와, 상기 제1 석영관과 제2 석영관을 고정하기 위하여 상기 석영관 타측에 삽입되도록 구비되되, 상기 제1 석영관과 제2 석영관 사이에 형성되는 간극에서 발생된 오존을 배출하는 오존배출플랜지를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. The constituent means constituting the discharge tube of the ozone generating device of the present invention includes a cylindrical first quartz tube having a predetermined diameter and a diameter smaller than the diameter of the first quartz tube. A cylindrical second quartz tube to be inserted and provided to be inserted into one side of the quartz tube to fix the first quartz tube and the second quartz tube, the gap formed between the first quartz tube and the second quartz tube An oxygen inflow flange for introducing oxygen into the quartz tube and inserted into the other side of the quartz tube to fix the first quartz tube and the second quartz tube, the gap being formed between the first quartz tube and the second quartz tube Characterized in that it comprises an ozone discharge flange for emitting the generated ozone.

오존, 발생장치, 방전관 Ozone, generator, discharge tube

Description

오존 발생장치의 방전관{a discharge tube of the ozone apparatus}Discharge tube of the ozone generator

도 1은 종래의 오존 발생장치의 방전관에 관한 개략도이다.1 is a schematic view of a discharge tube of a conventional ozone generator.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 오존 발생장치의 방전관에 관한 개략도이다.2 is a schematic diagram of a discharge tube of an ozone generating apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 실시에에 따른 오존 발생장치의 방전관에 관한 분리 사시도이다.3 is an exploded perspective view of a discharge tube of the ozone generator according to the embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 산소유입플랜지와 오존배출플랜지의 상세도이다.4 is a detailed view of an oxygen inlet flange and an ozone exhaust flange according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 제1 석영관 20 : 제2 석영관10: first quartz tube 20: second quartz tube

30 : 간극 40 : 산소유입플랜지30: gap 40: oxygen inflow flange

50 : 오존배출플랜지 60, 70: 유리관50: ozone discharge flange 60, 70: glass tube

80 : 오링80: O-ring

본 발명은 반도체 제조장치에서 사용되는 오존발생장치의 방전관 구조에 관한 것으로, 특히 방전관을 조립형으로 구성하여 제조와 설치가 용이하고 파손시 부분적인 수리가 가능하는 오존발생장치의 방전관에 관한 것이다.The present invention relates to a discharge tube structure of an ozone generating device used in a semiconductor manufacturing apparatus, and more particularly, to a discharge tube of an ozone generating device which is easy to manufacture and install by disassembling the discharge tube and to partially repair in case of breakage.

일반적인 오존발생장치는 방전 전극과 접지 전극사이에 중주파 또는 고주파의 고전압이 인가된 상태에서 방전관 내부로 건조공기 혹은 산소를 유입시켜 인가 에너지에 의해 산소가 전리 및 결합되는 작용에 의하여 오존을 발생시킨다. A general ozone generator generates ozone by the action of ionizing and combining oxygen by the applied energy by introducing dry air or oxygen into a discharge tube while a high frequency of high frequency or high frequency is applied between the discharge electrode and the ground electrode.

상기와 같은 동작에 따라 오존을 발생시키는 종래의 일반적인 오존 발생장치의 방전관의 구조는 도 1에 도시된 바와 같다.The structure of the discharge tube of the conventional general ozone generator for generating ozone according to the above operation is as shown in FIG.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 오존 발생장치의 방전관(10)은 직경이 서로 다른 두개의 튜브(1, 2)를 일체로 구성하고, 상기 두개의 튜브(1, 2)에 의하여 형성되는 간극(3)에 산소를 유입시키기 위한 산소투입관(4)과 상기 간극(3)에서 발생한 오존을 배출시키기 위한 오존배출관(5)으로 구성되어 있다.As shown in FIG. 1, the discharge tube 10 of the conventional ozone generator is integrally formed with two tubes 1 and 2 having different diameters, and is formed by the two tubes 1 and 2. It consists of an oxygen inlet tube 4 for introducing oxygen into the gap 3 and an ozone discharge tube 5 for discharging ozone generated in the gap 3.

