KR100656246B1 - Manufacturing method of flexible copper clad laminate using surface modification of polyimide film and its product thereby - Google Patents

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Abstract

본 발명은 폴리이미드 필름을 하기 화학식 1로 표시되는 다이아민 화합물이 함유된 용액에 침지하여, 폴리이미드 필름의 표면을 개질하는 방법, 그를 이용한 2층구조의 연성 동박 적층필름의 제조방법 및 그로 제조된 연성 동박 적층필름에 관한 것이다.The present invention is a method of modifying the surface of a polyimide film by immersing a polyimide film in a solution containing a diamine compound represented by the following formula (1), a method for producing a flexible copper foil laminated film of a two-layer structure using the same and the production It relates to a flexible copper foil laminated film.

본 발명의 폴리이미드 필름의 표면 개질방법은 폴리이미드 필름을 특정의 다이아민 화합물이 함유된 용액에 단순히 침지함으로써, 종래의 폴리이미드 필름의 표면을 개질방법을 단순화하고, 개질된 폴리이미드 필름의 표면에 동 스퍼터링 및 전해 동도금법으로 제조된 2층구조의 연성 동박 적층필름은 동박과 폴리이미드 필름간의 우수한 접착력을 가지므로, 유연 인쇄회로기판용 또는 TCP(Tape Carrier Package), COF (Chip On Film) 등의 전자 부품의 기판소재 용도로 유용하다.The surface modification method of the polyimide film of the present invention simplifies the method of modifying the surface of a conventional polyimide film by simply immersing the polyimide film in a solution containing a specific diamine compound, and the surface of the modified polyimide film. Two-layer flexible copper foil laminated film manufactured by copper sputtering and electrolytic copper plating method has excellent adhesive strength between copper foil and polyimide film, so it can be used for flexible printed circuit board, TCP (Tape Carrier Package), and COF (Chip On Film). It is useful for board | substrate material use of electronic components, such as these.

Figure 112004056085675-pat00001
Figure 112004056085675-pat00001

(상기 식에서, R은 명세서에서 정의한 바와 같다.)(Wherein R is as defined in the specification).

동박적층필름, 폴리이미드, 다이아민, 스퍼터링, 전해도금 Copper Clad Laminated Film, Polyimide, Diamine, Sputtering, Electroplating

Description

표면개질된 폴리이미드 필름을 이용한 동박 적층 필름의 제조방법 및 그로 제조된 2층 구조의 동박 적층필름{MANUFACTURING METHOD OF FLEXIBLE COPPER CLAD LAMINATE USING SURFACE MODIFICATION OF POLYIMIDE FILM AND ITS PRODUCT THEREBY}MANUFACTURING METHOD OF FLEXIBLE COPPER CLAD LAMINATE USING SURFACE MODIFICATION OF POLYIMIDE FILM AND ITS PRODUCT THEREBY}

도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 폴리이미드 필름 표면의 SEM 사진이고, 1 is an SEM photograph of the surface of a polyimide film according to Example 1 of the present invention,

도 2는 본 발명의 실시예 1에 따른 폴리이미드 필름 표면의 AFM 사진이고, 2 is an AFM photograph of the surface of a polyimide film according to Example 1 of the present invention,

도 3은 본 발명의 실시예 6에 따른 폴리이미드 필름 표면의 SEM 사진이고, 3 is a SEM photograph of the surface of the polyimide film according to Example 6 of the present invention,

도 4는 본 발명의 실시예 6에 따른 폴리이미드 필름 표면의 AFM 사진이고, 4 is an AFM photograph of the surface of a polyimide film according to Example 6 of the present invention,

도 5는 본 발명에 따른 표면개질된 폴리이미드 필름의 FT-IR 스펙트럼 분석 결과이고, 5 is an FT-IR spectrum analysis result of the surface-modified polyimide film according to the present invention,

도 6은 본 발명의 제조방법에 따라 제조된 동박적층필름의 박리강도를 나타낸 결과이고, 6 is a result showing the peel strength of the copper-clad laminated film prepared according to the production method of the present invention,

도 7은 본 발명에 사용한 펄스 DC 스파터 장치의 도식도이다. 7 is a schematic diagram of a pulsed DC spatter device used in the present invention.

<도면부호에 대한 간단한 설명><Brief Description of Drawings>

10: 펄스 DC 스파터 장치 1: 아르곤 가스 주입구10: pulsed DC spatter device 1: argon gas inlet

2:진공챔버 3: 냉각수 주입구2: Vacuum chamber 3: Cooling water inlet

4: 높낮이 조절장치 5: 냉각수 배출구4: height adjuster 5: cooling water outlet

6: 냉각판 7: 폴리이미드 필름6: cooling plate 7: polyimide film

8: 진공도측정게이지 9: 동타겟8: Vacuum measuring gauge 9: Copper target

본 발명은 연성 동박적층필름 및 그의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 폴리이미드 필름을 다이아민 화합물이 함유된 용액에 침지하여, 폴리이미드 필름의 표면을 개질하고, 이후 실시되는 스퍼터링 및 전해도금의 최적 조건으로 수행하는 2층 구조의 폴리이미드 동박적층필름의 제조방법 및 그로 제조된 접착력이 향상된 폴리이미드 동박적층필름에 관한 것이다.The present invention relates to a flexible copper clad laminated film and a method for manufacturing the same, and more particularly, to immerse a polyimide film in a solution containing a diamine compound, to modify the surface of the polyimide film, and to be carried out after the sputtering and electroplating. The present invention relates to a method for producing a polyimide copper clad laminated film having a two-layer structure under the optimum conditions of the present invention, and to an improved polyimide copper clad laminated film produced therefrom.

폴리이미드 필름은 다른 고분자 재료에 비교하여 우수한 내열성, 전기적 특성, 내화학 약품성 및 내굴곡성 등이 뛰어나, 연성인쇄회로 기판, 자동 본딩용(TAB) 테이프, COF(Chip on Film)등의 전자부품용 절연 기판 재료로서 다양하게 이용되고 있다. 종래 연성인쇄회로 기판에 사용되는 동박 적층필름은 에폭시 접착제를 이용한 3층 구조의 동박 적층필름이 사용되고 있으나 접착제의 내열성이 저하되는 문제로 인하여 치수안정성이 불량하여, 미세 패터닝 용도로는 부적합하다는 지적이 있다. Polyimide film has excellent heat resistance, electrical properties, chemical resistance and flex resistance compared to other polymer materials, and is used for electronic parts such as flexible printed circuit boards, auto bonding (TAB) tape, and chip on film (COF). It is variously used as an insulating substrate material. The copper foil laminated film used in the flexible printed circuit board is a three-layer copper foil laminated film using an epoxy adhesive, but the dimensional stability is poor due to the problem that the heat resistance of the adhesive is lowered, it is pointed out that it is not suitable for fine patterning applications have.

