KR100674100B1 - 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자 및 그 제조 방법 - Google Patents

평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자 및 그 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전면 유리기판과 배면 유리기판 사이에 방전셀이 형성되어 액정표시장치의 백라이트나 조명용 광원으로 사용되는 교류 구동형 플라즈마 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 상기 전면 유리기판은 일면 또는 양면에 요철이 형성되고, 상기 배면 유리기판은 가운데에 일정 간격으로 돌출된 돌기와 가장자리의 격벽으로 구성되는 간격재가 유리기판과 일체로 형성되고, 상기 배면 유리기판의 내면에는 단색 형광체층이 형성되고, 상기 배면 유리기판의 저면에는 다수개의 전극이 형성되고, 프리트 유리를 주성분으로 하는 봉지재에 의해 상기 전면 유리기판과 배면 유리기판이 용융합착되어 그 사이에 방전셀이 형성되어 구성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자는 확산판이 별도로 요구되지 않아 확산판에 의해 발생하는 황변 현상과 불필요한 광흡수, 광반사를 제거함으로써 휘도를 향상시킬 수 있으며, 간격재가 배면 유리기판과 일체로 형성되어 간격재에 의한 형광체층의 손상을 방지하여 품질을 향상시킬 수 있고, 전면 유리기판 상에 요철을 일체로 형성하고 배면 유리기판에는 간격재를 일체로 형성함으로써 휘도와 품질을 향상시키면서도 간단한 공정으로 제조할 수 있다.
플라즈마, 확산판, 유리기판, 백라이트, 면발광, 휘도

Description

평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자 및 그 제조 방법{AC driven Plasma Device for the flat lamps and the Method thereof}
도 1은 종래의 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의 단면도,
도 2는 종래의 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의 평면도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자를 나타낸 단면도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의 전면 유리기판 구조를 나타낸 단면도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의 배면 유리기판 구조를 나타낸 단면도,
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의제조 공정을 나타낸 순서도.
** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **
11, 31 : 전면 유리기판 13, 33 : 형광체층
14, 34 : 배면 유리기판 15, 35 : 금속전극
17, 37 : 봉지재 18, 38 : 방전셀
19, 39 : 간격재 20 : 확산판
본 발명은 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 액정표시장치의 백라이트나 조명용 광원으로 사용되는 교류 구동형 플라즈마 소자의 전면 유리기판의 단면 혹은 양면에 가시광선을 확산시키기 위한 미세한 요철을 형성하여 소자의 휘도를 증가시키는 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
최근 정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가되고 있으며, 이에 따라 LCD(Liquid Crystal Display)나 PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등의 여러 가지 평판형 표시 장치가 연구 개발되어 활용되고 있다. 여기서 LCD는 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인해 이동형 평판 표시 장치로 많이 사용되고 있으며, 특히 노트북이나 컴퓨터 모니터, 텔레비젼 모니터 등으로 다양하게 사용되고 있다. 그러나 LCD는 그 자체에서 빛을 발하지 못하여 별도의 광원을 필요로 한다. 따라서 이러한 LCD의 구조는 액정표시패널 외에 상기 액정표시패널의 광원으로 백라이트 유닛을 더 포함하여 구성된다.
이러한 LCD 등의 평판 표시 장치에 대한 백라이트나 조명용 광원으로는 휘도가 높고 다양한 칼라 표시가 가능한 평면 램프용 소자로서 교류 구동형 PDP(Plasma Display Panel) 소자나 EL(Electro Luminescence), LED(Light Emitting Diode), CCFL(Cold Cathode Fluorescent Lamp) 등이 많이 사용되고 있다.
일반적으로 평면 램프용 백라이트나 조명용 광원으로 사용되고 있는 교류 구동형 PDP 소자는 상판과 하판으로 구성된다. 도 1은 LCD의 백라이트에 사용되는 평면 램프용 교류 구동형 PDP 소자의 구조를 나타내었다.
