KR100628100B1 - Optical record medium of high resolution - Google Patents

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KR100628100B1
KR100628100B1 KR1020050062749A KR20050062749A KR100628100B1 KR 100628100 B1 KR100628100 B1 KR 100628100B1 KR 1020050062749 A KR1020050062749 A KR 1020050062749A KR 20050062749 A KR20050062749 A KR 20050062749A KR 100628100 B1 KR100628100 B1 KR 100628100B1
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김진홍
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Abstract

본 발명은 초해상 광기록매체에 관한 것이다. 본 발명은 기판상에 다수의 층을 적층하여 빛의 회절한계 이하로 마크를 생성시켜 기록을 행하고, 상기 마크에 빛을 조사(照射)하여 기록을 재생하는 초해상 광기록매체에 있어서, 텔루리엄(Te)과 옥시전(O) 및 제3의 금속원소에 의해 형성된 기록층; 및 비선형 광학 물질, 써모크로믹(thermochromic) 물질 및 상변화 물질 중 어느 하나의 물질을 포함하여 빛이 상기 기록층에 조사될 경우 초해상 현상이 가능하도록 하는 재생층을 포함하는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체를 제공한다. 본 발명에 따른 초해상 광기록매체에 의하면 기록마크가 버블형태의 큰 부풀림으로 생성되지 않고, 마크의 모양이 균일하게 생성되기 때문에, 상기 초해상 광기록매체는 좋은 재생 신호 품질을 갖을 수 있다. 또한, 기록층에 기록이 장기간 보존될 수 있다.The present invention relates to a super resolution optical recording medium. The present invention relates to a super resolution optical recording medium in which a plurality of layers are stacked on a substrate to generate a mark below a diffraction limit of light, and to record. A recording layer formed by Mo, Te, O, and a third metal element; And a reproducing layer including any one of a nonlinear optical material, a thermochromic material, and a phase change material to enable super resolution when light is irradiated onto the recording layer. It provides a maritime optical recording medium. According to the super-resolution optical recording medium according to the present invention, since the recording mark is not generated in a large bubble-like bulge but the shape of the mark is generated uniformly, the super-resolution optical recording medium can have good reproduction signal quality. In addition, the recording can be stored for a long time in the recording layer.

초해상, 광기록매체 Super Resolution, Optical Recording Media

Description

초해상 광기록매체{optical record medium of high resolution}Optical record medium of high resolution

도 1은 종래의 광기록매체의 구성물질과 단면 구조를 나타낸 단면도1 is a cross-sectional view showing a constituent material and a cross-sectional structure of a conventional optical recording medium

도 2는 본 발명에 따른 광기록매체에 대한 일 실시예의 구성물질과 단면 구조를 나타낸 단면도2 is a cross-sectional view showing a constituent material and a cross-sectional structure of an embodiment of an optical recording medium according to the present invention.

도 3는 본 발명에 따른 광기록매체에 대한 다른 일 실시예의 구성물질과 단면 구조를 나타낸 단면도Figure 3 is a cross-sectional view showing a constituent material and a cross-sectional structure of another embodiment of an optical recording medium according to the present invention

도 4는 본 발명에 따른 광기록매체에 대한 또 다른 일 실시예의 구성물질과 단면 구조를 나타낸 단면도Figure 4 is a cross-sectional view showing a constituent material and a cross-sectional structure of another embodiment of an optical recording medium according to the present invention

<도면 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of Symbols for Main Parts of Drawing>

10 : 기판 20 : 반사층10: substrate 20: reflective layer

30a,30b,30c,30d : 유전체층30a, 30b, 30c, 30d: dielectric layer

40 : 광투과층40: light transmitting layer

50 : 기록층 60,60a,60b : 재생층50: recording layer 60, 60a, 60b: reproduction layer

본 발명은 초해상 광기록매체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 빛의 회절 한계 이하의 마크로 기록을 행하고, 상기 광기록매체에 빛을 조사(照射)하여 상기 기록을 재생하는 초해상 광기록매체에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a super resolution optical recording medium, and more particularly, to a super resolution optical recording medium for recording with a mark below a diffraction limit of light, and irradiating light to the optical recording medium. It is about.

현재 개발되거나 상품화가 된 광기록매체의 대표적인 예로서 기록, 재생시 적색 레이저를 사용하는 DVD(digital versatile disc; 이하 DVD)와 청색 레이저를 사용하는 BD(Blu-ray disc. ; 이하 BD)가 있다. 상기 광기록매체의 저장용량은 DVD급이 4.7기가바이트(Giga byte; 이하 GB)이고, 최근에 시장에 진입한 BD급이 25GB정도이다. 광기록매체는 2005년 이후에는 하나의 CD크기에 100GB이상을 기록할 수 있고, 2010년 이후에는 하나의 CD 크기에 테라바이트(Tera byte; TB)이상을 기록할 수 있을 것으로 예상된다. 그러나, 신호흐름의 정보로서 고선명 디지털 비디오(High Density Digital Video)를 저장하기 위해서는 20GB이상의 용량을 저장할 수 있고, 25Mbps이상의 데이터 전송속도에 따라 정보를 기록할 수 있는 정보저장매체가 필요하다.  Representative examples of optical recording media that are currently developed or commercialized include digital versatile discs (DVDs) using red lasers and BD (Blu-ray discs; BDs) using blue lasers for recording and playback. . The storage capacity of the optical recording medium is 4.7 gigabytes (GB) or less, and the DVD class is about 25 GB. Optical recording media can record more than 100GB in one CD size after 2005, and terabytes (TB) or more in one CD size after 2010. However, in order to store high-density digital video as signal flow information, an information storage medium capable of storing a capacity of 20 GB or more and recording information according to a data transmission speed of 25 Mbps or more is required.

