KR100624410B1 - 그린 렌즈를 채용하는 대물렌즈 광학계 - Google Patents

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Abstract

그린 렌즈를 채용하는 대물렌즈 광학계가 개시된다. 개시된 대물렌즈 광학계는, 광축방향과 광축에 수직한 방향으로 굴절률이 변하는 그린 렌즈를 구비한다. 그린 렌즈는 z가 광축방향으로 렌즈의 중심으로부터의 거리이고, r이 광축에 수직한 방향으로 렌즈의 중심으로부터의 거리인 경우 다음의 식을 만족하는 굴절률(n)을 가질 수 있다. 수차가 보정된 고개구수의 대물렌즈 광학계를 제공할 수 있다.
Figure 112003022045369-pat00001

Description

그린 렌즈를 채용하는 대물렌즈 광학계{Objective optical system employing GRIN lens}
도 1은 종래의 하이브리드 렌즈를 개략적으로 보이는 단면도,
도 2는 미국특허 제5,912,770호에 개시된 그린렌즈와 회절렌즈를 구비하는 대물렌즈 광학계의 구성을 개략적으로 보이는 단면도,
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 대물렌즈 광학계를 개략적으로 보이는 단면도,
도 4는 도 3에 도시된 볼록-평 그린 렌즈 내부의 굴절률(n) 변화를 보이는 그래프,
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 대물렌즈 광학계의 구성을 개략적으로 보이는 단면도,
도 6은 쉬트형 그린 렌즈를 통과하는 광의 광경로를 보이는 도면,
도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 대물렌즈 광학계를 개략적으로 보이는 단면도.
본 발명은 그린 렌즈를 채용하는 대물렌즈 광학계에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 수차가 보정되고 초소형 광 픽업을 구현할 수 있는 그린 렌즈를 채용하는 대물렌즈 광학계에 관한 것이다.
대물렌즈는 CD(Compact Disk) 또는 DVD(Digital Versatile Disk)와 같은 광디스크 드라이브(ODD; Optical Disk Drive)에서 정보를 기록하거나 재생하는데 사용되는 광픽업의 핵심부품이다. 대물렌즈는 광원인 레이저 다이오드로부터 출사되는 레이저빔을 집광하여 광디스크의 기록면에 포커싱함으로써 정보를 기록하거나 광디스크에서 반사되는 광을 다시 집광하여 광검출기로 진행시킴으로써 광디스크에 기록된 정보를 재생할 수 있다.
최근 MP3, PDA(Personal Digital Assistant), 디지털 카메라, 캠코더 등 모바일 기기에 대한 수요가 증가하면서 휴대가 가능한 초소형 광디스크 드라이브에 대한 연구가 활발해지고 있으며 이에 따라 광픽업도 초박형 광픽업으로 개발되고 있다. 초박형 광픽업은 직경 30mm 이하의 광디스크에 정보를 기록하고 재생하기 위해 400~410nm의 청색 파장 대역의 반도체 레이저를 광원으로 채용하고 0.85 이상의 고개구수(NA; Numerical Aperture)의 대물렌즈를 사용함으로써 광디스크 1매당 1GB 이상의 고용량의 정보를 저장할 수 있다.
고개구수의 대물렌즈의 개발시 레이저 다이오드의 온도변화에 따른 레이저광의 파장변화로 인한 색수차를 제거할 수 있어야 하며, 고개구수에 따른 구면 수차 및 코마 수차를 보정할 수 있어야 한다.
색수차 및 코마 수차를 제거하기 위해, 종래에는 크게 세 가지 방법을 이용 하여 왔다. 첫 번째 방법은, 저분산 광학 유리를 이용한 오목렌즈와 고분산 광학 유리의 볼록 렌즈를 조합하여 보정하는 방법이다. 하지만, 이 방법은 대물렌즈 광학계의 무게와 크기를 증가시키므로 초박형 광픽업에 적합하지 않다. 두 번째 방법은, 저분산 비구면 렌즈를 이용하여 색수차를 감소시키는 방법이다. 하지만, 이 방법은 사용되는 저분산 광학 유리의 굴절률이 작기 때문에 고개구수에 대한 코마 수차를 보정하기 위해 곡률을 증가시켜야 하며, 따라서 초소형 광픽업의 고개구수 대물렌즈에서 발생하는 코마 수차를 보정하기에는 한계가 있다.
