KR100670382B1 - Organic electro-luminescence display device and method of preparing the same - Google Patents

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KR100670382B1 KR1020050131929A KR20050131929A KR100670382B1 KR 100670382 B1 KR100670382 B1 KR 100670382B1 KR 1020050131929 A KR1020050131929 A KR 1020050131929A KR 20050131929 A KR20050131929 A KR 20050131929A KR 100670382 B1 KR100670382 B1 KR 100670382B1
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Abstract

An organic electro-luminescent display device and a fabrication method thereof are provided to control optimum permeation effect of oxygen and moisture by controlling the thickness of a moisture absorbent layer and an oxygen absorbent layer. An organic electro-luminescent display device includes a substrate(1) and an organic electro-luminescent part(2). The organic electro-luminescent part is formed by stacking a first electrode, an organic layer and a second electrode in sequence on one plane of the substrate. A multi layer thin film is stacked on an upper part of the second electrode of the organic electro-luminescent part, and is stacked with an inorganic protection layer(31), a moisture absorbent layer(32), an oxygen absorbent layer(33), an oxygen absorbent layer and an inorganic protection layer(31') in sequence.

Description

유기 전계 발광 디스플레이 장치 및 이의 제조방법{Organic electro-luminescence display device and method of preparing the same}Organic electroluminescent display device and method for manufacturing same {Organic electro-luminescence display device and method of preparing the same}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 디스플레이 장치의 개략적인 사시도이다.1 is a schematic perspective view of an organic electroluminescent display device according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 디스플레이 장치의 개략도이다.2 is a schematic diagram of an organic electroluminescent display device according to an embodiment of the present invention.

도 3은 도 1의 유기 전계 발광부의 일 예를 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating an example of the organic electroluminescent unit of FIG. 1.

도 4는 도 1의 유기 전계 발광부의 다른 일 예를 도시한 단면도이다. 4 is a cross-sectional view illustrating another example of the organic light emitting unit of FIG. 1.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 간단한 설명><Brief description of symbols for the main parts of the drawings>

1...기판 2... 유기 전계 발광부1 ... substrate 2 ... organic electroluminescent part

3...보호층 21...제 1 전극층3.Protective layer 21 ... First electrode layer

23...유기층 24...제 2 전극층23.organic layer 24 ... second electrode layer

31, 31'...무기 보호층 32...수분 흡수층31, 31 '... Inorganic protective layer 32 ... Water absorbing layer

33... 산소 흡수층 33 ... Oxygen Absorbing Layer

본 발명은 유기 전계 발광 디스플레이 장치 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 무기 보호층, 수분 흡수층, 산소 흡수층 및 무기 보호층을 포함하는 다층 박막을 포함하는 가짐으로써, 특히 소자 외부로부터의 수분 및 산소 침투가 현저하게 억제되기 때문에, 종래에 비해서 수명이 더욱 향상된 유기 전계 발광 디스플레이 장치 및 이의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent display device and a method for manufacturing the same, and more particularly, to include a multilayer thin film including an inorganic protective layer, a moisture absorbing layer, an oxygen absorbing layer, and an inorganic protective layer. And an organic electroluminescent display device and a method of manufacturing the same, which have a longer lifespan than the related art because oxygen penetration is significantly suppressed.

액정 디스플레이 소자나 유기 전계 발광 디스플레이 소자 또는 무기 전계 발광 디스플레이 소자 등 평판 디스플레이 장치는 그 구동방식에 따라, 수동 구동방식의 패시브 매트릭스(Passive Matrix: PM)형과, 능동 구동방식의 액티브 매트릭스(Active Matrix: AM)형으로 구분된다. 상기 패시브 매트릭스형은 단순히 애노드와 캐소드가 각각 컬럼(column)과 로우(row)로 배열되어 캐소드에는 로우 구동회로로부터 스캐닝 신호가 공급되고, 이 때, 복수의 로우 중 하나의 로우만이 선택된다. 또한, 컬럼 구동회로에는 각 화소로 데이터 신호가 입력된다. 한편, 상기 액티브 매트릭스형은 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor, TFT)를 이용해 각 화소 당 입력되는 신호를 제어하는 것으로 방대한 양의 신호를 처리하기에 적합하여 동영상을 구현하기 위한 디스플레이 장치로서 많이 사용되고 있다.A flat panel display device such as a liquid crystal display device, an organic electroluminescent display device, or an inorganic electroluminescent display device has a passive matrix passive matrix type (PM) type and an active drive active matrix type depending on the driving method thereof. : AM) type. In the passive matrix type, the anode and the cathode are simply arranged in columns and rows, respectively, so that the cathode is supplied with a scanning signal from a row driving circuit. At this time, only one row of the plurality of rows is selected. In addition, a data signal is input to each pixel in the column driving circuit. On the other hand, the active matrix type is a thin film transistor (TFT) to control the input signal for each pixel is suitable for processing a large amount of signals are used as a display device for implementing a video.

한편, 상기 평판 디스플레이 장치 중 유기 전계 발광 디스플레이 장치는 애노우드 전극과 캐소오드 전극의 사이에 유기물로 이루어진 유기 발광층을 갖는다. 이 유기 전계 발광 디스플레이 장치는 이들 전극들에 애노드 및 캐소드 전압이 각각 인가됨에 따라 애노우드 전극으로부터 주입된 정공(hole)이 정공 수송층을 경유하여 유기 발광층으로 이동되고, 전자는 캐소오드 전극으로부터 전자 수송층을 경 유하여 유기 발광층으로 주입되어, 이 유기 발광층에서 전자와 홀이 재결합하여 여기자(exiton)를 생성하고, 이 여기자가 여기상태에서 기저상태로 변화됨에 따라, 유기 발광층의 형광성 분자가 발광함으로써 화상을 형성한다. 풀컬러 유기 전계 발광 디스플레이 장치의 경우에는 상기 유기 전계 발광 소자로서 적(R), 녹(G), 청(B)의 삼색을 발광하는 화소를 구비토록 함으로써 풀컬러를 구현한다.On the other hand, the organic electroluminescent display device of the flat panel display device has an organic light emitting layer made of an organic material between the anode electrode and the cathode electrode. In the organic electroluminescent display device, as the anode and cathode voltages are applied to these electrodes, holes injected from the anode are moved to the organic light emitting layer via the hole transport layer, and electrons are transferred from the cathode electrode to the electron transport layer. Injected into the organic light emitting layer via electrons and holes in the organic light emitting layer to recombine to generate excitons, and as the excitons change from the excited state to the ground state, the fluorescent molecules of the organic light emitting layer emit light To form. In the full-color organic electroluminescent display device, full color is realized by including pixels emitting three colors of red (R), green (G), and blue (B) as the organic electroluminescent element.

일반적으로, 유기 전계 발광 소자는 수분 및 산소에 의해서 열화되는 특성을 지니고 있으며, 따라서 수분 및 산소의 침투를 방지하기 위한 봉지 구조를 필요로 한다.In general, the organic electroluminescent device has a property deteriorated by moisture and oxygen, and thus requires an encapsulation structure for preventing the penetration of moisture and oxygen.

