KR100627974B1 - Clamping Jig for Spin Coating - Google Patents

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KR100627974B1
KR100627974B1 KR1020040111748A KR20040111748A KR100627974B1 KR 100627974 B1 KR100627974 B1 KR 100627974B1 KR 1020040111748 A KR1020040111748 A KR 1020040111748A KR 20040111748 A KR20040111748 A KR 20040111748A KR 100627974 B1 KR100627974 B1 KR 100627974B1
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김성봉
이병대
권순영
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오성엘에스티(주)
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Abstract

본 발명은 스핀코팅용 클램핑 지그에 관한 것으로, 스핀코팅용 클램핑 지그에 있어서, 상면에 피코팅부재를 지지하는 상부플레이트와; 상기 상부플레이트의 배면과 맞닿고, 상면에 공기의 흐름을 안내하는 유로가 형성되며, 상기 유로의 일영역에 공기가 배출되도록 배출공이 형성된 하부플레이트와; 상기 상부플레이트의 연부로부터 소정거리 이격공간을 형성하도록 상기 하부플레이트의 가장자리를 따라 돌출된 돌출리브와; 상기 하부플레이트에 형성된 배출공에 설치되어 공기의 흐름을 제어하는 체크벨브와; 상기 돌출리브의 상면에 마련되며, 상기 상부플레이트의 상면에 대응되는 높이로 설치되는 점착부재를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 피코팅부재를 원할히 고정시켜 피코팅부재에 기능성 막을 스핀코팅시킬 수 있는 스핀코팅용 클램핑 지그가 제공된다. The present invention relates to a clamping jig for spin coating, comprising: an upper plate for supporting a member to be coated on an upper surface thereof; A lower plate which is in contact with the rear surface of the upper plate and has a flow path guiding the flow of air on an upper surface thereof, and a discharge hole is formed so that air is discharged in one region of the flow path; A protruding rib protruding along an edge of the lower plate to form a predetermined distance from the edge of the upper plate; A check valve installed in the discharge hole formed in the lower plate to control the flow of air; It is provided on the upper surface of the protruding rib, characterized in that it comprises an adhesive member which is installed at a height corresponding to the upper surface of the upper plate. Thereby, there is provided a clamping jig for spin coating that can securely fix the member to be coated to spin coat a functional film on the member to be coated.

필름코팅, 기능성 막, 스핀코팅Film coating, functional film, spin coating

Description

스핀코팅용 클램핑 지그 {Clamping Jig for Spin Coating} Clamping Jig for Spin Coating {Clamping Jig for Spin Coating}

도 1은 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 사시도, 1 is a perspective view of a clamping jig for spin coating according to the present invention;

도 2는 도 1의 분해사시도,2 is an exploded perspective view of FIG. 1;

도 3은 도 1의 단면을 나타낸 단면도, 3 is a cross-sectional view showing a cross section of FIG.

도 4는 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 구성요소인 상부플레이트의 배면을 나타낸 사시도, Figure 4 is a perspective view showing the back of the upper plate which is a component of the clamping jig for spin coating according to the present invention,

도 5는 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 구성요소인 하부플레이트의 배면을 나타낸 사시도,5 is a perspective view showing the rear surface of the lower plate as a component of the clamping jig for spin coating according to the present invention;

도 6는 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 체크벨브를 도시한 사시도, Figure 6 is a perspective view showing a check valve of the clamping jig for spin coating according to the present invention,

도 7은 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 필름이 부착된 상태를 도시한 상태도,Figure 7 is a state diagram showing a state in which the film is attached to the clamping jig for spin coating according to the present invention,

도 8은 도 7의 단면을 나타낸 단면도,8 is a cross-sectional view showing a cross section of FIG.

도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도,9 is a perspective view showing a clamping jig for spin coating according to a second embodiment of the present invention;

도 10은 도9의 단면도,10 is a cross-sectional view of FIG.

도 11은 본 발명의 제3실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 상부플레이 트를 도시한 사시도,11 is a perspective view showing an upper plate of a clamping jig for spin coating according to a third embodiment of the present invention;

도 12는 본 발명의 제4실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 상부플레이트를 도시한 사시도,12 is a perspective view showing an upper plate of a clamping jig for spin coating according to a fourth embodiment of the present invention;

도 13은 본 발명의 제5실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도,13 is a perspective view showing a clamping jig for spin coating according to a fifth embodiment of the present invention;

도 14는 본 발명의 제6실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도,14 is a perspective view showing a clamping jig for spin coating according to a sixth embodiment of the present invention;

도 15는 본 발명의 제7실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도,15 is a perspective view showing a clamping jig for spin coating according to a seventh embodiment of the present invention;

도 16은 본 발명의 제7실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 변형예를 도시한 사시도,16 is a perspective view showing a modified example of the clamping jig for spin coating according to the seventh embodiment of the present invention;

도 17은 본 발명의 제8실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도이다. 17 is a perspective view illustrating a clamping jig for spin coating according to an eighth embodiment of the present invention.

♣도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명♣♣ Explanation of symbols for the main parts of the drawing

1: 상부플레이트 2: 하부베이스                1: upper plate 2: lower base

11: 제1함몰부 13: 상부플레이트               11: first recess 13: upper plate

14: 관통공 15: 슬릿               14: through hole 15: slit

16: 점착부재 20: 하부플레이트               16: adhesive member 20: lower plate

21: 유로 22: 배출공                21: Euro 22: discharge hole

23: 나사홈 24: 제2함몰부                23: screw groove 24: second recess

25: 실리콘층 26: 하부플레이트                25: silicon layer 26: lower plate

27: 하부베이스 29: 실링부재                27: lower base 29: sealing member

30: 돌출리브 33: 고정부재               30: protruding rib 33: fixing member

37: 고정부재 37a: 결합브래킷               37: fixing member 37a: coupling bracket

37b: 고정부 40: 체크벨브              37b: fixed part 40: check valve

38: 점착부재 41: 브래킷                38: adhesive member 41: bracket

42: 실링부재 43: 나사공                42: sealing member 43: screw hole

본 발명은 스핀코팅용 클램핑 지그에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 피코팅부재에 기능성막을 스핀코팅하는데 있어서 피코팅부재를 고정시킬 수 있는 스핀코팅용 클램핑 지그에 관한 것이다. The present invention relates to a clamping jig for spin coating, and more particularly, to a spin coating clamping jig capable of fixing a member to be coated in spin coating a functional film to the member to be coated.

일반적으로 피코팅부재에 기능성 막을 코팅하는 방법으로 여러 가지가 있지만, 대표적으로 롤타입 코팅과 스핀코팅방식이 있다. 여기서, 기능성 막이 코팅되는 피코팅부재로 글래스, 플라스틱 플레이트, 필름 등이 있다. In general, there are various methods for coating a functional film on the member to be coated, but typically there are a roll type coating and a spin coating method. Here, the member to be coated with the functional film is glass, plastic plate, film and the like.

