KR100673264B1 - Data storage device and method for driving the same - Google Patents

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KR100673264B1
KR100673264B1 KR1020050079503A KR20050079503A KR100673264B1 KR 100673264 B1 KR100673264 B1 KR 100673264B1 KR 1020050079503 A KR1020050079503 A KR 1020050079503A KR 20050079503 A KR20050079503 A KR 20050079503A KR 100673264 B1 KR100673264 B1 KR 100673264B1
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이선영
남효진
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엘지전자 주식회사
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Abstract

An information storage device and a driving method thereof are provided to independently drive a cantilever for storing information and a cantilever for erasing the information, thereby preventing a recording operation and an erasing operation from being overlapped together. A through hole(305) is formed on an inner side of the first cantilever(300) equipped with a probe(301) for storing information. Driving units(302) for driving the first cantilever(300) are individually disposed in one pair of areas(306a,306b) divided by the through hole(305). A through hole(315) is formed on an inner side of the second cantilever(310) equipped with a probe(311) for erasing the information. Driving units(313) for driving the second cantilever(310) are individually disposed in one pair of the first area and the second area(316b) divided by the through hole(315).

Description

정보 저장 장치 및 그의 구동 방법 { Data storage device and method for driving the same } Data storage device and method for driving the same

도 1은 일반적인 정보저장 장치의 기록 과정을 설명하기 위한 개략적인 사시도1 is a schematic perspective view for explaining a recording process of a general information storage device;

도 2a와 2b는 종래 기술에 따른 원자력 현미경 정보 저장 장치의 판독과정을 설명하기 위한 개략적인 단면도Figure 2a and 2b is a schematic cross-sectional view for explaining the reading process of the atomic force microscope information storage device according to the prior art

도 3은 본 발명에 따른 정보를 지울 수 있는 정보 저장 장치를 설명하기 위한 기록 매체의 단면도3 is a cross-sectional view of a recording medium for explaining an information storage apparatus capable of erasing information according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 정보를 지울 수 있는 정보 저장 장치를 설명하기 위한 기록 매체의 평면도4 is a plan view of a recording medium for explaining an information storage apparatus capable of erasing information according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 지우기부를 설명하기 위한 개략적인 사시도Figure 5 is a schematic perspective view for explaining the eraser according to the present invention

도 6은 본 발명에 따른 지우기부를 설명하기 위한 개략적인 단면도6 is a schematic cross-sectional view for explaining an eraser according to the present invention.

도 7은 본 발명에 따른 지우기부의 제 1 실시예를 도시한 개략적인 사시도7 is a schematic perspective view showing a first embodiment of the eraser according to the present invention;

도 8은 본 발명에 따른 지우기부의 제 2 실시예를 도시한 개략적인 사시도8 is a schematic perspective view showing a second embodiment of the eraser according to the present invention;

도 9는 본 발명에 따른 지우기부의 제 2 실시예를 도시한 개략적인 사시도9 is a schematic perspective view showing a second embodiment of the eraser according to the present invention;

도 10a와 10b는 본 발명에 따른 지우기부의 동작을 설명하기 위한 사시도10a and 10b are perspective views for explaining the operation of the eraser according to the present invention

도 11은 본 발명에 따른 지우기부의 제 3 실시예를 도시한 개략적인 사시도11 is a schematic perspective view showing a third embodiment of the eraser according to the present invention;

도 12a 내지 12c는 본 발명에 따라 정보 저장용 탐침과 비교되는 지우기용 탐침의 형상을 도시한 사시도12A-12C are perspective views showing the shape of a clearing probe compared to an information storage probe in accordance with the present invention;

도 13a와 13b는 본 발명에 따른 지우기용 탐침의 형상을 설명하기 위한 도시한 기록매체의 개략적인 평면도13A and 13B are schematic plan views of the recording medium for explaining the shape of the erasing probe according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

100,500 : 기록매체 100,500 recording medium

110,111,112,113,501,501a,501b,501c,501d : 정보 저장홈110,111,112,113,501,501a, 501b, 501c, 501d: Information storage home

210,220,230,240,300,310 : 캔틸레버 210,220,230,240,300,310: cantilever

211,231,301,311,311a,311g,311h : 지우기용 탐침211,231,301,311,311a, 311g, 311h: Clearing probe

221,231,301 : 정보 저장용 탐침 290,302,303,312,313 : 구동부221,231,301: Probe for storing information 290,302,303,312,313: Drive part

291 : 하부 전극 292 : 압전막291 lower electrode 292 piezoelectric film

293 : 상부 전극 304,314 : 히터293: upper electrode 304, 314: heater

305,315 : 관통홀 309a,309b,319a,319b : 전도성 라인305,315: Through hole 309a, 309b, 319a, 319b: Conductive line

본 발명은 정보 저장 장치 및 그의 구동 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게 는 정보 저장 장치 및 그의 구동 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an information storage device and a driving method thereof, and more particularly, to an information storage device and a driving method thereof.

일반적으로, 원자현미경(AFM)은 캔틸레버라 불리는 미소한 막대를 이용하여 표면형상 등을 측정하는 장치이다. In general, an atomic force microscope (AFM) is a device for measuring the surface shape and the like using a small rod called a cantilever.

캔틸레버 끝에는 수 nm 크기의 팁이 형성되어 있으며 이러한 팁과 시편사이의 원자력을 측정함으로써, 시편의 표면형상, 전기 또는 자기적인 성질 등을 알 수 있다. At the tip of the cantilever, a tip of several nm size is formed, and by measuring the nuclear power between the tip and the specimen, the surface shape, electrical or magnetic properties of the specimen can be known.