현재 다양한 멀티미디어 환경에서 다기능 정보 저장기술이 여러 형태로 개발되고 있다. 그 중에서도 광기록매체는 재생장치에 탈착이 가능하고, 대용량의 정보를 저장할 수 있다. 또한, 재생시 기록에 대한 랜덤 액서스(random access)가 가능하고, 기록된 데이터에 대한 신뢰성이 유지되며, 비용이 저렴하기 때문에 여러 정보저장방식 중 가장 각광 받고 있다. Currently, multi-functional information storage technology is being developed in various forms in various multimedia environments. Among them, the optical recording medium can be attached to and detached from the playback apparatus and can store a large amount of information. In addition, since random access to recording is possible during reproduction, reliability of recorded data is maintained, and cost is low, it is the most popular among various information storage methods.

광기록 매체는 기록 피트(pit)의 크기를 줄일 수 있어야 기록밀도를 증가시킬 수 있다. 기록 피트를 줄이기 위해서 입사 레이저 빔 크기를 줄여야 하는데, 레이저 빔의 크기는 레이저 파장(λ)에 비례하고 대물렌즈 개구수(Numerical Aperture; NA)에 반비례한다(d∝λ/NA, 여기서 d는 레이저 빔 크기, λ 파장, NA는 렌즈의 개구수). 따라서, 레이저 빔의 크기를 줄이기 위해 레이저 빔의 파장을 줄이거나 개구수를 증가시켜 왔다. 고밀도 저장매체를 얻기 위해서는 단파장 레이저를 사용하여 기록을 하고 재생을 하여야 한다. 그러나 단파장 레이저(청색레이저(405nm))와 높은 개구수(NA=0.85)를 사용하여 기록의 고밀도화를 이루는 것은 거의 이론적인 한계에 도달하였으며, 그 이상의 저장 용량을 구현하기 위해서는 새로운 기술을 필요로 한다. 따라서, 기존 CD와 DVD 재생기기들과 호환이 가능하면서도 초기 CD 저장 용량인 650MB보다 수 백배 높은 고밀도 정보저장이 가능한 광기록매체의 한 방안으로 초해상(super-resolution) 현상을 이용한 광기록매체에 대한 연구가 새롭게 진행되고 있는 추세에 있다. The optical recording medium must be able to reduce the size of the recording pit to increase the recording density. To reduce the recording pit, the incident laser beam size should be reduced, which is proportional to the laser wavelength (λ) and inversely proportional to the objective aperture numerical aperture (NA) (d∝λ / NA, where d is the laser Beam size, λ wavelength, NA is the numerical aperture of the lens). Therefore, the wavelength of the laser beam has been reduced or the numerical aperture has been increased to reduce the size of the laser beam. In order to obtain a high density storage medium, a short wavelength laser must be used for recording and reproducing. However, achieving high density recordings using short wavelength lasers (blue lasers (405 nm)) and high numerical apertures (NA = 0.85) has almost reached the theoretical limit and new technologies are needed to achieve higher storage capacities. . Therefore, it is an optical recording medium that is compatible with existing CD and DVD players and can store high density information hundreds of times higher than the initial CD storage capacity of 650MB. There is a new research trend.

이러한 초해상 광기록매체는 기존 레이저 광 픽업 시스템을 사용하면서도 기록 마크 크기를 획기적으로 줄여 저장밀도를 증가시킬 수 있을 것로 기대된다. 기존에 보고되었던 일회 기록형(Write once read many, WORM) 초해상 광기록매체는 기록층에 버블(bubble) 형태로 기록마크가 형성된다. 상기 버블 형태의 마크는 나노 크기의 금속입자(예, Pt)와 산소 또는 질소 등의 결합체가 특정온도 이상에서 나노입자로 분리되면서 형성된다. 또한 비선형 광학물성 또는 열적 거동을 갖는 물질을 이용하여 회절한계이하의 작은 크기의 어퍼춰(aperture)를 형성하여 작은 마크를 재생하는 것으로 알려져 있다. Such a super resolution optical recording medium is expected to increase the storage density by dramatically reducing the recording mark size while using the existing laser optical pickup system. In the conventional write once read many (WORM) super-resolution optical recording media, recording marks are formed in the recording layer in a bubble form. The bubble mark is formed by separating a nano-sized metal particles (eg, Pt) and a combination of oxygen or nitrogen into nanoparticles at a specific temperature or more. It is also known to reproduce small marks by forming an aperture of a small size below the diffraction limit using a material having nonlinear optical properties or thermal behavior.

도 1을 참조하여 종래의 초해상 광기록매체의 구조를 설명하면 다음과 같다. 도 1은 종래의 초해상 광기록매체의 단면 구조를 나타낸다. 종래의 초해상 광기록 매체는 기판(10), 반사층(20), 유전체층(30a, 30b, 30c), 광투과층(40)과 기록층(50), 재생층(60)을 포함한다. 레이저 빔은 광투과층(40)을 통해 상기 광기록매체로 입사하여 반사층(20)까지 도달한 후 반사되어 되돌아 나간다.Referring to Fig. 1, the structure of a conventional super resolution optical recording medium will be described. 1 shows a cross-sectional structure of a conventional super resolution optical recording medium. The conventional super resolution optical recording medium includes a substrate 10, a reflective layer 20, dielectric layers 30a, 30b, 30c, a light transmitting layer 40, a recording layer 50, and a reproduction layer 60. The laser beam is incident on the optical recording medium through the light transmitting layer 40, reaches the reflective layer 20, and is reflected back.

