KR100652863B1 - Silica-Polyimide Hybrid and Method for making the same - Google Patents

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Abstract

무색의 투명한 폴리이미드에 3-아미노프로필트리에톡시실란(APTES)과 테트라에톡시실란(TEOS)을 적용한 실리카-폴리이미드 하이브리드가 개시된다. 기존의 폴리이미드보다 열안정성과 광학적 성질이 우수하며 유기전기발광소자의 기판으로 AZO를 스퍼터링하였을 때 기존의 폴리이미드보다 현저한 광학적, 전기적 특성을 향상시킬 수 있다.A silica-polyimide hybrid is disclosed wherein 3-aminopropyltriethoxysilane (APTES) and tetraethoxysilane (TEOS) are applied to a colorless transparent polyimide. Thermal stability and optical properties are better than the existing polyimide, and when AZO is sputtered as the substrate of the organic electroluminescent device, the optical and electrical properties can be improved more remarkably than the conventional polyimide.

하이브리드, 6FDA, OLED, AZO, 폴리이미드, 무채Hybrid, 6FDA, OLED, AZO, Polyimide, Achromatic

Description

실리카-폴리이미드 하이브리드 및 그 제조방법{Silica-Polyimide Hybrid and Method for making the same} Silica-Polyimide Hybrid and Method for making the same             

도 1은 본 발명에서 제조된 유기전기발광소자 기판용 실리카-폴리이미드의 구조이다.1 is a structure of silica-polyimide for an organic electroluminescent device substrate prepared in the present invention.

도 2는 본 발명의 실리카-폴리이미드의 합성 도식도이다. 2 is a schematic of the synthesis of silica-polyimide of the present invention.

도 3은 6FDA-TFDB 폴리이미드와 실리카-폴리이미드 필름의 FT-IR 스펙트럼을 나타낸다.3 shows the FT-IR spectrum of 6FDA-TFDB polyimide and silica-polyimide film.

도 4는 6FDA-TFDB 폴리이미드와 hybrid 1-3, hybrid 1-4, hybrid 2-2의 자외선 분광기에 의한 투과도를 나타낸다.Figure 4 shows the transmission by the ultraviolet spectroscopy of 6FDA-TFDB polyimide and hybrid 1-3, hybrid 1-4, hybrid 2-2.

도 5a는 6FDA-TFDB 폴리이미드와 hybrid 1-3, hybrid 1-4의 tan delta 데이터를 보여주고 있다.Figure 5a shows the tan delta data of 6FDA-TFDB polyimide and hybrid 1-3, hybrid 1-4.

도 5b는 6FDA-TFDB 폴리이미드와 hybrid 2-1, hybrid 2-2의 tan delta 데이터를 보여주고 있다.5b shows tan delta data of 6FDA-TFDB polyimide and hybrid 2-1 and hybrid 2-2.

도 6은 유리, 6FDA-TFDB 폴리이미드, 하이브리드 1-4 각각에 AZO를 스퍼터링한 필름과 ITO-유리로 제조된 박막들의 자외선 분광기에 의한 투과도를 나타내고 있다.FIG. 6 shows the transmittance by UV spectroscopy of AZO sputtered films and thin films made of ITO-glass in each of glass, 6FDA-TFDB polyimide, and hybrids 1-4.

도 7은 6FDA-TFDB 폴리이미드와 하이브리드 1-3, 하이브리드 1-4, 유리기판에 각각 AZO를 스퍼터링한 필름의 X-선 회절변화를 나타내고 있다.FIG. 7 shows the X-ray diffraction change of the film sputtered with AZO on 6FDA-TFDB polyimide, hybrid 1-3, hybrid 1-4, and glass substrate, respectively.

본 발명은 광학적, 열적 성질이 우수한 유기전기발광소자용 실리카-폴리이미드 하이브리드 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a silica-polyimide hybrid for an organic electroluminescent device having excellent optical and thermal properties and a method of manufacturing the same.

현재 가장 각광받고 있는 박막 디스플레이 기술의 하나인 유기전기발광소자는 양극에서 주입된 전하와 음극에서 주입된 전자가 발광층에서 결합하여 빛을 낸다. 이러한 유기 전기발광소자는 다른 디스플레이에 비해 응답속도가 빠르다는 장점과 발광 형태이므로 휘도가 뛰어나며 가볍고 얇게 만들 수 있으며 사용하는 발광재료에 따라 제조과정을 쉽게 할 수 있는 장점을 가지고 있다(H. Lim, W. J. Cho, C. S. Ha, 전기전자재료 제12권 제6호, 18-34).The organic electroluminescent device, which is one of the most popular thin film display technologies, combines the light injected from the anode and the electron injected from the cathode to emit light. The organic electroluminescent device has the advantage of faster response speed than other displays and the light emitting form, so it has excellent brightness, light and thinness, and has an advantage of facilitating the manufacturing process according to the light emitting material used (H. Lim, WJ Cho, CS Ha, Vol. 12, No. 6, 18-34.