최근, 이러한 원자현미경의 원리를 이용한 나노-감광장치(Nano-lithography) 또는 나노정보저장장치(Nano data storage)에 대한 연구가 활발히 이루어지고 있다. Recently, research on nano-lithography or nano data storage using the principle of atomic microscope has been actively conducted.

원자현미경의 원리를 이용하면 수 nm 크기의 탐침을 이용하여 정보를 저장할 수 있으므로 Tbit/in2 이상의 저장밀도를 갖는 데이터 저장장치를 개발할 수 있다. Using the principle of atomic force microscopy, it is possible to develop a data storage device having a storage density of Tbit / in 2 or more because information can be stored using a probe of several nm size.

IBM에서는 원자현미경의 원리를 응용하여 PMMA와 같은 고분자 물질을 기록매체로 사용한 정보저장장치를 수 년 전부터 연구해왔다(IBM J. RES. DEVOLP. Vol. 44 No. 3 2000, pp. 323-340). IBM has been studying information storage devices using polymer materials such as PMMA as a recording medium for many years. (IBM J. RES. DEVOLP. Vol. 44 No. 3 2000, pp. 323-340) .

IBM의 SPM 정보저장장치에서는 캔틸레버를 2차원적으로 연결하여 32 ×32개의 캔틸레버를 구성하였다. In IBM's SPM information storage device, the cantilever is connected two-dimensionally to form 32 × 32 cantilevers.

이 캔틸레버는 실리콘 팁, 상기 팁 부위에 형성된 저항성 히터(Resistive heater)와 캔틸레버로 구성되어 있다. The cantilever is composed of a silicon tip, a resistive heater formed on the tip portion, and a cantilever.

이러한 정보저장 장치에서 기록(Writing)은 팁을 가열하여 폴리머 기록매체 를 소프트하게 한(점도를 감소시킨) 상태에서 캔틸레버 팁에 국부적인 힘을 가하면 기록매체에 구멍(Bit indentation)이 형성되어 정보가 기록된다. In such an information storage device, writing means that when a local force is applied to the cantilever tip while the tip is heated to soften (reduce the viscosity) the polymer recording medium, a bit indentation is formed in the recording medium. Is recorded.

그리고, 재생 동작은 팁이 오목한 구멍 속으로 들어가서 기록 매체와 캔틸레버 히터 사이의 거리가 가까워지면, 캔틸레버의 히터가 빨리 냉각되고, 팁이 평탄한 면을 지나갈 때는 기록매체 사이의 거리가 멀어져 천천히 냉각되기 때문에, 이러한 냉각속도의 차이로 인하여 히터 온도가 달라지면 이로 인하여 히터의 전기저항의 차이가 야기되므로 이것을 이용하여 정보를 재생한다. In the reproducing operation, when the tip enters the concave hole and the distance between the recording medium and the cantilever heater is close, the heater of the cantilever is cooled quickly, and when the tip passes the flat surface, the distance between the recording medium is far away and is slowly cooled. When the heater temperature is changed due to the difference in cooling rate, the difference in electric resistance of the heater is caused, thereby regenerating information by using the same.

도 1은 일반적인 정보저장 장치의 기록 과정을 설명하기 위한 개략적인 사시도로서, 실리콘 팁(1)을 가열하여 실리콘 기판(21)의 상부에 형성된 폴리머 기록매체(22)의 점도를 감소시킨 상태를 만든 후, 실리콘 팁(1)으로 국부적인 힘을 가하면 기록매체(22)에 정보 저장홈(23)이 형성된다.1 is a schematic perspective view illustrating a recording process of a general information storage device, in which a state in which the viscosity of the polymer recording medium 22 formed on the silicon substrate 21 is reduced by heating the silicon tip 1. Then, when a local force is applied to the silicon tip 1, the information storage groove 23 is formed in the recording medium 22.

한편, 원자력 현미경 정보저장장치의 판독과정은 도 2a와 2b에 도시된 바와 같이, 히터 플랫폼과 기록매체 사이의 거리에 따라 히터의 냉각속도가 변화되는 원 리를 이용하였다.Meanwhile, as shown in FIGS. 2A and 2B, the reading process of the atomic force microscope information storage device uses the principle that the cooling rate of the heater is changed according to the distance between the heater platform and the recording medium.

더 상세히 설명하면, 도 2a와 2b에 도시된 바와 같이, 실리콘 팁(1)이 기록 매체(22)의 오목한 정보저장홈(23)속으로 들어가서, 히터 플랫폼(5)과 기록 매체(22) 사이의 거리가 가까워지면, 히터 플랫폼(5)은 빨리 냉각되고, 실리콘 팁이 기록 매체의 평탄한 면을 지나갈 때에는 히터 플랫폼(5)과 기록매체(22) 사이의 거리가 멀어져 천천히 냉각되게 된다.More specifically, as shown in FIGS. 2A and 2B, the silicon tip 1 enters into the concave information storage groove 23 of the recording medium 22, so that the heater platform 5 and the recording medium 22 are separated. As the distance between the heaters 5 approaches, the heater platform 5 cools quickly, and when the silicon tip passes through the flat surface of the recording medium, the distance between the heater platform 5 and the recording medium 22 becomes far and slowly cooled.

이러한 냉각속도의 차이로 인하여, 히터 플랫폼(5)의 온도가 달라지면, 이로 인하여 히터 플랫폼(5)의 전기저항의 차이가 야기되므로, 이러한 방법을 이용하여 정보를 판독한다.Due to this difference in cooling rate, if the temperature of the heater platform 5 is changed, this causes a difference in the electrical resistance of the heater platform 5, so that information is read using this method.

