KR100662252B1 - Three-dimentional measuring by stone surface plate having vibration absortion board - Google Patents

Three-dimentional measuring by stone surface plate having vibration absortion board Download PDF

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Abstract

본 발명은 3차원 측정기에 있어서, 특히 3차원 측정기의 석정반 하부면에 텐션공간부를 형성하고, 그 텐션공간부보다 큰 안치홈을 형성하여 이에 진동흡수판을 고정 형성하되, 상기 진동흡수판의 저면에는 이송스크류와 맞물려 이송되는 이송플랜지를 결합 형성함으로서,The present invention is a three-dimensional measuring device, in particular, the tension space portion is formed on the lower surface of the stone plate of the three-dimensional measuring device, and formed a larger recess than the tension space portion to form a vibration absorbing plate fixed to this, but the vibration absorbing plate By forming the conveying flange coupled to the conveying screw on the bottom surface,

각축의 구동 제어부 및 레일 등의 이송부에서 분진이나 이물질에 의해 진동이 발생하는 경우, 그 진동이 상기 진동흡수판 및 텐션공간부에 의해 흡수, 소멸되게 하므로, 상기한 진동이 석정반으로 전달되지 못하게 하므로 보다 정확한 수치의 측정이 가능하여 오인 불량이 발생하지 않으면서도, 극초정밀 제품의 수치관리 및 측정 등의 안정된 품질관리가 가능하여 매우 경제적인 효과가 있는 진동흡수판을 갖는 석정반 결합구조에 의한 3차원 측정기에 관한 것이다.When vibrations are generated by dust or foreign matter in the drive section of each shaft and the conveying section of the rail, the vibrations are absorbed and extinguished by the vibration absorbing plate and the tension space, and thus the vibrations cannot be transmitted to the stone platform. Therefore, it is possible to measure more accurate numerical value and stable quality control such as numerical control and measurement of ultra-precision products without misunderstanding, and it is made by the stone panel combination structure with vibration absorbing plate which is very economical. It relates to a three-dimensional measuring machine.

3차원 측정기, 텐션공간부, 충격흡수판, 진동, 이송스크류 3D measuring machine, tension space, shock absorbing plate, vibration, feed screw

Description

진동흡수판을 갖는 석정반 결합구조에 의한 3차원 측정기 {Three-dimentional measuring by stone surface plate having vibration absortion board}Three-dimensional measuring by stone surface plate combined structure with vibration absorption plate {Three-dimentional measuring by stone surface plate having vibration absortion board}

도 1은 본 발명에 따른 3차원 측정기의 전체사시도1 is a perspective view of a three-dimensional measuring device according to the present invention

도 2는 본 발명에 따른 3차원 측정기의 측단면도2 is a side cross-sectional view of a three-dimensional measuring instrument according to the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 3차원 측정기의 정단면도3 is a front sectional view of a three-dimensional measuring device according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 3차원 측정기의 확대 단면상세도Figure 4 is an enlarged cross-sectional detail view of the three-dimensional measuring instrument according to the present invention

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 본체 20 : 석정반10: main body 20: stone tablet

21 : 텐션공간부 22 : 안치홈21: tension space part 22: settle groove

23 : 충격흡수판23: shock absorbing plate

30 : 프로브 40 : 구동모터30: probe 40: drive motor

41 : 이송스크류 42 : 이송플랜지41: transfer screw 42: transfer flange

43 : 레일 44 : 가이더43: rail 44: guider

본 발명은 3차원 측정기에 있어서, 그 석정반의 하부에 텐션공간부와 진동흡수판을 각각 형성하고, 그 진동흡수판의 저면에 이송플랜지를 결합 형성함으로서,The present invention is a three-dimensional measuring device, by forming a tension space portion and a vibration absorbing plate in the lower portion of the stone slab, respectively, by combining the conveying flange on the bottom of the vibration absorbing plate,

