KR100650014B1 - Vacuum gate valve - Google Patents

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KR100650014B1
KR100650014B1 KR1020060039530A KR20060039530A KR100650014B1 KR 100650014 B1 KR100650014 B1 KR 100650014B1 KR 1020060039530 A KR1020060039530 A KR 1020060039530A KR 20060039530 A KR20060039530 A KR 20060039530A KR 100650014 B1 KR100650014 B1 KR 100650014B1
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gate valve
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chamber
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조용대
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조용대
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Abstract

A vacuum gate valve is provided to perfectly seal between a chamber and a gate valve by installing an o-ring in a front part of a gate plate for keeping a vacuum condition. In a vacuum gate valve, one side of a link(15) is connected to a link supporter(114) and the other side thereof is connected to the other side of a link shoulder(11). A stem moves to left and right by pulling of the link shoulder. A bearing guide(2) helps the stem to do right and left motions. An o-ring(21) is installed at a front part of a gate plate(16) for keeping a vacuum condition. And a lower plate(4) assists sealing between a chamber and the gate valve.

Description

진공 게이트 밸브{Vacuum Gate Valve}Vacuum Gate Valve {Vacuum Gate Valve}

도 1은 종래의 진공 게이트 밸브의 내부구성에 따른 조립형상을 나타낸 단면도.1 is a cross-sectional view showing the assembly shape according to the internal configuration of a conventional vacuum gate valve.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 진공 게이트 밸브에 베어링 플레이트가 장착된 내부구성에 따른 조립형상을 나타낸 단면도.Figure 2 is a cross-sectional view showing the assembly according to the internal configuration of the bearing plate is mounted on the vacuum gate valve according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 진공 게이트 밸브가 동작하기 전의 상태를 나타낸 단면도.Figure 3 is a cross-sectional view showing a state before the operation of the vacuum gate valve according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 진공 게이트 밸브가 동작되어 공압이 걸릴 때 베어링 가이드가 상승하는 상태를 나타낸 단면도.4 is a cross-sectional view showing a state in which the bearing guide is raised when the vacuum gate valve is operated in accordance with an embodiment of the present invention when pneumatic pressure is applied.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 진공 게이트 밸브가 동작되어 베어링 가이드가 더욱 상승하게 될 때 게이트 플레이트가 챔버의 시트면과 밀착되는 상태를 나타낸 단면도.5 is a cross-sectional view showing a state in which the gate plate is in close contact with the seat surface of the chamber when the vacuum gate valve is operated in accordance with an embodiment of the present invention to further raise the bearing guide.

도 6은 본 발명의 다른 일실시예에 따른 진공 게이트 밸브에 리니어 부싱을 포함한 슬라이딩할 수 있는 구동체가 장착된 내부구성에 따른 조립형상을 나타낸 단면도.Figure 6 is a cross-sectional view showing the assembly according to the internal configuration of the sliding drive body including a linear bushing in the vacuum gate valve according to another embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1. 스템 2. 베어링 가이드1. Stem 2. Bearing guide