이하의 설명에서 피코팅부재로서 필름의 경우를 예로 들어 설명한다. 필름의 경우 필름의 일면 또는 양면에 기능성막을 코팅하여 필름에 특정 성질을 부여하여 여러 가지 기능성 필름을 제조한다. 그 예로서는 편광필름이 있다. 편광필름은 일정방향의 빛만 투과시키는 기능을 갖는 것으로서, 근래에는 액정표시장치에 필수적 으로 사용되는 필름이다.In the following description, the case of the film as the member to be coated will be described as an example. In the case of a film, a functional film is coated on one or both sides of the film to impart specific properties to the film, thereby producing various functional films. An example thereof is a polarizing film. The polarizing film has a function of transmitting only light in a predetermined direction, and in recent years, a polarizing film is essentially used for a liquid crystal display device.

이러한 편광필름은 기존에 롤러코팅방식을 이용하여 제조되었다. 롤러코팅방식은 롤에 말려있는 필름을 풀면서 필름의 일면에 기능성막을 코팅한 후, 규격에 맞게 절단하는 방식으로 편광필름을 제조한다. Such a polarizing film was conventionally manufactured using a roller coating method. The roller coating method manufactures a polarizing film by coating a functional film on one surface of the film while unwinding the film rolled on a roll, and then cutting it to a standard.

하지만, 이러한 롤타입코팅방식에 의한 코팅은 코팅 막의 두께를 원하는 두께로 얇게 할 수 없는 문제점이 있다. However, the coating by such a roll type coating method has a problem that the thickness of the coating film can not be thinned to the desired thickness.

또한, 필름에 기능성막을 여러 겹 코팅할 수 없는 문제점이 있다. 즉, 롤러코팅방식은 하나의 기능성 막을 코팅한 후 다시 다른 기능성 막을 코팅할 수 없는 문제점이 있다. In addition, there is a problem that can not be coated multiple layers of the functional film on the film. That is, the roller coating method has a problem in that one functional film cannot be coated again with another functional film.

따라서 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 스핀코팅 방식으로 피코팅부재에 기능성 막을 코팅하여 코팅 막의 두께를 원하는 두께로 얇게 코팅할 수 있는 스핀코팅용 클램핑 지그를 제공함에 있다. Accordingly, an object of the present invention is to solve such a conventional problem, to provide a spin coating clamping jig capable of coating a thin film to a desired thickness by coating a functional film on the member to be coated by a spin coating method. .

본 발명의 다른 목적은 스핀코팅 방식으로 필름 상에 기능성 막을 코팅하여 복수의 기능성 막을 코팅할 수 있는 스핀코팅용 클램핑 지그를 제공함에 있다. Another object of the present invention is to provide a clamping jig for spin coating that can coat a plurality of functional films by coating a functional film on the film by a spin coating method.

상기 목적은 본 발명에 따라, 스핀코팅용 클램핑 지그에 있어서, 상면에 피코팅부재를 지지하는 상부플레이트와; 상기 상부플레이트의 배면과 맞닿고, 상면에 공기의 흐름을 안내하는 유로가 형성되며, 상기 유로의 일영역에 공기가 배출되도록 배출공이 형성된 하부플레이트와; 상기 상부플레이트의 연부로부터 소정거리 이 격공간을 형성하도록 상기 하부플레이트의 가장자리를 따라 돌출된 돌출리브와; 상기 하부플레이트에 형성된 배출공에 설치되어 공기의 흐름을 제어하는 체크벨브와; 상기 돌출리브의 상면에 마련되며, 상기 상부플레이트의 상면에 대응되는 높이로 설치되는 점착부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그에 의해 달성된다. According to the present invention, in the clamping jig for spin coating, the upper plate for supporting the member to be coated on the upper surface; A lower plate which is in contact with the rear surface of the upper plate and has a flow path guiding the flow of air on an upper surface thereof, and a discharge hole is formed so that air is discharged in one region of the flow path; Protruding ribs protruding along an edge of the lower plate to form a spaced distance from the edge of the upper plate; A check valve installed in the discharge hole formed in the lower plate to control the flow of air; It is provided by the clamping jig for spin coating is provided on the upper surface of the protruding rib, characterized in that it comprises an adhesive member installed at a height corresponding to the upper surface of the upper plate.

여기서, 상기 점착부재는 실리콘인 것이 필름의 코팅시, 필름의 부착상태를 더욱 잘 유지할 수 있어 바람직하다. Here, the pressure-sensitive adhesive member is preferably silicon because it can better maintain the adhesion state of the film when coating the film.

또한, 상기 목적은 본 발명의 다른 특징으로, 스핀코팅용 클램핑 지그에 있어서, 상면에 피코팅부재를 지지하며, 다수의 관통공이 형성된 상부플레이트와; 상기 상부플레이트와 결합하고, 상면에 공기가 유동할 수 있는 유로가 형성되며, 상기 유로의 일영역에 공기가 배출되도록 배출공이 형성된 하부플레이트와; 상기 하부플레이트에 형성된 배출공에 설치되어 공기의 흐름을 제어하는 체크벨브와를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그에 의해서도 달성된다. In addition, the above object is another aspect of the present invention, in the clamping jig for spin coating, supporting the member to be coated on the upper surface, the upper plate and the plurality of through holes formed; A lower plate coupled to the upper plate and having a flow path through which air flows, and a discharge hole formed to discharge air in one region of the flow path; It is also achieved by a clamping jig for spin coating characterized in that it comprises a check valve is installed in the discharge hole formed in the lower plate to control the flow of air.

여기서, 상기 관통공은 상기 상부플레이트의 가장자리를 따라 형성되거나, 상기 관통공은 상기 상부플레이트에 상하좌우 상호 동일한 간격으로 형성된 거나, 상기 관통공은 상기 상부플레이트의 가장자리에 슬릿으로 형성될 수도 있다. Here, the through hole may be formed along the edge of the upper plate, the through hole may be formed in the upper plate at equal intervals up, down, left and right, or the through hole may be formed as a slit on the edge of the upper plate.

한편, 상기 하부플레이트는 배면에 상기 배출공을 중심으로 함몰된 함몰부가 형성되고, 상기 체크벨브는 상기 함몰부에 대응하도록 상기 체크벨브의 외면을 따라 형성된 브래킷을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 것이 체크벨브를 하부플레이트에 보다 원활하게 결합할 수 있어 바람직하다. On the other hand, the lower plate is formed in the bottom recessed around the discharge hole is formed, the check valve is characterized in that it further comprises a bracket formed along the outer surface of the check valve to correspond to the depression It is desirable to be able to couple the valve to the lower plate more smoothly.

또한, 상기 목적은 본 발명의 또 다른 특징으로, 스핀코팅용 클램핑 지그에 있어서, 베이스 플레이트와; 상기 베이스 플레이트의 상면에 마련되어 피코팅부재를 부착시키는 점착부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그에 의해서도 달성된다. In addition, the above object is another feature of the present invention, in the clamping jig for spin coating, the base plate; It is also achieved by a clamping jig for spin coating, characterized in that it comprises an adhesive member provided on the upper surface of the base plate to attach the member to be coated.

