KR100663988B1 - 액체렌즈용 전극 형성방법 - Google Patents

액체렌즈용 전극 형성방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전원을 인가하여 액체렌즈를 구동하기 위해 마련되는 액체렌즈 전극을 형성하는 방법에 관한 것으로, 특히 자석과 금속마스크를 이용하여 렌즈부를 제외한 면에 대한 전극 코팅을 용이하게 수행할 수 있고, 전극 코팅 전후에 세정 공정을 수행하여 접착성을 향상시킴으로써, 전극 코팅 및 절연막 코팅을 효과적으로 수행하는데 적당하도록 한 액체렌즈용 전극 형성방법에 관한 것이다.
본 발명의 액체렌즈용 전극 형성방법을 이루는 구성수단은, 제1 세정 처리챔버 내로 액체렌즈 기구물을 인입하여 플라즈마 가스에 의해 상기 액체렌즈 기구물의 세정과 표면개질을 수행하는 제1 세정공정과, 상기 제1 세정공정을 거친 액체렌즈 기구물을 제1 증착챔버 내로 인입하여 상기 액체렌즈 기구물의 전극 증착부분에 금속코팅을 수행하여 소정 패턴의 전극을 형성하는 전극 증착공정과, 상기 전극 증착공정에서 금속 코팅된 액체렌즈 기구물을 제2 세정 처리챔버로 인입하여 플라즈마 가스에 의해 세정 및 표면개질을 수행하는 제2 세정공정과, 상기 제2 세정공정을 거친 금속 코팅된 액체렌즈 기구물을 제2 증착챔버 내로 인입하여 상기 액체렌즈 기구물의 렌즈부분과 전극 상면에 절연막을 형성하는 절연막 코팅공정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
액체렌즈, 전극, 플라즈마

Description

액체렌즈용 전극 형성방법{a method for manufacturing electrode of liquid lens}
도 1은 본 발명에 따라 액체렌즈용 전극을 형성하는 절차도이다.
도 2는 본 발명에 따라 액체렌즈용 전극을 형성하는 공정도이다.
도 3은 본 발명에 적용되는 전극을 증착하는 공정도이다.
도 4는 본 발명에 적용되는 렌즈마스크의 사시도와 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 지그(jig) 11, 13 : 수용홈
20 : 자석 30 : 액체렌즈 기구물
40 : 렌즈마스크 41 : 렌즈마스크의 오목형상 부분
43 : 렌즈마스크의 만곡형상 부분 50: 쉬트마스크
60 : 액체렌즈 전극 70 : 절연막
본 발명은 전원을 인가하여 액체렌즈를 구동하기 위해 마련되는 액체렌즈 전극을 형성하는 방법에 관한 것으로, 특히 자석과 금속마스크를 이용하여 렌즈부를 제외한 면에 대한 전극 코팅을 용이하게 수행할 수 있고, 전극 코팅 전후에 세정 공정을 수행하여 접착성을 향상시킴으로써, 전극 코팅 및 절연막 코팅을 효과적으로 수행하는데 적당하도록 한 액체렌즈용 전극 형성방법에 관한 것이다.
카메라가 달린 휴대전화가 젊은이들에게 인기를 끌고있다. 그러나 인기가 높아짐에 따라, 이제는 언제 어디에서나 사진을 찍어 휴대전화로 전송까지 가능하다는 점만으로는 소비자들의 높아진 욕구를 충족시키지 못하게 됐다.
또한, 휴대전화 크기가 갈수록 작아지는데 비해 카메라의 크기를 줄이는데는 한계가 있는데, 특히 문제가 되는 것이 카메라 렌즈이다. 소비자들은 가까운데서 먼 거리에 위치하는 물체까지 자유자재로 초점을 맞춰 사진을 찍고 싶어 하지만 이런 욕구를 맞추다간 카메라 크기가 점점 커지는 문제가 생긴다.