도 1을 참조하면, 상판은 전면 유리기판(11)에 진공 증착법으로 형성된 평면형태의 투명전극(12)과 투명전극(12)의 아래에 기체가 방전을 일으킬 때 백색광을 낼 수 있도록 후막 인쇄된 삼파장 백색 형광체층(13)으로 구성된다.
하판은 배면 유리기판(14) 위에 은(Ag) 등을 후막 인쇄법으로 형성한 금속전극(15)과, 금속전극(15) 위에 교류 구동시 전하를 축적하여 소자에 흐르는 전류를 제한하고, 또한 백색광을 효과적으로 반사해서 전면 유리기판(11)을 향해 내보내기 위해 후막 인쇄된 광반사율이 높은 백색 유전체층(16)과, 백색 유전체층(16) 위에 후막 인쇄되어 형성된 삼파장 백색 형광체층(13)으로 구성된다.
여기서 상판과 하판은 프리트 유리(frit glass)를 주성분으로 하는 봉지재(17)에 의해 용융합착되고, 상판과 하판 사이에는 기체 방전이 일어날 수 있는 공간으로 방전셀(18)이 구성된다. 방전셀(18) 내의 일측에 형성된 배기구(도2의 24)를 통해 공기를 빼어낸 뒤 진공상태에서 다시 아르곤이나 헬륨, 네온, 크세논, 수은 등의 기체 방전용 혼합가스를 주입하고 상기 배기구(24)를 팁오프(tip-off) 함으로써, 평면 램프용 PDP 소자가 완성된다.
이 경우 상기 방전셀(18) 내의 공기를 빼어낼 때 전면 유리기판(11)과 배면 유리기판(14)은 대기압에 의한 큰 힘을 받게 되어 전면과 배면의 유리기판이 휘어지거나 심할 경우 파손될 수 있다. 이것을 방지하기 위해 방전셀(18) 내부의 곳곳에는 원형 혹은 판상 모양의 유리재질의 간격재(19,spacer)를 산포시켜 전면 유리기판(11)과 배면 유리기판(14)을 지지하도록 구성된다.
이렇게 구성된 평면 램프용 교류 구동형 PDP 소자의 투명전극(12)과 금속전극(15) 사이에 교류 전압이 인가되면 방전 현상에 의해 방전셀(18) 내의 방전 가스로부터 자외선이 발생하게 되고, 발생된 자외선은 전면 유리기판과 배면 유리기판의 내측에 도포된 형광체층(13)을 여기시켜 백색의 가시광선을 발생시킨다. 이와 같이 발생된 가시광선이 전면 유리기판(11) 밖으로 나오게 되어, LCD의 백라이트나 광원으로서의 역할을 하게 된다.
그러나 방전셀(18) 내부에 산포되는 간격재(19)의 직경이나 두께가 균일하지 않는 경우 간격재(19)는 방전셀(18) 내에서 굴러 다니거나 미끄러지기 때문에 도포된 형광체층(13)에 치명적인 손상을 일으켜 품질이나 수율의 저하를 초래하게 된다. 이와 같은 간격재(19)의 이동에 의한 형광체층(13)의 손상을 방지하기 위하여 간격재(19)를 형과체층(13) 위에 접착제를 사용하여 고착시키는 방법을 사용하고 있으나, 이 경우 공정이 까다롭게 되고 기체 방전시에 접착제로부터 불순물 가스가 발생하여 휘도와 수명의 감소를 초래하는 문제점이 발생한다.
또한 이와 같은 종래의 평면 램프용 교류 구동형 PDP 소자는 전면 및 배면 유리기판이 일정 간격을 유지하도록 지지하기 위한 방전셀(18) 내에 간격재(19)가 산포되고, 간격재(19)가 산포되어 있는 부분에서는 형광체층(13)이 간격재(19)에 의해 가려지게 되어 이 부분의 형광체는 자외선에 의해 여기되지 못한다. 즉 자외선은 유리기판을 통과하는 비율이 낮고 가시광선은 유리기판을 통과하는 비율이 높은 특성을 갖고 있으므로 방전 가스에 의해 발생된 자외선이 간격재(19)를 통과하지 못하게 되어, 결국 간격재(19)가 있는 곳에서의 형광체층(13)은 자외선에 의해 여기되지 못하므로 가시광선이 발생되지 않게 된다. 따라서 도 2에 도시된 바와 같이, 평면 램프용 교류 구동형 PDP 소자는 점등시 밝은 평면상에 부분적으로 어두운 점(23)들이 나타나게 되는 것이다. 이는 백라이트로서의 휘도의 균일성을 저해하여 결과적으로 LCD나 평면 표시 장치에 대한 질의 저하를 초래하게 된다.
