KR100670950B1 - 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정 시스템 - Google Patents

광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정 시스템 Download PDF

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KR100670950B1 KR1020050093263A KR20050093263A KR100670950B1 KR 100670950 B1 KR100670950 B1 KR 100670950B1 KR 1020050093263 A KR1020050093263 A KR 1020050093263A KR 20050093263 A KR20050093263 A KR 20050093263A KR 100670950 B1 KR100670950 B1 KR 100670950B1
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홍승수
정광화
신용현
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Abstract

본 발명은 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정 시스템에 관한 것이다. 이를 위해, 내부에 소정의 진공이 형성된 진공용기(10); 진공용기(10)의 외부로부터 투시창(49)을 통해 레이저(72)를 조사하는 레이저 조사수단; 진공용기(10) 내에 구비되어, 레이저(72)와 진공용기(10)내의 기체분자 사이의 충돌에 의해 발생하는 광전자를 검출하는 미세채널판(70); 미세채널판(70)과 연결되어 미세채널판(70)에 의한 검출된 광전자의 갯수를 증폭하는 이온 증폭기(42); 이온 증폭기(42)와 연결되어 증폭된 광전자의 갯수를 분석하고, 분석 결과에 비례하여 소정의 전류를 출력하는 스펙트럼 분석기(44); 및 스펙트럼 분석기(44)의 출력 전류를 상응하는 압력으로 변환하여 표시하는 전류-압력 변환기(46);가 제공된다.
진공, 압력, 측정, 센서, 레이저, 광전자, 계수, 증폭, 표시, 용기

Description

광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정 시스템{Ultra-hign vacuum pressure measuring system of a vacuum container by counting of photoelectron}
도 1은 본 발명에 따른 적외선 카메라를 이용한 진공용기의 압력 측정 시스템의 개략적인 구성도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 진공용기,
20 : 가스 저장고,
22 : 리크 밸브,
40 : 레이저 발진장치,
42 : 바이어스 및 이온증폭기,
44 : 스펙트럼 분석기,
46 : I-P(전류-압력) 변환기,
48 : 렌즈,
49 : 투시창,
50 : 배기장치,
52 : 게이트 밸브,
70 : 미세채널판(MCP)
72 : 레이저.
본 발명은 진공용기의 압력 측정 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 나노 및 우주 환경의 고진공 챔버들은 10-7 Pa 범위으 초고진공 상태이고, 이러한 초고진공 영역에서의 압력측정은 열음극 전리진공 게이지(Hot Filament Ionization Gauge)를 사용한다.
따라서, 지금까지의 진공 압력 측정은 진공 챔버 또는 진공용기의 내부에 이러한 센서나 측정기를 부착하여 측정되어 왔다. 그러나, 이와 같이 용기에 각종 센서를 다수 부착할 경우 연결부위 등을 통해 진공의 누설(Leak)이 발생할 가능성이 매우 높아진다. 이로 인해, 챔버나 진공용기의 사용 또는 진공 압력 측정전에 항상 진공의 누설을 체크해야 했다.
또한, 진공 압력 센서나 측정기가 부착되어 있지 않은 챔버등에 대해서는 별도로 부착후 다시 내부를 진공상태로 만들어야만 했다. 더 나아가, 이러한 센서나 측정기를 부착할 수 없거나 또는 별도의 설치 작업이 불가능한 경우에는 압력을 측정할 수 있는 방법이 없었다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 제 1 목적은, 진공 챔버 또는 진공 용기를 관통하여 설치되는 각종 센서의 부착을 최소화하고 이로 인해 진공의 누설도 차단하면서 초고진공을 측정할 수 있는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 제 2 목적은, 진공을 측정하는 각종 센서나 측정기를 설치할 수 없는 초고진공용기에 대해서도 내부의 진공압력을 손쉽게 측정할 수 있는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 그 밖의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부 도면들과 관련되어 설명되는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명확해질 것이다.