상기와 같은 일반적인 카메라 휴대폰에서 발생하는 문제점을 해결하기 위하여 최근에 카메라렌즈의 크기를 감소시키고 자유자재로 초점을 맞출 수 있는 액체렌즈가 개발되고 있다.
상기 액체렌즈는 인간의 눈에서 렌즈 역할을 하는 수정체를 모방한 것이다. 상기 눈의 수정체는 모양소대라는 근육에 의해 두께가 조절된다. 가까운 거리를 볼 때는 모양소대가 느슨해지면서 수정체를 두껍게 만든다. 두꺼운 수정체는 굴절력(굴절률)이 크기 때문에 수정체를 지난 빛이 큰 각도로 꺾인다.
반면 먼 거리를 볼 때는 모양소대가 잡아당겨져 수정체를 얇게 만든다. 얇은 수정체는 굴절력이 작으므로 빛이 통과하면서 작은 각도로 꺾인다. 정상 시력을 가진 눈에서는 이렇게 수정체 두께가 자동으로 변하기 때문에 항상 물체 상이 망막에 정확히 맺힌다.
플루이드포커스(Fluid-Focus) 렌즈로 이름 붙여진 상기 액체 렌즈는 유리나 플라스틱이 아닌 액체로 만들어지고, 상기 눈의 수정체 처럼 액체의 표면 형태를 변화시켜 초점거리를 다르게 맞춘다.
상기 액체렌즈는 소정의 지름과 높이를 가지는 원통에 물과 기름을 넣어 형성한다. 상기 원통 내부는 물을 밀쳐내는 물질이 코팅되어 있기 때문에 물보다 기름과 더 친하다. 따라서 물방울은 가운데가 위로 볼록한 형태로 존재한다.
이때 상기 원통에 전기장을 걸어주면 물을 밀쳐내는 성질이 줄면서 기름과 친화도가 비슷해져 물방울이 옆으로 퍼져 납작 해진다. 전기장이 더 강해지면 원통의 내벽이 기름보다 물과 더 친해지고, 기름이 가운데로 몰려 결국 물방울이 아래로 볼록한 모양이 된다. 즉 물방울이 수정체의 역할을, 전기장 변화가 수정체 두께를 변화시키는 모양소대 근육 역할을 하는 셈이다.
즉, 상기 액체 렌즈(Liquid Lens)는 자동으로 초점 조절(오토 포커스)이 가능하기 때문에, 휴대폰용 카메라 모듈은 기계적인 구동없이 사물과의 거리에 따라 액체 렌즈의 두께가 자동으로 변함으로써 초점 조절을 할 수 있다.
그런데, 상기 액체렌즈가 자동으로 초점 조절이 되기 위해서는 전기장이 인가되어야 한다. 따라서, 상기 액체렌즈는 외부로부터 전원을 인가받기 위하여 전도성이 뛰어난 금속의 액체렌즈 전극이 구비되어야 하다.
상기 액체렌즈 전극을 형성하기 위해서는 화학적 에칭 방법 등의 고가의 장비를 사용하고 복잡한 공정을 따르는 것이 일반적이다. 또한, 기타 많은 부대시설이 필요하고, 증착 공정이 복잡할 뿐만 아니라 증착공정을 진행하기 위한 비용이 많이 들어가는 문제점이 있다.