3. 베어링 플레이트 4. 하부 플레이트3. Bearing plate 4. Bottom plate

6. 실린더 7. 실린더 플레이트6. Cylinder 7. Cylinder Plate

8. 가이드 부시 9. 부시8. Guide Bush 9. Bush

10. 가이드 핀 11. 링크 쇼울더10. Guide pin 11. Link shoulder

12. 피스톤 13. 로드12. Piston 13. Rod

14. 링크 지지대 15. 링크14. Link support 15. Link

16. 게이트 플레이트 19. 베어링 16. Gate Plate 19. Bearing

20. 스프링 21. 오링20.Spring 21.O-ring

25. 핀 27. 리니어 부싱 가이드 25. Pin 27. Linear Bushing Guide

28. 샤프트 29. 리니어 부싱28. Shaft 29. Linear Bushing

30. 챔버 31. 시트면30. Chamber 31. Seat surface

본 발명은 진공 게이트 밸브에 관한 것으로서, 특히 더욱 상세하게는 피스톤이 상승할 때 베어링 가이드가 베어링의 구름 작용을 안내하여 스템이 좌우 운동을 할 수 있게 도와줌으로써, 게이트 플레이트가 챔버의 시트면에 밀착되어 기밀유지를 할 수 있고, 챔버의 시트면에 밀착되어 진공을 유지하게 하는 게이트 플레이트 전면부에 오링이 장착되어 챔버와 게이트 밸브 사이에 기밀유지가 보다 확실하게 이루어지며, 피스톤이 상승할 때 리니어 부싱을 포함한 슬라이딩할 수 있는 구동체 에 의해 스템이 좌우 운동을 하므로 게이트 플레이트가 챔버의 시트면에 밀착되어 기밀유지를 할 수 있고, 스프링이 장착되어 베어링 가이드를 지탱하는 하부 플레이트가 장착되어 피스톤의 스토퍼 역할을 수행하고 스템의 좌우 위치를 결정하여 챔버와 게이트 밸브 사이의 기밀유지를 보조하는 진공 게이트 밸브에 관한 것이다. TECHNICAL FIELD The present invention relates to a vacuum gate valve, and more particularly, to a bearing guide guides the rolling action of the bearing to allow the stem to move left and right when the piston is raised, so that the gate plate is in close contact with the seat surface of the chamber. O-ring is mounted on the front face of the gate plate that keeps the vacuum tightly in contact with the seat surface of the chamber and makes the air tightness between the chamber and the gate valve more secure. The stem moves left and right by a slidable drive body including a bushing so that the gate plate is in close contact with the seat surface of the chamber for airtightness, and a spring is mounted to mount the lower plate supporting the bearing guide. Acts as a stopper and determines the left and right positions of the stem to provide chamber and gate It relates to a vacuum gate valve to assist the confidentiality between.

종래의 경우 도 1에 도시한 바와 같이, 피스톤이 상승할 때 베어링 가이드 역할을 수행하는 플레이트에 베어링이 없으므로 구름 작용을 하지 않고 단지 플레이트에 고정되어 있는 힌지(43)가 피스톤(12)의 이동에 의해 회전하며, 캠(41) 내부에 있는 롤러(42)가 캠의 내부에서 이동할 때 게이트 플레이트(16)가 회전운동을 하여 챔버의 시트면(31)과 밀착이 된다. 이러한 경우 챔버의 시트면에 장착되어 있는 오링이 상기 반복적인 피스톤 운동으로 인하여 틀어지게 된다. 그러므로 게이트 플레이트와 챔버의 시트면과의 밀착력이 좋지 않아 기밀유지가 확실하게 되지 않는 문제점이 있다. In the conventional case, as shown in FIG. 1, since there is no bearing on the plate which serves as a bearing guide when the piston is raised, the hinge 43 fixed to the plate without rolling action is used to move the piston 12. When the roller 42 inside the cam 41 moves inside the cam, the gate plate 16 rotates to be in close contact with the seat surface 31 of the chamber. In this case, the O-ring mounted on the seat surface of the chamber is twisted due to the repetitive piston movement. Therefore, the adhesion between the gate plate and the seat surface of the chamber is not good, there is a problem that the airtightness is not sure.

따라서 게이트 플레이트가 챔버의 시트면에 밀착되어 확실하게 기밀을 유지할 수 있는 진공 게이트밸브의 개발이 시급한 실정이다.Therefore, there is an urgent need to develop a vacuum gate valve in which the gate plate is in close contact with the seat surface of the chamber and can be kept tight.

이에 본 발명은 상기 문제점들을 해결하기 위하여 착상된 것으로서, 피스톤이 상승할 때 베어링 가이드가 베어링의 구름 작용을 안내하여 스템이 좌우 운동을 할 수 있게 도와줌으로써, 게이트 플레이트가 챔버의 시트면에 밀착되어 기밀유지를 할 수 있는 진공 게이트 밸브를 제공하는데 목적이 있다. The present invention has been conceived to solve the above problems, the bearing guide guides the rolling action of the bearing when the piston is raised to help the stem to move left and right, so that the gate plate is in close contact with the seat surface of the chamber An object of the present invention is to provide a vacuum gate valve capable of hermetic sealing.

본 발명의 다른 목적은 챔버의 시트면에 밀착되어 진공을 유지하게 하는 게 이트 플레이트 전면부에 오링이 장착되어 챔버와 게이트 밸브 사이에 기밀유지가 보다 확실하게 이루어지게 하는 진공 게이트 밸브를 제공하는데 있다. Another object of the present invention is to provide a vacuum gate valve that is more tightly secured between the chamber and the gate valve by the O-ring is mounted on the front surface of the gate plate that is in close contact with the seat surface of the chamber to maintain the vacuum .