상기와 같은 구조에서, 상기 튜브에 용접되어 설치되는 상기 산소투입관(4)을 통해 산소를 유입하고 고전압을 인가하면, 상기 튜브(1, 2)에 의하여 형성되는 간극(3)에 오존이 형성되어 존재하게 된다. 상기 형성된 오존은 상기 튜브에 용접되어 설치되는 오존배출관(5)을 통해 배출된다.In the structure as described above, when oxygen is introduced through the oxygen input pipe 4 welded to the tube and high voltage is applied, ozone is formed in the gap 3 formed by the tubes 1 and 2. Will exist. The formed ozone is discharged through the ozone discharge pipe (5) is welded to the tube is installed.

상기 발생된 오존은 3개의 산소원자 중 제3의 산소원자가 결합력이 약하여 손쉽게 분리되어 산소로 변경되는 특성을 가진다. 여기서 변경된 산소의 산화력은 염소보다 약 5.6배 강하며 냄새나 색깔이 없고 화학적 성질은 남기지 않는다.The generated ozone has a characteristic that the third oxygen atom of the three oxygen atoms is easily separated due to the weak bonding force and is changed into oxygen. Oxidation power of the modified oxygen is about 5.6 times stronger than chlorine, has no smell or color, and leaves no chemical properties.

상기 오존의 강한 산화력은 오존 발생장치 자체의 산화에 의한 부식 작용으로, 오존 발생장치의 방전관을 식각하여 열화 및 노화 현상을 일으키고 있다. The strong oxidizing power of ozone is a corrosive action by oxidation of the ozone generator itself, causing the discharge tube of the ozone generator to be etched to cause deterioration and aging.

그런데, 종래의 오존 발생장치의 방전관은 일체형으로 구성되기 때문에, 상기와 같은 열화 및 노화에 의하여 발생된 방전관 일부의 손상을 수리하는데 부적절한 구조를 가지는 단점이 있다.By the way, since the discharge tube of the conventional ozone generator is formed in one piece, there is a disadvantage in having an improper structure to repair the damage of some of the discharge tube caused by the degradation and aging as described above.

또한, 상기 노화 및 열화 현상은 상기 오존 발생장치의 방전관에 구비되는 가는 유리관 형태의 산소유입관 및 오존배출관에 집중되는데, 이 경우 상기 산소유입관 및 오존배출관이 상기 튜브에 일체형으로 결합되어 있기 때문에 부분적인 수리 및 교체가 어려울뿐만 아니라, 상기 부분적인 손상에 대해서도 방전관 전체를 교체해야 하기 때문에 필요 이상의 비용이 소요되는 문제점이 있다.In addition, the aging and deterioration phenomenon is concentrated in the oxygen inlet tube and ozone discharge tube in the form of a thin glass tube provided in the discharge tube of the ozone generator, in this case because the oxygen inlet tube and ozone discharge tube is integrally coupled to the tube. Not only is it difficult to partially repair and replace, but there is a problem in that the entire discharge tube needs to be replaced for the partial damage.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 오존 발생장치의 방전관을 서로 분리 가능한 두개의 석영관과 상기 두개의 석영관을 고정하면서 산소를 유입하거나 오존을 배출하기 위한 통로가 마련되어 있는 플랜지로 구성함으로써, 필요에 따라 유지보수가 용이하고 사용 수명을 한층 더 연장시킬 수 있는 오존 발생장치의 방전관을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above problems of the prior art, a passage for injecting oxygen or discharging ozone while fixing two quartz tubes and the two quartz tubes that can be separated from each other discharge tube of the ozone generator It is an object of the present invention to provide a discharge tube of an ozone generator, which can be easily maintained and further extends its service life, if necessary, by configuring a flange provided with a flange.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 오존 발생장 치의 방전관을 이루는 구성수단은, 소정의 직경을 가지는 원통 형상의 제1 석영관과, 상기 제1 석영관의 직경보다 더 작은 직경을 가지되, 상기 제1 석경관 내부로 삽입되는 원통 형상의 제2 석영관과, 상기 제1 석영관과 제2 석영관을 고정하기 위하여 상기 석영관 일측에 삽입되도록 구비되되, 상기 제1 석영관과 제2 석영관 사이에 형성되는 간극으로 산소를 유입하는 산소유입플랜지와, 상기 제1 석영관과 제2 석영관을 고정하기 위하여 상기 석영관 타측에 삽입되도록 구비되되, 상기 제1 석영관과 제2 석영관 사이에 형성되는 간극에서 발생된 오존을 배출하는 오존배출플랜지를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The constituent means of the discharge tube of the ozone generating device of the present invention proposed to solve the above technical problem is a cylindrical first quartz tube having a predetermined diameter and a diameter smaller than the diameter of the first quartz tube; A second quartz tube having a cylindrical shape inserted into the first quartz tube, and inserted into one side of the quartz tube to fix the first quartz tube and the second quartz tube, wherein the first quartz tube And an oxygen inflow flange for introducing oxygen into a gap formed between the second quartz tube and the second quartz tube, and inserted into the other side of the quartz tube to fix the first quartz tube and the second quartz tube. It characterized in that it comprises an ozone discharge flange for emitting ozone generated in the gap formed between the second quartz tube.