전술된 원자력 현미경 정보저장장치에서는 정보가 저장된 정보 저장홈이 기록 매체에 남아 있아 있어 기록 매체를 재사용할 수 없는 문제점이 있었다. In the above-described nuclear microscope information storage device, there is a problem in that the information storage groove in which the information is stored remains in the recording medium and the recording medium cannot be reused.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 기록 매체에 저장된 정보를 지울 수 있는 지우기부를 구비하여 기록 매체를 반복적으로 재사용할 수 있는 정보 저장 장치 및 그의 구동 방법을 제공하는 데 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in an effort to provide an information storage device and a driving method thereof, which include a erasing unit capable of erasing information stored in a recording medium, which can repeatedly reuse the recording medium.

본 발명의 다른 목적은 한 번의 지우기 동작을 수행하여 복수개의 정보를 지울수 있어 동작을 신속하게 수행할 수 있는 정보 저장 장치 및 그의 구동 방법을 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide an information storage device and a method of driving the same, which can erase a plurality of pieces of information by performing a single erase operation and perform the operation quickly.

본 발명의 또 다른 목적은 정보 저장용 캔틸레버와 지우기용 캔틸레버를 독립적으로 구동시켜 기록 동작과 지우기 동작의 중복을 방지할 수 있는 정보 저장 장치 및 그의 구동 방법을 제공하는 데 있다.It is still another object of the present invention to provide an information storage device and a driving method thereof capable of independently driving the information storage cantilever and the erasing cantilever to prevent duplication of a recording operation and an erasing operation.

상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 1 양태(樣態)는, A first preferred aspect for achieving the above objects of the present invention is

상부에 정보 저장홈이 형성되어 정보가 저장되는 기록매체와;An information storage groove formed at an upper portion thereof to store information;

상기 정보가 저장된 정보 저장홈 주변의 기록매체를 녹여서 상기 정보 저장홈을 메울 수 있는 지우기부를 포함하여 구성된 정보 저장 장치가 제공된다.There is provided an information storage device including an erasing unit for melting the recording medium around the information storage groove in which the information is stored to fill the information storage groove.

상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 2 양태(樣態)는, A second preferred aspect for achieving the above objects of the present invention is

기록매체와;A recording medium;

정보 저장용 탐침을 구비하고 있고, 상기 정보 저장용 탐침으로 상기 기록매체에 정보를 저장할 수 있는 제 1 캔틸레버와;A first cantilever having an information storage probe, the first cantilever capable of storing information on the recording medium with the information storage probe;

상기 정보 저장용 탐침으로 저장된 기록매체의 정보를 지울 수 있는 지우기용 탐침이 구비된 제 2 캔틸레버를 포함하여 구성된 정보 저장 장치가 제공된다.Provided is an information storage device including a second cantilever provided with a erasing probe for erasing information of a recording medium stored by the information storage probe.

상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 3 양태(樣態)는, A third preferred aspect for achieving the above objects of the present invention is

정보 저장용 탐침을 구비하고 있고, 상기 정보 저장용 탐침으로 상기 기록매체에 정보를 저장할 수 있는 제 1 캔틸레버와 상기 정보 저장용 탐침으로 저장된 기록매체의 정보를 지울 수 있는 지우기용 탐침이 구비된 제 2 캔틸레버를 기록 매체 상부에 위치시키는 단계와;And a first cantilever for storing information on the recording medium with the information storage probe, and a erasing probe for erasing information on the recording medium stored with the information storage probe. Positioning the cantilever on top of the recording medium;

상기 제 1 캔틸레버를 상기 기록 매체에 접촉시켜 상기 정보 저장용 탐침으로 정보를 저장하는 단계와;Contacting the first cantilever with the recording medium to store information with the information storage probe;

상기 제 2 캔틸레버를 상기 기록 매체에 접촉시켜 상기 기록매체의 저장된 정보를 지우는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치의 구동방법이 제공된다.And contacting the second cantilever with the recording medium to erase the stored information of the recording medium.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음 과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명에 따른 정보를 지울 수 있는 정보 저장 장치를 설명하기 위한 기록 매체의 단면도로서, 본 발명은 기록 매체(100) 상부에 정보가 저장되어 형성된 정보 저장홈(110)을 적어도 하나 이상 지울 수 있는 지우기부가 구비된 것을 특징으로 한다.3 is a cross-sectional view of a recording medium for explaining an information storage apparatus capable of erasing information according to the present invention. The present invention provides at least one information storage groove 110 formed by storing information on an upper portion of the recording medium 100. Erasable erasing portion is provided.

도 4는 본 발명에 따른 정보를 지울 수 있는 정보 저장 장치를 설명하기 위한 기록 매체의 평면도로서, 기록매체(100)에 형성된 정보 저장홈을 지워서 원상복귀시켜 기록되기 전(前) 상태로 만드는 것인데, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 정보를 지울 수 있는 정보 저장 장치는 하나의 정보 저장홈(111)을 지우거나, 복수개의 정보 저장홈(112,113)을 지울 수 있는 것이다.4 is a plan view of a recording medium for explaining an information storage apparatus capable of erasing information according to the present invention, in which the information storage groove formed in the recording medium 100 is erased and returned to its original state before being recorded. As illustrated in FIG. 4, the information storage device capable of erasing the information of the present invention may delete one information storage groove 111 or a plurality of information storage grooves 112 and 113.

도 5는 본 발명에 따른 지우기부를 설명하기 위한 개략적인 사시도로서, 캔틸레버(210) 하부에는 지우기용 탐침(211)이 형성되어 있다.Figure 5 is a schematic perspective view for explaining the eraser according to the present invention, the erasing probe 211 is formed below the cantilever 210.