여기서, 상기 점착부재는 압축성형된 실리콘으로 마련되거나, 상기 점착부재는 실리콘겔로 마련되거나, 상기 점착부재는 양면테이프로 마련될 수도 있다. Here, the adhesive member may be made of compression molded silicone, the adhesive member may be made of silicone gel, or the adhesive member may be made of double-sided tape.

또한, 상기 목적은 본 발명의 또 다른 특징으로, 스핀코팅용 클램핑 지그에 있어서, 피코팅부재를 지지하는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 가장자리 영역에 결합되어 상기 피코팅부재를 고정시키는 고정부재을 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그에 의해서도 달성된다. 여기서, 상기 고정부재는 테이프로 마련되거나, 상기 고정부재는 자성체로 마련될 수도 있다. In addition, the above object is another feature of the present invention, in the clamping jig for spin coating, comprising a base plate for supporting the member to be coated, and a fixing member coupled to the edge region of the base plate to fix the member to be coated. It is also achieved by the clamping jig for spin coating characterized in that. Here, the fixing member may be provided with a tape, or the fixing member may be provided with a magnetic material.

또한, 상기 고정부재는 상기 베이스 플레이트에 결합되는 결합브래킷과, 피코팅부재와 맞닿아 피코팅부재를 고정시키도록 상기 결합브래킷의 단부로부터 절곡된 고정부를 포함하여 마련될 수도 있다. The fixing member may include a coupling bracket coupled to the base plate and a fixing portion bent from an end portion of the coupling bracket to abut the member to be fixed in contact with the member to be coated.

여기서, 상기 고정부는 피코팅부재와 맞닿는 면에 마련된 점착부재를 더 포함하는 것이 피코팅부재를 더욱 견고하게 고정시킬 수 있어 바람직하다. 여기서, 상기 점착부재는 실리콘으로 마련될 수도 있다. Here, it is preferable that the fixing part further includes an adhesive member provided on a surface in contact with the member to be coated, so as to more firmly fix the member to be coated. Here, the adhesive member may be made of silicon.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다. Prior to the description, in the various embodiments, components having the same configuration will be representatively described in the first embodiment using the same reference numerals, and in other embodiments, different configurations from the first embodiment will be described. do.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 대하여 상세하게 설명한다. 도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 사시도이고, 도 2는 도 1의 분해사시도이며, 도 3은 도 1의 단면을 나타낸 단면도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그는 피코팅부재인 필름이 지지되는 상부플레이트(1)와, 상부플레이트(1)가 부착되는 하부베이스(2)로 구성된다. Hereinafter, a clamping jig for spin coating according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 is a perspective view of a clamping jig for spin coating according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the cross section of FIG. 1. As shown in the figure, the clamping jig for spin coating according to the present invention comprises an upper plate 1 on which a film, which is a coating member, is supported, and a lower base 2 on which the upper plate 1 is attached.

하부베이스(2)는 상부플레이트(1)의 배면에 맞닿는 하부플레이트(20)와, 하부플레이트(20)의 가장자리로부터 상향으로 돌출한 돌출리브(30)와, 하부플레이트(20)와 결합하여 공기의 흐름을 제어하는 체크벨브(40)로 구성된다. The lower base 2 is combined with the lower plate 20, the lower plate 20 which is in contact with the rear surface of the upper plate 1, the protruding ribs 30 protruding upward from the edge of the lower plate 20, and the lower plate 20. It consists of a check valve 40 to control the flow of.

도 4는 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 구성요소인 상부플레이트의 배면을 도시한 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 상부플레이트(1)는 사각형상의 판형상을 가지며, 상부플레이트(1)의 배면에는 하부플레이트(20)의 체크벨브(40)가 결합되는 위치에 대응하여 함몰된 제1함몰부(11)가 형성되어 있다. 제1함몰부(11)는 후술할 하부플레이트(20)의 유로(21)를 통하여 흐르는 공기가 체크벨브(40)를 통하여 외부로 용이하게 유출될 수 있도록 한다.Figure 4 is a perspective view showing the back of the upper plate which is a component of the clamping jig for spin coating according to the present invention. As shown in the figure, the upper plate 1 has a rectangular plate shape, the first plate recessed in correspondence with the position where the check valve 40 of the lower plate 20 is coupled to the rear surface of the upper plate 1 The depression 11 is formed. The first recess 11 allows the air flowing through the flow passage 21 of the lower plate 20 to be described later to easily flow out through the check valve 40.

하부플레이트(20)는 상부플레이트(1)와 마찬가지로 사각형상으로 마련되며, 상부플레이트(1)와 맞닿는 면에는 상부플레이트(1)와 하부플레이트(20) 사이의 공기의 흐름을 유도하는 유로(21)가 형성되어있다. 유로(21)는 하부플레이트(20)의 상면 가장자리영역을 따라 형성됨과 동시에, 하부플레이트(20)의 네 변으로부터 상호 교차하도록 형성된다. 또한, 유로(21)가 상호 교차하는 영역에는 공기를 외부로 배출할 수 있는 배출공(22)이 관통되어 있다.  The lower plate 20 is provided in a rectangular shape similarly to the upper plate 1, and a flow path 21 for inducing the flow of air between the upper plate 1 and the lower plate 20 on a surface contacting the upper plate 1. ) Is formed. The flow path 21 is formed along the upper edge region of the lower plate 20 and is formed to cross each other from four sides of the lower plate 20. In addition, a discharge hole 22 through which air can be discharged is passed through a region where the flow paths 21 cross each other.

한편, 도 5는 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 구성요소인 하부플레이트의 배면을 나타낸 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 하부플레이트(20)의 배면 소정영역에는 필름에 기능성막을 코팅할 때 스핀코팅용 클램핑 지그를 진공흡입장치에 고정시킬 수 있는 나사홈(23)이 형성되어 있다. 또한, 하부플레이트(20)의 배면의 배출공(22) 주위에는 체크벨브(40)의 결합을 원활히 하도록 제2함몰부(24)가 형성되어 있다. On the other hand, Figure 5 is a perspective view showing the back of the lower plate as a component of the clamping jig for spin coating according to the present invention. As shown in the figure, in the predetermined region on the bottom of the lower plate 20, a screw groove 23 is formed to fix the clamping jig for spin coating to the vacuum suction device when the functional film is coated on the film. In addition, a second recessed portion 24 is formed around the discharge hole 22 on the rear surface of the lower plate 20 so as to facilitate coupling of the check valve 40.