또한, 상기 액체 렌즈의 렌즈부를 제외한 면을 전극 코팅하는 기술이 난해하고, 액체렌즈와 전극을 형성하기 위한 금속 전극 원료간의 접착도가 떨어져서 코팅이 제대로 이루어지지 않으며, 절연막을 상기 액체렌즈와 전극 상면에 코팅하고자 하는 경우에도 접착도가 미진하여 코팅이 정상적으로 이루어지지 않는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 액체렌즈 기구물의 렌즈부를 제외한 면에 대하여 용이하게 전극코팅을 수행하여 액체렌즈 기구물의 구조적인 특성상 발생되는 전극코팅 난해점을 극복하고, 전극코팅 전후에 액체렌즈 기구물에 대하여 세정공정을 수행하여 액체렌즈 기구물의 표면을 개질시킴으로써, 전극과 절연막이 효율적으로 코팅될 수 있도록 하는 액체렌즈용 전극 형성방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 액체렌즈용 전극 형성방법을 이루는 구성수단은, 제1 세정 처리챔버 내로 액체렌즈 기구물을 인입하여 플라즈마 가스에 의해 상기 액체렌즈 기구물의 세정과 표면개질을 수행하는 제1 세정공정과, 상기 제1 세정공정을 거친 액체렌즈 기구물을 제1 증착챔버 내로 인입하여 상기 액체렌즈 기구물의 전극 증착부분에 금속코팅을 수행하여 소정 패턴의 전극을 형성하는 전극 증착공정과, 상기 전극 증착공정에서 금속 코팅된 액체렌즈 기구물을 제2 세정 처리챔버로 인입하여 플라즈마 가스에 의해 세정 및 표면개질을 수행하는 제2 세정공정과, 상기 제2 세정공정을 거친 금속 코팅된 액체렌즈 기구물을 제2 증착챔버 내로 인입하여 상기 액체렌즈 기구물의 렌즈부분과 전극 상면에 절연막을 형성하는 절연막 코팅공정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1 및 제2 세정공정은 O2 플라즈마 가스를 사용하고, 상기 제1 및 제2 세정공정이 진행되는 상기 제1 및 제2 세정 처리챔버의 진공도는 1 ~ 200mTorr 범위인 것이 바람직하다.
또한, 상기 전극 증착공정에서 증착되는 전극은 ITO, ZnO, CdO와 같은 금속 및 금속 화합물인 것을 특징으로 하고, 상기 전극 증착공정이 진행되는 제1 증착챔버의 진공도는 0.1 ~ 10mTorr 범위인 것이 바람직하다.
또한, 상기 전극 증착공정에서 사용하는 증착방법은 스퍼터링법, 열진공 증착법, 전자빔 증착법 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 절연막은 고분자 화합물 또는 산화 화합물 중 어느 하나를 증착 시켜 형성하는 것을 특징으로 하는데, 상기 고분자 화합물은 패럴린(parylene), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), PVC(Poly Vinnyl Chloride), ABS(Acrylonitrile Butadiene Styrene), 아크릴, PC(Poly Carbonate), PU(Polyurethane), PA(protactinium), 테프론(Teflon) 중 어느 하나이고, 상기 산화 화합물은 산화인듐주석(ITO), 산화아연(ZnO), 이산화티탄(TiO2), 이산화규소(SIO2) 중 어느 하나인 것이 바람직하다.
또한, 상기 전극 증착공정은, 상기 인입된 액체렌즈 기구물을 하부면에 자석이 고정되어 있는 지그(jig) 상부면에 장착하는 과정, 상기 액체렌즈 기구물의 렌즈부를 금속의 렌즈마스크로 마스킹하는 과정, 상기 렌즈부와 전극이 형성되는 전극 증착부분 이외의 부분에 쉬트마스크를 씌우는 과정, 상기 과정 후에 금속 코팅 원료를 증착하여 전극을 형성하는 공정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 지그(jig)의 상부면과 하부면에는 각각 상기 액체렌즈 기구물과 자석을 장착 또는 고정하기 위하여 수용홈이 형성되는 것이 바람직하고, 상기 지그(jig)는 상기 자석에 반응하지 않는 금속재질 또는 플라스틱으로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 렌즈마스크는 원뿔대 또는 깔대기 모양으로 형성되되, 직경이 큰 밑면이 상기 렌즈부에 접촉되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 렌즈마스크의 밑면은 링(ring) 모양의 가장자리 부분만 상기 렌즈부에 접촉되도록 오목 형상이고, 상기 렌즈부에 접촉하는 링 모양의 가장자리 부 분은 소정 곡률로 휘어진 만곡형상이거나 평면 형상인 것이 바람직하다.