종래의 기록용 초해상 광기록매체는 기록층(50)의 물질로서 PtOx(Pt의 산화물)를 사용하였다. 그러나, 상기한 구성물질을 포함하는 종래의 광기록매체에 레이저 빔을 조사하면 부풀림이 큰 버블 형태의 마크가 형성되었다. 그리고, 상기 버블 형태 마크는 그 모양이 불균일하여 신호품질(jitter)이 좋지 않은 문제점이 있었다. In the conventional recording super resolution optical recording medium, PtOx (oxide of Pt) is used as the material of the recording layer 50. However, when a laser beam is irradiated to a conventional optical recording medium including the above-described constituent material, a bubble-shaped mark having a large swelling is formed. In addition, the bubble shape mark has a problem that the signal quality is not good because the shape of the bubble mark is uneven.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 버블 형태의 부풀림이 크게 생성되지 않고, 마크의 모양이 균일하게 생성되어 좋은 재생 신호 품질을 갖을 수 있는 초해상 광기록매체를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a super-resolution optical recording medium which does not generate large bubble-like swelling and has a uniform shape of a mark, which can have a good reproduction signal quality. To provide.

본 발명의 다른 목적은 초해상 광기록매체의 기록층에 기록이 장기간 보존될 수 있는 물질이 포함된 초해상 광기록매체를 제공하는 것이다.It is another object of the present invention to provide a super resolution optical recording medium comprising a material in which a recording can be stored for a long time in the recording layer of the super resolution optical recording medium.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판상에 다수의 층을 적층하여 빛의 회절한계 이하로 마크를 생성시켜 기록을 행하고, 상기 마크에 빛을 조사(照射)하여 기록을 재생하는 초해상 광기록매체에 있어서, 텔루리엄(Te)과 옥시전(O) 및 제3의 금속원소에 의해 형성된 기록층; 및 비선형 광학 물질, 써모크로믹(thermochromic) 물질 및 상변화 물질 중 어느 하나의 물질을 포함하여 빛이 상기 기록층에 조사될 경우 초해상 현상이 가능하도록 하는 재생층을 포함하는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체를 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention stacks a plurality of layers on a substrate to generate and record a mark below the diffraction limit of light, and super-resolution optical recording to reproduce the record by irradiating light to the mark. Claims: 1. A medium comprising: a recording layer formed of tellurium (Te), oxygen (O), and a third metal element; And a reproducing layer including any one of a nonlinear optical material, a thermochromic material, and a phase change material to enable super resolution when light is irradiated onto the recording layer. It provides a maritime optical recording medium.

상기 기록층의 제 3의 금속원소는 실버(Ag), 골드(Au), 텅스텐(W), 망간니스(Mn), 플래티넘(Pt), 티타늄(Ti), 지콘니엄(Zr), 브롬(B), 크롬(Cr), 아이론(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 팔라디움(Pd), 안티모니(Sb), 탄틸리움(Ta), 알루미늄(Al), 이디움(ln), 쿠퍼(Cu), 틴(Sn), 징크(Zn), 비스어스(Bi)로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 원소인 것이 바람직하다. 상기 기록층에 포함되는 텔루리엄(Te)과 옥시전(O)에 제 3의 금속원소을 첨가하는 경우 기록마크가 큰 버블 형태로 생성되지 않기 때문에 양호한 기록특성을 얻을 수 있다. The third metal element of the recording layer is silver (Ag), gold (Au), tungsten (W), manganese (Mn), platinum (Pt), titanium (Ti), zirconium (Zr), bromine (B). ), Chromium (Cr), Iron (Fe), Cobalt (Co), Nickel (Ni), Palladium (Pd), Antimony (Sb), Tantium (Ta), Aluminum (Al), Idium (ln) It is preferably at least one element selected from the group consisting of (Cu), tin (Sn), zinc (Zn), and bis (Bi). When the third metal element is added to the tellurium (Te) and the oxygen (O) included in the recording layer, good recording characteristics can be obtained because the recording mark is not generated in a large bubble form.

상기 기록층에 포함된 O의 함유비율은 25원자%이상이고 60원자%이하인 것이 바람직하다. 상기 기록층에 Te와 O에 첨가되는 제 3의 금속원소는 1원자%이상이고 35원자%이하인 것이 바람직하다.The content ratio of O contained in the recording layer is preferably 25 atomic% or more and 60 atomic% or less. The third metal element added to Te and O in the recording layer is preferably 1 atom% or more and 35 atom% or less.

또한, 상기 기록층의 두께는 1nm이상이고 30nm이하인 것이 바람직하다.In addition, the thickness of the recording layer is preferably 1 nm or more and 30 nm or less.

상기 재생층은 게루마늄(Ge), 안티모니(Sb), 텔루리엄(Te)로 이루어진 군에서 선택된 하나이상의 원소로 형성된 것이 바람직하다.The regeneration layer is preferably formed of at least one element selected from the group consisting of germanium (Ge), antimony (Sb), and tellurium (Te).

상기 재생층은 상기 기록층을 기준으로 상기 기판과 가까운 위치 또는 상기 기판과 먼 위치 중 어느 하나이상의 위치에 적층될 수 있다. 상기 위치에 재생층이 적층될 경우 상기 한 재생층의 두께는 3nm이상이고 200nm이하인 것이 바람직하다.The reproduction layer may be stacked at any one or more positions close to the substrate or far from the substrate with respect to the recording layer. When the regeneration layer is laminated at the position, the thickness of the regeneration layer is preferably 3 nm or more and 200 nm or less.