이러한 문제점을 극복하기 위하여 다시 도 1을 참조하면, PDP 소자의 전면 유리기판(11)에는 가시광선을 확산시키기 위한 광확산판(20)을 더 포함하고 있다. 일반적으로 광확산판(20)은 PMMA(Polymethylmethaacrylate), PC(Polycarbonate), PMS(Polymethaacrylstyrene), PET(Polyethyleneterephthalate) 등과 같은 광확산판용 고분자 기재(21) 양면에 탄산칼슘, 실리카, 산화티탄 등의 무기 산화물로 된 광확산제가 포함된 투명 수지액을 도포하여 광확산용 투명 수지막(22)을 형성하여 제조하거나 이들 고분자 중합체를 압출하여 표면을 엠보싱 처리하여 제작한다.
그러나 이와 같이 제작된 광확산판(20)은 그 자체가 고가(高價)로서 제조비의 상승을 초래할 뿐만 아니라, 고분자 수지로 된 기재를 사용하기 때문에 기체 방전시 나오는 자외선에 의해 확산판이 열화되어 누렇게 변하는 황변현상을 일으키므로 화질의 품질을 현격하게 떨어뜨리고, 전면 유리기판(1)을 빠져 나오는 가시광선을 상당 부분 흡수하거나 반사시키므로 소자의 휘도 감소를 초래하는 문제점이 발 생한다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 전면 유리기판의 일면 혹은 양면에 요철을 형성하여 종래의 전면 유리기판과 확산판을 일체로 형성함으로써, 확산판에 의해 발생하는 황변 현상을 제거하고 확산판에서의 불필요한 광흡수와 광반사를 제거하고, 배면 유리기판의 내면에는 일정 간격으로 나란하게 돌출된 간격재를 배면 유리기판과 일체로 형성함으로써, 간격재에 의한 형광체층의 손상을 방지하여, 휘도와 품질을 향상시킬 수 있는 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 전면 유리기판의 일면 혹은 양면에 요철을 형성하여 종래의 전면 유리기판과 확산판을 일체로 형성하고 배면 유리기판에는 간격재를 일체로 형성하여, 제조 공정이 간단하면서도 휘도를 향상시킬 수 있는 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자는 전면 유리기판과 배면 유리기판 사이에 방전셀이 형성되는 플라즈마 소자에 있어서, 상기 전면 유리기판은 일면 또는 양면에 요철이 형성되고; 상기 배면 유리기판은 가장자리의 격벽과 가운데에 일정 간격으로 돌출된 돌기로 구성되는 간격재가 유리기판과 일체로 형성되고; 상기 배면 유리기판의 내면에는 단색 형광체층이 형성되고; 상기 배면 유리기판의 저면에는 다수개의 전극이 형성되고; 프리트 유리를 주성분으로 하는 봉지재에 의해 상기 전면 유리기판과 배면 유리기판이 용융합착되어 방전셀이 형성된 것을 포함하여 구성된다. 상기 전면 유리기판 내면의 요철면에 두께가 수십 Å인 단색 형광체층이 더 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의 제조 방법은 전면 유리기판과 배면 유리기판 사이에 방전셀이 형성되는 플라즈마 소자의 제조 방법에 있어서, 상기 전면 유리기판의 일면 혹은 양면에 요철을 형성하는 단계; 상기 배면 유리기판의 가운데에 일정 간격으로 돌출된 돌기와 가장자리의 격벽을 유리기판과 일체로 하여 간격재를 형성하는 단계; 상기 배면 유리기판의 저면에 금속전극을 형성하는 단계; 상기 배면 유리기판의 내면에는 이용하여 단색 형광체층을 형성하는 단계; 프리트 유리가 주성분인 봉지재를 이용하여 상기 전면 유리기판과 배면 유리기판을 용융합착하여 방전셀을 형성하는 단계; 상기 방전셀 내부의 공기를 빼내고 아르곤, 헬륨, 네온, 크세논, 수은 등을 주성분으로 하는 방전가스를 수십~수백 torr 의 압력으로 주입하는 단계; 상기 배기구를 팁오프(tip-off)하는 단계; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 상기 전면 유리기판 내면의 요철면에 두께가 수십 Å인 단색 형광체층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의 단면도를 나타내었고, 도4는 전면 유리기판의 단면도, 도 5는 배면 유리기판의 단면도를 각각 나타낸 도면이다.