또한, 상기 렌즈마스크는 고분자 화합물 또는 플라스틱의 도포물질로 표면처리되고, 상기 도포물질은 패럴린(parylene), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), PVC(Poly Vinnyl Chloride), ABS(Acrylonitrile Butadiene Styrene), 아크릴, PC(Poly Carbonate), PU(Polyurethane), PA(protactinium), 테프론(Teflon) 중 어느 하나인 것이 바람직하다.
또한, 상기 쉬트마스크는 상기 자석에 반응하지 않는 금속재질 또는 플라스틱으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 액체렌즈 기구물은 플라스틱, 유리, 세라믹, 금속, TFT(Thin film transistor) 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 구성수단으로 이루어져 있는 본 발명인 액체렌즈용 전극 형성방법에 관한 작용 및 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명인 액체렌즈용 전극을 형성하는 절차도이고, 도 2는 본 발명인 액체렌즈용 전극을 형성하는 공정도이다.
본 발명인 액체렌즈용 전극을 형성하는 공정은 네 개의 진공챔버로 이루어진 액체렌즈용 전극 형성장치를 통해 수행될 수 있다. 상기 네 개의 진공챔버는 플라즈마에 의한 세정 처리챔버 두 개와 소정 원료를 증착하는 증착챔버 두 개로 구성된다. 상기 네 개의 챔버들은 진공 분위기를 유지하면서 연속해서 연결될 수도 있 고, 별개의 진공챔버로 마련되어 각 공정별로 해당 공정을 수행할 수도 있다.
액체렌즈를 구동하기 위한 필수적 요소인 액체렌즈용 전극을 형성하기 위해서 첫 번째로 수행되는 공정은 액체렌즈 기구물에 대하여 세정을 실시하는 제1 세정공정이다. 즉, 액체렌즈 기구물을 제1 세정 처리챔버 내로 인입하고, 플라즈마 가스를 발생시켜 상기 액체렌즈 기구물을 세정하고 표면을 개질시킨다(S10). 상기 액체렌즈 기구물은 플라스틱, 유리, 세라믹, 금속, TFT(Thin film transistor) 중 어느 하나인 것이 바람직하다.
상기와 같이 플라즈마 가스를 이용하여 액체렌즈 기구물(30)을 세정하고 표면개질을 수행하면, 도 2의 (a)와 같이 액체렌즈 기구물(30)의 표면이 반응하여 후속 공정에서 전극(60)의 원료와 액체렌즈 기구물(30)의 접착성이 향상된다. 상기 제1 세정공정에서 사용되는 플라즈마 가스는 O2 플라즈마 가스인 것이 바람직하다. 그리고 상기 제1 세정공정이 진행되는 동안 상기 제1 세정 처리챔버의 진공도는 1에서 200mTorr로 유지하는 것이 바람직하다.
상기 제1 세정 처리챔버는 다양한 구조로 이루어질 수 있다. 일 예로, 상기 제1 세정 처리챔버는 상기 액체렌즈 기구물(30)을 장착할 수 있는 지그가 챔버 하측에 마련되고, 플라즈마 가스를 발생시켜 공급하는 플라즈마 발생장치(미도시)가 챔버 상측에 마련되며, 상기 플라즈마 발생장치(미도시)에 DC 또는 RF 전원을 인가하는 전원공급장치가 챔버의 소정 부분에 마련되어 상기 액체렌즈 기구물의 세정과 표면개질을 수행할 수 있다.
상기와 같이 액체렌즈 기구물(30)에 대하여 세정과 표면개질을 수행한 후에는, 상기 액체렌즈 기구물(30)을 증착 공정을 수행할 수 있는 제1 증착챔버 내로 인입하여 전극(60) 증착공정을 수행한다. 그리고, 상기 인입된 액체렌즈 기구물(30)에 대하여 증착 공정을 수행함으로써, 액체렌즈 기구물(30)의 전극 증착부(도 2의 (b)에서 "b"로 표기됨)에 소정 패턴의 금속코팅을 수행한다(S20).