돌출리브(30)는 하부플레이트(20)의 가장자리로부터 돌출되어있다. 돌출리브(30)는 상부플레이트(1)가 하부플레이트(20)에 부착될 때, 상부플레이트(1)의 가장자리와 소정거리 이격공간(도 3의 A)이 형성될 수 있도록 하부플레이트(20)의 가장자리로부터 돌출되어 있다. 돌출리브(30)의 상면에는 코팅하고자하는 필름의 가장자리 영역과 접하는 점착부재인 실리콘층(25)이 형성된다. 실리콘층(25)은 상부플레이트(1)가 하부베이스(2)에 부착될 때, 상부플레이트(1)의 높이와 동일한 높이를 유지할 수 있는 두께를 가진다. The protruding rib 30 protrudes from the edge of the lower plate 20. The protruding rib 30 has a lower plate 20 so that when the upper plate 1 is attached to the lower plate 20, an edge space of the upper plate 1 and a predetermined distance (A in FIG. 3) can be formed. It protrudes from the edge of. On the upper surface of the protruding rib 30, a silicon layer 25, which is an adhesive member, is in contact with the edge region of the film to be coated. The silicon layer 25 has a thickness capable of maintaining the same height as the height of the upper plate 1 when the upper plate 1 is attached to the lower base 2.

도 6은 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 체크벨브를 도시한 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 체크벨브(40)는 하부플레이트(20)의 배출공(22)에 설치된다. 체크벨브(40)는 공기의 흐름이 한 방향으로만 형성되도록 한다. 체크벨브(40)의 하단에는 외주면을 따라 브래킷(41)이 마련된다. 브래킷(41)은 상술한 하부플레이트(20) 배면의 제2함몰부(24)에 대응하는 형상으로 마련되며, 체크벨브(40)를 하부플레이트(20)에 보다 견고하게 결합시켜준다. 또한, 브래킷(41)의 상면 에는 환상의 실링부재(42)인 오링(O-ring)이 마련되어 하부플레이트(20)의 제2함몰부(24)와 브래킷(41) 사이로 공기가 유출되는 것을 방지해준다. 또한, 브래킷(41)에는 하부플레이트(20)와 체크벨브(40)를 결합시켜 주는 나사공(43)이 형성되어 있으며, 나사공(43)을 통하여 하부플레이트(20)와 체크벨브(40)는 나사결합된다. 체크벨브는 당업자에게는 공지의 기술이므로 그 내부 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.6 is a perspective view illustrating a check valve of the clamping jig for spin coating according to the present invention. As shown in the figure, the check valve 40 is installed in the discharge hole 22 of the lower plate 20. The check valve 40 allows the flow of air to be formed in only one direction. The lower end of the check valve 40 is provided with a bracket 41 along the outer peripheral surface. The bracket 41 is provided in a shape corresponding to the second recessed portion 24 on the rear surface of the lower plate 20, and more firmly couples the check valve 40 to the lower plate 20. In addition, an O-ring, which is an annular sealing member 42, is provided on the upper surface of the bracket 41 to prevent air from flowing out between the second recess 24 and the bracket 41 of the lower plate 20. Do it. In addition, the bracket 41 is formed with a screw hole 43 for coupling the lower plate 20 and the check valve 40, the lower plate 20 and the check valve 40 through the screw hole 43 Are screwed together. Since the check valve is well known to those skilled in the art, a detailed description thereof will be omitted.

한편, 체크벨브(40)는 필름의 코팅시 진공흡입장치의 진공흡입구와 결합되며, 진공흡입장치의 진공흡입에 의하여 상부플레이트(1)와 돌출리브(30)사이의 이격공간을 통하여 필름과 상부플레이트(1) 사이의 공기가 흡입되고, 흡입된 공기는 하부플레이트(20)의 상면에 형성된 유로(21)를 따라 하부플레이트(20)의 중앙영역으로 이동하여 체크벨브(40)를 통하여 외부로 배출된다. On the other hand, the check valve 40 is coupled to the vacuum suction port of the vacuum suction device during the coating of the film, by the vacuum suction of the vacuum suction device through the separation space between the upper plate 1 and the protruding ribs 30 and the film Air between the plates 1 is sucked, and the sucked air moves to the central region of the lower plate 20 along the flow path 21 formed on the upper surface of the lower plate 20 to the outside through the check valve 40. Discharged.

상술한 구성에 의한 스핀코팅용 클램핑 지그의 작동에 대하여 설명한다. 도 7은 본 발명에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 필름이 부탁된 상태를 도시한 상태도이고, 도 8은 도 7의 단면을 도시한 단면도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 스핀코팅용 클램핑 지그는 상부플레이트(1)가 하부베이스(2)에 장착되고, 하부베이스(2)에 마련된 체크벨브(40)와 진공흡입장치의 흡입구가 맞닿도록 위치하여 진공흡입장치와 결합된다. The operation of the clamping jig for spin coating by the above-described configuration will be described. 7 is a state diagram showing a state in which a film is attached to the clamping jig for spin coating according to the present invention, Figure 8 is a cross-sectional view showing a cross section of FIG. As shown in the figure, the clamping jig for spin coating is positioned such that the upper plate 1 is mounted on the lower base 2, and the check valve 40 provided on the lower base 2 is in contact with the suction port of the vacuum suction device. It is combined with the vacuum suction device.

이어, 진공흡입장치에 결합된 스핀코팅용 클램핑 지그의 상면에 필름이 지지된다. 필름의 가장자리는 하부플레이트(20)의 돌출리브(30)의 상면에 마련된 점착부재인 실리콘층(25)에 위치하고 나머지 영역은 상부플레이트(1)에 위치한다. Then, the film is supported on the upper surface of the clamping jig for spin coating coupled to the vacuum suction device. The edge of the film is located on the silicon layer 25, which is an adhesive member provided on the upper surface of the protruding rib 30 of the lower plate 20, and the remaining area is located on the upper plate 1.

필름이 지지된 상태에서 진공흡입장치에 의하여 공기가 흡입되면, 상부플레이트(1)와 필름 사이의 공기는 상부플레이트(1)의 가장자리와 돌출리브(30) 사이의 이격공간(A)을 통하여 스핀코팅용 클램핑 지그의 내부로 흡입된다. 내부로 흡입된 공기는 하부플레이트(20)의 상면에 형성된 유로(21)와 체크벨브(40)를 통하여 외부로 배출된다. 이때, 상부플레이트(1)의 배면에 형성된 제1함몰부(11)에 의하여 공기는 원활하게 체크벨브(40) 쪽으로 모이게 되며, 제1함몰부(11)에 모인 공기는 체크벨브(40)를 통하여 진공흡입장치로 유출된다. 공기가 유출됨에 따라, 상부플레이트와 하부플레이트 사이에는 진공이 형성되며, 필름은 상부플레이트에 진공의 힘으로 견고하게 부착될 수 있다. When air is sucked in by the vacuum suction device while the film is supported, the air between the upper plate 1 and the film spins through the space A between the edge of the upper plate 1 and the protruding rib 30. It is sucked into the coating clamping jig. The air sucked into the inside is discharged to the outside through the passage 21 and the check valve 40 formed on the upper surface of the lower plate 20. At this time, the air is smoothly collected by the first recess 11 formed on the rear surface of the upper plate 1 toward the check valve 40, and the air collected in the first recess 11 is connected to the check valve 40. Through the vacuum suction device. As air flows out, a vacuum is formed between the upper plate and the lower plate, and the film may be firmly attached to the upper plate by the force of the vacuum.