종래에는 금속캔이나 글라스를 홈을 가지도록 캡 형태로 가공하여 그 홈에 수분의 흡수를 위한 건습제를 파우더 형태로 탑재하거나, 필름 형태로 제조하여 양면 테이프를 이용하여 접착하는 방식을 이용하였다. 또한, 유기 전계 발광부 상부에 유기물 및 무기물을 교대로 증착하여 보호층을 형성하는 방법도 이용되었다.Conventionally, a metal can or glass is processed in a cap form to have a groove and a desiccant for absorbing moisture in the groove is mounted in powder form, or manufactured in a film form and adhered using a double-sided tape. In addition, a method of forming a protective layer by alternately depositing an organic material and an inorganic material on the organic electroluminescent portion is also used.

상기 종래기술 중 건습제를 탑재하는 방식은 공정이 복잡하여 재료 및 공정 단가를 상승시키고, 전체적인 기판의 두께가 두꺼워지면서 봉지에 이용되는 기판이 투명하지 않아서 전면 발광 또는 양면 발광에 이용될 수 없다는 문제점이 있었다. 더욱이, 금속 캔을 이용하는 경우에는 구조적으로 견고하지만, 에칭된 글라스를 이용하는 경우에는 구조적으로 취약하여 외부 충격에 의해서 쉽게 손상된다는 문제점도 있었다. 또한, 필름 형태로 봉지하는 경우에도, 수분의 침투를 방지하는데 한계가 있고, 제조공정 또는 사용 중에 찍히는 경우에는 파손의 우려가 있어서, 내구성과 신뢰성이 높지 못하므로 실제 양산에 적용되기에는 무리가 있었다.The method of mounting the desiccant in the prior art increases the material and the cost of the process because the process is complicated, and the thickness of the entire substrate becomes thick, so that the substrate used for encapsulation is not transparent and cannot be used for front emission or double-sided emission. There was this. Furthermore, there is a problem in that the metal cans are structurally robust, but in the case of using the etched glass, they are structurally fragile and easily damaged by external impact. In addition, even in the case of encapsulation in the form of a film, there is a limit to preventing the penetration of water, and if it is taken during the manufacturing process or use, there is a risk of damage, it is difficult to be applied to the actual mass production because the durability and reliability is not high. .

한편, 유기 전계 발광부 상부에 유기물 및 무기물을 교대로 증착하여 보호층을 형성하는 방법의 경우에도 유기물 함유층의 투습도 및 투기도가 지나치게 커서 보호층으로서의 전체적인 배리어 특성이 저하된다는 문제점이 있었다.On the other hand, the method of forming a protective layer by alternately depositing an organic material and an inorganic material on the organic electroluminescent part has a problem that the overall barrier property as a protective layer is lowered because the moisture permeability and the air permeability of the organic material-containing layer are too large.

본 발명은 상기한 문제점을 해소하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 유기 전계 발광 디스플레이 장치에서 산소 및 수분의 침투를 어느 정도 억제할 수 있어 보다 장수명을 유지하고, 개선된 화면 품질을 유지하기 위한 구조의 유기 전계 발광 디스플레이 장치 및 이의 제조방법을 제공하는 것이다.The present invention is to solve the above problems, an object of the present invention is to suppress the penetration of oxygen and moisture in the organic electroluminescent display device to some extent to maintain a longer life, and to maintain an improved screen quality An organic electroluminescent display device and a method of manufacturing the same are provided.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, In order to achieve the above object, the present invention,

기판;Board;

상기 기판의 일면에 형성되고, 제1전극, 유기막 및 제2전극이 순차적으로 적층되어 이루어진 유기 전계 발광부; 및An organic electroluminescent unit formed on one surface of the substrate and having a first electrode, an organic layer, and a second electrode sequentially stacked; And

상기 유기 전계 발광부의 제2전극 상부에 적층되고, 무기 보호층, 수분 흡수층, 산소 흡수층 및 무기 보호층을 포함하는 다층 박막을 구비한 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 디스플레이 장치를 제공한다.The organic electroluminescent display device is stacked on the second electrode of the organic light emitting unit and includes a multilayer thin film including an inorganic protective layer, a moisture absorbing layer, an oxygen absorbing layer, and an inorganic protective layer.

본 발명의 유기 전계 발광 디스플레이 장치에 따르면, 상기 수분 흡수층은 리튬(Li), 나트륨(Na), 칼륨(K), 바륨(Ba), 칼슘(Ca), 마그네슘(Mg), 코발트(Co), 갈륨(Ga), 티탄(Ti), 니켈(Ni), 스트론튬(Sr), 이트륨(Y), 구리(Cu), 세슘(Cs), 탄탈륨(Ta), 니오브(Nb), 셀륨(Ce), 셀렌(Se), 및 바나듐(V)으로 이루어진 군으로부 터 선택된 하나 이상의 금속 분말의 산화물일 수도 있다.According to the organic electroluminescent display device of the present invention, the moisture absorbing layer is lithium (Li), sodium (Na), potassium (K), barium (Ba), calcium (Ca), magnesium (Mg), cobalt (Co), Gallium (Ga), Titanium (Ti), Nickel (Ni), Strontium (Sr), Yttrium (Y), Copper (Cu), Cesium (Cs), Tantalum (Ta), Niobium (Nb), Cerium (Ce), It may be an oxide of at least one metal powder selected from the group consisting of selenium (Se) and vanadium (V).

본 발명의 유기 전계 발광 디스플레이 장치에 따르면, 상기 산소 흡수층은 코발트계 금속 화합물일 수 있다.According to the organic electroluminescent display device of the present invention, the oxygen absorbing layer may be a cobalt-based metal compound.

본 발명의 유기 전계 발광 디스플레이 장치에 따르면, 상기 코발트계 금속 화합물은 코발트(II) 메소-테트라페닐포르피린(cobalt(II)meso-tetraphenylporphrin)일 수 있다.According to the organic electroluminescent display device of the present invention, the cobalt-based metal compound may be cobalt (II) meso-tetraphenylporphrin.

본 발명의 유기 전계 발광 디스플레이 장치에 따르면, 상기 다층 박막은 상기 유기 전계 발광부의 상부에 복수회 반복될 수도 있다.According to the organic electroluminescent display device of the present invention, the multilayer thin film may be repeated a plurality of times on the organic electroluminescent portion.

본 발명의 유기 전계 발광 디스플레이 장치에 따르면, 상기 수분 흡수층 및 산소 흡수층의 두께는 1 내지 1000 nm일 수 있다.According to the organic electroluminescent display device of the present invention, the thickness of the moisture absorbing layer and the oxygen absorbing layer may be 1 to 1000 nm.