따라서, 최근에는 그간 주류를 이뤘던 3층(Layer)에서 2층 구조의 제품으로 바뀌는 양상이 가속화되고 있다. 이러한 2층 구조는 동박에 폴리이미드 필름을 직접 다이캐스팅하거나 고온 접착하여 접착층을 없애므로 미세 패턴 형성이 쉽고 굴곡성이 뛰어난 장점을 제공한다. 또한, 이러한 장점으로 인하여, 2층 구조의 동박 적층필름은 휴대폰 폴더, LCD, PDP 모듈 등의 디스플레이 제품 중심으로 시장성을 넓힐 수 있다.Therefore, the trend of changing from a three-layer (layer), which has been mainstream in recent years, to a two-layer structure product is accelerating. This two-layer structure directly diecasts or hot-bonds the polyimide film to the copper foil to eliminate the adhesive layer, thus providing the advantage of easy formation of fine patterns and excellent flexibility. In addition, due to these advantages, the copper foil laminated film having a two-layer structure can broaden the marketability of display products such as cellular phone folders, LCDs, and PDP modules.

특히 국내는 전자 부품의 기판소재를 대부분 수입에 의존하고 있어, 새로운 공법을 적용한 2층 연성 동박적층필름(Flexible Copper Clad Laminate; FCCL)에 대한 연구가 절실하다. In particular, domestic substrate materials for electronic components depend mostly on imports, and there is an urgent need for research on flexible copper clad laminate (FCCL) applied a new method.

2층 FCCL제조 방법 중에서, 접착제 대신 폴리이미드필름과 동박을 라미네이팅하는 기술이 보고된 바 있다. In the two-layer FCCL manufacturing method, a technique of laminating a polyimide film and a copper foil instead of an adhesive has been reported.

또한, 스파터링-전해도금법으로서는 미리 얇은 시드 금속층(니켈, 크롬 등)을 스파터링으로 형성한 후 전해도금으로 원하는 두께의 동 층을 형성하는 방법이 제안되어 있으나, 폴리이미드 필름을 미리 플라즈마, 이온빔 등으로 표면 개질공정이 선행되어야 하며, 그 과정에서 특수한 시드 층이 필요하고, 특히, 양면 동박적층필름의 제조 시에는 특수한 제조설비가 요구되는 등 제조비용이 높아진다. 또한, 고온ㆍ고습 환경에서 동박 적층판의 접착강도가 불안하여 신뢰성이 떨어지며, PCB(Printed Circuit Board) 제조 후처리 공정 상에 드릴작업으로 인한 환경오염의 단점이 있다. In addition, as a sputtering-electroplating method, a method of forming a thin seed metal layer (nickel, chromium, etc.) in advance by sputtering and then forming a copper layer having a desired thickness by electroplating has been proposed. The surface modification process must be preceded by the above, and in this process, a special seed layer is required, and in particular, when manufacturing the double-sided copper-clad laminated film, a special manufacturing facility is required. In addition, in the high temperature and high humidity environment, the adhesive strength of the copper foil laminate is unstable, and thus the reliability is low, and there is a disadvantage of environmental pollution due to the drill work on the PCB (Printed Circuit Board) post-treatment process.

이에, 본 발명자들은 종래의 문제점을 해소하고 2층 구조의 연성 동박 적층필름을 얻기 위하여 노력한 결과, 폴리이미드 필름을 특정의 다이아민 화합물이 함유된 용액에 단순히 침지하는 과정으로, 폴리이미드 필름의 표면을 개질하고, 동 스퍼터링 및 전해 동도금법에 대한 최적화 조건으로 수행하는 2층 구조의 연성 동박 적층필름의 제조방법을 제공하고 그에 따라 제조된 연성 동박 적층필름은 양면의 연성 동박 적층필름을 제조가 용이하고, 요구되는 특성인 접착력이 우수함을 확인함으로써, 본 발명을 완성하였다.Accordingly, the present inventors have tried to solve the conventional problems and obtain a flexible copper foil laminated film having a two-layer structure, and as a result of simply immersing the polyimide film in a solution containing a specific diamine compound, the surface of the polyimide film The present invention provides a method for manufacturing a flexible copper foil laminated film having a two-layer structure that is modified to be optimized as conditions for copper sputtering and electrolytic copper plating, and the flexible copper foil laminated film thus prepared is easy to manufacture double-sided flexible copper foil laminated film. The present invention was completed by confirming the excellent adhesive force, which is a required characteristic.

본 발명의 목적은 폴리이미드 필름의 표면 개질방법을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a method of surface modification of a polyimide film.

본 발명의 다른 목적은 상기 폴리이미드 필름의 표면 개질방법을 이용하고, 동 스퍼터링 및 전해 동도금법의 최적화조건을 수행되는 2층구조의 연성 동박 적층필름의 제조방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method for producing a flexible copper foil laminated film having a two-layer structure using the surface modification method of the polyimide film and performing optimization conditions of copper sputtering and electrolytic copper plating.

본 발명의 또 다른 목적은 상기 제조방법에 의하여 제조된 단면 또는 양면의 연성 동박 적층필름을 제공하는 것이다.
Still another object of the present invention is to provide a flexible copper foil laminated film of one side or both sides manufactured by the manufacturing method.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 화학식 1로 표시되는 다이아민 화합물이 함유된 용액에 폴리이미드 필름의 단면 또는 양면을 침지하는, 폴리이미드 필름의 표면 개질방법을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a surface modification method of a polyimide film, immersing one or both sides of the polyimide film in a solution containing a diamine compound represented by the formula (1).