상기와 같은 본 발명의 목적은, 내부에 소정의 진공이 형성된 진공용기(10);
진공용기(10)의 외부로부터 투시창(49)을 통해 레이저(72)를 조사하는 레이저 조사수단;
진공용기(10) 내에 구비되어, 레이저(72)와 진공용기(10)내의 기체분자 사이의 충돌에 의해 발생하는 광전자를 검출하는 미세채널판(70);
미세채널판(70)과 연결되어 미세채널판(70)에 의한 검출된 광전자의 갯수를 증폭하는 이온 증폭기(42);
이온 증폭기(42)와 연결되어 증폭된 광전자의 갯수를 분석하고, 분석 결과에 비례하여 소정의 전류를 출력하는 스펙트럼 분석기(44); 및
스펙트럼 분석기(44)의 출력 전류를 상응하는 압력으로 변환하여 표시하는 전류-압력 변환기(46);로 구성되는 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정장치에 의해 달성될 수 있다.
그리고, 레이저 조사수단은 야그(YAG) 레이저 발진장치 또는 그 밖의 레이저 발진장치가 될 수 있다.
또한, 이온 증폭기(42)는 검출된 광전자의 갯수를 100만배 증폭하는 것이 바람직하다.
아울러, 스펙트럼 분석기(44)의 분석 결과는 분석 신호의 진폭 또는 주파수일 수 있다.
그리고, 분석 신호의 진폭은 최대 진폭 또는 평균진폭인 것이 바람직하다.
상기와 같은 본 발명의 목적은, 본 발명의 또 다른 카테고리로서, 진공용기(10)의 내부에 소정 진공압력을 형성하는 단계(S10);
진공용기(10)의 투시창(49)에 레이저 발진장치(40)를 밀착시켜 진공용기(10) 내로 레이저(72)를 조사하는 단계(S20);
진공용기(10)내의 미세채널판(70)이 레이저(72)와 진공용기(10)내의 기체분자 사이의 충돌에 의해 발생하는 광전자를 검출하는 단계(S30);
이온 증폭기(42)가 검출된 광전자의 갯수를 증폭하는 단계(S40);
스펙트럼 분석기(44)가 증폭된 광전자의 갯수를 분석하고, 분석 결과에 비례 하여 소정의 전류를 출력하는 단계(S50); 및
전류-압력 변환기(46)가 스펙트럼 분석기(44)의 출력 전류를 상응하는 압력으로 변환하여 표시하는 단계(S60);로 구성되는 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정방법에 의해서도 달성될 수 있다.
그리고, 증폭단계(S40)는 광전자의 갯수를 100만배 증폭하는 단계를 포함하는 것이 더 바람직하다.
또한, 출력단계(S50)는, 분석 신호의 진폭을 분석하는 단계(S52); 및
분석된 진폭들중 최대 진폭을 소정 전류로 출력하는 단계(S55);를 포함하는 것이 가장 바람직하다.
이하에서는 양호한 실시예를 도시한 첨부 도면과 관련하여 본 발명을 상세하게 설명한다. 도 1은 본 발명에 따른 적외선 카메라를 이용한 진공용기의 압력 측정 시스템의 개략적인 구성도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 압력 측정 시스템은 대략 진공용기(10), 레이저 발진장치(40), 신호 처리장치 및 기타 보조장치 등으로 구성된다.
진공용기(10)는 내부에 소정 체적을 가지며, 내부가 외부와 격리되어 있고, 충분한 강성과 부식 방지 등을 위해 스테인레스강으로 제작된다. 그리고, 레이저 발진장치(40)가 위치하는 측면에 별도의 투시창(49)을 구비한다. 이러한 투시창은 강화유리 등으로 제작된다.