상기 전극 증착공정에서 증착되는 전극은 금속 및 금속 화합물로 코팅된다. 즉, ITO, ZnO, CdO와 같은 금속 및 금속 화합물로 코팅을 수행한다. 그리고 상기 전극 증착공정이 진행되는 제1 증착챔버의 진공도는 0.1 ~ 10mTorr 범위인 것이 바람직하다.
상기와 같은 전극 증착공정에서 소정 패턴의 전극(60)을 형성하면 도 2의 (b)에 도시된 바와 같은 상태가 된다. 이와 같은 전극(60)을 증착하기 위해 사용되는 증착방법은 스퍼터링법, 열진공 증착법, 전자빔 증착법 등이 있다.
상기 전극 증착공정에서 소정 패턴의 전극을 증착하기 위해서는 사전에 마스킹 공정 등이 수행되어야 한다. 이에 대하여 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저 상기 제1 증착챔버로 인입되는 액체렌즈 기구물(30)은 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 하부면에 자석(20)이 고정되어 있는 지그(jig)(10) 상부면에 장착한다(도 3의 (b)에 도시된 상태). 상기 자석(20)은 상기 지그(10)의 하부면에 형성된 수용홈(미도시)에 삽입되어 고정되고, 상기 액체렌즈 기구물(30)도 상기 지그(10)의 상부면에 형성된 수용홈(11)에 삽입되어 장착된다.
상기 지그(jig)는 상기 자석(20)에 반응하지 않는 금속재질 또는 플라스틱으로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 자석(20)에 반응하는 것은 후술할 렌즈마스크(40)로 한정하여, 상기 렌즈마스크(40)가 액체렌즈 기구물(30) 상에서 유동하지 않고 고정될 수 있도록 한다.
상기와 같이 액체렌즈 기구물(30)가 상기 지그(10)에 장착되면, 도 3의 (c)에 도시된 바와 같이 상기 액체렌즈 기구물(30)의 렌즈부(도 3의 (c)에서 "a"로 표기됨)에 전극 원료가 증착되는 것을 방지하기 위하여 금속의 렌즈마스크(40)로 상기 액체렌즈 기구물(30)의 렌즈부(도 3의 (c)에서 "a"로 표기됨)를 마스킹 한다.
상기 렌즈마스크(40)는 반드시 상기 자석(20)에 반응할 수 있는 금속 재질을 가져야 하고, 상기 액체렌즈 기구물(30)의 렌즈부(도 3의 (c)에서 "a"로 표기됨)가 손상되지 않도록 형성되어야 한다.
상기 렌즈마스크(40)는 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이 원뿔의 윗부분이 잘린 원뿔대 형상을 하거나, 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이 깔대기 모양으로 형성될 수 있다. 상기와 같은 형상을 가지는 렌즈마스크(40)는 직경이 큰 밑면이 상기 액체렌즈 기구물(30)의 렌즈부(도 3의 (c)에서 "a"로 표기됨)에 접촉된다.
상기와 같이 밑면이 상기 렌즈부(도 3의 (c)에서 "a"로 표기됨)에 접촉되도록 형성되는 렌즈마스크(40)는 상기 렌즈부(도 3의 (c)에서 "a"로 표기됨)에 접촉되는 부분을 최소화하여 상기 렌즈부(도 3의 (c)에서 "a"로 표기됨)의 손상을 방지할 수 있도록 밑면을 오목형상(41)으로 형성하는 것이 바람직하다. 따라서, 상기 렌즈마스크(40)의 밑면은 링 모양의 가장자리 부분만이 상기 렌즈부(도 3의 (c)에 서 "a"로 표기됨)에 접촉된다.