이 지우기용 탐침(211)은 기록 매체의 정보 저장홈을 메우는 데 사용된다.This erasing probe 211 is used to fill the information storage groove of the recording medium.

도 6은 본 발명에 따른 지우기부를 설명하기 위한 개략적인 단면도로서, 지우기용 탐침(211)이 형성되어 있는 캔틸레버(210) 하부에 이 캔틸레버(210)를 구동시키기 위한 구동부(290)가 형성되어 있다.FIG. 6 is a schematic cross-sectional view illustrating the erasing unit according to the present invention, in which a driving unit 290 for driving the cantilever 210 is formed under the cantilever 210 in which the erasing probe 211 is formed. .

상기 구동부(290)는 하부전극(291)/압전막(292)/상부전극(293)으로 구성된다.The driving unit 290 includes a lower electrode 291, a piezoelectric film 292, and an upper electrode 293.

이 구동부(290)는 상기 캔틸레버를 초기 위치에서 상부 또는 하부로 구동시킨다.The drive unit 290 drives the cantilever from the initial position up or down.

도 7은 본 발명에 따른 지우기부의 제 1 실시예를 도시한 개략적인 사시도로서, 본 발명의 정보 저장 장치에는 정보 저장용 탐침이 형성된 제 1 캔틸레버와 지우기용 탐침이 형성된 제 2 캔틸레버로 이루어진 쌍(Pair)이 복수개 어레이되어 있다.7 is a schematic perspective view showing a first embodiment of the erasing unit according to the present invention, in which the information storage device of the present invention comprises a pair of a first cantilever in which an information storage probe is formed and a second cantilever in which an erasing probe is formed ( Pair) is arrayed in plurality.

또는, 도 7에 도시된 바와 같이, 지우개용 탐침(211)이 형성된 캔틸레버(210)와 정보 저장용 탐침(221)이 형성된 캔틸레버(220)로 이루어진 쌍(Pair)의 측면에, 지우개용 탐침(231)이 형성된 캔틸레버(230)와 정보 저장용 탐침(241)이 형성된 캔틸레버(240)로 이루어진 쌍이 더 어레이되는 순서로 구성할 수도 있다.Alternatively, as shown in FIG. 7, the side of the pair (Pair) consisting of a cantilever 210 having an eraser probe 211 and a cantilever 220 having an information storage probe 221 is formed thereon. The pair consisting of the cantilever 230 in which the 231 is formed and the cantilever 240 in which the information storage probe 241 is formed may be further arranged in an array order.

도 8은 본 발명에 따른 지우기부의 제 2 실시예를 도시한 개략적인 사시도로서, 정보 저장용 탐침(301)이 형성된 제 1 캔틸레버(300)에는 내측에 관통홀(305)이 형성되어 있고, 이 관통홀(305)에 의해 분기되는 한 쌍의 영역(306a,306b) 각각에는 상기 제 1 캔틸레버(300)를 구동시키기 위한 구동부(302,303)가 각각 형성되어 있다.8 is a schematic perspective view showing a second embodiment of the erasing unit according to the present invention, in which the through-hole 305 is formed in the first cantilever 300 on which the information storage probe 301 is formed. In each of the pair of regions 306a and 306b branched by the through hole 305, driving units 302 and 303 for driving the first cantilever 300 are formed, respectively.

그리고, 지우기용 탐침(311)이 형성된 제 2 캔틸레버(310)에도 내측에 관통홀(305)이 형성되어 있고, 이 관통홀(315)에 의해 분기되는 한 쌍의 영역(316a,316b)에는 상기 제 2 캔틸레버(310)를 구동시키기 위한 구동부(312,313)가 각각 형성되어 있다.The through-hole 305 is also formed in the second cantilever 310 having the erasing probe 311 formed therein, and the pair of regions 316a and 316b branched by the through-hole 315 are described above. Driving units 312 and 313 for driving the second cantilever 310 are formed, respectively.

도 9는 본 발명에 따른 지우기부의 제 2 실시예를 도시한 개략적인 사시도로서, 정보 저장을 위한 기록매체(500)는 폴리머로 이루어진 것이 바람직하고, 이 폴리머 기록매체(500)에 정보 저장용 탐침(301)으로 정보를 기록하면, 도 9에 도시된 바와 같이, 기록매체(500) 상부에는 정보 저장홈(501)이 형성된다.9 is a schematic perspective view showing a second embodiment of the eraser according to the present invention, wherein the recording medium 500 for storing information is preferably made of a polymer, and the probe for storing information in the polymer recording medium 500 is shown. When information is recorded at 301, as shown in FIG. 9, an information storage groove 501 is formed on the recording medium 500.

즉, 상기 정보 저장용 탐침(301)은 제 1 캔틸레버(300) 하부에 형성되어 있고, 상기 제 1 캔틸레버(300)에는 관통홀(305)이 형성되어 있고, 이 관통홀(305)에 의해 분기된 제 1 캔틸레버 영역들(306a,306b) 각각에 전도성 라인(309a,309b)이 형성되어 있고, 상기 정보 저장용 탐침(301)이 형성된 영역과 대응되는 제 1 캔틸레버(300) 상부에는 상기 전도성 라인(309a,309b)과 연결되는 히터(304)가 형성되어 있다.That is, the information storage probe 301 is formed under the first cantilever 300, the through-hole 305 is formed in the first cantilever 300, and is branched by the through-hole 305. Conductive lines 309a and 309b are formed in each of the first cantilever regions 306a and 306b, and the conductive lines are formed on the first cantilever 300 corresponding to the region where the information storage probe 301 is formed. Heaters 304 are formed that are connected to 309a and 309b.