레이저 발진장치(40)는 야그(YAG) 레이저와 같이 일정한 출력의 레이저광을 조사할 수 있는 것이라면 어떠한 방식이라도 무방하다. 또한, 렌즈(48)는 레이저 발진장치(40)의 전면에 위치하여 발진된 레이저(72)가 미세채널판(70) 영역에서 초점이 형성되도록 한다. 이는 미세채널판(70) 영역에서 촛점이 형성됨으로서 출력 집중과 광전자 생성을 향상하기 위함이다. 이러한 렌즈(48)는 레이저 발진장치(40)와 레이저(72)의 특성에 따라 변경되거나 생략될 수 있다.
미세채널판(70)(Micro Channel Plate, MCP)은 진공용기(10)의 중간 영역에 위치하며, 보다 상세하게는 렌즈(48)를 통과한 레이저(72)가 촛점을 형성하는 위치에 대략 근접하도록 위치한다. 이러한 미세채널판(70)은 이온 증폭기(42)와 연결되어 있으며, 이온 증폭기(42)로부터 구동 전력을 인가받는다. 미세채널판(70)은 레이저(72)와 진공용기(10) 내부의 기체분자 사이의 충돌에 의한 광전자 양을 검출한다. 이는 내부 진공도(즉, 기체밀도)에 따라 레이저(72)와 기체분자 사이의 충돌빈도가 변하는 점에 착안한 것이다. 일예로 본 발명과 같은 초고진공하에서 기체의 분자밀도는 2.5개 ×1015개/m3 이다. 즉, 미세채널판(70)은 레이저(72)와 기체분자의 충돌에 의한 이온화 갯수를 검출하는데 사용한다.
이온 증폭기(42)는 미세채널판(70)에 의해 검출된 광전자의 갯수를 증폭하는 구성부재이다. 본 발명의 바람직한 실시예에서, 이온 증폭기(42)는 검출된 광전자의 갯수를 100만배 정도 증폭한다. 이는 이온화되는 광전자의 갯수가 극히 적어서 검출된 갯수만으로는 신호처리가 어렵기 때문이다. 증폭된 광전자의 갯수는 대응하는 전류나 펄스파형으로 출력된다. 앞서 설명한 바와 같이, 이온 증폭기(42)는 또한 미세채널판(70)의 구동에 필요한 전력을 공급한다. 이를 위해, 미세채널판(70) 과 이온 증폭기(42)는 전기적으로 연결되어 있다.
스펙트럼 분석기(44)는 이온증폭기(42)로부터 출력되는 신호를 분석하는 장비이다. 이러한 스펙트럼 분석기(44)는 종래의 상업용 계측장비를 이용할 수 있다. 이러한 스펙트럼 분석기(44)로부터 실시간으로 측정되는 광전자의 갯수를 파형으로 검출할 수 있다. 그리고, 표시되는 파형들중 최고 진폭(최대 광전자 갯수)을 선택할 수도 있고, 평균 진폭(평균 광전자 갯수)을 선택할 수도 있다. 아울러, 또 다른 실시예로서, 주파수 영역에서 특정 주파수를 선택할 수도 있다.
I-P(전류-압력) 변환기(46)는 스펙트럼 분석기(44)로부터 출력되는 출력신호에 기초하고, 미리 내장된 소프트웨어나 데이터베이스 자료 또는 룩업 테이블을 이용함으로서 출력신호에 대응하는 압력을 산출한다. 압력 산출은 압력과 출력신호에 관한 변환 테이블(룩업 테이블) 또는 변환 소프트 웨어 등에 의해 이루어질 수 있다. 이와 같은 구성의 일예는 컴퓨터도 가능하다.
그리고, I-P 변환기(46)는 산출된 압력값을 숫자(디지털)로 표시하거나 그래프(아날로그 방식)로 표시하게 된다. 따라서, 조작자는 I-P 변환기(46)의 압력을 읽음으로서 진공용기(10) 내부의 압력을 측정하게 된다.