화학식 1Formula 1

Figure 112004056085675-pat00002
Figure 112004056085675-pat00002

Figure 112004056085675-pat00003
Figure 112004056085675-pat00003

보다 구체적으로, 다이아민 화합물은 에틸렌다이아민, 트리에틸렌다이아민, 테트라메틸렌다이아민, 펜타메틸렌다이아민, 헥사메틸렌다이아민, 디에틸렌트리아민, 트리에틸렌테트라아민, 1,3-페닐렌다이아민, 1,4-페닐렌 다이아민, 4,4'-디아미노디페닐 메탄, 4,4'-디아미노 디페닐에테르, 3,3-디아미노 벤조페논, 4,4-디아미노 벤조페논, 1,3-비스(아미노페녹시)벤젠, 1,4-비스(아미노페톡시)벤젠, 비스(3-아미노페닐)술폰 및 비스(4-아미노페닐 술폰), 3,3-디아미노 벤지딘, 4,4-(헥사플루오르이소프로필리딘)디아닐린, 3,3-(헥사플루오르이소프로필리딘)디아닐린으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나를 사용한다.More specifically, the diamine compound is ethylenediamine, triethylenediamine, tetramethylenediamine, pentamethylenediamine, hexamethylenediamine, diethylenetriamine, triethylenetetraamine, 1,3-phenylenediamine , 1,4-phenylene diamine, 4,4'-diaminodiphenyl methane, 4,4'-diamino diphenylether, 3,3-diamino benzophenone, 4,4-diamino benzophenone, 1,3-bis (aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (aminophenoxy) benzene, bis (3-aminophenyl) sulfone and bis (4-aminophenyl sulfone), 3,3-diamino benzidine, Any one selected from the group consisting of 4,4- (hexafluoroisopropylidine) dianiline and 3,3- (hexafluoroisopropylidine) dianiline is used.

본 발명은 상기 다이아민 화합물이 물, 아세톤, 메탄올, 에탄올 및 이소프로판올로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 용매에 0.5∼20M 농도로 용해되어 제조된 다이아민 화합물이 함유된 용액을 사용한다. The present invention uses a solution containing a diamine compound prepared by dissolving the diamine compound at 0.5-20 M concentration in at least one solvent selected from the group consisting of water, acetone, methanol, ethanol and isopropanol.

또한, 본 발명은 상기 폴리이미드 필름 표면의 개질방법을 이용하여, 동박적층필름의 제조방법을 제공한다. 보다 구체적으로 본 발명의 제조방법은 화학식 1로 표시되는 다이아민 화합물이 함유된 용액에 폴리이미드 필름의 단면 또는 양면을 침지하여, 폴리이미드 필름의 표면을 개질하는 단계 1; 상기 표면 개질된 폴리이미드 필름을 세척 및 건조하는 단계 2; 상기 단계에서 건조된 폴리이미드 필름을 0.5∼30mA 및 50∼500W로 1∼10 시간동안 동 스퍼터링하여, 동 스퍼터링층을 형성하는 단계 3; 및 상기 동 스퍼터링층을 전해도금하여 전기 동도금층을 형성하는 단계 4;로 이루어진다.In addition, the present invention provides a method for producing a copper-clad laminated film using the method for modifying the surface of the polyimide film. More specifically, the preparation method of the present invention comprises the steps of modifying the surface of the polyimide film by immersing one or both sides of the polyimide film in a solution containing the diamine compound represented by the formula (1); Washing and drying the surface modified polyimide film; Step 3 of copper sputtering the polyimide film dried in the step at 0.5 to 30 mA and 50 to 500 W for 1 to 10 hours to form a copper sputtering layer; And electroplating the copper sputtering layer to form an electrocopper plating layer.

상기 단계 1에서 폴리이미드 필름의 표면을 개질하기 위한 바람직한 침지조건은 40∼100℃ 온도에서 30초∼2 시간동안 수행하는 것이다.Preferred immersion conditions for modifying the surface of the polyimide film in step 1 is to perform for 30 seconds to 2 hours at a temperature of 40 ~ 100 ℃.

상기 단계 3에서 제조된, 동 스퍼터링층의 두께는 500∼5,000Å이고, 상기 단계 4에서 제조된 전기 동도금층의 두께가 1∼50㎛ 이다. 따라서, 본 발명의 동박적층필름은 스퍼터링하여 형성된 폴리이미드 필름의 동 표면에 전기도금에 의하여 형성된 상기 전기 동도금층으로 이루어진 2층 구조이다.The thickness of the copper sputtering layer prepared in step 3 is 500 to 5,000 mm 3, and the thickness of the electroplated layer prepared in step 4 is 1 to 50 μm. Therefore, the copper foil laminated film of the present invention is a two-layer structure consisting of the electroplated layer formed by electroplating on the copper surface of the polyimide film formed by sputtering.

또한, 본 발명은 상기 다이아민 화합물이 함유된 용액에 침지하여 표면처리된 폴리이미드 필름의 단면 또는 양면에 500∼5,000Å 두께로 형성된 동 스퍼터링층; 및 In addition, the present invention is copper sputtering layer formed to a thickness of 500 ~ 5,000Å on one side or both sides of the polyimide film surface-treated by immersing in the solution containing the diamine compound; And

상기 동 스퍼터링층에 전해도금하여 형성된 1∼50㎛의 두께의 전기 동도금층을 이 루어진 단면 또는 양면 폴리이미드 동박적층필름을 제공한다.It provides a single-sided or double-sided polyimide copper foil laminated film formed of an electroplating layer of 1 ~ 50㎛ thickness formed by electroplating on the copper sputtering layer.

이하, 본 발명을 상세히 설명하고자 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 발명은 화학식 1로 표시되는 다이아민 화합물이 함유된 용액에 폴리이미드 필름의 단면 또는 양면을 침지하는, 폴리이미드 필름의 표면 개질방법을 제공한다.The present invention provides a method for surface modification of a polyimide film, in which one or both sides of a polyimide film are immersed in a solution containing a diamine compound represented by the formula (1).

본 발명의 폴리이미드 필름의 표면 개질방법은 폴리이미드 필름 표면의 산성분과 다이아민 화합물이 반응하여, 폴리이미드 필름에 아미드 아민기를 도입함으로써, 표면을 개질하는 것이다.The surface modification method of the polyimide film of this invention reacts with the acid component of a polyimide film surface, and a diamine compound, and introduce | transforms an amide amine group in a polyimide film, and a surface is modified.

본 발명의 다이아민 화합물은 하기 화학식 1로 표시된다.The diamine compound of the present invention is represented by the following formula (1).

