KR100646104B1 - 접지장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 접지장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 그 사이의 간격이 일정 범위내에서 변동되는 양 물체 사이에서 양 물체를 전기적으로 연결하여 접지시키는 접지장치에 관한 것이다.
본 발명은, 간격이 일정한 범위내에서 변동되는 양 물체 사이를 접지하는 접지장치에 있어서, 양 물체 사이에 개재되어 마련되며, 양 물체 사이를 전기적으로 연결하는 얇은 판상의 연결 부재; 상기 양 물체의 각 대향면에 각각 결합되며, 상기 연결 부재의 각 일단이 상기 대향면과 예각을 이루면서 취부되도록 하는 경사 취부 부재; 상기 경사 취부 부재를 상기 양 물체의 대향면에 고정시키는 고정 부재;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 접지장치를 제공한다.
접지, 접지장치, 플라즈마 처리장치, 하부 전극

Description

접지장치{GROUNDING DEVICE}
도 1은 플라즈마 처리장치에 마련된 종래의 접지장치의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 2는 하부 전극이 상승한 경우의 종래 접지장치의 상태를 나타내는 부분 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 접지장치의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 접지장치의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 접지장치의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 접지장치의 구조를 나타내는 분해사시도이다.
도 7a, 7b는 본 발명의 제3 실시예에 따른 접지장치가 작동 과정을 나타내는 도면들이다.
도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 접지장치의 구조를 나타내는 단면도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
1 : 플라즈마 처리장치 10 : 상부 전극
20 : 하부 전극 30 : 챔버 벽
40 : 종래의 접지장치
42, 142, 242, 342 : 연결 부재
44, 144, 244, 344 : 고정 부재
140 : 본 발명의 제1 실시예에 따른 접지장치
146, 246, 346 : 경사 취부 부재
240 : 본 발명의 제2 실시예에 따른 접지장치
340 : 본 발명의 제3 실시예에 따른 접지장치
본 발명은 접지장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 그 사이의 간격이 일정 범위내에서 변동되는 양 물체 사이에서 양 물체를 전기적으로 연결하여 접지시키는 접지장치에 관한 것이다.
LCD 등의 평판표시소자를 제조하는 과정에서는 플라즈마를 사용하여 기판에 소정의 처리를 실시하는 플라즈마 처리장치가 사용된다. 이러한 플라즈마 처리장치는 상부 전극과 하부 전극 사이에 기판을 위치시키고, 양 전극 사이의 공간에 플라즈마를 발생시켜 기판에 소정의 처리를 실시하는 것이다. 이때 양 전극 중 어느 한 전극에는 고주파 전원이 인가되고, 다른 한 전극은 접지된다.
예를 들어 PE(Plasma Enhanced) 방식의 플라즈마 처리장치(1)에는 도 1에 도시된 바와 같이, 상부 전극(10)에 고주파 전원이 인가되고, 하부 전극(20)은 접지된다. 하부 전극(20)이 접지되는 방법은 그라운드에 연결되어 있는 챔버 벽(30)에 전기적으로 연결되는 방법이다.
그런데 하부 전극(20)은 그 상부면에 기판이 위치되는 탑재대의 역할도 수행하므로, 플라즈마 처리장치(1)의 외부에서 기판이 공급된 후 상부 전극(10)과의 이격 간격을 줄이기 위하여 상측으로 상승한 기판에 대하여 플라즈마 처리하고, 처리가 완료되면 하부 전극(20)은 다시 하강한 후 기판을 외부로 반출한다. 따라서 하부 전극(20)은 계속적으로 상하 방향으로 운동하게 된다.