이러한 장점들은 여러 디스플레이의 형태로 사용될 수 있는데, 그 중에서 요즈음 가장 각광을 받고 있는 분야가 유연한 유기전기발광소자에 관한 연구이다. 이러한 연구는 전기발광소자 기판을 고분자로 사용함으로서 기존의 전기발광소자보다 가볍게 하여 휴대가 용이하게 하며, 말았다가 펼 수 있는 디스플레이의 제작을 가능하게 한다.These advantages can be used in the form of a number of displays, the most popular of these is the study of flexible organic electroluminescent devices. This research uses the electroluminescent device substrate as a polymer, making it lighter than conventional electroluminescent devices, making it easy to carry and allowing the manufacture of rollable displays.

이것이 상업화되기 위해서는 피로에 잘 견디는 전극, 발광재료, 정공 및 전자전달재료 등 많은 부분들의 연구가 이루어져야 되겠지만 무엇보다 유연한 디스플레이 기판에 관한 연구가 많이 이루어져야 한다. In order for this to be commercialized, many parts such as fatigue-resistant electrodes, light emitting materials, holes, and electron transfer materials must be studied, but above all, research on flexible display substrates must be conducted.

전기발광소자의 기판의 경우 그 위에 양극 재료를 증착할 때, 충분한 열적안정성과 무색하며 투명한 광학적 성질이 요구된다. 그래서 현재는 폴리에틸렌텔레프탈레이트(PET), 폴리카보네이트(PC), 폴리프로필렌 아디페이트(PPA), 폴리이미드 (PI) 등의 고분자를 주축으로 연구되고 있다( H. Lim, W. J. Cho, C. S. Ha, S. Ando, Y. K. Kim, C. H. Park and K. Lee, Adv. Mater., 18, 14 (2002)).In the case of the substrate of the electroluminescent device, sufficient thermal stability and colorless and transparent optical properties are required when depositing the anode material thereon. Currently, polymers such as polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate (PC), polypropylene adipate (PPA), and polyimide (PI) are mainly studied (H. Lim, WJ Cho, CS Ha, S). Ando, YK Kim, CH Park and K. Lee, Adv. Mater ., 18, 14 (2002)).

그러나, 대부분의 고분자들의 경우는 250℃ 이상의 증착 온도를 요구하는 전기발광소자의 기판으로 사용되기에는 많은 어려움들이 있다. 또한, 전기발광소자의 수명과 효율을 유지하기 위해서는 수분 흡수속도와 산소 흡수속도가 중요한 인자로 작용되는데, 고분자는 기존에 사용되는 유리 기판의 값을 충족시키지 못하고 있다(A. Sugimoto, H. Ochi, S. Fujimura, A. Yoshida, T. Miyadera and M. Tsuchida, IEEE J. SELECTED TOPICS IN QUANTUM ELECTRONICS, 10, 1, 107-114).However, most polymers have many difficulties in being used as a substrate of an electroluminescent device requiring a deposition temperature of 250 ° C. or higher. In addition, the moisture absorption rate and the oxygen absorption rate are important factors for maintaining the lifespan and efficiency of the electroluminescent device, and the polymers do not satisfy the values of glass substrates used in the past (A. Sugimoto, H. Ochi , S. Fujimura, A. Yoshida, T. Miyadera and M. Tsuchida, IEEE J. SELECTED TOPICS IN QUANTUM ELECTRONICS , 10, 1, 107-114).

그 중에서 폴리이미드는 강한 열적 성질을 가지고 있어 유연한 기판으로 사용되는데 충분한 장점을 가지고 있지만 폴리이미드 특유의 구조로 인하여 노란색을 띠고 있어 무색이어야 하는 기판의 성질을 만족시키기에는 부족함이 있다. Among them, polyimide has a strong thermal property and has sufficient advantages to be used as a flexible substrate, but due to the polyimide-specific structure, it has a yellow color and thus is insufficient to satisfy the property of a colorless substrate.

또한, 고분자 기판을 사용할 경우 양극 재료는 무기물이므로 유기물인 고분자의 계면 접착성의 차이로 인해 양극 재료가 잘 증착되지 않는 어려움이 있다.In addition, when the polymer substrate is used, since the cathode material is an inorganic material, there is a difficulty in that the cathode material is not deposited well due to the difference in the interfacial adhesion between the organic polymer.