상기 기록층의 양 접촉면에는 유전체층을 적층할 수 있다. 또한, 상기 광기록매체는 1회 기록형(WORM) 광기록매체인 것이 바람직하다.Dielectric layers may be laminated on both contact surfaces of the recording layer. In addition, the optical recording medium is preferably a write-once type (WORM) optical recording medium.

이하 상기 목적을 달성할 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention which can achieve the above object will be described.

도 2을 참조하여 본 발명에 따른 초해상 광기록매체의 일 실시예를 설명하면 다음과 같다. An embodiment of a super resolution optical recording medium according to the present invention will be described with reference to FIG. 2.

본 발명에 따른 초해상 광기록매체의 일 실시예는 외경이 약 120 mm, 두께가 약 1.2 mm인 원반상이고, 기판(10) 위에 반사층(20), 유전체층(30a), 기록층(50), 유전체층(30b), 재생층(60), 유전체층(30c), 광투과층(40)을 순서대로 적층할 수 있다. 상기 초해상 광기록매체에 사용되는 레이저 빔의 파장은 380 ~ 450nm사이로, 바람직하게는 약 405nm인 레이저 빔(laser beam)을 광투과층의 표면인 광 입사면으로부터 기록층에 조사하여 데이터(data)를 기록 또는 재생한다. 광기록매체에 대한 데이터의 기록 및 재생의 경우 개구수가 0.7이상, 바람직하게는 0.85 정도의 대물 렌즈가 사용되고, 이에 따르면 기록층위의 레이저 빔의 빔 스폿은 약 0.4 ㎛ 정도의 크기가 된다. One embodiment of the super-resolution optical recording medium according to the present invention is a disk shape having an outer diameter of about 120 mm and a thickness of about 1.2 mm, and has a reflective layer 20, a dielectric layer 30a, a recording layer 50, The dielectric layer 30b, the regeneration layer 60, the dielectric layer 30c, and the light transmitting layer 40 can be stacked in this order. The wavelength of the laser beam used in the super-resolution optical recording medium is between 380 and 450 nm, preferably about 405 nm. ) To record or play back. In the case of recording and reproducing data on the optical recording medium, an objective lens having a numerical aperture of 0.7 or more, preferably about 0.85, is used, whereby the beam spot of the laser beam on the recording layer is about 0.4 mu m in size.

상기 기판(10)은 광기록 매체의 두께를 확보하기 위해서 약 0.6 ~ 1.1mm의 원반상의 기판을 사용한다. 기판(10)의 면은 중심부에서 외주부 방향으로, 또는 그 반대 방향으로 레이저를 가이드하기 위한 그루브(groove) 및 랜드(land)가 나선형으로 형성된다. 기판(10)의 구성물질로서는 유리, 세라믹, 수지등 여러 가지가 가능하지만 가벼우면서, 사출성이 좋고, 레이저가 입사할 때 복굴절(birefringence)이 작아서 신호대잡음비(Carrier-to Noise Ratio ;CNR)가 큰 특성을 가진 폴리카보네이트(Polycarbonate)를 사용한다. 기판의 제작은 스탬퍼를 이용한 사출 성형법을 이용하는 것이 바람직하지만, 포토 폴리머법 등 다른 방법도 가능하다. The substrate 10 uses a disk-shaped substrate of about 0.6 to 1.1 mm in order to secure the thickness of the optical recording medium. The surface of the substrate 10 is helically formed with grooves and lands for guiding the laser from the center to the outer circumferential direction or vice versa. As a constituent material of the substrate 10, various materials such as glass, ceramic, resin, etc. can be used, but they are light, have good injection properties, and have low birefringence when the laser is incident, resulting in a carrier-to-noise ratio (CNR). Use polycarbonate with great properties. It is preferable to use the injection molding method using a stamper for the production of the substrate, but other methods such as the photopolymer method may be possible.

상기 반사층(20)은 상기 광투과층(40)으로부터 입사되는 레이저 빔을 반사하여 상기 레이저 빔이 다시 광투과층(40)으로 출사되도록 한다. 상기 반사층 (20)의 구성물질로서 마그네슘, 알루미늄, 티탄, 크롬, 철, 코발트, 니켈, 구리, 아연, 게르마늄, 은, 백금 등을 이용할 수 있다. 이 중 높은 반사율을 얻기 위해서는 알루미늄, 금, 은, 동, 또는 그 합금 등의 금속 재료를 이용하는 것이 바람직하다. 본 발명에 따른 초해상 광기록매체에 있어서 그 내부에 반사층(20)을 설치하는 것은 반드시 필수적인 것이 아니다. 다만, 상기 반사층(20)을 설치하면 입사하는 레이저 빔의 반사도가 확보되어 광기록 후 재생시 다중 간섭 효과에 의하여 높은 재생 신호(C/N비)를 얻을 수 있다. 상기 반사층(20) 두께는 5~300nm인 것이 바람직하고, 20~200nm인 것이 보다 바람직하다. 상기 반사층(20)의 두께가 5nm미만일 때는 상기한 효과를 충분히 얻을 수 없는 반면, 반사층(20)의 두께가 300nm이상일 때는 반사층(20)의 표면성이 낮아질 뿐만 아니라 성막 시간이 길어지고 생산성이 저하되는 단점이 있다. The reflective layer 20 reflects the laser beam incident from the light transmitting layer 40 so that the laser beam is emitted to the light transmitting layer 40 again. Magnesium, aluminum, titanium, chromium, iron, cobalt, nickel, copper, zinc, germanium, silver, platinum, and the like may be used as constituent materials of the reflective layer 20. In order to obtain a high reflectivity among these, it is preferable to use metal materials, such as aluminum, gold, silver, copper, or its alloy. In the super resolution optical recording medium according to the present invention, it is not necessary to provide the reflective layer 20 therein. However, if the reflective layer 20 is provided, the reflectance of the incident laser beam is secured, and thus a high reproduction signal (C / N ratio) can be obtained by the multi-interference effect during optical recording and reproduction. It is preferable that it is 5-300 nm, and, as for the thickness of the said reflection layer 20, it is more preferable that it is 20-200 nm. When the thickness of the reflective layer 20 is less than 5 nm, the above effects cannot be sufficiently obtained, whereas when the thickness of the reflective layer 20 is 300 nm or more, the surface property of the reflective layer 20 is not only lowered, but the deposition time is longer and productivity is lowered. There is a disadvantage.