화학식 1Formula 1

Figure 112004056085675-pat00004
Figure 112004056085675-pat00004

Figure 112004056085675-pat00005
Figure 112004056085675-pat00005

보다 구체적으로, 본 발명의 다이아민 화합물은 다이아민 화합물은 에틸렌다이아민, 트리에틸렌다이아민, 테트라메틸렌다이아민, 펜타메틸렌다이아민, 헥사메틸렌다이아민, 디에틸렌트리아민, 트리에틸렌테트라아민, 1,3-페닐렌다이아민, 1,4-페닐렌 다이아민, 4,4'-디아미노디페닐 메탄, 4,4'-디아미노 디페닐에테르, 3,3-디아미노 벤조페논, 4,4-디아미노 벤조페논, 1,3-비스(아미노페녹시)벤젠, 1,4-비스(아미노페톡시)벤젠, 비스(3-아미노페닐)술폰 및 비스(4-아미노페닐 술폰), 3,3-디아미노 벤지딘, 4,4-(헥사플루오르이소프로필리딘)디아닐린, 3,3-(헥사플루오르이소프로필리딘)디아닐린으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나이다.More specifically, the diamine compound of the present invention, the diamine compound is ethylenediamine, triethylenediamine, tetramethylenediamine, pentamethylenediamine, hexamethylenediamine, diethylenetriamine, triethylenetetraamine, 1 , 3-phenylenediamine, 1,4-phenylene diamine, 4,4'-diaminodiphenyl methane, 4,4'-diamino diphenylether, 3,3-diamino benzophenone, 4, 4-diamino benzophenone, 1,3-bis (aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (aminophenoxy) benzene, bis (3-aminophenyl) sulfone and bis (4-aminophenyl sulfone), 3 It is any one selected from the group consisting of, 3-diamino benzidine, 4,4- (hexafluoroisopropylidine) dianiline, and 3,3- (hexafluoroisopropylidine) dianiline.

상기 다이아민 화합물은 물, 아세톤, 메탄올, 에탄올 및 이소프로판올로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 용매에 용해되어, 0.5∼20M 농도의 다이아민 용액으로 제조된다.The diamine compound is dissolved in one or more solvents selected from the group consisting of water, acetone, methanol, ethanol and isopropanol, to prepare a diamine solution having a concentration of 0.5 to 20 M.

또한, 본 발명에서 사용될 수 있는 폴리이미드 필름은 10∼100 ㎛ 두께를 갖는 것이라면, 합성 또는 상용되는 것이라도 특별히 제한되지 않으나, 바람직한 일례로는 듀폰사의 캡톤 에이치(Kapton H), 캡톤 이(Kapton E), 일본 우베(Ube)사의 유필렉스-에스(Upilex-S), 또는 일본 카네카(Kaneka)사의 아피칼(Apical) 필름을 사용한다. In addition, the polyimide film that can be used in the present invention is not particularly limited as long as the polyimide film has a thickness of 10 to 100 μm, even if it is synthetic or commercially available. ), Japan Upbex-S from Ube, or Apical from Kaneka, Japan Use film.

도 1 도 2는 본 발명의 실시예 1에서 표면 개질된 폴리이미드 필름의 표면을 SEM 및 AFM을 이용하여 측정한 결과이고, 도 3 도 4는 실시예 6에서 표면 개질된 폴리이미드 필름의 표면을 SEM 및 AFM을 이용하여 측정한 결과를 도시한 것이 다. 상기 결과로부터, 본 발명의 다이아민 화합물이 함유된 용액에 폴리이미드 필름을 침지함으로써, 표면의 거칠기가 증가한 것을 확인하였다. SEM 사진의 결과로부터, 실시예 1의 폴리이미드 필름의 표면은 미세한 돌기들로부터 표면이 개질된 것을 확인 할 수 있고, AFM 결과는 거칠기(roughness)를 통하여 뚜렷한 표면 거칠기를 보임으로써, 표면 개질을 확인할 수 있다. 1 and 2 are the results of measuring the surface of the surface-modified polyimide film in Example 1 of the present invention using SEM and AFM, Figure 3 and Figure 4 is a surface-modified polyimide film of Example 6 The surface was measured using SEM and AFM. From the above results, it was confirmed that the surface roughness was increased by immersing the polyimide film in the solution containing the diamine compound of the present invention. From the results of the SEM photographs, it can be seen that the surface of the polyimide film of Example 1 was modified from fine projections, and the AFM results showed a distinct surface roughness through roughness, thereby confirming surface modification. Can be.

또한, 도 5는 본 발명에 따른 표면개질방법에 따른 폴리이미드 필름의 FT-IR 스펙트럼 분석 결과로서, 본 발명은 폴리이미드 필름을 다이아민이 함유된 용액에 침지함으로써, 2700∼2250 cm-1 영역에서의 아미드 아민기가 확인된 반면에, 수산화칼륨을 이용하여 표면개질한 비교예는 3600∼2700 cm-1 영역에서의 수산기가 확인되었다.In addition, Figure 5 is a result of the FT-IR spectrum analysis of the polyimide film according to the surface modification method according to the present invention, the present invention is immersed in a solution containing a diamine in the polyimide film, 2700 ~ 2250 cm -1 region While the amide amine group of was identified, the comparative example surface-modified using potassium hydroxide showed a hydroxyl group in the 3600-2700 cm -1 region.

또한, 본 발명은 상기 폴리이미드 필름 표면의 개질방법을 이용하여, 동박적층필름의 제조방법을 제공한다. 보다 구체적으로 본 발명의 제조방법은
1) 화학식 1로 표시되는 다이아민 화합물이 함유된 용액에 폴리이미드 필름의 단면 또는 양면을 침지하여, 폴리이미드 필름의 표면을 개질하는 단계;
2) 상기 표면 개질된 폴리이미드 필름을 세척 및 건조하는 단계;
In addition, the present invention provides a method for producing a copper-clad laminated film using the method for modifying the surface of the polyimide film. More specifically, the manufacturing method of the present invention
1) modifying the surface of the polyimide film by immersing one or both sides of the polyimide film in a solution containing the diamine compound represented by Formula 1;
2) washing and drying the surface modified polyimide film;

3) 상기 단계에서 건조된 폴리이미드 필름을 0.5∼30mA 및 50∼500W로 1∼10 시간동안 동 스퍼터링하여, 동 스퍼터링층을 형성하는 단계; 및 3) copper sputtering the polyimide film dried in the step at 0.5 to 30 mA and 50 to 500 W for 1 to 10 hours to form a copper sputtering layer; And

4) 상기 동 스퍼터링층을 전해도금하여 전기 동도금층을 형성하는 단계;로 이루어 진다.4) electroplating the copper sputtering layer to form an electrocopper plating layer.