그러므로, 상기 전도성 라인(309a,309b)으로 흐르는 전류에 의해, 상기 히터(304)가 가열되고, 상기 히터(304)에서 가열된 열에 의해 상기 정보 저장용 탐침(301)이 가열된다.Therefore, the heater 304 is heated by the current flowing through the conductive lines 309a and 309b, and the information storage probe 301 is heated by the heat heated by the heater 304.

따라서, 상기 정보 저장용 탐침(301)은 상기 기록매체(500)에 접촉되어 정보 저장홈(501)을 형성하게 된다.Accordingly, the information storage probe 301 contacts the recording medium 500 to form the information storage groove 501.

그리고, 지우기용 탐침(311)이 형성된 제 2 캔틸레버(310) 역시, 전술된 제 1 캔틸레버와 동일하게, 히터(314)가 형성되어 있어 정보 저장홈(501) 주위의 기록매체를 녹여서 정보 저장홈(501)을 메울 수 있는 것이다.In addition, the second cantilever 310 in which the erasing probe 311 is formed also has a heater 314 formed in the same manner as the first cantilever described above to melt the recording medium around the information storage groove 501 to store the information storage groove. 501 can be filled.

즉, 상기 지우기용 탐침(311)은 제 2 캔틸레버(310) 하부에 형성되어 있고, 상기 제 2 캔틸레버(310)에는 관통홀(315)이 형성되어 있고, 이 관통홀(315)에 의해 분기된 제 2 캔틸레버 영역들(316a,316b) 각각에 전도성 라인(319a,319b)이 형성되어 있고, 상기 지우기용 탐침(311)이 형성된 영역과 대응되는 제 2 캔틸레버(310) 상부에는 상기 전도성 라인(319a,319b)과 연결되는 히터(314)가 형성되어 있 다.That is, the erasing probe 311 is formed under the second cantilever 310, and the through-hole 315 is formed in the second cantilever 310, and is branched by the through-hole 315. Conductive lines 319a and 319b are formed in each of the second cantilever regions 316a and 316b, and the conductive lines 319a are formed on the second cantilever 310 corresponding to the region where the erasing probe 311 is formed. A heater 314 connected to the 319b is formed.

따라서, 상기 지우기용 탐침(311)은 상기 히터(314)의 가열된 열에 의해 가열되어 기록매체(500)의 정보 저장홈(501)을 메우어 지우기 동작을 수행할 수 있는 것이다.Therefore, the erasing probe 311 is heated by the heated heat of the heater 314 to fill the information storage groove 501 of the recording medium 500 to perform the erasing operation.

이 때, 상기 지우기용 탐침(311)이 가열된 온도는 상기 기록매체(500)의 유리전이 온도(Tg)보다 큰 온도로 설정한다.At this time, the temperature at which the erasing probe 311 is heated is set to a temperature larger than the glass transition temperature Tg of the recording medium 500.

그리고, 상기 제 1과 2 캔틸레버(300,310)는 실리콘으로 형성하는 것이 바람직하며, 상기 제 1과 2 캔틸레버(300,310) 각각에 마련된 전도성 라인(309a,309b,319a,319b)은 불순물을 1 X 1016 ~ 1 X 1017로 하이 도핑하여 형성하고, 상기 히터(304,314)는 불순물을 1 X 1013 ~ 1 X 1015로 로우 도핑하여 형성한다.And, the first and second cantilever (300 310) is preferably formed of silicon, and the first and second cantilever (300 310) is an impurity 1 X 10 16 conductivity provided in each line (309a, 309b, 319a, 319b ) It is formed by high doping to ˜1 × 10 17 , and the heaters 304 and 314 are formed by low doping impurities to 1 × 10 13 to 1 × 10 15 .

도 10a와 10b는 본 발명에 따른 지우기부의 동작을 설명하기 위한 사시도로서, 먼저, 도 10a에 도시된 바와 같이, 정보 저장용 탐침(301)이 구비된 제 1 캔틸레버(300)이 동작되는 동안 지우기용 탐침(311)이 구비된 제 2 캔틸레버(310)는 구동부가 동작되어 기록매체(500)로부터 멀어진다.10A and 10B are perspective views illustrating the operation of the eraser according to the present invention. First, as shown in FIG. 10A, an erase operation is performed while a first cantilever 300 having an information storage probe 301 is operated. The second cantilever 310 provided with the dragon probe 311 is driven away from the recording medium 500 by operating the driving unit.

즉, 정보 기록 동작시에는 상기 정보 저장용 탐침(301)이 구비된 제 1 캔틸레버(300)는 구동부에 의해 최초 위치에서 하강하여 기록매체(500)에 접촉되어 정보를 기록하고, 상기 지우기용 탐침(311)이 구비된 제 2 캔틸레버(310)는 구동부가 동작되어 최초 위치에서 상승하여 기록매체(500)로부터 멀어진다.That is, during the information recording operation, the first cantilever 300 provided with the information storage probe 301 is lowered from the initial position by the driving unit to contact the recording medium 500 to record information, and the erasure probe The second cantilever 310 having the 311 is operated at the initial position to move up from the recording medium 500.

그리고, 도 10b에 도시된 바와 같이, 지우기용 탐침(311)이 구비된 제 2 캔 틸레버(310)이 동작되는 동안 정보 저장용 탐침(301)이 구비된 제 1 캔틸레버(300)는 구동부가 동작되어 기록매체(500)로부터 멀어진다.As shown in FIG. 10B, the first cantilever 300 having the information storage probe 301 is operated while the second cantilever 310 having the erasing probe 311 is operated. It is operated away from the recording medium 500.