구동제어부에서 발생하는 진동을 상기 진동흡수판에 의해 흡수하여 상쇄되게 하므로 진동이 석정반으로 전달되지 못하도록 하여 정확한 수치의 측정이 이루어지므로 수치 오류에 따른 오인 불량을 방지하면서도, 극초정밀 제품의 수치관리 및 품질관리가 용이해지므로 매우 경제적인 효과를 갖는 진동흡수판을 갖는 석정반 결합구조에 의한 3차원 측정기에 관한 것이다.The vibration generated by the drive control unit is absorbed and offset by the vibration absorbing plate, so that the vibration is not transmitted to the stone plate, so that accurate measurement is made. And it relates to a three-dimensional measuring device by a stone plate combined structure having a vibration absorbing plate having a very economical effect because the quality control is easy.

3차원 측정기란, 측정 대상과 프로브의 상대적 3차원 운동을 실현하기 위한 기계기구로서, 공간상의 위치를 디지탈화하여 정밀하게 3차원 수치로 표현할 수 있는 장치이다.A three-dimensional measuring device is a mechanical mechanism for realizing the relative three-dimensional motion of a measurement object and a probe, and is a device which can digitally express the position in space and express it accurately with three-dimensional numerical value.

3차원 측정기의 종류로는 XYZ좌표형과 원통좌표형, 구면좌표형, 관절형 등으로 구분되고, 일반적인 형태로는 XYZ좌표형으로서 가장 보편적으로 사용되고 있다.Types of three-dimensional measuring instruments are divided into XYZ coordinate type, cylindrical coordinate type, spherical coordinate type, and joint type, and the most common type is used as XYZ coordinate type.

이러한 3차원 측정기는 고속·고정밀도·복잡한 측정에 유효하고 또한, FA나 CIM에 유연하게 대응할 가능성이 매우 높은 측정이며, 기계의 기능과 성능 및 품질의 향상과 생산 효율의 향상에 대한 소비자의 요구가 높아지고 있는 상황하에서 고속·고정밀도의 특징을 지닌 3차원 측정기의 이용은 점차 증대될 것으로 기대되고 있다.These three-dimensional measuring instruments are effective for high speed, high precision, and complex measurement, and have high possibility of flexibly responding to FA or CIM, and are required by consumers for improvement of machine function, performance, quality, and production efficiency. Increasingly, the use of 3D measuring instruments with high speed and high precision is expected to increase gradually.

3차원 측정기의 기본적인 구성은, 본체와 프로브, 각축의 이동량 측정 및 표시장치, 각축의 구동 제어부, 컴퓨터 및 주변기기, 소프트웨어로 이루어진다.The basic configuration of the three-dimensional measuring instrument includes a main body, a probe, a movement amount measuring and display device for each axis, a drive control unit for each axis, a computer, a peripheral device, and software.

여기서 상기한 본체는 XYZ좌표형이 주지한 바와 같이 가장 범용적인 것으로, 그 XYZ축의 구동방식은 메뉴얼식과 모터 드라이브식, CNC식 등이 있으며, 상기한 CNC방식의 본체는 가장 정밀한 측정이 이루어지는 것으로, 각축에 NC용 구동모터 등이 부착되어 이동 및 조작이 컴퓨터로 수치제어되는 것이다.Here, the main body is the most general, as known by the XYZ coordinate type, the driving method of the XYZ axis is a manual type, a motor drive type, a CNC type, etc. The main body of the CNC method is the most accurate measurement, NC drive motors are attached to each axis, and the movement and operation are numerically controlled by a computer.