또한, 상기 제1 석영관과 제2 석영관은 종래와 달리 상호 분리되어 마련됨으로써, 방전관을 구성하기 위하여 조립되고 필요에 따라 분리될 수 있는 것을 특징으로 한다. 그리고, 상기 제1 석영관과 제2 석영관은 각각 내 외부에 전극의 역할을 하기 위한 도료성 전극부를 포함하여 고주파 고전압을 인가할 수 있도록 구성한다In addition, the first quartz tube and the second quartz tube is provided separately from each other, unlike the prior art, it is characterized in that it can be assembled to form a discharge tube and separated as necessary. The first quartz tube and the second quartz tube are each configured to apply a high frequency high voltage, including a paint electrode part for acting as an electrode inside and outside.

또한, 상기 산소유입플랜지와 오존배출플랜지는, 상기 제1 석영관의 끝단에서 중심쪽으로 소정 길이만큼 외면에 접촉되는 원통형의 제1 접촉부와, 상기 제2 석영관의 끝단에서 중심쪽으로 소정 길이만큼 내면에 접촉되는 원통형의 제2 접촉부와, 상기 제1 접촉부의 내면과 상기 제2 접촉부의 외면에 접촉되도록 마련되어 상기 제1 접촉부와 제2 접촉부를 고정결합하되, 상기 제1 석영관과 제2 석영관 사이의 간극과 통할 수 있는 관통홀이 소정부분에 형성되는 결합부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the oxygen inlet flange and the ozone discharge flange, the first contact portion of the cylindrical contacting the outer surface by a predetermined length toward the center from the end of the first quartz tube, the inner surface by a predetermined length toward the center from the end of the second quartz tube A second cylindrical contact portion which is in contact with the first contact portion and an inner surface of the first contact portion and an outer surface of the second contact portion to be fixedly coupled to the first contact portion and the second contact portion, wherein the first quartz tube and the second quartz tube Characterized in that the through hole which can communicate with the gap between the coupling portion is formed in a predetermined portion.

또한, 상기 제1 접촉부 내면과 상기 제2 접촉부 외면에는 오링(O-ring)이 더 구비되어 상기 산소유입플랜지 및 상기 오존배출플랜지를 상기 제1 및 제2 석영관의 양 끝단에 삽입시킬 때, 상기 제1 및 제2 석영관에 의하여 형성되는 간극이 외부와 유통되는 것을 방지한다.In addition, an O-ring is further provided on an inner surface of the first contact portion and an outer surface of the second contact portion to insert the oxygen inflow flange and the ozone exhaust flange at both ends of the first and second quartz tubes. The gap formed by the first and second quartz tubes is prevented from flowing to the outside.