세 번째 방법은, 도 1에 도시된 바와 같이, 굴절렌즈(R)와 회절렌즈(DOE; Diffractive Optical Lens)를 조합한 하이브리드 렌즈를 사용하는 방법이다. 하지만 상기 방법은 DOE 제작에 있어 고정밀 피치(fine pitch)를 형성하는 것이 용이하지 않고 투과 효율이 확보되기 어렵다. 특히, 더블릿 하이브리드 렌즈의 경우 굴절렌즈(R)와 회절렌즈(DOE)의 접합이 용이하이 않으므로 추가 공정이 요구되고 광디스크를 향하는 쪽에 회절렌즈(DOE)가 위치하는 경우 광디스크와의 접촉에 의한 마찰 손상이나 입자에 의한 오염 등의 문제가 발생할 수 있으며 0차 및 ±1차를 제외한 차수의 광이 노이즈로 작용할 수 있다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위해 미국특허번호 제5,912,770호, 제6,233,217호, 제6,330,116호, 제5,612,574호에서 그린 렌즈(GRIN; Gradient Index Lens)를 구비하는 광학계를 개시하고 있다. 그린 렌즈는 미소광학에 있어서 가장 중요한 광학 소자의 하나로서 광원과의 결합, 평행광선의 형성, 집광 등에 사용되고 있으며 주로 이온교환법으로 제작된다. 일 예로, 도 2는 미국특허 제5,912,770호에 개시된 그린렌즈(GR)와 회절렌즈(DR)가 배열된 대물렌즈 광학계를 개략적으로 보이고 있다. 하지만, 도시된 그렌렌즈(GR)는 래디얼 방향으로만 굴절률이 변하며, 상술한 다른 선행기술 자료에도 래디얼 방향이나 광축방향 중 어느 일 방향으로만 굴절률이 변하는 그린 렌즈만이 개시되어 있다. 따라서, 수차 보정을 위해 별도의 광학소자를 필요로 하여 초소형 광픽업에 이용하기에는 적합하지 않은 단점을 가진다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 코마수차 및 색수차가 제거될 수 있으며 초소형 광픽업에 채용가능한 초박형 그린 렌즈를 구비하는 대물렌즈 광학계에 관한 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은,
광 픽업의 대물렌즈 광학계에 있어서,
상기 대물렌즈 광학계는 광축방향과 광축에 수직한 방향으로 굴절률이 변하는 그린 렌즈를 구비하며, 상기 그린 렌즈는 z가 광축방향으로 렌즈의 중심으로부터의 거리이고, r이 광축에 수직한 방향으로 렌즈의 중심으로부터의 거리인 경우 다음의 식을 만족하는 굴절률(n)을 가지는 대물렌즈 광학계를 제공한다.
Figure 112006021444667-pat00021
또한, 본 발명에서는 광 픽업의 대물렌즈 광학계에 있어서,
상기 대물렌즈 광학계는 z가 광축방향으로 렌즈의 중심으로부터의 거리인 경우 다음의 식을 만족하는 굴절률(n)을 가지며, 볼록 비구면 또는 볼록 구면으로 형성된 입사면 및 평면 또는 오목면으로 형성된 출사면을 지닌 그린 렌즈를 구비하는 대물렌즈 광학계를 제공한다.
Figure 112006021444667-pat00022
또한, 본 발명에서는 광 픽업의 대물렌즈 광학계에 있어서,
상기 대물렌즈 광학계는 r이 광축에 수직한 방향으로 렌즈의 중심으로부터의 거리인 경우 다음의 식을 만족하는 굴절률(n)을 가지며, 볼록 비구면 또는 볼록 구면으로 형성된 입사면 및 평면 또는 오목면으로 형성된 출사면을 지닌 그린 렌즈를 구비하는 대물렌즈 광학계를 제공한다.