그러므로 하부 전극(20)과 챔버 벽(30)을 전기적으로 연결하는 접지장치(40)는 도 1에 도시된 바와 같이, 연성 재료로 이루어져서 잘 휘어질 수 있는 연결 부재(42)로 구성된다. 즉, 연성 재료로 이루어진 연결부재(42)를 하부 전극(20)의 하부면 소정 부분과 그에 대응되는 챔버 하벽(30) 소정 부분에 각각 고정 부재(44)에 의하여 고정하는 것이다. 이때 연결부재(42)는 그 중간 부분이 휘게 되어, 연결 부재(42)가 하부 전극(20)의 하면 또는 챔버 하벽(30)과 일정한 각도를 이루게 된다. 도 1에 도시된 바와 같이, 이 각도를 α라고 했을 때, 하부 전극(20)이 상승하게 되면 도 2에 도시된 바와 같이, 하부 전극(20)과 챔버 하벽(30) 사이의 간격이 커지므로 연결 부재(20) 중 고정 부재(44)에 의하여 고정되는 부분이 시작되는 지점(A)에서 연결 부재(20)가 더 많이 휘어지게 되고, α는 더욱 커지게 된다.
따라서 하부 전극(20)이 상승 운동과 하강 운동을 자주 반복하면, 연결 부재(42)는 하부 전극(20) 또는 챔버 하벽(30)과 이루는 각도가 작아졌다가 커지는 과정을 반복하게 된다. 그런데 이러한 현상이 반복되는 것은, 연결 부재(42) 중 고정 부재(44)에 고정되는 부분의 시작점(A)에 대하여 과도한 스트레스(stress)를 부과하여 이 지점에서 연결 부재(44)가 단락되는 현상이 발생한다.
이렇게 접지 장치(40)에서 단락이 발생하는 경우에는 기판에 대한 처리시에 상당한 위험이 발생할 수 있다. 또한 도 1에 도시된 바와 같이, 접지 장치(40)가 마련되는 장소가 챔버 내부인 하부 전극과 챔버 하벽 사이이기 때문에, 단락이 발생하여도 그 발견이 어렵고, 보수 작업 또한 어려운 문제점이 있다. 따라서 접지된 부분에 과도한 스트레스로 인하여 단락이 자주 발생하는 것은 많은 문제를 야기시킨다.
본 발명은 일정한 범위내에서 계속하여 그 간격이 변동되는 양 물체 사이에서 양 물체를 안정적으로 접지시키면서도 그 수명이 긴 접지장치를 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 간격이 일정한 범위내에서 변동되는 양 물체 사이를 접지하는 접지장치에 있어서, 양 물체 사이에 개재되어 마련되며, 양 물체 사이를 전기적으로 연결하는 얇은 판상의 연결 부재; 상기 양 물체의 각 대향면에 각각 결합되며, 상기 연결 부재의 각 일단이 상기 대향면과 예각을 이루면서 취부되도록 하는 경사 취부 부재; 상기 경사 취부 부재를 상기 양 물체의 대향면에 고정시키는 고정 부재;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 접지장치를 제공한다.
또한 본 발명은, 경사 취부 부재를, 각각 경사면을 가지는 두 조각으로 이루어지되, 상기 두 조각은 상기 고정 부재에 의하여 경사면끼리 접촉되도록 고정되도록 함으로써, 결합되는 물체의 접촉면과 예각을 이루는 경사면 사이에 연결부재를 삽입 고정함으로써 연결부재가 물체의 접촉면과 자연스럽게 예각을 이루면서 마련될 수 있게 한다.
또한 본 발명은, 연결 부재를 플렉서블(flexible)한 금속으로 이루어지도록 함으로써 양 물체를 전기적으로 잘 연결하면서도, 잘 휘어질 수 있어서 양 물체 사이의 간격이 변동되더라도 연결 부재에 손상이 가지 않고, 잘 유지될 수 있도록 한다.