한편, 유기전기발광소자의 양극 재료로 인듐 산화물(ITO)이 대표적으로 사용 되고 있다.(I. Hamberg and C. G. Granqvist, J. Appl. Phys., 60, R123 (1986), H. Kim, C. M. Gilmore, A. Pique, J. S. Horwitz. H. Mattoussi, H. Murata, Z. H. Kafafi, and D. B. Chrisey, J. Appl. Phys., 86, 6451 (1999)). 이 재료는 전기적 성질과 광학적 성질이 우수하여 디스플레이 전극뿐만 아니라 여러 전기 재료 분야에 사용되고 있다. Indium oxide (ITO) is typically used as a cathode material of organic electroluminescent devices (I. Hamberg and CG Granqvist, J. Appl. Phys. , 60, R123 (1986), H. Kim, CM Gilmore). , A. Pique, JS Horwitz.H. Mattoussi, H. Murata, ZH Kafafi, and DB Chrisey, J. Appl. Phys. , 86, 6451 (1999)). This material has excellent electrical and optical properties, and is used in various electric material fields as well as display electrodes.

하지만, 이 전극 재료 또한 산화되기 쉽다는 단점과 지구상엔 인듐의 존재량이 많지 않아 가격이 높은 단점을 가지고 있다. 그래서 최근에는 대체 투명 전극 물질로 알루미늄 첨가 아연 산화물(AZO)이 많이 연구되고 있다. 이 양극 재료는 기존의 ITO보다 전기적 물성은 다소 떨어지나 광학적 성질이 뛰어나고, 활성 수소 환경에 강하여 잘 산화되지 않으며 지구상의 존재량이 많아 ITO보다 훨씬 싼 가격대를 이루고 있다(H. Kim , J.S. Horwitz, W.H. Kim, A.J. Makinen, Z.H. Kafafi, D.B. Chrisey, Thin Solid Films, 420 -421 (2002) 539.543).However, this electrode material also has the disadvantage of being easy to oxidize and high price due to the low amount of indium on the earth. Recently, aluminum-added zinc oxide (AZO) has been studied as an alternative transparent electrode material. This anode material is slightly lower in electrical properties than conventional ITO, but has excellent optical properties, is resistant to active hydrogen environment, does not oxidize well, and is much cheaper than ITO due to its high amount of abundant earth (H. Kim, JS Horwitz, WH Kim). , AJ Makinen, ZH Kafafi, DB Chrisey, Thin Solid Films, 420 -421 (2002) 539.543).

본 발명의 목적은 기존의 폴리이미드보다 열안정성과 광학적 성질이 우수한 무색하고 투명한 실리카-폴리이미드 하이브리드를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a colorless and transparent silica-polyimide hybrid having better thermal stability and optical properties than conventional polyimide.

본 발명의 다른 목적은 유기물인 폴리이미드에 무기물적인 성질을 부여하여 무기물인 양극 재료와의 접착성을 높여 향상된 전기적, 광학적 성질을 갖는 실리카-폴리이미드 하이브리드 기판을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a silica-polyimide hybrid substrate having improved electrical and optical properties by imparting inorganic properties to polyimide, which is an organic material, to improve adhesion to an anode material, which is an inorganic material.

본 발명의 또 다른 목적은 기존의 양극 재료인 ITO에 대신 AZO라는 새로운 양극 재료를 통하여 소자의 안정성을 향상시킨 실리카-폴리이미드 하이브리드 기판을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a silica-polyimide hybrid substrate having improved device stability through a new anode material called AZO instead of the existing anode material ITO.

본 발명의 다른 목적과 특징들은 이하에 서술되는 바람직한 실시예를 통하여 명확하게 이해될 것이다.
Other objects and features of the present invention will be clearly understood through the preferred embodiments described below.

본 발명의 발명자들은 상기한 종래의 문제를 해결하기 위하여 내열성이 우수하고 무색이며 투명한 폴리이미드를 도입하여 열적 성질이 우수하고 무색하며 투명한 유연한 유기전기발광소자 기판재료를 합성하였고, 이에 3-아미노프로필트리에톡시실란(aminopropyltriethoxysilane; APTES)과 테트라에톡시실란(tetraethoxysilane; TEOS)을 이용하여 실리카-폴리이미드 하이브리드 체계를 도입하여 유기물인 폴리이미드에 무기물의 성질을 부여하여 무기물인 양극 재료와의 계면 접착성을 향상시켰다. The inventors of the present invention synthesized a flexible organic electroluminescent device substrate material having excellent thermal properties, colorless and transparent by introducing a heat-resistant, colorless and transparent polyimide in order to solve the above-mentioned conventional problems, the 3-aminopropyl Introduced silica-polyimide hybrid system using triethoxysilane (aminoTEStriethoxysilane (APTES) and tetraethoxysilane (TEOS) to impart inorganic properties to organic polyimide, thereby interfacial adhesion with inorganic cathode material Improved sex.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