도 3을 참조하면, 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자는 양면에 요철(31a,31b)이 형성된 전면 유리기판(31)과 간격재(39)가 일체로 형성된 배면 유리기판(34)으로 구성되고, 전면 유리기판(31)과 배면 유리기판(34)의 내면에는 형광체층(33a,33b)이 각각 형성되고, 배면 유리기판(34)의 저면에는 금속전극(35)이 형성된다. 또한 전면 유리기판(31)과 배면 유리기판(34)이 봉지재(37)에 의해 합착되어 그 사이에는 방전셀(38)이 형성된다.
도 4를 참조하면, 전면 유리기판(31)은 수 mm 정도의 두께를 가지는 유리기판의 상측 면에 요철(31a)이 형성되어 있다. 요철은 성형법(moulding)이나 식각법(etching), 샌드블리스트법(sand blasting) 등을 사용하여, 깊이가 1~300㎛ 정도의 미세한 요철 형상으로 구성된다. 또한 광확산의 균일도가 더 요구되는 경우에는 유리기판(31)의 하측 면, 즉 내면에도 동일한 형상의 요철(31b)이 더 형성된다.
따라서 본 발명의 평면 램프용 교류형 플라즈마 소자는 방전셀(38)에서의 자외선에 의해 여기되어 전면 유리기판(31)을 투광하는 가시광선이 요철(31a,31b)에 의해 확산되어 별도의 광확산판이 구비되지 않아 구조와 제조 공정이 간단하면서도 높은 휘도를 얻을 수 있다.
도 5를 참조하면, 배면 유리기판(34)은 전면 유리기판과 동일한 재질로서 두께가 수 mm 정도이며, 유리기판(34)의 가장자리 둘레에는 높이가 1~2mm인 격벽(39a)과 가운데에는 일정 간격을 두고 높이가 1~2mm인 작은 사각기둥 혹은 원기둥 형상의 돌기(39b)가 유리기판과 일체로 형성되어 간격재(39)를 구성한다. 이러한 간격재(39)는 전면 유리기판(31)과 배면 유리기판(34)이 합체되는 경우 전면 유리기판(31)과 배면 유리기판(34) 사이에 공간을 형성하여 방전셀(38)을 구성하게 되며, 또한 방전셀(38) 내부의 공기를 제거할 경우 압력에 의해 전면 유리기판(31)을 지지하여 휘어지거나 파손되는 것을 방지하게 된다. 여기서 상기 돌기(39b)는 사각기둥이나 원기둥 형상 외에도 다양한 형상으로 구성될 수 있다.
다시 도 3을 참조하면, 배면 유리기판(34)의 저면에는 전원을 공급하기 위한 금속전극(35)이 형성되고, 내면의 간격재(39) 사이에는 자외선에 의해 여기되어 가시광선을 발하기 위한 형광체층(33)이 형성된다. 또한 전면 유리기판(31)의 내면 요철(31b)면에도 형광체층(33)이 더 형성될 수 있으며, 형광체층을 요철면 상에 형성시키는 경우 형광체층이 박리에 의해 탈락되는 현상을 제거하여 소자의 오작동을 방지할 수 있다.