또한, 돌출리브(30)의 상면에 부착된 점착부재인 실리콘층(25)에 의하여 필름의 가장자리부분이 소정의 점착력에 의하여 스핀코팅용 클램핑 지그에 부착되어 진공흡입의 부착력과 협동하여 필름이 스핀코팅용 클램핑 지그에 보다 견고하게 부착된다. 따라서, 필름이 스핀코팅용 지그에 견고하게 부착된 상태에서 스핀코팅이 진행된다. In addition, the edge of the film is attached to the spin coating clamping jig by a predetermined adhesive force by the silicon layer 25, which is an adhesive member attached to the upper surface of the protruding rib 30, and the film spins in cooperation with the adhesive force of vacuum suction. It is more firmly attached to the clamping jig for coating. Therefore, spin coating proceeds while the film is firmly attached to the spin coating jig.

한편, 필름에 기능성 막을 코팅할 때, 공정조건에 따라서는 소정온도로 가열된 분위기에서 코팅작업이 이루어질 수가 있으며, 이때, 점착부재인 실리콘층(25)은 이러한 온도조건에 대하여도 점착성을 유지할 수 있어 필름을 원활하게 부착시킬 수 있다. 또한, 필름 코팅액의 점성에 따른 필름의 굽힘(Curl)을 진공흡착력과 실리콘층의 점착력에 의하여 방지할 수도 있다. On the other hand, when coating a functional film on the film, depending on the process conditions, the coating operation can be performed in an atmosphere heated to a predetermined temperature, in this case, the silicon layer 25 as the adhesive member can maintain the adhesion to such temperature conditions The film can be attached smoothly. In addition, the curl of the film due to the viscosity of the film coating liquid may be prevented by the vacuum adsorption force and the adhesive force of the silicon layer.

상술한 설명에서, 점착부재로서 실리콘층을 사용한 것으로 설명하였으나, 실 리콘 외에 양면테이프등을 사용할 수도 있음은 물론이다. 또한, 하부플레이트에 형성된 유로는 직교하는 형상으로 설명하였으나, 다양한 형상을 가질 수 있음은 물론이다. In the above description, it has been described that the silicon layer is used as the adhesive member, but of course, a double-sided tape or the like may be used in addition to the silicon. In addition, although the flow path formed in the lower plate has been described as being orthogonal, of course, it may have various shapes.

다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 대하여 설명한다. Next, the clamping jig for spin coating according to the second embodiment of the present invention will be described.

도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도이고, 도 10은 도9의 단면도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 스핀코팅용 클램핑 지그는 필름이 지지되는 상부플레이트(13)와, 상부플레이트(13)와 결합하는 하부플레이트(26)를 구비한다.9 is a perspective view illustrating a clamping jig for spin coating according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a cross-sectional view of FIG. 9. As shown in the figure, the clamping jig for spin coating includes an upper plate 13 on which a film is supported, and a lower plate 26 engaging with the upper plate 13.

상부플레이트(13)는 사각형상의 판상으로 마련되며 하부플레이트(26)와 나사결합된다. 상부플레이트(13)의 면에는 다수의 관통공(14)이 형성된다. 관통공(14)은 상부플레이트(13)의 가장자리를 따라 다수개 형성된다. 이러한 관통공(14)은 필름의 가장자리 부분에 대응하여 형성되어 필름과 상부플레이트(13) 사이의 공기를 스핀코팅용 클램핑 지그의 내부로 흡입시키는 역할을 한다. The upper plate 13 is provided in a rectangular plate shape and screwed with the lower plate 26. A plurality of through holes 14 are formed on the surface of the upper plate 13. A plurality of through holes 14 are formed along the edge of the upper plate 13. The through hole 14 is formed corresponding to the edge portion of the film and serves to suck air between the film and the upper plate 13 into the inside of the clamping jig for spin coating.

하부플레이트(26)는 본 발명의 제1실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그와 마찬가지로 내부에 공기가 흐를 수 있는 유로(21)가 형성되어 있으며, 중앙영역에는 공기가 외부로 유출되는 배출공(22)이 형성되며, 배출공에는 공기의 흐름을 제어하는 체크벨브(40)가 마련되어 있다. The lower plate 26 has a flow path 21 through which air can flow, similarly to the clamping jig for spin coating according to the first embodiment of the present invention, and has a discharge hole through which air flows out to the outside. 22) is formed, the discharge hole is provided with a check valve 40 for controlling the flow of air.

한편, 상부플레이트(13)와 하부플레이트(26)는 나사결합되어 있으며, 상부플레이트(13)와 하부플레이트(26)가 결합되는 부분을 통하여 공기의 유출을 막을 수 있도록, 상부플레이트(13)와 하부플레이트(26)가 결합되는 부분은 실링부재(29)로 실링처리되어 있다. Meanwhile, the upper plate 13 and the lower plate 26 are screwed together, and the upper plate 13 and the lower plate 26 can prevent the outflow of air through the portion where the upper plate 13 and the lower plate 26 are coupled. The portion to which the lower plate 26 is coupled is sealed with a sealing member 29.

상술한 구성에 의한 본 발명의 제2실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 작동을 설명한다. 먼저 스핀코팅용 클램핑 지그는 상부플레이트(13)가 하부플레이트(26)에 장착되고, 하부플레이트(26)에 마련된 체크벨브(40)와 진공입장치의 흡입구가 맞닿도록 위치하여 진공흡입장치와 결합된다. The operation of the clamping jig for spin coating according to the second embodiment of the present invention by the above-described configuration will be described. First, the spin coating clamping jig is mounted on the upper plate 13 to the lower plate 26, and is positioned such that the check valve 40 provided on the lower plate 26 and the suction port of the vacuum inlet device come into contact with each other and are combined with the vacuum suction device. .

이어, 필름을 상부플레이트(13)에 위치시키면, 상부플레이트(13)가 필름을 지지한다. 이때, 필름의 가장자리영역은 상술한 관통공(14)의 위치에 대응하여 위치된다. Then, when the film is placed on the upper plate 13, the upper plate 13 supports the film. At this time, the edge region of the film is located corresponding to the position of the through hole 14 described above.