본 발명에 따르면, 무색(colorless)의 투명한 폴리이미드를 합성하기 위해 필요한 디안하이드라이드(dianhydride)는 2,2'-비스-(3,4-카르복시페닐(dicarboxyphenyl)) 헥사플루오로프로판 디안하이드라이드(hexafluoropropane dianhydride; 6FDA)를 사용하였고 디아민(diamine)은 2,2'-비스(트리플루오로메틸 (trifluoromethyl))-4,4'-디아미노비페닐(diaminobiphenyl); TFDB)를 사용하여 본래의 폴리이미드를 합성하였고, 실리카-폴리이미드 하이브리드를 제조하기 위하여 3-아미노프로필트리에톡시실란(APTES)과 테트라에톡시실란(TEOS)을 사용하였다. According to the present invention, the dianhydride required for synthesizing colorless transparent polyimide is 2,2'-bis- (3,4-carboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride. (hexafluoropropane dianhydride; 6FDA) and diamine was used as 2,2'-bis (trifluoromethyl) -4,4'-diaminobiphenyl; TFDB) was used to synthesize the original polyimide, and 3-aminopropyltriethoxysilane (APTES) and tetraethoxysilane (TEOS) were used to prepare the silica-polyimide hybrid.

스퍼터링하기 위한 알루미늄 첨가 아연 산화물(AZO)로 타켓은 알루미늄 10w/w와 아연 산화물 90w/w로 된 것을 사용하였다. Targets of aluminum-added zinc oxide (AZO) for sputtering were those made of aluminum 10w / w and zinc oxide 90w / w.

먼저, 폴리이미드를 합성하기 위하여 상기의 단량체들을 이용하여 디아민 동 몰 수의 디안하이드라이드를 더하여 질소 기류 하에 N,N-Dimethylacetamide(DMAc)에서 반응하여 폴리아믹산을 만든다. 온도는 상온에서 반응시키며, 바람직하게 상온에서 60℃이며 더욱 바람직하게는 40℃ 정도이다. First, in order to synthesize a polyimide, the above monomers are used to add an equivalent mole of diamine dianhydride to react with N, N-dimethylacetamide (DMAc) under a nitrogen stream to form a polyamic acid. The temperature is reacted at room temperature, preferably at 60 ° C and more preferably about 40 ° C at room temperature.

제조된 폴리아믹산은 열경화하여 이미드화하는 방법과 촉매를 이용한 화학적 방법으로 이미드화하는 방법이 있다. The polyamic acid thus prepared may be thermally cured and imidized, or imidized by a chemical method using a catalyst.

이 실시예에서는 열경화 방법으로 화학식 1의 폴리이미드를 생성한다. In this example, the polyimide of Chemical Formula 1 is produced by thermosetting method.

한편, 동일한 프로세스를 거쳐 다른 단량체를 이용하여 무색의 투명한 폴리이미드를 생성할 수 있으며, 이에 대해서는 화학식 2 내지 화학식 8로 표시하였다.On the other hand, it is possible to produce a colorless transparent polyimide using the other monomers through the same process, which is represented by the formula (2) to (8).

디안하이드라이드로는 6FDA 이외에 BHDA를 적용할 수 있으며, 디아민으로는 TFDB 이외에 1,4(4)-APB, 1,3(4)-APB, 4,4-BAPS(4APPS), 3ADF, DDSO2, 4BDAF 또는 3,3'-ODA가 적용될 수 있다.As dianhydride, BHDA can be applied in addition to 6FDA, and in addition to TFDB, 1,4 (4) -APB, 1,3 (4) -APB, 4,4-BAPS (4APPS), 3ADF, and DDSO 2 , 4BDAF or 3,3'-ODA can be applied.

Figure 112005003391634-pat00001
Figure 112005003391634-pat00001

Figure 112005003391634-pat00002
Figure 112005003391634-pat00002

Figure 112005003391634-pat00003
Figure 112005003391634-pat00003

Figure 112005003391634-pat00004
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Figure 112005003391634-pat00005
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Figure 112005003391634-pat00006
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Figure 112005003391634-pat00007
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Figure 112005003391634-pat00008
Figure 112005003391634-pat00008

그리고, 실리카-폴리이미드 하이브리드는 디안하이드라이드의 몰에 의한 관 능기 수와 디아민과 APTES의 몰에 따른 관능기 수를 맞추어 위와 같은 조건 하에서 폴리아믹산을 만들고, 여기에 TEOS와 증류수를 첨가시켜 실리카-폴리아믹산을 제조한 다음 열경화 방법을 통하여 도 1에 도시된 실리카-폴리이미드를 생성한다. The silica-polyimide hybrid is made of polyamic acid under the above conditions by matching the number of functional groups by moles of dianhydride and the number of functional groups by moles of diamine and APTES, and by adding TEOS and distilled water to silica-polya The mixed acid is prepared and then the silica-polyimide shown in FIG. 1 is produced through a thermosetting method.