또한, 상기 관통홀에는 산소를 유입하는 통로로 사용되거나 오존을 배출하는 통로로 사용되는 유리관이 삽입시켜, 산소 유입과 오존 배출을 용이하게 할뿐만 아니라, 노화 및 열화된 상기 유리관을 용이하게 교체할 수 있도록 한다.In addition, a glass tube used as a passage for introducing oxygen or a passage for discharging ozone is inserted into the through-hole to facilitate oxygen inflow and ozone discharge, and to easily replace the aged and deteriorated glass tube. To help.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 구성수단으로 이루어져 있는 본 발명인 오존 발생장치의 방전관에 관한 작용 및 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the operation and the preferred embodiment of the discharge tube of the ozone generator according to the present invention composed of the above configuration means.

도 2는 본 발명인 오존 발생장치의 방전관에 관한 개략도이고, 도 3은 오존 발생장치의 방전관에 관한 분리 사시도이다..2 is a schematic view of a discharge tube of the ozone generator according to the present invention, and FIG. 3 is an exploded perspective view of the discharge tube of the ozone generator.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명인 오존 발생장치의 방전관은 소정의 직경을 가지는 원통형상의 제1 석영관(10)과, 상기 제1 석영관에 삽입되는 원통형상의 제2 석영관(20)과, 상기 제1 석영관(10)과 제2 석영관(20)을 고정하고 간극(30)을 통해 산소를 유입하기 위하여 상기 제1 석영관(10)과 제2 석영관(20)의 일측에 삽입되는 산소유입플랜지(40)와, 상기 제1 석영관(10)과 제2 석영관(20)을 고정하고 간극(30)에 존재하는 오존을 배출하기 위하여 상기 제1 석영관(10)과 제2 석영관(20)의 타측에 삽입되는 오존배출플랜지(50)를 포함하여 이루어진다.As shown in Figs. 2 and 3, the discharge tube of the ozone generator according to the present invention is a cylindrical first quartz tube 10 having a predetermined diameter, and a cylindrical second quartz tube inserted into the first quartz tube ( 20 and the first quartz tube 10 and the second quartz tube 20 to fix the first quartz tube 10 and the second quartz tube 20 and introduce oxygen through the gap 30. An oxygen inlet flange 40 inserted into one side of the first quartz tube 10 to fix the first quartz tube 10 and the second quartz tube 20 and to discharge ozone present in the gap 30 ( 10) and the ozone discharge flange 50 inserted into the other side of the second quartz tube 20.

상기 제 1 석영관(10)은 조립형의 방전관을 형성하기 위한 하나의 구성부품으로서, 소정 직경을 가지는 긴 원통형의 튜브이다. 그리고 상기 제2 석영관(20)도 조립형의 방전관을 형성하기 위한 하나의 구성부품으로서, 상기 제1 석영관(10)과 동일한 형상과 길이를 가지는 튜브이다. The first quartz tube 10 is a long cylindrical tube having a predetermined diameter as one component for forming an assembled discharge tube. The second quartz tube 20 is also a tube having the same shape and length as the first quartz tube 10 as one component for forming an assembled discharge tube.

다만, 상기 제2 석영관(20)은 상기 제1 석영관(10)의 내부로 삽입될 수 있도록 상기 제1 석영관(10)보다 소정 길이만큼 더 작은 직경을 가진다. 따라서 상기 제2 석영관(20)을 상기 제1 석영관(10)으로 삽입하면, 상기 제1 석영관(10) 내면과 상기 제2 석영관(20) 외면 사이에서 발생하는 소정 너비의 간극(30)이 형성된다. However, the second quartz tube 20 has a diameter smaller than the first quartz tube 10 by a predetermined length so as to be inserted into the first quartz tube 10. Therefore, when the second quartz tube 20 is inserted into the first quartz tube 10, a gap having a predetermined width generated between an inner surface of the first quartz tube 10 and an outer surface of the second quartz tube 20 ( 30) is formed.