또한, 상기한 3차원 측정기는 그 사용환경이 무엇보다 중요하게 여겨지는 것인데, 가장 중요한 사용환경으로는 온도와 습도 및 진동 등이 있으며, 그 중에서도 진동은 측정시 전해지는 진동폭의 차이로 인해 정도에 영향을 주며 장기적으로 기계부품 체결부위가 느슨해지는 원인이 되기도 하는 것으로, 진동의 대책으로는 3차원 측정기 설치장소에 미리 방진 기초공사를 하거나 시공후에도 에어댐퍼나 방진패드를 넣어 최소한의 진동도 차단하고자 노력하고 있는 것이다.In addition, the three-dimensional measuring device is considered that the use environment is most important, the most important use environment is the temperature, humidity and vibration, etc. Among them, the vibration is due to the difference in the vibration width transmitted during the measurement It is also a cause of loosening of mechanical parts in the long term, and as a countermeasure for vibration, it is necessary to make a foundation for dustproofing at the place where the 3D measuring machine is installed in advance, or to insert a damper or vibration pad to block the minimum vibration even after construction. I'm trying.

그러나, 상기한 바와 같은 진동대책에도 불구하고, 각축의 구동 제어부 및 레일부에 분진이나 이물질이 형성되는 경우에는 이에 의한 진동이 석정반으로 전달되어 정확한 수치의 측정이 불가능하게 될 뿐만 아니라, 수치 오차에 따른 오인불량이 빈번하게 발생하는 문제점이 있는 것으로서,However, in spite of the vibration countermeasures as described above, when dust or foreign matter is formed in the drive control section and the rail section of each axis, the vibration is transmitted to the stone platform, which makes it impossible to accurately measure the numerical value. There is a problem that frequently occurs due to misunderstandings,

각축의 구동 제어부는, 구동모터와 그 구동모터로부터 동력을 전달받아 회전하는 이송스크류로 구성되고, 상기한 이송스크류는 석정반의 하부에 장착된 이송플 랜지와 결합되어 있으므로, 상기한 구동모터의 작동에 따라 그 이송스크류가 회전하면 이에 의해 상측의 석정반이 X축 또는 Y축방향으로 이동하게 되어 수치를 측정하는 구조를 갖고 있는 것으로서,The drive control unit of each axis is composed of a drive motor and a transfer screw that rotates by receiving power from the drive motor, and the transfer screw is coupled to a transfer flange mounted on the lower side of the stone platform, thereby operating the drive motor. As the feed screw rotates accordingly, the upper stone slab moves in the X-axis or Y-axis direction, and has a structure for measuring numerical values.

상기한 이송스크류나 이송플랜지에 분진이나 이물질에 의한 간섭이 발생하는 경우에는 그 간섭에 의한 진동이 석정반에 전달되므로 정확한 수치의 측정이 이루어지지 못하는 문제점을 갖고 있는 것이다.When interference caused by dust or foreign matter occurs on the transfer screw or the conveying flange, vibration caused by the interference is transmitted to the stone platform, which makes it impossible to accurately measure the numerical value.

또한, 각종 레일부 역시 진동이나 흔들림없이 안정된 슬라이딩이 이루어져야 함에도 불구하여 분진이나 이물질에 의한 진동에 의해 잘못된 수치가 기록되므로, 정상적인 제품이라 할지라도 수치 오류에 의해 불량품으로 오인되어 폐기되어야 하는 불합리한 문제점이 있는 것이다.In addition, various rail parts also have a stable sliding without vibration or shaking, but because the wrong value is recorded by the vibration caused by dust or foreign matter, even if the normal product is mistaken as a defective product due to the numerical error should be discarded It is.

이러한 진동에 의한 오인 불량은 정밀한 제품일수록 그 빈도가 증가하는데, 각종 산업부품 및 전자, 전기 기계기구들의 부품은 고밀도, 고집적화에 따라 정밀한 수치를 유지하여야 하므로, 상기한 바와 같은 오류측정은 치명적인 원가손실을 초래할 뿐만 아니라 물리적인 손실 등 매우 비경제적인 것이다.Misunderstandings caused by vibrations increase in frequency with more precise products, and various industrial parts and parts of electronic and electrical machinery must maintain accurate values according to high density and high integration. Therefore, error measurement as described above is fatal cost loss. It is not only economical, but also very uneconomical.

