KR100683802B1 - 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 기판 상에 디스플레이부를 형성하는 단계;테트라에틸-오르소-실리케이트(TEOS: tetra ethyl ortho silicate)를 소스로 하여 화학기상증착을 실시하여 상기 디스플레이부 상에 제 1 실리콘 옥사이드층을 형성하는 단계; 및유도결합 플라즈마를 이용한 화학기상증착을 실시하여 상기 제 1 실리콘 옥사이드층 상에 제 2 실리콘 옥사이드층을 형성하는 단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법.
- 제 1항에 있어서,상기 제 2 실리콘 옥사이드층을 형성하는 단계는, 실리콘 하이드라이드 및 옥시전 가스를 도입하여 플라즈마를 이용하여 화학기상증착을 실시하는 단계인 것을 특징으로 하는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 제 1 실리콘 옥사이드층은 그 하부의 디스플레이부의 단차를 완화시키는 단차 완화층인 것을 특징으로 하는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 제 2 실리콘 옥사이드층은 외부로부터 불순물이 디스플레이부로 침투하는 것을 방지하는 침투 방지층인 것을 특징으로 하는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 제 1 실리콘 옥사이드층은 상기 디스플레이부를 감싸도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 제 2 실리콘 옥사이드층은 상기 제 1 실리콘 옥사이드층을 감싸도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법.
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2005
- 2005-12-07 KR KR1020050118836A patent/KR100683802B1/ko active IP Right Grant
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