필름이 지지된 상태에서 진공흡입장치에 의하여 공기가 흡입되면, 상부플레이트(13)와 필름 사이의 공기는 관통공(14)을 통하여 스핀코팅용 클램핑 지그의 내부로 흡입된다. 내부로 흡입된 공기는 하부플레이트(26)에 형성된 유로(21)와 체크벨브(40)를 통하여 외부로 배출된다. 공기가 유출됨에 따라, 상부플레이트(13)와 하부플레이트(26) 사이에는 진공이 형성되며, 필름은 상부플레이트(13)에 진공의 힘으로 견고하게 부착될 수 있다. 따라서, 필름이 스핀코팅용 지그에 견고하게 부착된 상태에서 스핀코팅이 진행된다. When the air is sucked by the vacuum suction device while the film is supported, the air between the upper plate 13 and the film is sucked into the inside of the clamping jig for spin coating through the through hole 14. The air sucked into the inside is discharged to the outside through the passage 21 and the check valve 40 formed in the lower plate 26. As air flows out, a vacuum is formed between the upper plate 13 and the lower plate 26, and the film may be firmly attached to the upper plate 13 by the force of the vacuum. Therefore, spin coating proceeds while the film is firmly attached to the spin coating jig.

다음으로, 본 발명의 제3실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 대하여 설명한다. Next, the clamping jig for spin coating according to the third embodiment of the present invention will be described.

도 11은 본 발명의 제3실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 상부플레이트를 도시한 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그는 본 발명의 제2실시예와 다른 구성은 동일하며, 상부플레이트(13)에 형성된 관통공(14)이 상호 일정한 간격으로 좌우로 규칙적으로 배열되어 있다. 따라서, 필름의 가장자리 뿐만 아니라 중앙영역에 대응하는 관통공(14)에 의하여 필름의 전영역이 진공의 흡착력에 의해 스핀코팅용 클램핑 지그에 견고하게 부착될 수 있다. 11 is a perspective view illustrating an upper plate of a clamping jig for spin coating according to a third embodiment of the present invention. As shown in the figure, the clamping jig for spin coating according to the third embodiment of the present invention has the same configuration as the second embodiment of the present invention, and the through holes 14 formed in the upper plate 13 are mutually It is regularly arranged from side to side at regular intervals. Therefore, not only the edge of the film but also the through hole 14 corresponding to the center area, the entire area of the film can be firmly attached to the clamping jig for spin coating by the suction force of the vacuum.

본 발명의 제4실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 대하여 설명한다. A clamping jig for spin coating according to a fourth embodiment of the present invention will be described.

도 12는 본 발명의 제4실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그의 상부플레이트를 도시한 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그는 본 발명의 제2실시예와 다른 구성은 동일하며, 상부플레이트(13)의 가장자리를 따라 슬릿(15)이 형성되어 있다. 12 is a perspective view illustrating an upper plate of a clamping jig for spin coating according to a fourth embodiment of the present invention. As shown in the figure, the clamping jig for spin coating according to the fourth embodiment of the present invention has the same configuration as the second embodiment of the present invention, and the slit 15 is formed along the edge of the upper plate 13. Formed.

이러한 구성에 의한다면, 상부플레이트(13)의 가장자리를 따라 공기가 보다 빨리 스핀코팅용 클램핑 지그의 내부로 유입되어 진공이 형성될 수 있다. According to this configuration, the air may be introduced into the inside of the clamping jig for spin coating more quickly along the edge of the upper plate 13 to form a vacuum.

본 발명의 제5실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 대하여 설명한다. A clamping jig for spin coating according to a fifth embodiment of the present invention will be described.

도 13은 본 발명의 제5실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이 스핀코팅용 클램핑 지그는 베이스 플레이트(27)와, 베이스 플레이트(27)의 상면에 형성되어 필름을 부착시키는 점착부재(16)를 포함한다. 베이스 플레이트(27)는 코팅하고자 하는 필름의 형상에 대응하여 형성될 수 있다. 점착부재(16)로는 압축성형된 실리콘이나, 실리콘겔 또는 양면테이프로 마련될 수 있다. 13 is a perspective view illustrating a clamping jig for spin coating according to a fifth embodiment of the present invention. As shown in the figure, the clamping jig for spin coating includes a base plate 27 and an adhesive member 16 formed on an upper surface of the base plate 27 to attach a film. The base plate 27 may be formed corresponding to the shape of the film to be coated. The adhesive member 16 may be formed of compression molded silicone, silicone gel, or double-sided tape.

점착부재(16)로 사용되는 실리콘은 고압으로 압축성형되어 베이스 플레이트 (27)에 접착된다. 이때 실리콘의 상면은 접착력이 1cm2당 10~15g정도인 것이 바람직하다. 이는 실리콘의 상면에 필름이 부착되어 스핀코팅공정이 끝난 후 필름을 스핀코팅용 클램핑 지그로부터 용이하게 이탈시킬 수 있기 때문이다. Silicone used as the adhesive member 16 is compression molded at high pressure and adhered to the base plate 27. At this time, the upper surface of the silicon is preferably about 10 ~ 15g per 1cm 2 adhesion. This is because the film is attached to the upper surface of the silicon so that the film can be easily detached from the clamping jig for spin coating after the spin coating process is completed.

점착부재(16)로 사용되는 실리콘겔은 베이스 플레이트(27)의 상면에 액상의 실리콘을 코팅한 후, 고온에서 실리콘을 경화시켜 형성된다. 이러한 방법으로 베이스 플레이트(27)의 상면에 실리콘 겔이 형성된다. 실리콘 겔의 경우도 상술한 압축성형한 실리콘의 경우와 마찬가지로 점착력이 1cm2당 10~15g정도인 것이 바람직하다.The silicone gel used as the adhesive member 16 is formed by coating liquid silicone on the upper surface of the base plate 27 and then curing the silicone at a high temperature. In this way, a silicone gel is formed on the upper surface of the base plate 27. In the case of the silicone gel, as in the case of the compression molded silicone, the adhesive force is preferably about 10 to 15 g per 1 cm 2 .

또한, 점착부재(16)로 사용되는 양면테이프의 경우에는 베이스 플레이트(27)와 접착되는 면의 점착력은 1cm2당 60g이상, 필름이 부착되는 면의 점착력은 1cm2당 10~15g정도인 것이 바람직하다. 스핀코팅 후 필름을 스핀코팅용 클램핑 지그로부터 이탈시킬 때, 양면테이프가 베이스 플레이트로부터 필름과 함께 이탈되는 것을 방지하기 위하여, 양면테이프의 베이스 플레이트에 접착되는 면의 점착력이 더 높게 유지되어야 하기 때문이다. In addition, in the case of the double-sided tape used as the adhesive member 16, the adhesive force of the surface adhered to the base plate 27 is 60g or more per 1 cm 2 , and the adhesive force of the surface to which the film is attached is about 10-15g per 1 cm 2 . desirable. This is because when the film is detached from the clamping jig for spin coating after spin coating, the adhesive force of the side bonded to the base plate of the double-sided tape must be kept higher in order to prevent the double-sided tape from being released together with the film from the base plate. .

다음으로, 본 발명의 제6실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 대하여 설명한다. Next, the clamping jig for spin coating according to the sixth embodiment of the present invention will be described.