본 발명은 전기한 바와 같은 문제점을 제거코자 안출된 것으로서, 3차원 측정기의 석정반 하부면에 텐션공간부를 형성하고, 그 텐션공간부보다 큰 안치홈을 형성하여 이에 진동흡수판을 고정 형성하되, 상기 진동흡수판의 저면에는 이송스크류와 맞물려 이송되는 이송플랜지를 결합 형성함으로서,The present invention has been made to eliminate the problems as described above, to form a tension space portion on the lower surface of the stone plate of the three-dimensional measuring instrument, to form a larger recess than the tension space portion to form a vibration absorbing plate fixed thereto, The bottom of the vibration absorbing plate to form a coupling coupled to the conveying flange and the conveying screw,

각축의 구동 제어부 및 레일 등의 이송부에서 분진이나 이물질에 의해 진동이 발생하는 경우, 그 진동이 상기 진동흡수판 및 텐션공간부에 의해 흡수, 소멸되게 하므로, 상기한 진동이 석정반으로 전달되지 못하게 하므로 보다 정확한 수치의 측정이 가능하여 오인 불량이 발생하지 않으면서도, 안정된 품질관리가 가능하여 매우 경제적인 효과가 있는 진동흡수판을 갖는 석정반 결합구조에 의한 3차원 측정기를 제공함에 본 발명의 목적이 있는 것이다.When vibrations are generated by dust or foreign matter in the drive section of each shaft and the conveying section of the rail, the vibrations are absorbed and extinguished by the vibration absorbing plate and the tension space, and thus the vibrations cannot be transmitted to the stone platform. Therefore, it is possible to measure the more accurate numerical value and without a misunderstanding defect, stable quality control is possible to provide a three-dimensional measuring instrument by a stone crystal plate combined structure having a vibration absorbing plate with a very economical effect Is there.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described.

도 1은 본 발명에 따른 3차원 측정기의 전체사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 3차원 측정기의 측단면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 3차원 측정기의 정단면도이다.1 is an overall perspective view of a three-dimensional measuring device according to the present invention, Figure 2 is a side cross-sectional view of a three-dimensional measuring device according to the present invention, Figure 3 is a front sectional view of a three-dimensional measuring device according to the present invention.

본체(10)와, 석정반(20) 및 프로브(30)로 구성되고, 상기 석정반(20)의 하부에는 구동모터(40)와 이송스크류(41) 및 이송플랜지(42)로 된 구동 제어부를 갖는 공지의 3차원 측정기에 있어서,The drive control unit includes a main body 10, a stone plate 20, and a probe 30, and a lower portion of the stone plate 20 includes a drive motor 40, a transfer screw 41, and a transfer flange 42. In the known three-dimensional measuring machine having:

상기 석정반(20)의 하부면에는, 요홈상의 텐션공간부(21)를 형성하고 그 텐션공간부(21) 보다는 넓은 형태의 안치홈(22)을 동심상으로 각각 형성하여,On the lower surface of the stone slab 20, a tension space portion 21 on the groove is formed, and the recessed grooves 22 having a wider shape than the tension space portion 21 are formed concentrically, respectively.

상기 안치홈(22)에는 고강도의 충격흡수판(23)을 고정 형성하고, 그 충격흡수판(23)의 저면에는 상기 이송플랜지(42)를 결합하여, 이송스크류(41)의 회전에 의한 구동력이 이송플랜지(42) 및 충격흡수판(23)을 통해 석정반(20)으로 전달되어, 상기 석정반(20)이 이송되도록 구성한 것이다.The high strength shock absorbing plate 23 is fixedly formed in the settling groove 22, and the conveying flange 42 is coupled to the bottom of the shock absorbing plate 23 to drive the driving force by the rotation of the conveying screw 41. The transfer flange 42 and the shock absorbing plate 23 is delivered to the stone panel 20, the stone panel 20 is configured to be transferred.

도면 중 미설명 부호 43은 레일, 44는 가이더이다.In the figure, reference numeral 43 is a rail, 44 is a guider.