그러므로, 정보 지우기 동작시에는 전술된 정보 기록 동작과 반대의 동작을 수행한다.Therefore, in the information erasing operation, an operation opposite to the above-described information recording operation is performed.

이 때, 상기 구동부는 하부전극/압전막/상부전극으로 형성되어 있어, 정전압과 역전압을 스위칭시켜, 캔틸레버를 상승 및 하강시킬 수 있다.In this case, the driving part is formed of a lower electrode, a piezoelectric film, and an upper electrode, so that the cantilever can be raised and lowered by switching a constant voltage and a reverse voltage.

도 11은 본 발명에 따른 지우기부의 제 3 실시예를 도시한 개략적인 사시도로서, 본 발명의 제 3 실시예의 지우기용 탐침(311a)은 도 8의 지우기용 탐침(311)과 비교하여 수직방향으로 폭이 넓은 형상을 갖는다.FIG. 11 is a schematic perspective view showing a third embodiment of the erasing unit according to the present invention, wherein the erasing probe 311a of the third embodiment of the present invention is perpendicular to the erasing probe 311 of FIG. 8. It has a wide shape.

이에 대한 설명은 도 13a와 13b에서 상세히 설명하겠다.This will be described in detail with reference to FIGS. 13A and 13B.

도 12a 내지 12c는 본 발명에 따라 정보 저장용 탐침과 비교되는 지우기용 탐침의 형상을 도시한 사시도로서, 정보 저장용 탐침(301)은 도 12a와 같이, 선단이 날까롭게 가공된 형상을 가지고 있으나, 도 12b와 같이, 지우기용 탐침(311g)의 폭(W2)은 정보 저장용 탐침(301)의 폭(W1)보다 넓은 형상을 가지고 있거나, 도 12c와 같이, 지우기용 탐침(311h)의 단면적(S2)은 정보 저장용 탐침(301)의 단면적(S1)보다 큰 형상을 가지고 있는 것이 바람직하다.12A to 12C are perspective views showing the shape of the erasing probe compared to the information storage probe according to the present invention. The information storage probe 301 has a sharply processed shape as shown in FIG. 12A. 12B, the width W2 of the erasing probe 311g has a shape wider than the width W1 of the information storage probe 301, or as shown in FIG. 12C, the cross-sectional area of the erasing probe 311h. It is preferable that S2 has a shape larger than the cross-sectional area S1 of the information storage probe 301.

즉, 이렇게, 지우기용 탐침이 넓은 폭 및 큰 단면적을 갖는 형상으로 만들어 지기 때문에, 적어도 하나 이상의 정보 저장홈을 지울 수 있는 것이다.That is, since the erasing probe is made into a shape having a wide width and a large cross-sectional area, at least one information storage groove can be erased.

그리고, 지우기용 탐침은 도 12a와 같이, 삼각기둥 형상 또는 도 12c와 같이 사각기둥 형상으로 형성한다.Then, the erasing probe is formed in a triangular prism shape as shown in FIG. 12A or a square pillar shape as shown in FIG. 12C.

도 13a와 13b는 본 발명에 따른 지우기용 탐침의 형상을 설명하기 위한 도시한 기록매체의 개략적인 평면도로서, 정보 저장용 탐침이 기록매체(500)에 형성된 기준 정보 저장홈(501a)을 만들어서 기록하는 경우, 지우기용 탐침은 도 13a에 도시된 바와 같이, 상기 기준 정보 저장홈(501a)과 수평선상(A-A')에 존재하는 복수개의 정보 저장홈들(501b,501c)을 동시에 지울 수 있는 크기를 갖는 형상으로 만들어진다.13A and 13B are schematic plan views of a recording medium for explaining the shape of the erasing probe according to the present invention, in which an information storage probe is made by recording a reference information storage groove 501a having a recording medium 500. In this case, the erasing probe may erase the plurality of information storage grooves 501b and 501c simultaneously existing on the reference information storage groove 501a and the horizontal line A-A ', as shown in FIG. 13A. It is made into a shape having a size.

또한, 도 13b에 도시된 바와 같이, 지우기 탐침은 상기 기준 정보 저장홈(501a)과 수평선상(A-A')과 직교하는 수직선상(B-B')에 존재하는 복수개의 정보 저장홈들(501d,501e)을 동시에 지울 수 있는 크기를 갖는 형상으로 만들어진다.In addition, as shown in FIG. 13B, the clear probe includes a plurality of information storage grooves existing on the reference information storage groove 501a and on a vertical line B-B 'perpendicular to the horizontal line A-A'. (501d, 501e) is made into a shape having a size that can be erased at the same time.

이상 상술한 바와 같이, 종래 기술의 원자력 현미경 정보저장장치에서는 정보가 저장된 정보 저장홈이 기록 매체에 남아 있아 있어 기록 매체를 재사용할 수 없었으나, 본 발명에서는 기록 매체에 저장된 정보를 지울 수 있는 지우기부를 구비하여 기록 매체를 반복적으로 재사용할 수 있는 효과가 있다.As described above, in the atomic force microscope information storage apparatus of the related art, the information storage groove in which the information is stored remains on the recording medium, so that the recording medium cannot be reused. However, in the present invention, the erasable data can be erased. There is an effect that the recording medium can be repeatedly reused.

또한, 본 발명은 지우기용 탐침을 정보 저장용 탐침보다 폭 및 단면적이 크도록 설계하여, 한 번의 지우기 동작을 수행하여 복수개의 정보를 지울수 있어 동작을 신속하게 수행할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention is designed such that the erase probe has a larger width and cross-sectional area than the probe for storing information, so that a plurality of information can be erased by performing a single erase operation, so that the operation can be performed quickly.