유전체층(30a,30b,30c)은 그 유전체층(30a,30b,30c) 사이에 위치하는 기록층(50)과 재생층(60)을 물리적 또는 화학적으로 보호하는 역할을 하며 상기 광기록매체에 기록된 정보의 열화를 방지한다. 유전체층(30a,30b,30c)의 구성물질은 기록 및 재생시 사용되는 레이저 빔의 파장 영역에 대해 상기 레이저 빔을 투과시키는 투명한 유전체라면 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어 산화물, 유화물, 질화물 또는 그 조합을 주성분으로 이용할 수 있다. 그러나, 기판(10) 등의 열변형 방지와 기록층(50)의 보호 특성의 관점으로 볼 때, Al2O3, AlN, ZnO, ZnS, GeN, GeCrN, CeO2, SiO, SiO2, Si3N4, SiC, La2O3, TaO, TiO2 등의 알루미늄, 실리콘, 세륨, 티탄, 아연, 탄탈 등의 산화물, 유화물, 질화물 등 또는 그 혼합물을 이용하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 ZnS와 SiO2의 혼합물을 이용하는 것이 좋다. ZnS와 SiO2의 혼합물을 이용하는 경우 ZnS와 SiO2의 몰비는 80:20 정도로 설정하는 것이 특히 바람직하다. 각 유전체층(30a 또는 30b 또는 30c)의 구성물질은 서로 동일하여도 좋고 상기 구성물질들에 포함된다면 서로 다른 물질로 구성되어도 좋다. 각 유전체층(30a,30b,30c)의 두께는 특별히 한정될 필요가 없지만, 3~200nm로 하는 것이 바람직하다. 상기 유전체층(30a,30b,30c)의 두께가 3nm미만일 때는 상기한 유전체층의 효과를 얻기가 어려워질 수 있고, 만약 유전체층의 두께가 200nm를 넘는다면 성막시간이 길어져 생산성이 저하되는 우려가 있는 동시에 유전체층이 가지는 응력에 따라서 크랙(crack)이 발생할 가능성이 있기 때문이다.The dielectric layers 30a, 30b, and 30c serve to physically or chemically protect the recording layer 50 and the reproduction layer 60 positioned between the dielectric layers 30a, 30b, and 30c, and are recorded on the optical recording medium. Prevent deterioration of information. The material of the dielectric layers 30a, 30b, 30c is not particularly limited as long as it is a transparent dielectric which transmits the laser beam to the wavelength region of the laser beam used in recording and reproduction. For example, oxides, emulsions, nitrides or combinations thereof can be used as the main component. However, from the viewpoint of preventing heat deformation of the substrate 10 and the like and protecting characteristics of the recording layer 50, Al 2 O 3 , AlN, ZnO, ZnS, GeN, GeCrN, CeO 2 , SiO, SiO 2 , Si 3 N 4, SiC, La 2 O 3, TaO, it is preferable to use an oxide, sulfide, nitride, etc., or a mixture thereof, such as TiO 2, such as aluminum, silicon, cerium, titanium, zinc, tantalum. More preferably, a mixture of ZnS and SiO 2 is used. When using a mixture of ZnS and SiO 2 molar ratio of ZnS and SiO 2 it is particularly preferably set to about 80:20. The material of each dielectric layer 30a or 30b or 30c may be the same as each other, or may be composed of different materials if included in the material. Although the thickness of each dielectric layer 30a, 30b, 30c does not need to be specifically limited, It is preferable to set it as 3-200 nm. When the thickness of the dielectric layers 30a, 30b, and 30c is less than 3 nm, it may be difficult to obtain the effects of the dielectric layer. If the thickness of the dielectric layer is more than 200 nm, the deposition time may be long and productivity may be deteriorated. This is because cracks may occur depending on the stress.

기록층(50)은 기록 마크가 형성되는 층으로, 1회 기록형(WORM) 광기록매체의 경우라면 비가역적인 기록마크가 형성된다. 일정 파워를 가지는 레이저가 상기 기록층(50)에 조사되면, 두 구성물질이 부분적 또는 전체적으로 혼합되어 상기 기록층(50)에 기록마크를 형성한다. 그리고, 상기 기록마크와 레이저 빔이 조사되지 않은 부분과의 반사율 차이에 의해서 기록 및 재생이 가능하다. The recording layer 50 is a layer on which recording marks are formed, and in the case of a WORM optical recording medium, irreversible recording marks are formed. When a laser having a predetermined power is irradiated onto the recording layer 50, the two constituent materials are partially or wholly mixed to form a recording mark on the recording layer 50. In addition, recording and reproduction are possible by the difference in reflectance between the recording mark and the portion not irradiated with the laser beam.