Figure 112006021444667-pat00023
본 발명에 있어서, 상기 그린 렌즈는 볼록 비구면 또는 볼록 구면으로 형성되는 입사면을 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 그린 렌즈는 평면으로 형성되는 출사면을 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 그린 렌즈는 볼록 비구면 또는 볼록 구면으로 형성되는 출사면을 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 그린 렌즈는 오목 비구면 또는 오목 구면으로 형성되는 출사면을 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 그린 렌즈는 쉬트형인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 그린 렌즈의 입사 광경로 상에 볼록 입사면과 평면 출사면을 가지는 굴절렌즈가 배열되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 그린 렌즈의 출사 광경로 상에 평면 입사면과 볼록 출사면을 가지는 굴절렌즈가 배열되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 그린 렌즈의 입사 광경로 상 또는 출사 광경로 상에 회절면을 가지는 DOE렌즈가 더 배열되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 그린 렌즈의 출사 광경로 상에 회절면을 가지는 DOE렌즈가 더 배열되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 그린 렌즈의 입사 광경로 상에 회절면을 가지는 DOE렌즈가 더 배열되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서는 광 픽업의 대물렌즈 광학계에 있어서,
상기 대물렌즈 광학계는 z가 광축방향으로 렌즈의 중심으로부터의 거리인 경우 다음의 식을 만족하는 굴절률(n)을 가지는 쉬트형 그린 렌즈를 구비하는 대물렌즈 광학계를 제공한다.
Figure 112006021444667-pat00024

또한, 본 발명에서는 광 픽업의 대물렌즈 광학계에 있어서,
상기 대물렌즈 광학계는 r이 광축에 수직한 방향으로 렌즈의 중심으로부터의 거리인 경우 다음의 식을 만족하는 굴절률(n)을 가지는 쉬트형 그린 렌즈를 구비하는 대물렌즈 광학계를 제공한다.
Figure 112006021444667-pat00025

또한, 본 발명에서는 광 픽업의 대물렌즈 광학계에 있어서,
상기 대물렌즈 광학계는 z가 광축방향으로 렌즈의 중심으로부터의 거리인 경우 다음의 식을 만족하는 굴절률(n)을 가진 그린 렌즈이며, 상기 그린 렌즈의 입사 광경로 상에 볼록 입사면과 평면 출사면을 가지는 굴절렌즈를 포함하는 대물렌즈 광학계를 제공한다.
Figure 112006021444667-pat00026
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이하 본 발명의 실시예에 따른 대물렌즈 광학계를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 대물렌즈 광학계를 개략적으로 보이는 단면도이다. 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 대물렌즈 광학계는 볼록-평 그린 렌즈(GR1)를 대물렌즈로 채용한다. 그린 렌즈(GR1)는 수학식 4(=수학식 1), 수학식 5(=수학식 2), 또는 수학식 6(=수학식 3)과 같이 굴절률(n)이 변화함으로써 광디스크(D) 상에 광을 원하는 스폿 사이즈로 포커싱한다. 굴절률(n)의 범위는 그린 렌즈(GR1)의 매질의 종류에 따라 다양하게 형성될 수 있으나 ±10% 이내의 공차 범위에서 형성하는 것이 바람직하다.
Figure 112003022045369-pat00005
Figure 112003022045369-pat00006
Figure 112003022045369-pat00007
수학식 1 내지 6에서 z는 광축방향으로 렌즈의 중심으로부터의 거리를 나타내고 r은 광축에 수직한 축방향으로 렌즈의 중심으로부터의 거리를 나타낸다. 특히 광축을 Z축이라 하고 광축에 수직한 평면의 두 축을 각각 X축 및 Y축이라면, r2은 x2+y2으로 나타낼 수 있다.
도 4는 도 3에 도시된 볼록-평 그린 렌즈(GR1) 내부의 굴절률(n) 변화를 보이는 그래프이다. 도 4의 그래프에서는 도 3의 P점으로 설정하였다. 0.4mm의 두께(점 O 및 P 사이의 거리)를 지닌 볼록-평 그린 렌즈(GR1)의 내부에서의 굴절률(n)의 변화에 따른 굴절면을 각각 s1, s2, s3, s4, s5 및 s6로 표현한다. 광은 각각의 굴절면(s1, s2, s3, s4, s5, s6)의 경계면 굴절되고 최종 굴절면(s6)을 통과하면서 광디스크에(D) 포커싱된다.