본 발명의 유기 전계 발광 디스플레이 장치에 따르면, 상기 무기 보호층은 실리콘 질화물, 알루미늄 질화물, 지르코늄 질화물, 티타늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈륨 질화물, 실리콘 산화물, 알루미늄 산화물, 티타늄 산화물, 주석 산화물, 세륨 산화물 및 실리콘 산화질화물 (SiON)로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질을 포함할 수 있다.According to the organic electroluminescent display device of the present invention, the inorganic protective layer is silicon nitride, aluminum nitride, zirconium nitride, titanium nitride, hafnium nitride, tantalum nitride, silicon oxide, aluminum oxide, titanium oxide, tin oxide, cerium oxide and silicon. It may comprise one or more materials selected from the group consisting of oxynitrides (SiON).

상기의 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은,In order to achieve the above another object, the present invention,

제1전극, 유기막, 및 제2전극이 순차적으로 적층되어 이루어진 유기 전계 발광부가 형성된 기판을 제조하는 단계; 및 상기 유기 전계 발광부의 제2전극 상부에, 무기 보호층, 수분 흡수층, 산소 흡수층 및 무기 보호층을 포함하는 다층 박막을 적층시키는 단계를 포함하는 유기 전계 발광 디스플레이 장치의 제조방법을 제 공한다.Manufacturing a substrate on which an organic electroluminescent unit is formed by sequentially stacking a first electrode, an organic layer, and a second electrode; And depositing a multilayer thin film including an inorganic protective layer, a moisture absorbing layer, an oxygen absorbing layer, and an inorganic protective layer on the second electrode of the organic electroluminescent unit.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1에는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막형 유기 전계 발광 디스플레이 장치가 개략적으로 도시되어 있다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 디스플레이 장치는 투명한 글라스 기판 또는 플라스틱 기판(1) 상에 유기 전계 발광 소자를 포함하는 유기 전계 발광부(2)가 형성되고, 이 유기 전계 발광부(2) 상부에 보호층(3)이 형성된다.1 schematically shows a thin film organic electroluminescent display device according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, in the organic electroluminescent display device according to an exemplary embodiment of the present invention, an organic electroluminescent unit 2 including an organic electroluminescent element is formed on a transparent glass substrate or a plastic substrate 1, The protective layer 3 is formed on this organic electroluminescent part 2.

도 2에는 본 발명에 따른 유기 전계 발광 디스플레이 장치의 개략적인 구조가 도시되어 있다. 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 유기 전계 발광 디스플레이 장치는 기판 (1), 상기 기판 (1)의 일면에 형성되고, 제1전극, 유기막 및 제2전극이 순차적으로 적층되어 이루어진 유기 전계 발광부 (2), 및 상기 유기 전계 발광부 (2)의 제2전극 상부에, 무기 보호층(31), 수분 흡수층 (32), 산소 흡수층 (33), 및 무기 보호층 (31')을 포함하는 다층 박막이 적층된 구조를 포함한다. 도 2에는 제2전극 상부에 무기 보호층(31), 수분 흡수층 (32), 산소 흡수층 (33), 및 무기 보호층(31')의 순서로 적층되어 있으나, 적층순서가 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서 무기 보호층이 먼저 적층되고, 수분 흡수층, 산소 흡수층이 적층될 수 있고, 또한 수분 흡수층과 산소 흡수층의 사이에 무기 보호층이 적층되어도 무방하다.2 shows a schematic structure of an organic electroluminescent display device according to the present invention. Referring to FIG. 2, an organic electroluminescent display device according to the present invention is formed on a substrate 1, one surface of the substrate 1, and an organic field in which a first electrode, an organic layer, and a second electrode are sequentially stacked. The inorganic protective layer 31, the moisture absorbing layer 32, the oxygen absorbing layer 33, and the inorganic protective layer 31 'are disposed on the light emitting portion 2 and the second electrode of the organic electroluminescent portion 2 above. It includes a structure in which a multilayer film including the stacked. In FIG. 2, an inorganic protective layer 31, a moisture absorbing layer 32, an oxygen absorbing layer 33, and an inorganic protective layer 31 ′ are stacked on the second electrode, but the stacking order is not limited thereto. . Therefore, an inorganic protective layer may be laminated first, a moisture absorbing layer and an oxygen absorbing layer may be laminated, and an inorganic protective layer may be laminated between the moisture absorbing layer and the oxygen absorbing layer.

본 발명에 따른 유기 전계 발광 디스플레이 장치는 수분 흡수층 및 산소 흡수층을 포함한다. 유기 보호층 및 무기 보호층을 교대로 형성하더라도 유/무기 복 합층과 제2전극 간의 계면, 유기 보호층의 핀 홀 (pin hole), 무기 보호층의 미세 크랙 (crack) 등이 침투한 외부 수분이나 산소의 통로 역할을 하게 된다. 따라서, 본 발명에서는 무기 보호층과 함께 수분 흡수층 및 산소 흡수층을 적층하여 개선된 수준의 수분 및 산소의 차단 효과를 거둘 수 있도록 한 것이다.The organic electroluminescent display device according to the present invention includes a moisture absorbing layer and an oxygen absorbing layer. Even though the organic protective layer and the inorganic protective layer are alternately formed, external moisture penetrated by the interface between the organic / inorganic composite layer and the second electrode, the pin hole of the organic protective layer, and the fine crack of the inorganic protective layer. It also acts as a passage for oxygen. Therefore, in the present invention, the moisture absorbing layer and the oxygen absorbing layer are laminated together with the inorganic protective layer to achieve an improved level of blocking effect of water and oxygen.

이와 같이 수분 흡수층 및 산소 흡수층을 첨가함으로써 수분이나 산소의 침투를 억제할 수 있고, 디스플레이 장치의 수명을 연장할 수 있다. 또한 첨가되는 수분 흡수층과 산소 흡수층의 두께 및 흡수 물질의 함량 등을 적절하게 조절함으로써 디스플레이 장치가 사용되는 환경에 적합하도록 수분 및 산소의 침투를 제어할 수 있다.By adding the moisture absorbing layer and the oxygen absorbing layer in this way, the penetration of moisture and oxygen can be suppressed, and the life of the display device can be extended. In addition, it is possible to control the penetration of moisture and oxygen to suit the environment in which the display apparatus is used by appropriately adjusting the thickness of the moisture absorbing layer and the oxygen absorbing layer to be added and the content of the absorbing material.

수분 흡수층은 이에 한정되는 것은 아니지만, 리튬(Li), 나트륨(Na), 칼륨(K), 바륨(Ba), 칼슘(Ca), 마그네슘(Mg), 코발트(Co), 갈륨(Ga), 티탄(Ti), 니켈(Ni), 스트론튬(Sr), 이트륨(Y), 구리(Cu), 세슘(Cs), 탄탈륨(Ta), 니오브(Nb), 셀륨(Ce), 셀렌(Se), 및 바나듐(V)으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속 분말의 산화물을 포함하는 것이 바람직하다.The moisture absorbing layer is not limited thereto, but lithium (Li), sodium (Na), potassium (K), barium (Ba), calcium (Ca), magnesium (Mg), cobalt (Co), gallium (Ga) and titanium (Ti), nickel (Ni), strontium (Sr), yttrium (Y), copper (Cu), cesium (Cs), tantalum (Ta), niobium (Nb), selium (Ce), selenium (Se), and It is preferable to include an oxide of at least one metal powder selected from the group consisting of vanadium (V).