더불어, 본 발명은 정보를 저장하는 공정에서는 정보 저장용 캔틸레버를 하강시켜 상기 기록 매체에 접촉시키고, 지우기용 캔틸레버를 상승시키는 공정을 수 행하고, 정보를 지우는 공정에서는 정보 저장용 캔틸레버를 상승시키고, 지우기용 캔틸레버를 하강시켜 상기 기록 매체에 접촉시키는 공정을 수행한다.In addition, the present invention performs a step of lowering the information storage cantilever in contact with the recording medium in the step of storing information, raising the erasing cantilever, and raising the information storage cantilever in the process of erasing information, A step of lowering the cantilever for contact with the recording medium is performed.

그러므로, 정보 저장용 캔틸레버와 지우기용 캔틸레버를 독립적으로 구동시켜 기록 동작과 지우기 동작의 중복을 방지할 수 있는 효과가 있다.Therefore, the information storing cantilever and the erasing cantilever are independently driven to prevent duplication of the recording operation and the erasing operation.

본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the invention has been described in detail only with respect to specific examples, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the spirit of the invention, and such modifications and variations belong to the appended claims.

Claims (21)

상부에 정보 저장홈이 형성되어 정보가 저장되며, 열에 의해 녹는 기록매체와;An information storage groove formed at an upper portion thereof to store information and to be melted by heat; 상기 정보가 저장된 정보 저장홈 주변의 기록매체를 녹여서 상기 정보 저장홈을 메울 수 있는 지우기부를 포함하여 구성되며,It comprises a erasing unit that can fill the information storage groove by melting the recording medium around the information storage groove in which the information is stored, 상기 기록매체는 폴리머로 형성되고,The recording medium is formed of a polymer, 상기 지우기부는, 상기 정보가 저장된 복수개의 정보 저장홈을 동시에 지울 수 있도록 구성된 정보 저장 장치.And the erasing unit is configured to delete a plurality of information storage grooves in which the information is stored at the same time. 삭제delete 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 지우기부는,The erase unit, 상기 정보 저장홈에 접촉되는 지우기용 탐침과;A clearing probe in contact with the information storage groove; 상기 정보 저장홈의 주변의 기록매체를 녹일 수 있도록, 상기 지우기용 탐침을 가열시키는 히터를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치.And a heater for heating the erasing probe to melt the recording medium around the information storage groove. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, The method according to claim 1 or 3, 상기 지우기부는,The erase unit, 하부에 탐침이 형성되어 있고, 내부에 관통홀이 형성되어 있고, 상기 관통홀에 의해 분기된 캔틸레버 영역들 각각에 전도성 라인이 형성되어 있고, 상기 탐침이 형성된 영역과 대응되는 상부에는 상기 전도성 라인과 연결되는 히터가 각각 형성되어 있는 캔틸레버인 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치.A probe is formed at a lower portion, a through hole is formed therein, a conductive line is formed at each of the cantilever regions branched by the through hole, and the conductive line is formed at an upper portion corresponding to the region where the probe is formed. An information storage device, characterized in that the cantilever is formed with a heater connected to each other. 기록매체와;A recording medium; 정보 저장용 탐침을 구비하고 있고, 상기 정보 저장용 탐침으로 상기 기록매체에 정보를 저장할 수 있는 제 1 캔틸레버와;A first cantilever having an information storage probe, the first cantilever capable of storing information on the recording medium with the information storage probe; 상기 정보 저장용 탐침으로 저장된 기록매체의 정보를 지울 수 있는 지우기용 탐침이 구비된 제 2 캔틸레버를 포함하여 구성되며,And a second cantilever provided with a erasing probe capable of erasing information of the recording medium stored by the information storage probe. 상기 기록매체는, 상기 제 1 캔틸레버의 정보 저장용 탐침으로 홈이 형성되어 정보가 저장되고, 상기 제 2 캔틸레버의 지우기용 탐침에 의해 상기 홈이 메우어져 정보가 지워지고, 열에 의해 녹는 물질로 이루어지고,The recording medium has a groove formed by the information storage probe of the first cantilever, and the information is stored, and the groove is filled by the erasing probe of the second cantilever, and the information is erased. , 상기 지우기부는 정보가 저장된 복수개의 정보 저장홈을 동시에 지울 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치.And the erasing unit is configured to erase a plurality of information storage grooves at which information is stored at the same time. 제 5 항에 있어서, The method of claim 5, 상기 지우기용 탐침의 폭은,The width of the erasing probe, 상기 정보 저장용 탐침의 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치.And an information storage device larger than the width of the information storage probe. 제 5 항에 있어서, The method of claim 5, 상기 지우기용 탐침의 단면적은,The cross-sectional area of the erasing probe, 상기 정보 저장용 탐침의 단면적보다 큰 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치.An information storage device, characterized in that greater than the cross-sectional area of the information storage probe. 제 5 항에 있어서, The method of claim 5, 상기 지우기용 탐침의 형상은,The shape of the erasing probe, 상기 삼각기둥 또는 사각기둥인 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치.Information storage device, characterized in that the triangular prism or square pillar. 제 5 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 5 to 8, 상기 제 1 캔틸레버와 제 2 캔틸레버로 이루어진 쌍(Pair)의 측면에,On the side of the pair consisting of the first cantilever and the second cantilever, 복수개의 쌍이 더 어레이되어 있는 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치.An information storage apparatus, characterized in that a plurality of pairs are further arranged. 