또한, 상기 렌즈부(도 3의 (c)에서 "a"로 표기됨)에 접촉되는 링 모양의 가장자리 부분은 상기 렌즈부(도 3의 (c)에서 "a"로 표기됨)가 긁히는 것을 최소화하기 위하여 소정 곡률로 휘어지는 만곡 형상(43)이거나 평면 형상인 것이 바람직하다.
한편, 상기 렌즈마스크(40)에 의하여 상기 렌즈부(도 3의 (c)에서 "a"로 표기됨)가 손상되고 상기 렌즈부(도 3의 (c)에서 "a"로 표기됨) 상에 파티클이 생성되는 것을 최소화하기 위하여, 상기 렌즈마스크(40)는 고분자 화합물 또는 플라스틱의 도포물질로 표면처리되는 것이 바람직하다.
상기 렌즈마스크(40)를 표면처리 하기 위한 도포물질로는, 패럴린(parylene), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), PVC(Poly Vinnyl Chloride), ABS(Acrylonitrile Butadiene Styrene), 아크릴, PC(Poly Carbonate), PU(Polyurethane), PA(protactinium), 테프론(Teflon) 등이 있다.
상기와 같은 도포물질 중 어느 하나를 상기 금속의 렌즈마스크(40) 전체를 도포하고, 소정의 온도를 가지는 열로 상기 렌즈마스크(40)의 표면을 가열하거나, 상기 렌즈마스크(40)의 표면을 화학처리함으로써 매끄러운 표면을 가지는 렌즈마스크(40)를 형성할 수 있다.
상기 렌즈마스크(40)가 상기 액체렌즈 기구물(30)을 마스킹하면, 전극이 형성되는 전극 증착부분(도 3의 (e)에서 "b"로 표기됨)에만 금속 코팅 원료가 증착될 수 있도록, 도 3의 (d)에 도시된 바와 같이 상기 액체렌즈 기구물(30)의 렌즈부(도 3의 (c)에서 "a"로 표기됨)와 전극이 형성되는 전극 증착부분(도 3의 (e)에서 "b"로 표기됨) 이외의 부분에 쉬트마스크(50)를 씌운다. 상기 쉬트마스크(50)는 상기 지그(10)의 하부면에 고정 설치되는 자석(20)에 반응하지 않는 금속재질 또는 플라스틱으로 형성되는 것이 바람직하다.
그런 후, 도 3의 (e)에 도시된 바와 같이 스퍼터링법 등을 이용하여 금속 코팅 원료를 상기 전극 증착부분(도 3의 (e)에서 "b"로 표기됨)에 증착함으로써 전극을 형성한다.
상기와 같이 제1 증착챔버에서 소정 패턴의 금속을 액체렌즈 기구물 상에 코팅하여 전극을 형성한 후에는, 제2 세정공정을 위하여 상기 액체렌즈 기구물을 제2 세정 처리챔버로 인입하여 다시 한번 플라즈마 가스에 의하여 세정 및 표면개질을 수행한다(S30).
상기와 같이 플라즈마 가스를 이용하여 액체렌즈 기구물을 세정하고 표면개질을 수행하면, 도 2의 (c)와 같이 액체렌즈 기구물(30)과 전극(60)의 표면이 반응하여 후속 공정에서 절연막(도 2의 (d)에서 도면부호 70)과 상기 액체렌즈 기구물(30) 및 전극(60)간의 접착성이 향상된다. 상기 제2 세정공정에서 사용되는 플라즈마 가스는 O2 플라즈마 가스인 것이 바람직하다. 그리고 상기 제2 세정공정이 진행되는 동안 상기 제2 세정 처리챔버의 진공도는 1에서 200mTorr로 유지하는 것이 바람직하다.