본원 발명에 사용되는 그 밖의 보조장치로는 가스저장고(20)와 리크 밸브(22), 및 배기장치(50)와 게이트 밸브(52)가 있다. 이러한 보조 장치들은 초고진공 압력의 측정에 꼭 필요한 필수 구성요소는 아니지만 진공용기(10)의 사용과 측정 준비 과정 등에서 편리하게 사용될 수 있는 것들이다.
가스저장고(20)는 가스가 보관되며, 리크 밸브(22)는 가스를 진공용기(10)의 내부로 전송하거나 전송차단하는 구성을 갖는다. 이와 같은 가스저장고(20)와 리크 밸브(22)는 진공용기(10)의 압력 조절을 위해 실험가스를 공급하기 위한 것이다.
배기장치(50)는 고진공 터보펌프와 저진공 로터리펌프를 사용하고, 로터리펌프로는 오일의 역류(Back stream)를 방지하기 위해 드라이 펌프를 사용한다. 이러한 배기장치(50)는 진공 압력의 측정에 앞서 압력용기(10)의 내부가 초고진공(10-7 Pa 이하)이 되도록 하기 위함이다.
이하에서는 상기와 같은 구성을 갖는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정 시스템의 동작에 대해 설명하도록 한다.
우선, 진공용기(10)에 부착된 게이트 밸브(52)를 열고 배기장치(50)를 가동시켜 진공용기(10)의 내부가 10-5 Pa 이하가 되도록 한다. 그리고, 진공용기(10)의 외부에 굽기(Bake-out)용 히터(미도시)를 설치하여 고온으로 가열함으로서, 진공용기(10) 내부에 수분 및 탈가스(outgas)의 양을 줄여 진공용기(10)의 내부가 상온에서 10-7 Pa 이하가 되도록 한다.
그 다음, 진공용기(10)의 투시창(49)에 레이저 발진장치(40)를 밀착시키고 진공용기(10) 내로 레이저(72)를 조사한다(S20). 조사된 레이저(72)는 미세채널판(70) 영역에서 촛점이 형성되며, 내부의 기체분자들과 충돌하여 광전자를 형성한다.
이와 동시에, 진공용기(10)내의 미세채널판(70)이 광전자를 검출한다(S30).
그 다음, 이온 증폭기(42)는 미세채널판(70)이 검출된 광전자의 갯수를 약 100만배 정도 증폭한다(S40). 증폭된 광전자의 갯수는 대응하는 전류로 변환되어 스펙트럼 분석기(44)로 전송된다.
그 다음, 스펙트럼 분석기(44)는 증폭된 광전자의 갯수를 분석하고, 분석 결과에 비례하여 소정의 전류를 출력한다(S50). 이 때, 분석은 보다 구체적으로, 분석 신호의 진폭을 분석한 뒤(S52), 분석된 진폭들중 최대 진폭을 소정 전류로 출력하게 된다(S55).
그 다음, 전류-압력 변환기(46)가 스펙트럼 분석기(44)의 출력 전류를 상응하는 압력으로 변환하여 표시한다(S60). 이와 같은 과정을 통해 진공용기(10) 내부의 압력측정이 완료된다.
본 발명에서 측정되고, 전송되는 전기신호들은 아날로그 파형일 수도 있고, 디지털화된 펄스 파형일 수도 있다. 또한, 적절한 계측장비의 차감을 통해 스펙트럼 분석기를 생략할 수도 있고, I-P 변환기(46)와 스펙트럼 분석기를 통합할 수도 있다.
본 발명에서는 비록, 나도공정, 우주 환경 등에서 사용되는 초고진공 챔버 또는 초고진공용기를 주 대상으로 하여 도시하고 설명하였으나, 이 뿐만 아니라 각종 산업분야에서 사용되는 챔버나 진공용기에서도 적용이 가능함은 물론이다.