도 1에서, 표시의 편의를 위하여 검은색으로 표시된 바(bar)는 상부에 있는 화학식을 대체하고 있다.In FIG. 1, black bars are replaced for the convenience of the display by replacing the chemical formula at the top.

이렇게 제조한 폴리이미드와 실리카-폴리이미드에 AZO를 스퍼터링하여 AZO 필름을 제조한다.The AZO film was prepared by sputtering AZO on the thus prepared polyimide and silica-polyimide.

실험예 1Experimental Example 1

0.64046g의 TFDB를 8㎖의 DMAc에 용해하여 질소 기류 하에서 교반한다. 여기에 0.8885g의 6FDA을 첨가한다. 첨가 후 실온에서 12시간 질소 기류 하에서 반응시킨다. 질소 기류 하의 전기로에서 80℃에서 6시간, 100℃에서 1시간, 150℃에서 1시간, 200℃에서 1시간, 그리고 250℃에서 1시간동안 열 경화를 하여 6FDA-TFDB 폴리이미드를 만든다. 열경화 시 각 단계별 승온 시간은 1시간이다.0.64046 g of TFDB is dissolved in 8 ml of DMAc and stirred under a stream of nitrogen. To this is added 0.8885 g of 6FDA. After the addition, the reaction is carried out at room temperature under nitrogen stream for 12 hours. 6FDA-TFDB polyimide was made by thermal curing at 80 ° C. for 6 hours at 100 ° C., 1 hour at 100 ° C., 1 hour at 150 ° C., 1 hour at 200 ° C., and 1 hour at 250 ° C. The temperature rise time for each step of thermal curing is 1 hour.

실험예 2Experimental Example 2

도 2는 본 발명의 일 예에 따라 실리카-폴리이미드 하이브리드를 생성하는 과정을 설명하는 플로우챠트이다.2 is a flowchart illustrating a process of generating a silica-polyimide hybrid according to an embodiment of the present invention.

먼저, 하이브리드 폴리이미드의 디아민을 해당량만큼 8㎖의 DMAc에 용해하여 질소 기류 하에서 1시간 정도 교반한다(단계 S21). First, the diamine of a hybrid polyimide is dissolved in 8 ml of DMAc by the corresponding amount, and stirred for about 1 hour under a nitrogen stream (step S21).

여기에 0.8885g의 6FDA을 첨가한다(단계 S22). 0.8885 g of 6FDA is added thereto (step S22).

이 용액을 1.5시간 정보 교반한 후, 이 용액에 하이브리드 폴리이미드의 APTES를 해당량만큼 첨가한 후, 질소 기류하에서 12시간 동안 교반한다(단계 S23).After stirring the solution for 1.5 hours, APTES of the hybrid polyimide was added to the solution by the corresponding amount, followed by stirring for 12 hours under a stream of nitrogen (step S23).

만들어진 용액에 TEOS와 증류수를 해당량 만큼 첨가하여 동일한 조건으로 6시간 동안 교반하여 실리카-폴리아믹산을 제조한다(단계 S24). TEOS and distilled water were added to the prepared solution by a corresponding amount, and stirred for 6 hours under the same conditions to prepare silica-polyamic acid (step S24).

이때, [표 1]에 도시된 바와 같이, APTES와 실리카함량에 따른 다른 종류의 여러 가지의 폴리이미드를 제조한다. At this time, as shown in Table 1, various kinds of polyimides of different kinds according to APTES and silica content are prepared.

그후, 실험예 1과 같은 열경화 단계로 거쳐(단계 S25) 실리카-폴리이미드 하이브리드를 생성한다(단계 S26).Thereafter, a silica-polyimide hybrid is produced through a thermosetting step similar to Experimental Example 1 (step S25) (step S26).

Figure 112005003391634-pat00009
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도 1을 참조하면, 폴리이미드 합성 시 하이드록시 기의 피크가 없어지고 이 미드구조 피크가 나타나는 것을 확인할 수 있었고, 실리카-폴리이미드 하이브리드는 실리카의 함량이 증가할수록 Si-O-Si의 피크의 강도가 세어지는 것을 확인할 수 있다. 이로 인해 폴리이미드와 실리카-폴리이미드 하이브리드가 성공적으로 합성되었다는 것을 확인할 수 있었다. Referring to FIG. 1, it was confirmed that the peak of the hydroxy group disappeared and the imide structure peak appeared in the synthesis of polyimide. In the silica-polyimide hybrid, the intensity of the peak of Si-O-Si was increased as the content of silica increased. It can be seen that is counted. This confirmed that the polyimide and silica-polyimide hybrid was successfully synthesized.

도 3은 6FDA-TFDB 폴리이미드와 실리카-폴리이미드 필름의 FT-IR 스펙트럼을 나타낸다.3 shows the FT-IR spectrum of 6FDA-TFDB polyimide and silica-polyimide film.