전면 유리기판(31)과 배면 유리기판(34)은 배면 유리기판의 가장자리 격벽(39a) 상에 형성되는 프리트 유리를 주성분으로 하는 봉지재(37)에 의해 용융합착되며, 이 경우 유리기판(31,34) 사이에는 간격재(39)인 격벽(39a)과 돌기(39b)에 의해 방전셀(38)이 형성되고, 배면 유리기판(34)과 일체인 간격재(39)는 전면 유리기판(31)을 지지하게 된다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의제조 공정의 순서도를 나타낸 도면이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의 제조 공정은 전면 유리기판 제조 공정과 배면 유리기판 제조 공정 및 이들은 결합하는 공정으로 구분된다.
전면 유리기판(31)은 두께가 수 mm인 유리기판의 일면에 성형법(moulding)이나 식각법(etching) 혹은 샌드블리스트법(sand blasting) 등을 사용하여 깊이가 1~300㎛ 정도의 미세한 요철(31a)의 형상을 가지도록 한다(S11). 여기서 요철(31b)은 광확산이 요구되는 정도에 따라 유리기판의 내면에 더 형성할 수도 있다. 양면에 요철이 형성된 전면 유리기판의 내면에는 인쇄법이나 분사법을 사용하여 수십 Å 두께로 코팅하여, 백색, 적색, 녹색, 청색 등의 단색 형광막을 형성시킨 뒤 소성함으로써 형광체층(33)을 형성한다(S12).
한편 배면 유리기판(34)에는 유리기판과 일체로 간격재(39)를 형성한다. 즉 두께가 수 mm인 유리기판의 일면에 성형법(moulding)이나 캐스팅법(casting)을 사용하여, 가장자리에는 높이가 1~2mm인 격벽(39a)을, 가운데에는 일정한 간격으로 나란하게 돌출된 높이가 1~2mm인 다수개의 돌기(39b)를 형성한다(S13). 또는 식각법을 사용하여 불산(HF)과의 반응에 의해 동일한 사각기둥이 서로 분리된 형상을 갖는 일체형의 배면 유리기판과 간격재를 제조할 수도 있다. 여기서 배면 유리기판의 가장자리에 격벽을 형성하는 과정에서 격벽의 일측에는 방전셀 내부의 공기를 제거하고, 방전가스를 주입할 수 있도록 미리 배기구(도2의 24참조)를 형성한다.
배면 유리기판의 저면에는 은풀 등을 사용하여 인쇄함으로써 수개의 금속전극(35)을 형성한다(S14).
배면 유리기판의 내면에는 후막 인쇄법 혹은 분사법을 이용하여 단색의 형광 막을 형성시킨 뒤 소생함으로써, 형광체층(33)을 형성한다(S15).
이렇게 제조된 전면 유리기판과 배면 유리기판을 프리트 유리를 주성분으로 하는 봉지재(37)를 배면 유리기판의 가장자리의 배기구를 제외한 격벽(39a) 상에 토출법으로 형성하여 소성함으로써 합착시킨다(S16).
전면 유리기판(31)과 배면 유리기판(34)을 합착함으로써 형성된 방전셀(38) 내부의 공기를 배기구를 통해 제거하고(S17), 아르곤(Ar)이나 헬륨(He), 네온(Ne), 크세논(Xe), 수은(Hg) 등의 혼합가스를 수십 내지 수백 Torr의 압력으로 주입하고(S18), 배기구를 제거(S19)함으로써 플라즈마 소자를 제조한다.
이렇게 제조된 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의 금속전극들 사이에 교류 전원을 인가하면 주입된 혼합가스에서 자외선이 발생하고, 이 자외선에 의해 단색 형광체가 여기되어 단색 가시광선이 발하여, 전면 유리기판으로 확산되어 주사된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자는 전면 유리기판 상에 요철이 형성되어 확산판이 별도로 요구되지 않아, 확산판에 의해 발생하는 황변 현상 및 확산판에서의 불필요한 광 흡수와 반사를 제거함으로써 휘도를 향상시킬 수 있으며, 배면 유리기판의 내면에 일정 간격으로 나란하게 돌출된 간격재가 배면 유리기판과 일체로 형성되어 간격재에 의한 형광체층의 손상을 방지하여 품질을 향상시킬 수 있다.