본 발명의 또 다른 목적은 피스톤이 상승할 때 리니어 부싱을 포함한 슬라이딩할 수 있는 구동체에 의해 스템이 좌우 운동을 하므로 게이트 플레이트가 챔버의 시트면에 밀착되어 기밀유지를 할 수 있는 진공 게이트 밸브를 제공하는데 있다. It is still another object of the present invention to provide a vacuum gate valve which allows the gate plate to be in close contact with the seat surface of the chamber to be hermetically sealed since the stem moves left and right by a slidable driving body including a linear bushing when the piston is raised. To provide.

본 발명의 또 다른 목적은 스프링이 장착되어 베어링 가이드를 지탱하는 하부 플레이트가 장착되어 피스톤의 스토퍼 역할을 수행하고 스템의 좌우 위치를 결정하여 챔버와 게이트 밸브 사이의 기밀유지를 보조하는 진공 게이트 밸브를 제공하는데 있다. Still another object of the present invention is to provide a vacuum gate valve that is spring-loaded and has a lower plate for supporting a bearing guide to serve as a stopper of the piston and to determine the left and right positions of the stem to assist the airtightness between the chamber and the gate valve. To provide.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 게이트 밸브는 실린더 내부에서 공기압을 받아 로드와 연결되어 있는 피스톤의 상승, 하강운동에 의해서 링크 쇼울더가 게이트 플레이트를 당기어 챔버의 시트면과 밀착하게 하는 통상의 진공 게이트밸브에 있어서, 피스톤 하단부에 공압이 걸리면 피스톤이 상승하는데, 일측이 링크 지지대와 연결되어 있고 다른 일측이 링크 쇼울더와 연결되어 있는 링크와; 상기 링크의 작동에 의해 링크와 연결되어 있는 링크 쇼울더의 당김에 의해 좌, 우로 운동하는 스템과; 상기 피스톤이 상승할 때 베어링 플레이트에 장착되어 있는 베어링의 구름 작용을 안내하여 상기 스템이 좌우 운동을 할 수 있게 도와주는 베어링 가이드와; 상기 스템에 의해 지지되고 시트면 방향으로 수직으로 이동하여 챔버의 시트면과 밀착되어 기밀을 유지하게 하기 위해 게이트 플레이트 전면부에 오링이 장착되어 있는 게이트 플레이트와; 상기 베어링 가이드를 스프링으로 지탱하고, 피스톤의 스토퍼 역할을 수행하며 스템의 좌우 위치를 결정하여 챔버와 게이트 밸브 사이의 기밀유지를 보조하는 하부 플레이트; 로 구성됨을 특징으로 한다.The vacuum gate valve according to a preferred embodiment of the present invention for achieving the above object is a link shoulder pulls the gate plate and the seat surface of the chamber by the up and down movement of the piston connected to the rod by receiving the air pressure in the cylinder In the conventional vacuum gate valve to be in close contact, the piston is raised when the air pressure is applied to the lower end of the piston, one side is connected to the link support and the other side is connected to the link shoulder link; A stem moving left and right by pulling a link shoulder connected to the link by the operation of the link; A bearing guide for guiding the rolling action of the bearing mounted on the bearing plate when the piston is raised to allow the stem to move left and right; A gate plate supported by the stem and mounted vertically in the direction of the seat surface so as to be in close contact with the seat surface of the chamber to maintain airtight; A lower plate supporting the bearing guide with a spring, serving as a stopper of the piston, and determining the left and right positions of the stem to assist airtightness between the chamber and the gate valve; Characterized in that consisting of.

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상기 본 발명에 있어서, 상기 베어링 가이드 대신에 상기 피스톤이 상승할 때 샤프트와 연결되어 있고 리니어 부싱이 슬라이딩하여 상기 스템이 좌우 운동을 할 수 있게 도와주는 리니어 부싱 가이드를 포함함을 특징으로 한다.In the present invention, instead of the bearing guide is characterized in that it includes a linear bushing guide that is connected to the shaft when the piston is raised and the linear bushing slides to help the stem to move left and right.