상기 금속 분말의 산화물은 수분과 반응하여 금속-산소-금속 결합이 파괴되어 수산화금속을 형성하며, 이러한 과정를 통하여 수분을 제거하게 되며 금속염의 경우 중심 금속의 채워지지 않는 배위자리에 수분이 배위하여 안정한 화합을 형성하는 과정을 통하여 수분을 제거하게 된다.The oxide of the metal powder reacts with water to break metal-oxygen-metal bonds to form metal hydroxides, and removes water through this process, and in the case of metal salts, water is coordinated to unfilled coordination sites of the central metal to stabilize it. Water is removed through the process of forming a compound.

산소 흡수층은 코발트계 금속 화합물을 포함할 수 있고, 상기 코발트계 금속 화합물은 코발트(II) 메소-테트라페닐포르피린(cobalt(II)meso- tetraphenylporphrin)인 것이 바람직하다. The oxygen absorbing layer may include a cobalt-based metal compound, and the cobalt-based metal compound is cobalt (II) meso-tetraphenylporphyrin (cobalt (II) meso-tetraphenylporphrin).

다층 박막은 상기 유기 전계 발광부의 상부에 복수회 반복될 수 있다. 본 발명에 따른 무기 보호층, 수분 흡수층, 산소 흡수층, 및 무기 보호층의 박막은 여러 페어(pair)로 반복될 수 있으며, 유기 보호층 및 무기 보호층만을 갖는 디스플레이 장치와 비교하여 산소 흡수층 및 수분 흡수층을 구비함으로써 적은 페어 수로 우수한 봉지 효과를 얻을 수 있다. 또한 공정을 단순화할 수 있으며 비용절감 효과를 얻을 수 있다. The multilayer thin film may be repeated a plurality of times on the organic electroluminescent portion. The inorganic protective layer, the moisture absorbing layer, the oxygen absorbing layer, and the thin film of the inorganic protective layer according to the present invention can be repeated in various pairs, and the oxygen absorbing layer and the moisture in comparison with the display device having only the organic protective layer and the inorganic protective layer. By providing an absorbing layer, an excellent sealing effect can be obtained with a small number of pairs. It can also simplify the process and reduce costs.

본 발명의 유기 전계 발광 디스플레이 장치에 따르면, 상기 수분 흡수층 및 산소 흡수층의 두께는 1 내지 10 nm인 것이 바람직하다. 수분 흡수층 및 산소 흡수층의 두께가 1nm 미만인 경우에는 수분 또는 산소 흡수의 효과가 미미하여 바람직하지 못하고, 1000nm를 초과하는 경우에는 전체 보호층이 너무 두꺼워지기 때문에 광투과율이 저하되어 바람직하지 못하다.According to the organic electroluminescent display device of the present invention, the thickness of the moisture absorbing layer and the oxygen absorbing layer is preferably 1 to 10 nm. If the thickness of the moisture absorbing layer and the oxygen absorbing layer is less than 1 nm, the effect of water or oxygen absorption is insignificant and undesirable. If the thickness of the moisture absorbing layer and the oxygen absorbing layer is less than 1 nm, the light transmittance is not preferable because the entire protective layer becomes too thick.

본 발명의 유기 전계 발광 디스플레이 장치에 사용되는 무기 보호층은 실리콘 질화물, 알루미늄 질화물, 지르코늄 질화물, 티타늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈륨 질화물, 실리콘 산화물, 알루미늄 산화물, 티타늄 산화물, 주석 산화물, 세륨 산화물 및 실리콘 산화질화물 (SiON)로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는 것이 바람직하다.Inorganic protective layers used in the organic electroluminescent display device of the present invention are silicon nitride, aluminum nitride, zirconium nitride, titanium nitride, hafnium nitride, tantalum nitride, silicon oxide, aluminum oxide, titanium oxide, tin oxide, cerium oxide and silicon oxide. It is preferable to include at least one material selected from the group consisting of nitrides (SiON).

본 발명의 다른 일 구현예에 있어서, 제1전극, 유기막, 및 제2전극이 순차적으로 적층되어 이루어진 유기 전계 발광부가 형성된 기판을 제조하는 단계; 및 상기 유기 전계 발광부의 제2전극 상부에, 무기 보호층, 수분 흡수층, 산소 흡수층 및 무기 보호층을 포함하는 다층 박막을 적층시키는 단계를 포함하는 유기 전계 발광 디스플레이 장치의 제조방법을 제공한다.According to another embodiment of the present invention, a method of manufacturing a substrate including an organic electroluminescent unit including a first electrode, an organic layer, and a second electrode sequentially stacked; And laminating a multilayer thin film including an inorganic protective layer, a moisture absorbing layer, an oxygen absorbing layer, and an inorganic protective layer on the second electrode of the organic electroluminescent unit.

본 발명에 따른 유기 전계 발광 디스플레이 장치의 제조방법은 하기 단계에 의해서 수행된다.The manufacturing method of the organic electroluminescent display device according to the present invention is performed by the following steps.

먼저, 제1전극, 유기막, 및 제2전극이 순차적으로 적층되어 이루어진 유기 전계 발광부가 형성된 기판을 준비한다. 이어서, 상기 기판의 제2전극 상에 무기 보호층, 수분 흡수층, 산소 흡수층, 및 무기 보호층을 포함하는 다층 박막을 적층시킨다.First, a substrate on which an organic electroluminescent part formed by sequentially stacking a first electrode, an organic film, and a second electrode is prepared. Subsequently, a multilayer thin film including an inorganic protective layer, a moisture absorbing layer, an oxygen absorbing layer, and an inorganic protective layer is laminated on the second electrode of the substrate.

수분 흡수층은 리튬(Li), 나트륨(Na), 칼륨(K), 바륨(Ba), 칼슘(Ca), 마그네슘(Mg), 코발트(Co), 갈륨(Ga), 티탄(Ti), 니켈(Ni), 스트론튬(Sr), 이트륨(Y), 구리(Cu), 세슘(Cs), 탄탈륨(Ta), 니오브(Nb), 셀륨(Ce), 셀렌(Se), 및 바나듐(V)으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속 분말, 바람직하게는 칼슘, 마그네슘 분말을 증착원으로 사용하여 산소 기체 분위기 하에서 증착시킴으로써 형성될 수 있다.The water absorption layer is lithium (Li), sodium (Na), potassium (K), barium (Ba), calcium (Ca), magnesium (Mg), cobalt (Co), gallium (Ga), titanium (Ti), nickel ( Ni, strontium (Sr), yttrium (Y), copper (Cu), cesium (Cs), tantalum (Ta), niobium (Nb), selium (Ce), selenium (Se), and vanadium (V) It may be formed by depositing under an oxygen gas atmosphere using at least one metal powder selected from the group, preferably calcium and magnesium powder, as the deposition source.