본 발명에 따른 광기록매체는 상기 기록층(50)의 구성물질로서 텔루리엄(Te)와 옥시전(O)를 포함한다. TeOx(Te의 산화물)를 기록층의 주성분으로 사용할 경우, 상기 기록층(50)에 레이저 어닐(laser anneal)과정 등의 초기화 과정을 수행하지 않아도 성막(成膜) 후에 비정질 상태로 레이저광의 강도를 변화시켜 조사하면 결정 형태의 마크(mark)를 형성할 수 있다. 상기의 과정은 비가역 과정이기 때문에 수정이나 소거를 할 수 없는 일회 기록형 기록매체의 중요한 특성이 된다. 상기 기록막은 내습성이 있어 환경변화에 대해 기록유지의 신뢰성이 높고, 상기 기록물질을 사용하면 단층막으로 기록을 행할 수 있기 때문에 생산 비용(cost)의 면으로도 바람직하다. 그러나, 기록층에 TeOx를 사용하면 상기 기록층(50)에 레이저 조사에 의한 기록막의 결정화가 충분히 이루어질 때까지 약간의 시간을 필요로 하기 때문에 고속 응답성이 요구되는 기록 매체로서는 부적절할 수 있다. 따라서, 상기의 결점을 보완하기 위하여 TeOx에 제 3의 원소(M)를 첨가한다. 제 3의 원소(M)는 실버(Ag), 골드(Au), 텅스텐(W), 망간니스(Mn), 플래티넘(Pt), 티타늄(Ti), 지콘니엄(Zr), 브롬(B), 크롬(Cr), 아이론(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 팔라디움(Pd), 안티모니(Sb), 탄틸리움(Ta), 알루미늄(Al), 이디움(ln), 쿠퍼(Cu), 틴(Sn), 징크(Zn), 비스어스(Bi)로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 원소인 것이 바람직하다. 상기 첨가원소(M)는 Te 결정의 성장을 촉진하여 Te-M의 결정립이 고속으로 생성될 수 있다. 따라서, 상기 기록층(50)에 포함된 물질이 고속으로 결정화되어 기록을 행할 수 있고, 고속 응답성을 얻을 수 있다. 또한, 상기 기록층(50)에 포함되는 Te와 O에 첨가되는 원소는 금속 물질로서, 기록마크의 부풀림이 크게 생성되지 않도록 하고, 상기 기록마크를 장기간 보존할 수 있다. The optical recording medium according to the present invention includes tellurium (Te) and oxygen (O) as constituents of the recording layer 50. When TeOx (oxide of Te) is used as a main component of the recording layer, the intensity of the laser light is raised in an amorphous state after film formation without performing an initialization process such as a laser anneal process on the recording layer 50. When changed and irradiated, a mark of crystalline form can be formed. Since the above process is an irreversible process, it becomes an important characteristic of the write once type recording medium which cannot be corrected or erased. The recording film is also preferable in terms of production cost because the recording film has high moisture resistance and high reliability in recording and holding against environmental changes, and the recording material enables recording with a single layer film. However, using TeOx for the recording layer requires some time until crystallization of the recording film by laser irradiation is sufficient for the recording layer 50, which may be inappropriate as a recording medium for which high-speed response is required. Therefore, in order to compensate for the above drawback, a third element (M) is added to TeOx. The third element (M) is silver (Ag), gold (Au), tungsten (W), manganese (Mn), platinum (Pt), titanium (Ti), zirconium (Zr), bromine (B), Chromium (Cr), Iron (Fe), Cobalt (Co), Nickel (Ni), Palladium (Pd), Antimony (Sb), Tantium (Ta), Aluminum (Al), Idium (ln), Cooper It is preferably at least one element selected from the group consisting of (Cu), tin (Sn), zinc (Zn), and bis Earth (Bi). The additive element (M) may promote the growth of the Te crystals to form the grains of Te-M at high speed. Therefore, the material contained in the recording layer 50 can be crystallized at high speed to record, and high speed response can be obtained. In addition, the elements added to Te and O included in the recording layer 50 are metal materials, so that bulging of the recording marks is not largely generated, and the recording marks can be stored for a long time.

상기한 효과를 충분히 얻기 위해 상기 기록층에 포함된 O의 함유비율은 25원 자%이상이고 60원자% 이하인 것이 바람직하다. 상기 기록층에 Te와 O에 첨가되는 원소의 비율은 1원자 %이상에서부터 35원자 %이하인 것이 바람직하다. In order to sufficiently obtain the above effects, the content of O contained in the recording layer is preferably 25 atomic% or more and 60 atomic% or less. The proportion of elements added to Te and O in the recording layer is preferably 1 atom% or more and 35 atom% or less.

상기 기록층(50)의 두께는 특별히 한정되지는 않지만, 재생 신호의 노이즈 레벨을 충분히 억제하고 충분한 기록 감도를 확보하며 기록 전후의 반사율 변화를 충분히 크게 하기 위해서는 각 층의 두께는 모두 1~30 nm범위에서 형성되는 것이 바람직하다. Although the thickness of the recording layer 50 is not particularly limited, in order to sufficiently suppress the noise level of the reproduction signal, to ensure sufficient recording sensitivity, and to sufficiently increase the reflectance change before and after recording, the thickness of each layer is 1 to 30 nm. It is preferable to form in the range.