상기 단계 1에서 폴리이미드 필름의 표면을 개질하기 위한 바람직한 침지조건은 실온에서부터 선택된 용매의 끓는점까지의 온도 범위에서 침지하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 40∼100℃에서 수행되는 것이다. 또한, 침지시간은 상기 온도에 따라 달라질 수 있으나, 30초∼2시간 동안 수행되는 것이며, 처리 시간이 지나치게 짧으면, 표면 개질 속도가 낮아 표면의 개질이 거의 일어나지 않고, 반면에 처리 시간이 길면 표면 개질은 원활하나 물성에 영향을 주어 바람직하지 않다. Preferred immersion conditions for modifying the surface of the polyimide film in step 1 is preferably immersed in a temperature range from room temperature to the boiling point of the selected solvent, more preferably 40 to 100 ℃. In addition, the immersion time may vary depending on the temperature, but is carried out for 30 seconds to 2 hours, if the treatment time is too short, the surface modification rate is low and the surface modification hardly occurs, while if the treatment time is long surface modification Is smooth but unfavorable because it affects the physical properties.

단계 2는 상기 단계에서 표면개질된 폴리이미드 필름을 증류수 및 알코올 용매로 세척하는 단계로서, 미반응된 다이아민 용액을 제거하고, 표면을 온풍건조기를 이용하여 충분히 건조시켜 후공정인 동 스퍼터링 공정에 적합하도록 최적화한다.Step 2 is a step of washing the surface-modified polyimide film with distilled water and an alcohol solvent in the step, remove the unreacted diamine solution, and sufficiently dry the surface using a hot air dryer to the copper sputtering process Optimize to suit.

단계 3은 세척 및 건조단계를 거치고, 표면개질된 폴리이미드 필름에 동원자(Copper)를 충돌시켜 막을 형성하는 스퍼터링 단계이다. Step 3 is a sputtering step of washing and drying to form a film by colliding a copper atom to the surface-modified polyimide film.

본 발명의 스퍼터링 단계는 도 7에서 도시된 펄스(pulse) DC 스파터 장치(10)를 이용하여 실시된다. 상기 단계에서 표면 개질된 폴리이미드 필름(7)을 냉각판(6) 상에 올리고, 1×10-3 ∼ 1×10-5 torr로 유지된 진공챔버(2) 내에서 5 ∼ 30 sccm 정도로 아르곤 가스를 유입(1)하여 분위기를 형성하고 0.5∼30mA 전류를 50∼500W의 전 력으로 조절하면서, 1∼10 시간동안 동 스퍼터링 공정을 수행하여, 500∼5,000Å두께로 유지한다. 이때, 스파터링에 의한 동 스퍼터링층의 두께가 500Å 미만인 경우, 핀홀이 생기거나 전해도금시 통전이 안 되거나 또는 도금의 밀착력이 약해 벗겨지는 현상이 나타나며, 반면에 5,000Å 초과할 경우, 에너지 손실이 많고 너무 두꺼워져 기판재료로 사용하는데 바람직하지 않다. A sputtering step of the present invention is performed by using the pulse (pulse) DC spa emitter device 10 shown in FIG. The surface-modified polyimide film 7 was raised on the cooling plate 6 in the above step, and argon 5 to 30 sccm in the vacuum chamber 2 maintained at 1 × 10 −3 to 1 × 10 −5 torr. The gas is introduced (1) to form an atmosphere, and the sputtering process is performed for 1 to 10 hours while controlling the 0.5 to 30 mA current to a power of 50 to 500 W, and maintained at a thickness of 500 to 5,000 mW. At this time, when the thickness of the copper sputtering layer due to spattering is less than 500 μs, pinholes may occur or electricity may not be applied during electroplating, or the adhesion of plating may be weak. Many and too thick are undesirable for use as substrate materials.

이후, 단계 4는 제조된 동 스퍼터링층에 전기도금하여 전기 동도금층을 형성하는 단계로서, 스퍼터링 단계에서 제어된 두께의 동박에 전해 동도금하여 직접 동을 일정두께까지 퇴적하는 공정으로서, 바람직한 동박의 두께는 1∼50㎛이다. 이때, 전기 동도금층이 50㎛ 초과시 고밀도 배선에서의 선폭의 정밀도가 저하하거나 부품 실장에서 경량 및 소형화의 면에서 바람직하지 않다.Subsequently, step 4 is a step of forming an electric copper plating layer by electroplating the prepared copper sputtering layer, electrolytic copper plating on copper foil of a controlled thickness in the sputtering step to directly deposit copper to a certain thickness, the preferred copper foil thickness Is 1-50 micrometers. At this time, when the electric copper plating layer exceeds 50 µm, the precision of the line width in the high-density wiring is lowered or unfavorable in terms of light weight and miniaturization in component mounting.

도 6은 본 발명의 제조방법에 따라 제조된 동박적층필름의 박리강도를 나타낸 결과로서, 본 발명은 폴리이미드 필름을 종래 표면처리시 사용된 알칼리 용액에 침지하여 제조된 동박필름의 경우보다 2∼3배의 우수한 박리강도를 나타낸다. 6 is a result showing the peel strength of the copper foil laminated film prepared according to the production method of the present invention, the present invention is 2 ~ than the case of the copper foil film prepared by immersing the polyimide film in an alkaline solution used in the conventional surface treatment It shows three times better peel strength.

따라서, 본 발명은 폴리이미드 필름의 단면 또는 양면을 상기 다이아민 화합물이 함유된 용액에 침지하는 단계로부터 폴리이미드 필름의 표면을 개질하고, 개질된 표면에 동 스파터링 및 전해도금 방법을 이용하여 직접 동을 일정두께까지 적층함으로써, 동박과 폴리이미드 필름의 접착력이 향상된 연성 동박 적층필름을 제공한 다. Therefore, the present invention is to modify the surface of the polyimide film from the step of immersing one or both sides of the polyimide film in the solution containing the diamine compound, and directly on the modified surface using a copper spattering and electroplating method By laminating copper to a certain thickness, it provides a flexible copper foil laminated film with improved adhesion between the copper foil and the polyimide film.

본 발명의 2층 구조의 동박적층필름은 패턴을 갖는 마스크를 형성시키고 노출된 동박막 부분을 동 에칭액에 의하여 선택적으로 에칭하여 제거하고 동 회로 패턴을 형성하는 방법에 응용함으로써, 연성인쇄회로 기판용 또는 TCP(Tape Carrier Package), COF (Chip On Film) 등의 전자 부품의 기판소재 용도로 유용하다.The copper foil laminated film of the two-layer structure of the present invention forms a mask having a pattern, selectively exposes and removes the exposed copper thin film portion with a copper etching solution, and applies it to a method of forming a copper circuit pattern, thereby providing a flexible printed circuit board. Or it is useful for substrate materials of electronic components such as Tape Carrier Package (TCP), Chip On Film (COF).

이하, 본 발명을 실시예에 의하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by way of examples.

하기 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. The following examples are merely illustrative of the present invention, but the scope of the present invention is not limited to the following examples.