상술한 바와 같이, 상기 제1 석영관(10)과 상기 제2 석영관(20)은 상호 분리되어 마련된다. 다만 상기 산소유입플랜지(30)와 오존유입플랜지(40)에 의하여 조립형으로 고정 결합될 수 있다.As described above, the first quartz tube 10 and the second quartz tube 20 are provided separately from each other. However, it may be fixedly assembled by the oxygen inlet flange 30 and the ozone inlet flange 40.

한편, 상기 제1 석영관(10)과 제2 석영관(20)은 상기 간극(30)에 유입되는 산소로부터 오존을 발생시키기 위하여 고주파의 고전압을 인가받게 된다. 따라서, 상기 제1 석영관(10)과 제2 석영관(20)은 각각 내 외부에 전극의 역할을 수행하는 도료(塗料, paint and varnish)성 전극부(미도시)를 구비하는 것이 바람직하다.On the other hand, the first quartz tube 10 and the second quartz tube 20 is subjected to a high voltage of a high frequency in order to generate ozone from oxygen flowing into the gap 30. Accordingly, the first quartz tube 10 and the second quartz tube 20 preferably have paint (paint and varnish) electrode portions (not shown) which serve as electrodes on the inside and outside. .

상기 제1 석영관(10)과 상기 제2 석영관(20)은 소정 형상의 산소유입플랜지(40)와 오존배출플랜지(50)에 의하여 조립 고정된다.The first quartz tube 10 and the second quartz tube 20 are assembled and fixed by an oxygen inflow flange 40 and an ozone exhaust flange 50 of a predetermined shape.

도 4는 상기 산소유입플랜지(40) 또는 오존배출플랜지(50)의 상세한 구성도이다. 상기 산소유입플랜지(40)와 오존배출플랜지(50)의 구조는 동일하므로 이하에서는 산소유입플랜지(40)에 대해서만 설명하고, 산소유입플랜지(40)의 구조 및 작 용은 오존배출플랜지(50)에 적용한다.4 is a detailed configuration diagram of the oxygen inlet flange 40 or the ozone discharge flange 50. Since the structure of the oxygen inlet flange 40 and the ozone discharge flange 50 is the same, only the oxygen inlet flange 40 will be described below, the structure and operation of the oxygen inlet flange 40 is the ozone discharge flange 50. Applies to

도 4에 도시된 바와 같이, 상기 산소유입플랜지(40)는 소정 길이를 가지는 원통 형상의 제1 접촉부(41)와 상기 제1 접촉부(41)의 직경보다 더 작은 직경을 가지는 원통 형상의 제2 접촉부(43)와, 상기 제1 접촉부(41)의 내면(41b)과 상기 제2 접촉부(43)의 외면(43a)에 접촉되어 상기 제1 접촉부(41)와 상기 제2 접촉부(43)를 고정결합하는 결합부(45)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 4, the oxygen inflow flange 40 has a cylindrical second shape having a diameter smaller than a diameter of the first contact portion 41 and the first contact portion 41 having a predetermined length. The first contact portion 41 and the second contact portion 43 are brought into contact with the contact portion 43, the inner surface 41b of the first contact portion 41, and the outer surface 43a of the second contact portion 43. It comprises a coupling portion 45 for fixing.

상기 제1 접촉부(41)는 상기 제1 석영관(10)의 끝단에서 중심쪽으로 소정길이만큼 연장되어 내면(41b)이 상기 제1 석영관(10)의 외면에 접촉되도록 한다. 따라서, 상기 원통 형상의 제1 접촉부(41)의 직경은 상기 제1 석영관(10)의 직경보다 미세하게 더 크게 제작된다.The first contact portion 41 extends from the end of the first quartz tube 10 toward the center by a predetermined length so that the inner surface 41b contacts the outer surface of the first quartz tube 10. Therefore, the diameter of the cylindrical first contact portion 41 is made slightly larger than the diameter of the first quartz tube 10.