산소 흡수층도 코발트계 화합물, 바람직하게는 코발트(II) 메소-테트라페닐포르피린(cobalt(II)meso-tetraphenylporphrin)을 증착원으로 사용하여 진공 증착시킴으로써 형성될 수 있다. The oxygen absorbing layer may also be formed by vacuum deposition using a cobalt-based compound, preferably cobalt (II) meso-tetraphenylporphrin, as a deposition source.

제2전극 상에 무기 보호층, 수분 흡수층 및 산소 흡수층을 적층한 후에는 수분 흡수층 및 산소 흡수층의 상부에 무기물을 이용하여 무기 보호층을 적층하고, 다시 그 위에 수분 흡수층 및 산소 흡수층을 재차 적층하는 과정을 반복하여 유기 전계 발광 디스플레이 장치를 완성할 수 있다. After laminating the inorganic protective layer, the moisture absorbing layer, and the oxygen absorbing layer on the second electrode, the inorganic protective layer is laminated using the inorganic material on the moisture absorbing layer and the oxygen absorbing layer, and the moisture absorbing layer and the oxygen absorbing layer are again stacked thereon. The process may be repeated to complete the organic electroluminescent display device.

상기 무기 보호층을 적층하는 방법은, 이에 제한되는 것은 아니지만, 스퍼터링, 화학기상증착법 (CVD), E-빔 (e-beam) 열증착법, 및 열적 이온 빔 보조증착법 (thermal ion beam assited deposition) 등과 같은 진공 성막법이 사용될 수 있으며, 상기 CVD 방법으로는 IPC-CVD (Induced Coupled Plasma-Chemical Vapor Deposition), CCP (Capacitively Coupled Plasma)-CVD, SWP (Surface Wave Plasma)-CVD 방법 등이 사용될 수 있다. The method of stacking the inorganic protective layer may include, but is not limited to, sputtering, chemical vapor deposition (CVD), e-beam thermal evaporation, thermal ion beam assited deposition, and the like. The same vacuum deposition method may be used, and as the CVD method, IPC-CVD (Induced Coupled Plasma-Chemical Vapor Deposition), CCP (Capacitively Coupled Plasma) -CVD, SWP (Surface Wave Plasma) -CVD, etc. may be used. .

이어서, 상기 수분 흡수층 및 산소 흡수층 상에 무기 보호층을 적층하는 과정을 반복하여 유기 전계 발광 디스플레이 장치를 완성한다. Subsequently, the process of laminating an inorganic protective layer on the moisture absorbing layer and the oxygen absorbing layer is repeated to complete the organic electroluminescent display device.

한편, 상기 유기 전계 발광부는 유기 전계 발광 소자를 포함하는 것으로 소정의 화상을 구현하는 영역이 된다. 이러한 유기 전계 발광부에 구비되는 유기 전계 발광 소자는 다양한 형태의 것이 적용될 수 있는 데, 즉, 단순 매트릭스 타입의 수동 구동형(Passive Matrix: PM) 유기 전계 발광 소자이건, 박막 트랜지스터층을 구비한 능동 구동형(Active Matrix: AM) 유기 전계 발광 소자이건 모두 적용될 수 있다.On the other hand, the organic electroluminescent unit includes an organic electroluminescent element and becomes an area for implementing a predetermined image. Various types of organic electroluminescent devices provided in the organic electroluminescent unit may be applied, that is, a passive matrix (PM) organic electroluminescent device of a simple matrix type, or an active device having a thin film transistor layer. Both active matrix (AM) organic electroluminescent devices can be applied.

도 3에는 수동 구동형(PM type) 유기 전계 발광 소자(OLED)의 일 예를 도시한 것으로, 글라스 기판(1) 상에 제 1 전극층(21)이 스트라이프 패턴으로 형성되고, 이 제 1 전극층(21)의 상부로 유기층(23) 및 제 2 전극층(24)이 순차로 형성된다. 상기 제 1 전극층(21)의 각 라인 사이에는 절연층(22)이 더 개재될 수 있으며, 상기 제 2 전극층(24)은 상기 제 1 전극층(21)의 패턴과 직교하는 패턴으로 형성될 수 있다.3 illustrates an example of a passive type (PM type) organic electroluminescent device (OLED). The first electrode layer 21 is formed in a stripe pattern on the glass substrate 1, and the first electrode layer ( The organic layer 23 and the second electrode layer 24 are sequentially formed on the top of 21. An insulating layer 22 may be further interposed between the lines of the first electrode layer 21, and the second electrode layer 24 may be formed in a pattern orthogonal to the pattern of the first electrode layer 21. .

상기 유기층(23)은 저분자 또는 고분자 유기층이 사용될 수 있다. 저분자 유기층을 사용할 경우 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer), 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer), 유기 발광층(EML: Emission Layer), 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer), 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer) 등이 단일 혹은 복합의 구조로 적층되어 형성될 수 있으며, 사용 가능한 유기 재료도 구리 프탈로시아닌(CuPc: copper phthalocyanine), N,N-디(나프탈렌-1-일)-N,N'-디페닐-벤지딘 (N,N'-Di(naphthalene-1-yl)-N,N'-diphenyl-benzidine: NPB) , 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(tris-8-hydroxyquinoline aluminum)(Alq3) 등을 비롯해 다양하게 적용 가능하다. 이들 저분자 유기층은 진공증착의 방법으로 형성될 수 있다.The organic layer 23 may be a low molecular or high molecular organic layer. When using a low molecular organic layer, a hole injection layer (HIL), a hole transport layer (HTL), an emission layer (EML), an electron transport layer (ETL), an electron injection layer (EIL) : Electron Injection Layer) can be formed by stacking single or complex structure, and usable organic materials are copper phthalocyanine (CuPc), N, N-di (naphthalen-1-yl) -N, N '-Diphenyl-benzidine (N, N'-Di (naphthalene-1-yl) -N, N'-diphenyl-benzidine: NPB), tris-8-hydroxyquinoline aluminum ( Alq 3 ), etc. can be applied in various ways. These low molecular weight organic layers can be formed by vacuum deposition.

고분자 유기층의 경우에는 대개 홀 수송층(HTL) 및 발광층(EML)으로 구비된 구조를 가질 수 있으며, 이 때, 상기 홀 수송층으로 PEDOT를 사용하고, 발광층으로 PPV(Poly-Phenylenevinylene)계 및 폴리플루오렌(Polyfluorene)계 등 고분자 유기물질을 사용하며, 이를 스크린 인쇄나 잉크젯 인쇄방법 등으로 형성할 수 있다.In the case of the polymer organic layer, the structure may include a hole transporting layer (HTL) and a light emitting layer (EML). In this case, PEDOT is used as the hole transporting layer, and polyvinylvinylene (PPV) and polyfluorene are used as the light emitting layer. Polymer organic materials such as (Polyfluorene) are used and can be formed by screen printing or inkjet printing.