도 3의 자외선 분광기 측정 결과를 통하여서 실리카-폴리이미드 하이브리드가 기존의 폴리이미드보다 실리카 함량에 따라 투과도가 향상되었다는 것을 확인할 수 있다. 이는 실리카-폴리이미드 하이브리드 필름의 분자간, 분자내의 전하이동착물(charge transfer complex) 생성의 감소에 의한 것으로 실리카 분자가 필름 안에서 고분자간의 자유체적을 증가시킴으로 다음과 같은 투과도의 증가가 일어나게 되었다. Through the UV spectroscopic measurement results of Figure 3 it can be seen that the silica-polyimide hybrid has improved transmittance according to the silica content than the conventional polyimide. This is due to the reduction of the intermolecular and intramolecular charge transfer complex generation of the silica-polyimide hybrid film. As the silica molecules increase the free volume between the polymers in the film, the following increase in permeability occurs.

도 5a와 5b는 레오미터를 통하여 실리카-폴리이미드 하이브리드의 동적-열적(dynamic thermo-mechanical) 특성을 측정한 것으로, 이 자료 또한 도 3과 같이 실리카 함량의 증가에 따라 유리전이온도가 증가하는 것을 볼 수가 있다. 이는 실리카 분자가 고분자간의 다리 역할, 즉 가교가 되어서 기존의 폴리이미드보다 열적 성질이 향상되었다. 5a and 5b are measured the dynamic thermo-mechanical properties of the silica-polyimide hybrid through a rheometer, this data also shows that the glass transition temperature increases with increasing silica content as shown in FIG. I can see it. This is because silica molecules act as a bridge between polymers, that is, crosslinks, thereby improving thermal properties than conventional polyimides.

도 5a의 하이브리드 1보다 도 5b의 하이브리드 2가 실리카 함량이 같은데도 더 많이 향상된 것을 확인할 수 있는데, 이는 A/T(APTES/TEOS) 비율의 차이에 의한 것으로 동일한 실리카 함량에서 하이브리드 1보다는 하이브리드 2가 APTES의 함 량이 많으므로 하이브리드 2보다는 가교도가 떨어져서 이와 같이 그 성질의 향상에 차이를 보이고 있다.It can be seen that the hybrid 2 of FIG. 5b is more improved than the hybrid 1 of FIG. 5a even though the silica content is the same, which is due to the difference in A / T (APTES / TEOS) ratio. Since the content of APTES is large, the degree of crosslinking is lower than that of Hybrid 2. Thus, the improvement of the properties is shown.

응용예Application example

준비된 폴리이미드(6FDA-TFDB PI)와 실리카-폴리이미드 하이브리드(Silica- 6FDA-TFDB PI hybrid)를 라디오파(13.56MHz) 마그네트론 스퍼터링(R.F. magnetron sputtering)을 이용하여 기판온도를 250℃로 하고 기판과 타겟과의 거리는 60mm로 하며, 산소 분압은 10-7Torr, 아르곤 분압은 2.6mTorr, 100와트로 10분간 스퍼터링하여 두께가 약 300nm인 AZO 필름을 제조하였다.Prepared polyimide (6FDA-TFDB PI) and silica-polyimide hybrid (Silica-6FDA-TFDB PI hybrid) using a radio wave (13.56MHz) magnetron sputtering to a substrate temperature of 250 ℃ and the substrate and The distance from the target was 60 mm, the oxygen partial pressure was 10-7 Torr, the argon partial pressure was 2.6 mTorr, and sputtered at 100 watts for 10 minutes to prepare an AZO film having a thickness of about 300 nm.

도 4는 6FDA-TFDB 폴리이미드와 hybrid 1-3, hybrid 1-4, hybrid 2-2의 자외선 분광기에 의한 투과도를 나타낸다.Figure 4 shows the transmission by the ultraviolet spectroscopy of 6FDA-TFDB polyimide and hybrid 1-3, hybrid 1-4, hybrid 2-2.

도 4의 자외선 분광기 자료를 통하여서 AZO-폴리이미드와 AZO-하이브리드 1-4의 투과도의 차이를 볼 수가 있는데 하이브리드 필름의 경우가 기존의 폴리이미드보다는 AZO필름 형성 시 높은 투과도를 가짐을 알 수 있다. 이는 동일한 증착조건에서 하이브리드 필름이 기존의 폴리이미드 보다는 더 증착이 잘 된다는 것을 보여준다. The UV spectroscopy data of FIG. 4 show the difference in transmittance between AZO-polyimide and AZO-hybrid 1-4. The hybrid film has higher transmittance when forming AZO film than conventional polyimide. This shows that the hybrid film is better deposited than the existing polyimide under the same deposition conditions.