상기 제2 접촉부(43)는 상기 제2 석영관(20)의 끝단에서 중심쪽으로 소정길이만큼 연장되어 외면(43a)이 상기 제2 석영관(20)의 내면에 접촉되도록 한다. 따라서, 상기 원통 형상의 제2 접촉부(43)의 직경은 상기 제2 석영관(20)의 직경보다 미세하게 더 작게 제작된다.The second contact portion 43 extends from the end of the second quartz tube 20 toward the center by a predetermined length so that the outer surface 43a contacts the inner surface of the second quartz tube 20. Therefore, the diameter of the cylindrical second contact portion 43 is made smaller than the diameter of the second quartz tube 20.

상기 제1 접촉부(41)와 상기 제2 접촉부(43)의 고정 결합은 상기 결합부(45)를 매개로 하여 이루어진다. 즉, 상기 결합부(45)는 상기 제1 접촉부(41)의 일측 내면(41b)과 상기 제2 접촉부(43)의 일측 외면(43a)에 접촉 결합되어 상기 제1 접촉부(41)과 상기 제2 접촉부(43)가 고정될 수 있도록 한다. 상기 결합부(45)에 접촉 결합되는 상기 제1 및 제2 접촉부(41, 43)는 볼팅에 의하여 고정 결합될 수 있다.The fixed coupling of the first contact portion 41 and the second contact portion 43 is made through the coupling portion 45. That is, the coupling part 45 is in contact with one side inner surface 41b of the first contact portion 41 and one side outer surface 43a of the second contact portion 43 to contact the first contact portion 41 and the first material. 2 Make sure that the contact portion 43 is fixed. The first and second contact parts 41 and 43 which are in contact with the coupling part 45 may be fixedly coupled by bolting.

상기 결합부(45)는 속이 뚫린 원반 형상을 하고 있다. 따라서, 상기 뚫린 부분(45a)에 상기 제2 접촉부(43)가 끼워져서 볼팅처리되고, 상기 원반 형상의 결합부 측면(45b)이 상기 제1 접촉부(41)에 끼워져서 볼팅처리되어 조립될 수 있다.The coupling portion 45 has a disc shape with a hollow hole. Therefore, the second contact portion 43 is bolted to the drilled portion 45a, and the disc-shaped coupling part side surface 45b is bolted to the first contact portion 41 to be assembled. have.

한편, 상기 원반 형상의 결합부(45) 소정부분에는 관통홀(47)이 형성되어 있다. 상기 관통홀(47)은 상기 제1 석영관(10)과 상기 제2 석영관(20) 사이의 간극(30)과 통하게 형성되어, 상기 관통홀(47)을 통해 상기 간극(30)으로 산소를 유입하고, 상기 간극(30) 내에 존재하는 오존을 외부로 배출시킬 수 있다.On the other hand, the through-hole 47 is formed in a predetermined portion of the disk-shaped coupling portion 45. The through hole 47 is formed in communication with the gap 30 between the first quartz tube 10 and the second quartz tube 20, and the oxygen passes through the through hole 47 to the gap 30. To flow in, and ozone present in the gap 30 may be discharged to the outside.

상기 원반 형상의 결합부(45)에 형성된 상기 관통홀(47)에는 분리 가능한 가는 유리관(도 2에서 도면부호 70, 80)을 삽입하여 상기 간극(30)으로의 산소 유입을 용이하게 하거나, 상기 간극(30)에 존재하는 오존을 외부로 배출하는데 용이하게 한다. 상기 유리관(70, 80)은 언제든지 분리 가능하기 때문에 유지보수가 간편하고 손상된 경우에 신속하게 교체할 수 있다.Into the through-hole 47 formed in the disk-shaped coupling portion 45 by inserting a detachable thin glass tube (70, 80 in Fig. 2) to facilitate the inflow of oxygen into the gap 30, or It is easy to discharge ozone present in the gap 30 to the outside. Since the glass tubes 70 and 80 are detachable at any time, maintenance is easy and can be quickly replaced in case of damage.

상기와 같은 구성수단의 결합으로 이루어져 있는 오존 발생장치의 방전관의 조립과정을 간략히 설명하면 다음과 같다.Briefly explaining the assembly process of the discharge tube of the ozone generator consisting of a combination of the above configuration means as follows.