상기 제 1 전극층(21)은 애노우드 전극의 기능을 하고, 상기 제 2 전극층(24)은 캐소오드 전극의 기능을 한다. 물론, 이들 제 1 전극층(21)과 제 2 전극층(24)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.The first electrode layer 21 functions as an anode electrode, and the second electrode layer 24 functions as a cathode electrode. Of course, the polarity of the first electrode layer 21 and the second electrode layer 24 may be reversed.

배면 발광형일 경우, 상기 제 1 전극층(21)은 투명 전극인 ITO로 구비될 수 있다. 전면 발명형일 경우, 상기 제 2 전극층(24)이 투명 전극으로 구비될 수 있 다. 이 때, 상기 제 2 전극층(24)은 Mg-Ag 등의 금속에 의해 얇은 반투과성 박막을 형성한 후, 그 위로 투명한 ITO를 증착하여 형성할 수 있다.In the case of the bottom emission type, the first electrode layer 21 may be formed of ITO which is a transparent electrode. In the case of the front-side invention type, the second electrode layer 24 may be provided as a transparent electrode. In this case, the second electrode layer 24 may be formed by forming a thin semi-permeable thin film made of metal such as Mg-Ag, and then depositing transparent ITO thereon.

도 4에는 능동 구동형(AM type) 유기 전계 발광 소자(OLED)의 일 예를 도시하였다. 도 1에서 유기 전계 발광부(2)의 각 화소들은 도 4에서 볼 수 있는 바와 같은 TFT 구조와 자발광 소자인 EL소자(OLED)를 갖는다. 4 illustrates an example of an AM type organic light emitting diode (OLED). Each pixel of the organic electroluminescent unit 2 in FIG. 1 has a TFT structure as shown in FIG. 4 and an EL element OLED which is a self-luminous element.

상기 TFT는 반드시 도 4에 도시된 구조로만 가능한 것은 아니며, 그 수와 구조는 다양하게 변형 가능하다. 이러한 능동 구동형 유기 전계 발광 소자를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.The TFT is not necessarily possible with the structure shown in FIG. 4, and the number and structure can be variously modified. The active driving organic electroluminescent device will be described in more detail as follows.

도 4에서 볼 수 있듯이, 글라스 기판(1)상에 SiO2 등으로 버퍼층(11)이 형성되어 있고, 이 버퍼층(11) 상부로 전술한 TFT가 구비된다. 상기 TFT는 버퍼층(11) 상에 형성된 활성층(12)과, 이 활성층(12)의 상부에 형성된 게이트 절연막(13)과, 게이트 절연막(13) 상부의 게이트 전극(14)을 갖는다. As can be seen in FIG. 4, the buffer layer 11 is formed on SiO 2 or the like on the glass substrate 1, and the above-described TFT is provided on the buffer layer 11 above. The TFT has an active layer 12 formed on the buffer layer 11, a gate insulating film 13 formed on the active layer 12, and a gate electrode 14 on the gate insulating film 13.

상기 활성층(12)은 비정질 실리콘 박막 또는 다결정질 실리콘 박막으로 형성될 수 있다. 이 반도체 활성층은 N형 또는 P형 불순물이 고농도로 도핑된 소스 및 드레인 영역을 갖는다.The active layer 12 may be formed of an amorphous silicon thin film or a polycrystalline silicon thin film. This semiconductor active layer has source and drain regions doped with N-type or P-type impurities at a high concentration.

상기 활성층(12)의 상부에는 SiO2 등에 의해 게이트 절연막(13)이 구비되고, 게이트 절연막(13) 상부의 소정 영역에는 MoW, Al/Cu 등의 도전막으로 게이트 전극(14)이 형성된다. 상기 게이트 전극(14)은 TFT 온/오프 신호를 인가하는 게이트 라인과 연결되어 있다. 그리고, 상기 게이트 전극(14)이 형성되는 영역은 활성층(12) 의 채널 영역에 대응된다.The gate insulating layer 13 is provided on the active layer 12 by SiO 2 or the like, and the gate electrode 14 is formed on the predetermined region above the gate insulating layer 13 by a conductive film such as MoW or Al / Cu. The gate electrode 14 is connected to a gate line for applying a TFT on / off signal. The region where the gate electrode 14 is formed corresponds to the channel region of the active layer 12.

상기 게이트 전극(12)의 상부로는 층간 절연막(inter-insulator:15)이 형성되고, 컨택 홀을 통해 소스 전극(16)과 드레인 전극(17)이 각각 활성층(12)의 소스 영역 및 드레인 영역에 접하도록 형성된다.An inter-insulator 15 is formed on the gate electrode 12, and the source and drain regions of the active layer 12 are connected to the source electrode 16 and the drain electrode 17 through contact holes. It is formed to be in contact with.

소스 및 드레인 전극(16)(17) 상부로는 SiO2 등으로 이루어진 패시베이션막(18)이 형성되고, 이 패시베이션 막(18)의 상부에는 아크릴, 폴리이미드 등에 의하여 평탄화막(19)이 형성될 수 있다.A passivation film 18 made of SiO 2 or the like is formed on the source and drain electrodes 16 and 17, and the planarization film 19 is formed on the passivation film 18 by acrylic, polyimide, or the like. Can be.

한편, 상기 드레인 전극(17)에 유기 전계 발광 소자(OLED)가 연결되는 데, 상기 유기 전계 발광 소자(OLED)의 애노우드 전극이 되는 제 1 전극층(21)에 연결된다. 상기 제 1 전극층(21)은 패시베이션 막(18)의 상부에 형성되어 있고, 그 상부로는 절연성 평탄화막(19)이 형성되어 있으며, 이 평탄화막(19)에 소정의 개구부를 형성한 후, 유기 전계 발광 소자(OLED)를 형성한다.Meanwhile, an organic light emitting diode OLED is connected to the drain electrode 17, and is connected to the first electrode layer 21 serving as an anode of the organic light emitting diode OLED. The first electrode layer 21 is formed on the passivation film 18, an insulating planarization film 19 is formed thereon, and after the predetermined openings are formed in the planarization film 19, An organic electroluminescent element (OLED) is formed.

상기 유기 전계 발광 소자(OLED)는 전류의 흐름에 따라 적, 녹, 청색의 빛을 발광하여 소정의 화상 정보를 표시하는 것으로, TFT의 드레인 전극(17)에 연결되어 이로부터 플러스 전원을 공급받는 제 1 전극층(21), 전체 화소를 덮도록 구비되어 마이너스 전원을 공급하는 제 2 전극층(24), 및 이들 제 1 전극층(21)과 제 2 전극층(24)의 사이에 배치되어 발광하는 유기층(23)으로 구성된다.The organic light emitting diode OLED displays predetermined image information by emitting red, green, and blue light according to the flow of current, and is connected to the drain electrode 17 of the TFT and receives positive power therefrom. The first electrode layer 21, the second electrode layer 24 provided to cover all the pixels to supply negative power, and an organic layer disposed between the first electrode layer 21 and the second electrode layer 24 to emit light ( 23).