도 14는 본 발명의 제6실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 스핀코팅용 클램핑 지그는 베이스 플레이트(27)와, 베이스 플레이트(27)의 가장자리 영역에 결합되어 필름을 고정시키는 고정부재 (33)를 포함한다. 베이스 플레이트(27)는 코팅하고자 하는 필름의 형상에 대응하여 형성될 수 있으며, 필름의 크기보다는 크게 마련된다. 여기서, 고정부재(33)는 테이프로 마련된다. 즉, 베이스 플레이트(27)에 의해 필름이 지지되며, 필름의 가장자리와 베이스플레이트(27)의 가장자리를 동시에 고정시킬 수 있는 테이프(33)를 부착하여 필름을 베이스 플레이트(27)에 고정시킨다. 테이프(27)의 접착력에 의해 필름이 베이스 플레이트(27)에 안정적으로 고정될 수 있으며, 스핀코팅 후 테이프(27)를 제거하면 필름이 베이스 플레이트(27)로부터 용이하게 탈착될 수 있다. 14 is a perspective view illustrating a clamping jig for spin coating according to a sixth embodiment of the present invention. As shown in the figure, the clamping jig for spin coating includes a base plate 27 and a fixing member 33 coupled to an edge region of the base plate 27 to fix the film. The base plate 27 may be formed corresponding to the shape of the film to be coated, and is provided larger than the size of the film. Here, the fixing member 33 is provided with a tape. That is, the film is supported by the base plate 27, and the tape 33 which can fix the edge of the film and the edge of the base plate 27 is attached to fix the film to the base plate 27. The film may be stably fixed to the base plate 27 by the adhesive force of the tape 27, and the film may be easily detached from the base plate 27 by removing the tape 27 after spin coating.

다음으로, 본 발명의 제7실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 대하여 설명한다. Next, the clamping jig for spin coating according to the seventh embodiment of the present invention will be described.

도 15는 본 발명의 제7실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제7실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그는 본 발명의 제6실시예와 달리, 고정부재(34)로 자성체를 이용한다. 베이스 플레이트(27)와 고정부재(34)는 자성체로 마련되며, 자성체인 고정부재(34)는 베이스 플레이트(27)와 자력에 의하여 결합되며, 고정부재(34)와 베이스 플레이트(27) 사이에 위치하는 필름의 가장자리 영역은 고정부재(34)와 베이스 플레이트(27)의 자력에 의한 결합으로 베이스 플레이트(27)에 부착될 수 있다. 여기서, 고정부재(34)의 단면은 직삼각형의 형상으로 마련되어 스핀코팅시 코팅액의 간섭을 방지할 수 있다. 한편, 자성체인 고정부재는 바(bar)형상을 가질 수도 있으며, 도 16에 도시된 변형예와 같이, 고정부재(34)는 베이스 플레이트(27)의 외곽형상에 대응하는 폐루프 형상으로 마련될 수도 있다. 이런 경우, 보다 견고하게 필름을 베이스 플레 이트(27)에 고정시킬 수 있다. 15 is a perspective view illustrating a clamping jig for spin coating according to a seventh embodiment of the present invention. As shown in the figure, the clamping jig for spin coating according to the seventh embodiment of the present invention, unlike the sixth embodiment of the present invention, uses a magnetic material as the fixing member 34. The base plate 27 and the fixing member 34 are provided with a magnetic body, and the fixing member 34, which is a magnetic body, is coupled to the base plate 27 by a magnetic force, between the fixing member 34 and the base plate 27. The edge region of the film to be positioned may be attached to the base plate 27 by the magnetic force of the fixing member 34 and the base plate 27. Here, the cross section of the fixing member 34 is provided in the shape of a right triangle to prevent interference of the coating liquid during spin coating. Meanwhile, the magnetic member fixing member may have a bar shape, and as shown in FIG. 16, the fixing member 34 may be provided in a closed loop shape corresponding to the outer shape of the base plate 27. It may be. In this case, the film can be more firmly fixed to the base plate 27.

본 발명의 제8실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그에 대하여 설명한다. A clamping jig for spin coating according to an eighth embodiment of the present invention will be described.

도 17은 본 발명의 제8실시예에 따른 스핀코팅용 클램핑 지그를 도시한 사시도이고, 도면의 원내는 고정부재의 단면을 도시한 것이다. 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제8실시예의 고정부재(37)는 베이스 플레이트(27)의 가장자리와 결합하는 결합브래킷(37a)과, 결합브래킷(37a)의 단부로부터 절곡된 고정부(37b)를 포함한다. FIG. 17 is a perspective view illustrating a clamping jig for spin coating according to an eighth embodiment of the present invention, and the garden of the figure shows a cross section of the fixing member. As shown in the figure, the fixing member 37 of the eighth embodiment of the present invention is a coupling bracket 37a for engaging with the edge of the base plate 27, and a fixing portion bent from the end of the coupling bracket 37a ( 37b).

결합브래킷(37a)은 베이스 플레이트(27)와 나사결합으로 고정된다. 고정부(37b)는 결합브래킷(37a)의 상단부로부터 베이스 플레이트(27)의 중앙영역을 향하여 절곡형성된다. 또한, 고정부(37b)의 단면은 스핀코팅시 코팅액의 간섭을 피하기 위하여 삼각형의 형상을 가진다. 따라서, 고정부(37b)의 하면에 필름이 맞닿아 베이스 플레이트(27)에 필름이 고정된다. The coupling bracket 37a is fixed to the base plate 27 by screwing. The fixing portion 37b is bent toward the central region of the base plate 27 from the upper end of the coupling bracket 37a. In addition, the cross section of the fixing part 37b has a triangular shape in order to avoid interference of the coating liquid during spin coating. Accordingly, the film abuts against the lower surface of the fixing portion 37b to fix the film to the base plate 27.

여기서, 고정부(37b)의 필름이 맞닿는 면에는 필름을 보다 견고하게 고정시키기 위하여 점착부재(38)가 마련될 수도 있다. 점착부재(38)로서는 상술한 제5실시예와 마찬가지로 실리콘이나 실리콘 겔이 이용될 수 있다. Here, the adhesive member 38 may be provided on the surface where the film of the fixing part 37b abuts to fix the film more firmly. As the adhesive member 38, silicon or a silicone gel may be used as in the fifth embodiment.

한편, 고정부재(37)는 베이스 플레이트의 각 변에 대응하여 각각 마련될 수도 있으며, 베이스 플레이트의 외곽형상에 대응하는 폐루프형상으로 마련될 수도 있다. On the other hand, the fixing member 37 may be provided respectively corresponding to each side of the base plate, it may be provided in a closed loop shape corresponding to the outer shape of the base plate.