이하, 본 고안의 일실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 주요 기술적인 수단들의 기능을 도 2에 도시된 바를 참고하여 살펴보고, 진공 게이트 밸브의 동작과정을 도 3 내지 도 6에 도시한 바를 참고하여 살펴보면 다음과 같다. Hereinafter, the functions of the main technical means of the vacuum gate valve according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the bar illustrated in FIG. 2, and the operation process of the vacuum gate valve will be described with reference to FIGS. 3 to 6. Looking at it as follows.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 진공 게이트 밸브에 베어링 플레이트가 장착된 내부구성에 따른 조립형상을 나타낸 단면도이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 진공 게이트 밸브가 동작하기 전의 상태를 나타낸 단면도이며, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 진공 게이트 밸브가 동작되어 공압이 걸릴 때 베어링 가이드가 상승하는 상태를 나타낸 단면도이고, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 진공 게이트 밸브가 동작되어 베어링 가이드가 더욱 상승하게 될 때 게이트 플레이트가 챔버의 시트면과 밀착되는 상태를 나타낸 단면도이다. 또한 도 6은 본 발명의 다른 일실시예에 따른 진공 게이트 밸브에 리니어 부싱을 포함한 슬라이딩할 수 있 는 구동체가 장착된 내부구성에 따른 조립형상을 나타낸 단면도이다. Figure 2 is a cross-sectional view showing the assembly shape according to the internal configuration in which the bearing plate is mounted on the vacuum gate valve according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a state before the operation of the vacuum gate valve according to an embodiment of the present invention 4 is a cross-sectional view illustrating a state in which a bearing guide is raised when a vacuum gate valve is operated and pneumatic is applied according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a vacuum gate according to an embodiment of the present invention. It is sectional drawing which shows the state which the gate plate closely contacts with the seat surface of a chamber when a valve is operated and a bearing guide raises further. 6 is a cross-sectional view illustrating an assembly shape according to an internal configuration in which a slidable driving body including a linear bushing is mounted on a vacuum gate valve according to another embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바를 참고하여 진공 게이트 밸브의 주요 기술적인 수단들의 기능을 살펴보면 다음과 같다.Referring to the bar shown in Figure 2 looks at the function of the main technical means of the vacuum gate valve as follows.

상기 실린더(6) 내부에서 공기압을 받아 로드와 연결되어 있는 피스톤(12)의 상승, 하강운동에 의해서 링크 쇼울더(11)가 게이트 플레이트(16)를 당기어 챔버(30)의 시트면(31)과 밀착하게 하는 통상의 진공 게이트밸브에서, The link shoulder 11 pulls the gate plate 16 by the lifting and lowering movement of the piston 12 connected to the rod by receiving air pressure inside the cylinder 6, and thus the seat surface 31 of the chamber 30. In a normal vacuum gate valve that comes in close contact with

상기 링크(15)는 상기 피스톤(12) 하단부에 공압이 걸리면 피스톤(12)이 상승하는데, 일측이 링크 지지대(14)와 연결되어 있고 다른 일측이 링크 쇼울더(11)와 연결되어 있다. 또한 가이드 부시(8)는 상기 링크 쇼울더(11)를 지지하고, 가이드 핀(10)과 조립되어 상하 운동을 하며, 부시(9)는 상기 가이드 부시(8)와 가이드 핀(10)의 상하 운동에 대한 정도를 보증하는 것이다. When the pneumatic pressure is applied to the lower end of the piston 12, the link 15 rises, and one side is connected to the link support 14, and the other side is connected to the link shoulder 11. In addition, the guide bush 8 supports the link shoulder 11 and is assembled with the guide pin 10 to move up and down, and the bush 9 moves up and down between the guide bush 8 and the guide pin 10. To guarantee the degree to.

상기 스템(1)은 상기 링크의 작동에 의해 링크(15)와 연결되어 있는 링크 쇼울더(11)의 당김에 의해 좌, 우로 운동한다. The stem 1 moves left and right by pulling the link shoulder 11 connected to the link 15 by the operation of the link.

상기 베어링 가이드(2)는 상기 피스톤(12)이 상승할 때 베어링 플레이트(3)에 장착되어 있는 베어링(19)의 구름 작용을 안내하여 상기 스템(1)이 좌우 운동을 할 수 있게 도와준다. The bearing guide 2 guides the rolling action of the bearing 19 mounted on the bearing plate 3 when the piston 12 is raised to help the stem 1 to move left and right.