이상과 같은 구성에 의한 본 발명 진동흡수판을 갖는 석정반 결합구조에 의한 3차원 측정기의 작용을 첨부도면에 의해 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the action of the three-dimensional measuring device by the stone plate combined structure having a vibration absorbing plate of the present invention according to the configuration as described above in more detail as follows.

도시와 같이 3차원 측정기는 본체(10)의 상측에 마련된 석정반(20)이 이송되고, 그 상측의 프로브(30)가 이송되며 피측정물의 치수를 계측하게 된다.As shown in the figure, the three-dimensional measuring machine 20 is provided with the stone plate 20 provided on the upper side of the main body 10, and the probe 30 on the upper side thereof is transferred to measure the size of the object to be measured.

여기서, 상기한 3차원 측정기는 그 종류 및 형태에 따라 다양한 작동구조를 갖게 되는 것인데, 도시와 같이 단일의 석정반이 X축방향으로 이송되고 그 프로브가 Y축 및 Z축으로 이송되는 형태에 적용되는 것으로,Here, the three-dimensional measuring device is to have a variety of operation structure according to the type and shape, as shown in the figure is applied to a single stone plate is moved in the X-axis direction and the probe is moved in the Y-axis and Z-axis In that,

다르게는 상기한 석정반이 상,하 적층상태로 구성되어 그 두개의 석정반이 서로 다른 방향 즉 X,Y축방향으로 이송되고 그 상측의 프로브가 Z축방향으로 이송하는 형태에도 적용할 수 있는 것이다.Alternatively, the above-mentioned stone slabs may be configured in an upper and lower lamination state so that the two stone slabs may be moved in different directions, that is, in the X and Y axis directions, and the upper probe may be moved in the Z axis direction. will be.

이때, 상기한 석정반(20)은 그 하부의 이송수단에 의해 정확하고 안정된 이송을 하게 되는데, 그 이송수단은 보편적으로 구동모터(40) 및 이와 연동하는 이송스크류(41)의 회전력에 의해 이송되는 것이며,At this time, the stone slab 20 is a precise and stable transfer by the transfer means of the lower, the transfer means is generally transferred by the rotational force of the drive motor 40 and the transfer screw 41 interlocked with it. Will be

상기한 이송스크류(41)에는 석정반(20)의 하부에 장착된 이송플랜지(42)가 결합되어 있으므로, 이송스크류(41)가 회전되면 그 회전력이 이송플랜지(42)에 전달되어 결국 상측의 석정반(20)이 어느 한 방향으로 슬라이딩되는 것이다.Since the conveying screw 41 is coupled to the conveying screw 41 mounted on the lower part of the stone tablet plate 20, when the conveying screw 41 is rotated, its rotational force is transmitted to the conveying flange 42, and eventually, The stone slab 20 will slide in either direction.

여기서, 상기한 석정반(20)의 하부에는 가이더(44)가 형성되어 있고, 그 가이더(44)에는 본체(10)의 상부면에 형성된 레일(43)이 삽입되어 있으므로, 중량체인 석정반(20)은 상기 레일(43) 및 가이더(44)에 의해 축방향으로 정확하고 일정한 이송력을 갖게 된다.Here, the guider 44 is formed in the lower part of the stone panel 20, and the rail 43 formed on the upper surface of the main body 10 is inserted in the guider 44, and thus, the stone panel is a weight body. 20 has an accurate and constant feed force in the axial direction by the rail 43 and the guider 44.

이때, 상기한 레일(43) 및 가이더(44) 또는 이송스크류(41)나 이송플랜지(42) 등의 이송수단에는 분진이나 각종 이물질에 의한 진동이 발생하게 되는데, 상기한 분진이나 이물질 등이 그 이송수단의 이송경로상에 위치하는 경우 해당 이송부와의 마찰간섭에 따른 진동이 상기 석정반(20)으로 전달되어 오류측정이 이루어지는 문제점이 있었던 것이다.At this time, the rail 43 and the guider 44 or the conveying means such as the conveying screw 41 or the conveying flange 42 is caused by the vibration caused by dust or various foreign matters, such as dust or foreign matters When located on the conveying path of the conveying means there is a problem that the vibration due to the frictional interference with the conveying portion is transmitted to the stone plate (20) to measure the error.