따라서, 상기 설명한 바와 같은 본 발명의 실시예에 의하면, 진공 챔버 또는 진공 용기를 관통하여 설치되는 각종 센서의 부착을 최소화하고 이로 인해 진공의 누설도 차단하면서 초고진공을 측정할 수 있다.
그리고, 진공을 측정하는 각종 센서나 측정기를 설치할 수 없는 초고진공용기에 대해서도 내부의 진공압력을 손쉽게 측정할 수 있다.
비록 본 발명이 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 본 발명의 요지와 범위로 부터 벗어남이 없이 다른 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 특허청구의 범위에 속함은 자명하다.

Claims (9)

  1. 내부에 소정의 진공이 형성된 진공용기(10);
    상기 진공용기(10)의 외부로부터 투시창(49)을 통해 레이저(72)를 조사하는 레이저 조사수단;
    상기 진공용기(10) 내에 구비되어, 상기 레이저(72)와 상기 진공용기(10)내의 기체분자 사이의 충돌에 의해 발생하는 광전자를 검출하는 미세채널판(70);
    상기 미세채널판(70)과 연결되어 상기 미세채널판(70)에 의한 검출된 광전자의 갯수를 증폭하는 이온 증폭기(42);
    상기 이온 증폭기(42)와 연결되어 증폭된 광전자의 갯수를 분석하고, 분석 결과에 비례하여 소정의 전류를 출력하는 스펙트럼 분석기(44); 및
    상기 스펙트럼 분석기(44)의 출력 전류를 상응하는 압력으로 변환하여 표시하는 전류-압력 변환기(46);로 구성되는 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 레이저 조사수단은 야그(YAG) 레이저 발진장치인 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 이온 증폭기(42)는 검출된 광전자의 갯수를 100만배 증폭하는 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 스펙트럼 분석기(44)의 분석 결과는 분석 신호의 진폭인 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 분석 신호의 진폭은 최대 진폭인 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정장치.
  6. 진공용기(10)의 내부에 소정 진공압력을 형성하는 단계(S10);
    상기 진공용기(10)의 투시창(49)에 레이저 발진장치(40)를 밀착시켜 상기 진공용기(10) 내로 레이저(72)를 조사하는 단계(S20);
    상기 진공용기(10)내의 미세채널판(70)이 상기 레이저(72)와 상기 진공용기(10)내의 기체분자 사이의 충돌에 의해 발생하는 광전자를 검출하는 단계(S30);
    이온 증폭기(42)가 검출된 광전자의 갯수를 증폭하는 단계(S40);
    스펙트럼 분석기(44)가 증폭된 광전자의 갯수를 분석하고, 분석 결과에 비례하여 소정의 전류를 출력하는 단계(S50); 및
    전류-압력 변환기(46)가 상기 스펙트럼 분석기(44)의 출력 전류를 상응하는 압력으로 변환하여 표시하는 단계(S60);로 구성되는 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 증폭단계(S40)는 상기 광전자의 갯수를 100만배 증폭하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정방법.
  8. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 출력단계(S50)는,
    분석 신호의 진폭을 분석하는 단계(S52); 및
    분석된 진폭들중 최대 진폭을 소정 전류로 출력하는 단계(S55);를 포함하는 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정방법.
  9. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 진공압력 형성단계(S10)는 진공압력이 10-7 Pa 이하가 되도록 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 광전자 계수에 의한 진공용기의 초고진공 압력 측정방법.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5459324A (en) 1993-12-10 1995-10-17 Sextant Avionique Method and apparatus for the optical measurement of the pressure of a gaseous mixture
JPH0894475A (ja) * 1994-09-27 1996-04-12 Kyushu Univ 光散乱による気体圧力測定装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5459324A (en) 1993-12-10 1995-10-17 Sextant Avionique Method and apparatus for the optical measurement of the pressure of a gaseous mixture
JPH0894475A (ja) * 1994-09-27 1996-04-12 Kyushu Univ 光散乱による気体圧力測定装置

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