상기 게이트 플레이트(16)는 상기 스템(1)에 의해 지지되고 시트면(31) 방향으로 수직으로 이동하여 챔버(30)의 시트면(31)과 밀착되어 기밀을 유지한다. 상기 챔버(30)의 시트면(31)에 밀착되어 진공을 확실히 유지하게 하기 위해 게이트 플레이트 전면부에 오링(21)이 장착되어 있는 것이다.The gate plate 16 is supported by the stem 1 and moves vertically in the direction of the seat surface 31 to be in close contact with the seat surface 31 of the chamber 30 to maintain airtightness. The O-ring 21 is mounted on the front surface of the gate plate in order to be in close contact with the seat surface 31 of the chamber 30 to maintain the vacuum.

상기 하부 플레이트(4)는 상기 베어링 가이드(2)를 스프링(20)으로 지탱하고, 피스톤(12)의 스토퍼 역할을 수행하며 스템(1)의 좌우 위치를 결정하여 챔버(30)와 게이트 밸브 사이의 기밀유지를 보조하는 것이다. The lower plate 4 supports the bearing guide 2 with a spring 20, serves as a stopper for the piston 12, and determines the left and right positions of the stem 1 between the chamber 30 and the gate valve. To help maintain confidentiality.

도 3에 도시한 바와 같이, 진공 게이트 밸브가 동작하기 전의 상태를 살펴보면, 스템(1)의 상하, 좌우운동에 대하여 힘을 생성하는 실린더(6)의 내부에서 공기압을 받아 상하운동을 하며 밸브의 전체의 힘을 결정하는 피스톤(12)이 최하단에 위치하고 있으며, 상기 스템(1)이 가장 왼쪽의 위치에 있다. 상기 실린더(6)와 조립되는 실린더 플레이트(7)는 챔버(30)와 장착되는 면이다. 또한 피스톤(12)의 상승시 챔버(30)의 시트면(31) 위치에서의 1차 스토퍼 역할을 수행하고 베어링(19)의 구름 작용에 대한 안내 역할을 하여 스템(1)의 좌우운동을 도와주는 베어링 가이드(2)와, 피스톤(12)의 스토퍼 역할을 수행하여 스템(1)의 좌우 위치를 결정하게 하는 하부 플레이트(4)가 스프링(20)에 의해서 일정 간격을 유지한다. 여기서 스프링(20)은 하부 플레이트(4)에 장착되어 베어링 가이드(2)를 지탱한다. As shown in FIG. 3, the state before the operation of the vacuum gate valve is shown in FIG. 3. The vertical movement of the valve is performed by receiving air pressure inside the cylinder 6 generating a force against the vertical and horizontal movements of the stem 1. The piston 12, which determines the total force, is located at the bottom, and the stem 1 is at its leftmost position. The cylinder plate 7 assembled with the cylinder 6 is a surface to be mounted with the chamber 30. In addition, it acts as a primary stopper at the seat surface 31 position of the chamber 30 when the piston 12 ascends and guides the rolling action of the bearing 19 to assist the left and right movement of the stem 1. The main guide is held by the spring 20 with a bearing guide 2 and a lower plate 4 which serves as a stopper of the piston 12 to determine the left and right positions of the stem 1. The spring 20 is mounted to the lower plate 4 to bear the bearing guide 2.

도 4에 도시한 바와 같이, 진공 게이트 밸브가 동작되어 공압이 걸릴 때 베어링 가이드가 상승하는 상태를 살펴보면, 피스톤(12) 하단부에 공압이 걸리면 피스톤(12)이 상승을 시작한다. 이에 따라 스템(1)도 상승을 하지만 실링을 하기 위한 면인 시트면(31)으로부터의 좌측 위치는 이격된 상태로 유지된다. 그리고 피스톤(12)이 상승을 계속하다가 일정한 위치에 도달하는 경우, 즉 베어링 가이드(2)가 실린더(6)의 하단부에 접촉하면 스템(1)의 상승은 멈추게 된다. 상기 위치는 게이트 플레이트(16)가 시트면(31)을 실링을 할 수 있는 위치이다. 여기서 상기 시트 면(31)에 밀착되어 진공을 확실히 유지하게 하기 위해 게이트 플레이트(16) 전면부에 오링(21)이 장착되어 있다. As shown in FIG. 4, when the vacuum gate valve is operated and the bearing guide is raised when the pneumatic pressure is applied, when the pneumatic pressure is applied to the lower end of the piston 12, the piston 12 starts to rise. Accordingly, the stem 1 also rises, but the left position from the seat surface 31, which is a surface for sealing, is kept spaced apart. When the piston 12 continues to ascend and reaches a predetermined position, that is, when the bearing guide 2 contacts the lower end of the cylinder 6, the rise of the stem 1 is stopped. The position is a position where the gate plate 16 can seal the seat surface 31. The O-ring 21 is mounted on the front surface of the gate plate 16 so as to be in close contact with the seat surface 31 to ensure the vacuum.