또한 본 발명은, 간격이 일정한 범위내에서 변동되는 양 물체 사이를 접지하는 접지장치에 있어서, 양 물체 사이에 개재되어 마련되며, 양 물체 사이를 전기적으로 연결하는 얇은 판상의 연결 부재; 상기 양 물체의 대향면의 소정 부분에 경사면을 가지는 경사홈을 형성시키고, 그 일면이 상기 경사홈의 형상에 대응되는 경사면으로 이루어지며, 상기 연결 부재의 각 일단이 대향면과 예각을 이루면서 취부되도록 하는 경사 취부 부재; 상기 경사 취부 부재를 상기 경사홈에 고정시키는 고정 부재;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 접지장치를 제공한다.
또한 본 발명은, 간격이 일정한 범위내에서 변동되는 양 물체 사이를 접지하는 접지장치에 있어서, 양 물체 사이에 개재되어 마련되며, 양 물체 사이를 전기적으로 연결하는 얇은 판상의 연결 부재; 상기 양 물체의 각 대향면에 각각 결합되며, 그 내부에 상기 연결 부재의 각 일단이 소정 길이 만큼 삽입되어 취부되도록 하되, 취부된 연결 부재의 일단이 소정 범위 내에서 움직일 수 있도록 하는 경사 취부 부재; 상기 경사 취부 부재를 상기 양 물체의 대향면에 고정시키는 고정 부재;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 접지장치를 제공한다.
이때 본 발명은, 경사 취부 부재를, 그 일면이 경사면에서 시작하여 곡면으로 끝나는 형상이고, 그 일면에 상기 연결 부재의 소정 부분이 자유롭게 움직일 수 있는 크기의 그루브(groove)가 형성되는 제1 조각;과 상기 제1 조각과 대응되는 형상의 면을 가지는 제2 조각;으로 이루어지도록 함으로써 그 그루브 내에서 연결 부재의 일부분이 자유롭게 이동할 수 있어서 양 물체 사이의 간격이 변화되더라도 연결부재에 부과되는 스트레스가 증가되지 않는 장점이 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
< 실시예 1 >
본 실시예에 따른 접지장치(140)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 연결 부재(142); 경사 취부 부재(146); 고정 부재(144);로 이루어진다.
우선 연결 부재(142)는, 그 사이의 간격이 일정한 범위내에서 변동되는 양 물체(120, 130) 사이에 개재되어 마련되며, 양 물체(120, 130) 사이를 전기적으로 연결하는 역할을 한다. 연결 부재(142)는 자신이 개재되는 양 물체(120, 130) 사이의 간격이 변동되기 때문에, 휘어지지 않는 부재로 마련되는 경우에는 양 물체 사이의 간격이 변동에 의하여 파손될 수 있다. 따라서 연결 부재(142)를 잘 휘어지는 플렉서블(flexible)한 금속으로 형성시키는 것이 바람직하다.
그러므로 연결 부재(142)의 양 단이 양 물체(120, 130)의 소정 부분에 고정되고, 그 상태로 양 물체(120, 130) 사이의 간격이 증가되더라도 연결 부재(142)가 어느 정도까지는 휘어질 수 있어서 연결 부재(142)에 가해지는 스트레스를 수용할 수 있는 것이다.
그리고 전술한 연결 부재(142)는 경사 취부 부재(146)에 의하여 양 물체의 각 대향면에 취부된다. 여기에서 '대향면'이라 함은, 소정 간격으로 이격되어 있는 양 물체에서, 서로 마주보는 방향으로 각 물체에 형성되어 있는 면을 말한다. 이때 경사 취부 부재(146)는 연결 부재(142)의 각 일단이 상기 대향면과 예각을 이루면서 취부되도록 하기 위하여 그 내부에 경사면이 형성된다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이, 경사 취부 부재(146)는, 각각 마주보는 경사면을 가지며, 각 경사면을 접촉시켜 조립하면 하나의 부재를 이루는 두 조각(146a, 146b)으로 이루어진다. 따라서 두 조각(146a, 146b)의 경사면 사이로 연결 부재(142)를 삽입하여 취부하면, 연결 부재(142)가 대향면과 소정 각도를 가지도록 경사지게 취부되는 것이다.