상기 제 1 전극층(21)은 ITO 등의 투명 전극으로 형성될 수 있고, 제 2 전극층(24)은 글라스 기판(1)쪽으로 발광하는 배면발광형인 경우 Al/Ca 등으로 전면 증 착하여 형성하고, 밀봉부(3)쪽으로 발광하는 전면발광형인 경우에는 Mg-Ag 등의 금속에 의해 얇은 반투과성 박막을 형성한 후, 그 위로 투명한 ITO를 증착하여 형성할 수 있다. 상기 제 2 전극층(24)은 반드시 전면 증착될 필요는 없으며, 다양한 패턴으로 형성될 수 있음은 물론이다. 상기 제 1 전극층(21)과 제 2 전극층(24)은 서로 위치가 반대로 적층될 수도 있음은 전술한 바와 같다.The first electrode layer 21 may be formed of a transparent electrode such as ITO, and the second electrode layer 24 is formed by depositing the entire surface with Al / Ca or the like in the case of the bottom emission type emitting light toward the glass substrate 1, In the case of the front emission type emitting light toward the sealing part 3, a thin semi-permeable thin film may be formed of a metal such as Mg-Ag, and then transparent ITO may be deposited thereon. The second electrode layer 24 is not necessarily deposited on the entire surface, but may be formed in various patterns. As described above, the first electrode layer 21 and the second electrode layer 24 may be stacked opposite to each other.

상기한 실시예들은 본 발명을 설명하기 위한 일예들로서, 본 발명이 이에 한정되지는 않는다. 상기한 실시예들은 AM 구동형 유기 전계 발광 디스플레이 장치, 무기 전계 발광 디스플레이 장치 및 PM 구동형에도 적용될 수 있고, 전면 발광형 뿐만 아니라 양면 발광형에도 적용될 수 있는 등, 다양한 변형예를 도출할 수 있다. The above embodiments are examples for describing the present invention, but the present invention is not limited thereto. The above embodiments can be applied to an AM driven organic electroluminescent display device, an inorganic electroluminescent display device, and a PM driven type, and can be applied to not only a top emission type but also a double-sided emission type. .

이하, 본 발명을 하기 실시예를 통하여 더욱 상세하게 설명하기로 하되, 본 발명이 하기 실시예로만 제한되는 것으로 해석되어서는 아니될 것이다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the following examples, which should not be construed as being limited to the following examples.

실시예Example

실시예Example 1 One

제1전극, 유기막, 및 제2전극이 순차적으로 적층되어 이루어진 유기 전계 발광부가 형성된 기판을 제조하였다. 이어서, 상기 제2전극 상부에 무기 보호층으로서 150nm 두께의 실리콘 질화물을 진공증착시킨 후 마그네슘(Mg)을 산소 분위기 하에서 진공 증착하여 100nm 두께의 산화마그네슘(MgO) 수분 흡수층을 형성하였다. 이후 코발트(II) 메소-테트라페닐포르피린을 진공 증착하여 100nm 두께의 산소 흡수층을 형성하였다. 상기 수분 흡수층 및 산소 흡수층 상부에 무기 보호층으로서 50nm 두께의 실리콘 질화물을 진공증착시켜 제2전극/무기 보호층/수분 흡수층/산소 흡수층/무기 보호층이 순차적으로 적층된 봉지 기판을 제조하였다.A substrate on which an organic electroluminescent unit formed by sequentially stacking a first electrode, an organic film, and a second electrode was manufactured. Subsequently, 150 nm thick silicon nitride was vacuum-deposited as an inorganic protective layer on the second electrode, and magnesium (Mg) was vacuum deposited in an oxygen atmosphere to form a magnesium oxide (MgO) moisture absorbing layer having a thickness of 100 nm. Thereafter, cobalt (II) meso-tetraphenylporphyrin was vacuum deposited to form an oxygen absorbing layer having a thickness of 100 nm. A 50 nm thick silicon nitride was vacuum-deposited as an inorganic protective layer on the moisture absorbing layer and the oxygen absorbing layer to prepare an encapsulation substrate in which a second electrode, an inorganic protective layer, a moisture absorbing layer, an oxygen absorbing layer, and an inorganic protective layer were sequentially stacked.

실시예Example 2 2

제2전극 및 무기 보호층 사이에 산화마그네슘(MgO) 대신 산화칼슘(CaO)을 사용한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법에 의해서 유기 전계 발광 디스플레이 장치를 제조하였다.An organic electroluminescent display device was manufactured in the same manner as in Example 1, except that calcium oxide (CaO) was used instead of magnesium oxide (MgO) between the second electrode and the inorganic protective layer.

비교예Comparative example 1 One

제1전극, 유기막, 및 제2전극이 순차적으로 적층되어 이루어진 유기 전계 발광부가 형성된 기판을 제조하였다. 이어서, 상기 제2전극 상부에 무기 보호층으로서 150nm 두께의 실리콘 질화물을 진공증착시켰다. 상기 무기 보호층 상부에 아크릴 수지를 진공증착한 후 자외선 경화를 시켜 200nm 두께의 유기 보호층을 형성하였다. 상기 유기 보호층 상부에 무기 보호층으로서 50nm 두께의 실리콘 질화물을 진공증착시켜 제2전극/무기 보호층/유기 보호층/무기 보호층이 순차적으로 적층된 유기 전계 디스플레이 장치를 제조하였다.A substrate on which an organic electroluminescent unit formed by sequentially stacking a first electrode, an organic film, and a second electrode was manufactured. Subsequently, 150 nm thick silicon nitride was vacuum deposited on the second electrode as an inorganic protective layer. An acrylic resin was vacuum-deposited on the inorganic protective layer, followed by ultraviolet curing to form an organic protective layer having a thickness of 200 nm. A 50 nm-thick silicon nitride was vacuum-deposited as an inorganic protective layer on the organic protective layer, thereby manufacturing an organic field display device in which a second electrode, an inorganic protective layer, an organic protective layer, and an inorganic protective layer were sequentially stacked.

평가 및 결과Evaluation and Results

실시예 1, 실시예 2 및 비교예 1에 따라 제조된 유기 전계 발광 디스플레이 장치를 70℃의 온도, 90%의 상대습도 조건에 방치하였고, 암점의 크기에는 상관없이 암점의 발현 시점과 갯수로 가속수명을 측정하였다.The organic electroluminescent display device manufactured according to Example 1, Example 2 and Comparative Example 1 was left at a temperature of 70 ° C. and a relative humidity of 90%, and accelerated to the time and number of dark spots regardless of the size of dark spots. The lifetime was measured.