도 5에 도시한 바와 같이, 진공 게이트 밸브가 동작되어 베어링 가이드가 더욱 상승하게 될 때 게이트 플레이트가 챔버의 시트면과 밀착되는 상태를 살펴보면, 베어링 가이드(2)가 실린더(6)의 하단에서 멈추어 있는 동안 피스톤(12)은 계속 상승한다. 이때부터 피스톤(12)과 함께 상승하는 링크(15)와 연결되어 있는 링크 쇼울더(11)가 스템(1)을 우측 방향으로 당기게 된다. 즉, 게이트 플레이트(16)가 시트면(31)을 향해 수직으로 이동하여 밀착하게 된다. 이때 스템(1)의 좌우 직선 운동을 구름 운동으로 전환하여 마찰을 저감시키는 베어링(19)은 베어링 가이드(2)의 안내면을 따라 좌에서 우로 이동하며 스템(1)을 안내하게 되므로 진공 게이트밸브가 닫히게 되는 것이다. 다시 진공 게이트밸브를 원 위치로 복귀시키는 경우는 닫힘 동작과 반대로 움직이면 되므로 이하 생략한다. As shown in FIG. 5, when the vacuum gate valve is operated to further raise the bearing guide, the gate plate is brought into close contact with the seat surface of the chamber, and the bearing guide 2 stops at the lower end of the cylinder 6. The piston 12 continues to ascend while it is. From this time, the link shoulder 11 connected with the link 15 rising together with the piston 12 pulls the stem 1 in the right direction. That is, the gate plate 16 moves vertically toward the seat surface 31 to be in close contact. At this time, the bearing 19 for reducing friction by converting the left and right linear motions of the stem 1 into rolling motion moves from the left to the right along the guide surface of the bearing guide 2 and guides the stem 1 so that the vacuum gate valve It will be closed. When the vacuum gate valve is returned to the original position again, the operation is reversed from the closing operation.

도 6에 도시한 바와 같이, 진공 게이트 밸브에 리니어 부싱을 포함한 슬라이딩할 수 있는 구동체가 장착된 내부구성에 따른 조립형상을 나타낸 단면도이다. As shown in FIG. 6, it is sectional drawing which showed the assembly shape according to the internal structure which the sliding gate drive body including a linear bushing was attached to the vacuum gate valve.

도 6에 도시한 바와 같이, 리니어 부싱이 슬라이딩되는 경우에도 구동 동작은 도 4와 도 5에 도시한 바와 같이, 동일하며 단지 베어링 가이드(2) 대신에 상기 피스톤(12)이 상승할 때 샤프트(28)와 연결되어 있고 리니어 부싱(29)이 슬라이딩하여 상기 스템(1)이 좌우 운동을 할 수 있게 도와주는 리니어 부싱 가이드(27)를 대치시키면 된다.As shown in Fig. 6, even when the linear bushing is slid, the driving operation is the same as shown in Figs. 4 and 5, and only when the piston 12 is raised instead of the bearing guide 2, the shaft ( 28 and the linear bushing guide 27 which slides the linear bushing 29 to help the stem 1 move left and right.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것은 아니다. As described above, various substitutions, modifications, and changes can be made by those skilled in the art without departing from the technical spirit of the present invention, and thus, the embodiments and the accompanying drawings are limited. It doesn't happen.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브는 다음과 같은 효과를 가진다.As described above, the vacuum gate valve according to the present invention has the following effects.

첫째, 본 발명은 피스톤이 상승할 때 베어링 가이드가 베어링의 구름 작용을 안내하여 스템이 좌우 운동을 할 수 있게 도와줌으로써, 게이트 플레이트가 챔버의 시트면에 밀착되어 기밀유지를 할 수 있다. First, the present invention guides the rolling action of the bearing when the piston is raised to help the stem to move left and right, so that the gate plate is in close contact with the seat surface of the chamber can be kept airtight.