상기 제2 세정 처리챔버는 다양한 구조로 이루어질 수 있다. 일 예로, 상기 제2 세정 처리챔버는 상기 액체렌즈 기구물을 장착할 수 있는 지그가 챔버 하측에 마련되고, 플라즈마 가스를 발생시켜 공급하는 플라즈마 발생장치(미도시)가 챔버 상측에 마련되며, 상기 플라즈마 발생장치(미도시)에 DC 또는 RF 전원을 인가하는 전원공급장치가 챔버의 소정 부분에 마련되어 상기 액체렌즈 기구물의 세정과 표면개질을 수행할 수 있다.
상기와 같이 액체렌즈 기구물(30) 및 전극(60)에 대하여 세정과 표면개질을 수행한 후에는, 상기 액체렌즈 기구물(30) 및 전극(60) 상에 증착 공정을 수행할 수 있는 제2 증착챔버 내로 인입하여 절연막 코팅공정을 수행한다(S40).
상기와 같은 절연막 증착 공정에서 소정 패턴의 절연막(70)을 형성하면 도 2의 (d)에 도시된 바와 같은 상태가 된다. 이와 같은 절연막(70)을 증착하기 위해 사용되는 증착방법은 스퍼터링법, 열진공 증착법, 전자빔 증착법 등이 있다.
상기 절연막(70)은 고분자 화합물 또는 산화 화합물 중 어느 하나를 증착하여 형성한다. 상기 고분자 화합물에는 패럴린(parylene), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), PVC(Poly Vinnyl Chloride), ABS(Acrylonitrile Butadiene Styrene), 아크릴, PC(Poly Carbonate), PU(Polyurethane), PA(protactinium), 테프론(Teflon) 등이 있고, 상기 산화 화합물에는 ITO, ZnO, TiO2, SIO2 등이 있다.
상기와 같은 구성 및 작용 그리고 바람직한 실시예를 가지는 본 발명인 액체렌즈용 전극 형성방법에 의하면, 액체렌즈의 전극을 증착한 후에 세정공정을 수행하기 때문에, 액체렌즈의 전극 형성 후에 발생되는 접착성 문제를 해결할 수 있는 장점이 있다.
또한, 액체렌즈의 전극을 증착하기 전에 액체렌즈 기구물에 대하여 세정공정을 수행하기 때문에, 액체렌즈 기구물 표면의 이물질이 제거되고 표면이 개질되어 액체렌즈 기구물과 전극을 형성하는 금속 원료간의 접촉성을 향상시켜 효율적인 전극 코팅을 할 수 있는 장점이 있다.
또한, 액체렌즈의 전극을 증착하는 공정에서, 지그의 하부면에 고정시키는 자석과 상기 자석에 의하여 흡착되는 금속 재질의 렌즈마스크를 이용하여 렌즈부를 마스킹하고 쉬트마스크에 의하여 액체렌즈 기구물의 외곽부분을 마스킹함으로써, 상기 금속 전극을 형성하기 위한 증착 공정이 단순해지는 장점이 있다.

Claims (19)

  1. 액체렌즈용 전극 형성 방법에 있어서,
    제1 세정 처리챔버 내로 액체렌즈 기구물을 인입하여 O2 플라즈마 가스에 의해 상기 액체렌즈 기구물의 세정과 표면개질을 수행하는 제1 세정공정과;
    상기 제1 세정공정을 거친 액체렌즈 기구물을 제1 증착챔버 내로 인입한 후, 상기 제1 증착챔버의 진공도를 0.1 ~ 10mTorr로 유지한 상태로 상기 액체렌즈 기구물의 전극 증착부분에 금속코팅을 수행하여 전극을 형성하는 전극 증착공정과;
    상기 전극 증착공정에서 금속 코팅된 액체렌즈 기구물을 제2 세정 처리챔버로 인입하여 O2 플라즈마 가스에 의해 세정 및 표면개질을 수행하는 제2 세정공정과;
    상기 제2 세정공정을 거친 금속 코팅된 액체렌즈 기구물을 제2 증착챔버 내로 인입하여 상기 액체렌즈 기구물의 렌즈부분과 전극 상면에 절연막을 형성하는 절연막 코팅공정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 액체렌즈용 전극 형성방법.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 및 제2 세정공정이 진행되는 상기 제1 및 제2 세정 처리챔버의 진공도는 1 ~ 200mTorr 범위인 것을 특징으로 하는 액체렌즈용 전극 형성방법.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 전극 증착공정에서 증착되는 전극은 ITO, ZnO, CdO와 같은 금속 및 금속 화합물인 것을 특징으로 하는 액체렌즈용 전극 형성방법.