또한 본 발명의 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의 제조 방법에 의하면 전면 유리기판 상에 요철을 일체로 형성하고, 배면 유리기판에는 간격재를 일체로 형성함으로써, 휘도와 품질을 향상시키면서도 간단한 공정으로 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자를 제조할 수 있다.

Claims (10)

  1. 전면 유리기판과 배면 유리기판 사이에 방전셀이 형성되어 전원이 인가됨에 따라 빛을 조사하는 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자에 있어서,
    상기 전면 유리기판은 일면 또는 양면에 요철이 형성되고;
    상기 배면 유리기판은 가장자리의 격벽과 가운데에 일정 간격으로 돌출된 돌기로 구성되는 간격재가 유리기판과 일체로 형성되고;
    상기 배면 유리기판의 내면에는 단색 형광체층이 형성되고;
    상기 배면 유리기판의 저면에는 다수개의 전극이 형성되고;
    프리트 유리를 주성분으로 하는 봉지재에 의해 상기 전면 유리기판과 배면 유리기판이 용융합착되어 그 사이에 방전셀이 형성된 것을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 전면 유리기판 내면의 요철면에 두께가 수십 Å인 단색 형광체층이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 요철은 깊이가 1~300㎛ 로 형성되는 것을 특징으로 하는 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 배면 유리기판의 가장자리 및 상기 간격재의 높이는 1~2mm 로 형성되는 것을 특징으로 하는 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자.
  5. 전면 유리기판과 배면 유리기판 사이에 방전셀이 형성되어 전원이 인가됨에 따라 빛을 조사하는 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의 제조 방법에 있어서,
    상기 전면 유리기판의 일면 혹은 양면에 요철을 형성하는 단계;
    상기 배면 유리기판의 가운데에 일정 간격으로 돌출된 돌기와 가장자리의 격벽을 유리기판과 일체로 하여 간격재를 형성하는 단계;
    상기 배면 유리기판의 저면에 금속전극을 형성하는 단계;
    상기 배면 유리기판의 내면에는 이용하여 단색 형광체층을 형성하는 단계;
    프리트 유리가 주성분인 봉지재를 이용하여 상기 전면 유리기판과 배면 유리기판을 용융합착하여 방전셀을 형성하는 단계;
    상기 방전셀 내부의 공기를 빼내고 아르곤, 헬륨, 네온, 크세논, 수은 등을 주성분으로 하는 방전가스를 수십~수백 Torr 의 압력으로 주입하는 단계; 및
    상기 배기구를 팁오프(tip-off)하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의 제조 방법.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 전면 유리기판 내면의 요철면에 두께가 수십 Å인 단색 형광체층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의 제조 방법.
  7. 제 5항에 있어서, 상기 전면 유리기판의 요철은 깊이는 1~300㎛ 로 형성하는 것을 특징으로 하는 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의 제조 방법.
  8. 제 5항에 있어서, 상기 배면 유리기판의 가장자리 및 상기 간격재의 높이는 1~2mm 로 형성하는 것을 특징으로 하는 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의 제조 방법.
  9. 제 5항에 있어서, 상기 돌기는 식각법을 사용하여 불산(HF)과의 반응에 의해 동일한 기둥 형상이 서로 분리되도록 하여 제조하는 것을 특징으로 하는 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의 제조 방법.
  10. 제 5항에 있어서, 상기 방전셀을 형성하는 단계는 상기 배면 유리기판의 가장자리 격벽 상에 상기 봉지재를 토출법으로 형성한 뒤 소성하여, 상기 전면 유리기판과 배면 유리기판을 합착하는 것을 특징으로 하는 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자의 제조 방법.
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