제 5 항에 있어서, The method of claim 5, 상기 제 1과 2 캔틸레버는,The first and second cantilever, 하부에 탐침이 형성되어 있고, 내부에 관통홀이 형성되어 있고, 상기 관통홀에 의해 분기된 영역들 각각에 전도성 라인이 형성되어 있고, 상기 탐침이 형성된 영역과 대응되는 상부에는 상기 전도성 라인과 연결되는 히터가 각각 형성되어 있는 캔틸레버인 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치.A probe is formed in the lower portion, a through hole is formed therein, a conductive line is formed in each of the regions branched by the through hole, and the upper portion corresponding to the region where the probe is formed is connected to the conductive line. An information storage device, characterized in that the cantilever is formed with each heater. 제 5 항에 있어서, The method of claim 5, 상기 제 1과 2 캔틸레버에는 상기 제 1과 2 캔틸레버를 초기 위치에서 상부 또는 하부로 구동시킬 수 있는 구동부가 각각 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치.The first and second cantilever further comprises a driving unit for driving the first and second cantilever from the initial position to the upper or lower, respectively. 제 11 항에 있어서, The method of claim 11, 상기 구동부는,The driving unit, 하부 전극, 압전막과 상부전극이 상기 캔틸레버에 순차적으로 적층되어 이루어진 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치.And a lower electrode, a piezoelectric film, and an upper electrode are sequentially stacked on the cantilever. 삭제delete 제 5 항에 있어서, The method of claim 5, 상기 정보 저장용 탐침이 기록매체에 형성된 기준 정보 저장홈을 만들어져 기록된 경우, When the information storage probe is made and recorded by making a reference information storage groove formed in the recording medium 상기 지우기용 탐침은 상기 기준 정보 저장홈과 수평선상에 존재하는 복수개의 정보 저장홈들을 동시에 지울 수 있는 크기를 갖는 형상으로 만들어진 것을 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치.And the erasing probe is formed in a shape having a size capable of simultaneously deleting the reference information storage groove and a plurality of information storage grooves existing on a horizontal line. 삭제delete 정보 저장용 탐침을 구비하고 있고, 상기 정보 저장용 탐침으로 상기 기록매체에 정보를 저장할 수 있는 제 1 캔틸레버와 상기 정보 저장용 탐침으로 저장된 기록매체의 정보를 지울 수 있는 지우기용 탐침이 구비된 제 2 캔틸레버를 기록 매체 상부에 위치시키는 단계와;And a first cantilever for storing information on the recording medium with the information storage probe, and a erasing probe for erasing information on the recording medium stored with the information storage probe. Positioning the cantilever on top of the recording medium; 상기 제 1 캔틸레버를 상기 기록 매체에 접촉시켜 상기 정보 저장용 탐침으로 정보를 저장하는 단계와;Contacting the first cantilever with the recording medium to store information with the information storage probe; 상기 제 2 캔틸레버를 상기 기록 매체에 접촉시켜 상기 기록매체의 저장된 정보를 지우는 단계를 포함하여 구성되며,Contacting the second cantilever with the recording medium to erase stored information of the recording medium; 상기 기록매체는, 상기 제 1 캔틸레버의 정보 저장용 탐침으로 홈이 형성되어 정보가 저장되고, 상기 제 2 캔틸레버의 지우기용 탐침에 의해 상기 홈이 메우어져 정보가 지워지고, 열에 의해 녹는 물질로 이루어지고,The recording medium has a groove formed by the information storage probe of the first cantilever, and the information is stored, and the groove is filled by the erasing probe of the second cantilever, and the information is erased. , 상기 지우기부는 정보가 저장된 복수개의 정보 저장홈을 동시에 지울 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치의 구동방법.And the erasing unit is configured to erase a plurality of information storage grooves at which information is stored at the same time. 제 16 항에 있어서, The method of claim 16, 상기 제 1 캔틸레버를 상기 기록 매체에 접촉시켜 상기 정보 저장용 탐침으로 정보를 저장하는 단계는,Contacting the first cantilever with the recording medium to store information with the information storage probe; 상기 제 1 캔틸레버를 하강시켜 상기 기록 매체에 접촉시키고,Lowering the first cantilever to contact the recording medium; 상기 제 2 캔틸레버를 상승시키는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치의 구동방법.And raising the second cantilever. 제 16 항에 있어서, The method of claim 16, 상기 제 2 캔틸레버를 상기 기록 매체에 접촉시켜 상기 기록매체의 저장된 정보를 지우는 단계는,Contacting the second cantilever with the recording medium to erase stored information of the recording medium; 상기 제 2 캔틸레버를 하강시켜 상기 기록 매체에 접촉시키고,Lowering the second cantilever to contact the recording medium; 상기 제 1 캔틸레버를 상승시키는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치의 구동방법.And raising the first cantilever. 삭제delete 제 16 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 16 to 18, 상기 제 1과 2 캔틸레버는,The first and second cantilever, 하부에 탐침이 형성되어 있고, 내부에 관통홀이 형성되어 있고, 상기 관통홀에 의해 분기된 영역들 각각에 전도성 라인이 형성되어 있고, 상기 탐침이 형성된 영역과 대응되는 상부에는 상기 전도성 라인과 연결되는 히터가 형성되어 있고, 초기 위치에서 상부 또는 하부로 구동시킬 수 있는 구동부가 형성되어 있는 캔틸레버인 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치의 구동방법.A probe is formed in the lower portion, a through hole is formed therein, a conductive line is formed in each of the regions branched by the through hole, and the upper portion corresponding to the region where the probe is formed is connected to the conductive line. And a cantilever in which a heater is formed, and a driving unit capable of driving from the initial position to the upper side or the lower side is formed. 제 16 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 16 to 18, 상기 지우기용 탐침의 폭은,The width of the erasing probe, 상기 정보 저장용 탐침의 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 정보 저장 장치의 구동방법.And a width greater than the width of the information storage probe.
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