그린 렌즈(GR1)는 복수의 굴절렌즈들을 합한 동작원리를 가진다. 광이 굴절렌즈의 면에 입사될 때 공기와 균일한 매질 사이의 굴절률 변화에 의해 입사광은 굴절되고 굴절렌즈의 내부에서 굴절률의 변화에 따라 다시 굴절되어 출사면까지 굴 절하며 출사면에서 공기와의 굴절률의 차이로 인해 다시 굴절된다. 굴절렌즈에서 양질의 이미지를 생성하기 위해서는 복잡한 형태의 곡률면을 가지는 비구면이 요구되고 이는 높은 가공도를 요구하므로 소형화가 어려우며 많은 제작비용이 요구된다. 하지만, 그린 렌즈(GR1)는 렌즈 자체의 매질 내에서 굴절률(n)이 연속적으로 변하므로 복잡한 형태의 곡률면의 역할을 대신할 수 있다.
다시 도 3을 참조하면, 그린 렌즈(GR1)는 볼록 비구면의 입사면(s0)을 가지고 평면 출사면(s6)을 가지지만, 평면 출사면(s6) 대신 볼록 출사면 또는 오목 출사면으로 구성될 수 있다. 출사면이 볼록 또는 오목인 경우 구면 또는 비구면으로 형성가능하며, 비구면(Z(r))은 일반적으로 수학식 7와 같이 제시되는 일반식을 따라 형성된다.
Figure 112003022045369-pat00008
여기서, c는 비구면의 곡률, k는 코닉(conic) 상수, A, B, C, D는 각각 4차, 6차, 8차, 10차 비구면 계수를 나타낸다. 필요에 따라 그린렌즈(GR1)의 출사 또는 입사 광경로 상에 굴절렌즈 또는 회절렌즈를 더 배치하여 포커싱되는 광스폿의 크기를 조절하고 수차를 더욱 효과적으로 제어할 수 있을 것이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 대물렌즈 광학계의 구성을 개략적으로 보이는 단면도이다. 도 5를 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 대물렌즈 광학계는 수학식 1 내지 3(즉, 수학식 4 내지 6) 중 어느 한 식에 따른 굴절률(n)을 가 지는 쉬트로 형성된 그린 렌즈(GR2)와, 그린 렌즈(GR2)의 출사 광경로 상에 평면 입사면(sp)와 볼록 출사면(sd)를 가지는 평-볼록 회절렌즈(PCD; Plano-Convex Diffractive Lens)를 구비한다.
평-볼록 회절렌즈는 출사면(sd)이 회절면으로 형성되어 그린 렌즈(GR2)로부터 굴절되어 입사하는 광을 0차광, +1차광, -1차광을 포함하는 다수의 회절광으로 분리시킨다. 여기서, 평-볼록 회절렌즈(PCD)는 그린 렌즈(GR2)의 출사면에 직접 부착되는 대신 출사 광경로 상에 소정 간격 이격되어 배치될 수 있다.
그린 렌즈(GR2)의 출사 광경로 상에 평-볼록 회절렌즈(PCD)가 배치된 경우, 입사 광경로 상에는 굴절렌즈(미도시)가 더 배열될 수 있다. 또는 반대로 그린 렌즈(GR2)의 입사 광경로 상에 볼록-평 회절렌즈(CPD; Covex-Plano Diffractive Lens)가 배열된 경우, 도 7에 도시된 바와 같이 출사 광경로 상에 굴절렌즈가 더 배열될 수 있다. 여기서, 그린 렌즈와 회절렌즈 및, 굴절렌즈의 매수는 한 장 이상으로 원하는 성능을 얻기 위해 필요에 따라 적절히 구비될 수 있다.
도 6은 쉬트형 그린 렌즈(GR2)를 통과하는 광이 연속적으로 변하는 굴절률에 의해 광경로가 굴절되는 것을 보이는 도면이다. 도 6을 참조하면, 그린 렌즈(GR2)를 통과하는 광은 상이한 굴절률이 접하는 경계점에서 굴절되어 광디스크(D) 상에 포커싱된다. 도 6에 도시된 형태의 쉬트형 그린 렌즈(GR2)는 1mm 이하로 제작이 가능하므로 특히 통신용 콜리메이터로 이용하거나 초박형 광픽업에 채용하기에 유리하다.