그리고 이 경사 취부 부재(146)는, 고정 부재(144)에 의하여 양 물체(120, 130)의 소정 부분에 고정된다. 따라서 경사 취부 부재(146)의 소정 부분에는 고정 부재(144)가 통과할 수 있는 관통공이 형성된다.
그러므로 본 실시예에 따른 접지장치(140)를 설치하기 위해서는, 우선 경사 취부 부재(146)를, 양 물체(120, 130)의 소정 부분에 가고정 시켜고, 경사 취부 부재(146)의 양 조각(146a, 146b)이 가지는 경사면 사이로 연결 부재(142)의 일단을 삽입한다. 그리고 고정 부재(144)를 더 조임으로써 경사 취부 부재(146)의 경사면이 연결 부재(142)를 견고하게 고정시키도록 하며, 아울러 경사 취부 부재가 양 물체(120, 130)에 견고하게 고정되도록 하는 것이다.
본 실시예에 따른 접지장치(140)를 사용하면, 양 물체(120, 130)에 별도의 가공 작업을 수행하지 않고, 간단하게 접지장치를 설치할 수 있으며, 연결 부재(142)가 양 물체(120, 130)의 대향면과 소정 각도를 가지도록 경사지게 취부되므로 양 물체(120, 130) 사이의 간격 변동에도 불구하고 연결 부재(142)에 가해지는 스트레스가 적어서 그 수명이 길어지는 장점이 있다.
< 실시예 2 >
본 실시예에 따른 접지장치(240)도 도 4에 도시된 바와 같이, 연결 부재(242); 경사 취부 부재(246); 고정 부재(244);로 이루어지되, 양 물체(220, 230)의 소정 부분에 경사면을 가지는 경사홈(222,232)이 각각 형성되어야 한다.
우선 연결 부재(242)는, 그 사이의 간격이 일정한 범위내에서 변동되는 양 물체(220, 230) 사이에 개재되어 마련되며, 양 물체(220, 230) 사이를 전기적으로 연결하는 역할을 한다. 따라서 연결 부재(242)는 전기 전도성이 우수하여야 하고, 또한 간격이 변하는 양 물체 사이에 개재되므로 잘 휘어질 수 있는 얇은 판상의 금속으로 이루어지는 것이 바람직하다.
본 실시예에 따른 접지장치(240)를 설치하기 위해서는 양 물체(220, 230)의 서로 마주보는 대향면 소정 부분에 연결 부재(242)가 취부될 경사홈(222, 232)을 형성시켜야 한다. 즉, 양 물체(220, 230)의 각 대향면에 서로 대응되는 경사면을 가지는 경사홈(222, 232)을 각각 형성시키고, 그 경사홈(222, 232)에 형성되어 있는 경사면과 맞물릴 수 있는 경사면을 가지는 경사 취부 부재(246)를 이용하여 연결 부재(242)를 취부하는 것이다.
본 실시예에서는 각 경사홈(222, 232)에 연결 부재(242)를 그대로 취부하고 고정 부재(244)를 이용하여 연결 부재(242)를 고정시킴으로써 접지장치(240)의 설치가 마무리 될 수 있다. 그러나 연결 부재(242)에 직접 고정 부재(244)를 고정시키는 것은, 연결 부재(242)의 설치과정에서 연결 부재(242)에 손상이 발생되어, 접지장치(240)의 운용 과정에서 연결 부재(242)의 수명이 단축되는 등의 문제가 발생될 수 있다. 따라서 도 4에 도시된 바와 같이, 경사 취부 부재(246)를 사용하여 연결 부재(242)를 고정시키는 것이 바람직하다.
따라서 연결 부재(242)는 경사홈(222, 232)과 경사 취부 부재(246)의 경사면 사이에 삽입되어 취부되므로 자연스럽게 양 물체(220, 230)의 대향면과 소정 각도를 이루며 경사지게 취부되는 것이다. 본 실시예에 의하면, 양 물체의 대향면에 직접 경사홈을 형성시킴으로써 그 가공이 용이한 물체의 경우에는 별도의 경사 취부 부재를 마련하지 않고서도 간단하게 접지장치를 설치할 수 있는 장점이 있다.