상술한 여러 실시예에 따라 필름을 스핀코팅용 클램핑 지그에 부착하여 스핀코팅할 수 있게 되며, 필름을 미리 절단하여 코팅하기 때문에, 필름에 기능성 막을 추가로 코팅할 때, 스핀코팅용 클램핑 지그에 부착된 상태로 이후의 코팅공정으로 이송시킬 수 있으므로, 복수의 기능성 막을 원활하게 코팅할 수 있는 장점이 있다. According to the above-described embodiments, the film can be attached to the spin coating clamping jig and spin coated. When the film is cut and coated in advance, the film is attached to the clamping jig for spin coating. Since it can be transferred to a subsequent coating process in a state, there is an advantage that can smoothly coat a plurality of functional films.

또한, 스핀코팅용 클램핑 지그에 부착하여 필름을 개별적으로 코팅하므로 스핀코팅방식으로 필름에 기능성 막을 코팅할 수 있어 보다 정밀하고 양질의 코팅을 할 수 있는 장점이 있다. In addition, since the film is separately coated by attaching to the clamping jig for spin coating, the functional film may be coated on the film by the spin coating method, thereby providing a more precise and high quality coating.

이상과 같은 다양한 실시예에 의해 필름에 기능성 막을 스핀코팅방식으로 코팅할 수 있게 된다. 상술한 설명에서 피코팅부재로서 필름에 대하여 설명하였으나, 이는 본 발명의 하나의 실시의 형태를 나타낸 것이며, 본 발명이 피코팅부재로 유리나 판상의 플라스틱등 스핀코팅이 가능한 다양한 피코팅부재에 적용될 수도 있음은 물론이다. By various embodiments as described above it is possible to coat the functional film on the film by a spin coating method. In the above description, the film has been described as a member to be coated, but this shows one embodiment of the present invention, and the present invention may be applied to various members to be spin-coated such as glass or plate plastic as the member to be coated. Of course.

또한, 본 발명의 권리범위는 상기 실시예에 한정되는 것은 아니라 첨부된 특허청구범위내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 가능한 다양한 변형 가능한 범위까지 본 발명의 청구 범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.Further, the scope of the present invention is not limited to the above embodiments, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. Without departing from the gist of the invention as claimed in the claims, any person of ordinary skill in the art is considered to be within the scope of the claims described in the present invention to the extent possible to vary.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 필름에 기능성 막을 코팅할 때, 코팅 막의 두께를 원하는 두께로 얇게 할 수 있는 스핀코팅용 클램핑 지그가 제공된다. As described above, according to the present invention, when coating a functional film on a film, there is provided a clamping jig for spin coating that can reduce the thickness of the coating film to a desired thickness.

또한, 하나의 필름에 여러 겹의 기능성 막을 코팅할 수 있는 스핀코팅용 클 램핑 지그가 제공된다. In addition, there is provided a clamping jig for spin coating that can coat several layers of functional film on one film.

또한, 스핀코팅방식으로 기능성 막을 코팅할 수 있는 스핀코팅용 클램핑 지그가 제공된다. In addition, there is provided a clamping jig for spin coating that can coat a functional film by spin coating.

더욱이, 코팅공정 중에 발생하는 진동, 열, 코팅액의 점성에 의한 굽힘(Curl)등에 대한 영향을 받지 않는 스핀코팅용 클램핑 지그가 제공된다.Furthermore, there is provided a clamping jig for spin coating which is not affected by vibration, heat, curl caused by the viscosity of the coating liquid, or the like, during the coating process.

Claims (18)

스핀코팅용 클램핑 지그에 있어서,In the clamping jig for spin coating, 상면에 피코팅부재를 지지하는 상부플레이트와; An upper plate for supporting a member to be coated on an upper surface thereof; 상기 상부플레이트의 배면과 맞닿고, 상면에 공기의 흐름을 안내하는 유로가 형성되며, 상기 유로의 일영역에 공기가 배출되도록 배출공이 형성된 하부플레이트와;A lower plate which is in contact with the rear surface of the upper plate and has a flow path guiding the flow of air on an upper surface thereof, and a discharge hole is formed so that air is discharged in one region of the flow path; 상기 상부플레이트의 가장자리로부터 소정거리 이격공간을 형성하도록 상기 하부플레이트의 가장자리를 따라 돌출된 돌출리브와;Protruding ribs protruding along the edge of the lower plate to form a predetermined distance away from the edge of the upper plate; 상기 하부플레이트에 형성된 배출공에 설치되어 공기의 흐름을 제어하는 체크벨브와;A check valve installed in the discharge hole formed in the lower plate to control the flow of air; 상기 돌출리브의 상면에 마련되며, 상기 상부플레이트의 상면에 대응되는 높이로 설치되는 점착부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.The clamping jig for spin coating is provided on the upper surface of the protruding rib, the adhesive member is installed at a height corresponding to the upper surface of the upper plate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 점착부재는 실리콘층인 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.The adhesive member is a clamping jig for spin coating, characterized in that the silicon layer. 스핀코팅용 클램핑 지그에 있어서,In the clamping jig for spin coating, 상면에 피코팅부재를 지지하며, 다수의 관통공이 형성된 상부플레이트와; An upper plate supporting a member to be coated on an upper surface thereof and having a plurality of through holes formed therein; 상기 상부플레이트와 결합하고, 상면에 공기가 유동할 수 있는 유로가 형성되며, 상기 유로의 일영역에 공기가 배출되도록 배출공이 형성되며, 배면에 상기 배출공을 중심으로 함몰된 함몰부가 형성된 하부플레이트와;The lower plate is coupled to the upper plate, a flow path through which air flows is formed on an upper surface, a discharge hole is formed so that air is discharged in one region of the flow path, and a lower plate on which a recess is formed around the discharge hole. Wow; 상기 하부플레이트에 형성된 배출공에 설치되어 공기의 흐름을 제어하도록, 상기 함몰부에 대응되어 외면을 따라 형성된 브래킷을 구비한 체크벨브를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.Clamping jig for spin coating characterized in that it comprises a check valve is installed in the discharge hole formed in the lower plate to control the flow of air with a bracket formed along the outer surface corresponding to the depression. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 관통공은 상기 상부플레이트의 가장자리를 따라 형성된 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.The through hole is a clamping jig for spin coating, characterized in that formed along the edge of the upper plate. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 관통공은 상기 상부플레이트에 상하좌우 상호 동일한 간격으로 형성된 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그. The through hole is a clamping jig for spin coating, characterized in that formed on the upper plate at equal intervals up, down, left and right. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 관통공은 상기 상부플레이트의 가장자리에 슬릿으로 형성된 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.The through hole is a clamping jig for spin coating, characterized in that formed as a slit on the edge of the upper plate. 제1항 또는 제2항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 하부플레이트는 배면에 상기 배출공을 중심으로 함몰된 함몰부가 형성되고, 상기 체크벨브는 상기 함몰부에 대응하도록 상기 체크벨브의 외면을 따라 형성된 브래킷을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀코팅용 클램핑 지그.The lower plate has a recessed portion formed around the discharge hole on the rear surface, and the check valve further comprises a bracket for forming a spin coating along the outer surface of the check valve to correspond to the recessed portion. Jig. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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