<실시예 1> <Example 1>

폴리이미드 필름을 10M의 에틸렌다이아민 수용액에 80℃에서 3 분동안 침지 처리한 후, 증류수와 이소프로필알코올을 이용하여 각 5회씩 10 분간 세척하였다. 세척 이후, 온풍 건조기에서 충분히 건조한 다음, 동스파터링 장치에 세팅한 후 20mA에서 1 시간동안 스퍼터링을 진행하여 동 두께를 2,000Å으로 일정하게 조절하였다. 이후, 황산동 도금조에 장착하여 실온에서 1 시간동안 전해도금을 실시하여 10 ㎛의 폴리이미드 동박 적층 필름을 제조하였다.The polyimide film was immersed in 10M aqueous solution of ethylenediamine at 80 ° C. for 3 minutes, and then washed 5 times for 10 minutes using distilled water and isopropyl alcohol. After washing, it was sufficiently dried in a warm air dryer, set in a copper sputtering apparatus, and then sputtered at 20 mA for 1 hour to uniformly adjust the copper thickness to 2,000 kPa. Then, it was mounted in a copper sulfate plating bath and subjected to electroplating at room temperature for 1 hour to prepare a 10 μm polyimide copper foil laminated film.

<실시예 2> <Example 2>

폴리이미드 필름을 10M의 에틸렌다이아민 수용액에 80℃에서 10 분동안 침지 처리한 것을 제외하고는, 상기 실시예 1과 동일하게 실시하여 폴리이미드 동박 적층 필 름을 제조하였다.A polyimide copper foil laminated film was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyimide film was immersed in 10M aqueous solution of ethylenediamine for 10 minutes at 80 ° C.

<실시예 3> <Example 3>

폴리이미드 필름을 10M의 에틸렌다이아민 수용액에 실온에서 10 분동안 침지 처리한 것을 제외하고는, 상기 실시예 1과 동일하게 실시하여 폴리이미드 동박 적층 필름을 제조하였다.A polyimide copper-clad laminated film was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyimide film was immersed in 10M aqueous solution of ethylenediamine for 10 minutes at room temperature.

<실시예 4> <Example 4>

폴리이미드 필름을 10M의 에틸렌다이아민 수용액에 100℃에서 3 분동안 침지 처리한 것을 제외하고는, 상기 실시예 1과 동일하게 실시하여 폴리이미드 동박 적층 필름을 제조하였다.A polyimide copper-clad laminated film was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyimide film was immersed in 10M aqueous solution of ethylenediamine at 100 ° C. for 3 minutes.

<실시예 5> Example 5

폴리이미드 필름을 3M의 트리에틸렌테트라아민 수용액에 80℃에서 3 분동안 처리한 후, 증류수와 메탄올을 이용하여 각 5회씩 10 분간 세척하였다. 세척 이후, 온풍 건조기에서 충분히 건조한 다음, 동스파터링 장치에 세팅한 후 30mA에서 1 시간동안 스퍼터링을 진행하여 동 두께를 2,000Å으로 유지하게 조절하였다. 이후, 황산동 도금조에 장착하여 실온에서 1 시간동안 전해도금을 실시하여 20 ㎛의 폴리이미드 동박 적층 필름을 제조하였다.The polyimide film was treated with 3M triethylenetetraamine aqueous solution at 80 ° C. for 3 minutes, and then washed 5 times with distilled water and methanol for 10 minutes. After washing, it was sufficiently dried in a warm air dryer, set in a copper sputtering apparatus, and sputtered at 30 mA for 1 hour to adjust the copper thickness to maintain 2,000 kPa. Then, it was mounted in a copper sulfate plating bath and subjected to electroplating at room temperature for 1 hour to prepare a polyimide copper foil laminated film of 20 µm.

<실시예 6> <Example 6>

폴리이미드 필름을 3M의 트리에틸렌테트라아민 수용액에 25℃에서 10 분동안 침지 처리한 것을 제외하고는, 상기 실시예 5과 동일하게 실시하여 폴리이미드 동박 적층 필름을 제조하였다.A polyimide copper-clad laminated film was prepared in the same manner as in Example 5 except that the polyimide film was immersed in 3M aqueous triethylenetetraamine solution at 25 ° C. for 10 minutes.

<실시예 7> <Example 7>

폴리이미드 필름을 3M의 트리에틸렌테트라아민 수용액에 60℃에서 1 분동안 침지 처리한 것을 제외하고는, 상기 실시예 5과 동일하게 실시하여 폴리이미드 동박 적층 필름을 제조하였다.A polyimide copper foil laminate film was prepared in the same manner as in Example 5 except that the polyimide film was immersed in 3M aqueous triethylenetetraamine solution at 60 ° C. for 1 minute.

<실시예 8> <Example 8>

아세톤: 에탄올: 증류수의 부피비율이 1:1:0.5로 제조된 혼합용매를 이용하여 제조된 3M의 1,4-페닐렌 다이아민 용액을 제조하였다.A 3M 1,4-phenylene diamine solution was prepared using a mixed solvent having acetone: ethanol: distilled water in a volume ratio of 1: 1: 0.5.

이후, 폴리이미드 필름을 상기 3M의 1,4-페닐렌 다이아민 수용액에 40℃에서 30 분동안 침지 처리하고 이후, 스파터링 및 전해도금 공정을 상기 실시예 5과 동일하게 실시하여 폴리이미드 동박 적층 필름을 제조하였다. Thereafter, the polyimide film was immersed in the 3M 1,4-phenylene diamine aqueous solution at 40 ° C. for 30 minutes, and then the sputtering and electroplating processes were performed in the same manner as in Example 5 to laminate the polyimide copper foil. A film was prepared.

<비교예 1> Comparative Example 1

알카리 표면처리에 의한 폴리이미드 필름의 접착성 향상에 대한 기술이 공지된 바[한국섬유공학회지, 34권, 3호, 178∼185p], 폴리이미드 필름을 3M의 수산화칼륨(KOH) 수용액에 85℃에서 3 분동안 침지 처리하고 이후, 스파터링 및 전해도금 공정을 상기 실시예 1과 동일하게 실시하여 폴리이미드 동박 적층 필름을 제조하였다. As a technique for improving the adhesion of polyimide film by alkali surface treatment is known [Korean Journal of Textile Science and Engineering, 34, 3, 178-185p], a polyimide film was added to 3M aqueous potassium hydroxide (KOH) solution. After immersion for 3 minutes at ° C., the sputtering and electroplating process was carried out in the same manner as in Example 1 to prepare a polyimide copper foil laminated film.