또한, [표 2]를 참조하면, 하이브리드 1-4가 디스플레이에서 볼 수 있는 가시광 영역(400~700nm)에서의 평균투과도 값을 계산해보면 유리에 스퍼터링한 다른 필름들, 예를 들어, AZO-유리나 상업적으로 판매하는 ITO-유리와의 차이가 거의 없음을 알 수 있다. 또한 ITO를 증착한 것과 AZO를 증착한 필름을 서로 비교해보면 오히려 AZO 필름이 더 좋은 투과도를 보여주고 있다.In addition, referring to Table 2, hybrid 1-4 calculates the average transmittance value in the visible light region (400-700 nm) that can be seen on the display, such as other films sputtered on glass, for example, AZO-glass or It can be seen that there is little difference from commercially available ITO-glass. In addition, when comparing ITO deposited film with AZO deposited film, AZO film shows better transmittance.

Figure 112005003391634-pat00010
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또한, [표 2]를 참조하면, 폴리이미드보다 하이브리드에서 실리카의 함량이 증가할수록 면저항 값이 낮아지는 것을 볼 수 있다. 이는 도 4에서 언급한 바와 같이 같은 스퍼터링 조건하에서 하이브리드가 더욱 좋은 구조를 만들어낸다는 것을 의미하며, 이는 도 6의 X-선 회절장치에서 확인할 수 있다. In addition, referring to [Table 2], it can be seen that the sheet resistance value decreases as the content of silica increases in the hybrid rather than the polyimide. This means that under the same sputtering conditions as mentioned in FIG. 4, the hybrid produces a better structure, which can be seen in the X-ray diffractometer of FIG.

또한, ITO와 AZO를 비교하여 면저항 값 역시 더 좋아졌다는 것을 통하여 전기적인 성질에서도 AZO가 ITO의 대체 양극 재료로 가능하다는 것을 보여주고 있다.In addition, ITO compared with AZO, the better the sheet resistance value, showing that AZO as an alternative anode material of ITO in electrical properties.

도 6의 X-선 회절장치의 자료를 통하여서 위의 언급한 면저항 값이 좋아진 것을 뒷받침 할 수 있다. AZO 필름에서 증착이 잘 되고 구조가 잘 만들어 질수록 전기적 성질이 좋아지고, (002)면의 피크의 세기가 강해지는데(Xiao-Tao Hao, Xiang-Dong Liu, Materials Science and Engineering, B90 (2002) 50-54), 도 6에 서 폴리이미드의 하이브리드 필름의 피크 세기가 강해진 것을 확인할 수 있다.The data of the X-ray diffraction apparatus of FIG. 6 may support the improvement of the sheet resistance mentioned above. The better the deposition and the better structure of the AZO film, the better the electrical properties and the stronger the intensity of the (002) plane peak (Xiao-Tao Hao, Xiang-Dong Liu, Materials Science and Engineering, B90 (2002)). 50-54), in Figure 6 it can be seen that the peak intensity of the hybrid film of polyimide is stronger.

이러한 전기적, 광학적 성질은 이득지수(Figure of merit)라는 값을 통하여 종합적으로 설명할 수 있는데, 이 값은 ITO나 AZO 같은 투명 전도 전극의 활용성이나 안정성을 나타내는 중요한 데이터이다. [표 2]를 통하여서 AZO-폴리이미드와 AZO-하이브리드의 값을 비교해 볼 때 AZO-하이브리드의 값이 현저하게 좋아지고 있는 것을 확인할 수 있다. 뿐만 아니라 ITO-폴리이미드의 값과 서로 비교해보아도 더욱 좋아진 성질을 확인할 수 있다. These electrical and optical properties can be explained comprehensively through the figure of merit, which is important data indicating the utility and stability of transparent conducting electrodes such as ITO and AZO. When comparing the values of AZO-polyimide and AZO-hybrid through [Table 2], it can be seen that the value of AZO-hybrid is significantly improved. In addition, it can be confirmed that even better compared with the value of the ITO-polyimide.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 중심으로 설명하였지만, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변경이나 변형을 가할 수 있다. 따라서, 본 발명의 범위는 상기한 실시예에 국한되어서는 안되며, 이하에 서술되는 특허청구범위에 의해 결정되어야 한다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the above embodiments, but should be determined by the claims described below.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 새로이 합성된 실리카-폴리이미드 하이브리드는 기존의 폴리이미드보다 열안정성과 광학적 성질이 우수하며 유기전기발광소자의 기판으로 AZO를 스퍼터링하였을 때 기존의 폴리이미드보다 현저한 광학적, 전기적 특성을 향상시키는 효과를 확인할 수 있다. As described in detail above, the newly synthesized silica-polyimide hybrid has better thermal stability and optical properties than conventional polyimide, and is more remarkable than conventional polyimide when sputtering AZO as a substrate of an organic electroluminescent device. You can see the effect of improving the.