일단 제작된 서로 다른 직경을 가지는 제1 석영관(10)에 제2 석영관(20)을 삽입한다. 그리고, 상기 제1 석영관(10) 및 제2 석영관(20)을 고정하기 위하여 일측에는 산소유입플랜지(40)를 삽입하고 타측에는 오존배출플랜지(50)를 삽입하여 상기 제1 석영관(10) 및 제2 석영관(20)을 고정한다. 상기 제1 석영관(10)과 상기 제2 석영관(20)을 고정하기 위한 상기 산소유입플랜지(40)와 오존배출플랜지(50)는 미리 조립한 상태로 상기 제1 석영관(10) 및 제2 석영관(20)에 삽입할 수도 있고, 상기 제1 석영관(10) 및 제2 석영관(20)을 고정하면서 조립할 수도 있다.The second quartz tube 20 is inserted into the first quartz tube 10 having different diameters once manufactured. In order to fix the first quartz tube 10 and the second quartz tube 20, an oxygen inflow flange 40 is inserted at one side and an ozone discharge flange 50 is inserted at the other side of the first quartz tube ( 10) and the second quartz tube 20 are fixed. The first quartz tube 10 and the oxygen inlet flange 40 and the ozone discharge flange 50 for fixing the first quartz tube 10 and the second quartz tube 20 are assembled in advance. It may be inserted into the second quartz tube 20 or may be assembled while fixing the first quartz tube 10 and the second quartz tube 20.

한편, 상기 제1 석영관과 제2 석영관에 의하여 형성된 간극의 내외부 기밀을 유지하기 위하여 상기 제1 접촉부(41) 내면(41b)과 상기 제2 접촉부(43) 외면(43a)에 밀봉부재인 오링(O-ring)(도 2에서 도면부호 80)을 더 구비하는 것이 바람직하다.Meanwhile, in order to maintain the inside and outside airtightness of the gap formed by the first quartz tube and the second quartz tube, the sealing member is formed on the inner surface 41b of the first contact portion 41 and the outer surface 43a of the second contact portion 43. It is preferred to further include an O-ring (80 in FIG. 2).

즉, 상기 제1 접촉부(41) 내면(41b)과 상기 제1 석영관 내면 사이와 상기 제2 접촉부(43) 외면(43a)과 상기 제2 석영관 외면 사이에 밀봉부재인 오링(80)을 삽입하여 간극(30)에 존재하는 산소 또는 오존이 외부로 빠져나가는 것을 방지하거나, 외부의 공기가 상기 간극(30)으로 유입되는 것을 방지할 수 있다.That is, the O-ring 80 is a sealing member between the inner surface 41b of the first contact portion 41 and the inner surface of the first quartz tube and between the outer surface 43a of the second contact portion 43 and the outer surface of the second quartz tube. Insertion may prevent the oxygen or ozone present in the gap 30 from escaping to the outside, or prevent the outside air from entering the gap 30.

상기와 같은 구성 및 작용 그리고 바람직한 실시예를 가지는 본 발명인 오존 발생장치의 방전관에 의하면, 조립형으로 구성되기 때문에 필요에 따라 수리가 쉽고 손상된 부분만을 용이하게 교체를 할 수 있어, 유지보수가 편리한 장점이 있다.According to the discharge tube of the ozone generator according to the present invention having the configuration and operation and the preferred embodiment as described above, it is easy to repair and easily replace only the damaged part as necessary, because it is configured as an assembly, the maintenance is convenient There is this.

또한, 일부가 노화 및 열화되어 파손된 경우에는 방전관 전체를 교체하는 것이 아니고, 손상된 부분만을 교체하면 되기 때문에 유지보수 비용이 현저히 감소되고 수명이 연장되는 효과가 있다.In addition, when a part is damaged due to aging and deterioration, instead of replacing the entire discharge tube, only the damaged part needs to be replaced, thereby reducing the maintenance cost and extending the service life.