<비교예 2> Comparative Example 2

폴리이미드 필름을 3M의 수산화칼륨(KOH) 수용액에 25℃에서 10 분동안 침지 처리하고 이후, 스파터링 및 전해도금 공정을 상기 실시예 1과 동일하게 실시하여 폴리이미드 동박 적층 필름을 제조하였다.The polyimide film was immersed in 3M aqueous potassium hydroxide (KOH) solution at 25 ° C. for 10 minutes, and then the sputtering and electroplating processes were performed in the same manner as in Example 1 to prepare a polyimide copper foil laminate film.

<비교예 3> Comparative Example 3

폴리이미드 필름을 3M의 수산화칼륨(KOH) 수용액에 60℃에서 20 분동안 침지 처리하고 이후, 스파터링 및 전해도금 공정을 상기 실시예 1과 동일하게 실시하여 폴리이미드 동박 적층 필름을 제조하였다.The polyimide film was immersed in 3M aqueous potassium hydroxide (KOH) solution at 60 ° C. for 20 minutes, and then the sputtering and electroplating processes were performed in the same manner as in Example 1 to prepare a polyimide copper foil laminated film.

<비교예 4> <Comparative Example 4>

폴리이미드 필름을 3M의 수산화칼륨(KOH) 수용액에 60℃에서 10 분동안 침지 처리하고 이후, 스파터링 및 전해도금 공정을 상기 실시예 1과 동일하게 실시하여 폴리이미드 동박 적층 필름을 제조하였다.The polyimide film was immersed in 3M aqueous potassium hydroxide (KOH) solution at 60 ° C. for 10 minutes, and then the sputtering and electroplating processes were performed in the same manner as in Example 1 to prepare a polyimide copper foil laminate film.

<실험예 1> Experimental Example 1

상기 실시예 1∼8 및 비교예 1∼4에서 제조된 폴리이미드 동박 적층 필름의 접착강도를 측정하기 위하여 하기와 같이 측정하였다.In order to measure the adhesive strength of the polyimide copper foil laminated | multilayer film manufactured in the said Examples 1-8 and Comparative Examples 1-4, it measured as follows.

상기 실시예 1∼8 및 비교예 1∼4에서 전해도금 과정 이후 제조된 동박필름 표면에 내산 페인트 또는 내산 테이프를 이용하여 패터닝을 하고, 황산 및 황산동 용액으로 제조된 에칭용액을 이용하여 에칭하여 90˚필 접착력의 물성을 평가하여 그 결과를 표 1에 나타내었다.The copper foil film prepared after the electroplating process in Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 4 was patterned by using an acid paint or an acid resistant tape, and then etched using an etching solution made of sulfuric acid and copper sulfate solution. The physical properties of the 필 peel adhesive force were evaluated, and the results are shown in Table 1 .

구분division 용 액Solution 표면처리 후 접촉각Contact angle after surface treatment 접착력(kg/cm)Adhesive force (kg / cm) 실시예1Example 1 에틸렌다이아민Ethylenediamine 3232 0.950.95 실시예2Example 2 에틸렌다이아민Ethylenediamine 3030 0.810.81 실시예3Example 3 에틸렌다이아민Ethylenediamine 3535 0.920.92 실시예4Example 4 에틸렌다이아민Ethylenediamine 3030 1.201.20 실시예5Example 5 트리에틸렌테트라아민Triethylenetetraamine 3333 0.880.88 실시예6Example 6 트리에틸렌테트라아민Triethylenetetraamine 3434 0.800.80 실시예7Example 7 트리에틸렌테트라아민Triethylenetetraamine 3434 0.920.92 실시예8Example 8 1,4-페닐렌다이아민1,4-phenylenediamine 3535 0.960.96 비교예1Comparative Example 1 수산화칼륨Potassium hydroxide 3030 0.430.43 비교예2Comparative Example 2 수산화칼륨Potassium hydroxide 3232 0.420.42 비교예3Comparative Example 3 수산화칼륨Potassium hydroxide 2727 0.430.43 비교예4Comparative Example 4 수산화칼륨Potassium hydroxide 2828 0.340.34

상기 표 1에서 보는 바와 같이, 폴리이미드 필름을 다이아민 용액에 침지 처리한 실시예 1∼8에서 제조된 동박적층필름은 표면 개질된 폴리이미드 필름과 동과의 접착력이 0.8 kg/cm 이상의 접착강도를 보였으며, 비교예 1∼4에서 제조된 동박필름보다 2∼3배의 우수한 접착력을 나타내었다.As shown in Table 1, the copper-clad laminated film prepared in Examples 1 to 8, in which the polyimide film was immersed in a diamine solution, has an adhesive strength of 0.8 kg / cm or more with a surface-modified polyimide film and copper. It showed, and showed excellent adhesive strength of 2-3 times than the copper foil film prepared in Comparative Examples 1-4.

따라서, 접착력이 향상된 동박적층필름을 얻을 수 있으므로, 별도의 접착층없이 2층 구조의 폴리이미드 동박 적층 필름을 제공함으로써, 미세배선이 가능하고 우수한 접착력으로 연성인쇄회로 기판용으로 유용하다.Therefore, since the copper foil laminated film with improved adhesive strength can be obtained, by providing a polyimide copper foil laminated film having a two-layer structure without a separate adhesive layer, fine wiring is possible and is useful for a flexible printed circuit board with excellent adhesive strength.

상기에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 As described above, the present invention

첫째, 폴리이미드 필름을 다이아민 화합물이 함유된 용액을 침지하여 폴리이미드 필름의 표면을 개질함으로써, 종래의 이온빔에 의한 표면처리 공정을 대체하고, 특수한 시드층을 사용하지 않으므로, 비용절감과 함께 중금속에 의한 환경오염을 줄일 수 있고, 동시에 후처리 공정 시, 공정의 단순화효과로 인하여, 경제적으로 유 리하고,First, by modifying the surface of the polyimide film by immersing the solution containing the diamine compound in the polyimide film, it replaces the conventional surface treatment process by the ion beam, and does not use a special seed layer, heavy metals with cost reduction Can reduce environmental pollution, and at the same time, due to the simplicity of the process,

둘째, 본 발명의 폴리이미드 필름 표면의 개질방법을 이용하고, 동 스파터링 및 전해도금 수행시, 최적조건을 제공하였고,Secondly, using the modification method of the surface of the polyimide film of the present invention, and provided the optimum conditions when performing copper spattering and electroplating,

셋째, 2층 구조의 폴리이미드 동박 적층 필름을 제공하고, 특히 폴리이미드 필름의 단면 또는 양면에 표면 개질을 수행하여 단면 뿐만 아니라, 양면 폴리이미드 동박적층필름을 제공할 수 있다.
Third, it is possible to provide a polyimide copper foil laminated film having a two-layer structure, and in particular, by performing surface modification on one or both surfaces of the polyimide film, it is possible to provide a single-sided, double-sided polyimide copper foil laminated film.