도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 대물렌즈 광학계를 개략적으로 보이는 단면도이다. 도 7을 참조하면, 대물렌즈 광학계는 비구면 볼록 입사면(si)과 평면 출사면(so)을 가지는 볼록-평 굴절렌즈(CPR)와, 수학식 2(=수학식 5)에 따라 광축방향으로 굴절률(n(z))이 변하는 그린렌즈(GR2)를 구비한다. 굴절렌즈(CPR)의 일 설계치로 두께 0.4470mm, 비구면의 에칭 깊이(z)가 0.272mm일 때 클리어 어퍼쳐(clear aperture)는 2*0.418mm가 제시될 수 있다. 그린 렌즈(GR2)의 두께는 0.1806mm이고 광디스크(D)와 그린렌즈(GR2) 사이의 작동거리(Working Distance)은 0.1mm 이다.
도 7에 도시된 대물렌즈 광학계를 이용하여 400nm, 405nm, 410nm의 파장을 가지는 블루광을 방출하는 레이저 다이오드를 채용하여 집광하는 경우 시뮬레이션 결과는 표 1과 같이 나타난다.
파면 에러(on/off axis=0.01mm) 410nn 405nm 400nm 0.0215λ/0.0340λ 0.0042λ/0.0263λ 0.0236λ/0.0347λ
굴절률 N(z)
표면 디센터(decenter)/틸트 공차 10μm/0.03°
그룹 디센터/틸트 공차(tilt tolerance) 10μm/0.1°
코바(coba) 175μm
그린렌즈의 최대 및 최소 굴절률 n_max=1.768443 n_min=1.635360
굴절률 변화율(Δn) 8.14%
NA 0.085
NAO 0.09
LD SLD3231VL
광학 설계에서 파면에러는 수차 발생을 예측하는 하나의 인자이다. 소정 광학계가 0.07λ(회절한계)이하의 파면 에러를 가지는 경우 포커싱되는 광 스폿의 크 기가 회절한계 이내로 형성된다. 회절한계 이내에서는 구면수차, 코마수차, 왜곡수차, 비점수차 등의 각종 수차는 거의 발생하지 않으므로, 파면 에러를 측정함으로써 수차 발생 여부를 간단히 예측할 수 있다.
표 1의 결과에서 400nm 파장의 레이저광에서 축상(on axis)에서 파면에러는 0.0236λ로 나타나고 비축상(off axis)에서 0.0347λ로 나타나며, 405nm 파장의 광의 경우 on/off axis에서 각각 0.0042λ, 0.0263λ로 나타나고, 410nm 파장의 광의 경우 on/off axis에서 0.0215λ, 0.0340λ로 각각 나타나고 있다. 즉, 본 발명의 실시예에 따른 대물렌즈 광학계는, 레이저 다이오드의 온도변화에 따른 400~410nm의 넓은 파장대역에서도 0.07λ의 회절한계보다 작은 값을 나타내므로 색수차 보정 효과가 우수하다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 대물렌즈 광학계는 주요 공차(tolerance)인 표면 및 렌즈 그룹 디센터가 10μm 이내이며 틸트 공차도 표면에서 0.03°, 렌즈 그룹에서 0.1°로서 수율 80% 이상을 가지며 공차에도 민감하지 않다.
본 발명의 대물렌즈 광학계는 광축 및/또는 광축에 수직한 축 방향으로 연속적으로 변하는 고개구수의 그린렌즈를 채용함으로써 초박형 광픽업을 구현할 수 있으며, 수차 보정을 통해 허용공차를 확대하여 제작이 용이한 잇점이 있다.
상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다, 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 때문에 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 대물렌즈 광학계의 장점은 수차 보정 효과가 뛰어난 고개구수의 그린 렌즈를 채용하여 큰 허용공차를 확보하여 제작이 용이하며 초박형 광픽업을 실현할 수 있다는 것이다.