재생층(60)은 초해상 현상을 가능하게 하는 물질을 포함하는 것으로서, 상기 재생층(60)에 사용되는 구성물질은 비선형 광학 물질이나 온도 분포에 따라 광학 특성이 변하는 서머크롬믹(thermochromic) 물질 또는 상변화물질 등이 사용될 수 있다. 상기 재생층의 물질로서 Ge, Sb, Te 중 어느 하나 이상의 원소를 포함하는 물질을 사용할 수 있다. 상기 재생층(60)은 기판에서부터 레이저 빔이 입사되는 방향으로 적층되는 순서로 보았을 때 상기 기록층(50)보다 상위에 있을 수도 있고 하위에 있을 수도 있고 양 쪽 모두에 있을 수도 있다. 상기 재생층(60)의 두께는 특별히 한정될 필요가 없지만, 초해상 현상을 충분히 발생시키면서 재생시 광학적인 변화율을 충분히 얻기 위해 3 ~ 200nm인 것이 바람직하다. The regeneration layer 60 includes a material that enables super resolution, and the constituent material used for the regeneration layer 60 is a nonlinear optical material or a thermochromic material whose optical properties change depending on a temperature distribution. Or a phase change material may be used. As the material of the regeneration layer, a material containing at least one of Ge, Sb, and Te may be used. The reproduction layer 60 may be above, below, or both of the recording layer 50 when viewed in the stacking order from the substrate in the direction in which the laser beam is incident. The thickness of the regeneration layer 60 does not need to be particularly limited, but is preferably 3 to 200 nm in order to sufficiently obtain an optical change rate during regeneration while sufficiently generating a super resolution phenomenon.

상기 반사층(20), 유전체층(30a,30b,30c), 기록층(50), 재생층(60)을 형성하기 위해서는 상기한 각 층의 구성물질에 포함되는 화학종을 이용한 상 성장법, 예를 들면 스퍼터링 방법이나 진공 증착법을 이용할 수 있으며 스퍼터링법이 더욱 바람직하다.In order to form the reflective layer 20, the dielectric layers 30a, 30b, 30c, the recording layer 50, and the reproduction layer 60, an image growth method using chemical species contained in the constituent materials of the above-described layers may be used. For example, a sputtering method or a vacuum deposition method can be used, and sputtering method is more preferable.

광투과층(40)은 레이저 빔의 입사면을 구성하는 것과 동시에 레이저 빔의 광 로가 되는 층이고, 그 두께로서는 100㎛~0.6mm정도인 것이 바람직하다. 상기 광투과층(40)의 구성물질은 기록및 재생에 레이저 빔의 파장영역에서 광투과율이 충분히 높은 것이면 특별히 한정될 필요가 없으며, 아크릴계 또는 에폭시계의 자외선 경화성 수지를 상기 광투과층(40)의 구성물질로서 이용하는 것이 바람직하다. 또는 광투과성 수지로 제작된 광투과성 시트와 각종 접착제 또는 점착제를 이용할 수도 있다. The light transmissive layer 40 constitutes an incident surface of the laser beam and is a layer which becomes an optical path of the laser beam, and the thickness thereof is preferably about 100 μm to 0.6 mm. The material of the light transmitting layer 40 is not particularly limited as long as the light transmittance is sufficiently high in the wavelength range of the laser beam for recording and reproduction, and the acrylic or epoxy ultraviolet curable resin may be used as the light transmitting layer 40. It is preferable to use as a constituent material of. Alternatively, a light-transmissive sheet made of a light-transmissive resin and various adhesives or pressure-sensitive adhesives may be used.

도 3을 참조하여, 본 발명에 따른 초해상 광기록매체의 다른 일 실시예를 설명하면 다음과 같다. 도 3은 도 2에서 보인 것과 같이 초해상 광기록매체의 단면 구조를 보인 것이나, 다만 기록층(50)과 재생층(60)의 위치가 바뀐 것을 나타낸다. 상기에서 설명한 바와 같이 기록층(50)과 재생층(60)은 기판(10)으로부터 레이저 빔이 입사되는 방향으로 보았을 때 기록층(50)이 재생층(60)보다 기판(10)에 가까이 위치할 수도 있으며 재생층(60)이 기록층(50)보다 기판(10)에 가까이 위치할 수도 있다. Referring to Figure 3, another embodiment of a super resolution optical recording medium according to the present invention will be described. FIG. 3 shows a cross-sectional structure of the super resolution optical recording medium as shown in FIG. 2, but shows that the positions of the recording layer 50 and the reproduction layer 60 are changed. As described above, the recording layer 50 and the reproduction layer 60 are positioned closer to the substrate 10 than the reproduction layer 60 when viewed in the direction in which the laser beam is incident from the substrate 10. The reproduction layer 60 may be located closer to the substrate 10 than the recording layer 50.

도 4는 본 발명에 다른 초해상 광기록매체의 또 다른 일 실시예의 단면 구조를 나타낸다. 도 4에서 기록층(50)은 하나의 재생층(60a)보다는 광투과층(40)에 가까이 위치하고, 또 다른 재생층(60b)보다는 기판(10)에 가까이 위치한다. 또한, 각 기록층(50)과 재생층(60a,60b)의 양면은 유전체층(30a,30b,30c,30d)에 각각 접촉하여 적층할 수 있다. 4 shows a cross-sectional structure of another embodiment of a super resolution optical recording medium according to the present invention. In FIG. 4, the recording layer 50 is located closer to the light transmitting layer 40 than to one reproduction layer 60a and closer to the substrate 10 than to another reproduction layer 60b. In addition, both surfaces of each recording layer 50 and the reproduction layers 60a and 60b can be stacked in contact with the dielectric layers 30a, 30b, 30c and 30d, respectively.