Claims (6)

오존 발생장치의 방전관에 있어서,In the discharge tube of the ozone generator, 소정의 직경을 가지는 원통 형상의 제1 석영관과,A cylindrical first quartz tube having a predetermined diameter, 상기 제1 석영관의 직경보다 더 작은 직경을 가지되, 상기 제1 석영관 내부로 삽입되는 원통 형상의 제2 석영관과;A cylindrical second quartz tube having a diameter smaller than that of the first quartz tube and inserted into the first quartz tube; 상기 제1 석영관과 제2 석영관 각각의 내, 외부에 구비되며, 전극의 역할을 하기 위한 도료성 전극부와;A paint electrode unit provided inside and outside of each of the first quartz tube and the second quartz tube, and serves as an electrode; 상기 제1 석영관과 제2 석영관을 고정하기 위하여 상기 석영관 일측에 삽입되도록 구비되되, 상기 제1 석영관과 제2 석영관 사이에 형성되는 간극으로 산소를 유입하는 산소유입플랜지와;An oxygen inflow flange which is provided to be inserted into one side of the quartz tube to fix the first quartz tube and the second quartz tube, and introduces oxygen into a gap formed between the first quartz tube and the second quartz tube; 상기 제1 석영관과 제2 석영관을 고정하기 위하여 상기 석영관 타측에 삽입되도록 구비되되, 상기 제1 석영관과 제2 석영관 사이에 형성되는 간극에서 발생된 오존을 배출하는 오존배출플랜지를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 오존 발생장치의 방전관.The ozone discharge flange is provided to be inserted into the other side of the quartz tube to fix the first quartz tube and the second quartz tube, and discharges ozone generated in the gap formed between the first quartz tube and the second quartz tube. Discharge tube of the ozone generating device comprising a. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제1 석영관과 제2 석영관은 상호 분리되어 마련되는 것을 특징으로 하는 오존 발생장치의 방전관.The discharge tube of the ozone generator, characterized in that the first quartz tube and the second quartz tube are provided separated from each other. 삭제delete 청구항 1에 있어서, 상기 산소유입플랜지와 오존배출플랜지는,The method of claim 1, wherein the oxygen inlet flange and ozone exhaust flange, 상기 제1 석영관의 끝단에서 중심쪽으로 소정 길이만큼 외면에 접촉되는 원통형의 제1 접촉부와, 상기 제2 석영관의 끝단에서 중심쪽으로 소정 길이만큼 내면에 접촉되는 원통형의 제2 접촉부와, 상기 제1 접촉부의 내면과 상기 제2 접촉부의 외면에 접촉되도록 마련되어 상기 제1 접촉부와 제2 접촉부를 고정결합하되, 상기 제1 석영관과 제2 석영관 사이의 간극과 통할 수 있는 관통홀이 소정부분에 형성되는 결합부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 오존 발생장치의 방전관.A cylindrical first contact portion contacting the outer surface by a predetermined length toward the center at the end of the first quartz tube, a second cylindrical contact portion contacting the inner surface by the predetermined length toward the center at the end of the second quartz tube, and the first contact portion 1 is provided to be in contact with the inner surface of the contact portion and the outer surface of the second contact portion is fixedly coupled to the first contact portion and the second contact portion, the through hole for communicating with the gap between the first quartz tube and the second quartz tube predetermined portion Discharge tube of the ozone generating apparatus comprising a coupling portion formed in the. 청구항 4에 있어서,The method according to claim 4, 상기 제1 접촉부 내면과 상기 제2 접촉부 외면에는 오링(O-ring)이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 오존 발생장치의 방전관.The discharge tube of the ozone generator, characterized in that the O-ring is further provided on the inner surface of the first contact portion and the outer surface of the second contact portion. 청구항 4에 있어서,The method according to claim 4, 상기 관통홀에는 산소를 유입하는 통로로 사용되거나 오존을 배출하는 통로로 사용되는 유리관이 삽입되는 것을 특징으로 하는 오존 발생장치의 방전관.Discharge tube of the ozone generator, characterized in that the through-hole is inserted into the glass tube used as the passage for oxygen or the passage for discharging ozone.
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