< 실시예 3 >
본 실시예에 따른 접지장치(340)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 연결부재(342); 경사 취부 부재(346); 고정 부재(344)로 이루어진다. 이때 연결 부재(342)와 고정 부재(344)는 앞선 실시예 1, 2에서의 그것과 동일한 구조와 기능을 하므로 여기서 반복하여 설명하지 않는다.
본 실시예에서는 경사 취부 부재(346)를 다른 실시예와 다르게 구성한다. 즉, 양 물체(320, 330)의 대향면에 각각 마련되며, 그 내부에 연결 부재(342)의 각 일단이 소정 길이 만큼 삽입되어 취부되도록 하되, 취부된 연결 부재(342)의 일단이 고정되는 것이 아니라 소정 범위 내에서 움직일 수 있도록, 경사 취부 부재(346)를 마련하는 것이다.
연결 부재(342)의 일단이 경사 취부 부재(346)에 취부되면서도 그 일단이 자유롭게 움직일 수 있도록 하기 위해서는, 경사 취부 부재(346)의 일면을, 경사면으로 시작하여 곡면으로 끝나는 형상으로 형성시키고, 그 일면 소정 부분에는 연결 부재(342)의 소정 부분이 자유롭게 움직일 수 있도록 그루브(groove, 347)가 형성되어야 한다. 즉, 도 6에 도시된 바와 같이, 연결 부재(342)의 폭 및 두께보다 약 간 큰 폭과 깊이를 가지는 그루브(347)를, 경사 취부 부재(346)를 이루는 두 조각 중 제1 조각(346a)의 면 중 경사 곡면으로 이루어진 일면에 형성시키는 것이다. 그리고 경사 취부 부재(346)의 제2 조각(346b)에는 제1 조각(346a)의 일면과 맞물리는 형상의 일면을 형성시키되, 전술한 그루브(347)와 대응되는 돌출부는 마련하지 않음으로써, 제1 조각(346a)과 제2 조각(346b)을 결합시키더라도 전술한 그루브(347)에 의하여 형성된 공간에 연결 부재(342)의 일단이 취부된 후 자유롭게 움직일 수 있는 것이다.
이렇게 경사 취부 부재(346) 내에 경사 곡면을 가지는 그루브(347)를 형성시켜서 연결 부재(342)가 자유롭게 움직일 수 있도록 하는 경우에는, 도 7a, 7b에 도시된 바와 같이, 양 물체(320, 330) 사이의 간격이 커지더라도 연결 부재(342)의 일단이 그루브(347)로부터 일정 길이 만큼 빠져 나오고, 양 물체(320, 330) 사이의 간격이 가까워지면 연결 부재(342)의 일단이 일정 길이 만큼 들어옴으로써 연결 부재(342)에 부과되는 스트레스를 흡수하는 것이다.
다만, 본 실시예에 따라 접지장치(340)를 마련하는 경우에는 전술한 연결 부재(342)의 길이를, 양 물체 사이의 간격이 최대로 이격되었을 경우에도 연결 부재(342)가 경사 취부 부재(346)에서 이탈되지 않을 정도로 마련하여야 한다. 이때 연결 부재(342)는 잘 휘어질 수 있어야 할 뿐만 아니라, 원래 모양으로 돌아가려는 탄성력이 강한 부재로 이루어지져야, 그루브(347) 내에서 왕복하며 부과되는 스트레스를 최소화할 수 있는 것이다.