또한, ITO를 대신하여 AZO를 사용하였을 때, 유기전기발광소자의 양극 재료로 요구되는 광학적, 전기적 성질이 매우 뛰어나다는 것을 확인할 수 있다.
이러한 재료는 유기전기발광소자뿐만 아니라, OTFT나 반도체 기판으로도 응용이 가능하다.
In addition, when AZO is used instead of ITO, it can be confirmed that the optical and electrical properties required as the anode material of the organic electroluminescent device are very excellent.
Such materials can be applied not only to organic electroluminescent devices but also to OTFTs and semiconductor substrates.

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Claims (6)

무색의 투명한 폴리이미드에 3-아미노프로필트리에톡시실란(APTES)를 첨가하여 교반하고, 증류수와 테트라에톡시실란(TEOS)을 첨가하여 실리카-폴리아믹산을 생성한 후에 열경화하여 이미드화시킨 것을 특징으로 하는 실리카-폴리이미드 하이브리드.3-aminopropyltriethoxysilane (APTES) was added to the colorless transparent polyimide, followed by stirring. Distilled water and tetraethoxysilane (TEOS) were added to form silica-polyamic acid. Silica-polyimide hybrid characterized by. 제 1 항에 있어서, 상기 무색의 투명한 폴리이미드는 디아민을 DMAc에 용해하여 질소 기류하에 교반하고, 상기 교반된 디아민에 디안하이드라이드를 첨가하고 교반한 것을 특징으로 하는 실리카-폴리이미드 하이브리드.2. The silica-polyimide hybrid according to claim 1, wherein the colorless transparent polyimide is dissolved in diamine in DMAc and stirred under a stream of nitrogen, and dianhydride is added to the stirred diamine. 제 1 항의 실리카-폴리이미드 하이브리드에 알루미늄 첨가 아연 산화물(AZO)을 스퍼터링하여 제작한 실리카-폴리이미드 하이브리드 기판. A silica-polyimide hybrid substrate produced by sputtering aluminum-added zinc oxide (AZO) to the silica-polyimide hybrid of claim 1. 디아민을 DMAc에 용해하여 질소 기류하에 교반하고, 상기 교반된 디아민에 디안하이드라이드를 첨가하고 교반하여 무색의 투명한 폴리이미드 용액을 생성하는 단계;Dissolving diamine in DMAc and stirring under a stream of nitrogen, adding dianhydride to the stirred diamine and stirring to produce a colorless transparent polyimide solution; 상기 폴리이미드 용액에 3-아미노프로필트리에톡시실란(APTES)를 첨가하고 질소 기류하에서 교반하는 단계;Adding 3-aminopropyltriethoxysilane (APTES) to the polyimide solution and stirring under nitrogen stream; 이 교반된 용액에 증류수와 테트라에톡시실란(TEOS)을 첨가하고 교반하여 실리카-폴리아믹산을 생성하는 단계; 및Adding distilled water and tetraethoxysilane (TEOS) to the stirred solution and stirring to produce silica-polyamic acid; And 상기 실리카-폴리아믹산을 열경화하여 이미드화하는 단계를 포함하는 실리카-폴리이미드 하이브리드 제조방법.Silica-polyimide hybrid manufacturing method comprising the step of thermally curing the silica-polyamic acid. 제 4 항에 있어서, 상기 폴리이미드를 형성하는 디안하이드라이드는 6FDA 또는 BHDA 중의 어느 하나이고, 디아민은 TFDB, 1,4(4)-APB, 1,3(4)-APB, 4,4-BAPS(4APPS), 3ADF, DDSO2, 4BDAF 및 3,3'-ODA으로부터 선택된 어느 하나인 실리카-폴리이미드 하이브리드 제조방법.The dianhydride of claim 4, wherein the dianhydride forming the polyimide is either 6FDA or BHDA, and the diamine is TFDB, 1,4 (4) -APB, 1,3 (4) -APB, 4,4- A method for preparing a silica-polyimide hybrid, which is any one selected from BAPS (4APPS), 3ADF, DDSO 2 , 4BDAF, and 3,3'-ODA. 제 2 항에 있어서, 상기 폴리이미드를 형성하는 디안하이드라이드는 6FDA 또는 BHDA 중의 어느 하나이고, 디아민은 TFDB, 1,4(4)-APB, 1,3(4)-APB, 4,4-BAPS(4APPS), 3ADF, DDSO2, 4BDAF 및 3,3'-ODA으로부터 선택된 어느 하나인 실리카-폴리이미드 하이브리드.The dianhydride of claim 2, wherein the dianhydride forming the polyimide is either 6FDA or BHDA, and the diamine is TFDB, 1,4 (4) -APB, 1,3 (4) -APB, 4,4- Silica-polyimide hybrid, which is any one selected from BAPS (4APPS), 3ADF, DDSO 2 , 4BDAF and 3,3'-ODA.
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