그 결과, 실시예 1 및 실시예 2에 따른 유기 전계 발광 디스플레이 장치는 150시간 후 암점 발현의 정도가 0-1개/mm2인 반면에, 비교예 1에 따른 유기 전계 발광 디스플레이 장치는 암점 발현의 정도가 100시간 후 0-1개/mm2이었고, 150시간 후 3-7개/mm2로서, 본 발명에 따른 유기 전계 발광 디스플레이 장치의 암점 발현의 정도 및 수분 및 산소 침투 억제 능력이 종래기술에 비해서 현저히 우수함을 알 수 있었다.As a result, the organic electroluminescent display device according to Example 1 and Example 2 had a degree of dark spot expression after 0 hours of 0-1 / mm 2 , whereas the organic electroluminescent display device according to Comparative Example 1 showed dark spot expression. It was of about 100 hours after a 0-1 / mm 2, a 3-7 / mm 2 after 150 hours, prior to which the present invention an organic light emitting display and the degree of moisture and oxygen permeation suppression of the dark spots of the device according to the expression It was found to be significantly superior to the technology.

상기한 바와 같은 본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the present invention as described above, the following effects can be obtained.

첫째, 유기 전계 발광 디스플레이 장치에 있어서 유기 발광 소자의 상부에 수분 흡수층, 산소 흡수층, 및 무기 보호층을 포함하는 다층 박막을 적층하여 상기 장치를 제조함으로써, 유기 보호층 및 무기 보호층을 단독으로 사용하였을 때에 비하여 더욱 개선된 수준의 수분 및 산소 차단효과를 얻을 수 있다.First, in the organic electroluminescent display device by manufacturing a multi-layered thin film comprising a moisture absorbing layer, an oxygen absorbing layer, and an inorganic protective layer on top of the organic light emitting device to manufacture the device, by using the organic protective layer and inorganic protective layer alone As compared to when it is possible to obtain a more improved level of water and oxygen blocking effect.

둘째, 수분 흡수층 및 산소 흡수층의 두께 등을 적절하게 조절함으로써 필요로 하는 환경에 맞도록 최적의 수분 및 산소의 침투효과를 제어할 수 있다.Second, by appropriately adjusting the thickness of the moisture absorbing layer and the oxygen absorbing layer, it is possible to control the optimum penetration effect of moisture and oxygen to suit the environment.

셋째, 종래의 유기 보호층 및 무기 보호층을 교대로 사용하는 봉지기술과 비교하여 보다 적은 페어(pair) 수의 다층 박막을 형성하더라도 우수한 봉지 효과를 얻을 수 있기 때문에 공정을 단순화할 수 있으며 비용절감 효과를 얻을 수 있다.Third, compared to the conventional encapsulation technique using an organic protective layer and an inorganic protective layer, even if a smaller number of pairs of thin films are formed, the excellent encapsulation effect can be obtained, thereby simplifying the process and reducing costs. The effect can be obtained.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the accompanying drawings, this is merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Could be. Therefore, the true scope of protection of the present invention should be defined only by the appended claims.

Claims (8)

기판;Board; 상기 기판의 일면에 형성되고, 제1전극, 유기막 및 제2전극이 순차적으로 적층되어 이루어진 유기 전계 발광부; 및An organic electroluminescent unit formed on one surface of the substrate and having a first electrode, an organic layer, and a second electrode sequentially stacked; And 상기 유기 전계 발광부의 제2전극 상부에 적층되고, 무기 보호층, 수분 흡수층, 산소 흡수층 및 무기 보호층이 순차적으로 적층된 다층 박막을 구비한 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 디스플레이 장치.And a multi-layered thin film laminated on the second electrode of the organic electroluminescent part and sequentially stacked with an inorganic protective layer, a moisture absorbing layer, an oxygen absorbing layer, and an inorganic protective layer. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 수분 흡수층은 리튬(Li), 나트륨(Na), 칼륨(K), 바륨(Ba), 칼슘(Ca), 마그네슘(Mg), 코발트(Co), 갈륨(Ga), 티탄(Ti), 니켈(Ni), 스트론튬(Sr), 이트륨(Y), 구리(Cu), 세슘(Cs), 탄탈륨(Ta), 니오브(Nb), 셀륨(Ce), 셀렌(Se), 및 바나듐(V)으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속 분말의 산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 디스플레이 장치.The moisture absorbing layer is lithium (Li), sodium (Na), potassium (K), barium (Ba), calcium (Ca), magnesium (Mg), cobalt (Co), gallium (Ga), titanium (Ti), nickel (Ni), strontium (Sr), yttrium (Y), copper (Cu), cesium (Cs), tantalum (Ta), niobium (Nb), selium (Ce), selenium (Se), and vanadium (V) An organic electroluminescent display device comprising an oxide of at least one metal powder selected from the group consisting of: 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 산소 흡수층은 코발트계 금속 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 디스플레이 장치. And the oxygen absorbing layer comprises a cobalt-based metal compound. 제3항에 있어서, 상기 코발트계 금속 화합물은 코발트(II) 메소-테트라페닐포르피린(cobalt(II)meso-tetraphenylporphrin)을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 디스플레이 장치.The organic electroluminescent display device of claim 3, wherein the cobalt-based metal compound comprises cobalt (II) meso-tetraphenylporphrin. 제1항에 있어서, 상기 다층 박막은 상기 유기 전계 발광부의 상부에 복수회 반복되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 디스플레이 장치.The organic electroluminescent display device according to claim 1, wherein the multilayer thin film is repeated a plurality of times on the organic electroluminescent portion. 제1항에 있어서, 상기 수분 흡수층의 두께는 1 내지 1000 nm인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 디스플레이 장치.The organic electroluminescent display device according to claim 1, wherein the moisture absorbing layer has a thickness of 1 to 1000 nm. 제1항에 있어서, 상기 무기 보호층이 실리콘 질화물, 알루미늄 질화물, 지르코늄 질화물, 티타늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈륨 질화물, 실리콘 산화물, 알루미늄 산화물, 티타늄 산화물, 주석 산화물, 세륨 산화물 및 실리콘 산화질화물 (SiON)로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 디스플레이 장치.The method of claim 1, wherein the inorganic protective layer is silicon nitride, aluminum nitride, zirconium nitride, titanium nitride, hafnium nitride, tantalum nitride, silicon oxide, aluminum oxide, titanium oxide, tin oxide, cerium oxide and silicon oxynitride (SiON) An organic electroluminescent display device comprising at least one material selected from the group consisting of. 제1전극, 유기막, 및 제2전극이 순차적으로 적층되어 이루어진 유기 전계 발광부가 형성된 기판을 제조하는 단계; 및 상기 유기 전계 발광부의 제2전극 상부에, 무기 보호층, 수분 흡수층, 산소 흡수층 및 무기 보호층이 순차적으로 적층된 다층 박막을 적층시키는 단계를 포함하는 유기 전계 발광 디스플레이 장치의 제조방법.Manufacturing a substrate on which an organic electroluminescent unit is formed by sequentially stacking a first electrode, an organic layer, and a second electrode; And laminating a multilayer thin film in which an inorganic protective layer, a moisture absorbing layer, an oxygen absorbing layer, and an inorganic protective layer are sequentially stacked on the second electrode of the organic electroluminescent unit.
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