상기한 바와 같은 오류측정시 해당 제품이 정확한 수치로 가공되어 있음에도불구하고 오류 측정데이터에 의해 해당 측정물이 불량품으로 인지되는 불합리한 문제점이 있었던 바, 상기한 진동을 상쇄하고자 본 발명이 안출된 것이다.When the error measurement as described above, even though the product is processed to the correct value, there was an unreasonable problem that the measurement object is recognized as a defective product by the error measurement data, the present invention was devised to offset the above-mentioned vibration.

즉, 이를 극복하기 위해 본 발명에서는 상기한 석정반(20)의 하부면에 일정 크기의 텐션공간부(21)를 형성하고, 그 텐션공간부(21) 보다는 소폭으로 더 큰 사이즈의 안치홈(22)을 형성하여 이에 동일한 크기의 충격흡수판(23)을 고정 형성하되,That is, in order to overcome this problem, in the present invention, a tension space portion 21 having a predetermined size is formed on the lower surface of the stone slab 20, and a settled groove having a size slightly larger than that of the tension space portion 21 is formed. 22) to form a shock absorbing plate (23) of the same size fixed thereto,

상기한 충격흡수판(23)은 가장 바람직하게는 SK-5의 재질을 사용하는 것이 이상적이다.Most preferably, the impact absorbing plate 23 is made of a material of SK-5.

이때, 상기한 충격흡수판(23)의 상측에는 여전히 텐션공간부(21)가 존재하게 되는 것이며, 상기한 충격흡수판(23)의 하부면에는 상기한 이송플랜지(42)가 결합 되는 것이다.At this time, the tension space portion 21 is still present on the upper side of the shock absorbing plate 23, the transfer flange 42 is coupled to the lower surface of the shock absorbing plate 23.

따라서, 분진이나 이물질 등에 의한 진동이 하부 이송수단에서 발생하는 경우 그 진동은 충격흡수판(23)으로 가장 먼저 전달되는 것이며, 이러한 진동은 석정반(20)으로 직접 전달되는 것이 아니라, 충격흡수판(23)이 상기한 텐션공간부(21) 측으로 일시적으로 탄력 가변되면서 그 진동을 흡수하게 되는 것이다.Therefore, when vibration caused by dust or foreign matter occurs in the lower transfer means, the vibration is transmitted to the shock absorbing plate 23 first, and the vibration is not directly transmitted to the stone tablet plate 20, but the shock absorbing plate. (23) is temporarily elastically variable toward the tension space portion 21 is to absorb the vibration.

특히, 상기한 진동은 주기적이고 반복적인 것이 아니라, 순간적으로 발생하는 것이므로, 이러한 순간적인 진동을 상기한 충격흡수판(23)이 감지하여 텐션공간부(21) 측으로 형태 변형되며 이를 상쇄시키는 것으로서, 이러한 진동은 육안으로 확인될 정도가 아니라 매우 짧고 작은 진동이어서 상기한 충격흡수판(23)이 이를 순간적으로 흡수 및 상쇄시키게 되는 것이다.In particular, since the vibration is not periodic and repetitive, but occurs instantaneously, the shock absorbing plate 23 detects the instantaneous vibration and deforms it to the tension space portion 21 and offsets it. These vibrations are not so much visible to the naked eye but are very short and small vibrations so that the above-described shock absorbing plate 23 absorbs and cancels them instantaneously.