이상에서 본 발명은 기재된 실시예에 대해서만 상세히 기술되었지만, 본 발명의 기술사상 범위내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the embodiments described, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical spirit of the present invention, and such modifications and variations belong to the appended claims. .

Claims (11)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 1) 하기 화학식 1로 표시되는 다이아민 화합물이 함유된 용액에 폴리이미드 필름의 단면 또는 양면을 침지하여, 폴리이미드 필름의 표면을 개질하는 단계;1) modifying the surface of the polyimide film by immersing one or both sides of the polyimide film in a solution containing the diamine compound represented by Formula 1 below; 2) 상기 표면 개질된 폴리이미드 필름을 세척 및 건조하는 단계;2) washing and drying the surface modified polyimide film; 3) 상기 단계에서 건조된 폴리이미드 필름을 0.5∼30mA 및 50∼500W로 1∼10 시간동안 동 스퍼터링하여, 동 스퍼터링층을 형성하는 단계; 및 3) copper sputtering the polyimide film dried in the step at 0.5 to 30 mA and 50 to 500 W for 1 to 10 hours to form a copper sputtering layer; And 4) 상기 동 스퍼터링층을 전해도금하여 전기 동도금층을 형성하는 단계;로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면개질된 폴리이미드 필름을 이용한 2층 구조의 연성 동박 적층필름의 제조방법.4) electroplating the copper sputtering layer to form an electrocopper plating layer; a method of manufacturing a flexible copper foil laminated film having a two-layer structure using a surface-modified polyimide film, characterized in that consisting of. 화학식 1Formula 1
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제5항에 있어서, 상기 단계 1에서 다이아민 화합물이 함유된 용액에 폴리이미드 필름의 단면 또는 양면을 40∼100℃에서 30초∼2 시간동안 침지하는 것을 특징으로 하는 상기 2층 구조의 연성 동박 적층필름의 제조방법.The flexible copper foil of the two-layer structure according to claim 5, wherein the cross-section or both sides of the polyimide film is immersed in the solution containing the diamine compound in step 1 for 30 seconds to 2 hours at 40 to 100 ° C. Method of manufacturing laminated film. 제5항에 있어서, 상기 동 스퍼터링층이 500∼5,000Å의 두께인 것을 특징으로 하는 상기 2층 구조의 연성 동박 적층필름의 제조방법.The method for producing a flexible copper foil laminated film according to claim 5, wherein the copper sputtering layer has a thickness of 500 to 5,000 kPa. 제5항에 있어서, 상기 전기 동도금층이 1∼50㎛의 두께인 것을 특징으로 하는 상기 2층 구조의 연성 동박 적층필름의 제조방법.The method for producing a flexible copper foil laminated film of the two-layer structure according to claim 5, wherein the electrocopper plating layer has a thickness of 1 to 50 µm. 제5항의 단계 1에서 다이아민 화합물이 함유된 용액에 침지하여 표면처리된 폴리이미드 필름의 단면 또는 양면에 500∼5,000Å 두께로 형성된 동 스퍼터링층; 및 Copper sputtering layer formed to a thickness of 500 ~ 5,000Å on one or both surfaces of the polyimide film surface-treated by immersing in a solution containing a diamine compound in step 1 of claim 5; And 상기 동 스퍼터링층에 전해도금하여 형성된 1∼50㎛의 두께의 전기 동도금층;으로 이루어진 것을 특징으로 하는, 제5항의 제조방법으로 제조된 2층 구조의 연성 동박 적층필름.An electro-copper plating layer having a thickness of 1 to 50 μm formed by electroplating on the copper sputtering layer. The flexible copper foil laminated film having a two-layer structure manufactured by the manufacturing method of claim 5. 제5항에 있어서, 상기 다이아민 화합물이 에틸렌다이아민, 트리에틸렌다이아민, 테트라메틸렌다이아민, 펜타메틸렌다이아민, 헥사메틸렌다이아민, 디에틸렌트리아민, 트리에틸렌테트라아민, 1,3-페닐렌다이아민, 1,4-페닐렌 다이아민, 4,4'-디아미노디페닐 메탄, 4,4'-디아미노 디페닐에테르, 3,3-디아미노 벤조페논, 4,4-디아미노 벤조페논, 1,3-비스(아미노페녹시)벤젠, 1,4-비스(아미노페톡시)벤젠, 비스(3-아미노페닐)술폰 및 비스(4-아미노페닐 술폰), 3,3-디아미노 벤지딘, 4,4-(헥사플루오르이소프로필리딘)디아닐린, 3,3-(헥사플루오르이소프로필리딘)디아닐린으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 상기 2층 구조의 연성 동박 적층필름의 제조방법.The diamine compound according to claim 5, wherein the diamine compound is ethylenediamine, triethylenediamine, tetramethylenediamine, pentamethylenediamine, hexamethylenediamine, diethylenetriamine, triethylenetetraamine, 1,3-phenyl Rendiamine, 1,4-phenylene diamine, 4,4'-diaminodiphenyl methane, 4,4'-diamino diphenylether, 3,3-diamino benzophenone, 4,4-diamino Benzophenone, 1,3-bis (aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (aminophenoxy) benzene, bis (3-aminophenyl) sulfone and bis (4-aminophenyl sulfone), 3,3-dia Mino-benzidine, 4,4- (hexafluoroisopropylidine) dianiline, 3,3- (hexafluoroisopropylidine) dianiline any one selected from the group consisting of the soft copper foil of the said two-layer structure Method of manufacturing laminated film. 제5항에 있어서, 상기 다이아민 화합물이 함유된 용액이 물, 아세톤, 메탄올, 에탄올 및 이소프로판올로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 용매에 0.5∼20M 농도로 상기 다이아민 화합물이 용해되어 제조된 용액인 것을 특징으로 하는 상기 2층 구조의 연성 동박 적층필름의 제조방법. The solution of claim 5, wherein the solution containing the diamine compound is prepared by dissolving the diamine compound at a concentration of 0.5 to 20 M in at least one solvent selected from the group consisting of water, acetone, methanol, ethanol and isopropanol. The method of manufacturing a flexible copper foil laminated film of the two-layer structure.
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