  5. 삭제
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 전극 증착공정에서 사용하는 증착방법은 스퍼터링법, 열진공 증착법, 전자빔 증착법 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액체렌즈용 전극 형성방법.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 절연막은 고분자 화합물 또는 산화 화합물 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액체렌즈용 전극 형성방법.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 고분자 화합물은 패럴린(parylene), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), PVC(Poly Vinnyl Chloride), ABS(Acrylonitrile Butadiene Styrene), 아크릴, PC(Poly Carbonate), PU(Polyurethane), PA(protactinium), 테프론(Teflon) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액체렌즈용 전극 형성방법.
  9. 청구항 7에 있어서,
    상기 산화 화합물은 ITO, ZnO, TiO2, SIO2 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액체렌즈용 전극 형성방법.
  10. 청구항 1에 있어서, 상기 전극 증착공정은,
    상기 인입된 액체렌즈 기구물을 하부면에 자석이 고정되어 있는 지그(jig) 상부면에 장착하는 과정, 상기 액체렌즈 기구물의 렌즈부를 금속의 렌즈마스크로 마스킹하는 과정, 상기 렌즈부와 전극이 형성되는 전극 증착부분 이외의 부분에 쉬트마스크를 씌우는 과정, 상기 과정 후에 금속 코팅 원료를 증착하여 전극을 형성하는 공정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 액체렌즈용 전극 형성방법.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 지그(jig)의 상부면과 하부면에는 각각 상기 액체렌즈 기구물과 자석을 장착 또는 고정하기 위하여 수용홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 액체렌즈용 전극 형성방법.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 지그(jig)는 상기 자석에 반응하지 않는 금속재질 또는 플라스틱으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액체렌즈용 전극 형성방법.
  13. 청구항 10에 있어서,
    상기 렌즈마스크는 원뿔대 또는 깔대기 모양으로 형성되되, 직경이 큰 밑면 이 상기 렌즈부에 접촉되는 것을 특징으로 하는 액체렌즈용 전극 형성방법.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 렌즈마스크의 밑면은 링(ring) 모양의 가장자리 부분만 상기 렌즈부에 접촉되도록 오목 형상인 것을 특징으로 하는 액체렌즈용 전극 형성방법.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 렌즈부에 접촉하는 링 모양의 가장자리 부분은 만곡 형상이거나 평면 형상인 것을 특징으로 하는 액체렌즈용 전극 형성방법.
  16. 청구항 14에 있어서,
    상기 렌즈마스크는 고분자 화합물 또는 플라스틱의 도포물질로 표면처리된 것을 특징으로 하는 액체렌즈용 전극 형성방법.
  17. 청구항 16에 있어서,
    상기 도포물질은 패럴린(parylene), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필 렌(polypropylene), PVC(Poly Vinnyl Chloride), ABS(Acrylonitrile Butadiene Styrene), 아크릴, PC(Poly Carbonate), PU(Polyurethane), PA(protactinium), 테프론(Teflon) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액체렌즈용 전극 형성방법.
  18. 청구항 10에 있어서,
    상기 쉬트마스크는 상기 자석에 반응하지 않는 금속재질 또는 플라스틱으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액체렌즈용 전극 증착장치.
  19. 청구항 1에 있어서,
    상기 액체렌즈 기구물은 플라스틱, 유리, 세라믹, 금속, TFT(Thin film transistor) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액체렌즈용 전극 증착장치.
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