즉, 종래의 경우에는 그 이송플랜지(42)가 석정반(20)의 하부면에 직접 고정되어 있으므로, 진동이 발생하는 경우에는 그 진동을 그대로 석정반(20)으로 전달하여 상기한 바와 같은 오류측정이 발생하였으나, 본 발명에서는 상기와 같은 진동을 충격흡수판(23)으로 전달받아 이를 탄력적으로 가변되는 충격흡수판(23) 및 그 가변진동을 보정할 수 있는 텐션공간부(21)에 의해 순간적으로 그 진동을 흡수 및 상쇄시키므로, 오류측정이 발생하지 않게 되어 보다 정확한 측정 및 계측이 이루어지는 것이다.That is, in the conventional case, since the conveying flange 42 is directly fixed to the lower surface of the stone plate 20, when the vibration occurs, the vibration is transmitted to the stone plate 20 as it is and the error as described above. Although measurement has occurred, in the present invention, by receiving the vibration as described above to the shock absorbing plate 23 by the elastic shock absorbing plate 23 and the tension space portion 21 that can correct the variable vibrations Since the vibration is absorbed and canceled instantaneously, no error measurement occurs and more accurate measurement and measurement are performed.

이상과 같은 본 발명 진동흡수판을 갖는 석정반 결합구조에 의한 3차원 측정 기는, 각축의 구동 제어부 및 레일 등의 이송부에서 분진이나 이물질에 의해 진동이 발생하는 경우, 그 진동이 상기 진동흡수판 및 텐션공간부에 의해 흡수, 소멸되게 하므로, 상기한 진동이 석정반으로 전달되지 못하게 하므로 보다 정확한 수치의 측정이 가능하여 오인 불량이 발생하지 않으면서도, 안정된 품질관리가 가능하여 매우 경제적인 효과가 있는 것이다.The three-dimensional measuring device according to the above-described stone plate mounting structure having the vibration absorbing plate of the present invention is a vibration absorbing plate and the vibration absorbing plate when the vibration is generated by the dust or foreign matter in the transfer control unit, such as the drive control unit and rail of each axis Absorption and extinction by the tension space prevents the vibration from being transmitted to the stone platform, enabling more accurate measurement and stable quality control without misunderstandings. will be.

Claims (1)

본체(10)와, 석정반(20) 및 프로브(30)로 구성되고, 상기 석정반(20)의 하부에는 구동모터(40)와 이송스크류(41) 및 이송플랜지(42)로 된 구동 제어부를 갖는 공지의 3차원 측정기에 있어서,The drive control unit includes a main body 10, a stone plate 20, and a probe 30, and a lower portion of the stone plate 20 includes a drive motor 40, a transfer screw 41, and a transfer flange 42. In the known three-dimensional measuring machine having: 상기 석정반(20)의 하부면에는, 요홈상의 텐션공간부(21)를 형성하고 그 텐션공간부(21) 보다는 넓은 형태의 안치홈(22)을 동심상으로 각각 형성하여,On the lower surface of the stone slab 20, a tension space portion 21 on the groove is formed, and the recessed grooves 22 having a wider shape than the tension space portion 21 are formed concentrically, respectively. 상기 안치홈(22)에는 고강도의 충격흡수판(23)을 고정 형성하고, 그 충격흡수판(23)의 저면에는 상기 이송플랜지(42)를 결합하여, 이송스크류(41)의 회전에 의한 구동력이 이송플랜지(42) 및 충격흡수판(23)을 통해 석정반(20)으로 전달되어, 상기 석정반(20)이 이송되도록 구성함을 특징으로 하는 진동흡수판을 갖는 석정반 결합구조에 의한 3차원 측정기.The high strength shock absorbing plate 23 is fixedly formed in the settling groove 22, and the conveying flange 42 is coupled to the bottom of the shock absorbing plate 23 to drive the driving force by the rotation of the conveying screw 41. By the transfer flange 42 and the shock absorbing plate 23 is delivered to the stone panel 20, by the stone panel combined structure having a vibration absorbing plate, characterized in that configured to be transferred to the stone panel (20) 3D measuring machine.
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