둘째, 본 발명은 챔버의 시트면에 밀착되어 진공을 유지하게 하는 게이트 플레이트 전면부에 오링이 장착되어 챔버와 게이트 밸브 사이에 기밀유지가 보다 확실하게 이루어지게 한다. Secondly, the present invention has an O-ring mounted on the front surface of the gate plate to be in close contact with the seat surface of the chamber to maintain a vacuum, thereby ensuring more airtightness between the chamber and the gate valve.

셋째, 본 발명은 피스톤이 상승할 때 리니어 부싱을 포함한 슬라이딩할 수 있는 구동체에 의해 스템이 좌우 운동을 하므로 게이트 플레이트가 챔버의 시트면에 밀착되어 기밀유지를 할 수 있다. Third, the present invention is the stem plate is moved left and right by the sliding drive including the linear bushing when the piston is raised, the gate plate is in close contact with the seat surface of the chamber can be kept airtight.

넷째, 본 발명은 스프링이 장착되어 베어링 가이드를 지탱하는 하부 플레이트가 장착되어 피스톤의 스토퍼 역할을 수행하고 스템의 좌우 위치를 결정하여 챔버와 게이트 밸브 사이의 기밀유지를 보조한다. Fourth, the present invention is equipped with a spring-loaded lower plate supporting the bearing guide to serve as a stopper of the piston and determine the left and right positions of the stem to assist the airtightness between the chamber and the gate valve.

Claims (4)

실린더 내부에서 공기압을 받아 로드와 연결되어 있는 피스톤의 상승, 하강운동에 의해서 링크 쇼울더가 게이트 플레이트를 당기어 챔버의 시트면과 밀착하게 하는 통상의 진공 게이트밸브에 있어서, In the normal vacuum gate valve that the link shoulder pulls the gate plate and comes into close contact with the seat surface of the chamber by the upward and downward movement of the piston connected to the rod by receiving air pressure inside the cylinder. 피스톤 하단부에 공압이 걸리면 피스톤이 상승하는데, 일측이 링크 지지대와 연결되어 있고 다른 일측이 링크 쇼울더와 연결되어 있는 링크와; A piston is raised when pneumatic pressure is applied to the lower end of the piston, one side of which is connected to a link support and the other side of which is connected to a link shoulder; 상기 링크의 작동에 의해 링크와 연결되어 있는 링크 쇼울더의 당김에 의해 좌, 우로 운동하는 스템과; A stem moving left and right by pulling a link shoulder connected to the link by the operation of the link; 상기 피스톤이 상승할 때 베어링 플레이트에 장착되어 있는 베어링의 구름 작용을 안내하여 상기 스템이 좌우 운동을 할 수 있게 도와주는 베어링 가이드와; A bearing guide for guiding the rolling action of the bearing mounted on the bearing plate when the piston is raised to allow the stem to move left and right; 상기 스템에 의해 지지되고 시트면 방향으로 수직으로 이동하여 챔버의 시트면과 밀착되어 기밀을 유지하게 하기 위해 게이트 플레이트 전면부에 오링이 장착되어 있는 게이트 플레이트와; A gate plate supported by the stem and mounted vertically in the direction of the seat surface so as to be in close contact with the seat surface of the chamber to maintain airtight; 상기 베어링 가이드를 스프링으로 지탱하고, 피스톤의 스토퍼 역할을 수행하며 스템의 좌우 위치를 결정하여 챔버와 게이트 밸브 사이의 기밀유지를 보조하는 하부 플레이트; 로 구성됨을 특징으로 하는 진공 게이트밸브.A lower plate supporting the bearing guide with a spring, serving as a stopper of the piston, and determining the left and right positions of the stem to assist airtightness between the chamber and the gate valve; Vacuum gate valve, characterized in that consisting of. 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 베어링 가이드 대신에 상기 피스톤이 상승할 때 샤프트와 연결되어 있고 리니어 부싱이 슬라이딩하여 상기 스템이 좌우 운동을 할 수 있게 도와주는 리니어 부싱 가이드를 포함함을 특징으로 하는 진공 게이트밸브.And a linear bushing guide connected to the shaft when the piston ascends, the linear bushing sliding to help the stem move left and right instead of the bearing guide.
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