Claims (26)

  1. 광 픽업의 대물렌즈 광학계에 있어서,
    상기 대물렌즈 광학계는 광축방향과 광축에 수직한 방향으로 굴절률이 변하는 그린 렌즈를 구비하며, 상기 그린 렌즈는 z가 광축방향으로 렌즈의 중심으로부터의 거리이고, r이 광축에 수직한 방향으로 렌즈의 중심으로부터의 거리인 경우 다음의 식을 만족하는 굴절률(n)을 가지는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
    Figure 112006021444667-pat00027
  2. 삭제
  3. 광 픽업의 대물렌즈 광학계에 있어서,
    상기 대물렌즈 광학계는 z가 광축방향으로 렌즈의 중심으로부터의 거리인 경우 다음의 식을 만족하는 굴절률(n)을 가지며, 볼록 비구면 또는 볼록 구면으로 형성된 입사면 및 평면 또는 오목면으로 형성된 출사면을 지닌 그린 렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
    Figure 112006021444667-pat00010
  4. 광 픽업의 대물렌즈 광학계에 있어서,
    상기 대물렌즈 광학계는 r이 광축에 수직한 방향으로 렌즈의 중심으로부터의 거리인 경우 다음의 식을 만족하는 굴절률(n)을 가지며, 볼록 비구면 또는 볼록 구면으로 형성된 입사면 및 평면 또는 오목면으로 형성된 출사면을 지닌 그린 렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
    Figure 112006021444667-pat00011
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈는 볼록 비구면 또는 볼록 구면으로 형성되는 입사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈는 평면으로 형성되는 출사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈는 볼록 비구면 또는 볼록 구면으로 형성되는 출사면을 구비 하는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈는 오목 비구면 또는 오목 구면으로 형성되는 출사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈는 쉬트형인 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈의 입사 광경로 상에 볼록 입사면과 평면 출사면을 가지는 굴절렌즈가 배열되는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈의 출사 광경로 상에 평면 입사면과 볼록 출사면을 가지는 굴절렌즈가 배열되는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈의 입사 광경로 상 또는 출사 광경로 상에 회절면을 가지는 DOE렌즈가 더 배열되는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈의 출사 광경로 상에 회절면을 가지는 DOE렌즈가 더 배열되는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈의 입사 광경로 상에 회절면을 가지는 DOE렌즈가 더 배열되는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
  15. 제 1 항, 제 3 항 또는 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈의 입사 광경로 또는 출사 광경로 상에 굴절렌즈가 더 배열되는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
  16. 제 1 항, 제 3 항 또는 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈의 입사 광경로 또는 출사 광경로 상에 회절면을 가지는 DOE렌즈가 더 배열되는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
  17. 제 1 항, 제 3 항 또는 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈의 입사 광경로 상에 굴절렌즈가 더 배열되고 출사 광경로 상에 회절면을 가지는 DOE렌즈가 더 배열되는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
  18. 제 1 항, 제 3 항 또는 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈의 입사 광경로 상에 회절면을 가지는 DOE렌즈가 더 배열되고 출사 광경로 상에 굴절렌즈가 더 배열되는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
  19. 광 픽업의 대물렌즈 광학계에 있어서,
    상기 대물렌즈 광학계는 z가 광축방향으로 렌즈의 중심으로부터의 거리인 경우 다음의 식을 만족하는 굴절률(n)을 가지는 쉬트형 그린 렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
    Figure 112006021444667-pat00028
  20. 광 픽업의 대물렌즈 광학계에 있어서,
    상기 대물렌즈 광학계는 r이 광축에 수직한 방향으로 렌즈의 중심으로부터의 거리인 경우 다음의 식을 만족하는 굴절률(n)을 가지는 쉬트형 그린 렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
    Figure 112006021444667-pat00029
  21. 제 19 항 또는 제 20항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈의 입사 광경로 상에 볼록 입사면과 평면 출사면을 가지는 굴절렌즈가 배열되는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
  22. 제 19 항 또는 제 20항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈의 출사 광경로 상에 평면 입사면과 볼록 출사면을 가지는 굴절렌즈가 배열되는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
  23. 제 19 항 또는 제 20항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈의 입사 광경로 상 또는 출사 광경로 상에 회절면을 가지는 DOE렌즈가 더 배열되는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
  24. 제 22 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈의 입사 광경로 상에 회절면을 가지는 DOE렌즈가 더 배열되는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
  25. 광 픽업의 대물렌즈 광학계에 있어서,
    상기 대물렌즈 광학계는 z가 광축방향으로 렌즈의 중심으로부터의 거리인 경우 다음의 식을 만족하는 굴절률(n)을 가진 그린 렌즈이며, 상기 그린 렌즈의 입사 광경로 상에 볼록 입사면과 평면 출사면을 가지는 굴절렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
    Figure 112006021444667-pat00030
  26. 제 25 항에 있어서,
    상기 그린 렌즈의 출사 광경로 상에 회절면을 가지는 DOE렌즈가 더 배열되는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 광학계.
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