또한 본 실시예에 따른 접지장치(340)는 도 8에 도시된 바와 같이, 경사 취 부 부재(346)를 양 물체(320, 330)의 대향면에 바로 마주보는 위치에 마련하는 것이 아니라, 약간 엇갈린 위치에 마련함으로써 연결 부재(342)가 늘어진 S 자 형상을 가지도록 할 수도 있다. 이 경우에는 연결 부재(342)의 중앙 부분이 휘어지는 경도가 더욱 작아져서 연결부재(342)에 가해지는 스트레스가 더 적어진다.
본 실시예에 따라 접지장치(340)를 마련하는 경우에는 연결 부재(342)가 대향면과 경사지도록 취부될 뿐만아니라, 그 일단이 고정되어 있지 않고 움직일 수 있으므로 양 물체의 이동에 의한 스트레스가 더욱 감소되어 그 수명이 반 영구적으로 되는 장점이 있다.
본 발명은 플라즈마 처리장치의 하부 전극 처럼 일정한 범위 내에서 계속하여 움직이는 물체를 접지하는데 적합하다.
또한 본 발명에 따르면 연결 부재가 양 물체의 대향면과 경사지도록 취부함으로써 양 물체가 움직이더라도 그 움직임에 의하여 연결 부재에 부과되는 스트레스가 감소하여 접지장치의 수명이 길어지며,
더욱이 연결 부재가 소정 범위내에서 움직일 수 있도록 취부함으로써 스트레스를 더욱 감소시켜 접지장치를 반 영구적으로 사용할 수 있는 장점이 있다.

Claims (9)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 간격이 일정한 범위내에서 변동되는 양 물체 사이를 접지하는 접지장치에 있어서,
    양 물체 사이에 개재되어 마련되며, 양 물체 사이를 전기적으로 연결하는 얇은 판상의 연결 부재;
    상기 양 물체의 각 대향면에 각각 결합되며, 그 내부에 상기 연결 부재의 각 일단이 소정 길이 만큼 삽입되어 취부되도록 하되, 취부된 연결 부재의 일단이 소정 범위 내에서 움직일 수 있도록 하는 경사 취부 부재;
    상기 경사 취부 부재를 상기 양 물체의 대향면에 고정시키는 고정 부재;로
    이루어지는 것을 특징으로 하는 접지장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 경사 취부 부재는,
    그 일면이 경사면에서 시작하여 곡면으로 끝나는 형상이고, 그 일면에 상기 연결 부재의 소정 부분이 자유롭게 움직일 수 있는 크기의 그루브(groove)가 형성되는 제1 조각;과
    상기 제1 조각과 대응되는 형상의 면을 가지는 제2 조각;으로 이루어지며,
    상기 제1 조각과 제2 조각은 상기 고정 부재에 의하여 서로 맞물려서 각 대향면에 고정되는 것을 특징으로 하는 접지장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 연결 부재는,
    플렉서블(flexible)한 금속으로 이루어지되, 상기 금속은 탄성력이 강한 금속인 것을 특징으로 하는 접지장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS60236218A (ja) 1984-05-10 1985-11-25 Toshiba Corp プラズマ処理装置
JPH07312362A (ja) * 1994-05-17 1995-11-28 Nissin Electric Co Ltd ドライエッチング装置
KR20010102930A (ko) * 2000-05-03 2001-11-17 조셉 제이. 스위니 캐쏘드에서 접지형 축전기를 가지는 다중 주파수 플라즈마챔버
JP2004095725A (ja) 2002-08-30 2004-03-25 Tokyo Electron Ltd プラズマ処理装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60236218A (ja) 1984-05-10 1985-11-25 Toshiba Corp プラズマ処理装置
JPH07312362A (ja) * 1994-05-17 1995-11-28 Nissin Electric Co Ltd ドライエッチング装置
KR20010102930A (ko) * 2000-05-03 2001-11-17 조셉 제이. 스위니 캐쏘드에서 접지형 축전기를 가지는 다중 주파수 플라즈마챔버
JP2004095725A (ja) 2002-08-30 2004-03-25 Tokyo Electron Ltd プラズマ処理装置

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