동일한 기술분야의 당업자가 본 특허명세서로부터 본 발명을 변경하거나 변형하는 것은 용이한 것이다. 그래서, 본 발명의 일 실시예가 상기 명확하게 기재되 었더라도, 그것을 여러가지로 변경하는 것은 본 발명의 사상과 관점으로부터 이탈하는 것이 아니며 그 사상과 관점내에 있다고 해야 할 것이다.It is easy for a person skilled in the art to change or modify the present invention from the present specification. Thus, although an embodiment of the present invention has been described above clearly, various modifications thereof should be made without departing from the spirit and the scope of the invention.

상기에서 설명한 본 발명에 따른 초해상 광기록매체의 효과를 설명하면 다음과 같다.The effects of the super resolution optical recording medium according to the present invention described above are as follows.

첫째, 본 발명에 따른 초해상 광기록매체에 의하면 기록마크가 버블형태의 큰 부풀림으로 생성되지 않고, 마크의 모양이 균일하게 생성되기 때문에, 상기 초해상 광기록매체는 좋은 재생 신호 품질을 갖을 수 있다.First, according to the super-resolution optical recording medium according to the present invention, since the recording mark is not generated with a large bubble-like bulge but the shape of the mark is uniformly produced, the super-resolution optical recording medium can have good reproduction signal quality. have.

둘째, 본 발명에 따른 초해상 광기록매체에 의하면 기록층에 기록이 장기간 보존될 수 있다.Secondly, according to the super-resolution optical recording medium according to the present invention, recording can be stored for a long time in the recording layer.

Claims (11)

기판상에 다수의 층을 적층하여 빛의 회절한계 이하로 마크를 생성시켜 기록을 행하고, 상기 마크에 빛을 조사(照射)하여 기록을 재생하는 초해상 광기록매체에 있어서,In a super-resolution optical recording medium in which a plurality of layers are stacked on a substrate to generate a mark below a diffraction limit of light, and to record, and to reproduce the record by irradiating light to the mark. 텔루리엄(Te)과 옥시전(O) 및 제3의 금속원소에 의해 형성된 기록층; 및A recording layer formed by tellurium (Te), oxygen (O), and a third metal element; And 비선형 광학 물질, 써모크로믹(thermochromic) 물질 및 상변화 물질 중 어느 하나의 물질을 포함하여 빛이 상기 기록층에 조사될 경우 초해상 현상이 가능하도록 하는 재생층을 포함하는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체. A super-resolution comprising a non-linear optical material, a thermochromic material, or a phase change material, and a reproducing layer to enable super resolution when light is irradiated onto the recording layer. Optical record carrier. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기록층의 제 3의 금속원소는 실버(Ag), 골드(Au), 텅스텐(W), 망간니스(Mn), 플래티넘(Pt), 티타늄(Ti), 지콘니엄(Zr), 브롬(B), 크롬(Cr), 아이론(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 팔라디움(Pd), 안티모니(Sb), 탄틸리움(Ta), 알루미늄(Al), 이디움(ln), 쿠퍼(Cu), 틴(Sn), 징크(Zn), 비스어스(Bi)로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 원소인 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.The third metal element of the recording layer is silver (Ag), gold (Au), tungsten (W), manganese (Mn), platinum (Pt), titanium (Ti), zirconium (Zr), bromine (B). ), Chromium (Cr), Iron (Fe), Cobalt (Co), Nickel (Ni), Palladium (Pd), Antimony (Sb), Tantium (Ta), Aluminum (Al), Idium (ln) , At least one element selected from the group consisting of (Cu), tin (Sn), zinc (Zn), and bis (Bi). 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 기록층에 상기 제 3의 금속원소의 함유비율은 1원자 % 이상이고, 35%원자이하인 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.And the content ratio of the third metal element in the recording layer is 1 atom% or more and 35% or less. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기록층의 옥시전(O) 원소의 함유 비율은 25 원자 % 이상이고, 60원자 % 이하인 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.A super-resolution optical recording medium, characterized in that the content rate of the oxygen (O) element in the recording layer is 25 atomic% or more and 60 atomic% or less. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 재생층은 게루마늄(Ge), 안티모니(Sb), 텔루리엄(Te)로 이루어진 군에서 선택된 하나이상의 원소로 형성된 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.The reproduction layer is a super-resolution optical recording medium, characterized in that formed of at least one element selected from the group consisting of germanium (Ge), antimony (Sb), tellurium (Te). 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기록층의 두께는 1nm이상이고 30nm이하인 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.And the recording layer has a thickness of 1 nm or more and 30 nm or less. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 재생층은 상기 기록층을 기준으로 상기 기판에 가까운 위치 또는 상기 기판에 먼 위치 중 어느 하나이상의 위치에 적층되는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.And the reproduction layer is laminated at any one or more positions close to the substrate or far from the substrate with respect to the recording layer. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 재생층의 두께는 3nm이상이고 200nm이하인 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체. And the reproducing layer has a thickness of 3 nm or more and 200 nm or less. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 초해상 광기록매체는 상기 기판에 접촉해 위치하며, 상기 초해상 광기록매체에 입사되는 레이저 빔을 반사하여 출사시키는 반사층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.The super resolution optical recording medium further comprises a reflective layer positioned in contact with the substrate and reflecting and emitting a laser beam incident on the super resolution optical recording medium. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 초해상 광기록매체는 기록층의 양 접촉면에 유전체층을 적층하는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.And said super resolution optical recording medium comprises a dielectric layer laminated on both contact surfaces of the recording layer. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 광기록매체는 1회 기록형 광기록매체인 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.The optical recording medium is a super-resolution optical recording medium, characterized in that the write-once optical recording medium.
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